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KR102009321B1 - 표시장치용 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 - Google Patents

표시장치용 터치 스크린 패널 및 그 제조방법 Download PDF

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KR102009321B1
KR102009321B1 KR1020120118551A KR20120118551A KR102009321B1 KR 102009321 B1 KR102009321 B1 KR 102009321B1 KR 1020120118551 A KR1020120118551 A KR 1020120118551A KR 20120118551 A KR20120118551 A KR 20120118551A KR 102009321 B1 KR102009321 B1 KR 102009321B1
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screen panel
display device
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김철호
국윤호
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엘지디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 표시장치용 터치 스크린 패널에 관한 것으로, 특히 두께와 무게를 줄이고 수율을 높일 수 있는 표시장치용 터치 스크린 패널에 관한 것으로, 기판의 일면 상에 제 1 방향으로 배열되는 복수의 제 1 전극들; 상기 복수의 제 1 전극을 커버하며, 상기 복수의 제 1 전극의 각각의 일부분을 노출시키는 콘택홀을 구비하는 절연층; 상기 절연층 상에 형성되며, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 배열되는 복수의 제 2 전극들; 및 상기 기판의 일면과 반대측의 타면 상에 형성되는 하드 코팅층을 포함하며, 상기 절연층은 상기 하드 코팅층과 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

표시장치용 터치 스크린 패널 및 그 제조방법{TOUCH SCREEN PANEL FOR DISPLAY DEVICE AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 표시장치용 터치 스크린 패널에 관한 것으로, 특히 두께와 무게를 줄이고 수율을 높일 수 있는 표시장치용 터치 스크린 패널 및 그 제조방법에 관한 것이다.
최근, 키보드, 마우스, 트랙볼, 조이스틱, 디지타이저(digitizer) 등의 다양한 입력장치(Input Device)들이 사용자와 가전기기 또는 각종 정보통신기기 사이의 인터페이스를 구성하기 위해 사용되고 있다. 그러나 상술한 바와 같은 입력장치를 사용하는 것은 사용법을 익혀야 하고 공간을 차지하는 등의 불편을 야기하여 제품의 완성도를 높이기 어려운 면이 있었다. 따라서, 편리하면서도 간단하고 오작동을 감소시킬 수 있는 입력장치에 대한 요구가 날로 증가되고 있다. 이와 같은 요구에 따라 사용자가 손이나 펜 등으로 화면과 직접 접촉하여 정보를 입력하는 터치 스크린 패널(touch screen panel)이 제안되었다.
터치 스크린 패널은 간단하고, 오작동이 적으며, 별도의 입력기기를 사용하지 않고도 입력이 가능할 뿐 아니라 사용자가 화면에 표시되는 내용을 통해 신속하고 용이하게 조작할 수 있다는 편리성 때문에 다양한 표시장치에 적용되고 있다.
터치 스크린 패널은 터치된 부분을 감지하는 방식에 따라, 상판 또는 하판에 금속 전극을 형성하여 직류전압을 인가한 상태에서 터치된 위치를 저항에 따른 전압 구배(voltage gradient)로 판단하는 저항막 방식(resistive type), 도전막에 등전위를 형성하고 터치에 따른 상하판의 전압 변화가 일어난 위치를 감지하여 터치된 부분을 감지하는 정전용량 방식(capacitive type), 전자펜이 도전막을 터치함에 따라 유도되는 LC값을 읽어들여 터치된 부분을 감지하는 전자 유도 방식(electromagnetic type) 등으로 구별될 수 있으며, 그 외에도 광학 방식, 초음파 방식 등이 알려져 있다.
이와 같은 터치감지 방법 중, 저항막 방식은 상부 기판 상에 터치가 이루어져 터치 압력이 가해지면 상, 하기판의 투명 도전막이 기계적으로 접촉하게 되는데, 이 때 상대 기판의 접촉점에 형성된 X축, Y축의 전위를 감지하여 터치위치를 검출한다. 이러한 저항막 방식에 의하면 기계적 접촉이 수반되므로 상대적으로 정확한 터치위치를 감지할 수 있는 이점이 있지만, 터치된 X축과 Y축 위치의 전위를 감지한 전위값에 의해 간접적으로 터치위치를 검출하므로 아날로그 디지털 컨버터(ADC, Analog Digital Converter)가 반드시 필요하고 접촉력이 작은 경우에는 터치위치를 감지하기 어려운 문제점이 있다.
이에 대해, 정전용량 방식은 X축 전극패턴들과 Y축 전극패턴들을 교차시켜 매트릭스를 형성하고, 매트릭스 상의 임의의 위치에서 터치가 이루어지는 경우, 정전용량이 변화되는 매트릭스 상의 X축과 Y축의 좌표를 찾아내어 터치 위치를 검출하므로 접촉력이 작은 경우에도 터치위치를 감지할 수 있는 이점이 있다.
이하, 도 1을 참조하여 종래의 표시장치용 정전용량 방식 터치 스크린 패널에 대해 설명하기로 한다.
도 1은 종래의 표시장치용 터치 스크린 패널이 표시장치에 적용된 상태를 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 터치 스크린 패널(TP)은 투명 기판(10) 상의 일면에 형성되는 복수의 구동 전극들(TS)과, 투명 기판(10)의 타면 상에 형성되며, 복수의 구동전극들(TS)과 교차하는 복수의 센싱 전극들(RS)을 포함한다. 이와 같이 형성된 터치 스크린 패널(TP)의 상면(센싱 전극들(RS)이 형성된 면)에는 제 1 접착제(A1)에 의해 윈도우 커버(W)가 부착되고, 터치 스크린 패널(TP)의 하면(구동 전극들(TS)이 형성된 면)에는 제 2 접착제(A2)에 의해 표시장치(DP)가 부착된다.
