KR101287785B1

KR101287785B1 - Scribing wheel

Info

Publication number: KR101287785B1
Application number: KR1020110085409A
Authority: KR
Inventors: 하루오 와까야마; 다까히로 지누시; 도모끼 나까가끼
Original assignee: 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date: 2010-09-28
Filing date: 2011-08-26
Publication date: 2013-07-19
Also published as: TW201213256A; CN102431098A; JP2012071459A; CN102431098B; TWI457300B; JP5174112B2; KR20120032411A

Abstract

본 발명의 과제는 취성 재료 기판을 절단할 때에, 스크라이브 개시 시의 걸림이 좋고, 교점 스킵을 방지하여, 취성 재료의 분단면의 품질이 양호한 스크라이빙 휠을 제공하는 것이다.
스크라이빙 휠(10)의 원주 능선(11)을 따라서 제1 군의 홈(21-1 내지 21-5)을 형성하고, 각각의 홈에 인접하여 제2 군의 홈(22-1 내지 22-5)을 형성한다. 제1 군의 각 홈과 인접하는 제2 군의 홈의 간격을, 취성 재료 기판에 압접했을 때에 2개의 홈이 동시에 접하는 일이 없는 간격으로 한다. 이에 의해, 걸림 성능이 좋고, 단부면 강도를 유지한 스크라이빙 휠을 실현할 수 있다.The object of the present invention is to provide a scribe wheel having good brittle material at the start of scribing and preventing intersection skipping when cutting a brittle material substrate and having good quality of the brittle material's cross section.
The first group of grooves 21-1 to 21-5 are formed along the circumferential ridgeline 11 of the scribing wheel 10 and the second group of grooves 22-1 to 22-5 -5). The interval between the grooves of the first group and the second group adjacent to the brittle material substrate is set to an interval at which the two grooves are not in contact with each other at the same time. Thus, it is possible to realize a scribing wheel having good engagement performance and maintaining end face strength.

Description

Scribing Wheel {SCRIBING WHEEL}

본 발명은 취성 재료 기판에 압접시킨 상태로 구름 이동시켜 취성 재료 기판을 스크라이브하기 위한 스크라이빙 휠에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scribing wheel for scribing a brittle material substrate by rolling in a state of being pressed against a brittle material substrate.

글래스 기판이나 플랫 패널 디스플레이 등의 취성 재료 기판의 제조 시에는 글래스 기판을 원하는 라인으로 스크라이브한 후 브레이크한다. 스크라이브 공정에서는 스크라이브 장치 상에 취성 재료 기판을 적재하고, 스크라이빙 휠을 사용하여 스크라이브하여 스크라이브 라인을 형성한다.At the time of manufacturing a brittle material substrate such as a glass substrate or a flat panel display, the glass substrate is scribed to a desired line and then braked. In the scribing step, a brittle material substrate is placed on a scribing device and scribed using a scribing wheel to form a scribe line.

여기서 글래스 기판을 스크라이브할 때에, 글래스 기판에 발생하는 스크라이브 라인의 형성 과정에 대해 설명한다. 스크라이빙 휠에 소정의 압력을 가하여 구름 이동시킨 경우에, 스크라이빙 휠에 압력이 가해진 라인을 따라서 리브 마크라고 불리는 단속적인 파괴가 발생하고 있으면, 그 하방에는 소정의 깊이까지의 연속 파괴가 발생하고 있는 것을 확인할 수 있다. 이와 같은 상태에서 스크라이빙을 종료하면, 글래스 기판에 스크라이브 라인을 따라서 개방되도록 압력을 가함으로써 용이하게 브레이크할 수 있다. 따라서, 리브 마크의 유무에 의해 스크라이브 라인의 불량을 판단할 수 있다.Here, the process of forming the scribe lines generated on the glass substrate at the time of scribing the glass substrate will be described. When intermittent fracture called a rib mark occurs along a line in which a pressure is applied to the scribing wheel when a predetermined pressure is applied to the scribing wheel by rolling, a continuous failure up to a predetermined depth is generated below Can be confirmed. When the scribing is completed in this state, it is possible to easily break by applying pressure to open the scribe line along the glass substrate. Therefore, the defect of the scribe line can be judged by the presence or absence of the rib mark.

또한, 종래부터 사용되고 있는 스크라이빙 휠은 회전축을 공유하는 2개의 원추대의 저부가 교차하여 원주 능선이 형성된 원판 형상의 부재로, 이것을 제1 날끝이라고 한다. 이 스크라이빙 휠을 글래스 기판에 압접하여 구름 이동시킴으로써 스크라이브 라인을 형성할 수 있다.A conventional scribing wheel is a disk-like member having a circumferential ridgeline formed by crossing the bottoms of two frustums sharing a rotation axis, and this is referred to as a first cutting edge. The scribing line can be formed by causing the scribing wheel to contact the glass substrate and rolling.

