Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

KR102471469B1 - Stage apparatus and load port module comprising the same - Google Patents

Stage apparatus and load port module comprising the same Download PDF

Info

Publication number
KR102471469B1
KR102471469B1 KR1020210040546A KR20210040546A KR102471469B1 KR 102471469 B1 KR102471469 B1 KR 102471469B1 KR 1020210040546 A KR1020210040546 A KR 1020210040546A KR 20210040546 A KR20210040546 A KR 20210040546A KR 102471469 B1 KR102471469 B1 KR 102471469B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
detachable
pipe
input
stage
unit
Prior art date
Application number
KR1020210040546A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20220135050A (en
Inventor
이호민
정순택
Original Assignee
주식회사 저스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 저스템 filed Critical 주식회사 저스템
Priority to KR1020210040546A priority Critical patent/KR102471469B1/en
Priority to PCT/KR2021/007453 priority patent/WO2022211185A1/en
Priority to TW110125342A priority patent/TWI777663B/en
Publication of KR20220135050A publication Critical patent/KR20220135050A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102471469B1 publication Critical patent/KR102471469B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775—Docking arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • External Artificial Organs (AREA)

Abstract

본 발명은 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈에 관한 것으로서, 스테이지에 탈착되도록 설치되는 탈착부와, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 투입 노즐부와, 풉의 배출구와 연통되도록 배치된 배출 노즐와, 풉의 안착여부를 감지하는 감지부와, 배관을 하방으로 가이드하는 배관 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 기존의 스테이지를 제거하거나 교체하지 않고서 간단하게 탈착 플레이트를 탈착하여 탈착부위의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여 로드포트모듈의 스테이지의 개조작업을 용이하는 동시에 개조작업의 작업시간 및 개조비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.The present invention relates to a stage device and a loadport module having the same, which includes a detachable unit installed to be detached from the stage, an input nozzle unit disposed to communicate with the inlet of the FOUP, and a discharge nozzle disposed to communicate with the outlet of the FOUP, It is characterized in that it includes a sensing unit for detecting whether or not the FOUP is seated, and a pipe guide unit for guiding the pipe downward. Therefore, the present invention can easily detach the detachable plate without removing or replacing the existing stage, and the shape of the detachable part is very simple to minimize pre-assembly time and assembly errors, thereby facilitating the remodeling work of the stage of the loadport module. It provides the effect of reducing the working time and cost of remodeling work.

Description

스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈{STAGE APPARATUS AND LOAD PORT MODULE COMPRISING THE SAME}Stage device and load port module having the same {STAGE APPARATUS AND LOAD PORT MODULE COMPRISING THE SAME}

본 발명은 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 풉이 안착되는 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈에 관한 것이다.The present invention relates to a stage device and a loadport module having the same, and more particularly, to a stage device detachable from a stage of a loadport module on which a FOUP is seated, and a loadport module having the same.

반도체 제조 공정에 있어서 웨이퍼 및 이에 형성되는 반도체 소자는 고정밀도의 물품으로, 보관 및 운반 시 외부의 오염 물질과 충격으로부터 손상되지 않도록 주의해야 한다. 특히, 웨이퍼의 보관 및 운반의 과정에서 그 표면이 먼지, 수분, 각종 유기물 등과 같은 불순물에 의해 오염되지 않도록 관리가 필요하다.In the semiconductor manufacturing process, wafers and semiconductor devices formed thereon are high-precision items, and care must be taken not to damage them from external contaminants and shocks during storage and transportation. In particular, in the process of storing and transporting wafers, management is required so that the surface is not contaminated by impurities such as dust, moisture, and various organic substances.

종래에는 반도체의 제조 수율 및 품질의 향상을 위하여, 클린룸(clean room) 내에서의 웨이퍼의 처리가 이루어지곤 하였다. 그러나 소자의 고집적화, 미세화, 웨이퍼의 대형화가 진행됨에 따라, 비교적 큰 공간인 클린룸을 관리하는 것이 비용적으로도 기술적으로도 곤란해져 왔다. Conventionally, in order to improve the manufacturing yield and quality of semiconductors, wafer processing has been performed in a clean room. However, as devices are highly integrated, miniaturized, and wafers are enlarged in size, managing a clean room, which is a relatively large space, has become difficult both in terms of cost and in terms of technology.

이에 최근에는 클린룸 내 전체의 청정도를 향상시키는 대신, 웨이퍼 주위의 국소적인 공간에 대하여 집중적으로 청정도를 향상시키는 국소환경(mini-environment)의 청정 방식이 적용된다.In recent years, instead of improving the cleanliness of the entire clean room, a mini-environment cleaning method that intensively improves the cleanliness of a local space around the wafer is applied.

한편, 반도체 제조 공정은 식각, 증착, 에칭과 같은 다양한 단위 공정들이 순차적으로 반복된다. 각 공정 처리 과정에서 웨이퍼 상에 이물질 또는 오염 물질이 잔존하게 되어 불량이 발생하거나 반도체 공정 수율이 낮아지는 문제가 있었다.Meanwhile, in the semiconductor manufacturing process, various unit processes such as etching, deposition, and etching are sequentially repeated. Foreign substances or contaminants remain on the wafer during each process, causing defects or lowering the semiconductor process yield.

따라서 반도체 공정에 있어서, 웨이퍼는 여러 프로세스 챔버 또는 반도체처리 공간으로 이송되는데 이때, 웨이퍼를 하나의 처리 공간에서 다른 처리 공간으로 이송시키는 동안 웨이퍼에 이물질이나 오염 물질이 부착되는 것을 최소화하기 위한 다양한 수단이 구비되어 있다.Therefore, in the semiconductor process, wafers are transferred to several process chambers or semiconductor processing spaces. At this time, various means for minimizing the attachment of foreign substances or contaminants to the wafers while transferring the wafers from one processing space to another processing space are used. It is available.

특히 반도체 소자의 제조시에는, 기판인 웨이퍼 상에 여러 가지 물질을 박막형태로 증착하고 이를 패터닝 하여 구현되는데, 이를 위하여 증착공정, 식각공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정을 수행하기 위하여 웨이퍼를 이송하는 장치가 널리 쓰이고 있다. 그 중 로드포트모듈(LPM; LOAD PORT MOUDULE)은 웨이퍼 캐리어에 담긴 웨이퍼를 반도체 이송장비(EFEM; Equipment Front End Module)에 공급하기 위하여 널리 사용되고 있다.In particular, in the manufacture of semiconductor devices, various materials are deposited in the form of thin films on a wafer, which is a substrate, and patterned to achieve this. In order to do this, a device for transferring wafers is widely used. Among them, a load port module (LPM) is widely used to supply wafers contained in a wafer carrier to a semiconductor equipment front end module (EFEM).

한편, 웨이퍼 캐리어 내부에 이물질이 존재하는 경우, 웨이퍼에 불량을 유발할 수 있으므로, 가스를 이용하여 퍼지(Purge)하여 이물질을 제거하게 된다. 초기의 로드포트모듈에는 이러한 퍼지 기능이 없었으나, 새로이 개발되는 로드포트모듈에는 질소 가스(N2)를 이용하여 퍼지하는 기능이 추가되어 이러한 문제들을 해결하고 있다.On the other hand, if a foreign substance exists inside the wafer carrier, it may cause a defect in the wafer, so the foreign substance is removed by purging using gas. Early load port modules did not have such a purge function, but a newly developed load port module has a function of purging using nitrogen gas (N 2 ) to solve these problems.

그러나, 기존의 로드포트모듈을 모두 이러한 퍼지기능이 구비된 로드포트모듈로 교체하는 것을 비용적인 문제가 발생 되게 된다. 더욱이, 현재 다양한 종류의 웨이퍼 캐리어가 존재하는데, 웨이퍼 캐리어의 종류가 바뀌면. 그에 따른 로드포트모듈을 별도로 구비하여야 되는 문제점이 발생되게 된다.However, replacing all existing load port modules with load port modules equipped with such a purge function causes a cost problem. Moreover, there are currently many types of wafer carriers, when the types of wafer carriers change. Accordingly, a problem arises in that a load port module must be provided separately.

특히, 모드포트모듈의 스테이지를 교체하고 기존의 모드포트모듈의 주요 부품을 재활용하여 개조하는 방식은 단순하게 스테이지를 고정식으로 추가 설치하여 기존의 스테이지(Stage) 및 커버(Cover)를 분리해야 하며 주요 부품의 일부만 재사용 가능하고 기존의 스테이지(Stage) 및 커버를 폐기해야 하므로 자원의 낭비가 심하게 되는 문제가 있었다.In particular, the method of replacing the stage of the modport module and recycling and remodeling the main parts of the existing modport module requires simply additionally installing the stage as a fixed type to separate the existing stage and cover. Since only a part of the parts can be reused and the existing stage and cover must be discarded, there is a problem in that resources are severely wasted.

또한, 기존의 부품의 이식에 걸리는 시간이 과다하게 투여되어 작업시간이 연장되고, 스테이지(Stage)의 교체시 레벨(Level)이 변경되어 티칭(Teaching)에 많은 시간이 소요되는 문제도 있었다.In addition, there was a problem that the time required for implantation of the existing parts was excessively administered, so that the working time was extended, and the level was changed when the stage was replaced, which took a lot of time for teaching.