그러나, 상술한 종래의 터치 스크린 패널(TP)은 투명 기판의 양면에 각각 형성되며 서로 교차하도록 형성되는 구동 전극들 및 센싱 전극들을 제작한 후, 이를 윈도우 커버(W)에 부착하지 않으면 안되었었다. 따라서, 윈도우 커버(W)의 두께 및 무게만큼 전체 두께와 무게가 증가한다는 문제점과, 터치 스크린 패널을 윈도우 커버에 접착시키기 위해 OCA(Optical Clear Adhesive)와 같은 접착필름이 부가적으로 필요하다는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상술한 문제점을 해소하기 위한 것으로, 터치 스크린 패널의 기판으로 플라스틱계 물질을 사용하고, 구동전극과 센싱전극의 절연층으로서 광경화성 수지를 사용함으로써 터치 스크린 패널의 전체 두께와 무게를 줄이고 나아가 수율을 높일 수 있는 표시장치용 터치 스크린 패널을 제공하기 위한 것이다.
상기 목적 달성을 위한 본 발명에 따르는 표시장치용 터치 스크린 패널은 기판의 일면 상에 제 1 방향으로 배열되는 복수의 제 1 전극들; 상기 복수의 제 1 전극을 커버하며, 상기 복수의 제 1 전극의 각각의 일부분을 노출시키는 콘택홀을 구비하는 절연층; 상기 절연층 상에 형성되며, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 배열되는 복수의 제 2 전극들; 및 상기 기판의 일면과 반대측의 타면 상에 형성되는 하드 코팅층을 포함하며, 상기 절연층은 상기 하드 코팅층과 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 목적 달성을 위한 본 발명에 따르는 표시장치용 터치 스크린 패널의 제조방법은 기판의 일면 상에 제 1 방향으로 배열되는 복수의 제 1 전극들을 형성하는 단계; 상기 복수의 제 1 전극을 커버하도록 절연층을 형성하고, 상기 복수의 제 1 전극의 각각의 일부분을 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 절연층 상에 형성되며, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 배열되는 복수의 제 2 전극들을 형성하는 단계; 상기 기판의 일면과 반대측의 타면 상에 하드 코팅층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 절연층은 상기 하드 코팅층과 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 표시장치용 터치 스크린 패널에서 상기 절연층과 상기 하드 코팅층은 자외선 경화형 수지 또는 열 경화성 수지로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명의 표시장치용 터치 스크린 패널은 상기 절연층 상에서 상기 복수의 제 2 전극들에 접속하지 않도록 형성되며, 상기 콘택홀을 통해 노출된 상기 복수의 제 1 전극들에 각각 접속되는 복수의 제 1 라우팅 배선들과, 상기 절연층 상에서 상기 제 1 라우팅 배선들에 접속하지 않도록 형성되며, 상기 복수의 제 2 전극들에 각각 접속된 복수의 제 2 라우팅 배선들을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 터치 스크린 패널은 상기 콘택홀 내에서 상기 제 1 라우팅 배선상에 형성되는 도전성 보조패턴을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 기판은 플라스틱계 물질로 형성되고, 상기 복수의 제 1 전극들의 각각은 복수의 제 1-1 금속라인들과 복수의 제 1-2 금속라인들의 교차에 의해 메쉬형으로 형성되는 메쉬 패턴이고, 상기 복수의 제 2 전극들의 각각은 복수의 제 2-1 금속라인들과 복수의 제 2-2 금속라인들의 교차에 의해 메쉬형으로 형성되는 메쉬 패턴인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 구성에서 상기 기판은 플라스틱계 물질로 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 전극들은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indioum Zinc Oxide), GZO(Gallium-doped Zinc Oxide)로 이루어지는 투명 도전성 물질로 부터 선택되며, 상기 제 1 및 제 2 라우팅 배선들은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금들로 이루어지는 금속물질로부터 선택되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 절연층에 상기 콘택홀을 형성하는 단계는 CO2 레이저 드릴 방법(laser drill method), 스크린 프린팅 방법(screen printing method), 임프린팅 방법(imprinting method), 드라이 필름 레지스트 라미네이션(dry film resist lamination) 합착 방법, EHD 방법(Electrohydro-dynamic method) 중의 어느 하나의 방법을 이용하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널은 종래의 표시장치용 터치 스크린 패널에 반드시 필요했던 윈도우 커버(W)와, 터치 스크린 패널을 윈도우 커버에 접착시키기 위한 접착필름을 생략할 수 있어 윈도우 커버와 접착필름의 두께 및 무게에 해당하는 만큼 전체 두께와 무게를 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한, 플라스틱계 물질로 된 기판을 사용함으로써 구동전극 및 센싱전극을 형성할 때 기판 내열성 문제와 저온 절연막 등의 문제가 제기될 수 있으나, 이는 잉크젯 방법, 레이저 드릴방법, 스크린 프린팅 방법, 임프린트 방법, EHD 방법 등에 의해 해결할 수 있으므로 종래에 비해 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 표시장치용 터치 스크린 패널이 표시장치에 적용된 상태를 도시한 단면도,
도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 평면도,
도 2b는 도 2a에 도시된 터치 스크린 패널의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도,
도 3a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 평면도,
도 3b는 도 3a에 도시된 터치 스크린 패널의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도,
도 4a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 평면도,
도 4b는 도 4a에 도시된 터치 스크린 패널의 II-II' 라인을 따라 취한 단면도,
도 5a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 구동전극을 형성하기 위한 공정을 도시한 평면도,
도 5b 및 도 5c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 센싱전극을 형성하기 위한 공정을 도시한 단면도로서, 도 5a의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도,
도 6a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 센싱전극의 일부를 노출시키는 콘택홀을 구비하는 절연층을 형성하기 위한 공정을 도시한 평면도,
도 6b 내지 도 6d 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 센싱전극의 일부를 노출시키는 콘택홀을 구비하는 절연층을 형성하기 위한 공정을 도시한 단면도로서, 도 6a의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도,
도 7a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 제 1 라우팅 배선들, 구동전극, 제 2 라우팅 배선들을 형성하기 위한 공정을 도시한 평면도,
도 7b 내지 도 7c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 제 1 라우팅 배선들, 구동전극, 제 2 라우팅 배선들을 형성하기 위한 공정을 도시한 단면도로서, 도 7a의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도,
도 8a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 하드 코팅층을 형성하기 위한 공정을 도시한 평면도,
도 8b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 하드 코팅층을 형성하기 위한 공정을 도시한 단면도로서, 도 8a의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도,
도 9a 내지 9c는 도 6b 내지 도 6d 의 공정에 의해 형성된 콘택 홀을 형성한 후, 추가적으로인 도전성 보조패턴을 형성한 도면으로서, 도 9a 및 도 9b는 도 6c 의 공정에 의해 형성된 비관통형 콘택홀에 도전성 보조패턴을 형성한 단면도 및 사진, 도 9c 는 도 6d 의 공정에 의해 형성된 관통형 콘택홀에 도전성 보조패턴을 형성한 사진.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 실질적으로 동일한 구성요소들을 의미한다.
