KR101397373B1

KR101397373B1 - Jig for electrical inspection

Info

Publication number: KR101397373B1
Application number: KR1020130032965A
Authority: KR
Inventors: 김현호; 정수환; 안철현; 정원근
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2013-03-27
Filing date: 2013-03-27
Publication date: 2014-05-20

Abstract

The present invention relates to a jig for electrical inspection. The jig for electrical inspection according to the present invention modifies a contact in contact with an electrode part to be inspected from a traditional pin shape to a pad shape so as to easily correspond to a fine pitch of a substrate, make the jig at a low price, and improve the efficiency of electrical inspection. The jig for electrical inspection prevents defects generated in a contact process with the electrode part so as to increase a yield. Especially, the electrical inspection in a four-terminal way inspecting electrical performance by bringing two contacts into contact with the electrode part is easily done and accuracy is improved.

Description

JIG FOR ELECTRICAL INSPECTION}

본 발명은 전기검사용 지그에 관한 것이다.
The present invention relates to a jig for electrical inspection.

본 발명과 관련된 전기검사용 지그(Jig)는 (특허문헌 1)에서 상세히 개시하고 있다. 상기 (특허문헌 1)에 따르면, 기판의 납땜 접합부에 테스트 핀(Test pin)을 접촉시키고, 전기검사하여 전기적 성능을 평가하고 있다.
A jig for electrical inspection related to the present invention is disclosed in detail in Patent Document 1. According to (Patent Document 1) described above, a test pin is brought into contact with a soldered joint portion of a substrate, and electrical inspection is performed to evaluate electrical performance.

즉 상기 (특허문헌 1)은 지지대의 하면에 테스트 핀의 본체를 결합하되, 상기 본체를 세척조의 내부에 상하로 이동 가능하게 구비하고 있다. 따라서 상기 지지대를 하강하여 테스트 핀의 선단이 기판의 납땜 접합부에 접촉한다면, 그 접촉에 의하여 기판의 납땜 접합부에 대한 전기적 성능을 검사할 수 있음을 개시하고 있다.
That is, the above-described (Patent Document 1) has a test pin main body coupled to a lower surface of a support table, and the main body is vertically movable inside the cleaning tank. Therefore, it is disclosed that, if the tip of the test pin is brought into contact with the soldered portion of the substrate by lowering the support, the electrical performance of the soldered portion of the substrate can be inspected by the contact.

한편 (특허문헌 2)에서는 접촉자의 후단과 전극과의 위치 결정을 용이하게 하고, 정확한 검사의 실시를 가능하게 하는 전기검사용 지그(Jig)를 개시하고 있다. 상기 (특허문헌 2)에 따르면, 전기검사용 지그는 검사대상에 전기신호 등의 전력을 공급하는 것과 동시에 상기 검사대상으로부터 전기신호를 검출하는 것에 의해 전기적 특성의 검출, 동작 시험의 실시 등을 하기 위해 사용되고 있음을 개시하고 있다.
On the other hand, Patent Document 2 discloses an electrical inspection jig that facilitates positioning of the rear end of the contactor and the electrode, and enables accurate inspection. According to the above-mentioned Patent Document 2, the electric inspection jig supplies electric power such as an electric signal to an object to be inspected, and detects an electric signal from the object to be inspected, And the like.

여기서 상기 검사대상으로는 회로기판, 액정 디스플레이나 반도체 패키지 등의 반도체 장치가 해당하고 있으며, 상기 검사대상에 접촉자(Contactor)로서, 프로브(Probe)를 채택하고 있다.
Here, a semiconductor device such as a circuit board, a liquid crystal display, or a semiconductor package corresponds to the inspection table, and a probe is used as a contactor for the inspection object.

따라서 상기 (특허문헌 2)에 따르면, 검사대상에 접촉자의 선단을 접촉시키고, 상기 접촉자의 전류공급용 단자로부터 상기 검사대상에 측정용 전류를 공급하는 것과 동시에 접촉자의 선단 간의 배선에 생긴 전압을 측정하여 이러한 공급전류와 측정한 전압으로부터 검사대상의 저항치를 산출하는 것에 의해 전기검사를 수행할 수 있음을 개시하고 있다.
Therefore, according to the above-described Patent Document 2, the tip of the contact is brought into contact with the object to be inspected, a current for measurement is supplied from the current supply terminal of the contactor to the object to be inspected, And the electrical inspection can be performed by calculating the resistance value of the inspection object from the supply current and the measured voltage.

