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KR101558579B1 - Printed circuit board and method for fabricating the same - Google Patents

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KR101558579B1
KR101558579B1 KR1020090018639A KR20090018639A KR101558579B1 KR 101558579 B1 KR101558579 B1 KR 101558579B1 KR 1020090018639 A KR1020090018639 A KR 1020090018639A KR 20090018639 A KR20090018639 A KR 20090018639A KR 101558579 B1 KR101558579 B1 KR 101558579B1
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metal thin
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최진범
김경태
강규동
홍승만
구현모
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황정호
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엘지이노텍 주식회사
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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.

실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법은 금속박막층이 형성된 절연부재를 준비하는 단계; 상기 금속박막층 상에 제1 도금층을 형성하는 단계; 상기 제1 도금층 및 금속박막층을 선택적으로 제거하여 제1 회로패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 회로패턴을 형성하고 있는 상기 제1 도금층의 상면 및 측면과 금속박막층의 측면에 제2 도금층을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes: preparing an insulating member having a metal thin film layer; Forming a first plating layer on the metal thin film layer; Selectively removing the first plating layer and the metal thin film layer to form a first circuit pattern; And forming a second plating layer on the upper surface and side surfaces of the first plating layer and the side surfaces of the metal thin film layer forming the first circuit pattern.

인쇄회로기판 Printed circuit board

Description

인쇄회로기판 및 그 제조방법{PRINTED CIRCUIT BOARD AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a printed circuit board (PCB)

본 발명은 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a printed circuit board and a manufacturing method thereof.

최근 인쇄회로기판의 회로패턴이 미세화, 박막화, 소형화되는 추세에 따라, 인쇄회로기판에 회로 패턴을 형성하는 기술도 다양한 기술들이 연구되고 있다.BACKGROUND ART [0002] Recently, as a circuit pattern of a printed circuit board has become finer, thinner, and smaller, various techniques for forming a circuit pattern on a printed circuit board have been studied.

특히, 미세 패턴(Fine Pattern)을 높은 수율(yield)로 얻을 수 있는 기술이 요구되고 있다. In particular, a technique for obtaining a fine pattern with a high yield is required.

기존에는 주로 에칭(Etching)에 의존하여 회로패턴을 형성하였으나, 에칭에 의한 회로패턴 형성방법은, 회로패턴에 왜곡이 발생하기 때문에, 미세한 회로패턴을 얻는 데에 한계가 있다. Conventionally, a circuit pattern is mainly formed depending on etching, but a method of forming a circuit pattern by etching has a limitation in obtaining a fine circuit pattern because distortion occurs in the circuit pattern.

이에 에칭 뿐 아니라 도금 공정 등을 추가하여 회로패턴을 형성하는 방법이 사용되지만, 이러한 방법은 공정의 수가 많고, 양호한 미세 패턴을 형성하는데 한계가 있으며, 인쇄회로기판의 제작 단가도 높아지는 문제가 있다.A method of forming a circuit pattern by adding not only etching but also a plating process is used. However, this method has a problem in that the number of processes is large, there is a limit to forming a good fine pattern, and a manufacturing cost of a printed circuit board is increased.

실시예는 새로운 구조의 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공한다.An embodiment provides a printed circuit board of a new structure and a method of manufacturing the same.

실시예는 미세한 회로패턴을 간단하고 저비용으로 형성하는 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공한다. The embodiments provide a printed circuit board which forms a fine circuit pattern simply and at low cost and a method of manufacturing the same.

실시예는 미세한 회로패턴을 높은 수율로 형성할 수 있는 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공한다. The embodiment provides a printed circuit board capable of forming a fine circuit pattern with a high yield and a method of manufacturing the same.

실시예에 따른 인쇄회로기판의 제조방법은 금속박막층이 형성된 절연부재를 준비하는 단계; 상기 금속박막층 상에 제1 도금층을 형성하는 단계; 상기 제1 도금층 및 금속박막층을 선택적으로 제거하여 제1 회로패턴을 형성하는 단계; 상기 제1 회로패턴을 형성하고 있는 상기 제1 도금층의 상면 및 측면과 금속박막층의 측면에 제2 도금층을 형성하는 단계를 포함한다.A method of manufacturing a printed circuit board according to an embodiment of the present invention includes: preparing an insulating member having a metal thin film layer; Forming a first plating layer on the metal thin film layer; Selectively removing the first plating layer and the metal thin film layer to form a first circuit pattern; And forming a second plating layer on the upper surface and side surfaces of the first plating layer and the side surfaces of the metal thin film layer forming the first circuit pattern.

실시예에 따른 인쇄회로기판은 절연부재; 상기 절연부재 상에 제2 회로패턴을 포함하고, 상기 제2 회로패턴은 금속박막층; 상기 금속박막층 상에 형성된 제1 도금층; 및 상기 제1 도금층의 상면 및 측면과 상기 금속박막층의 측면에 형성된 제2 도금층을 포함한다.A printed circuit board according to an embodiment includes an insulating member; A second circuit pattern on the insulating member, the second circuit pattern including a metal thin film layer; A first plating layer formed on the metal thin film layer; And a second plating layer formed on an upper surface and a side surface of the first plating layer and a side surface of the metal thin layer.

실시예는 새로운 구조의 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.The embodiments can provide a printed circuit board of a new structure and a method of manufacturing the same.