도 2a 및 도 2b를 참조하여 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널에 대해 설명하기로 한다. 도 2a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 평면도이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 터치 스크린 패널의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널은 전극부(A), 라우팅 배선부(B) 및 패드부(C)를 포함한다.
전극부(A)는 기판(100)의 일면 상에 형성되는 복수의 제 1 전극들(RS) 또는 센싱전극들(RS)(이하, 제 1 전극들이라 함)과, 절연층(HC1)을 사이에 두고 상기 복수의 제 1 전극들(RS)과 교차하도록 형성되는 복수의 제 2 전극들(TS) 또는 구동전극들(TS)(이하, 제 2 전극들이라 함)과, 기판의 타면 상에 형성되는 하드 코팅층(HC2)을 포함한다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 제 1 전극들(RS)은 기판(100)의 1면 상에 형성되며, 제 1 방향(예컨대, Y축 방향)으로 나란하게 배열된다. 복수의 제 2 전극들(TS)은 제 1 전극들(RS)을 커버하도록 형성되는 절연층(HC1) 상에 형성되고, 상기 제 1 전극들(RS)과 교차하는 제 2 방향(예컨대, X축 방향)으로 나란하게 배열된다. 즉, 터치 스크린 패널을 구성하는 제 1 및 제 2 전극들(RS, TS)은 기판(100)의 한쪽에 형성되어 절연층(HC1)에 의해 전기적으로 서로 절연되고, 기판(100)의 다른 쪽에는 절연층(HC1)과 동일한 재료의 하드 코팅층(HC2)이 형성된다.
본 발명의 실시예에 따른 터치 스크린 패널에서 기판(100)은 PET와 같은 연성의 플라스틱계 물질로 형성되며, 제 1 및 제 2 전극들(RS, TS)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indioum Zinc Oxide), GZO(Gallium-doped Zinc Oxide), 금속 나노와이어(metal Nano Wire), 또는 탄소 계열 투명 전극들과 같은 투명 도전성 물질로 형성된다. 절연층(HC1)과 하드 코팅층(HC2)은 광 경화성이 우수한 일반 자외선 경화형 수지, 나노 실리카 혼합 자외선 경화형 수지, SSQ기반 자외선 경화형 수지와 같은 자외선 경화형 수지로 형성되나, 열 경화형 수지로 형성될 수도 있다. 일반 자외선 경화형 수지는 다음의 구조식 1과 같은 화학구조된다. 일반 자외선 경화형 수지는 다음의 구조식 1과 같은 화학구조를 갖고, 나노 실리카 혼합 자외선 경화형 수지는 구조식 2와 같은 화학구조를 가지며, SSQ(Silsesquioxane)기반 자외선 경화형 수지는 구조식 3과 같은 화학구조를 갖는다.
[구조식 1]
Figure 112012086861444-pat00001
[구조식 2]
Figure 112012086861444-pat00002
[구조식 3]
Figure 112012086861444-pat00003
라우팅 배선부(B)는 기판(100)의 전극부(A) 외곽에서 절연층(HC1) 상에 형성되는 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)과 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW2)을 포함한다. 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)은 절연층(HC1)의 콘택홀(CH)를 통해 노출된 복수의 제 1 전극들(RS)과 각각 연결되고, 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW2)은 절연층(HC1) 상에 형성된 복수의 제 2 전극들(TS)과 각각 직접 연결된다. 제 1 및 제 2 라우팅 배선들(RW1, RW2)이 형성된 영역에 대응하는 기판(100)의 타면에는 전극부(A)로부터 연장되는 하드 코팅층(HC2)이 형성된다. 제 1 및 제 2 라우팅 배선들(RW1, RW2)은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금들과 같은 금속물질로 형성된다.
패드부(C)는 기판(100)의 라우팅 배선부(B)에 인접하여 형성되는 복수의 제 1 패드들(RP1)과, 복수의 제 2 패드들(RP2)을 포함한다. 복수의 제 1 패드들(RP1)은 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)을 통해 복수의 제 1 전극들(RS)과 각각 접속되고, 복수의 제 2 패드들(RP2)은 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW2)을 통해 복수의 제 2 전극들(TS)과 각각 접속된다. 제 1 및 제 2 패드들(RP1, RP2) 또한 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금들과 같은 금속물질로 형성된다.
다음으로, 도 3a 및 도 3b를 참조하여 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널에 대해 설명하기로 한다. 도 3a는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 평면도이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 터치 스크린 패널의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널은 전극부(A), 라우팅 배선부(B) 및 패드부(C)를 포함한다.