그러나 상기 검사대상, 일례로써 기판이 점점 파인 피치(Fine pitch) 됨에 따라 (특허문헌 1)과 (특허문헌 2)를 통해서는 전기검사를 용이하게 진행하기에 곤란함이 발생할 수 있다.
However, as the substrate to be inspected, for example, is finely pitched, difficulties may arise in conducting electrical inspection easily through (Patent Document 1) and (Patent Document 2).

이는 상기 (특허문헌 1)과 (특허문헌 2)의 경우 검사대상에 핀(Pin) 형태의 테스트 핀 또는 프로브를 접촉시킴으로써, 전기적으로 성능을 검사하고 있는데, 이 경우 상기 테스트 핀 또는 프로브의 두께 등을 감안하여 이를 구성하기 위한 일정한 공간을 필요로 하고 있어 기판의 파인 피치(Fine pitch)에 용이하게 대응할 수 없는 문제점이 있다.
In the case of (Patent Document 1) and (Patent Document 2), a test pin or a probe in the form of a pin is brought into contact with an object to be inspected to electrically check its performance. In this case, It takes a certain space for constructing it and there is a problem that it can not easily cope with the fine pitch of the substrate.

이를 해결하기 위해서는 검사대상의 파인 피치(Fine pitch)에 대응하는 크기로 테스트 핀 또는 프로브를 소형화 및 박형화 설계해야 하나, 이와 함께 전기검사용 지그의 가격 또한 점점 상승하여 비용적인 부담이 발생할 수 있는 문제점이 있다.
In order to solve this problem, it is necessary to design a test pin or a probe with a size corresponding to the fine pitch of the object to be inspected. However, the price of the electric inspection jig also increases, .

한편 검사대상의 더 정확한 전기검사를 하기 위해서는 4 단자 방식을 사용하는 것이 효과적이다. 그러나 (특허문헌 1)과 (특허문헌 2)의 경우 핀 형태의 테스트 핀 또는 프로브의 두께 등을 감안할 때 4 단자 방식에 대응이 안 될 수도 있다.
On the other hand, it is effective to use the 4-terminal method for more accurate electrical inspection of the subject. However, in the case of (Patent Document 1) and (Patent Document 2), it may not be possible to cope with the four-terminal method in consideration of the thickness of the pin or the thickness of the probe.

즉 전기적 성능을 평가시에 방식은 2 단자 및 4 단자가 존재하는데, 상기 2 단자는 검사대상인 기판의 패드(Pad)에 하나의 핀(Pin)이 연결되는 구조이고, 상기 4 단자는 상기 패드에 두 개의 핀이 연결되는 구조로서, 상기 핀의 두께와 패드의 피치를 감안할 때, 상기 (특허문헌 1)과 (특허문헌 2)의 경우 4 단자 방식으로 전기검사를 진행하기에 곤란함이 발생할 수 있다.
In other words, when evaluating the electrical performance, there are two terminals and four terminals in the system. One terminal is connected to a pad of a substrate to be inspected, and the four terminals are connected to the pad Considering the thickness of the pin and the pitch of the pad, it is difficult to conduct the electrical inspection in the four-terminal method in the case of (Patent Document 1) and (Patent Document 2) have.

JPJP 1995-343761995-34376 UU JPJP 2012-1811862012-181186 AA

따라서 본 발명은 상기 (특허문헌 1)과 (특허문헌 2)를 포함하여 종래기술에서 핀 형태의 접촉자를 사용하여 전기적 성능을 검사하는 것을 개선하여 이의 문제점을 해결하기 위한 것이다.
Accordingly, the present invention aims at solving the problem by improving the inspection of the electrical performance using the pin-type contactors in the prior art including the above-mentioned Patent Documents 1 and 2 (Patent Document 2).

본 발명의 관점은, 저가격 및 전기적 검사의 효율성을 높일 수 있으며, 아울러 4 단자 방식으로 전기검사를 용이하게 실시할 수 있도록 한 전기검사용 지그를 제공하는 데 있다.
An aspect of the present invention is to provide a jig for electrical inspection which can increase the efficiency of low-cost and electrical inspection, and can easily conduct electrical inspection in a four-terminal manner.