실시예는 회로패턴을 간단하고 저비용으로 형성하는 인쇄회로기판 및 그 제 조방법을 제공할 수 있다.The embodiments can provide a printed circuit board which forms a circuit pattern simply and at a low cost, and a method of manufacturing the same.

실시예는 회로패턴을 양호하면서도 수율이 높게 형성할 수 있는 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 제공할 수 있다.The embodiment can provide a printed circuit board capable of forming a circuit pattern with a good yield and a high yield, and a manufacturing method thereof.

본 발명에 따른 실시예의 설명에 있어서, 각 층(막), 패턴 또는 구조물들이 기판, 각 층(막) 또는 패턴들의 "상/위(on)"에 또는 "하/아래(under)"에 형성되는 것으로 기재되는 경우에 있어, "상/위(on)"와 "하/아래(under)"는 "직접(directly)" 또는 "다른 층을 개재하여 (indirectly)" 형성되는 것을 모두 포함한다. 또한 각 층의 위 또는 아래에 대한 기준은 도면을 기준으로 설명한다.In describing an embodiment according to the present invention, it is to be understood that each layer (film), pattern or structure may be formed "on" or "under" a substrate, each layer Quot; on "and" under "include both what is meant to be" directly "or" indirectly " In addition, the criteria for above or below each layer will be described with reference to the drawings.

도면에서 각층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었다. 또한 각 구성요소의 크기는 실제크기를 전적으로 반영하는 것은 아니다.The thickness and size of each layer in the drawings are exaggerated, omitted, or schematically shown for convenience and clarity of explanation. Also, the size of each component does not entirely reflect the actual size.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 실시예들에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법에 대해 상세히 설명하도록 한다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a printed circuit board according to embodiments and a method of manufacturing the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

제1 1st 실시예Example

도 1 내지 도 6은 제1 실시예에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 설명하는 도면이다.1 to 6 are views for explaining a printed circuit board according to the first embodiment and a method of manufacturing the same.

도 1을 참조하면, 양면에 금속박막층(121)이 형성된 절연부재(110)가 준비된다. 상기 절연부재(110)는 수지 재질, 예를 들어, 에폭시 수지 또는 페놀 수지를 포함할 수 있다. 또는 상기 절연부재(110)는 ABF 수지나 폴리이미드(Polyimide) 필름일 수 있다. 상기 ABF 수지나 폴리이미드 필름은 내충격성과 전기절연성이 좋아서, 신뢰성이 향상된 인쇄회로기판을 제조할 수 있다.Referring to FIG. 1, an insulating member 110 having metal foil layers 121 formed on both surfaces thereof is prepared. The insulating member 110 may include a resin material, for example, an epoxy resin or a phenol resin. Alternatively, the insulating member 110 may be an ABF resin or a polyimide film. The ABF resin or polyimide film is excellent in impact resistance and electrical insulation, so that a printed circuit board with improved reliability can be produced.

상기 금속박막층(121)은 금속, 예를 들어 구리(Cu), 주석(Sn), 또는 니켈(Ni) 중 적어도 어느 하나로 형성된다. The metal thin film layer 121 is formed of at least one of metal, for example, copper (Cu), tin (Sn), and nickel (Ni).

상기 절연부재(110)에는 상기 절연부재(110)의 양면을 관통하는 비아 홀(111)이 형성될 수 있다. 상기 비아 홀(111)은 상기 절연부재(110)의 양면에 형성될 회로패턴들을 전기적으로 연결할 필요성이 있는 경우 형성될 수 있다. A via hole 111 may be formed in the insulating member 110 to penetrate both surfaces of the insulating member 110. The via hole 111 may be formed when it is necessary to electrically connect the circuit patterns to be formed on both sides of the insulating member 110.

도 2를 참조하면, 상기 금속박막층(121) 및 비아 홀(111) 내에 도금을 실시하여 제1 도금층(120)이 형성된다. 구체적으로는, 상기 제1 도금층(120)은 무전해도금(Electroless Plating)을 실시하여 씨드층(Seed Layer)을 형성한 후, 전기도금(Electro Plating)을 실시하여 형성될 수 있다. 상기 제1 도금층(120)의 재질은 금속, 예를 들어 구리(Cu), 주석(Sn), 또는 니켈(Ni) 중 적어도 어느 하나일 수 있다. Referring to FIG. 2, a first plating layer 120 is formed by plating the metal thin film layer 121 and the via hole 111. Specifically, the first plating layer 120 may be formed by performing electroless plating to form a seed layer, followed by electroplating. The material of the first plating layer 120 may be at least one of metal, for example, copper (Cu), tin (Sn), and nickel (Ni).

상기 제1 도금층(120)과 금속박막층(121)의 두께는 합쳐서 10μm 이하로 형성할 수 있다. The thickness of the first plating layer 120 and the thickness of the metal foil layer 121 may be 10 μm or less.

도 3을 참조하면, 상기 비아 홀(111)과 상기 비아 홀(111)에 인접한 부분을 포함하는 상기 제1 도금층(120) 상에 포토레지스트 패턴(130)이 형성된다. 또한 상기 포토레지스트 패턴(130)에 의해 가려지지 않은 상기 제1 도금층(120)의 노출면(131)이 형성된다. 상기 포토레지스트 패턴(130)은 예를 들어, 드라이 필름(Dry Film)으로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 3, a photoresist pattern 130 is formed on the first plating layer 120 including the via hole 111 and a portion adjacent to the via hole 111. The exposed surface 131 of the first plating layer 120 not covered by the photoresist pattern 130 is also formed. The photoresist pattern 130 may be formed of, for example, a dry film.