대한민국 공개특허 제10-2011-0101083호 (2011년09월15일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2011-0101083 (September 15, 2011) 대한민국 등록특허 제10-1802418호 (2017년11월28일)Republic of Korea Patent No. 10-1802418 (November 28, 2017) 대한민국 공개특허 제10-2020-0049003호 (2020년05월08일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2020-0049003 (May 08, 2020)

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 탈착식 스테이지로 탈착부와 투입 노즐부와 배출 노즐부와 감지부와 배관 가이드부를 구비함으로써, 기존의 스테이지를 제거하거나 교체하지 않고서 간단하게 탈착 플레이트를 탈착하여 탈착부위의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여 로드포트모듈의 스테이지의 개조작업을 용이하는 동시에 개조작업의 작업시간 및 개조비용을 절감할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 그 목적으로 한다. The present invention has been made to solve the above conventional problems, and is provided with a detachable stage, an input nozzle unit, an discharge nozzle unit, a detection unit, and a pipe guide unit, so that it is simple without removing or replacing the existing stage. A stage device that can easily detach and detach the detachable plate, and the shape of the detachable part is very simple, minimizing pre-assembly time and assembly errors to facilitate the remodeling work of the stage of the load port module, while reducing the working time and cost of remodeling work. And it is an object of the present invention to provide a load port module having the same.

또한, 본 발명은 배관부의 합지관과 분기관으로 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention is a stage device capable of improving gas flow stability by maintaining flexibility and fluidity during pipe installation by using a flexible Teflon tube as a laminated pipe and a branch pipe of the piping part, and a load port having the same Another purpose is to provide a module.

또한, 본 발명은 탈착부의 상면에 복수개의 안착편을 설치함으로써, 탈착부에 풉의 안착시 흔들림 요동이나 처짐을 방지하는 동시에 배관부와 풉 사이의 밀착성능 및 연통성능을 향상시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention is a stage device capable of improving the adhesion performance and communication performance between the pipe part and the foo while preventing shaking, shaking, or sagging when the foo is seated on the desorption part by installing a plurality of mounting pieces on the upper surface of the detachment part. And it is another object to provide a load port module having the same.

또한, 본 발명은 탈착부의 하부에 배관부를 고정지지하는 고정홈을 설치함으로써, 배관의 배치위치를 다양하게 설치할 수 있고, 배관부의 유연성 및 연통성을 향상시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention provides a stage device capable of variously arranging the pipe and improving the flexibility and communication of the pipe by installing a fixing groove for fixing and supporting the pipe at the lower part of the detachable part, and a load port having the same Another purpose is to provide a module.

또한, 본 발명은 노즐부로서 탈착부의 탈부착시 노즐부위의 일체를 개별적으로 분리 및 교체가 가능하도록 노즐어셈블리(Nozzle Assembly)로 이루어져, 탈부착 작업시간을 단축시키는 동시에 작업성을 향상시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention is a stage device that is composed of a nozzle assembly so that the nozzle part can be separated and replaced individually when attaching or detaching the detachable part as a nozzle part, thereby reducing the detachable work time and improving workability. And it is another object to provide a load port module having the same.

또한, 본 발명은 감지부로서 3개 지점에 각 위치센서를 설치하여 풉의 안착을 감지함으로써, 탈착부의 탈부착 및 개조 후에 탈착부에 대한 별도의 스테이지 레벨링(Stage Leveling) 및 OHT 티칭(OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching)의 절차가 필요없어 탈착작업의 대기시간 및 작업시간을 절감할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention detects the seating of the FOUP by installing each position sensor at three points as a sensing unit, thereby providing separate stage leveling and OHT teaching (OVERHEAD HOIST TRANSPORT Another object is to provide a stage device and a load port module equipped with the stage device that can reduce the waiting time and working time of the detachment operation without the need for a teaching procedure.

또한, 본 발명은 배관 브래킷부로서 브래킷 박스와 가이드홀로 이루어짐으로써, 종래의 LPM 하부의 커버부를 변경하거나 폐기하지 않고서 배관 브래킷부에 의해 재활용 가능한 개조 방식을 적용할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention is composed of a bracket box and a guide hole as a pipe bracket, so that a stage device capable of applying a remodeling method that can be recycled by the pipe bracket without changing or discarding the cover of the lower part of the conventional LPM and a rod equipped with the same Another purpose is to provide a port module.

또한, 본 발명은 배관부를 배관 가이드부와 배관 브래킷부의 내부공간에 수납하여 외부로부터 커버링하여 외관을 수려하게 하는 동시에 배관부위를 외부의 충격으로부터 보호할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention provides a stage device capable of protecting the pipe portion from external shocks and a load port module having the same, which can decorate the appearance by accommodating the pipe portion in the inner space of the pipe guide portion and the pipe bracket portion and covering it from the outside. It serves another purpose.

또한, 본 발명은 배관 가이드부의 내부에 배관부를 내장하여 배관부의 외부 노출이 없는 덕트(Duct)부위나 박스부위를 내장한 삽입형 로드포트모듈(Insert Type LPM)을 제작할 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention is a stage device capable of manufacturing an insert type LPM with a built-in duct part or box part without external exposure of the pipe part by embedding the pipe part inside the pipe guide part, and having the same Another object is to provide a load port module.

또한, 본 발명은 노즐부로서 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어짐으로써, 풉의 안착시 풉의 배출구와 밀착하여 연통시킬 수 있는 스테이지 장치 및 이를 구비한 로드포트모듈을 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다. In addition, the present invention is composed of a nozzle equipped with non-leak rubber as a nozzle part, so that when the poop is seated, the stage device that can communicate with the outlet of the poop in close contact and a load port module having the same It has another purpose to provide.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치로서, 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되도록 설치되는 탈착부(10); 상기 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 투입 노즐부(20); 상기 탈착부(10)의 타방에 설치되어, 풉의 배출구와 연통되도록 배치된 배출 노즐부(30); 상기 탈착부(10)의 중앙부위에 설치되어, 풉의 안착여부를 감지하는 감지부(40); 및 상기 탈착부(10)의 측방 양단에 절곡 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)와 상기 배출 노즐부(30)에 연통되는 배관을 하방으로 가이드하는 배관 가이드부(50);를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention for achieving the above object is a stage device detachable to the stage of the load port module, the detachable part 10 installed to be detachable to the stage of the load port module; An injection nozzle part 20 installed on one side of the detachable part 10 and arranged to communicate with the inlet of the FOUP; A discharge nozzle unit 30 installed on the other side of the detachable unit 10 and communicated with the discharge port of the FOUP; a detection unit 40 installed at the center of the detachable unit 10 to detect whether or not the FOUP is seated; And a pipe guide part 50 bent at both ends of the detachable part 10 to guide a pipe communicating with the input nozzle part 20 and the discharge nozzle part 30 downward. to be characterized

또한, 본 발명은 상기 투입 노즐부(20)의 투입 노즐에 각각 분기 연결되며, 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 투입 배관부(60); 및 상기 배출 노즐부(30)에 연결되며, 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 배출 배관부(70);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is branched connected to the input nozzle of the input nozzle unit 20, respectively, the input pipe portion 60 guided by the pipe guide portion 50; and a discharge pipe part 70 connected to the discharge nozzle part 30 and guided by the pipe guide part 50.

본 발명의 상기 투입 배관부(60)는, 상기 탈착부(10)의 하부에 설치되는 투입 합지관; 상기 투입 합지관에서 일방으로 분기되되 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되도록 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)의 일방 투입 노즐에 연결되는 제1 투입 분기관; 및 상기 투입 합지관에서 타방으로 분기되되 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되도록 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)의 타방 투입 노즐에 연결되는 제2 투입 분기관;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The input pipe portion 60 of the present invention, the input laminated pipe installed in the lower portion of the detachable portion (10); A first injection branch pipe branched in one direction from the injection paper pipe and installed to be guided by the pipe guide unit 50 and connected to the one-way injection nozzle of the injection nozzle unit 20; And a second injection branch pipe branched from the injection paper pipe to the other side, installed to be guided by the pipe guide part 50, and connected to the other injection nozzle of the injection nozzle unit 20. do.

또한, 본 발명은 상기 탈착부(10)의 상면에 복수개 설치되어, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하는 안착부(80);를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is characterized by further comprising a plurality of mounting parts 80 installed on the upper surface of the detachable part 10 to prevent shaking or sagging when the FOUP is seated.

본 발명의 상기 안착부(80)는, 상기 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제1 안착편; 상기 탈착부(10)의 타방 일단에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제2 안착편; 및 상기 탈착부(10)의 타방 타단에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제3 안착편;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The seating portion 80 of the present invention is installed on one side of the detachable portion 10, the first seating piece for providing a seat of the FOUP on the top of the detachable portion 10; a second seating piece installed at one end of the other side of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper part of the detachable part 10; and a third mounting piece installed at the other end of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the top of the detachable part 10 .