상기 관점을 달성하기 위해,To achieve this viewpoint,

본 발명의 실시 예에 따른 전기검사용 지그는 패드 형태로 형성되며, 검사대상의 전극부를 4 단자 방식으로 전기검사할 수 있도록 상기 전극부의 2배수로 구비된 접촉자; 및The jig for electrical inspection according to an embodiment of the present invention is formed in the form of a pad and includes a contactor provided at twice the number of the electrode parts so that the electrode part to be inspected can be electrically inspected by a four terminal method. And

상기 접촉자가 일면에 구비되고, 각각의 상기 전극부에 두 개의 접촉자가 접촉되도록 배열되며, 상기 접촉자에 전기신호를 전달하는 커넥터가 구비된 지지대:A support provided on one side of the contactor and arranged so that two contacts are in contact with the respective electrode portions, and a connector for transmitting electrical signals to the contactor;

를 포함한다.
.

또한 본 발명의 실시 예에 따른 전기검사용 지그에 있어서, 상기 검사대상은 기판이며, 전극부는 패드 전극일 수 있다.
In the electrical inspection jig according to the embodiment of the present invention, the inspection object may be a substrate, and the electrode portion may be a pad electrode.

또한 본 발명의 실시 예에 따른 전기검사용 지그에 있어서, 상기 접촉자는 메탈 패드 또는 메탈 포스트로 구성될 수 있다.
Further, in the electrical inspection jig according to the embodiment of the present invention, the contactor may be composed of a metal pad or a metal post.

또한 본 발명의 실시 예에 따른 전기검사용 지그에 있어서, 상기 지지대는 접촉자의 일측에 배치되는 서포터가 구비될 수 있다.
Further, in the electrical inspection jig according to the embodiment of the present invention, the supporter may be provided with a supporter disposed on one side of the contactor.

또한 본 발명의 실시 예에 따른 전기검사용 지그에 있어서, 상기 접촉자와 전극부 사이에 개재되며, 전도성 머티리얼을 포함하는 중간부재를 더 포함할 수 있다.
The electrical inspection jig according to an embodiment of the present invention may further include an intermediate member interposed between the contactor and the electrode portion and including a conductive material.

또한 본 발명의 실시 예에 따른 전기검사용 지그에 있어서, 상기 중간부재는 전도성 고무 또는 전도성 범프일 수 있다.
Further, in the electrical inspection jig according to the embodiment of the present invention, the intermediate member may be a conductive rubber or a conductive bump.

이러한 해결 수단들은 첨부된 도면에 의거한 다음의 발명의 상세한 설명으로부터 더욱 명백해질 것이다.
These solutions will become more apparent from the following detailed description of the invention based on the attached drawings.

이에 앞서, 본 명세서 및 특허청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이고 사전적인 의미로 해석되어서는 아니 되며, 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
Prior to this, terms and words used in the present specification and claims should not be construed in a conventional and dictionary sense, and the inventor should appropriately define the concept of the term in order to describe its invention in the best way possible It should be construed in accordance with the meaning and concept consistent with the technical idea of the present invention.

본 발명에 따르면, 접촉자를 종래의 핀 형태에서 패드 형태로 개선하여 검사대상의 파인 피치에 대응이 용이하고, 저가격 및 전기적 검사의 효율성을 높일 수 있으며, 특히 검사대상의 전극부에 두 개의 접촉자가 접촉되는 4 단자 방식으로의 전기검사가 용이하여 전기검사의 정확성이 향상되는 효과가 있다.
According to the present invention, it is possible to improve contactors in the form of pads in the conventional pin shape, to cope with the fine pitch of the object to be inspected, to improve the efficiency of the low-cost and electrical inspection, It is easy to perform the electrical inspection in the contacted four-terminal system, thereby improving the accuracy of the electrical inspection.

또한 상기 접촉자가 검사대상의 전극부와 면 접촉을 통해 상하 전도되어 전기적 성능을 검사하게 됨으로써, 상기 전극부와의 접촉과정에서 발생할 수 있는 상처 등을 개선함으로써, 수율을 증가시키는 효과가 있다.
Also, since the contact is vertically conducted through surface contact with the electrode part to be inspected, the electrical performance is inspected, thereby improving the yield by improving the scratches or the like that may occur during the contact with the electrode part.