전극부(A)는 기판(100)의 일면 상에 형성되는 복수의 제 1 전극들(RS) 또는 센싱전극들(RS)(이하, 제 1 전극들이라 함)과, 절연층(HC1)을 사이에 두고 상기 복수의 제 1 전극들(RS)과 교차하도록 형성되는 복수의 제 2 전극들(TS) 또는 구동전극들(TS)(이하, 제 2 전극들이라 함)과, 기판의 타면 상에 형성되는 하드 코팅층(HC2)을 포함한다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 제 1 전극들(RS)은 기판(100)의 1면 상에 형성되며, 제 1 방향(예컨대, Y축 방향)으로 나란하게 배열된다. 복수의 제 2 전극들(TS)은 제 1 전극들(RS)을 커버하도록 형성되는 절연층(HC1) 상에 형성되고, 상기 제 1 전극들(RS)과 교차하는 제 2 방향(예컨대, X축 방향)으로 나란하게 배열된다. 즉, 터치 스크린 패널을 구성하는 제 1 및 제 2 전극들(RS, TS)은 기판(100)의 한쪽에 형성되어 절연층(HC1)에 의해 전기적으로 서로 절연되고, 기판(100)의 다른 쪽에는 절연층(HC1)과 동일한 재료의 하드 코팅층(HC2)이 형성된다.
복수의 제 1 전극들(RS)의 각각은 복수의 제 1-1 금속라인들(Rx1)과 복수의 제 1-2 금속라인들(Rx2)의 교차에 의해 메쉬형으로 형성되는 메쉬 패턴이고, 복수의 제 2 전극들(TS)의 각각은 복수의 제 2-1 금속라인들(Tx1)과 복수의 제 2-2 금속라인들(Tx2)의 교차에 의해 메쉬형으로 형성되는 메쉬 패턴이다.
본 발명의 제 2 실시예에서는 제 1 및 제 2 전극들(TS, RS)의 메쉬 패턴들은 전극라인들을 조합하여 형성될 수 있으므로, 다양한 형상으로 제조할 수 있다. 예컨대, 도 3a에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에서는 메쉬 패턴이 스트라이프(stripe) 형태를 갖는 것으로 도시되어 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 삼각형, 사각형, 다이아몬드형, 다각형, 원형, 타원형, 잠자리(dragonfly) 등의 형상이나 이들이 조합된 형상을 갖도록 형성될 수 있다.
한편, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 터치 스크린 패널에서 기판(100)은 PET와 같은 연성의 플라스틱계 물질로 형성되며, 제 1 및 제 2 전극들(RS, TS)의 제 1-1 및 제 1-2 금속라인들(Rx1, RX2) 및 제 2-1 및 제 2-2 금속라인들(Tx1, Tx2)은 각각 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금들과 같은 금속물질로 형성된다. 또한, 절연층(HC1)과 하드 코팅층(HC2)은 제 1 실시예와 마찬가지로 광 경화성이 우수한 일반 자외선 경화형 수지, 나노 실리카 혼합 자외선 경화형 수지, SSQ기반 자외선 경화형 수지와 같은 자외선 경화형 수지로 형성되나, 열 경화형 수지로 형성될 수도 있다.
라우팅 배선부(B)는 기판(100)의 전극부(A) 외곽에서 절연층(HC1) 상에 형성되는 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)과 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW2)을 포함한다. 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)의 각각은 절연층(HC1)의 콘택홀(CH)를 통해 노출된 복수의 제 1 전극들(RS)의 각각의 제 1-1 금속라인(Rx1)과 제 1-2 금속라인(Rx2) 중의 적어도 하나와 각각 연결되고, 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW)의 각각은 절연층(HC1) 상에 형성된 복수의 제 2 전극들(TS)의 각각의 제 2-1 금속라인(Tx1)과 제 2-2 금속라인(Tx2) 중의 적어도 하나와 직접 연결된다. 제 1 및 제 2 라우팅 배선들(RW1, RW2)이 형성된 영역에 대응하는 기판(100)의 타면에는 전극부(A)로부터 연장되는 하드 코팅층(HC2)이 형성된다. 제 1 및 제 2 라우팅 배선들(RW1, RW2)은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금들과 같은 금속물질로 형성된다.
패드부(C)는 기판(100)의 라우팅 배선부(B)에 인접하여 형성되는 복수의 제 1 패드들(RP1)과, 복수의 제 2 패드들(RP2)을 포함한다. 복수의 제 1 패드들(RP1)의 각각은 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)을 통해 복수의 제 1 전극들(RS)의 각각의 제 1-1 금속라인(Rx1)과 제 1-2 금속라인(Rx2) 중의 적어도 하나와 각각 연결되고, 복수의 제 2 패드들(RP2)의 각각은 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW2)을 통해 복수의 제 2 전극들(TS)의 각각의 제 2-1 금속라인(Tx1)과 제 2-2 금속라인(Tx2) 중의 적어도 하나와 각각 접속된다. 제 1 및 제 2 패드들(RP1, RP2) 또한 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금들과 같은 금속물질로 형성된다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널에 의하면, 터치 전극을 비저항이 낮은 금속물질을 이용하여 형성하므로, 저항과 캐패시턴스가 감소되어 시정수(time constant)가 감소되므로 터치 감도를 향상시킬 수 있는 효과가 있으며, 터치 스크린 패널의 대형화에도 유리한 이점이 있다.
다음으로, 도 4a 및 도 4b를 참조하여 본 발명의 제 3 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널에 대해 설명하기로 한다. 도 4a는 본 발명의 제 3 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 평면도이고, 도 4b는 도 4a에 도시된 터치 스크린 패널의 II-II' 라인을 따라 취한 단면도이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널은 전극부(A), 라우팅 배선부(B) 및 패드부(C)를 포함한다.
전극부(A)는 기판(200)의 일면 상에 형성되는 복수의 제 1 전극들(RS) 또는 센싱전극들(RS)(이하, 제 1 전극들이라 함)과, 절연층(HC1)을 사이에 두고 상기 복수의 제 1 전극들(RS)과 교차하도록 형성되는 복수의 제 2 전극들(TS) 또는 구동전극들(TS)(이하, 제 2 전극들이라 함)과, 기판(200)의 타면 상에 형성되는 하드 코팅층(HC2)을 포함한다.