상기 포토레지스트 패턴(130)은 포토리소그래피(Photolithography)를 이용하여 형성할 수 있다. 구체적으로는 먼저, 상기 제1 도금층(120)이 형성된 상기 절연부재(110)의 양면 전체에 포토레지스트 코팅을 실시한 후에, 상기 포토레지스트 코팅 상에 포토마스크(미도시)를 형성한다. 다음으로, 자외선 등을 이용하여 노광(Photo Exposure)을 수행한 후, 현상(Developing)하면 상기 포토레지스트 패턴(130)을 형성할 수 있다. 더 자세한 내용은 본 발명에 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 이해할 수 있으므로 생략한다. The photoresist pattern 130 may be formed using photolithography. Specifically, first, photoresist coating is performed on both sides of the insulating member 110 where the first plating layer 120 is formed, and then a photomask (not shown) is formed on the photoresist coating. Next, the photoresist pattern 130 can be formed by performing exposure after performing photoexposure using ultraviolet rays or the like and then developing. The detailed description will be omitted because it can be easily understood by those skilled in the art.

도 3 및 도 4를 참조하면, 상기 포토레지스트 패턴(130)을 마스크로 하여 상기 제1 도금층(120) 및 금속박막층(121)을 선택적으로 에칭하여 제1 회로패턴(140)을 형성한다. 즉, 상기 포토레지스트 패턴(130)에 의해 가려지지 않은 제1 도금층(120)의 노출면(131)이 상기 에칭에 의해 제거되어, 상기 제1 회로패턴(140)이 형성된다. 또한 상기 에칭에 의해, 상기 절연부재(110)의 노출면(115)이 드러나게 된다. Referring to FIGS. 3 and 4, the first plating layer 120 and the metal thin film layer 121 are selectively etched using the photoresist pattern 130 as a mask to form a first circuit pattern 140. That is, the exposed surface 131 of the first plating layer 120 not covered by the photoresist pattern 130 is removed by etching to form the first circuit pattern 140. Also, the exposed surface 115 of the insulating member 110 is exposed by the etching.

그런데 상기 제1 회로패턴(140)이 형성될 때, 상기 제1 도금층(120) 및 금속박막층(121)이 에칭되는 과정에서, 상기 제1 회로패턴(140)의 측면(141)은 도 4에 도시된 바와 같이, 경사면 등으로 왜곡되어 형성될 수 있다. 그 이유는 에천트(Etchant)가 상기 금속층(120)의 노출면(131)의 최상면부터 에칭하므로, 최상면에 가까울수록 상기 에천트에 많이 접하기 때문이다. 4, the first circuit pattern 140 and the second circuit pattern 140 are formed on the first and second circuit patterns 140 and 140, respectively. In the process of etching the first and second metal layers 120 and 121, As shown in the figure, it may be formed by being distorted by an inclined surface or the like. This is because the etchant is etched from the uppermost surface of the exposed surface 131 of the metal layer 120, and the closer to the uppermost surface, the more the etchant contacts the etchant.

상기 제1 회로패턴(140)의 측면(141)이 경사면 등으로 왜곡되어 형성되는 경 우, 양호한 미세 패턴(Fine Pattern)을 얻기 힘들고, 이에 미세한 회로 구현도 어려울 수 있다. If the side surface 141 of the first circuit pattern 140 is formed by being distorted by an inclined surface or the like, it is difficult to obtain a good fine pattern and it may be difficult to realize a minute circuit.

또한, 에칭되는 깊이가 두꺼울수록, 즉, 상기 제1 도금층(120) 및 금속박막층(121)이 두꺼울수록 상기 제1 회로패턴(140)의 왜곡이 심하게 되어 양호한 패턴을 얻는 수율(yield)이 떨어지게 된다. In addition, as the depth of etching is thicker, that is, as the first plating layer 120 and the metal thin film layer 121 are thicker, the first circuit pattern 140 becomes more distorted and the yield of obtaining a good pattern is lowered do.

그러나 본 발명은, 상기 제1 도금층(120) 및 금속박막층(121)이 합쳐서 10μm 이하의 두께로 형성되기 때문에, 상기 에칭이 실시되는 두께를 최소화하여 상기 제1 회로패턴(140)이 왜곡되는 정도를 줄일 수 있는 효과가 있다. However, since the first plating layer 120 and the metal thin film layer 121 are formed together to a thickness of 10 m or less, the present invention minimizes the thickness at which the etching is performed to minimize the degree of distortion of the first circuit pattern 140 Can be reduced.

또한, 상기와 같이 제1 회로패턴(140)이 왜곡되는 정도를 줄임으로써, 후에 형성될 제2 회로패턴(160)을 왜곡 없는 양호한 회로 패턴으로 형성할 수 있는 효과가 있다.Also, by reducing the degree of distortion of the first circuit pattern 140 as described above, there is an effect that the second circuit pattern 160 to be formed later can be formed into a good circuit pattern without distortion.

도 5를 참조하면, 상기 제1 회로패턴(140) 상의 포토레지스트 패턴(130)을 제거한다. 상기 포토레지스트 패턴(130)은 에싱(Ashing) 공정을 이용하여 제거될 수 있다. Referring to FIG. 5, the photoresist pattern 130 on the first circuit pattern 140 is removed. The photoresist pattern 130 may be removed using an ashing process.