한편 본 발명에 따르면, 전도성 머티리얼을 포함하는 중간부재를 통해 전극부와 접촉자를 상하 전도시킴으로써, 더욱 정확한 전기적 성능의 검사가 가능한 효과가 있다.
According to the present invention, the electrode part and the contactor are vertically conducted through the intermediate member including the conductive material, whereby the electrical performance can be more accurately inspected.

도 1 내지 2는 본 발명의 실시 예에 따른 전기검사용 지그를 통한 기판의 전기검사를 나타내 보인 단면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 전기검사용 지그를 나타내 보인 단면도.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시 예에 따른 전기검사용 지그를 나타내 보인 단면도.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a cross-sectional view showing an electrical inspection of a substrate through an electrical inspection jig according to an embodiment of the present invention; FIG.
3 is a sectional view showing a jig for electrical inspection according to another embodiment of the present invention.
4 is a sectional view showing a jig for electrical inspection according to another embodiment of the present invention.

본 발명의 특이한 관점, 특정한 기술적 특징들은 첨부된 도면들과 연관되어 지는 이하의 구체적인 내용과 실시 예로부터 더욱 명백해 질 것이다. 본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한 "제1", "제2", "일면", "타면" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있는 관련된 공지기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.
The specific aspects, specific technical features of the present invention will become more apparent from the following detailed description and examples, which are to be taken in conjunction with the accompanying drawings. It should be noted that, in the present specification, the reference numerals are added to the constituent elements of the drawings, and the same constituent elements have the same numerical numbers as much as possible even if they are displayed on different drawings. Also, terms such as " first ","second"," one side ","other side ", etc. are used to distinguish one element from another element, . DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 전기검사용 지그(Jig)는 4 단자 방식으로 검사대상의 전극부에 대한 전기적 성능을 검사하게 된다. 이를 위해 본 발명에 따른 전기검사용 지그는 패드(Pad) 형태로 형성된 접촉자(Contactor) 및 상기 접촉자를 지지하고, 아울러 전기신호를 전달할 수 있도록 커넥터(Connector)가 구비된 지지대(Support Body)를 포함한다.
The electrical inspection jig according to the present invention inspects the electrical performance of an electrode part to be inspected by a four-terminal method. To this end, the electrical inspection jig according to the present invention includes a contactor formed in the form of a pad, and a support body having a connector for supporting the contactor and capable of transmitting an electric signal do.

이때 상기 접촉자는 전극부의 2배수로 구비되어 상기 전극부와의 접촉시 각기 상하 전도된다. 그리고 상기 접촉자는 각각의 상기 전극부에 두 개씩 접촉되도록 지지대의 일면에 배열된다.
At this time, the contactors are provided at twice the number of the electrode parts, and they are vertically transferred when they are in contact with the electrode parts. And the contactor is arranged on one surface of the support so that the contactor is in contact with each of the electrode portions.

다른 한편으로 본 발명에 따른 전기검사용 지그는 접촉자와 전극부 사이에 개재되어 상기 접촉자와 전극부를 상하 전도시키는 전도성 머티리얼(Conductive material)을 포함하는 중간부재를 더 포함할 수 있으며, 이때의 상기 중간부재는 전도성을 갖도록 형성된 전도성 고무(Conductive rubber) 또는 전도성 범프(Conductive bump)를 통해 용이하게 실시 가능하다.
The electrical inspection jig according to the present invention may further include an intermediate member interposed between the contactor and the electrode portion and including a conductive material for conducting the contact portion and the electrode portion up and down, The member can be easily implemented through a conductive rubber or a conductive bump formed to have conductivity.

여기서 상기 검사대상은 기판(Substrate), 액정 디스플레이(Liquid crystal display)나, 반도체 패키지 등의 반도체 장치(Semiconductor device)를 포함할 수 있고, 이러한 검사대상에 형성되는 전극부는 패드 전극(Pad electrode)을 포함할 수 있다. 이하의 실시 예에서는 상기 검사대상으로써, 패드 전극이 일면 또는 양면에 형성된 기판을 기준으로 설명함을 밝혀둔다.
Here, the object to be inspected may include a semiconductor device such as a substrate, a liquid crystal display, or a semiconductor package. The electrode unit formed on the object to be inspected may be a pad electrode . In the following embodiments, it is described that a pad electrode is formed on one surface or both surfaces of a substrate to be inspected.