특허 문헌 1에는 글래스 기판의 표면으로부터 수직 방향으로 판 두께에 대해 상대적으로 깊은 수직 크랙을 형성할 수 있는 스크라이빙 휠이 제안되어 있다. 이 스크라이빙 휠은 전술한 종래의 스크라이빙 휠의 원주 능선을 따라서 원주 방향으로, 예를 들어 200 내지 300 정도의 다수의 홈 및 돌기를 교대로 형성한 것이다. 돌기는 원주 능선을 소정의 피치 및 깊이로 절결함으로써 형성되어 있다. 이하, 이 스크라이빙 휠을 제2 날끝이라고 한다.Patent Document 1 proposes a scribing wheel capable of forming a vertical crack relatively deep in a direction perpendicular to a plate thickness from a surface of a glass substrate. The scribing wheel is formed by alternately forming a plurality of grooves and projections in the circumferential direction along the circumferential ridgeline of the conventional scribing wheel, for example, about 200 to 300. The projections are formed by cutting the circumferential ridgeline to a predetermined pitch and depth. Hereinafter, this scribing wheel is referred to as a second cutting edge.

또한, 특허 문헌 1과 동일한 스크라이빙 휠이며, 홈의 수를 대폭으로 적게, 예를 들어 홈의 수를 5개로 하고, 원주에 등분으로 배치한 스크라이빙 휠도 개발되어 있다. 이하, 이 스크라이빙 휠을 제3 날끝이라고 한다.A scribing wheel similar to that of Patent Document 1 has been developed in which the number of grooves is significantly reduced, for example, the number of grooves is set to five, and the scribing wheels are equally divided in the circumference. Hereinafter, this scribing wheel is referred to as a third cutting edge.

스크라이브 장치를 사용하여 글래스 기판을 작은 기판으로 분단하는 경우, 글래스 기판에 평행하게 다수의 스크라이브 라인을 형성하고, 또한 이들 스크라이브 라인과 교차시켜 격자 형상으로 스크라이브 라인을 형성하는, 소위 크로스 스크라이브가 행해진다. 크로스 스크라이브에서는, 예를 들어 도 1에 도시한 바와 같이, 스크라이빙 휠을 평행하게 통과시켜 스크라이브 라인(L1 내지 L5)을 형성하고, 그 후 테이블을 90° 회전시켜 스크라이브 라인(L6 내지 L10)을 형성한다.When the glass substrate is divided into small substrates by using the scribing apparatus, a so-called cross-scribing is performed in which a plurality of scribe lines are formed parallel to the glass substrate and the scribe lines are formed in a lattice form intersecting with the scribe lines . 1, scribe lines L1 to L5 are formed by passing a scribing wheel in parallel, and then scribe lines L6 to L10 are formed by rotating the table by 90 DEG. In this cross-scribe, .

취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이브 방법 중 하나로, 스크라이브 라인(L6 내지 L10)과 같이 취성 재료 기판의 외측으로부터 외측까지를 스크라이브하는 스크라이브 방법이 있다. 이는, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판의 단부보다 약간 외측의 포인트에 있어서, 스크라이빙 휠의 최하단부를 취성 재료 기판의 상면보다도 약간 하방까지 강하시킨다. 그리고, 스크라이빙 휠에 대해 소정의 압력을 가한 상태로 수평 이동시킴으로써 취성 재료 기판의 한쪽의 테두리로부터 스크라이브를 개시하여, 다른 쪽의 테두리까지 스크라이브하는 것이다. 이를 이하, 외절단 스크라이브라고 한다. 외절단 스크라이브(outer cut scribing)의 경우에는 스크라이브 라인이 기판의 양단부에 도달하고 있으므로, 스크라이브 후의 브레이크가 용이하지만, 스크라이브의 개시 부분에서 기판에 손상이 발생하기 쉽다고 하는 결점이 있다.One of the scribing methods for scribing a brittle material substrate is a scribe method for scribing from the outside to the outside of the brittle material substrate like the scribe lines (L6 to L10). This causes the bottom of the scribing wheel to drop slightly below the top surface of the brittle material substrate at a point slightly outside the end of the brittle material substrate. Then, scribing is started from one edge of the brittle material substrate by horizontally moving the scribing wheel while applying a predetermined pressure to the scribing wheel, and scribing is performed to the other edge. This is hereinafter referred to as an outer cut scribe. In the case of the outer cut scribing, since the scribe line reaches both end portions of the substrate, there is a drawback that braking after scribing is easy, but the substrate is liable to be damaged at the start portion of the scribe.

또한, 스크라이브 라인(L1 내지 L5)과 같이, 취성 재료 기판의 내측으로부터 내측까지를 스크라이브하여 외측에는 스크라이브하지 않는 스크라이브 방법이 있다. 이는 취성 재료 기판의 테두리보다 약간 내측에 스크라이빙 휠을 강하시키고, 그리고 스크라이빙 휠에 하향의 소정 압력을 가한 상태로 도면 중 우측 방향으로 수평 이동시킴으로써, 취성 재료 기판의 내측으로부터 스크라이브를 개시하여, 타단부의 내측까지 스크라이브하는 것이다. 이를 이하, 내절단 스크라이브(inner cut scribing)라고 한다.Further, like the scribe lines (L1 to L5), there is a scribe method in which scribing is performed from the inside to the inside of the brittle material substrate, and scribing is not performed outside. This scribing is started from the inside of the brittle material substrate by lowering the scribing wheel slightly inside the rim of the brittle material substrate and horizontally moving the brittle material substrate in the rightward direction with a downward predetermined pressure applied to the scribing wheel And scribes to the inside of the other end. This is hereinafter referred to as inner cut scribing.