복수의 제 1 전극들(RS)은 기판(200) 상에 형성되며, 제 1 방향(예컨대, Y축 방향)으로 나란하게 배열된다. 제 1 전극들(RS)의 각각은 삼각형, 사각형, 마름모꼴, 다각형, 원형, 타원형 등의 형상을 갖는 제 1 전극패턴들(131)과, 서로 이웃하는 제 1 전극패턴들(131)을 연결하는 제 1 연결부들(132)을 포함한다. 각각의 제 1 전극(RS)을 구성하는 제 1 전극패턴들(131)과 제 1 연결부들(132)은 일체로 형성된다. 본 발명의 제 3 실시예에서, 복수의 제 1 전극들(RS)은 터치 센싱을 위한 센싱전극으로서 기능하나, 이들을 터치 구동을 위한 구동전극으로서 기능하도록 구성할 수도 있다.
복수의 제 2 전극들(TS)은 제 1 전극들(RS)을 커버하도록 형성되는 절연층(HC1) 상에 형성되고, 상기 제 1 전극들(RS)과 교차하는 제 2 방향(예컨대, X축 방향)으로 나란하게 배열된다. 제 2 전극들(TS)의 각각은 제 1 전극패턴들(131)과 유사한 삼각형, 사각형, 마름모꼴, 다각형, 원형, 타원형, 또는 이들의 형상을 조합한 형상을 갖는 제 2 전극패턴들(133)과, 서로 이웃하는 제 2 전극패턴들(133)을 연결하는 제 2 연결부들(134)을 포함한다. 각각의 제 2 전극(TS)을 구성하는 제 2 전극패턴들(133)과 제 2 연결부들(134)은 일체로 형성된다. 본 발명의 제 3 실시예에서, 복수의 제 2 전극들(TS)은 터치 구동을 위한 구동전극으로서의 기능을 하나, 이들을 터치 센싱을 위한 센싱전극으로서 기능하도록 구성할 수도 있다. 다만, 복수의 제 1 전극들(RS)이 센싱전극으로 동작하면, 복수의 제 2 전극들(TS)은 구동전극으로 동작하고, 복수의 제 1 전극들(RS)이 구동전극으로 동작하면, 복수의 제 2 전극들(TS)은 센싱전극으로 동작하도록 형성된다. 이하, 본 발명의 제 3 실시예에서는 복수의 제 1 전극들(RS)은 센싱전극으로 동작하고, 복수의 제 2 전극들(TS)은 구동전극으로 동작하는 것으로 설명한다.
따라서, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 터치 스크린 패널을 구성하는 제 1 및 제 2 전극들(RS, TS)은 모두 기판(200)의 한쪽에 형성되어 절연층(HC1)에 의해 전기적으로 서로 절연되고, 기판(200)의 다른 쪽에는 절연층(HC1)과 동일한 재료의 하드 코팅층(HC2)이 형성된다.
또한, 본 발명의 제 3 실시예에 따른 터치 스크린 패널에 있어서도, 제 1 실시예에 따른 터치 스크린과 마찬가지로, 기판(200)은 PET와 같은 연성의 플라스틱계 물질로 형성되며, 제 1 및 제 2 전극들(RS, TS)은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indioum Zinc Oxide), GZO(Gallium-doped Zinc Oxide), 금속 나노와이어(metal Nano Wire), 또는 탄소 계열 투명 전극들과 같은 투명 도전성 물질로 형성되고, 절연층(HC1)은 광 경화성이 우수한 일반 자외선 경화형 수지, 나노 실리카 혼합 자외선 경화형 수지, SSQ기반 자외선 경화형 수지와 같은 자외선 경화형 수지로 형성되거나, 열 경화형 수지로 형성될 수 있다.
라우팅 배선부(B)는 기판(200)의 전극부(A) 외곽에서 절연층(HC1) 상에 형성되는 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)과 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW2)을 포함한다. 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)은 절연층(HC1)의 콘택홀(CH)를 통해 노출된 복수의 제 1 전극들(RS)과 각각 연결되고, 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW2)은 절연층(HC1) 상에 형성된 복수의 제 2 전극들(TS)과 각각 직접 연결된다. 제 1 및 제 2 라우팅 배선들(RW1, RW2)이 형성된 영역에 대응하는 기판(200)의 타면에는 전극부(A)로부터 연장되는 하드 코팅층(HC2)이 형성된다. 제 1 및 제 2 라우팅 배선들(RW1, RW2)은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금과 같은 금속물질로 형성된다.
패드부(C)는 기판(200)의 라우팅 배선부(B)에 인접하여 형성되는 복수의 제 1 패드들(RP1)과, 복수의 제 2 패드들(RP2)을 포함한다. 복수의 제 1 패드들(RP1)은 복수의 제 1 라우팅 배선들(RW1)을 통해 복수의 제 1 전극열들(RS)과 각각 접속되고, 복수의 제 2 패드들(RP2)은 복수의 제 2 라우팅 배선들(RW2)을 통해 복수의 제 2 전극열들(TS)과 각각 접속된다. 제 1 및 제 2 패드들(RP1, RP2) 또한 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금과 같은 금속물질로 형성된다.
다음으로, 도 5a 내지 도 7c를 참조하여, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 제조방법에 대해 설명하기로 한다.
도 5는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 구동전극을 형성하기 위한 공정을 도시한 평면도이고, 도 5b 및 도 5c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 센싱전극을 형성하기 위한 공정을 도시한 단면도로서, 도 5a의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도이다.
도 5a 내지 도 5c를 참조하면, PET와 같은 플라스틱계 물질로 된 기판(100)의 일면 상에 제 1 투명 도전층을 형성한 후 이를 패터닝하여 도 5a에 도시된 바와 같이 제 1 방향(예컨대, Y축 방향)으로 나란하게 배열되는 복수의 제 1 전극들(RS) 또는 센싱전극들(RS)(이하, 제 1 전극들이라 함)을 형성한다. 한편, 복수의 제 1 전극들(RS)은 잉크젯 장치를 이용한 잉크젯 방법에 의해 기판(100)의 일면 상에 형성될 수도 있다. 제 1 투명 도전층은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indioum Zinc Oxide), GZO(Gallium-doped Zinc Oxide), 금속 나노 와이어, 탄소 계열 투명 전극들 같은 투명 도전성 물질로 형성된다.