또한 전술한 4 단자 방식의 전기검사는 기판에 형성된 하나의 패드 전극에 두 개의 접촉자가 접촉되어 전기적 성능을 검사하는 방식으로, 이와 차별되는 2 단자 방식, 즉 하나의 패드 전극에 하나의 접촉자가 접촉되어 전기검사하는 방식에 비해 더 정확한 전기검사가 가능한 것으로 알려져 있다.
In addition, the above-mentioned four-terminal electrical inspection is a method in which two contacts are brought into contact with one pad electrode formed on a substrate to check the electrical performance. In the two-terminal type, i.e., one pad electrode, It is known that it is possible to conduct more accurate electrical inspection than the method of electrical inspection.

이러한 4 단자 방식으로의 전기검사를 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명에 따른 접촉자는 메탈 패드(Metal pad) 또는 메탈 포스트(Metal post)를 지지대의 일면에 구비하는 방식으로 실시하게 된다. 즉 상기 메탈 패드 또는 메탈 포스트는 기판의 패드 전극과 상응하는 패드(Pad) 형태로의 형성이 용이하고, 상기 패드 전극과 면 접촉을 통해 상하 전도됨으로써, 접촉과정에서 발생할 수 있는 상처 등을 용이하게 개선할 수 있다.
In order to facilitate the electrical inspection in the four-terminal method, the contactor according to the present invention is implemented in such a manner that a metal pad or a metal post is provided on one side of a support. That is, the metal pad or the metal post can be easily formed in the form of a pad corresponding to the pad electrode of the substrate, and it can be easily transferred to and from the pad electrode by the surface contact with the pad electrode, Can be improved.

또한 지지대는 접촉자를 지지하고, 아울러 상기 접촉자에 전기신호를 전달하는 커넥터가 구비되도록 하는 일종의 몸체(body)로써, 단일 또는 복수로 구성되어 운용된다. 즉 일례로써, 기판의 양면에 패드 전극이 형성되는 양면기판의 경우 복수의 지지대를 준비하고, 이를 각각 상기 양면기판의 양측에 배치하여 전기적 성능을 동시에 검사할 수 있도록 하게 된다.
In addition, the support member is a body that supports a contactor and has a connector for transmitting an electric signal to the contactor, and is a single body or a plurality of bodies. In other words, for example, in the case of a double-sided board having pad electrodes formed on both sides of a substrate, a plurality of supports are provided and disposed on both sides of the double-sided board so that electrical performance can be simultaneously inspected.

이러한 지지대에 구비되는 커넥터(Connector)는 접촉자에 전기신호를 전달하기 위한 것으로, 통상 와이어(Wire)를 통해 상기 접촉자와 전기적으로 연결하게 된다. 즉 상기 커넥터는 공지의 와이어 커넥터(Wire connector)를 지지대의 일면에 구비함으로써, 용이하게 실시 가능하다.
A connector provided on the supporting base is for transmitting an electric signal to the contact, and is usually electrically connected to the contact through a wire. That is, the connector can be easily implemented by providing a known wire connector on one surface of the support.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1에서 보듯이, 접촉자(100)는 패드 형태로 형성된 메탈 패드(Metal pad) 또는 메탈 포스트(Metal post)를 기판(110)에 형성된 패드 전극(111)당 두 개씩 접촉되도록 상기 패드 전극(111)의 2배수로 구비하게 된다. 즉 일례로써, 상기 기판(110)에 5개의 패드 전극(111)이 형성되면, 상기 접촉자(100)는 이의 2배수인 10개를 구비하게 된다.
1, the contactor 100 includes a metal pad or a metal post formed in a pad shape so as to be in contact with two pad electrodes 111 formed on the substrate 110, ). In other words, when five pad electrodes 111 are formed on the substrate 110, the contactor 100 has ten double electrodes.