일본 특허 제3,074,143호 공보Japanese Patent No. 3,074,143

그런데, 종래부터 제1 날끝을 사용하여 스크라이브하는 경우에, 휠의 구름 이동 직후에는 날끝이 기판 표면에서 미끄러져 스크라이브 라인이 형성되지 않는 현상이 문제시되고 있고, 이와 같은 상태는 「걸림이 나쁜」 상태라고 불리고 있었다. 한편, 제2 날끝에 따르면 「걸림이 나쁜」 상태를 회피할 수 있지만, 제1 날끝을 사용하여 스크라이브한 경우와 비교하여, 분단 후의 글래스의 단부면 강도가 낮아진다고 하는 문제가 있어, 글래스의 용도에 따라서는 분단 후의 단부면 처리를 필요로 하는 경우도 있었다. 특히 최근에는, 글래스의 용도의 확대, 글래스의 박판화, 제품 제조의 간소화의 요구의 점으로부터, 「걸림이 나쁜」 상태를 회피하면서, 제1 날끝을 사용하여 스크라이브한 경우와 동등한 단부면 강도가 얻어지는 기술이 요구되고 있다.Conventionally, in the case of scribing using the first edge of a blade, there is a problem that the edge of the blade slips on the surface of the substrate immediately after the rolling of the wheel, so that no scribe line is formed. . On the other hand, according to the second blade edge, it is possible to avoid the " bad engagement " state. However, there is a problem that the strength of the end face of the glass after the division is lowered as compared with the case of scribing using the first blade edge, In some cases, end face treatment after division is required. Especially in recent years, from the viewpoint of the demand for enlarging the use of glass, thinning of glass, and simplifying the manufacture of products, it is possible to obtain an end face strength equal to that obtained by scribing using the first edge of the edge while avoiding " Technology is required.

걸림이 나쁜 경우에는, 외절단 스크라이브는 가능해도 내절단 스크라이브를 할 수 없게 되는 경우가 많다. 또한, 크로스 스크라이브하면, 교점 부근에서 스크라이브 라인이 연속되지 않는, 소위 「교점 스킵(crosspoint skip)」이 발생하는 문제가 있었다. 예를 들어, 도 1에 있어서, 스크라이브 라인(L1 내지 L5)을 형성한 후, 테이블을 회전시켜 스크라이브 라인(L6 내지 L10)을 형성하면, 스크라이브 라인의 교점에서 리브 마크가 종료되어 버려, 부분적으로 스크라이브 라인이 형성되지 않는 교점 스킵 현상이 발생하는 경우가 있다.In the case where the fastening is bad, it is often the case that the inner cut scribe can not be cut even if the outer cut scribe is possible. In addition, there is a problem in that a so-called " crosspoint skip " occurs in which the scribe lines are not continuous in the vicinity of the intersection when cross-scribed. For example, in Fig. 1, after the scribe lines L1 to L5 are formed and the scribe lines L6 to L10 are formed by rotating the table, the rib marks are terminated at the intersection of the scribe lines, An intersection skipping phenomenon in which no scribe line is formed may occur.

이 원인은 이하와 같이 생각되고 있다. 즉, 스크라이브 라인을 처음에 형성했을 때, 스크라이브 라인을 사이에 두고 양측의 글래스 표면 부근에 내부 응력이 발생한다. 계속해서, 이미 형성된 스크라이브 라인을 스크라이빙 휠이 직각으로 통과할 때, 그 부근에 잠재하는 내부 응력에 의해 스크라이빙 휠로부터 글래스 기판면에 수직 방향으로 가해지는 힘이 줄어들어 버린다. 그로 인해, 교점 부근에서 나중에 형성되어야 할 스크라이브 라인이 형성되지 않는 것이라고 생각된다.The reason for this is thought to be as follows. That is, when the scribe line is formed for the first time, internal stress is generated in the vicinity of the glass surface on both sides of the scribe line. Subsequently, when the scribing line passes through the scribing line already formed at right angles, the force applied in the vertical direction from the scribing wheel to the glass substrate surface is reduced due to the internal stress that is latched near the scribing line. Therefore, it is considered that a scribe line to be formed later is not formed near the intersection.

교점 스킵이 글래스 기판에 발생하면, 글래스 기판은 예정되어 있던 스크라이브 라인대로 분리되지 않으므로 불량품이 발생하여, 생산 효율을 저하시키는 등의 문제가 있었다.When an intersection skip occurs on a glass substrate, the glass substrate is not separated into a scribe line that has been scheduled, and thus defective products are generated, which causes a problem of lowering production efficiency.

또한, 휴대 전화 등에 사용되는 글래스 기판에서는, 경량화를 위해 두께가 얇게 되어 있다. 두께가 얇은 기판에 대해 외절단 스크라이브를 행하면, 스크라이빙 휠이 기판에 올라탈 때에 기판의 단부면 엣지에 부여하는 충격에 의해 엣지에 절결이 발생하거나, 기판 자신이 깨져 버리므로 제품의 수율이 저하된다.In addition, in a glass substrate used for a cellular phone or the like, the thickness is thinned for weight reduction. If the outer cut scribe is performed on a substrate having a small thickness, a cut is generated in the edge due to an impact applied to the edge of the end face of the substrate when the scribing wheel rides on the substrate, or the substrate itself is broken, .