본 발명의 상기 탈착부(10)는, 로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 탈착 플레이트; 상기 탈착 플레이트의 외곽둘레에 절곡 형성되어, 상기 탈착 플레이트의 측면 둘레를 커버링하는 측면 플레이트; 상기 탈착 플레이트의 중앙부위에 관통 형성되어, 로드포트모듈의 스테이지의 일부를 노출시키는 관통홀; 및 상기 탈착 플레이트의 일방부위에 절취 형성되어, 상기 탈착 플레이트의 탈착위치를 조절하도록 가이드하는 가이드홈;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The detachable part 10 of the present invention includes a detachable plate attached to the stage of the load port module; a side plate bent around an outer circumference of the detachable plate and covering a side circumference of the detachable plate; a through hole formed through the center of the detachable plate to expose a part of the stage of the load port module; and a guide groove formed at one side of the detachable plate and guiding the detachable plate to adjust the detachable position.

본 발명의 상기 투입 노즐부(20)는, 풉의 투입구에 밀착되어 연통되는 투입 노즐; 상기 투입 노즐의 하부에 연결되어, 통로를 연통시키는 투입 연통부재; 및 상기 투입 연통부재의 하부 일방에 설치되어, 배관을 연결시키는 투입 연결소켓;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The input nozzle unit 20 of the present invention includes an input nozzle that is in close contact with and communicates with the input port of the foo; an injection communication member connected to a lower portion of the injection nozzle and communicating a passage; and an input connection socket installed on one lower side of the input communication member to connect a pipe.

본 발명의 상기 투입 연통부재는, 상기 탈착부(10)의 일방 양단에 설치되어, 풉의 투입구에 연통되는 연통체; 상기 연통체의 하부에 설치되어, 상기 연통체의 하부에 통로를 형성하는 연통관; 및 상기 연통관의 하부 일방에 연통 형성되어, 상기 투입 연결소켓이 설치되는 연통홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The input communication member of the present invention is installed at both ends of one side of the detachable part 10, and communicates with the inlet of the FOUP; a communication tube installed at a lower portion of the communication body to form a passage in the lower portion of the communication body; and a communication hole formed in communication with one of the lower portions of the communication pipe and in which the injection connection socket is installed.

또한, 본 발명은 상기 기재된 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈로서, 본체부(110); 상기 본체부(110)의 일방에 풉이 안착되도록 돌출 형성된 스테이지부(120); 상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되어, 풉에 퍼지가스를 제공하는 가스모듈부(130); 상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되어, 상기 가스모듈부(130)를 커버링하는 커버부(140); 및 상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되되 상기 커버부(140)의 내측 양단에 설치되어, 상기 가스모듈부(130)의 측면에 배치되는 배관을 커버링하는 배관 브래킷부(150);를 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the present invention is a load port module having the above-described stage device, the body portion 110; A stage portion 120 protruding so that the FOUP is seated on one side of the main body portion 110; a gas module unit 130 installed under the stage unit 120 to supply a purge gas to the foo; a cover part 140 installed under the stage part 120 to cover the gas module part 130; and a pipe bracket part 150 installed below the stage part 120 and installed at both inner ends of the cover part 140 to cover the pipe disposed on the side surface of the gas module part 130. It is characterized by doing.

본 발명의 상기 배관 브래킷부(150)는, 상기 본체부(110)와 상기 커버부(140) 사이에 설치된 브래킷 박스; 및 상기 브래킷 박스의 상부에 수평방향의 일자 형상으로 관통 형성된 가이드홀;을 포함하는 것을 특징으로 한다.The pipe bracket part 150 of the present invention includes a bracket box installed between the main body part 110 and the cover part 140; and a guide hole formed through the top of the bracket box in a straight line shape in a horizontal direction.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 탈착식 스테이지로 탈착부와 투입 노즐부와 배출 노즐부와 감지부와 배관 가이드부를 구비함으로써, 기존의 스테이지를 제거하거나 교체하지 않고서 간단하게 탈착 플레이트를 탈착하여 탈착부위의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여 로드포트모듈의 스테이지의 개조작업을 용이하는 동시에 개조작업의 작업시간 및 개조비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.As described above, the present invention is a detachable stage, which includes a detachable part, an input nozzle part, a discharge nozzle part, a sensing part, and a pipe guide part, so that the detachable plate can be simply detached without removing or replacing the existing stage. The shape of is very simple, minimizing pre-assembly time and assembly errors, facilitating the remodeling work of the stage of the load port module, and at the same time providing the effect of reducing the working time and cost of the remodeling work.

또한, 배관부의 합지관과 분기관으로 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by using a flexible Teflon tube as a laminated pipe and a branch pipe of the piping unit, flexibility and fluidity are maintained during piping installation, thereby providing an effect of improving gas flow stability.

또한, 탈착부의 상면에 복수개의 안착편을 설치함으로써, 탈착부에 풉의 안착시 흔들림 요동이나 처짐을 방지하는 동시에 배관부와 풉 사이의 밀착성능 및 연통성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by installing a plurality of seating pieces on the upper surface of the detachable unit, it is possible to prevent shaking, shaking, or sagging when the FOUP is seated on the detachable unit, and to improve the adhesion performance and communication performance between the piping unit and the FOUP.

또한, 탈착부의 하부에 배관부를 고정지지하는 고정홈을 설치함으로써, 배관의 배치위치를 다양하게 설치할 수 있고, 배관부의 유연성 및 연통성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by installing a fixing groove for fixing and supporting the pipe part in the lower part of the detachable part, various arrangement positions of the pipe can be installed, and flexibility and communication of the pipe part can be improved.

또한, 노즐부로서 탈착부의 탈부착시 노즐부위의 일체를 개별적으로 분리 및 교체가 가능하도록 노즐어셈블리(Nozzle Assembly)로 이루어져, 탈부착 작업시간을 단축시키는 동시에 작업성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, as a nozzle part, it is composed of a nozzle assembly so that the nozzle part can be separated and replaced individually when attaching or detaching the detachable part, thereby reducing the detachable work time and providing an effect of improving workability.

또한, 감지부로서 3개 지점에 각 위치센서를 설치하여 풉의 안착을 감지함으로써, 탈착부의 탈부착 및 개조 후에 탈착부에 대한 별도의 스테이지 레벨링(Stage Leveling) 및 OHT 티칭(OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching)의 절차가 필요없어 탈착작업의 대기시간 및 작업시간을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by installing each position sensor at three points as a sensing unit to detect the seating of the FOUP, separate stage leveling and OHT teaching (OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching) It provides the effect of reducing the waiting time and working time of the desorption work because there is no need for a procedure.

또한, 배관 브래킷부로서 브래킷 박스와 가이드홀로 이루어짐으로써, 종래의 LPM 하부의 커버부를 변경하거나 폐기하지 않고서 배관 브래킷부에 의해 재활용 가능한 개조 방식을 적용할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by being composed of a bracket box and a guide hole as a pipe bracket, it provides an effect of applying a remodeling method that can be reused by the pipe bracket without changing or discarding the cover of the lower part of the conventional LPM.

또한, 배관부를 배관 가이드부와 배관 브래킷부의 내부공간에 수납하여 외부로부터 커버링하여 외관을 수려하게 하는 동시에 배관부위를 외부의 충격으로부터 보호할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, the piping portion is accommodated in the inner space of the piping guide portion and the piping bracket portion and covered from the outside so as to beautify the appearance and at the same time provide an effect of protecting the piping portion from external impact.

또한, 배관 가이드부의 내부에 배관부를 내장하여 배관부의 외부 노출이 없는 덕트(Duct)부위나 박스부위를 내장한 삽입형 로드포트모듈(Insert Type LPM)을 제작할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by embedding the pipe part inside the pipe guide part, it provides an effect of manufacturing an insert type LPM with a built-in duct part or box part without external exposure of the pipe part.

또한, 노즐부로서 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어짐으로써, 풉의 안착시 풉의 배출구와 밀착하여 연통시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, as the nozzle part is composed of a nozzle equipped with non-leak rubber, it provides an effect of being in close contact with the outlet of the poop and communicating with it when the poop is seated.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 나타내는 분해도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 구성도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 상면 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 하면 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치의 투입 배관부와 배출 배관부를 나타내는 구성도.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치의 투입 노즐부를 나타내는 구성도.1 is a configuration diagram showing a load port module having a stage device according to an embodiment of the present invention.
2 is an exploded view showing a load port module having a stage device according to an embodiment of the present invention.
3 is a configuration diagram showing a stage device according to an embodiment of the present invention.
Figure 4 is a top perspective view showing a stage device according to an embodiment of the present invention.
Figure 5 is a bottom perspective view showing a stage device according to an embodiment of the present invention.
6 is a configuration diagram showing an input pipe part and a discharge pipe part of a stage device according to an embodiment of the present invention.
7 is a configuration diagram showing an injection nozzle unit of a stage device according to an embodiment of the present invention.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 일 실시예를 더욱 상세히 설명한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 나타내는 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 나타내는 분해도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 구성도이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 상면 사시도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치를 나타내는 하면 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치의 투입 배관부와 배출 배관부를 나타내는 구성도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시예에 의한 스테이지 장치의 투입 노즐부를 나타내는 구성도이다.1 is a configuration diagram showing a load port module having a stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an exploded view showing a load port module having a stage device according to an embodiment of the present invention. 3 is a configuration diagram showing a stage device according to an embodiment of the present invention, FIG. 4 is a top perspective view showing a stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a stage device according to an embodiment of the present invention. FIG. 6 is a configuration diagram showing an input pipe part and a discharge pipe part of a stage device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 7 shows an input nozzle part of a stage device according to an embodiment of the present invention. It is a composition diagram.