도 6을 참조하면, 도금 공정을 통해 상기 제1 회로패턴(140)에 제2 도금층(150)이 형성되어 제2 회로패턴(160)이 형성되며, 또한, 상기 비아 홀(111) 내에 형성된 상기 제1 도금층(120) 상에 제2 도금층(150)이 형성된다. Referring to FIG. 6, a second plating layer 150 is formed on the first circuit pattern 140 through a plating process to form a second circuit pattern 160, A second plating layer 150 is formed on the first plating layer 120.

상기 제2 도금층(150)은 상기 제1 회로패턴(140)을 둘러싸고 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1 회로패턴(140)을 형성하고 있는 제1 도금층(120)의 상면 및 측면, 그리고 상기 금속박막층(121)의 측면에 상기 제2 도금층(150)이 형성될 수 있 다. The second plating layer 150 may be formed to surround the first circuit pattern 140. That is, the second plating layer 150 may be formed on the top and side surfaces of the first plating layer 120 forming the first circuit pattern 140 and on the side surfaces of the metal foil layer 121.

이때, 상기 제2 도금층(150)의 일부분은 상기 절연부재(110)와 직접 접촉할 수 있다. 이에, 상기 제2 도금층(150)은 적어도 일부분이 상기 금속박막층(121)과 동일수평면 상에 배치될 수 있다. At this time, a part of the second plating layer 150 may be in direct contact with the insulating member 110. At least a part of the second plating layer 150 may be disposed on the same horizontal plane as the metal thin film layer 121.

상기 제2 도금층(150)은 금도금 인입선을 이용하여 도금을 실시하여 형성될 수 있으며, 그 재질은 금속 재질, 예를 들어 구리(Cu), 주석(Sn), 니켈(Ni) 중 적어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 또는 상기 제2 도금층(150)은 전기 도금을 통해 형성될 수 있다. The second plating layer 150 may be formed by plating using a gold-plated lead wire. The material of the second plating layer 150 is formed of at least one of a metal material such as copper (Cu), tin (Sn), and nickel (Ni) . Alternatively, the second plating layer 150 may be formed through electroplating.

상기 제2 도금층(150)을 형성하는 이유는, 상기 제1 회로패턴(140)은 상술한 바와 같이, 10μm 이하의 두께로 형성되는데, 이러한 두께는 전기 전도도를 안정적으로 확보하기에 부족할 수 있기 때문이다. 그래서 상기 제2 도금층(150)을 형성하여 상기 제1 회로패턴(140)의 두께를 보완한 상기 제2 회로패턴(160)을 형성할 수 있다. 즉, 상기 제2 회로패턴(160)은 상기 제1 회로패턴(140)에 제2 도금층(150)을 적층하여 전기 전도도를 안정적으로 확보하기에 충분한 두께를 가진다. The reason why the second plating layer 150 is formed is that the first circuit pattern 140 is formed to a thickness of 10 μm or less as described above because the thickness of the first circuit pattern 140 may not be sufficient to stably secure the electric conductivity to be. Thus, the second plating layer 150 may be formed to form the second circuit pattern 160 complementing the thickness of the first circuit pattern 140. That is, the second circuit pattern 160 has a thickness sufficient to stably obtain the electrical conductivity by stacking the second plating layer 150 on the first circuit pattern 140.

상기 비아 홀(111) 내에 형성된 제1 도금층(120)도, 상술한 바와 같이, 10μm 이하의 두께로 형성되는데, 이러한 두께는 상기 인쇄회로기판 양면의 전기적 도통을 위한 전기 전도도를 안정적으로 확보하는 데 있어서 부족할 수 있다. 따라서, 상기 비아 홀(111) 내에 형성된 제1 도금층(120) 상에 상기 제2 도금층(150)을 형성하여, 상기 비아 홀(111) 내벽의 두께를 보완함으로써 이런 문제점을 극복할 수 있다. As described above, the first plating layer 120 formed in the via hole 111 is also formed to a thickness of 10 μm or less. The thickness of the first plating layer 120 is used to stably secure electrical conductivity for electrical conduction on both surfaces of the printed circuit board It may be insufficient. Therefore, the second plating layer 150 is formed on the first plating layer 120 formed in the via hole 111, and the thickness of the inner wall of the via hole 111 is compensated for.

또한, 상기 제2 도금층(150)을 형성하는 과정에서, 상기 제1 회로패턴(140)의 왜곡된 형태 뿐만 아니라, 상기 인쇄회로기판의 제조 과정에서 발생할 수 있는 흠이나 균열 등이 보정되어, 양호한 제2 회로패턴(160)을 안정적으로 형성할 수 있는 효과가 있다.In addition, in the process of forming the second plating layer 150, not only the distorted shape of the first circuit pattern 140, but also flaws and cracks that may occur in the process of manufacturing the printed circuit board are corrected, The second circuit pattern 160 can be stably formed.

또한, 상기 제2 회로패턴(160) 및 비아 홀(111)을 형성하는 제조 공정이 간단하고, 공정의 수도 적으므로, 적은 비용으로 상기 인쇄회로기판을 제조할 수 있는 효과가 있다. In addition, since the manufacturing process for forming the second circuit patterns 160 and the via holes 111 is simple and the number of steps is small, the printed circuit board can be manufactured at a low cost.