다음으로 도 5c에 도시된 바와 같이 제 1 전극(RS)의 소정 영역에 희생막(SF)을 형성한다. 희생막(SF)은 후술하는 절연층의 콘택홀이 형성되는 위치에 형성되어, 콘택홀을 형성할 때 제 1 전극(RS)이 손상되는 것을 방지하기 위한 것으로, 본 발명의 필수적인 구성요소는 아니다. 따라서, 희생막(SF)은 필요에 따라 형성하지 않아도 상관없다.
도 6a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 센싱전극의 일부를 노출시키는 제 1 콘택홀을 구비하는 절연층을 형성하기 위한 공정을 도시한 평면도이고, 도 6b 내지 도 6d는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 센싱전극의 일부를 노출시키는 제 1 콘택홀을 구비하는 절연층을 형성하기 위한 공정을 도시한 단면도로서, 도 6a의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도이다.
도 6a 및 도 6b를 참조하면, 제 1 전극들(RS)이 형성된 기판(100)의 전면 상에 제 1 전극(RS)의 일부분이 노출되도록 콘택홀(CH)이 형성된 절연층(HC1)이 형성된다.
이를 보다 구체적으로 설명하면, 도 6b에 도시된 바와 같이, 제 1 전극들(RS)과 희생층(SF)이 형성된 기판(100)의 전면 상에 광 경화성이 우수한 일반 자외선 경화형 수지, 나노 실리카 혼합 자외선 경화형 수지, SSQ(Silsesquioxane)기반 자외선 경화형 수지와 같은 자외선 경화형 수지가 절연층(HC1)으로서 도포되나, 열 경화형 수지가 도포될 수도 있다.
그리고, 도 6c에 도시된 바와 같이 제 1 전극(RS)의 일부분이 노출되도록 콘택홀(CH)을 형성하거나, 절연층, 제 1 전극, 및 기판(100)을 관통하는 관통공(TH)이 형성된다. 도 6c는 희생막(SF)이 콘택홀(CH) 또는 관통공(TH) 형성 단계에서 제거된 상태를 보여주고 있으며, 도 6d와 같이 관통공(TH)을 형성할 경우에는 희생막(SF)을 처음부터 형성하지 않아도 좋다.
절연층(HC1)에 콘택홀(CH) 또는 관통공(TH)을 형성하기 위한 방법으로서 포토리소그래피 방법을 이용하는 것도 가능하나, 본 발명의 절연층(HC1)으로 이용되는 자외선 경화형 수지 또는 열 경화형 수지의 특성상 CO2 레이저 드릴 방법(laser drill method), 스크린 프린팅 방법(screen printing method), 임프린팅 방법(imprinting method), 드라이 필름 레지스트 라미네이션(dry film resist lamination) 합착 방법, EHD 방법(Electrohydro-dynamic method) 등을 이용하여 절연층(HC1)에 콘택홀(CH)을 형성하는 것이 바람직하다.
도 7a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 제 1 라우팅 배선들, 구동전극, 제 2 라우팅 배선 및 하드코팅층을 형성하기 위한 공정을 도시한 평면도이고, 도 7b 내지 도 7c는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 제 1 라우팅 배선들, 구동전극, 제 2 라우팅 배선들을 형성하기 위한 공정을 도시한 단면도로서, 도 7a의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도,
도 7a 및 도 7b를 참조하면, 콘택홀(CH)이 형성된 절연층(CH1) 상에 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr과 같은 금속물질로 된 제 1 도전층을 증착하고, 마스크를 이용한 포토리소그래피 공정을 이용하여 제 1 도전층을 패터닝함으로써, 도 7a 및 도 7b에 도시된 바와 같이 콘택홀(CH)을 통해 복수의 제 1 전극들(RS)에 각각 접속되는 복수의 제 1 라우팅 배선(RW1)과, 복수의 제 1 라우팅 배선들에 각각 접속되는 복수의 제 1 패드들(RP1)을 절연층(HC1) 상에 형성한다.
도 7a 내지 도 7c를 참조하면, 제 1 전극들(RS)을 커버하도록 형성된 절연층(HC1) 상에 제 2 투명 도전층을 형성한 후 이를 패터닝하여 도 7a에 도시된 바와 같이 제 1 방향(예컨대, Y축 방향)과 교차하는 제 2 방향(예컨대, X축 방향)으로 나란하게 배열되는 복수의 제 2 전극들(TS) 또는 구동전극들(TS)(이하, 제 2 전극들이라 함)과, 콘택홀(CH)을 통해 노출된 제 1 전극(RS)과 접촉하는 제 1 라우팅 배선의 제 1 층(RW1a)과, 제 1 라우팅 배선의 제 1 층으로부터 연장되는 제 1 패드(RP1)의 제 1 층(도시생략)과, 제 2 전극들(TS)로부터 연장되는 제 2 라우팅 배선(RW2)의 제 1 층(도시 생략)과, 제 2 라우팅 배선(RW2)의 제 1 층(도시생략)으로부터 연장되는 제 1 패드(RP1)의 제 1 층(도시생략)을 형성한다. 한편, 복수의 제 2 전극들(TS)과, 제 1 및 제 2 라우팅 배선(RW1, RW2)의 제 1 층들과, 제 1 및 제 2 패드(RP1, RP2)의 제 1 층들은 잉크젯 장치를 이용한 잉크젯 방법에 의해 형성될 수도 있다. 또한, 제 2 투명 도전층은 제 1 투명 도전층과 동일한 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indioum Zinc Oxide), GZO(Gallium-doped Zinc Oxide), 금속 나노 와이어, 탄소 계열 투명 전극들과 같은 투명 도전성 물질로 형성된다.
도 8a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 하드 코팅층을 형성하기 위한 공정을 도시한 평면도이고, 도 8b는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널의 하드 코팅층을 형성하기 위한 공정을 도시한 단면도로서, 도 8a의 I-I' 라인을 따라 취한 단면도이다.
도 8a 및 도 8b를 참조하면, 제 2 전극들(TS)이 형성된 기판(100)을 반전시킨 후 기판(100)의 타면 상에 하드 코팅층(HC2)을 형성한다. 하드 코팅층(HC2)은 절연층(HC1)과 동일한 재료를 이용하여 형성한다.
도 9a 내지 9c는 6b 내지 6d 의 공정에 의해 형성된 콘택홀(CH)에 라우팅 배선(RW1)을 형성한 후, 제 1 전극(RS) 및 제 2 전극(TS)의 도통 특성 및 신뢰성을 확보하기 위해, 추가적으로 도전성 보조패턴(CL)을 형성한 도면이다. 도 9a는 도 6c 의 공정에 의해 형성된 비관통형 콘택홀(CH)에 도전성 보조패턴(CL)을 형성한 단면도이며, 도 9b 는 도 5c 의 공정에 의해 형성된 비관통형 콘택홀(CH)에 도전성 보조패턴(CL)을 형성한 사진으로서, 좌측 사진은 정상적인 제품의 사진, 우측 사진은 에어 트랩이 발생한 불량 제품의 사진이다. 도 9c 는 도 6d 의 공정에 의해 형성된 관통형 콘택홀, 즉, 관통공(TH)에 도전성 보조패턴(CL)을 형성한 사진이다.
상술한 도전성 보조패턴(CL)은 스크린 프린팅 방법(screen printing method), 디스펜스 방법(dispense method), 잉크젯 방법(inkjet method), 전기 도금 방법에 의해 콘택홀(CH) 또는 관통공(TH)에 금속 잉크를 채워 형성할 수 있으며, Ag, Cu 등을 이용하여 형성할 수 있다.
일반적으로 콘택홀(CH) 또는 관통공(TH)을 형성하는 공정에서 버(bur)가 형성될 수 있고, 버가 형성되면 콘택홀(CH) 또는 관통공(TH)의 계면을 따라 수분이 침투할 수 있게 된다. 이와 같은 수분이 침투하게 되면 제 1 라우팅 배선(RW1)이 부식되거나 단선될 수 있으므로 제 1 라우팅 배선(RW1)과 제 1 전극(RS)의 콘택성능이 저하될 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에서는 콘택홀(CH) 또는 관통공(TH) 내에 형성된 제 1 라우팅 배선(RW1) 상에 도전성 보조패턴(CP)이 형성되므로, 이 도전성 보조패턴(CP)에 의해 외부로부터의 수분침투가 방지될 수 있으므로 콘택성능의 저하를 방지할 수 효과를 얻을 수 있게 된다.
다음의 표 1 및 표 2는 관통공(TH)의 크기에 따라 도전성 보조패턴이 없는 종래예의 경우와 도전성 패턴을 형성한 본 발명의 실시예에 있어서의 관통공을 형성한 후 제 1 라우팅 배선의 저항값을 측정한 것으로, 표 1은 온도 24℃, 습도 40%의 조건에서 72시간 경과 후 측정한 값이고, 표 2는 온도 50℃, 습도 80%의 조건에서 72시간 경과 후 측정한 값이다.
콘택홀 크기(반경, mm ) 종래예 (Ω) 본 발명의 실시예(Ω)
0.15 20.4 < 1
0.20 3.1 < 1
0.30 6.9 < 1
0.50 2.1 < 1
0.70 2.1 < 1
콘택홀 크기(반경, mm ) 종래예 (Ω) 본 발명의 실시예(Ω)
0.15 54.5 < 1
0.20 4.0 < 1
0.30 13.2 < 1
0.50 단선 < 1
0.70 단선 < 1
위의 표 1 및 표 2로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따르면 고온다습의 조건에서도 일반적인 상온조건에 비해 제 1 라우팅 배선의 저항에 특별한 변화가 없는 것으로 나타났다. 따라서, 도전성 보조패턴(CP)에 의해 외부로부터의 수분침투가 방지되어 콘택성능의 저하를 방지할 수 효과를 얻을 수 있음을 명확히 알 수 있다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널은 제 1 전극과 제 2 전극이 제 1 실시예는 면 전극이고, 제 2 실시예는 금속라인의 전극인 것만 다를 뿐 제 1 실시예의 제조방법이 적용될 수 있으므로, 설명의 간략화를 위해 제 2 실시예에 대한 제조방법의 설명은 생략하기로 한다. 본 발명의 제 3실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널도 제 1 전극과 제 2 전극의 형상만 제 1 실시예와 다를 뿐 제 1 실시예의 제조방법이 적용될 수 있으므로, 설명의 간략화를 위해 제 3 실시예에 대한 제조방법에 대한 설명도 생략하기로 한다.
본 발명의 실시예들에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널은 구동전극과 센싱전극을 형성하기 위한 기판으로서 PET와 같은 플라스틱계 물질을 사용하고 있고, 이러한 연성의 플라스틱 물질을 기판으로 사용함으로써 발생되는 강성의 문제는 기판의 양면에 광경화성 수지로 된 물질을 이용하여 보완하고 있다.
따라서, 본 발명의 실시예에 따른 표시장치용 터치 스크린 패널은 종래의 표시장치용 터치 스크린 패널에 반드시 필요했던 윈도우 커버(W)와, 터치 스크린 패널을 윈도우 커버에 접착시키기 위한 접착필름을 생략할 수 있기 때문에 그 만큼 전체 두께와 무게를 줄일 수 있는 이점이 있다.
또한, 플라스틱계 물질로 된 기판을 사용함으로써 구동전극 및 센싱전극을 형성할 때 기판 내열성 문제와 저온 절연막 등의 문제가 제기될 수 있으나, 이는 잉크젯 방법, 레이저 드릴방법, 스크린 프린팅 방법, 임프린트 방법, 드라이 필름 레지스트 라미네이션(dry film resist lamination) 합착 방법, EHD 방법 등에 의해 해결할 수 있으므로 종래에 비해 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 실시예에 따른 터치 스크린 패널은 액정표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display, FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP), 전계발광 표시장치(Electroluminescence Device, EL), 전기영동 표시장치 등을 포함하는 표시장치에 적용될 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 본 발명의 실시예에서는 제 1 및 제 2 라우팅 배선과 제 1 및 제 2 패드가 투명 도전성물질과 금속물질의 이중층으로 형성되는 것으로 설명하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 금속물질로 된 단일층으로 형성될 수도 있다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.
100, 200: 기판 131: 제 1 전극패턴
132: 제 1 연결부 133: 제 2 전극패턴
134: 제 2 연결부 RS: 제 1 전극(센싱전극)
TS: 제 2 전극(구동전극) RW1, RW2: 라우팅 배선
RP1, RP2: 패드 CH: 콘택홀
HC1: 절연층 HC2: 하드 코팅층

Claims (13)

  1. 연성 기판의 일면 상에 제 1 방향으로 배열되는 복수의 제 1 전극들;
    상기 복수의 제 1 전극을 커버하도록 상기 연성 기판의 일면 상에 배치되며, 상기 복수의 제 1 전극의 각각의 일부분을 노출시키는 콘택홀을 구비하는 경화형 절연층;
    상기 경화형 절연층을 사이에 두고 상기 복수의 제 1 전극들과 교차하도록 상기 경화형 절연층 상에 형성되며, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 배열되는 복수의 제 2 전극들;
    상기 경화형 절연층 상에서 상기 복수의 제 2 전극들에 접속하지 않도록 형성되며, 상기 콘택홀을 통해 노출된 상기 복수의 제 1 전극들에 각각 접속되는 복수의 제 1 라우팅 배선들;
    상기 콘택홀 내에서 상기 제 1 라우팅 배선상에 형성되는 도전성 보조패턴; 및
    상기 연성 기판의 일면과 반대측의 타면 상에 형성되는 경화형 하드 코팅층을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 경화형 절연층과 상기 경화형 하드 코팅층은 자외선 경화형 수지 또는 열 경화형 수지로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 경화형 절연층 상에서 상기 제 1 라우팅 배선들에 접속하지 않도록 형성되며, 상기 복수의 제 2 전극들에 각각 접속된 복수의 제 2 라우팅 배선들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 연성 기판은 플라스틱계 물질로 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 전극들은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indium Zinc Oxide), GZO(Gallium-doped Zinc Oxide), 금속 나노와이어(metal Nano Wire), 또는 탄소 계열 투명 전극들로 이루어지는 투명 도전성 물질로 부터 선택되며, 상기 제 1 및 제 2 라우팅 배선들은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag계열 합금으로 이루어지는 금속물질로 부터 선택되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널.
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 연성 기판은 플라스틱계 물질로 형성되고,
    상기 복수의 제 1 전극들의 각각은 복수의 제 1-1 금속라인들과 복수의 제 1-2 금속라인들의 교차에 의해 메쉬형으로 형성되는 메쉬 패턴이고, 상기 복수의 제 2 전극들의 각각은 복수의 제 2-1 금속라인들과 복수의 제 2-2 금속라인들의 교차에 의해 메쉬형으로 형성되는 메쉬 패턴인 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널.
  8. 연성 기판의 일면 상에 제 1 방향으로 배열되는 복수의 제 1 전극들을 형성하는 단계;
    상기 복수의 제 1 전극을 커버하도록 상기 연성 기판의 일면 상에 경화형 절연층을 형성하고, 상기 경화형 절연층에 상기 복수의 제 1 전극의 각각의 일부분을 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계;
    상기 경화형 절연층을 사이에 두고 상기 복수의 제 1 전극들과 교차하도록 상기 경화형 절연층 상에 형성되며, 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 배열되는 복수의 제 2 전극들을 형성하는 단계;
    상기 경화형 절연층에 상기 콘택홀을 형성한 후, 상기 경화형 절연층 상에서 상기 복수의 제 2 전극들에 접속하지 않고, 상기 콘택홀을 통해 노출된 상기 복수의 제 1 전극들에 각각 접속되도록 복수의 제 1 라우팅 배선들을 형성하는 단계;
    상기 콘택홀 내에서 상기 제 1 라우팅 배선상에 도전성 보조패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 연성 기판의 일면과 반대측의 타면 상에 경화형 하드 코팅층을 형성하는 단계를 포함하는 표시장치용 터치 스크린 패널의 제조방법.
  9. 삭제
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 경화형 절연층 상에 상기 복수의 제 2 전극들을 형성한 후, 상기 경화형 절연층 상에서 상기 제 1 라우팅 배선들에 접속하지 않고, 상기 복수의 제 2 전극들에 각각 접속되도록 복수의 제 2 라우팅 배선들을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널의 제조방법.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 경화형 절연층에 상기 콘택홀을 형성하는 단계는 CO2 레이저 드릴 방법(laser drill method), 스크린 프린팅 방법(screen printing method), 임프린팅 방법(imprinting method), 드라이 필름 레지스트 라미네이션(dry film resist lamination) 합착 방법, EHD 방법(electrohydro-dynamic method) 중의 어느 하나의 방법을 이용하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널의 제조방법.
  12. 제 8 항에 있어서,
    상기 경화형 절연층과 상기 경화형 하드 코팅층은 자외선 경화형 수지 또는 열 경화형 수지로 형성되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널의 제조방법.
  13. 제 10 항에 있어서,
    상기 연성 기판은 플라스틱계 물질로 형성되고, 상기 제 1 및 제 2 전극들은 ITO(Indium Tin Oxide), IZO(Indioum Zinc Oxide), GZO(Gallium-doped Zinc Oxide), 금속 나노 와이어, 탄소 계열 투명 전극들로 이루어지는 투명 도전성 물질로 부터 선택되며, 상기 제 1 및 제 2 라우팅 배선들은 Al, AlNd, Mo, MoTi, Cu, Cr, Ag, Ag 계열 합금로 이루어지는 금속물질로 부터 선택되는 것을 특징으로 하는 표시장치용 터치 스크린 패널의 제조방법.
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