도 1 내지 도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의한 스테이지 장치는, 탈착부(10), 투입 노즐부(20), 배출 노즐부(30), 감지부(40), 배관 가이드부(50), 투입 배관부(60), 배출 배관부(70) 및 안착부(80)를 포함하여 이루어져, 풉(FOUP; Front Opening Unified Pod)이 안착되는 로드포트모듈(LPM; Load Port Module)의 스테이지부(120)의 상부에 탈착되는 스테이지 장치이다.As shown in FIGS. 1 to 6, the stage device according to the present embodiment includes a detachable part 10, an input nozzle part 20, a discharge nozzle part 30, a detection part 40, a pipe guide part 50 ), a stage of a load port module (LPM) on which a Front Opening Unified Pod (FOUP) is seated, including an input pipe part 60, a discharge pipe part 70, and a seating part 80 It is a stage device that is detached from the upper part of the unit 120.

탈착부(10)는, 로드포트모듈의 스테이지부(120)의 상부에 탈착되도록 설치되는 탈착수단으로서, 탈착 플레이트(11), 측면 플레이트(12), 관통홀(13), 가이드홈(14) 및 배관고정홈(15)으로 이루어져 있다.The detachable part 10 is a detachable means installed on the upper part of the stage part 120 of the load port module, and includes a detachable plate 11, a side plate 12, a through hole 13, and a guide groove 14. And it consists of a pipe fixing groove (15).

탈착 플레이트(11)는, 로드포트모듈의 스테이지부(120)에 탈착되는 플레이트로서, 알루미늄 등과 같은 경량소재나 이들의 합금소재로 이루어진 후판의 하부공간을 밀링머신이나 태핑머신에 의해 절취하여 하부공간이 형성되어 있다.The detachable plate 11 is a plate that is detached from the stage part 120 of the load port module, and cuts the lower space of a thick plate made of lightweight materials such as aluminum or alloy materials thereof by a milling machine or a tapping machine to remove the lower space. this is formed

이러한 탈착 플레이트(11)는, 하부공간을 절삭에 의해 형성하므로, 스테이지부(120)의 상부에 탈부착시 하부공간에 의해 스테이지부(120)의 커버링이 용이하며 강고한 구조의 평판형의 커버 플레이트로 이루어져 있다.Since the detachable plate 11 forms the lower space by cutting, it is easy to cover the stage part 120 by the lower space when attaching and detaching to the upper part of the stage part 120, and the plate-shaped cover plate has a strong structure. Consists of

측면 플레이트(12)는, 탈착 플레이트(11)의 외곽둘레에 절곡 형성되어 탈착 플레이트(11)의 측면 둘레를 커버링하는 플레이트로서, 스테이지부(120)의 전체를 보호하도록 커버링하고 미관의 개선을 위한 사방 측면에 격벽을 형성하게 된다.The side plate 12 is a plate that is bent around the outer circumference of the detachable plate 11 and covers the circumference of the side of the detachable plate 11, and covers to protect the entire stage portion 120 and improves aesthetics. A bulkhead is formed on the four sides.

관통홀(13)은, 탈착 플레이트(11)의 중앙부위에 관통 형성되어 로드포트모듈의 스테이지부(120)의 일부를 노출시키는 홀부재로서, 스테이지부(120)에 설치된 각종 유틸리티와의 연결을 탈착 플레이트에 연결시키거나 접촉시킬 수 있는 통로를 형성하게 된다.The through hole 13 is a hole member formed through the central portion of the detachable plate 11 to expose a part of the stage unit 120 of the load port module, and is connected to various utilities installed on the stage unit 120. A passage that can be connected to or brought into contact with the detachment plate is formed.

가이드홈(14)은, 탈착 플레이트(11)의 일방부위에 절취 형성되어 탈착 플레이트(11)의 탈착위치를 조절하도록 가이드하는 홈부재로서, 탈착 플레이트(11)의 탈착시 탈착위치를 미세조절하도록 가이드하게 된다.The guide groove 14 is a groove member that is cut and formed on one side of the detachable plate 11 to guide the detachable plate 11 to adjust the detachable position, and to finely adjust the detachable position when the detachable plate 11 is detached. will guide

배관고정홈(15)은, 탈착 플레이트(11)의 하부면의 외곽부위에 복수개가 설치되되 일방에 함몰 형성된 고정홈이 형성되어 탈착 플레이트(11)의 하부에 배치되는 배관을 고정지지하는 고정부재로서, 투입 배관부(60)와 배출 배관부(70)의 유연한 튜브형 배관이 고정홈이 끼워맞춤 고정되어 투입 배관부(60)와 배출 배관부(70)의 배치를 용이하게 하는 동시에 고정지지하게 된다.A plurality of pipe fixing grooves 15 are installed on the outer portion of the lower surface of the detachable plate 11, and a fixing groove formed on one side is formed to fix and support the pipe disposed under the detachable plate 11. As a flexible tubular pipe of the input pipe 60 and the discharge pipe 70, the fixing groove is fitted and fixed to facilitate the placement of the input pipe 60 and the discharge pipe 70 and to be fixed and supported at the same time do.

따라서, 이러한 탈착부(10)에 의해 탈착 플레이트의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여, 스테이지 장치를 이용하여 로드포트모듈의 개조작업을 용이하게 한다.Therefore, the shape of the detachable plate is very simple by the detachable portion 10, minimizing pre-assembly time and assembly errors, and facilitating the modification work of the loadport module using the stage device.

투입 노즐부(20)는, 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 투입수단으로서, 도 7에 나타낸 바와 같이 투입 노즐(21), 투입 연통부재(22) 및 투입 연결소켓(23)으로 이루어져 있다.The injection nozzle unit 20 is installed on one side of the detachable part 10 and is an injection means arranged to communicate with the inlet of the FOUP, and as shown in FIG. 7, the injection nozzle 21, the injection communication member 22, and It consists of an input connection socket (23).

또한, 이러한 투입 노즐부(20)로는 탈착부(10)의 타방에 설치되어, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 보조 투입 노즐(20-1)을 더 구비하여 이루어지는 것도 가능함은 물론이다.In addition, it is also possible that the injection nozzle unit 20 further includes an auxiliary injection nozzle 20-1 installed on the other side of the detachable unit 10 and communicated with the inlet of the FOUP.

투입 노즐(21)은, 풉의 투입구에 밀착되어 연통되는 노즐부재로서, 풉의 안착시 풉의 투입구와 밀착하여 연통되도록 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어져 있는 것이 바람직하다.The input nozzle 21 is a nozzle member that is in close contact with the inlet of the FOUP and communicates with it. desirable.

투입 연통부재(22)는, 탈착부(10)의 일방 양단에 설치되되 투입 노즐(21)의 하부에 연결되어 퍼지가스의 통로를 연통시키는 연통부재로서, 연통체, 연통관 및 연통홀로 이루어져 있다.The injection communication member 22 is installed at both ends of the detachable part 10 and is connected to the lower part of the injection nozzle 21 to communicate the passage of the purge gas, and is composed of a communication body, a communication pipe, and a communication hole.

연통체는, 탈착부(10)의 일방 양단에 설치되어 풉의 투입구에 연통되는 연통부재로서, 이러한 연통체의 일단에는 투입 노즐(21)을 설치하기 위한 노즐 설치홀이 형성되어 있고 타단에는 탈착부(10)의 일방 양단에 고정하기 위한 고정홀이 복수개 설치되어 있다.The communication body is a communication member installed at both ends of the detachable unit 10 and communicating with the inlet of the FOUP, and at one end of the communication body, a nozzle installation hole for installing the injection nozzle 21 is formed, and the other end is detachable A plurality of fixing holes for fixing are provided at both ends of the part 10.

연통관은, 연통체의 하부에 설치되어 연통체의 하부에 퍼지가스의 통로를 형성하는 연통부재로서, 연통체의 하부에 용접에 의해 결합되어 있고, 용접 결합 전에 투입 연통부재(22)의 내부공간을 태핑머신이나 밀링머신에 의해 정밀가공하여 통로의 정밀도를 향상시킬 수 있게 된다.The communication pipe is a communication member installed in the lower part of the communication body to form a passage for purge gas in the lower part of the communication body, and is coupled to the lower part of the communication body by welding, and is connected to the inner space of the input communication member 22 before welding. It is possible to improve the precision of the passage by precision processing by a tapping machine or a milling machine.