제2 Second 실시예Example

도 7 내지 도 14는 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 설명하는 도면이다.7 to 14 are views for explaining a printed circuit board according to the second embodiment and a method of manufacturing the same.

도 7 내지 도 11의 과정은 제1 실시예와 동일하므로, 상세한 설명은 생략한다.7 to 11 are the same as those in the first embodiment, and therefore detailed description thereof will be omitted.

도 7을 참조하면, 양면에 금속박막층(221)이 형성된 절연부재(210)가 준비된다. 상기 절연부재(210)에는 상기 절연부재(210)의 양면을 관통하는 비아 홀(211)이 형성될 수 있다. 상기 비아 홀(211)은 상기 절연부재(210)의 양면에 형성될 회로패턴들을 전기적으로 연결할 필요성이 있는 경우 형성될 수 있다. Referring to FIG. 7, an insulating member 210 having a metal thin film layer 221 formed on both surfaces thereof is prepared. The insulating member 210 may be formed with a via hole 211 passing through both surfaces of the insulating member 210. The via holes 211 may be formed when it is necessary to electrically connect the circuit patterns to be formed on both surfaces of the insulating member 210.

도 8을 참조하면, 상기 금속박막층(221) 및 비아 홀(211) 내에 도금을 실시하여 제1 도금층(220)이 형성된다. Referring to FIG. 8, a first plating layer 220 is formed by plating the metal thin film layer 221 and the via holes 211.

상기 제1 도금층(220)과 금속박막층(221)의 두께는 합쳐서 10μm 이하로 형 성할 수 있다. The thickness of the first plating layer 220 and the metal thin film layer 221 may be less than 10 μm.

도 9를 참조하면, 상기 비아 홀(211)과 상기 비아 홀(211)에 인접한 부분을 포함하는 상기 제1 도금층(220) 상에 포토레지스트 패턴(230)이 형성된다. 또한 상기 포토레지스트 패턴(230)에 의해 가려지지 않은 상기 제1 도금층(220)의 노출면(231)이 형성된다. Referring to FIG. 9, a photoresist pattern 230 is formed on the first plating layer 220 including the via hole 211 and a portion adjacent to the via hole 211. The exposed surface 231 of the first plating layer 220 not covered by the photoresist pattern 230 is also formed.

도 9 및 도 10을 참조하면, 상기 포토레지스트 패턴(230)을 마스크로 하여 상기 제1 도금층(220) 및 금속박막층(221)을 선택적으로 에칭하여 제1 회로패턴(240)을 형성한다. 또한 상기 에칭에 의해, 상기 절연부재(210)의 노출면(215)이 드러나게 된다. Referring to FIGS. 9 and 10, the first plating layer 220 and the metal thin film layer 221 are selectively etched using the photoresist pattern 230 as a mask to form a first circuit pattern 240. Also, the exposed surface 215 of the insulating member 210 is exposed by the etching.

그런데 상기 제1 회로패턴(240)이 형성될 때, 상기 제1 도금층(220) 및 금속박막층(221)이 에칭되는 과정에서, 상기 제1 회로패턴(240)의 측면(241)은 도 4에 도시된 바와 같이, 경사면 등으로 왜곡되어 형성될 수 있다. 그 이유는 에천트(Etchant)가 상기 금속층(220)의 노출면(231)의 최상면부터 에칭하므로, 최상면에 가까울수록 상기 에천트에 많이 접하기 때문이다. 4 (a) and 4 (b), when the first circuit pattern 240 is formed, the first plating layer 220 and the metal foil layer 221 are etched, As shown in the figure, it may be formed by being distorted by an inclined surface or the like. This is because an etchant is etched from the uppermost surface of the exposed surface 231 of the metal layer 220, and the closer to the uppermost surface, the more the etchant contacts the etchant.

상기 제1 회로패턴(240)의 측면(241)이 경사면 등으로 왜곡되어 형성되는 경우, 양호한 미세 패턴(Fine Pattern)을 얻기 힘들고, 이에 미세한 회로 구현도 어려울 수 있다. In the case where the side surface 241 of the first circuit pattern 240 is distorted by an inclined plane or the like, it is difficult to obtain a good fine pattern, and thus it may be difficult to realize a minute circuit.

또한, 에칭되는 깊이가 두꺼울수록, 즉, 상기 제1 도금층(220) 및 금속박막층(221)이 두꺼울수록 상기 제1 회로패턴(240)의 왜곡이 심하게 되어 양호한 패턴을 얻는 수율(yield)이 떨어지게 된다. In addition, as the depth of etching is thicker, that is, as the first plating layer 220 and the metal foil layer 221 are thicker, the distortion of the first circuit pattern 240 becomes severe and the yield of obtaining a good pattern is decreased do.

그러나 본 발명은, 상기 제1 도금층(220) 및 금속박막층(221)이 합쳐서 10μm 이하의 두께로 형성되기 때문에, 상기 에칭이 실시되는 두께를 최소화하여 상기 제1 회로패턴(240)이 왜곡되는 정도를 줄일 수 있는 효과가 있다. However, since the first plating layer 220 and the metal thin film layer 221 are formed to have a thickness of 10 m or less, the thickness of the etching is minimized so that the degree of distortion of the first circuit pattern 240 Can be reduced.

