KR101471705B1 - Method and system for manufacturing display panel - Google Patents
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Abstract
전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착한다.
먼저, 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리를 액상 접착제(3)를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써, 액상 접착제(3)를 대향면(1a, 2a)을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 사이에 액상 접착제(3)를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께가 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정이 필요 없는 상태가 된다. 그 후, 대기 중에서 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제(3) 상에 올려진 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 액상 접착제(3)의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않기 때문에 액상 접착제(3)가 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.The electro-optical panel and the substrate are bonded with a uniform gap in a completely inorganic state.
First, in the vacuum atmosphere, the opposing faces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 are superimposed in the Z direction by sandwiching the liquid adhesive 3 therebetween, (1a, 2a). Subsequently, by locally stretching the liquid adhesive 3 between the electro-optical panel 1 and the substrate 2, the local vacuum in the liquid adhesive 3 is lost, so that the liquid adhesive 3 is in a substantially stationary state The layer thickness of the liquid adhesive 3 becomes substantially uniform in the Z direction on the entire opposing surfaces 1a and 2a of the electro-optical panel 1 and the substrate 2, and no further gap adjustment is required . Thereafter, when either one of the electro-optical panel 1 and the substrate 2 is moved in the X and Y directions relative to the other side in the atmosphere to align them, the electric power put on the liquid adhesive 3 having a substantially uniform layer thickness It is only required to smoothly slide either the optical panel 1 or the substrate 2 along the interface of the liquid adhesive 3 and the liquid adhesive 3 does not deform due to no pressure, There is no work.
Description
본 발명은, 예를 들면 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등, FPD(플랫 패널 디스플레이) 등을 포함하는 전기 광학 패널에 대해 새롭게 부가적 기능을 갖는 기판을 접합한 부가 기능 기판 접합형 표시 패널의 제조 방법 및 그 방법을 실시하기 위해 사용하는 제조 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an additional functional substrate bonding method in which a substrate having an additional function is bonded to an electro-optical panel including a FPD (Flat Panel Display) or the like such as a touch panel, a 3D (3D) Type display panel and a manufacturing system used for carrying out the method.
자세하게는, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 방법 및 그 제조 시스템에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to an electro-optical panel and a manufacturing method of the display panel and a manufacturing system of the display panel, wherein the substrate has a light-transmitting property and projects the light emitted from the electro-optical panel to the viewer side with a liquid adhesive.
종래, 이런 종류의 표시 패널의 제조 방법으로서 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널(액정 패널)과 자외선 경화성 접착제가 부분적으로 묘화(도포)된 기판(커버 유리)을 위치맞춤한 상태로 서로 압압하고, 그 후 상기 전기 광학 패널을 가(假)UV경화 장치의 테이블에 진공 흡착시킴과 함께 상기 기판을 가압판에 진공 흡착시키고, 이어서 가압 부재로 가압판 전체를 테이블측으로 압압함과 함께, 스프링으로 가압판의 주연부를 테이블측으로 압압하는 것에 의해, 전기 광학 패널과 기판이 서로 접근하는 방향으로 압압되고, 또한 전기 광학 패널 및 기판의 주연부가 중앙부측보다 강한 힘으로 압압되고, 또 압압과 함께 테이블과 가압판의 상대 위치를 조정해 전기 광학 패널 및 기판을 얼라인먼트 처리하여 그 후 가접착 공정을 하고, 마지막으로 본경화 처리(본접착 공정)를 하여 전기 광학 패널과 기판이 본접착되는 전기 광학 장치의 제조 방법이 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).Conventionally, as a manufacturing method of this type of display panel, a substrate (cover glass) partially coated with an electro-optical panel (liquid crystal panel) and an ultraviolet ray-curable adhesive is pressed against each other in a vacuum state in a vacuum atmosphere, Then, the electro-optical panel is vacuum-adsorbed on a table of a UV curing apparatus, and the substrate is vacuum-adsorbed onto a pressure plate. Subsequently, the entire pressure plate is pressed to the table side by a pressing member, Optical panel and the substrate are pressed in a direction in which the electro-optical panel and the substrate come close to each other, and the periphery of the electro-optical panel and the substrate is pressed with a stronger force than the central portion, and the relative position of the table and the pressure plate The alignment of the electro-optical panel and the substrate is adjusted, and thereafter the adhesion process is performed. Finally, A manufacturing method (the attaching process) by the electro-optical device to which the electro-optical panel substrate and the adhesive (for example, see Patent Document 1).
이러한 종래의 표시 패널의 제조 방법에서는, 가UV경화 장치의 테이블과 가압판에 전기 광학 패널과 기판을 각각 진공 흡착한 상태로 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 하지만, 이들 진공 흡착에 의한 전기 광학 패널 및 기판의 지지는 대기 중이 아니면 확실히 행할 수 없다.In the conventional manufacturing method of the display panel, the electro-optical panel and the substrate are vacuum-adhered to the table and the pressure plate of the UV curing apparatus, respectively, and are pressed together in the direction of approaching each other. The supporting of the electro-optical panel and the substrate can not be reliably performed unless the electro-optical panel and the substrate are standing by.
그렇게 보면, 대기 중에서 전기 광학 패널과 기판이 서로 접근하는 방향으로 압압되게 되고, 이에 따라, 접착제가 두께 방향으로 눌려 변형 유동하면서 액정 패널 및 기판의 대향면을 따라 유동해 눌려 퍼진다.As a result, the electrooptic panel and the substrate are pressed in the direction of approaching each other in the atmosphere, whereby the adhesive is pressed and spread in the thickness direction while flowing along the opposite surfaces of the liquid crystal panel and the substrate.
그러나 대기 중에서의 접착제의 변형 유동은 그 변형 유동 과정에서 공기가 말려들기 쉽게 되는 것을 피할 수 없고, 완전한 무기포로 접착할 수 없는 점에서 불량품이 발생하기 쉬워 수율이 나쁘다는 문제가 있었다.However, the deformation flow of the adhesive in the atmosphere is inevitable because air can not easily be entrained in the deformation flow process, and since it can not be bonded with a perfect inorganic cloth, defective products tend to be generated and the yield is poor.
즉, 접착제의 변형 유동중, 예를 들면 접착제와 기판 사이에 공극이 전혀 생기지 않은 상태로 유동하면 공기가 혼입되는 일은 없지만, 압압중에 전기 광학 패널의 표면에 대해서 기판이 약간이라도 기울어지면 공극이 생겨 공기의 유입이 발생한다는 문제가 있었다. 대기 중에서 가압판을 사용하는 경우에는, 가압판을 지지하는 축기구의 정밀도, 가압판의 일그러짐 등이 존재하고, 이들이 기판에 전달되기 때문에 공기의 유입 문제는 피할 수 없는 것이었다.In other words, if the adhesive flows in a state in which there is no gap between the adhesive and the substrate during the deformation of the adhesive, for example, air is not mixed into the adhesive. However, if the substrate is slightly inclined with respect to the surface of the electro- There has been a problem in that an inflow of foreign matter occurs. In the case of using a pressure plate in the atmosphere, there is a precision of a shaft mechanism for supporting the pressure plate, distortion of the pressure plate, and the like, and they are transferred to the substrate.
또, 기판이 예를 들면 터치 패널의 커버 유리와 같이 모양이나 기호 등이 접착면에 인쇄되는 경우에는, 인쇄부와 비인쇄부 사이에 약간의 요철이 발생하기 때문에 공기의 유입이 더욱 조장된다는 문제도 있었다.In the case where the substrate is printed on the adhesive surface such as a cover glass of a touch panel, for example, there is a problem that the air flows in more easily because a slight irregularity is generated between the printed portion and the non- .
스프링으로 전기 광학 패널 및 기판의 주연부를 중앙부측보다 강한 힘으로 압압해도, 대기 중에서의 접착제의 변형 유동에 수반되는 공기의 유입을 줄일 수 없어 전기 광학 패널과 기판의 사이를 완전한 무기포 상태로 할 수는 없었다.Even when the peripheral portion of the electro-optical panel and the substrate is pressed by a spring with a stronger force than the central portion, inflow of air accompanying the deformation flow of the adhesive in the air can not be reduced and the gap between the electro- There was no number.
특히, 기판 사이즈가 대형화되면, 가압 방식으로는 신뢰성을 얻는 것은 어려웠다.Particularly, when the substrate size becomes large, it has been difficult to obtain reliability in the pressure method.
또, 전기 광학 패널과 기판을 1조씩 중첩해 위치맞춤하므로, 생산성이 뒤떨어진다는 문제가 있었다.In addition, since the electro-optical panel and the substrate are overlapped one by one and aligned, there is a problem that the productivity is inferior.
본 발명은 이러한 문제에 대처하는 것을 과제로 하는 것으로, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착하는 것 등을 목적으로 하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to overcome such a problem and to provide a method of bonding an electrooptical panel and a substrate in a completely inorganic state with a uniform gap.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 방법은, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 방법으로서, 진공 분위기 속에서 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면을 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 공정과, 상기 합착 공정에서 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면을 따라 상기 액상 접착제를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 그 액상 접착제의 층 두께를 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 하는 레벨링 공정과, 상기 레벨링 공정 후에 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 공정과, 상기 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 공정을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above-mentioned object, a manufacturing method of a display panel according to the present invention is a manufacturing method of a display panel which has a light-transmitting property and a substrate on which a light emitted from the electro- Optical panel and the substrate in a Z-direction so as to sandwich the liquid-based adhesive therebetween in a vacuum atmosphere; and a step of bonding the electro-optical panel and the substrate A leveling step of naturally stretching the liquid adhesive along the opposed surface for a predetermined period of time to make the thickness of the liquid adhesive to be substantially uniform in the Z direction over the entire opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate; And then either the electro-optical panel or the substrate is exposed to the other side And a curing step of curing the liquid adhesive disposed between the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate aligned in the inorganic film aligning step .
또, 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 시스템은, 전기 광학 패널과, 투광성을 가지며 상기 전기 광학 패널로부터 사출된 빛을 시인측에 사출하는 기판을 액상 접착제로 맞붙이는 표시 패널의 제조 시스템으로서, 진공 챔버를 가지고, 그 진공 챔버 내에서 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 지지하여 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛과, 상기 합착 유닛에 의해 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 착탈 가능하게 지지하여 상기 진공 챔버 내로부터 대기 중으로 반송하는 반송 유닛과, 대기 중에 설치되며, 상기 반송 유닛에 의해 반송된 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛과, 상기 무기포 정렬 유닛에 의해 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 유닛을 구비하고, 상기 반송 유닛은 상기 진공 챔버 내로부터 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 대기 중의 상기 무기포 정렬 유닛으로 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면을 따라 상기 액상 접착제가 자연 신장하여, 그 액상 접착제의 층 두께가 상기 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되도록 하는 것을 특징으로 한다.The manufacturing system of the display panel according to the present invention is an apparatus for manufacturing a display panel which comprises an electro-optical panel and a liquid-gluing agent for projecting light emitted from the electro- Optical panel and the substrate in the vacuum chamber so as to overlap each other in the Z direction so as to sandwich the liquid adhesive therebetween; Optical system, comprising: a transfer unit detachably supporting a substrate and transferring the substrate from the vacuum chamber to the atmosphere; and a transfer unit which is provided in the air and transfers either the electro-optical panel or the substrate transferred by the transfer unit to the other An inorganic encapsulating unit for moving and aligning the inorganic encapsulation unit, And a curing unit for curing the liquid adhesive which is disposed between the electro-optical panel and the opposing surface of the substrate, wherein the electro-optical panel is danced, and the curing unit for curing the liquid adhesive is disposed between the electro- The liquid adhesive is naturally stretched along the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate during a predetermined period of time until the substrate is transported and set by the alignment unit, and the layer thickness of the liquid adhesive is substantially uniform in the Z- And the like.
전술한 특징을 갖는 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 방법은, 먼저 합착 공정에 있어서, 진공 분위기 속에서 전기 광학 패널과 기판의 대향면끼리를 액상 접착제를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써, 액상 접착제를 대향면을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서 레벨링 공정에 있어서, 전기 광학 패널과 기판 사이에 액상 접착제를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제의 층 두께가 전기 광학 패널 및 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정은 필요 없는 상태가 된다. 그 후의 무기포 정렬 공정에 있어서, 대기 중에서 전기 광학 패널 및 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제 상에 올려진 전기 광학 패널 또는 기판 중 어느 한쪽을 액상 접착제의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않으므로 액상 접착제는 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.In the method of manufacturing a display panel according to the present invention having the above-described characteristics, in the laminating step, the opposing faces of the electro-optical panel and the substrate are superimposed in the Z direction with a liquid adhesive interposed therebetween in a vacuum atmosphere, Is forcibly stretched along the opposite surface. Subsequently, in the leveling process, by locally stretching the liquid adhesive between the electro-optical panel and the substrate, the local vacuum in the liquid adhesive disappears, so that the liquid adhesive becomes approximately stationary and stabilized, Becomes substantially uniform in the Z direction over the entire opposing surface of the substrate, and no further gap adjustment becomes necessary. In the subsequent inorganic sealing process, when the electro-optical panel and the substrate are aligned with each other in the XY &thetas; direction and aligned in the air, the electro-optical panel or the electro- It is only necessary to smoothly slide one of the substrates along the interface of the liquid adhesive, and since the liquid adhesive does not pressurize, the liquid adhesive does not deform so that the air is not curled.
따라서, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Thus, the electro-optical panel and the substrate can be bonded with a uniform gap in a complete inorganic state.
그 결과, 진공 흡착된 전기 광학 패널과 기판을 대기 중에서 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 행하는 종래의 제조 방법에 비해, 전기 광학 패널의 사이즈가 커져도 무기포의 성능을 향상시킬 수 있어 수율이 큰 폭으로 좋아진다.As a result, the performance of the inorganic foil can be improved even when the size of the electro-optical panel is increased, compared with the conventional manufacturing method in which the vacuum-adsorbed electro-optical panel and the substrate are pressed together in the direction of approaching each other in the atmosphere The yield is greatly improved.
또, 전술한 특징을 갖는 본 발명에 의한 표시 패널의 제조 시스템은 먼저, 합착 유닛에 의해 진공 챔버 내에서 전기 광학 패널과 기판의 대향면끼리를 액상 접착제를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩함으로써 액상 접착제를 대향면을 따라 강제적으로 신장시킨다. 이어서, 반송 유닛에 의해 진공 챔버 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널 및 기판을 대기 중의 무기포 정렬 유닛에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 전기 광학 패널과 기판 사이에 액상 접착제를 자연 신장시킴으로써, 액상 접착제 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제의 층 두께가 전기 광학 패널 및 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 되어, 더 이상의 갭 조정은 필요 없는 상태가 된다. 그 후, 무기포 정렬 유닛에 의해, 대기 중에서 전기 광학 패널 및 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 경우, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제 상에 올려진 전기 광학 패널 또는 기판 중 어느 한쪽을 액상 접착제의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않으므로 액상 접착제는 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.In the manufacturing system of a display panel according to the present invention having the above-described characteristics, first, the liquid-impervious faces of the electro-optical panel and the substrate are superimposed in the Z direction by sandwiching the electro- Is forcibly stretched along the opposite surface. Next, the liquid adhesive is naturally stretched between the electro-optical panel and the substrate during a predetermined time until the electro-optical panel and the substrate, which have been superimposed from the inside of the vacuum chamber by the transport unit, are transported and set in the atmospheric inorganic particle aligning unit, The localized vacuum in the liquid adhesive disappears, so that the liquid adhesive becomes substantially stationary, and the layer thickness of the liquid adhesive becomes substantially uniform in the Z direction over the entire opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate, The state becomes absent. Thereafter, when the inorganic encapsulation unit moves and aligns the electrooptic panel and the substrate in the air in the XY &thetas; direction with respect to the other, the electrooptical panel and the substrate, which are placed on the liquid adhesive having a substantially uniform layer thickness, Or the substrate can be smoothly slid along the interface of the liquid adhesive, and since the liquid adhesive does not pressurize, the liquid adhesive does not deform and does not cause the air to curl up.
따라서, 전기 광학 패널과 기판을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Thus, the electro-optical panel and the substrate can be bonded with a uniform gap in a complete inorganic state.
그 결과, 진공 흡착된 전기 광학 패널과 기판을 대기 중에서 서로 접근하는 방향으로 압압함과 함께 위치맞춤을 행하는 종래의 제조 시스템에 비해, 전기 광학 패널의 사이즈가 커져도 무기포의 성능을 향상시킬 수 있어 수율이 큰 폭으로 좋아진다.As a result, the performance of the inorganic foil can be improved even when the size of the electro-optical panel is increased as compared with the conventional manufacturing system in which the vacuum-adsorbed electro-optical panel and the substrate are pressed together in the direction approaching each other in the atmosphere The yield is greatly improved.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널의 제조 시스템을 나타내는 블록도이다.
도 2는 합착 유닛의 종단 정면도이며, (a)가 중첩 전 상태를 나타내고, (b)가 중첩 후의 상태를 나타내고 있다.
도 3은 무기포 정렬 유닛의 종단 정면도이며, (a)가 평면도, (b)가 일부 절결 정면도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널의 제조 방법을 나타내는 플로우차트이다.1 is a block diagram showing a manufacturing system of a display panel according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a longitudinal end elevational view of the cementing unit, in which (a) shows a state before superimposition, and (b) shows a state after superimposition.
Fig. 3 is a longitudinal front view of the inorganic wrapping unit, and Fig. 3 (a) is a plan view and Fig. 3 (b) is a partially cutaway front view.
4 is a flowchart showing a manufacturing method of a display panel according to an embodiment of the present invention.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초해 상세하게 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템은 도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 액상 접착제(3)가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛(10), 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 대기 중에 반송하는 반송 유닛(20), 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 XYθ 방향으로 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛(30), 위치맞춤된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 사이에 배치되는 액상 접착제(3)를 경화시키는 경화 유닛(40), 이들 합착 유닛(10), 반송 유닛(20), 무기포 정렬 유닛(30) 및 경화 유닛(40) 등을 각각 작동 제어하는 제어부(50)를 주요한 구성요소로서 구비한다.As shown in Figs. 1 to 3, the manufacturing system of the display panel A according to the embodiment of the present invention is configured so that the electro-optical panel 1 and the
전기 광학 패널(1)은 전기 광학 물질층과 이에 전압을 인가하는 수단을 구비한 것이고, 전기 신호에 기초한 전압 인가에 의해 전기 광학 물질층 상태를 변화시켜 원하는 빛을 취출하는 것이 가능하게 되어 있다.The electro-optical panel 1 has an electro-optical material layer and a means for applying a voltage thereto, and it is possible to change the state of the electro-optical material layer by applying a voltage based on an electric signal to extract desired light.
전기 광학 패널(1)의 구체예로서는 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등에 이용되는, 예를 들면 액정 디스플레이(LCD), 유기 EL 디스플레이(OLED), 플라즈마 디스플레이(PDP), 플렉시블 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등을 들 수 있다.Examples of the electro-optical panel 1 include a liquid crystal display (LCD), an organic EL display (OLED), a plasma display (PDP), a flexible display, etc. used for a touch panel, a 3D A flat panel display (FPD), and the like.
또, 전기 광학 패널(1)은 직사각형 등으로 형성되고, 그 주연부에는 후술하는 기판(2)과의 위치맞춤에 이용하는 얼라인먼트 마크(도시하지 않음)를 형성하는 것이 바람직하다.It is preferable that the electro-optical panel 1 is formed in a rectangular shape or the like, and an alignment mark (not shown) used for alignment with the
또, 전기 광학 패널(1)로서는, 그 제작 단계에서 복수의 전기 광학 패널(1)이 병설되는 분리 전의 한 장을 사용할 수도 있다.As the electro-optical panel 1, it is also possible to use one sheet before separation in which a plurality of electro-optical panels 1 are juxtaposed.
기판(2)은 유리나 석영, 플라스틱 등의 투광성을 갖는 재료로 이루어지는 것이고, 전기 광학 패널(1)로부터 사출된 빛을 투과해 Z방향측(시인측)으로 사출함과 함께, 표시 패널(A)의 용도에 따른 기능을 가지고 있다.The
기판(2)의 구체예로서는 터치 패널이나 3D(3차원) 디스플레이나 전자 서적 등에 이용되는 커버 유리나 배리어 유리 등을 들 수 있고, 예를 들면 터치 패널로서 이용되는 경우에는 모양이나 기호 등의 패턴이 접착면인 표면에 인쇄된다.As a specific example of the
기판(2)의 크기나 평면 형상은 전기 광학 패널(1)과 동일한 정도의 직사각형 등으로 형성되고, 그 주연부에는 전기 광학 패널(1)과의 위치맞춤에 이용하는 얼라인먼트 마크(도시하지 않음)를 형성하는 것이 바람직하다.The size or planar shape of the
또, 기판(2)으로서는, 그 제작 단계에서 복수의 기판(2)이 병설되는 분리 전의 한 장을 사용할 수도 있다.As the
액상 접착제(3)는 빛 에너지를 흡수해 중합이 진행되는 것에 의해 경화하여 접착성을 발현하는 광경화성을 갖는 접착제나 열경화형 접착제나 2액혼합 경화형 접착제 등을 포함하고, 중합도(경화도)가 낮은 상태에서는 유동성을 가지며, 중합도(경화도)가 높아짐에 따라 유동성이 저하되어 변형되기 어려워지도록 구성된다.The
또, 액상 접착제(3)는 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(표면)(1a, 2a)에 대해서 부분적으로 도포되고, 후술하는 합착 유닛(10)에 의해 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 중첩하는 것에 의해, 이들 대향면(1a, 2a)을 따라 액상 접착제(3)가 신장하여, 최종적으로는 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 된다.The
액상 접착제(3)의 구체예로서는 자외선 경화형 접착제 등이 이용된다.As a specific example of the
또, 액상 접착제(3)의 도포 방법으로서는, 예를 들면 디스펜서 등의 액체 정량 토출기를 포함하는 도포 수단(도시하지 않음)을 이용해 대향면(1a, 2a)에 점 형상이나 선 형상으로 묘화하고, 후술하는 합착 유닛(10)에 의해 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리가 중첩됨으로써, 점 형상이나 선 형상의 액상 접착제(3)가 각각 신장하여, 그 계면끼리 접촉해 서로 연결되도록 분산 배치하는 것이 바람직하다.As a coating method of the
그리고, 합착 유닛(10)은 그 전체 또는 일부가 개폐 구동부(11a)의 작동에 의해 개폐 가능하게 형성되는 진공 챔버(11)와, 진공 챔버(11) 내에 Z방향[도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 상하 방향]으로 대향하도록 마련되어 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지판(12, 13)과, 이들 지지판(12, 13)의 어느 한쪽 또는 양쪽을 Z방향으로 서로 접근 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 중첩하는 승강 구동부(14)를 가지고 있다. The
한 쌍의 지지판(12, 13)은, 예를 들면 금속이나 세라믹스 등의 강체로 일그러짐(휨) 변형되지 않는 두께의 평판 형상으로 형성되고, 그 서로 대향하는 지지면(12a, 13a)에, 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 지지 수단(도시하지 않음)으로서 예를 들면 점착 척 또는 정전 척이나 흡인 척의 조합 등이 형성됨과 함께, 진공 챔버(11)에 대해서 지지면(12a, 13a)의 어느 한쪽 또는 양쪽이 Z방향으로 평행한 상태로 서로 접근 또는 이격하도록 왕복 이동 가능하게 지지한다.The pair of
도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 하방에 배치되는 지지판(12)의 지지면(12a)에 전기 광학 패널(1)이 지지되고, 상방에 배치되는 지지판(13)의 지지면(13a)에 기판(2)이 지지되고, 하방의 지지판(12)에 대해서 상방의 지지판(13)만을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동시키도록 구성되어 있다.In the example shown in Figs. 2A and 2B, the electro-optical panel 1 is supported on the
또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 하방의 지지판(12)에 기판(2)을 지지함과 함께 상방의 지지판(13)에 전기 광학 패널(1)을 지지하거나 상방의 지지판(13)에 대해서 하방의 지지판(12)만을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동하거나 하방의 지지판(12) 및 상방의 지지판(13)의 양방을 승강 구동부(14)에 의해 승강 이동시키는 것도 가능하다.Although not shown as another example, it is also possible to support the
또, 진공 챔버(11)의 내부에 있어서 지지판(12, 13)의 주위에는 기압 조정 가능한 폐공간(S)을 형성하고, 그 폐공간(S)이 진공 또는 그것에 가까운 상태로 감압된 분위기의 환경 하에서, 지지면(12a, 13a)을 서로 접근 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 중첩하는 것이 바람직하다.A closed space S capable of adjusting the atmospheric pressure is formed around the
반송 유닛(20)은 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 수단으로서 예를 들면 흡착 패드 등을 갖는 반송용 로봇 등이고, 적어도 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11)와 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)에 걸쳐 왕복 이동 가능하게 설치되어, 합착 유닛(10)에 의해 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 무기포 정렬 유닛(30)을 향해 반송해 옮긴다.The
반송 유닛(20)의 구체예로서는, 합착 유닛(10)의 지지판(12, 13)에 설치되는 승강 가능한 리프트 핀(도시하지 않음) 등과 협력해 작동하는 것에 의해, 진공 챔버(11) 내에서 중첩된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 지지면(12a, 13a)으로부터 받아, 진공 챔버(11) 내에서 외부의 대기 중에 취출함과 함께 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 중첩된 상태를 유지하면서 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)을 향해 반송하고, 그 지지 척(31) 상의 정해진 위치에 세트한다.As a specific example of the
또 필요에 따라서 반송 유닛(20)에 의해, 예를 들면 디스펜서 등의 액체 정량 토출기를 포함하는 도포 수단이 배치되는 외부 영역으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을, 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11) 내부를 향해 반입하고, 또 후술하는 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 무기포 정렬 공정 및 후술하는 경화 유닛(40)에 의한 액상 접착제(3)의 경화 공정이 종료된 후에, 무기포 정렬 유닛(30)으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 반출하도록 이동 제어하는 것이 바람직하다.The electroconductive panel 1 and the
또 필요에 따라서 반송 유닛(20)에는 반송중인 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)에 대해, 각각의 대향면(1a, 2a) 사이에 끼워진 액상 접착제(3)의 자연 신장을 촉진하기 위해, 미진동이 포함된 적당한 진동을 주는 수단을 구비하거나 반송중인 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 체류를 일정 시간에 걸쳐 유지해 선입선출하는 버퍼 수단을 구비하는 것도 가능하다.In order to facilitate the natural extension of the
무기포 정렬 유닛(30)은 대기 중에 배치되고, 반송 유닛(20)에 의해 반송된 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지하는 한 쌍의 지지 척(31, 32)과, 이들 지지 척(31, 32) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해서 XYθ 방향[도 3의 (a)에 나타내는 예에서는 상하 좌우 및 경사 방향]으로 이동시켜 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 위치맞춤하는 수평 구동부(33)와, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 주연부에 배치되는 얼라인먼트 마크 등을 검출하기 위한 위치 검출부(34)를 갖는다.The
한 쌍의 지지 척(31, 32)은, 예를 들면 금속이나 세라믹스 등의 강체로 일그러짐(휨) 변형되지 않는 두께의 평판 형상으로 형성되고, 그 서로 대향하는 지지면(31a, 32a)에 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2)을 착탈 가능하게 지지하는 지지 수단(도시하지 않음)으로서, 예를 들면 흡인 척이나 정전 척이나 점착 척이나 마찰 척 또는 그 조합 등이 형성됨과 함께, 지지면(31a, 32a)의 진공 챔버(11)에 대해서 지지면(12a, 13a) 중 어느 한쪽이 타른 쪽에 대해 평행 상태를 유지하면서 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지한다.The pair of support chucks 31 and 32 are formed in a flat plate shape having a thickness that is not deformed by a rigid body such as metal or ceramics and are supported by supporting
도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)의 주연부에 위치 검출부(34)로서 카메라를 설치한다. 또, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)에 대해서, 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)을 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지한다.In the example shown in Figs. 3A and 3B, a camera is provided as the
또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)에 대해서, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)을 XYθ 방향으로 이동 가능하게 지지하는 것도 가능하다.Although not shown as another example, the
경화 유닛(40)은 액상 접착제(3)의 중합도(경화도)를 높이기 위해 빛 에너지를 조사함으로써, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 위치맞춤 직후에 이들을 이동시키지 않고 액상 접착제(3)의 중합도(경화도)를 높인다.The curing
경화 유닛(40)의 구체예로서, 액상 접착제(3)가 자외선 경화형 접착제 등이 이용되는 경우에는 자외선을 조사하는 UV 조사부가 있고, 이것은 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)의 사이를 따라 신장된 액상 접착제(3)의 일부 또는 전부를 향해 자외선을 조사시킨다.As a specific example of the curing
도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)의 주연부에 경화 유닛(40)으로서 UV 조사 헤드를 배치하고, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)의 사이를 따라 신장된 액상 접착제(3)의 주연부에 있어서 수 개소를 부분적으로 경화시키는 것에 의해, 필요 최저한의 가경화를 수행하고, 무기포 정렬 유닛(30)으로부터 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)이 반출된 후에 본경화를 수행하도록 한다.3 (a) and 3 (b), a UV irradiation head is disposed as a
또, 그 외의 예로서 도시하지 않지만, 자외선 경화형 접착제 대신 열경화형 접착제나 2액혼합 경화형 접착제 등을 이용하거나 액상 접착제(3)의 전부를 본 경화시키는 것도 가능하다.In addition, although not shown as another example, it is possible to use a thermosetting adhesive, a two-liquid mixture curing adhesive or the like instead of the ultraviolet curable adhesive, or to completely cure the entire liquid adhesive (3).
제어부(50)는 합착 유닛(10)에 있어서의 진공 챔버(11)의 개폐 구동부(11a)나 승강 구동부(14), 반송 유닛(20), 무기포 정렬 유닛(30)에 있어서의 수평 구동부(33)나 위치 검출부(34) 및 경화 유닛(40) 등과 전기적으로 접속하는 컨트롤러이고, 미리 설정된 프로그램에 따라 차례로 작동시키도록 제어한다.The
특히, 제어부(50)는 반송 유닛(20)의 작동 속도를 조정하거나 하여, 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 중첩이 완료된 시점부터, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 위치맞춤이 개시되는 시점까지의 시간을 임의로 설정할 수 있게 한다.Particularly, the
자세하게는, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 중첩이 완료된 시점부터 시작되는 액상 접착제(3)의 자연 신장에 대응해, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 위치맞춤이 개시되는 시간을 임의로 설정할 수 있게 한다.More specifically, in response to the natural stretching of the
즉, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)에 대해서 부분적으로 도포된 액상 접착제(3)를 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 따라 자연 신장시켜, 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 하고 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께를 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 한 후, 무기포 정렬 유닛(30)에 의한 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 위치맞춤이 개시되도록 한다.That is, the
또, 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)을 생산하기 위한 제조 방법은 도 4에 나타내는 플로우차트와 같이, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 중첩하기 위한 합착 공정과, 액상 접착제(3)를 자연 신장시키기 위한 레벨링 공정과, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 위치맞춤하기 위한 무기포 정렬 공정과, 액상 접착제(3)를 경화시키기 위한 경화 공정을 포함한다.As shown in the flow chart of Fig. 4, the manufacturing method for producing the display panel A according to the embodiment of the present invention includes a laminating step for laminating the electro-optical panel 1 and the
합착 공정은 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내의 진공 분위기 속에서서, 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 그들 사이에 액상 접착제(3)가 끼워지도록 Z방향으로 중첩해 가접합한다.In the laminating process, the
레벨링 공정은 반송 유닛(20) 등에 의해 진공 챔버(11) 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 취출하고, 무기포 정렬 유닛(30)에 세트할 때까지의 정해진 시간에 합착 공정에서 중첩된 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)을 따라 액상 접착제(3)를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 대향면(1a, 2a)의 대략 전체에 충만하게 하고 액상 접착제(3)의 층 두께를 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서 Z방향으로 대략 균일하게 한다.The leveling process is a process for removing the electrooptical panel 1 and the
무기포 정렬 공정은 레벨링 공정 후에 무기포 정렬 유닛(30)에 의해 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤한다.After the leveling process, either one of the electrooptic panel 1 or the
액상 접착제(3)의 경화 공정은 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 간에 배치되는 액상 접착제(3)를 경화 유닛(40)에 의해 그 일부 또는 전부를 경화시킨다.The curing process of the
이러한 본 발명의 실시 형태에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템 및 제조 방법에 의하면, 먼저 합착 공정에서는 합착 유닛(10)에 의해 진공 챔버(11) 내에서 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)끼리가 액상 접착제(3)를 사이에 끼워 Z방향으로 중첩된다.According to the manufacturing system and the manufacturing method of the display panel (A) according to the embodiment of the present invention, in the laminating step, the electrostatic optical panel 1 and the
이에 따라, 액상 접착제(3)가 대향면(1a, 2a)을 따라 강제적으로 신장되고, 대향면(1a, 2a)의 대부분에 액상 접착제(3)가 충만된다.Thereby, the
그 후의 레벨링 공정에서는 반송 유닛(20)에 의해, 진공 챔버(11) 내로부터 중첩이 완료된 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 대기 중의 무기포 정렬 유닛(30)에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 사이에서 액상 접착제(3)가 자연 신장된다.In the subsequent leveling process, when the
이에 따라, 액상 접착제(3) 내의 국부적인 진공 등이 소실되어, 액상 접착제(3)는 대략 정지 안정된 상태가 되고, 액상 접착제(3)의 층 두께가 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)의 대향면(1a, 2a) 전체에서, Z방향으로 도포된 액상 접착제(3)의 체적에 맞게 대략 균일해진다. 이에 따라, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)의 대향면(1a, 2a)이 평행하게 되어, 더 이상의 갭 조정이 필요 없는 상태가 된다.As a result, the local vacuum in the
그 후의 무기포 정렬 공정에서는 무기포 정렬 유닛(3)에 의해, 대기 중에서 전기 광학 패널(1) 및 기판(2) 중 어느 한 쪽이 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동하여 위치맞춤된다.In the subsequent inorganic sealing process, either one of the electro-optical panel 1 and the
이에 따라, 대략 균일한 층 두께의 액상 접착제(3) 상에 올려진 전기 광학 패널(1) 또는 기판(2) 중 어느 한쪽을 액상 접착제(3)의 계면을 따라 원활하게 슬라이딩시키기만 하면 되고, 가압하지 않기 때문에 액상 접착제(3)가 변형 유동하지 않아 공기가 말려들게 하는 일은 없다.This makes it possible to smoothly slide either the electrooptic panel 1 or the
특히, 기판(2)이 예를 들면 터치 패널의 커버 유리와 같이 모양이나 기호 등의 패턴이 접착면에 인쇄되어 인쇄부와 비인쇄부 사이에 약간의 요철이 생겼다고 해도, 약간의 요철에 액상 접착제(3)가 무기포 상태로 파고 들어 고체와 액체의 계면이 융합되기 때문에, 액상 접착제(3) 자체의 유체 동작으로서 원활하게 이동한다.Particularly, even if the
따라서, 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 완전한 무기포 상태이며 균일한 갭으로 접착할 수 있다.Thus, the electro-optical panel 1 and the
다음으로 본 발명의 일 실시예를 도면에 기초해 설명한다.Next, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
실시예Example
이 실시예는 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 개별적으로 배치하여 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 진공 챔버(11) 내에서 동시에 중첩하고, 이들을 반송 유닛(20)에 의해 반송하여, 중첩된 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 차례로 위치맞춤한 것이다.In this embodiment, as shown in Figs. 2 and 3, a plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the
즉, 합착 유닛(10)은 진공 챔버(11) 내에서 지지판(12, 13)에 의해 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 복수 조 각각이 서로 대향하도록 지지하고, 각각 접근 이동시켜 동시에 중첩하고, 반송 유닛(20)은 합착 유닛(10)에 의해 중첩된 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 진공 챔버(11) 내로부터 무기포 정렬 유닛(30)에 반송하고, 무기포 정렬 유닛(30)은 반송 유닛(20)에 의해 반송된 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 각각 착탈 가능하게 지지해 차례로 위치맞춤한다.That is, the
도 2의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 합착 유닛(10)의 진공 챔버(11)가 전체적으로 Z방향으로 분할 가능하게 구성되고, 그 내부에 구획 형성되는 폐공간(S)이 정해진 진공도에 이른 후 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 중첩하고, 그 후에 폐공간(S)이 대기 개방되는 대기 개방형의 진공 챔버이다.2 (a) and 2 (b), the
또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 진공 챔버(11)가 분리 불가능하고 그 측벽의 일부에 출입구를 개설하여, 이 출입구를 덮도록 문이 개폐동 가능하게 지지되고, 이 문을 개폐 구동부(11a)의 작동에 의해 개폐동시켜 그 문을 열었을 때에 전기 광학 패널(1) 및 기판(2)을 반송 유닛(20)에 의해 출입시키는 것도 가능하다.Although not shown as another example, the
또, 도시한 예에서는 복수의 전기 광학 패널(1)로서, 그 제작 단계에서 복수의 전기 광학 패널(1)이 병설되는 분리 전의 한 장을 하방의 지지판(12)에 지지하고, 이들 복수의 전기 광학 패널(1)과 각각 대향해 분리된 복수 장의 기판(2)을 상방의 지지판(13)에 지지한다.In the illustrated example, a plurality of electro-optical panels 1 are supported on a
또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 도시한 예와 반대로 복수의 기판(2)으로서, 그 제작 단계에서 복수의 기판(2)이 병설되는 분리 전의 한 장을 지지하고, 이들 복수의 기판(2)과 각각 대향해 분리된 복수 장의 전기 광학 패널(1)을 지지하는 것도 가능하다.Although not shown as another example, in contrast to the example shown in the figures, a plurality of
도 3의 (a)와 (b)에 나타내는 예에서는 전기 광학 패널(1)이 지지되는 하방의 지지 척(31)에 대해서, 기판(2)이 지지되는 상방의 지지 척(32)을 각 전기 광학 패널(1)과 각 기판(2)이 각각 대향하도록 XYθ 방향[도 3의 (a)에 나타내는 예에서는 상하 좌우 방향 및 경사 방향]으로 수평 구동부(33)에 의해 각각 이동 가능하게 지지한다.3 (a) and 3 (b), the
또, 그 외의 예로서 도시하지는 않지만, 도시한 예와 반대로 상방의 지지 척(32)에 대해서 하방의 지지 척(31)이 XYθ 방향으로 수평 구동부(33)에 의해 각각 이동 가능하게 지지하는 것도 가능하다.Although not shown as another example, it is also possible for the
이러한 본 발명의 실시예에 관한 표시 패널(A)의 제조 시스템 및 제조 방법에 의하면, 합착 유닛(10)에 대해서 복수 조의 전기 광학 패널(1) 및 각 기판(2)을 1회 세트하는 것만으로, 그 중첩과 위치맞춤이 이루어진다.According to the manufacturing system and the manufacturing method of the display panel A according to the embodiment of the present invention, only a plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the
이에 따라, 복수 조의 전기 광학 패널(1)과 기판(2)을 효율 좋게 맞붙일 수 있는 이점이 있다.Thus, there is an advantage that a plurality of sets of the electro-optical panel 1 and the
그 결과, 전기 광학 패널과 기판을 한 조씩 중첩하여 위치맞춤하는 종래의 제조 시스템 및 제조 방법에 비해, 표시 패널(A)의 생산성을 향상시킬 수 있어 비용 저감화가 도모된다.As a result, the productivity of the display panel A can be improved, and the cost can be reduced, as compared with the conventional manufacturing system and manufacturing method in which the electro-optical panel and the substrate are superposed and aligned by a pair.
또한, 전술한 실시예에서는 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 개별적으로 배치하고, 이들 양자 사이에 걸쳐 반송 유닛(20)에 의해 반송했지만, 이에 한정되지 않고, 합착 유닛(10)과 무기포 정렬 유닛(30)을 일체적으로 배치하여 그 내부에서 반송 유닛(20)에 의해 반송해도 된다.In the above-described embodiment, the cementing
1 : 전기 광학 패널 1a, 2a : 대향면
2 : 기판 3 : 액상 접착제
11 : 진공 챔버 20 : 반송 유닛
30 : 무기포 정렬 유닛 40 : 경화 유닛1: Electro-
2: substrate 3: liquid adhesive
11: Vacuum chamber 20: Transfer unit
30: Inorganic wrap alignment unit 40: Curing unit
Claims (4)
진공 분위기 속에서 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면을 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 공정과,
상기 합착 공정에 의해 진공 분위기 속에서 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면을 따라 상기 액상 접착제를 정해진 시간에 걸쳐 자연 신장시켜, 그 액상 접착제의 층 두께를 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 대향면 전체에서 Z방향으로 균일하게 하는 레벨링 공정과,
상기 레벨링 공정 후에 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 대기 중에서 XYθ 방향으로 서로 슬라이딩 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 공정과,
상기 무기포 정렬 공정에서 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판의 상기 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 공정
을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법. An electro-optical panel and a method of manufacturing a display panel having a light-transmissive substrate and a substrate for projecting light emitted from the electro-optical panel onto a viewer side,
A step of overlapping the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate in a vacuum atmosphere in a Z direction so that the liquid adhesive is sandwiched therebetween;
The liquid adhesive is naturally stretched along the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate superimposed in a vacuum atmosphere by the laminating step for a predetermined period of time, and the layer thickness of the liquid- In the Z direction from the entire opposing face of the substrate,
Optic panel or the substrate after the leveling step is slid in the XY &thetas;
A curing step of curing the liquid adhesive disposed between the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate aligned in the inorganic encapsulating process
And forming a second electrode on the second substrate.
상기 무기포 정렬 공정에서는 상기 합착 공정에서 중첩된 복수 조의 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 차례로 위치맞춤하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 방법. 2. The electro-optical panel according to claim 1, wherein in the laminating step, a plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate are arranged so as to face each other,
Optical panel and the substrate are sequentially aligned in the inorganic-foam aligning step.
진공 챔버를 가지며, 그 진공 챔버 내의 진공 분위기 속에서 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 지지하여 그들 사이에 상기 액상 접착제가 끼워지도록 Z방향으로 중첩하는 합착 유닛과,
상기 합착 유닛에 의해 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 착탈 가능하게 지지하여 상기 진공 챔버 내의 진공 분위기 속으로부터 대기 중으로 반송하는 반송 유닛과,
대기 중에 설치되며, 상기 반송 유닛에 의해 반송된 상기 전기 광학 패널 또는 상기 기판 중 어느 한쪽을 다른 쪽에 대해 XYθ 방향으로 상호 이동시켜 위치맞춤하는 무기포 정렬 유닛과,
상기 무기포 정렬 유닛에 의해 위치맞춤된 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면 간에 배치되는 상기 액상 접착제를 경화시키는 경화 유닛
을 구비하고,
상기 반송 유닛은 상기 진공 챔버 내의 진공 분위기 속으로부터 중첩된 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 대기 중의 상기 무기포 정렬 유닛에 반송해 세트할 때까지의 정해진 시간 중에, 진공 분위기 속에서 중첩된 상기 전기 광학 패널과 상기 기판의 대향면을 따라 상기 액상 접착제가 자연 신장하여, 그 액상 접착제의 층 두께가 상기 대향면 전체에서 Z방향으로 균일하게 되도록 하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 시스템. An electro-optical panel and a display panel manufacturing system for attaching a substrate having a light-transmitting property and projecting light emitted from the electro-
A bonding unit which has a vacuum chamber, supports the electro-optical panel and the substrate in a vacuum atmosphere in the vacuum chamber, and superposes the liquid-state adhesive in the Z direction so as to sandwich the liquid-
A transport unit detachably supporting the electro-optical panel and the substrate superposed by the coalescing unit and transporting the electro-optical panel and the substrate from the vacuum atmosphere in the vacuum chamber to the atmosphere;
An inorganic encapsulating unit that is installed in the air and moves either one of the electro-optical panel or the substrate carried by the transport unit in the X and Y directions with respect to the other,
And a curing unit for curing the liquid adhesive disposed between the opposing surfaces of the electro-optical panel and the substrate aligned by the inorganic encapsulating unit
And,
The transport unit is configured to transport the electro-optical panel and the substrate stacked from the vacuum atmosphere in the vacuum chamber to the inorganic encapsulating unit in the atmosphere for a predetermined period of time until the organic electro- Wherein the liquid adhesive is naturally stretched along the opposing face of the panel and the substrate so that the layer thickness of the liquid adhesive is uniform in the Z direction over the entire opposing face.
상기 반송 유닛은 상기 합착 유닛에 의해 중첩된 복수 조의 상기 전기 광학 패널 및 상기 기판을 상기 진공 챔버 내로부터 상기 무기포 정렬 유닛에 반송하고,
상기 무기포 정렬 유닛은 상기 반송 유닛에 의해 반송된 복수 조의 상기 전기 광학 패널과 상기 기판을 각각 착탈 가능하게 지지해 차례로 위치맞춤하는 것을 특징으로 하는 표시 패널의 제조 시스템.4. The electro-optical panel according to claim 3, wherein the cementing unit supports the plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate so that the plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate are opposed to each other within the vacuum chamber, and,
The conveying unit conveys a plurality of sets of the electro-optical panel and the substrate superimposed by the cementing unit from the inside of the vacuum chamber to the inorganic encapsulating unit,
Wherein the inorganic encapsulation unit removably supports a plurality of the electro-optical panels carried by the transport unit and the substrate, and aligns them in order.
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