연통홀은, 연통관의 하부 일방에 연통 형성되어 투입 연결소켓(23)이 설치되는 연통부재로서, 연통홀의 하부 일방에는 니플 등과 같은 연결부재가 설치되어 있다.The communication hole is formed in communication with one lower side of the communication pipe and is a communication member to which the input connection socket 23 is installed, and a connection member such as a nipple is installed on one lower side of the communication hole.

투입 연결소켓(23)은, 투입 연통부재(22)의 하부 일방에 설치되어 배관을 연결시키는 연결부재로서, 투입 배관부(60)의 유연한 튜브형 배관과 연결이 용이하도록 니플 등과 같은 연결구가 설치되어 있다.The input connection socket 23 is a connecting member installed on one lower side of the input communication member 22 to connect pipes, and a connector such as a nipple is installed to facilitate connection with the flexible tubular pipe of the input pipe unit 60. have.

배출 노즐부(30)는, 탈착부(10)의 타방에 설치되어 풉의 배출구와 연통되도록 배치된 배출수단으로서, 풉의 안착시 풉의 배출구와 밀착하여 연통되도록 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어져 있는 것이 바람직하다.The discharge nozzle unit 30 is a discharge means installed on the other side of the detachable part 10 and arranged to communicate with the outlet of the foop, and when the foop is seated, it is made of non-leak rubber so as to be in close contact with the outlet of the foup. It is preferable to consist of a nozzle (Nozzle) equipped with.

이러한 투입 노즐부(20)와 배출 노즐부(30)는, 탈착부(10)의 탈부착시 노즐부위의 일체를 개별적으로 분리 및 교체가 가능하도록 노즐어셈블리(Nozzle Assembly)로 이루어져, 탈부착 작업시간을 단축시키는 동시에 작업성을 향상시킬 수 있게 된다.The input nozzle unit 20 and the discharge nozzle unit 30 are composed of a nozzle assembly so that the nozzle unit can be individually separated and replaced when the detachable unit 10 is attached or detached, thereby reducing the detachable operation time. It becomes possible to improve workability at the same time as shortening.

감지부(40)는, 탈착부(10)의 중앙부위에 설치되어 풉의 안착여부를 감지하는 감지수단으로서, 제1 감지편(41), 제2 감지편(42) 및 제3 감지편(43)의 3개 위치센서로 이루어져 3개 지점에서 풉의 안착위치를 감지하여 감지성능을 향상시키는 동시에 위치센서의 교체를 용이하게 할 수 있다.The sensing unit 40 is installed at the center of the detachable unit 10 and is a sensing means for detecting whether or not the FOUP is seated, and includes a first sensing piece 41, a second sensing piece 42, and a third sensing piece ( 43), it is possible to easily replace the position sensor while improving the sensing performance by detecting the seating position of the FOUP at three points.

제1 감지편(41)은, 탈착부(10)의 일방에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 감지하는 감지수단으로서, 위치센서의 도그(Placement Sensor Dog)를 교체하는 방식을 이용하여 스테이지(Stage)에서 이탈 우려가 없는 위치센서로 이루어져 있다.The first detecting piece 41 is installed on one side of the detachable part 10 and is a sensing means for detecting the seating of the FOUP on the top of the detachable part 10, and is a method of replacing the position sensor dog It consists of a position sensor that does not have to worry about leaving the stage by using.

제2 감지편(42)은, 탈착부(10)의 타방 일단에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 감지하는 감지수단으로서, 위치센서의 도그(Placement Sensor Dog)를 교체하는 방식을 이용하여 스테이지(Stage)에서 이탈 우려가 없는 위치센서로 이루어져 있다.The second sensing piece 42 is installed on the other end of the detachable part 10 and is a sensing means for detecting the seating of the FOUP on the top of the detachable part 10, replacing the dog of the position sensor (Placement Sensor Dog) It consists of a position sensor that has no fear of leaving the stage by using a method.

제3 감지편(43)은, 탈착부(10)의 타방 타단에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 감지하는 감지수단으로서, 위치센서의 도그(Placement Sensor Dog)를 교체하는 방식을 이용하여 스테이지(Stage)에서 이탈 우려가 없는 위치센서로 이루어져 있다.The third detecting piece 43 is installed on the other end of the detachable part 10 and is a sensing means for detecting the seating of the FOUP on the upper part of the detachable part 10, replacing the dog of the position sensor (Placement Sensor Dog) It consists of a position sensor that has no fear of leaving the stage by using a method.

따라서, 이러한 감지부(40)의 3개 지점의 각 위치센서에 의해, 탈착부(10)의 탈부착 및 개조 후에 탈착부(10)에 대한 별도의 스테이지 레벨링(Stage Leveling) 및 OHT 티칭(OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching)의 절차가 필요없게 된다.Therefore, separate stage leveling and OHT teaching (OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching) is not required.

배관 가이드부(50)는, 탈착부(10)의 측방 양단에 절곡 설치되어 투입 노즐부(20)와 배출 노즐부(30)에 연통되는 배관을 하방으로 가이드하는 배관 가이드수단으로서, 대략 단면이 "ㄷ"자 형상으로 형성된 덕트 형상의 프레임으로 이루어져 있다.The pipe guide part 50 is a pipe guide means that is bent and installed at both side ends of the detachable part 10 to guide a pipe communicating with the input nozzle part 20 and the discharge nozzle part 30 downward. It consists of a duct-shaped frame formed in a “c” shape.

이러한 배관 가이드부(50)는, 내부공간에 투입 배관부(60)와 배출 배관부(70)를 내부공간에 수납하여 외부로부터 커버링하여 외관을 수려하게 하는 동시에 배관부위를 외부의 충격으로부터 보호하게 된다.The pipe guide part 50 accommodates the input pipe part 60 and the discharge pipe part 70 in the inner space and covers them from the outside to make the appearance beautiful and at the same time protect the pipe part from external shocks. do.

따라서 이러한 배관 가이드부(50)에 의해 배관부위의 외부 노출이 없는 덕트(Duct)부위나 박스부위를 내장한 삽입형 로드포트모듈(Insert Type LPM)을 제작할 수 있게 된다.Therefore, it is possible to manufacture an insert type LPM with a built-in duct part or box part without external exposure of the pipe part by the pipe guide part 50.

투입 배관부(60)는, 투입 노즐부(20)의 투입 노즐에 각각 분기 연결되며 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 배관수단으로서, 투입 합지관(61), 제1 투입 분기관(62) 및 제2 투입 분기관(63)으로 이루어져 있다.The input pipe part 60 is branched and connected to the input nozzle of the input nozzle part 20 and is a piping means guided by the pipe guide part 50, and includes the input paper pipe 61 and the first input branch pipe 62. ) and the second input branch pipe 63.

투입 합지관(61)은, 탈착부(10)의 하부에 설치되어 가스모듈부(130)로부터 투입 노즐부(20)를 개재해서 풉의 내부에 질소가스 등과 같은 퍼지가스를 투입하는 투입관으로서, 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.The injection paper pipe 61 is installed at the lower part of the detachable part 10 and injects a purge gas such as nitrogen gas into the foo from the gas module part 130 through the injection nozzle part 20. As an injection pipe , It is possible to improve gas flow stability by maintaining flexibility and fluidity during pipe installation by using a flexible Teflon tube.

제1 투입 분기관(62)은, 투입 합지관(61)의 일방에 분기되되 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되도록 설치되는 분기관으로서, 투입 노즐부(20)의 일방 투입 노즐에 연결되어 있다.The first input branch pipe 62 is a branch pipe branched to one side of the input paper pipe 61 and installed to be guided by the pipe guide unit 50, and is connected to one side input nozzle of the input nozzle unit 20. have.

제2 투입 분기관(63)은, 투입 합지관(61)의 타방에 분기되되 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되도록 설치되는 분기관으로서, 투입 노즐부(20)의 타방 투입 노즐에 연결되어 있다.The second input branch pipe 63 is a branch pipe branched to the other side of the input paper pipe 61 and installed to be guided by the pipe guide unit 50, and is connected to the other input nozzle of the input nozzle unit 20. have.

배출 배관부(70)는, 배출 노즐부(30)의 배출 노즐에 연결되며 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 배관수단으로서, 풉의 내부공간으로부터 배출 노즐부(30)를 개재해서 풉에서 사용된 퍼지가스를 가스모듈부(130)로 배출시키게 된다.The discharge pipe part 70 is a piping means connected to the discharge nozzle of the discharge nozzle part 30 and guided by the pipe guide part 50, from the inner space of the pool through the discharge nozzle part 30 from the pool. The used purge gas is discharged to the gas module unit 130 .

이러한 배출 배관부(70)는, 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.The discharge pipe part 70 uses a flexible Teflon tube to maintain flexibility and fluidity when installing the pipe, thereby improving gas flow stability.

안착부(80)는, 탈착부(10)의 상면에 복수개 설치되어 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하는 안착수단으로서, 제1 안착편(81), 제2 안착편(82) 및 제3 안착편(83)의 3개의 안착패드로 이루어져, 3개 지점에서 풉의 안착을 안정적으로 지지하여 풉의 안착시 안정성을 향상시킬 수 있게 된다.A plurality of seating parts 80 are installed on the upper surface of the attaching part 10 to prevent shaking or sagging when the FOUP is seated, and the first seating piece 81, the second seating piece 82 and the third It is composed of three seating pads of the seating piece 83, and stably supports the seating of the foo at three points, thereby improving stability during seating of the foo.