따라서, 얇은 글래스 기판에서는 엣지에 절결부가 발생하지 않도록, 내절단 스크라이브가 요구된다. 그러나, 종래의 제1 날끝으로는, 걸림이 나쁘기 때문에 내절단으로는 스크라이브 라인을 형성할 수 없는 경우도 있었다.Therefore, in the case of a thin glass substrate, an incomplete scribe is required so as not to cause a cut in the edge. However, in the case of the conventional first edge, the scribe line can not be formed in the cutting due to the poor engagement.

한편, 특허 문헌 1에 기재된 제2 날끝은 「걸림이 좋은」 날끝으로, 스크라이빙 휠의 구름 이동 직후로부터 스크라이브 라인을 형성할 수 있다. 따라서, 제2 날끝을 사용함으로써, 내절단 스크라이브를 할 수 있고, 크로스 스크라이브에 있어서도 교점 스킵을 방지할 수 있다.On the other hand, the second blade edge described in Patent Document 1 has a "good catch" blade edge, and a scribe line can be formed immediately after the rolling of the scraping wheel. Therefore, by using the second blade edge, it is possible to carry out the internal cutting scribe, and also to prevent the intersection skipping in the cross scribe.

플랫 패널 디스플레이 등에서 요구되는 글래스 기판의 단부면 강도에 대해서는, 제2 날끝은 제1 날끝보다 단부면 강도가 뒤떨어진다고 하는 문제가 있었다. 단부면 강도는 스크라이빙 휠의 주위에 형성되는 홈의 수에 의존하고 있어, 홈의 수가 많아지면 강도가 저하된다. 따라서, 예를 들어 홈의 수를 300으로 하면, 단부면 강도가 대폭으로 저하되어 버린다.There is a problem that the strength of the edge of the second edge of the glass substrate is lower than that of the edge of the first edge of the glass substrate required for a flat panel display or the like. The strength of the end face depends on the number of grooves formed in the periphery of the scribing wheel. Therefore, for example, when the number of grooves is 300, the strength of the end face is significantly lowered.

또한, 제3 날끝을 사용하여 스크라이브하면, 단부면 강도는 종래의 제1 날끝과 대략 동등한 결과가 얻어지지만, 걸림 성능이 제2 날끝보다 뒤떨어진다고 하는 결점이 있다.In addition, scribing using the third edge has the disadvantage that the edge strength is substantially equivalent to that of the conventional first edge, but the engaging performance is lower than the edge of the second edge.

따라서, 취성 재료 기판의 종류에 관계없이 걸림이 좋고, 교점 스킵이 발생하기 어려운 날끝이며 단부면 강도가 제1 날끝과 동등 정도인 품질을 확보할 수 있는 날끝이 요구되고 있다.Therefore, regardless of the type of the brittle material substrate, it is required to have a sharp edge, a point at which an intersection skip is unlikely to occur, and a sharp edge at which the end surface strength can be secured to the same level as the first edge.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 취성 재료 기판을 절단할 때에, 스크라이브 개시 시의 걸림이 좋고, 교점 스킵을 방지하여, 취성 재료의 분단면의 품질(단부면 강도)이 양호한 스크라이브 성능을 발휘하는 스크라이빙 휠을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such conventional problems, and it is an object of the present invention to provide a brittle material substrate which is excellent in engagement at the start of scribing and capable of preventing intersection skipping, It is an object of the present invention to provide a scribing wheel that exhibits scribing performance.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이빙 휠은, 회전축을 공유하는 2개의 원추대의 저부가 교차하여 원주 능선이 형성된 외주연부를 갖고, 취성 재료 기판을 스크라이브하는 원판 형상의 스크라이빙 휠이며, 상기 원주 능선을 따라서 복수의 홈이 형성되어 있고, 각 홈은 스크라이빙 휠을 사용하여 스크라이브할 때에 취성 재료 기판에 동시에 접하는 일이 없는 간격으로, 또한 100㎛ 이상의 간격으로 형성되어 있고, 인접하는 2개의 홈의 간격이 100 내지 400㎛인 부분이 적어도 1개소 존재하고, 인접하는 2개의 홈이 100 내지 400㎛인 1조의 홈이 2개소 이상 존재하는 경우에는 각 조의 홈의 간격은 10000㎛ 이내인 것이다. 또한, 상기 원주 능선을 따라서 형성된 소정수의 제1 군의 홈과, 상기 제1 군의 각각의 홈으로부터 동일 회전 방향으로 인접하는 위치에 각각 형성된 제2 군의 홈을 갖고, 상기 제1 군의 홈에 인접하는 제2 군의 각각의 홈은 스크라이빙 휠을 사용하여 스크라이브할 때에 취성 재료 기판에 제1 군의 홈과 동시에 접하는 일이 없는 간격으로, 또한 한쪽의 제1 군의 홈과의 간격은 100 내지 400㎛로 설정되고, 다른 쪽의 제1 군의 홈과의 간격은 800 내지 10000㎛로 설정된 것이다.In order to solve this problem, the scribing wheel of the present invention is a disk-shaped scribing wheel having an outer circumferential edge where a bottom of two frustums sharing a rotation axis intersect and a circumferential ridgeline is formed and scribes the brittle material substrate , And a plurality of grooves are formed along the circumferential ridges. Each of the grooves is formed at an interval of 100 mu m or more at an interval not simultaneously contacting the brittle material substrate at the time of scribing using the scribing wheel, In the case where at least one portion having an interval of 100 to 400 占 퐉 exists and at least two pairs of adjacent grooves having 100 to 400 占 퐉 are present, . The first group of grooves formed along the circumferential ridgeline and the second group of grooves formed at positions adjacent to each other in the same rotation direction from the respective grooves of the first group, Each of the grooves of the second group adjacent to the grooves is formed at an interval which does not contact the grooves of the first group simultaneously with the grooves of the first group on the brittle material substrate at the time of scribing using the scribing wheel, The interval is set to 100 to 400 mu m and the interval between the other group of grooves is set to 800 to 10000 mu m.