또한, 상기와 같이 제1 회로패턴(240)이 왜곡되는 정도를 줄임으로써, 후에 형성될 제2 회로패턴(260)을 왜곡 없는 양호한 회로 패턴으로 형성할 수 있는 효과가 있다.In addition, by reducing the degree of distortion of the first circuit pattern 240 as described above, there is an effect that the second circuit pattern 260 to be formed later can be formed into a good circuit pattern without distortion.

도 11을 참조하면, 상기 제1 회로패턴(240) 상의 포토레지스트 패턴(230)을 제거한다. Referring to FIG. 11, the photoresist pattern 230 on the first circuit pattern 240 is removed.

도 12를 참조하면, 상기 제1 회로패턴(240)의 측면 및 상기 절연부재(210)의 노출면(215) 상에 절연마스크(270)가 형성된다. 이때, 상기 절연마스크(270)는 상기 제1 회로패턴(240)의 상면 및 상기 비아 홀(211)이 노출되도록 형성된다. 상기 절연 마스크는 예를 들어, 드라이 필름(Dry Film)으로 형성될 수 있다. Referring to FIG. 12, an insulating mask 270 is formed on the side surfaces of the first circuit pattern 240 and the exposed surface 215 of the insulating member 210. At this time, the insulation mask 270 is formed to expose the upper surface of the first circuit pattern 240 and the via hole 211. The insulating mask may be formed of, for example, a dry film.

도 13을 참조하면, 상기 절연마스크(270)에 의해 가려지지 않고 노출된 상기 제1 회로패턴(240) 및 상기 비아 홀(211) 내의 제1 도금층(220) 상에 제2 도금층(250)을 형성한다. 즉, 상기 제1 회로패턴(240)의 상면에 제2 도금층(250)을 형성하여 제2 회로패턴(260)을 형성하고, 상기 비아 홀(211) 내에 형성된 제1 도금층(220) 상에 제2 도금층(250)을 형성하여, 상기 비아 홀(211)의 내벽을 두껍게 한다. 13, a second plating layer 250 is formed on the first circuit pattern 240 and the first plating layer 220 in the via hole 211 without being covered by the insulating mask 270 . A second plating layer 250 is formed on the first circuit pattern 240 to form a second circuit pattern 260. The first circuit pattern 240 is formed on the first plating layer 220 formed in the via hole 211, 2 plating layer 250 is formed to increase the inner wall of the via hole 211.

상기 제2 도금층(250)은 금도금 인입선을 이용하여 도금을 실시하여 형성될 수 있으며, 그 재질은 금속 재질, 예를 들어 구리(Cu), 주석(Sn), 니켈(Ni) 중 적 어도 어느 하나로 형성될 수 있다. 또는 상기 제2 도금층(250)은 전기 도금을 통해 형성될 수 있다. The second plating layer 250 may be formed by plating using a gold-plated lead wire. The material of the second plating layer 250 may be any one of a metal material such as copper (Cu), tin (Sn), and nickel (Ni) . Alternatively, the second plating layer 250 may be formed through electroplating.

도 14를 참조하면, 상기 절연부재(210)의 노출면(215) 상에 형성된 상기 절연마스크(270)를 제거하여, 상기 절연부재(210) 상에 상기 제2 회로패턴(260)과 비아 홀(211)이 형성된 제2 실시예에 따른 인쇄회로기판이 제작된다. 14, the insulating mask 270 formed on the exposed surface 215 of the insulating member 210 is removed and the second circuit pattern 260 and the via hole The printed circuit board according to the second embodiment in which the printed circuit board 211 is formed is manufactured.

상기 절연마스크(270)는 에싱(Ashing) 공정을 이용하여 제거될 수 있다. The insulating mask 270 may be removed using an ashing process.

상기 제2 도금층(250)은 상기 제1 회로패턴(240)의 상면에만 형성될 수 있으며, 도금에 의해 형성되기 때문에, 상기 제1 회로패턴(240) 상면의 폭보다 넓게 형성될 수 있다. 즉, 상기 제1 회로패턴(240) 상면의 제 1폭보다 상기 제2 도금층(250)의 제 2폭이 넓게 형성될 수 있다. The second plating layer 250 may be formed only on the upper surface of the first circuit pattern 240 and may be formed to be wider than the upper surface of the first circuit pattern 240 because the second plating layer 250 is formed by plating. That is, the second width of the second plating layer 250 may be larger than the first width of the upper surface of the first circuit pattern 240.

또한, 상기 제2 도금층(250)은 상기 제1 회로패턴(240)을 씨드층(Seed Layer)으로 도금이 실시되기 때문에, 별도의 씨드층을 형성할 필요가 없다. In addition, since the second plating layer 250 is formed by plating the first circuit pattern 240 with a seed layer, it is not necessary to form a separate seed layer.

한편, 상기 제2 도금층(250)을 형성하는 이유는, 상기 제1 회로패턴(240)은 상술한 바와 같이, 10μm 이하의 두께로 형성되는데, 이러한 두께는 전기 전도도를 안정적으로 확보하기에 부족할 수 있기 때문이다. 그래서 상기 제2 도금층(250)을 형성하여 상기 제1 회로패턴(240)의 두께를 보완한 상기 제2 회로패턴(260)을 형성할 수 있다. 즉, 상기 제2 회로패턴(260)은 상기 제1 회로패턴(240)에 제2 도금층(250)을 적층하여 전기 전도도를 안정적으로 확보하기에 충분한 두께를 가진다. The reason why the second plating layer 250 is formed is that the first circuit pattern 240 is formed to a thickness of 10 탆 or less as described above. The thickness of the first circuit pattern 240 may be insufficient for stably securing the electric conductivity It is because. Thus, the second plating layer 250 may be formed to form the second circuit pattern 260 which is complementary to the thickness of the first circuit pattern 240. That is, the second circuit pattern 260 has a thickness sufficient to stably obtain the electrical conductivity by stacking the second plating layer 250 on the first circuit pattern 240.

상기 비아 홀(211) 내에 형성된 제1 도금층(220)도, 상술한 바와 같이, 10 μm 이하의 두께로 형성되는데, 이러한 두께는 상기 인쇄회로기판 양면의 전기적 도통을 위한 전기 전도도를 안정적으로 확보하는 데 있어서 부족할 수 있다. 따라서, 상기 비아 홀(211) 내에 형성된 제1 도금층(220) 상에 상기 제2 도금층(250)을 형성하여, 상기 비아 홀(211)의 내벽을 두껍게 하여, 이런 문제점을 극복할 수 있다. As described above, the first plating layer 220 formed in the via hole 211 is also formed to have a thickness of 10 μm or less. The thickness of the first plating layer 220 is set to a value that ensures stable electrical conductivity for electrical conduction on both surfaces of the printed circuit board It may be lacking. Accordingly, the second plating layer 250 is formed on the first plating layer 220 formed in the via hole 211 to increase the inner wall of the via hole 211, thereby overcoming such a problem.

또한, 상기 제2 도금층(250)을 형성하는 과정에서 상기 인쇄회로기판의 제조 과정에서 발생할 수 있는 흠이나 균열 등이 보정되어, 양호한 제2 회로패턴(260)을 안정적으로 형성할 수 있는 효과가 있다.In addition, in the process of forming the second plating layer 250, scratches, cracks, and the like that may occur during the manufacturing process of the printed circuit board are corrected, and an advantageous effect of stably forming a good second circuit pattern 260 have.

또한, 상기 제2 회로패턴(260) 및 비아 홀(211)을 형성하는 제조 공정이 간단하고, 공정의 수도 적으므로, 적은 비용으로 상기 인쇄회로기판을 제조할 수 있는 효과가 있다. Also, since the manufacturing process for forming the second circuit patterns 260 and the via holes 211 is simple and the number of processes is small, the printed circuit board can be manufactured with a small cost.

이상에서 실시예를 중심으로 설명하였으나 이는 단지 예시일 뿐 본 발명을 한정하는 것이 아니며, 본 발명이 속하는 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 본 실시예의 본질적인 특성을 벗어나지 않는 범위에서 이상에 예시되지 않은 여러 가지의 변형과 응용이 가능함을 알 수 있을 것이다. 예를 들어, 실시예에 구체적으로 나타난 각 구성 요소는 변형하여 실시할 수 있는 것이다. 그리고 이러한 변형과 응용에 관계된 차이점들은 첨부된 청구 범위에서 규정하는 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, It will be understood that various modifications and applications are possible. For example, each component specifically shown in the embodiments can be modified and implemented. It is to be understood that all changes and modifications that come within the meaning and range of equivalency of the claims are therefore intended to be embraced therein.

도 1 내지 도 14는 실시예에 따른 인쇄회로기판 및 그 제조방법을 설명하는 도면이다.1 to 14 are views for explaining a printed circuit board according to an embodiment and a manufacturing method thereof.

Claims (9)

금속박막층이 형성된 절연부재를 준비하는 단계;Preparing an insulating member having a metal thin film layer formed thereon; 상기 금속박막층 및 절연부재를 관통하는 비아 홀을 형성하는 단계;Forming a via hole through the metal thin film layer and the insulating member; 상기 금속박막층 및 상기 비아 홀의 내벽에 제1 도금층을 형성하는 단계;Forming a first plating layer on the metal thin film layer and the inner wall of the via hole; 상기 제1 도금층 및 금속박막층을 선택적으로 제거하여 제1 회로패턴 및 비아를 형성하는 단계;Selectively removing the first plating layer and the metal foil layer to form a first circuit pattern and a via; 상기 제1 회로패턴 및 비아를 형성하고 있는 상기 제1 도금층의 상면 및 측면과 금속박막층의 측면에 제2 도금층을 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.And forming a second plating layer on the upper surface and side surfaces of the first plating layer and the side surfaces of the metal thin film layer forming the first circuit pattern and the via. 금속박막층이 형성된 절연부재를 준비하는 단계;Preparing an insulating member having a metal thin film layer formed thereon; 상기 금속박막층 및 절연부재를 관통하는 비아 홀을 형성하는 단계;Forming a via hole through the metal thin film layer and the insulating member; 상기 금속박막층 및 상기 비아 홀의 내벽에 제1 도금층을 형성하는 단계;Forming a first plating layer on the metal thin film layer and the inner wall of the via hole; 상기 제1 도금층 및 금속박막층을 선택적으로 제거하여 제1 회로패턴 및 비아를 형성하는 단계;Selectively removing the first plating layer and the metal foil layer to form a first circuit pattern and a via; 상기 제 1 회로 패턴 및 비아의 형성 과정에서 노출되는 상기 절연 부재의 노출면 상에, 상기 제 1 회로 패턴의 측면을 덮으면서, 상기 제 1 회로 패턴의 상면, 상기 비아의 상면 및 상기 비아의 내벽을 노출하는 절연 마스크를 형성하는 단계; 및 And a second circuit pattern formed on the upper surface of the first circuit pattern, the upper surface of the via, and the inner surface of the via, while covering the side surface of the first circuit pattern on the exposed surface of the insulating member exposed in the formation of the first circuit pattern and the via. Forming an insulating mask that exposes the insulating layer; And 상기 절연마스크에 의해 노출된 상기 제1 회로패턴의 상면, 상기 비아의 상면 및 상기 비아의 내벽 상에 제2 도금층을 형성하는 단계를 포함하는 인쇄회로기판 제조방법.And forming a second plating layer on an upper surface of the first circuit pattern exposed by the insulating mask, an upper surface of the via, and an inner wall of the via. 제 2항에 있어서, 3. The method of claim 2, 상기 제 1 회로패턴의 상면 위에 형성된 제 2 도금층은,The second plating layer formed on the upper surface of the first circuit pattern, 상기 제 1 회로 패턴의 측면과 접촉하지 않으면서 상기 제 1 회로 패턴의 상면과 접촉하고,Wherein the first circuit pattern is in contact with the upper surface of the first circuit pattern without contacting the side surface of the first circuit pattern, 상기 제 1 회로 패턴의 상면이 가지는 제 1 폭보다 넓은 제 2 폭을 가지는 인쇄회로기판 제조방법.Wherein the first circuit pattern has a second width larger than a first width of the upper surface of the first circuit pattern. 절연부재;Insulating member; 상기 절연부재를 관통하는 비아 홀 내에 형성된 비아; 및A via formed in the via hole passing through the insulating member; And 상기 절연부재 상에 제2 회로패턴을 포함하고,A second circuit pattern on the insulating member, 상기 비아는,The vias may include, 상기 절연부재를 관통하는 비아 홀의 내벽에 형성되는 제 1 부분과,A first portion formed on an inner wall of the via hole passing through the insulating member, 상기 절연부재 위에 형성되어 상기 제 1 부분과 연결되며, 상기 제 2 회로패턴에 대응하는 제 2 부분을 포함하며,A second portion formed on the insulating member and connected to the first portion, the second portion corresponding to the second circuit pattern, 상기 비아의 제 2 부분을 포함하는 상기 제2 회로패턴은 The second circuit pattern including the second portion of the via 상기 절연부재 상에 형성된 금속박막층; A metal thin film layer formed on the insulating member; 상기 금속박막층 상에 형성된 제1 도금층; 및A first plating layer formed on the metal thin film layer; And 상기 제1 도금층의 상면 및 측면과 상기 금속박막층의 측면에 형성된 제2 도금층을 포함하는 인쇄회로기판.And a second plating layer formed on an upper surface and a side surface of the first plating layer and a side surface of the metal thin film layer. 제 4항에 있어서, 5. The method of claim 4, 상기 제2 도금층의 일부분은 상기 절연부재와 접촉하는 인쇄회로기판.And a portion of the second plating layer is in contact with the insulating member. 절연부재;Insulating member; 상기 절연부재를 관통하는 비아 홀 내에 형성된 비아;A via formed in the via hole passing through the insulating member; 상기 절연부재 상에 제2 회로패턴을 포함하고,A second circuit pattern on the insulating member, 상기 비아는,The vias may include, 상기 절연부재를 관통하는 비아 홀의 내벽에 형성되는 제 1 부분과,A first portion formed on an inner wall of the via hole passing through the insulating member, 상기 절연부재 위에 형성되어 상기 제 1 부분과 연결되며, 상기 제 2 회로패턴에 대응하는 제 2 부분을 포함하며,A second portion formed on the insulating member and connected to the first portion, the second portion corresponding to the second circuit pattern, 상기 비아의 제 2 부분을 포함하는 상기 제2 회로패턴은 The second circuit pattern including the second portion of the via 상기 절연부재 위에 형성된 금속박막층; A metal thin film layer formed on the insulating member; 상기 금속박막층 상에 형성된 제1 도금층; 및A first plating layer formed on the metal thin film layer; And 상기 제1 도금층의 상면 및 측면과 상기 금속박막층의 측면에 형성된 제2 도금층을 포함하며,And a second plating layer formed on an upper surface and a side surface of the first plating layer and a side surface of the metal thin film layer, 상기 제 2 도금층은, 상기 제 1 도금층의 상면이 가지는 제 1 폭보다 넓은 제 2 폭을 갖는 인쇄회로기판.Wherein the second plating layer has a second width larger than a first width of the upper surface of the first plating layer. 제 6항에 있어서, The method according to claim 6, 상기 제 2 회로 패턴의 제2 도금층은 상기 금속 박막층 및 상기 제 1 도금층의 측면과 접촉하지 않으면서 상기 제1 회로패턴층의 상면에만 접촉하는 인쇄회로기판.And the second plating layer of the second circuit pattern contacts only the upper surface of the first circuit pattern layer without contacting the side surfaces of the metal thin film layer and the first plating layer. 삭제delete 제 4항 또는 제 6항에 있어서,The method according to claim 4 or 6, 상기 금속박막층 및 제1 도금층의 두께는 합쳐서 10μm 이하의 두께로 형성된 인쇄회로기판.Wherein the thickness of the metal thin film layer and the thickness of the first plating layer are both 10 占 퐉 or less.
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