제1 안착편(81)은, 탈착부(10)의 일방에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 안착부재로서, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하도록 풉의 일 지점을 지지하는 탄성재나 완충재로 형성된 안착편으로 이루어져 있다.The first seating piece 81 is a seating member installed on one side of the detachable portion 10 to provide seating of the foop on the upper portion of the detachable portion 10. It is composed of a seat piece formed of an elastic material or a cushioning material that supports a support point.

제2 안착편(82)은, 탈착부(10)의 타방 일단에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 안착부재로서, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하도록 풉의 다른 일 지점을 지지하는 탄성재나 완충재로 형성된 안착편으로 이루어져 있다.The second mounting piece 82 is a mounting member installed on the other end of the detachable part 10 to provide seating of the foop on the top of the detachable portion 10. It consists of a seat piece formed of an elastic material or a buffer material that supports another point.

제3 안착편(83)은, 탈착부(10)의 타방 타단에 설치되어 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 안착부재로서, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하도록 풉의 또 다른 일 지점을 지지하는 탄성재나 완충재로 형성된 안착편으로 이루어져 있다.The third mounting piece 83 is a mounting member installed at the other end of the mounting unit 10 to provide seating of the FOUP on the top of the mounting unit 10. It consists of a seat piece formed of an elastic material or a buffer material that supports another point.

또한, 이하 도면을 참고해서 본 실시예의 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈을 구체적으로 설명한다.In addition, the load port module equipped with the stage device of the present embodiment will be described in detail with reference to the drawings below.

도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈은, 본체부(110), 스테이지부(120), 가스모듈부(130), 커버부(140) 및 배관 브래킷부(150)를 포함하여 이루어져, 풉(FOUP; Front Opening Unified Pod)이 안착되는 로드포트모듈(LPM; Load Port Module)의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈이다.As shown in FIGS. 1 to 3, the load port module with the stage device of this embodiment includes a body part 110, a stage part 120, a gas module part 130, a cover part 140, and a piping bracket. It is a load port module including a unit 150 and having a stage device that is detached from the stage of a load port module (LPM) on which a front opening unified pod (FOUP) is seated.

로드포트모듈은, 반도체 제조용 웨이퍼를 담아두는 웨이퍼 용기인 풉(FOUP; Front Opening Universal Pod))의 도어를 열거나 닫으면서 반도체 공정장치의 반송실로 웨이퍼가 반송될 수 있도록 해주는 장치이다.The load port module is a device that allows wafers to be transported to a transfer room of a semiconductor processing equipment while opening or closing a door of a front opening universal pod (FOUP), which is a wafer container for holding wafers for semiconductor manufacturing.

이러한 로드포트모듈은, 스테이지부(120)에 풉이 장착되면 풉의 내부로 질소가스를 주입하고, 풉의 내부의 오염물질을 풉의 외부로 배출하여 풉에 저장되어 이송되는 웨이퍼가 오염물질로 인하여 훼손되는 것을 방지하는 구성이다.When the foop is mounted on the stage unit 120, this load port module injects nitrogen gas into the foop and discharges contaminants inside the foop to the outside of the foop, so that wafers stored and transferred in the foup become contaminants. It is a structure that prevents damage due to

본체부(110)는, 바닥에 스탠드 형으로 설치되되 반도체 공정장치의 반송실의 일방에 설치되는 박스 형상의 본체수단으로서, 웨이퍼를 수납한 풉을 안착시켜 반도체 공정장치의 반송실로 웨이퍼를 제공하게 된다.The main body unit 110 is a box-shaped main body means installed in a stand type on the floor and installed on one side of the transfer room of the semiconductor processing equipment, and provides wafers to the transfer room of the semiconductor processing equipment by seating the FOUP in which the wafers are stored do.

스테이지부(120)는, 본체부(110)의 일방에 풉이 안착되도록 돌출 형성된 스테이지수단으로서, 반도체 웨이퍼 등과 같은 기판을 수납하여 이송하는 풉이 안착되는 안착부위가 형성된 안착플레이드로 이루어지며, 반도체 웨이퍼가 수납된 풉의 이송시 풉에 퍼지가스를 투입하여 웨이퍼의 오염을 방지하는 풉의 가스공급장치인 웨이퍼 스테이션의 전방이나 하부에 설치되어 있다.The stage unit 120 is a stage means protruding from one side of the main body unit 110 so that the FOUP is seated, and is composed of a seating plate formed with a seating portion for receiving and transporting a substrate such as a semiconductor wafer. It is installed in the front or bottom of the wafer station, which is a gas supply device for the foop that prevents contamination of the wafer by injecting purge gas into the foop when transferring the foop in which wafers are stored.

또한, 이러한 스테이지부(120)의 안착플레이트의 안착부위에는 풉의 하부에 형성된 가스 투입구 및 가스 배출구의 위치에 대응하여 가스공급장치가 배치되도록 가스홀과 위치센서 등이 설치되어 있다.In addition, a gas hole, a position sensor, etc. are installed in the seating portion of the seating plate of the stage unit 120 so that a gas supply device is disposed corresponding to the positions of the gas inlet and gas outlet formed in the lower part of the FOUP.

가스모듈부(130)는, 스테이지부(120)의 하부에 설치되어 스테이지부(120)에 안착되는 풉에 퍼지가스를 제공하는 모듈수단으로서, 질소가스 등과 같은 각종 퍼지가스의 투입 및 배출을 제공하도록 각종 유공압 모듈과 펌핑 모듈 등이 설치되어 있다.The gas module unit 130 is installed below the stage unit 120 and is a module means for providing a purge gas to the FOUP seated on the stage unit 120, and provides input and discharge of various purge gases such as nitrogen gas Various hydraulic and pneumatic modules and pumping modules are installed.

커버부(140)는, 스테이지부(120)의 하부에 설치되어 가스모듈부(130)를 커버링하는 커버수단으로서, 단략 단면이 "ㄷ"자 형상으로 형성된 커버프레임으로 이루어져 스테이지부(120)의 하부 공간을 커버링하도록 본체부(110)의 하부 일방에 설치되어 있다.The cover part 140 is a cover means installed under the stage part 120 to cover the gas module part 130, and is composed of a cover frame having a cross section formed in a “c” shape, and It is installed on one side of the lower part of the body part 110 so as to cover the lower space.

배관 브래킷부(150)는, 스테이지부(120)의 하부에 설치되되 커버부(140)의 내측 양단에 설치되어 가스모듈부(130)의 측면에 배치되는 배관을 커버링하는 브래킷수단으로서, 브래킷 박스(151)와 가이드홀(152)로 이루어져 종래의 LPM 하부의 커버부(140)를 변경하거나 폐기하지 않고서 배관 브래킷부(150)에 의해 재활용 가능한 개조 방식을 적용할 수 있게 된다.The piping bracket 150 is a bracket means installed below the stage 120 and installed at both inner ends of the cover 140 to cover pipes disposed on the side surfaces of the gas module 130, the bracket box. 151 and the guide hole 152, it is possible to apply a remodeling method that can be recycled by the pipe bracket part 150 without changing or discarding the conventional cover part 140 of the lower part of the LPM.

브래킷 박스(151)는, 본체부(110)와 커버부(140) 사이에 설치된 박스 형상의 커버부재로서, 단략 단면이 "ㄷ"자 형상으로 형성된 브래킷 형상의 커버프레임으로 이루어져 스테이지부(120)의 양쪽 측면의 하부 공간을 커버링하도록 본체부(110)의 양쪽 측부에 설치되어 있다.The bracket box 151 is a box-shaped cover member installed between the body portion 110 and the cover portion 140, and is composed of a bracket-shaped cover frame formed in a "c" shape in cross section, and the stage portion 120 It is installed on both sides of the body portion 110 so as to cover the lower space of both sides of the.

가이드홀(152)은, 브래킷 박스(151)의 상부에 수평방향의 일자 형상으로 관통 형성된 홀부재로서, 여기에 배관 가이드부(50)의 전후진 슬라이딩 이동을 가이드하도록 길이방향으로 형성된 슬롯으로 이루어져 있다.The guide hole 152 is a hole member formed through a straight line in the horizontal direction on the top of the bracket box 151, and consists of a slot formed in the longitudinal direction to guide the forward and backward sliding movement of the pipe guide unit 50 therein. have.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면 탈착식 스테이지로 탈착부와 투입 노즐부와 배출 노즐부와 감지부와 배관 가이드부를 구비함으로써, 기존의 스테이지를 제거하거나 교체하지 않고서 간단하게 탈착 플레이트를 탈착하여 탈착부위의 형상이 매우 간단하여 사전 조립 시간 및 조립 오류를 최소화하여 로드포트모듈의 스테이지의 개조작업을 용이하는 동시에 개조작업의 작업시간 및 개조비용을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.As described above, according to the present invention, the detachable stage is provided with a detachable unit, an input nozzle unit, a discharge nozzle unit, a sensing unit, and a pipe guide unit, so that the detachable plate can be simply detached without removing or replacing the existing stage. The shape of is very simple, minimizing pre-assembly time and assembly errors, facilitating the remodeling work of the stage of the load port module, and at the same time providing the effect of reducing the working time and cost of the remodeling work.