이러한 접촉자(100)는 패드 전극(111)의 센터(Center)를 기준으로 양측에서 접촉되도록 지지대(120)의 하부에 배열하되, 상기 패드 전극(111)과 동일한 간격으로 배열하게 되며, 이에 따라 상기 접촉자(100)의 간격 조절 등을 통한 기판(110)의 파인 피치(Fine pitch)에 대응이 용이하다. 그리고 각각의 상기 접촉자(100)는 상기 지지대(120)의 상부에 구비된 커넥터(121)와 와이어(121a)를 통해 전기적으로 연결되어 전기검사시 전기신호를 전달받게 된다.
The contacts 100 are arranged at the same interval as the pad electrodes 111 in the lower part of the support 120 so as to be contacted on both sides with respect to the center of the pad electrodes 111, It is easy to cope with the fine pitch of the substrate 110 through the adjustment of the interval of the contactor 100 and the like. Each of the contactors 100 is electrically connected to a connector 121 provided at an upper portion of the support 120 through a wire 121a to receive an electric signal during an electrical inspection.

상기 지지대(120)는 전술한 바와 같이, 상부에 구비되는 커넥터(121)와 하부에 배열되어 있는 접촉자(100)를 지지함과 동시에 이들을 전기적으로 연결하게 된다. 이러한 지지대(120)는 기판(110)에 형성된 패드 전극(111) 방향으로 배치되어 상기 패드 전극(111)에 접촉자(100)를 접촉시켜 상하 전도시킴으로써, 전기적 성능을 검사하게 된다.
As described above, the support base 120 supports and electrically connects the connector 121 provided at the upper part and the contactor 100 arranged at the lower part. The support 120 is arranged in the direction of the pad electrode 111 formed on the substrate 110 and contacts the contact 100 to the pad electrode 111 to conduct the electrical connection.

즉 상기 지지대(120)를 통해 기판(110)에 형성된 패드 전극(111)당 두 개의 접촉자(100)를 접촉시켜 상하 전도시킴으로써, 상기 접촉자(100)와 전기적으로 연결되어 있는 와이어(121a)에 커넥터(121)를 통한 전기신호의 전달시 4 단자 방식으로 전기적 성능을 검사하게 된다.
That is, two contacts 100 are contacted to the pad electrode 111 formed on the substrate 110 through the support base 120 to vertically conduct the connection, thereby connecting the wire 121a electrically connected to the contactor 100 The electrical performance is checked in a four-terminal manner when an electric signal is transmitted through the antenna 121.

도 2에서 보듯이, 패드 전극(211)이 양면에 형성된 양면기판(210)의 전기검사는 상기 양면기판(210)의 양측, 즉 상부와 하부에 각각 지지대(220)를 배치한 후 상기 지지대(220)를 통해 양면기판(210)에 형성된 패드 전극(211)당 두 개의 접촉자(200)를 접촉시켜 상하 전도시킴으로써, 상기 접촉자(200)와 전기적으로 연결되어 있는 와이어(221a)에 커넥터(221)를 통한 전기신호의 전달시 4 단자 방식으로 전기적 성능을 검사하게 된다.
2, the electrical inspection of the double-sided board 210 on both sides of the pad electrode 211 is performed by placing a support 220 on both sides of the double-sided board 210, The connector 221 is connected to the wire 221a electrically connected to the contactor 200 by contacting the two contacts 200 per pad electrode 211 formed on the double- The electrical performance is checked in a four-terminal manner when an electrical signal is transmitted through the antenna.

도 3에서 보듯이, 상기 지지대(320)는 접촉자(300)와 함께 상기 접촉자(300)의 일측에 배치되는 서포터(330)가 구비될 수 있다. 상기 서포터(330)는 상기 접촉자(300)와 대응하는 높이 또는 상기 접촉자(300)와 패드 전극(311)을 합한 높이로 형성되어 상기 지지대(320)의 양단 하부에 구비됨으로써, 상기 접촉자(300)의 측면에 배치된다.
3, the supporter 320 may include a supporter 330 disposed on one side of the contactor 300 together with the contactor 300. The supporter 330 is formed at a height corresponding to the contactor 300 or a height of the contactor 300 and the pad electrode 311 so that the supporter 330 is provided at both ends of the supporter 320, As shown in FIG.

따라서 상기 기판(310)에 대한 전기검사시 서포터(330)를 통해 접촉자(300)를 지지토록 함으로써, 상기 접촉자(300)와 전기적으로 연결되어 있는 와이어(321a)에 커넥터(321)를 통한 전기신호의 전달시 4 단자 방식으로의 전기검사를 더욱 용이하게 실시할 수 있게 된다.
Therefore, by supporting the contactor 300 through the supporter 330 during the electrical inspection of the substrate 310, the electric signal through the connector 321 is electrically connected to the wire 321a electrically connected to the contactor 300, It is possible to conduct the electrical inspection in the four-terminal manner more easily.

도 4에서 보듯이, 중간부재(440)는 접촉자(400)와 패드 전극(411) 사이에 개재되며, 상기 접촉자(400)마다 적어도 두 개의 전도성 머티리얼(441)이 배치되도록 형성하게 된다. 이러한 중간부재(440)는 전도성 고무(Conductive rubber) 또는 전도성 범프(Conductive bump)를 준비하고, 이를 전기검사시 기판(410)과 지지대(420) 사이에 배치하여 접촉자(400)와 패드 전극(411) 사이에 개재되는 방식으로 실시하게 된다.
As shown in FIG. 4, the intermediate member 440 is interposed between the contact 400 and the pad electrode 411, and at least two conductive materials 441 are disposed for each of the contacts 400. The intermediate member 440 may be formed of a conductive rubber or a conductive bump and disposed between the substrate 410 and the support member 420 during the electrical inspection to form the contact 400 and the pad electrode 411 As shown in FIG.

따라서 상기 기판(410)에 대한 전기검사시 전도성 머티리얼(441)을 통해 접촉자(400)와 패드 전극(411)이 상하 전도됨으로써, 상기 접촉자(400)와 전기적으로 연결되어 있는 와이어(421a)에 커넥터(421)를 통한 전기신호의 전달시 더욱 정확한 4 단자 방식으로의 전기검사가 가능하다.
The contact 400 and the pad electrode 411 are vertically conducted through the conductive material 441 during the electrical inspection of the substrate 410 so that the wire 421a electrically connected to the contactor 400 It is possible to conduct electrical inspection in a more accurate 4-terminal manner when the electric signal is transmitted through the electric wire 421.

이상 본 발명을 실시 예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 전기검사용 지그는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함은 명백하다고 할 것이다.
While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the scope of the present invention is not limited thereto. It will be apparent that modifications and improvements can be made by those skilled in the art.

본 발명의 단순한 변형 내지 변경은 모두 본 발명의 영역에 속하는 것으로 본 발명의 구체적인 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의하여 명확해질 것이다.
It will be understood by those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims.

100,200,300,400 - 접촉자 110,310,410 - 기판
210 - 양면기판 111,211,311,411 - 패드 전극
120,220,320,420 - 지지대 121,221,321,421 - 커넥터
121a,221a,321a,421a - 와이어 330 - 서포터
440 - 중간부재 441 - 전도성 머티리얼100, 200, 300, 400 - contacts 110, 310,
210 - double sided substrate 111, 211, 311, 411 - pad electrode
120,220,320,420 - Support 121,221,321,421 - Connector
121a, 221a, 321a, 421a - wire 330 - supporter
440 - intermediate member 441 - conductive material

Claims

A contactor formed in the form of a pad and vertically conductive with respect to an electrode part to be inspected and having twice the number of the electrode parts so that the electrode part can be electrically inspected in a four terminal manner; And
A support body provided on one surface of the contactor and arranged so that two contacts are brought into contact with the respective electrode portions, and a connector for transmitting an electric signal to the contactor;
And a jig for electrical inspection.

The method according to claim 1,
Wherein the inspection object is a substrate and the electrode part is a pad electrode.

The method according to claim 1,
Wherein the contactor is made of a metal pad or a metal post.

The method according to claim 1,
Wherein the support is provided with a supporter disposed on one side of the contactor.

The method according to any one of claims 1 to 4,
An intermediate member interposed between the contactor and the electrode portion, the intermediate member including a conductive material;
Further comprising a jig for electrical inspection.

The method of claim 5,
Wherein the intermediate member is a conductive rubber or a conductive bump.