여기서 상기 제1 군의 홈의 홈수 및 상기 제2 군의 홈의 홈수는 각각 5 이내로 해도 좋다.Here, the number of grooves of the grooves of the first group and the number of grooves of the grooves of the second group may be 5 or less, respectively.

여기서, 상기 제1 군, 제2 군의 홈의 수는 각각 5이고, 각 제1 군의 홈과, 당해 홈에 가장 가깝게 인접하는 제2 군의 홈의 피치를 100 내지 400㎛로 해도 좋다.Here, the number of the grooves of the first group and the second group is 5, and the pitch of the grooves of the first group and the grooves of the second group closest to the grooves may be 100 to 400 탆.

이와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따르면, 제1 날끝과 동등 정도의 단부면 강도를 얻을 수 있고, 제2 날끝과 동등한 걸림 성능을 얻을 수 있다. 따라서, 얇은 취성 재료 기판이라도 내절단 스크라이브를 할 수 있고, 또한 크로스 스크라이브를 하는 경우에도 교점 스킵이 발생하는 일이 없어, 적절하게 사용할 수 있다.According to the present invention having such features, it is possible to obtain an end face strength equivalent to that of the first blade edge, and to achieve a clamping performance equivalent to that of the second blade edge. Therefore, even a thin brittle material substrate can be subjected to internal cut scribing, and even when cross scribing is performed, intersection skipping does not occur and can be suitably used.

도 1은 종래의 스크라이빙 휠을 사용하여 크로스 스크라이브를 하는 상태를 도시하는 평면도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 정면도.
도 3은 본 실시 형태에 의한 스크라이브 장치의 측면도.
도 4는 본 실시 형태에 의한 스크라이빙 휠의 정면의 부분 확대도.1 is a plan view showing a state in which cross scribing is performed using a conventional scribing wheel.
2 is a front view of a scraping wheel according to an embodiment of the present invention;
3 is a side view of the scribing apparatus according to the present embodiment.
4 is a partially enlarged view of the front face of the scraping wheel according to the embodiment.

본 발명에 있어서 가공의 대상이 되는 취성 재료 기판으로서는, 형태, 재질, 용도 및 크기에 대해 특별히 한정되는 것은 아니고, 단판으로 이루어지는 기판 또는 2매 이상의 단판을 접합한 접합 기판이라도 좋고, 이들 표면 또는 내부에 박막 혹은 반도체 재료를 부착시키거나, 포함시킨 것이라도 좋다. 또한, 취성 재료 기판의 재질로서는, 글래스, 세라믹스, 반도체(실리콘 등), 사파이어 등을 들 수 있고, 그 용도로서는 액정 표시 패널, 플라즈마 디스플레이 패널, 유기 EL 디스플레이 패널, 표면 전계 디스플레이(SED)용 패널 등의 전계 방출 디스플레이(FED)용 패널 등의 플랫 패널 디스플레이용 패널을 들 수 있다.The brittle material substrate to be processed in the present invention is not particularly limited in terms of shape, material, use and size, and may be a bonded substrate obtained by bonding a single plate or two or more single plates, Or a thin film or a semiconductor material may be adhered to or included in the substrate. Examples of materials for the brittle material substrate include glass, ceramics, semiconductors (such as silicon), and sapphire. Examples of applications thereof include liquid crystal display panels, plasma display panels, organic EL display panels, And flat panel display panels such as a field emission display (FED) panel.

이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다. 도 2는 본 실시 형태의 스크라이빙 휠(10)의 회전축으로부터 본 정면도이고, 도 3은 그 측면도이다. 본 실시 형태의 스크라이빙 휠(10)은, 예를 들어 종래의 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드에 장착하여 사용된다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. Fig. 2 is a front view of the scraping wheel 10 of the present embodiment viewed from the rotary shaft, and Fig. 3 is a side view thereof. The scribing wheel 10 of the present embodiment is used, for example, by being mounted on a scribing head of a conventional scribing apparatus.

도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 스크라이빙 휠(10)은 회전축(12)을 공유하는 2개의 원추대(13)의 저부가 교차하여 원주 능선(11)이 형성된 외주연부(14)와, 원주 능선(11)을 따라서 원주 방향으로 형성된 복수의 홈을 갖는 원판 형상의 부재이다. 홈의 상세에 대해서는 후술한다. 스크라이빙 휠(10)은 스크라이빙 휠(10)을 축지지하기 위해 핀을 관통시키는 축 구멍(15)을 갖고 있다. 스크라이빙 휠(10)은 원판의 외주연부(14)에 축심으로부터 반경 방향을 향해 연삭 가공을 실시함으로써 원주 능선(11)을 형성할 수 있고, 수렴 각도를 α로 한다. 스크라이빙 휠(10)의 재질은 초경합금, 소결 다이아몬드, 세라믹스 혹은 서멧이 바람직하다.2 and 3, the scribing wheel 10 includes an outer circumferential edge portion 14 in which the bottom of the two frusto-cones 13 sharing the rotation axis 12 intersect and in which the circumferential ridgeline 11 is formed, Like member having a plurality of grooves formed in the circumferential direction along the circumferential ridgeline 11. [ Details of the groove will be described later. The scribing wheel 10 has a shaft hole 15 for penetrating the pin to support the scribing wheel 10. The scribing wheel 10 is capable of forming the circumferential ridgeline 11 by grinding the outer circumferential edge portion 14 of the disk from the axial center toward the radial direction, and sets the convergence angle to?. The material of the scribing wheel 10 is preferably cemented carbide, sintered diamond, ceramics or cermet.

또한, 본 실시 형태에 있어서는, 전술한 제3 날끝과 마찬가지로, 전체 둘레를 5분할하여 등간격으로 홈(21-1, 21-2, 21-3, 21-4, 21-5)을 형성한다. 이하에서는 이들 홈을 제1 군의 홈(21)으로 한다. 그리고 제1 군의 홈에 대해 동일한 회전 방향으로 인접하여, 각각 1개의 홈(22-1, 22-2, 22-3, 22-4 및 22-5)을 형성한다. 이들 홈을 제2 군의 홈(22)이라고 한다. 여기서, 제1 군과 제2 군의 인접하는 2개의 홈은 각각 1조의 홈을 구성한다. 즉, 홈[21-i와 22-i(i＝1 내지 5)]은 각각 1조의 홈으로 한다.In this embodiment, like the above-described third edge, grooves 21-1, 21-2, 21-3, 21-4, and 21-5 are formed at equal intervals by dividing the entire circumference . Hereinafter, these grooves are referred to as grooves 21 of the first group. Then, the grooves 22-1, 22-2, 22-3, 22-4 and 22-5 are formed adjacent to the first group of grooves in the same rotation direction, respectively. These grooves are referred to as grooves 22 of the second group. Here, adjacent two grooves of the first group and the second group constitute one set of grooves. That is, the grooves [21-i and 22-i (i = 1 to 5)] are each a groove.

도 4는 홈(21-1과 22-1)으로 이루어지는 1조의 홈을 도시하는 부분 확대도이다. 이들 2개의 홈의 간격은, 한쪽의 홈이 취성 재료 기판에 접했을 때에, 다른 쪽의 홈은, 동시에는 취성 재료 기판에 접하는 일이 없는 간격 중에서 최소의 피치(P)로 하는 것이 좋다. 제1 군과 제2 군에 속하는 다른 인접하는 2개의 홈의 간격도 동일하게 한다. 즉, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 압접하면, 그 원주 능선(11)의 일부분이 기판에 파고들어가는 상태로 되지만, 이때 스크라이빙 휠(10)의 인접하는 2개의 홈, 예를 들어 21-1과 22-1이 동시에 접하는 일이 없는 간격으로 한다. 또한 이들 홈(21, 22)은 평탄한 원주 능선(11)으로부터 대략 V자 형상의 홈을 깊이(h)로 절결함으로써 형성되어 있다. 이렇게 하면 스크라이브할 때에 확실하게 균열을 계속시켜, 제1 날끝의 글래스 파괴 강도를 유지하면서 걸림 성능을 향상시킨 스크라이빙 휠을 실현할 수 있다. 여기서, 제1 군의 홈과 인접하는 제2 군의 홈의 간격이 작고, 동시에 취성 재료 기판에 접하는 간격이면, 「걸림이 나쁜」 상태를 회피하기 위한 효과가 낮고, 또한 분단 후의 취성 재료 기판의 단부면 강도가 저하되는 경향이 있다. 홈에 의한 「걸림이 나쁜」 상태를 회피하는 효과는 홈이 취성 재료 기판에 접촉하기 시작할 때의 작용의 기여가 크다고 생각되는 바, 동시에 접하는 간격이면, 제1 군의 홈이 접하고 있는 동안에 제2 군의 홈이 접하기 시작하게 되어, 제2 군의 홈의 작용이 제1 홈의 작용에 의해 감쇄되게 되어, 「걸림이 나쁜」 상태를 회피하는 효과가 낮아지는 것이라고 생각된다. 또한, 홈의 간격이 짧고, 동시에 접하는 상태에서는 취성 재료 기판의 단부면 강도에 악영향을 미치기 쉬운 것이라고 생각된다. 한편, 제1 군의 홈과 인접하는 제2 군의 홈의 간격이 지나치게 크면, 취성 재료 기판의 단부면 강도의 저하는 억제되지만, 「걸림이 나쁜」 상태를 회피할 수 없게 된다.4 is a partially enlarged view showing a set of grooves made up of the grooves 21-1 and 22-1. It is preferable that the interval between these two grooves be set to a minimum pitch P among the intervals in which one groove is in contact with the brittle material substrate and the other groove is not in contact with the brittle material substrate at the same time. The intervals between two adjacent grooves belonging to the first group and the second group are also the same. That is, when the scribing wheel is pressed against the brittle material substrate, a part of the circumferential ridgeline 11 enters into the substrate. At this time, two adjacent grooves of the scribing wheel 10, for example, 21 -1 and 22-1 do not touch at the same time. These grooves 21 and 22 are formed by cutting a substantially V-shaped groove from the flat circumferential ridgeline 11 to a depth h. In this way, it is possible to realize a scribing wheel in which the cracking is reliably continued at the time of scribing and the holding performance is improved while maintaining the glass breaking strength of the first edge of the scribing. Here, if the interval between the grooves of the first group and the second group adjacent to the brittle material substrate is small and the interval is in contact with the brittle material substrate at the same time, the effect of avoiding the " The strength of the end face tends to decrease. It is considered that the effect of avoiding the " bad engagement " due to the grooves is that the groove contributes a great deal of the action when the groove starts contacting the brittle material substrate. The action of the groove of the second group is attenuated by the action of the first groove, and the effect of avoiding the " bad engagement " state is lowered. In addition, it is considered that the interval of the grooves is short, and in the contact state at the same time, the strength of the end face of the brittle material substrate tends to be adversely affected. On the other hand, if the distance between the grooves of the first group and the grooves of the second group adjacent to each other is excessively large, the strength of the end face of the brittle material substrate is prevented from being lowered, but the "bad engagement" state can not be avoided.

여기서, 제1 군의 홈과 제2 군의 홈의 간격의 구체예에 대해 설명한다. 예를 들어, 스크라이빙 휠의 직경을 2㎜φ로 하면, 그 원주 능선(11)의 전체 둘레는 6.28㎜로 된다. 그리고, 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 압접하고, 2㎛만큼 날끝을 기판에 파고들어가게 하는 것으로 하면, 이 간격은 적어도 126.4㎛로 된다. 이 중 피치(P)는 126.4㎛ 내지 400㎛가 바람직하다. 또한, 인접하는 2조의 홈의 간격은 400 내지 10000㎛로 하고, 바람직하게는 800 내지 10000㎛로 한다. 예를 들어, 도 1에 있어서 홈(22-1과 21-2)의 간격은 800 내지 10000㎛로 한다.Here, a specific example of the distance between the grooves of the first group and the grooves of the second group will be described. For example, when the diameter of the scribing wheel is 2 mm, the entire circumference of the circumferential ridgeline 11 is 6.28 mm. If the scribing wheel is pressed against the brittle material substrate and the edge of the blade is pushed into the substrate by 2 占 퐉, this gap is at least 126.4 占 퐉. The pitch P is preferably 126.4 占 퐉 to 400 占 퐉. Further, the interval between two adjacent grooves is 400 to 10,000 mu m, preferably 800 to 10,000 mu m. For example, in Fig. 1, the interval between the grooves 22-1 and 21-2 is set to 800 to 10,000 mu m.

여기서, 제1 홈과 제2 홈의 간격의 다른 구체예에 대해 설명한다. 예를 들어, 스크라이빙 휠의 직경을 3㎜φ로 하면, 그 원주 능선(11)의 전체 둘레는 9.42㎜로 된다. 그리고 스크라이빙 휠을 취성 재료 기판에 압접하고, 2㎛만큼 날끝을 기판에 파고들어가게 하는 것으로 하면, 이 간격은 적어도 135.6㎛로 된다. 이 중 피치(P)는 135.6㎛ 내지 400㎛가 바람직하다.Here, another specific example of the interval between the first groove and the second groove will be described. For example, when the diameter of the scribing wheel is 3 mm, the entire circumference of the circumferential ridgeline 11 is 9.42 mm. If the scribing wheel is pressed against the brittle material substrate and the edge of the blade is pushed into the substrate by 2 占 퐉, the interval becomes at least 135.6 占 퐉. The pitch (P) is preferably 135.6 mu m to 400 mu m.

스크라이빙 휠은, 예를 들어 휠의 외경이 1 내지 20㎜, 홈(21, 22)의 깊이가 0.5 내지 5㎛이고, 원주 능선(11)의 수렴 각도가 85 내지 140°이다. 보다 바람직한 스크라이빙 휠은, 휠의 외경이 1 내지 5㎜, 홈(21, 22)의 깊이가 1 내지 3㎛이고, 원주 능선(11)의 수렴 각도가 100 내지 130°이다. 일반적으로, 절결의 깊이가 깊은 스크라이빙 휠을 사용함으로써, 취성 재료에 대한 걸림(특히, 크로스 스크라이브 시의 교점 스킵이 적음)이 양호해지는 경향이 있고, 홈이 얕은 스크라이빙 휠을 사용함으로써, 취성 재료의 분단면의 품질(단부면 강도)이 향상되는 경향이 있다. 따라서, 이 밸런스를 유지하도록 홈의 깊이를 결정한다. 구체적으로는, 홈의 깊이는, 예를 들어 1 내지 3㎛인 것이 바람직하다.The scribing wheel has, for example, an outer diameter of 1 to 20 mm of the wheel, a depth of the grooves 21 and 22 of 0.5 to 5 μm, and a convergent angle of the circumferential ridgeline 11 of 85 to 140 °. More preferably, the outer diameter of the wheel is 1 to 5 mm, the depth of the grooves 21 and 22 is 1 to 3 mu m, and the convergent angle of the circumferential ridgeline 11 is 100 to 130 DEG. In general, by using a scribing wheel with a deep depth of cut, there is a tendency that the engagement with the brittle material (in particular, the intersection skip at the time of cross scribing is small) becomes good, and by using the shallow scribing wheel , The quality of the cross section of the brittle material (end face strength) tends to be improved. Therefore, the depth of the groove is determined so as to maintain this balance. Specifically, the depth of the groove is preferably 1 to 3 占 퐉, for example.

상기한 실시 형태에서는, 스크라이빙 휠을 축지지하기 위해 축 구멍(15)을 갖는 스크라이빙 휠(10)을 예시하였지만, 핀이 일체적으로 형성된 일체형의 스크라이빙 휠이라도 좋다. 이렇게 하면 회전 정밀도가 높고 미끄럼 이동 저항도 적게 할 수 있으므로, 안정된 회전이 얻어져, 날끝으로서의 수명이 길다.In the above-described embodiment, the scribing wheel 10 having the shaft hole 15 for axially supporting the scribing wheel is illustrated, but a single-piece scribing wheel in which the pins are integrally formed may be used. In this way, since the rotation accuracy can be high and the sliding resistance can be reduced, stable rotation can be obtained, and the service life of the blade is long.

또한, 본 실시 형태에서는 제1 군의 홈의 수 및 제2 군의 홈의 수를 각각 5로 하고 있지만, 이 수는 스크라이빙 휠의 직경에 따라서 결정할 수 있다. 단부면 강도를 제1 날끝과 동등하게 유지하기 위해서는 홈의 수는 적은 쪽이 바람직하지만, 한편으로 스크라이브를 개시할 때에 스크라이빙 휠을 글래스 기판에 압접한 위치와 실제로 스크라이브 라인이 형성되는 위치의 허용 오차를 적게 하기 위해서는, 많은 쪽이 바람직하다. 따라서, 이들의 밸런스를 취하여 홈수는 결정되지만, 직경 3㎜φ 이하에서는 홈수는 5 이하가 바람직하다.In the present embodiment, the number of grooves in the first group and the number of grooves in the second group are set to 5 respectively, but this number can be determined according to the diameter of the scribing wheel. It is preferable that the number of grooves is small in order to keep the end surface strength equal to the first edge of the edge. On the other hand, when the scribing wheel starts to come in contact with the glass substrate at the start of scribing, In order to reduce the tolerance, many are preferable. Therefore, the balance is taken to determine the number of grooves, but the groove number is preferably 5 or less when the diameter is 3 mm or less.

[산업상의 이용 가능성][Industrial Availability]

본 발명에 의한 스크라이빙 휠은, 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드의 선단에 사용하여 취성 재료 기판을 스크라이브하기 위해 사용할 수 있다. 또한, 본 발명에 의한 스크라이빙 휠은 무늬의 끝에 설치한 홀더에 회전 가능하게 피봇한 수동 스크라이브 공구에도 사용할 수 있다.The scribing wheel according to the present invention can be used for scribing a brittle material substrate by using it at the tip of a scribe head of a scribing apparatus. The scribing wheel according to the present invention can also be used in a passive scribing tool which is rotatably pivoted on a holder provided at the end of a pattern.

10 : 스크라이빙 휠
11 : 원주 능선
12 : 회전축
13 : 원추대
14 : 외주연부
15 : 축 구멍
21-1, 21-2, 21-3, 21-4, 21-5 : 제1 군의 홈
22-1, 22-2, 22-3, 22-4, 22-5 : 제2 군의 홈10: Scraping wheel
11: Circumferential ridgeline
12:
13:
14: Outer edge
15: Axial hole
21-1, 21-2, 21-3, 21-4, 21-5:
22-1, 22-2, 22-3, 22-4, 22-5:

Claims

Shaped scribing wheel having a circumferential edge where a bottom of two frustums sharing a rotational axis intersect and a circumferential ridgeline is formed and scribes the brittle material substrate,
A plurality of grooves are formed along the circumferential ridgeline,
Each groove is formed at an interval of 100 mu m or more at an interval which does not contact the brittle material substrate at the same time when scribing using the scribing wheel,
In the case where there are at least one portion having a distance of 100 to 400 占 퐉 between adjacent two grooves and two or more grooves having 100 to 400 占 퐉 adjacent two grooves are present, Lt; / RTI >
Wherein the interval of each pair is larger than the interval of two adjacent grooves constituting one pair of scribing wheels.

A predetermined number of grooves of the first group formed along the circumferential ridgeline,
A second group of grooves formed at positions adjacent to each other in the same rotation direction from the respective grooves of the first group,
Wherein each of the grooves of the second group adjacent to the grooves of the first group is spaced from the brittle material substrate at the time of scribing using the scribing wheel so as not to contact the groove of the first group at the same time, Group is set to 100 to 400 mu m and the interval between the other group of grooves is set to 800 to 10000 mu m.

3. A scriber wheel according to claim 2, wherein the number of grooves of said first group of grooves and the number of grooves of said second group of grooves are respectively 5 or less.

4. The method according to claim 3, wherein the number of the grooves of the first group and the second group is 5, and the pitch of the grooves of the first group and the grooves of the second group closest to the grooves is 100 to 400 mu m The scribing wheel.