또한, 배관부의 합지관과 분기관으로 유동성 있는 테프론 튜브(Teflon Tube)를 사용하여 배관 설치시 유연성 및 유동성을 유지하여 가스의 유동 안정성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by using a flexible Teflon tube as a laminated pipe and a branch pipe of the piping unit, flexibility and fluidity are maintained during piping installation, thereby providing an effect of improving gas flow stability.

또한, 탈착부의 상면에 복수개의 안착편을 설치함으로써, 탈착부에 풉의 안착시 흔들림 요동이나 처짐을 방지하는 동시에 배관부와 풉 사이의 밀착성능 및 연통성능을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by installing a plurality of seating pieces on the upper surface of the detachable unit, it is possible to prevent shaking, shaking, or sagging when the FOUP is seated on the detachable unit, and to improve the adhesion performance and communication performance between the piping unit and the FOUP.

또한, 탈착부의 하부에 배관부를 고정지지하는 고정홈을 설치함으로써, 배관의 배치위치를 다양하게 설치할 수 있고, 배관부의 유연성 및 연통성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by installing a fixing groove for fixing and supporting the pipe part in the lower part of the detachable part, various arrangement positions of the pipe can be installed, and flexibility and communication of the pipe part can be improved.

또한, 노즐부로서 탈착부의 탈부착시 노즐부위의 일체를 개별적으로 분리 및 교체가 가능하도록 노즐어셈블리(Nozzle Assembly)로 이루어져, 탈부착 작업시간을 단축시키는 동시에 작업성을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, as a nozzle part, it is composed of a nozzle assembly so that the nozzle part can be separated and replaced individually when attaching or detaching the detachable part, thereby reducing the detachable work time and providing an effect of improving workability.

또한, 감지부로서 3개 지점에 각 위치센서를 설치하여 풉의 안착을 감지함으로써, 탈착부의 탈부착 및 개조 후에 탈착부에 대한 별도의 스테이지 레벨링(Stage Leveling) 및 OHT 티칭(OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching)의 절차가 필요없어 탈착작업의 대기시간 및 작업시간을 절감할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by installing each position sensor at three points as a sensing unit to detect the seating of the FOUP, separate stage leveling and OHT teaching (OVERHEAD HOIST TRANSPORT Teaching) It provides the effect of reducing the waiting time and working time of the desorption work because there is no need for a procedure.

또한, 배관 브래킷부로서 브래킷 박스와 가이드홀로 이루어짐으로써, 종래의 LPM 하부의 커버부를 변경하거나 폐기하지 않고서 배관 브래킷부에 의해 재활용 가능한 개조 방식을 적용할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by being composed of a bracket box and a guide hole as a pipe bracket, it provides an effect of applying a remodeling method that can be reused by the pipe bracket without changing or discarding the cover of the lower part of the conventional LPM.

또한, 배관부를 배관 가이드부와 배관 브래킷부의 내부공간에 수납하여 외부로부터 커버링하여 외관을 수려하게 하는 동시에 배관부위를 외부의 충격으로부터 보호할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, the piping portion is accommodated in the inner space of the piping guide portion and the piping bracket portion and covered from the outside so as to beautify the appearance and at the same time provide an effect of protecting the piping portion from external impact.

또한, 배관 가이드부의 내부에 배관부를 내장하여 배관부의 외부 노출이 없는 덕트(Duct)부위나 박스부위를 내장한 삽입형 로드포트모듈(Insert Type LPM)을 제작할 수 있는 효과를 제공한다.In addition, by embedding the pipe part inside the pipe guide part, it provides an effect of manufacturing an insert type LPM with a built-in duct part or box part without external exposure of the pipe part.

또한, 노즐부로서 논리크 고무(Non Leak Rubber)를 장착한 노즐(Nozzle)로 이루어짐으로써, 풉의 안착시 풉의 배출구와 밀착하여 연통시킬 수 있는 효과를 제공한다.In addition, as the nozzle part is composed of a nozzle equipped with non-leak rubber, it provides an effect of being in close contact with the outlet of the poop and communicating with it when the poop is seated.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다. The present invention described above can be implemented in various other forms without departing from its technical spirit or main characteristics. Therefore, the above embodiments are mere examples in all respects and should not be construed in a limited manner.

10: 탈착부 20: 투입 노즐부
30: 배출 노즐부 40: 감지부
50: 배관 가이드부 60: 투입 배관부
70: 배출 배관부 80: 안착부
110: 본체부 120: 스테이지부
130: 가스모듈부 140: 커버부
150: 배관 브래킷부10: detachable part 20: injection nozzle part
30: discharge nozzle unit 40: detection unit
50: piping guide part 60: input piping part
70: discharge piping part 80: seating part
110: body part 120: stage part
130: gas module unit 140: cover unit
150: piping bracket

Claims (10)

로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 스테이지 장치로서,
로드포트모듈의 스테이지에 탈착되도록 설치되는 탈착부(10);
상기 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 풉의 투입구와 연통되도록 배치된 투입 노즐부(20);
상기 탈착부(10)의 타방에 설치되어, 풉의 배출구와 연통되도록 배치된 배출 노즐부(30);
상기 탈착부(10)의 중앙부위에 설치되어, 풉의 안착여부를 감지하는 감지부(40); 및
상기 탈착부(10)의 측방 양단에 절곡 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)와 상기 배출 노즐부(30)에 연통되는 배관을 하방으로 절곡해서 가이드하며, 투입 배관부(60)와 배출 배관부(70)를 함께 커버링하는 배관 가이드부(50);
상기 투입 노즐부(20)의 투입 노즐에 각각 분기 연결되며, 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되는 투입 배관부(60); 및
상기 배출 노즐부(30)에 연결되며, 상기 배관 가이드부(50)에 의해 상기 투입 배관부(60)와 함께 가이드되는 배출 배관부(70);를 포함하고,
상기 탈착부(10)는,
로드포트모듈의 스테이지에 탈착되는 탈착 플레이트;
상기 탈착 플레이트의 외곽둘레에 절곡 형성되어, 상기 탈착 플레이트의 측면 둘레와 상기 투입 배관부(60)와 상기 배출 배관부(70)를 커버링하는 측면 플레이트;
상기 탈착 플레이트의 중앙부위에 관통 형성되어, 로드포트모듈의 스테이지의 일부를 노출시키는 관통홀; 및
상기 탈착 플레이트의 일방부위에 절취 형성되어, 상기 탈착 플레이트의 탈착위치를 조절하도록 가이드하는 가이드홈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.As a stage device detachable from the stage of the load port module,
A detachable part 10 installed to be detached from the stage of the load port module;
An injection nozzle part 20 installed on one side of the detachable part 10 and arranged to communicate with the inlet of the FOUP;
A discharge nozzle unit 30 installed on the other side of the detachable unit 10 and communicated with the discharge port of the FOUP;
a detection unit 40 installed at the center of the detachable unit 10 to detect whether or not the FOUP is seated; and
It is bent and installed at both side ends of the detachable part 10 to bend downward and guide the pipe communicating with the input nozzle part 20 and the discharge nozzle part 30, and the input pipe part 60 and the discharge pipe A pipe guide portion 50 covering the portion 70 together;
input pipe parts 60 branchedly connected to the input nozzles of the input nozzle part 20 and guided by the pipe guide part 50; and
A discharge pipe part 70 connected to the discharge nozzle part 30 and guided together with the input pipe part 60 by the pipe guide part 50; includes,
The detachable part 10,
Detachable plate attached to the stage of the load port module;
a side plate bent around an outer circumference of the detachable plate and covering a side circumference of the detachable plate and the input pipe part 60 and the discharge pipe part 70;
a through hole formed through the center of the detachable plate to expose a part of the stage of the load port module; and
and a guide groove formed on one side of the detachable plate and guiding the detachable plate to adjust the detachable position. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 투입 배관부(60)는,
상기 탈착부(10)의 하부에 설치되는 투입 합지관;
상기 투입 합지관에서 일방으로 분기되되 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되도록 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)의 일방 투입 노즐에 연결되는 제1 투입 분기관; 및
상기 투입 합지관에서 타방으로 분기되되 상기 배관 가이드부(50)에 의해 가이드되도록 설치되어, 상기 투입 노즐부(20)의 타방 투입 노즐에 연결되는 제2 투입 분기관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.According to claim 1,
The input pipe part 60,
An input lamination pipe installed under the detachable part 10;
A first injection branch pipe branched in one direction from the injection paper pipe and installed to be guided by the pipe guide unit 50 and connected to the one-way injection nozzle of the injection nozzle unit 20; and
A second input branch pipe branched from the input paper pipe to the other side and installed to be guided by the pipe guide unit 50 and connected to the other input nozzle of the input nozzle unit 20; stage device. 제 1 항에 있어서,
상기 탈착부(10)의 상면에 복수개 설치되어, 풉의 안착시 요동이나 처짐을 방지하는 안착부(80);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.According to claim 1,
The stage device further comprising a plurality of mounting parts 80 installed on the upper surface of the attaching part 10 to prevent shaking or sagging when the FOUP is seated. 제 4 항에 있어서,
상기 안착부(80)는,
상기 탈착부(10)의 일방에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제1 안착편;
상기 탈착부(10)의 타방 일단에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제2 안착편; 및
상기 탈착부(10)의 타방 타단에 설치되어, 상기 탈착부(10)의 상부에 풉의 안착을 제공하는 제3 안착편;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.According to claim 4,
The seating part 80,
A first mounting piece installed on one side of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper part of the detachable part 10;
a second seating piece installed at one end of the other side of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper part of the detachable part 10; and
A stage device comprising a; third seating piece installed at the other end of the detachable part 10 to provide seating of the FOUP on the upper part of the detachable part 10. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 투입 노즐부(20)는,
풉의 투입구에 밀착되어 연통되는 투입 노즐;
상기 투입 노즐의 하부에 연결되어, 통로를 연통시키는 투입 연통부재; 및
상기 투입 연통부재의 하부 일방에 설치되어, 배관을 연결시키는 투입 연결소켓;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.According to claim 1,
The injection nozzle unit 20,
An input nozzle that is in close contact with and communicates with the inlet of the foo;
an injection communication member connected to a lower portion of the injection nozzle and communicating a passage; and
A stage device comprising a; input connection socket installed on one lower side of the input communication member to connect pipes. 제 7 항에 있어서,
상기 투입 연통부재는,
상기 탈착부(10)의 일방 양단에 설치되어, 풉의 투입구에 연통되는 연통체;
상기 연통체의 하부에 설치되어, 상기 연통체의 하부에 통로를 형성하는 연통관; 및
상기 연통관의 하부 일방에 연통 형성되어, 상기 투입 연결소켓이 설치되는 연통홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지 장치.According to claim 7,
The input communication member,
A communication body installed at both ends of the detachable part 10 and communicating with the inlet of the FOUP;
a communication tube installed at a lower portion of the communication body to form a passage in the lower portion of the communication body; and
A stage device comprising a; communication hole formed in communication with one lower side of the communication pipe and in which the input connection socket is installed. 제 1 항에 기재된 스테이지 장치를 구비한 로드포트모듈로서,
본체부(110);
상기 본체부(110)의 일방에 풉이 안착되도록 돌출 형성된 스테이지부(120);
상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되어, 풉에 퍼지가스를 제공하는 가스모듈부(130);
상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되어, 상기 가스모듈부(130)를 커버링하는 커버부(140); 및
상기 스테이지부(120)의 하부에 설치되되 상기 커버부(140)의 내측 양단에 설치되어, 상기 가스모듈부(130)의 측면에 배치되는 배관을 커버링하는 배관 브래킷부(150);를 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.A load port module having the stage device according to claim 1,
body portion 110;
A stage portion 120 protruding so that the FOUP is seated on one side of the main body portion 110;
a gas module unit 130 installed under the stage unit 120 to supply a purge gas to the foo;
a cover part 140 installed under the stage part 120 to cover the gas module part 130; and
A piping bracket 150 installed at the bottom of the stage 120 and installed at both inner ends of the cover 140 to cover the piping disposed on the side of the gas module 130; A load port module, characterized in that. 제 9 항에 있어서,
상기 배관 브래킷부(150)는,
상기 본체부(110)와 상기 커버부(140) 사이에 설치된 브래킷 박스; 및
상기 브래킷 박스의 상부에 수평방향의 일자 형상으로 관통 형성된 가이드홀;을 포함하는 것을 특징으로 하는 로드포트모듈.According to claim 9,
The pipe bracket part 150,
a bracket box installed between the body part 110 and the cover part 140; and
The load port module, characterized in that it comprises a; guide hole formed through the top of the bracket box in a straight line shape in the horizontal direction.
KR1020210040546A 2021-03-29 2021-03-29 Stage apparatus and load port module comprising the same KR102471469B1 (en)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210040546A KR102471469B1 (en) 2021-03-29 2021-03-29 Stage apparatus and load port module comprising the same
PCT/KR2021/007453 WO2022211185A1 (en) 2021-03-29 2021-06-15 Stage device and load port module comprising same
TW110125342A TWI777663B (en) 2021-03-29 2021-07-09 Stage apparatus and load port module comprising the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210040546A KR102471469B1 (en) 2021-03-29 2021-03-29 Stage apparatus and load port module comprising the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220135050A KR20220135050A (en) 2022-10-06
KR102471469B1 true KR102471469B1 (en) 2022-11-28

Family

ID=83456400

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210040546A KR102471469B1 (en) 2021-03-29 2021-03-29 Stage apparatus and load port module comprising the same

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR102471469B1 (en)
TW (1) TWI777663B (en)
WO (1) WO2022211185A1 (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014192218A (en) * 2013-03-26 2014-10-06 Tokyo Electron Ltd Wafer inspection device
KR101593386B1 (en) * 2014-09-01 2016-02-15 로체 시스템즈(주) Purge module and load port having the same

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100583726B1 (en) * 2003-11-12 2006-05-25 삼성전자주식회사 Apparatus and method for treating substrates
US8821099B2 (en) * 2005-07-11 2014-09-02 Brooks Automation, Inc. Load port module
KR100972426B1 (en) * 2008-08-25 2010-07-26 세메스 주식회사 Apparatus for fixing a pipe and apparatus for cleaning a glass including the same
JP5381054B2 (en) * 2008-12-02 2014-01-08 シンフォニアテクノロジー株式会社 Load port
JP2011187539A (en) * 2010-03-05 2011-09-22 Sinfonia Technology Co Ltd Gas charging apparatus, gas discharging apparatus, gas charging method, and gas discharging method
KR101398440B1 (en) * 2012-11-21 2014-06-19 주식회사 케이씨텍 Foup purge apparatus and substrate processing apparatus comprising the same
KR101335669B1 (en) * 2012-12-10 2013-12-03 나노세미콘(주) Load port module
EP3038147B1 (en) 2013-08-20 2021-03-24 Murata Machinery, Ltd. Gas purge device and gas purge method
KR101748361B1 (en) * 2015-04-29 2017-06-19 (주)젠스엠 Apparatus for supplying gas for wafer container
TW202429615A (en) * 2015-08-04 2024-07-16 日商昕芙旎雅股份有限公司 Door opening/closing system, and load port equipped with door opening/closing system
KR101852323B1 (en) * 2016-07-05 2018-04-26 로체 시스템즈(주) Jig for purge module and purge module including the same
KR102656883B1 (en) 2018-10-31 2024-04-12 세메스 주식회사 Substrate stage and apparatus for inspecting display cells having the same

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014192218A (en) * 2013-03-26 2014-10-06 Tokyo Electron Ltd Wafer inspection device
KR101593386B1 (en) * 2014-09-01 2016-02-15 로체 시스템즈(주) Purge module and load port having the same

Also Published As

Publication number Publication date
TWI777663B (en) 2022-09-11
KR20220135050A (en) 2022-10-06
TW202238777A (en) 2022-10-01
WO2022211185A1 (en) 2022-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102539404B1 (en) Substrate processing apparatus
JP6291878B2 (en) Load port and EFEM
KR101852323B1 (en) Jig for purge module and purge module including the same
US11630392B2 (en) Substrate processing apparatus
US20070151620A1 (en) Lid opening/closing system of an airtight container
US20040055650A1 (en) Wafer container
TW201633436A (en) Door opening and closing apparatus, transfer apparatus, and storage container opening method
KR20060048151A (en) Stocker for semiconductor substrates, storage method therefor and fabrication method therefor using the same
TW201641387A (en) Door opening and closing device, transport device, sorter device, and docking method for container
JP2006228808A (en) Apparatus and method of transporting substrate, and semiconductor fabrication apparatus
KR20100062392A (en) Equipment for manufacturing semiconductor devices and manufacturing method at the same
KR102471469B1 (en) Stage apparatus and load port module comprising the same
KR101147283B1 (en) Apparatus for loading/unloading substrat and method for loading/unloading substrat
WO2017169847A1 (en) Load port
KR102092153B1 (en) Holding equipment for front opening unified pod of load port module and method holding using therof
JPH10270530A (en) Substrate carrying and processing device
JP3521330B2 (en) Substrate transfer processing equipment
US7694498B2 (en) Gas filling apparatus and gas filling port thereof
KR20030002996A (en) Substrate Receiving Container, Substrate Conveying System and Gas Replacing Method
EP3499555B1 (en) Load port and wafer transfer method
KR0167478B1 (en) Cleaning apparatus
JP7125591B2 (en) Loadport and EFEM
KR102374274B1 (en) Load port and wafer transfer method
KR101848700B1 (en) Automated apparatus for foup
JP2018110246A (en) Efem(equipment front end module)

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant