KR101091230B1 - 마이크로 패치 코팅기 및 그 방법 - Google Patents

Abstract

마이크로 패치 코팅기(100)는 내부에 다상유체(11)를 포함하는 적어도 하나의 마이트로 채널(12)을 포함한다. 구동메카니즘(13)은 마이크로채널(12)과 평판(16)이 서로에 대하여 이동되도록 구동하고 유체 구동메카니즘(16)은 다상유체(11)가 마이크로 채널(12)의 출구(122)로부터 배출되도록 구동하고, 이렇게 하여 다상유체(11)가 평판(6)에 코팅되고 평판(6)에 마이크로 패치(7a)가 형성된다. 다상유체(11)는 다수의 보조유체부분(3)에 의하여 교대로 차단된 코팅유체(2a)로 구성된다. 대안적으로, 마이크로 채널은 코팅다이(2)로 대체되는데, 코팅다이(2)는 적어도 하나의 코팅유체 입구(21a), 적어도 하나의 보조유체 입구(22), 및 내부에 마이크로채널 구조를 구비한다. 코팅유체(2a)는 코팅유체 입구(21a)를 통하여 공급되고 보조유체(3)는 보조유체 입구(22)를 통하여 교대로 공급된다. 다수의 보조유체 부분에 의하여 교대로 차단된 코팅유체로 구성된 다상유체는 마이크로채널 구조(4) 내에서 만들어진다.

코팅, 다상유체, 코팅유체, 보조유체

Description

마이크로 패치 코팅기 및 그 방법{MICRO PATCH COATING DEVICE AND METHOD}

본 발명은 코팅기와 방법에 관한 것으로서, 더욱 구체적으로는 평면 패널(flat panel) 액정디스플레이(LCD)의 컬러 필터와 플라즈마 디스플레이 모듈(plasma display modules)에서 형광필름(fluorescent film)의 컬러링 유닛을 제조하거나, 또는 생물의학 제품(biomedical products)과 플렉스블한 전자제품(flexible electronics)과 전지(cells)의 제조에 관한 것이다.

정보기술의 발전에 따라서 평면패널 디스플레이가 전통적인 브라운관(cathode ray tubes, CRT) 디스플레이를 점차적으로 대체하고 있다. 예를 들어, 평면패널 LCD는 모든 평면패널 디스플레이 중에서 가장 큰 시장 점유율을 차지하고 있는데, 백라이트 광원, 편광프리즘(light polarizer), 유리 평판(glass substrate), 액정, 박막 필름 트랜지스터(thin film transistor)(TFT), 컬러 필터(CF) 등으로 구성된다. 한편, 컬러 필터는 LCD의 컬러 특성(color characteristics)과 대조(contrast)를 결정하는 중요한 요소이다.

LCD에서 컬러필터와 플라즈마디스플레이 모듈에서 형광필름을 위한 컬러링 유닛은 흑백 평면패널 디스플레이를 컬러 평면패널 디스플레이로 전환하는 구조에 서 중요한 요소이다. 평면패널 LCD를 위한 컬러필터의 코팅 구조는, 예를 들어, 유리평판에 행렬형태로 배열된 다수의 빨간색(R), 녹색(G) 및 파란색(B)의 화소로 구성되는데, 화소쌍(couple of pixels)(일반적으로 세 개)는 디스플레이상에서 하나의 컬러점(color dot)에 대응한다. 백색광(white light)이 3색 화소(trichromatic pixels)를 통과할 때에 백색광은 세 개의 주요한 컬러광, 즉 빨간색, 녹색 및 파란색 빛을 발생시키는데, 상기 세 개의 주요한 컬러광은 액정모듈에 의하여 발생되는 그레이 스케일 효과(gray scale effect)에 의하여 더 혼합되고 다양한 컬러를 형성한다.

컬러필터를 제조하는 기술은 세 개의 타입으로 분류될 수 있다. 첫번째 코팅타입은 사진석판술 방법(photolithography method)인데, 사진석판술 방법은 현재 가장 자주 사용되는 기술이다. 상기 기술에서, 균일한 액체필름이 평판에 코팅되고 사진석판술에 의하여 패턴이 순차적으로 형성된다. 이 기술은 염색방법(dyeing method), 안료확산방법(pigment dispersing method), 전해석출(electro-deposition) 등을 포함하는 많은 방법에 응용된다. 또 다른 기술타입은 스탬핑(stamping)인데, 패턴이 유리평판에 찍어누름으로써 형성된다. 세번째 기술 타입은 잉크 주입(ink injection)인데, 잉크 주입 헤드에 의하여 아주 작은 잉크 방울(miniscule droplet of ink)을 평판에 주입하여 마이크로 패치 패턴이 직접 형성되도록 한다.

위에서 언급한 사진석판술을 참조하면, 액체필름을 균일하게 코팅하는 것이 필수적이다. 현재, 가장 자주 자용되는 코팅방법은 스핀코팅(미국 특허 4,451,507 에 개시됨)이다. 그러나, 낮은 재료 이용율(low material utility rate) 때문에 상기 방법은 예를 들어, 익스트루전 스핀코팅(extrusion spin coating)(미국특허 6,191,053에 개시됨)과 슬롯패치 코팅(slot patch coating)(미국특허 4,938,994에 개시됨)과 같은 다른 개발에 의하여 최근에 퇴조하고 있다. 상기 두 방법은 균일한 액체필름을 형성하는 재료 이용율을 향상시키는 데에 목적을 두고 있다. 염색방법, 안료확산방법, 전해석출과 같은 다양한 방법의 차이점은 코팅액체 필름 물질이 다른 특징을 가지고 있고, 따라서 특정한 작업 공정(operation procedures)이 적용된다는 점에 있다.

전통적인 염색방법(미국특허 4,744,635에 개시됨)은 패턴을 형성하기 위하여 투명한 유기 광감성 물질(transparent organic photosensitive material)로부터 만들어진 염료 흡수층(dye absorbing layer)을 사진석판술과 에칭에 의하여 처리한다. 염료 흡수층이 염료용액(dyeing solution)에 담겨진다. 이어서, 상기 디스플레이가 노출되고, 염색되고, 가열되고 마무리까지 염료에 저항한다(baked and resist dyed to finish). 상기 공정은 빨간색, 녹색 및 파란색 컬러패턴의 세 개 층을 얻기 위하여 세 사이클 동안 반복된다. 상기 방법은 너무 복잡할 뿐만 아니라, 비싼 설비를 설치하는 것이 필요하다. 게다가, 열과 빛에 대한 염료의 저항성이 좋지 못하기 때문에 상기 염색방법은 작은 사이즈의 컬러 LCD와 전통적인 CRT를 제조하는 데에만 제한적으로 사용되고 있다.

전통적인 안료확산방법(미국특허 5,085,973 및 4,786,148에 개시됨)은 현재 컬러필터 제조에 사용되는 가장 인기있는 방법이다. 광감성이고 열경화성 안료가 사용된다. 상기 공정은 단색 마이크로-이미지 컬러 패치(monochromatic micro-imaged color patch)를 생산하기 위하여 유리평판 위의 마스크(mask)에 컬러물질을 코팅하고, 이미지에 노출하고, 가열하는 것 등을 포함한다. 삼색 RGB 화소를 생산하기 위하여 세 번의 작업 공정이 요구된다. 안료확산방법은 복잡하고, 비싼 장비들이 필요하고, 작업이 시간을 많이 소모하고, 컬러재료의 이용율이 낮고, 화소패턴에서 변화가 제한적이다. 따라서, 이 방법은 더 큰 사이즈와 낮은 가격의 디스플레이 패널에 대한 미래의 수요를 충족시킬 잠재력이 없다.

알려진 전해석출(electro-deposition)(미국특허 4,522,691에 개시됨)은 유리평판에 패턴화되고 투명한 전도성 필름을 생성하고 전기이동(electrophoresis)에 의하여 상기 필름 위에 컬러물질을 코팅하는 것을 포함한다. 유사하게, RGB 컬러로 패턴을 생산하기 위하여 상기 공정을 세 번 반복하는 것이 요구된다. 상기 방법은 또한 사진석판술 공정(photolithography process)을 포함한다. 그러므로, 수많은 작업공정이 포함되어서 생산율(yield rate)을 정확하게 조절하는 것이 어렵다. 이방법에 의하여 제안된 추가적인 투명한 전도성 필름을 포함하는 것은 가장 심각한 단점인데, 상기 단점은 광투과성(light permeability)과 해상도(resolution)를 낮추고, 따라서 아무리 정교해도 지나치지 않은 패턴의 설계를 제한한다.

결론적으로, 종래의 코팅기술은 코팅에서 직접 패턴을 형성하는 것에 실패하고, 종래의 코팅기술은, 그 대신에, 과도한 재료를 제거하기 위하여 노출에 의존한다. 그러므로, 종래의 코팅기술은 전체 생산공정에서, 예를 들어 1/3 보다 낮은 재료이용율을 초래하고, 대량생산과 낮은 비용에 대한 요구를 만족시키는 것에 실패 했다.

스탬핑을 이용하는 제조방법은 타이완특허 제00535010호에 개시되어 있다. 돌출된 블록을 가진 스탬프가 염료물질에 염색되고, 마이크로-구조 패턴을 투명한 절연 평판에 형성하기 위해 스탬프가 눌려지게 되고, 이후에 상기 평판이 가열된다. RGB 컬러 블록을 가진 패턴을 생산하기 위하여 상기 공정이 세 번 반복된다. 높은 재료이용율과 낮은 생산비용에도 불구하고, 이 방법은 제한된 패턴 변화를 제공하여서 자유롭게 화소배열을 변화시키는 것을 어렵게 한다.

잉크주입법은 타이완특허 제00512242호에 개시되어 있다. 잉크주입법은 패턴을 형성하기 위한 잉크주입헤드모듈의 위치를 직접 제어하는 것을 가능하게 한다. 상기 방법의 공정은 다음과 같다.; 유리평판에 잉크방울이 흡수되는 것을 확실히 하기 위하여 유리평판에 흡수필름층(layer of absorbing film)을 코팅하고; 다음에, 요구되는 패턴을 형성하기 위하여, 잉크주입헤드모듈이 직접적으로 RGB 컬러 잉크 방울을 유리평판에 뿌린다. 이 잉크주입법은 전통적인 스핀코팅과 사진석판술이 마주쳤던 낮은 재료이용율의 문제를 해결하고, 스탬핑방법보다 높은 정도의 패턴변화를 허용한다.

그러나, 잉크주입법은 기본적으로 수많은 점에 의하여 라인 또는 표면패턴을 형성하기 때문에 각각의 방울이 수 마이크로(a few microns) 또는 더 작은 치수(even smaller dimension)의 블록에 극단적으로 높은 정밀도로 주입되어야 한다. 게다가, 방울의 이동경로는 공기흐름의 교란에 영향을 받기가 쉽고, 잉크방울이 우연히 인접 블록에 주입되어 오염을 초래할 가능성이 있다. 그러므로, 높은 정밀도 의 기계가 요구된다. 또한, 잉크주입헤드모듈의 이동속도는 정밀한 주입을 보장하기 위하여 제한된다. 이것은 산업에 이 방법이 적용되는 것을 방해할 수 있다. 각각의 잉크주입헤드는 한번에 단지 하나의 방울을 분사하는 것이 허용되기 때문에 생산효율이 매우 낮다. 이 문제를 해결하기 위하여 잉크주입헤드의 수가 증가되어야 한다(이것은 불가피하게 비용을 증가시킨다). 게다가, 잉크주입이 평행하게 이루어지는 경우에는 모든 잉크주입헤드가 서로 엉키거나 비정상적인 상태에 있지 않고 좋은 상태에 있어야 한다. 잉크주입법이 큰 사이즈의 디스플레이 패널에 적용되는 경우에는 큰 치수의 기계가 필요하다. 기계의 좋은 이동성과 코팅의 균일성을 유지하기 위해서 주의해야 한다. 이러한 문제들은 큰 치수의 TV 디스플레이가 주요생산품이 되는 미래에는 해결되어야 한다.

그러므로, 작동이 간단하고, 좋은 생산율(yield rate)을 가지며, 적용하기에 경제적인 코팅방법을 개발하는 것이 요구된다.

본 발명의 첫째 목적은 위에서 언급된 전통적인 방법들의 단점을 극복하는 마이크로 패치 코팅기(micro patch coating device)를 제공하는 것이다. 본 발명에서, 적어도 하나의 코팅유체(coating fluid)와 적어도 하나의 보조유체(auxiliary fluid)가 코팅다이(coating die)로 이송되는데, 코팅다이는 마이크로채널 구조(micro channel structure)를 포함하고 코팅유체와 보조유체가 교대로 배열된 다상유체(multi-phase fluid)를 생성한다. 코팅다이는 평판에 평행한 방향으로 이동 되도록 구동되고 평판의 미리 정해진 위치에 다상유체를 직접 분사하고 마이크로 패치를 형성한다.

본 발명의 또 다른 목적은 불연속적인 패턴(discontinuous pattern)을 만들기 위하여 슬릿 코팅방법(slit coating method)을 제공하는 것이다. 상기 코팅방법은 유체발생기(fluid generator)를 포함하는데, 유체발생기는 코팅유체의 공급과 보조유체의 공급을 교대로 차단한다. 코팅다이 또는 평판을 이동시킴으로써 마이크로 패치가 평판에 형성된다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명은 마이크로 패치 코팅을 위한 기기(device)와 방법을 제공한다. 마이크로 패치 코팅기는 마이크로채널구조를 가진 코팅다이를 포함한다. 코팅유체 입구(coating fluid inlet)를 통하여 코팅유체가 공급되고, 보조유체 입구(auxiliary fluid inlet)를 통하여 보조유체가 공급된다. 다상유체 배출부분(multi-phase fluid output section)에 미리 정해진 길이의 코팅유체부분이 형성된 후에 코팅유체의 흐름이 차단된다. 이어서, 다상유체 배출부분(multi-phase fluid output section)에 미리 정해진 길이의 보조유체부분이 형성된 후에 보조유체의 흐름이 차단된다. 다상유체가 형성되고, 마이크로 패치를 평판 위에 형성하기 위하여 다상유체가 코팅다이로부터 배출되어 평판으로 흐른다.

상기 코팅방법은 스핀코팅(spin coating)과 사진석판술(photolithography)에서 일어나던 낮은 재료이용율 문제를 극복하고, 더 큰 치수의 디스플레이 패널에 적용될 수 있다. 본 발명은 또한 잉크주입방법의 낮은 생산율(yield rate)과 낮은 생산효율의 문제를 해결하고, 스탬핑에 의하여 얻을 수 없는 높은 정도의 다양한 패턴 변화가 가능하도록 한다. 본 발명의 방법은 생산비용을 낮추고, 생산효율을 높이고, 미래발전에 대응하기 위하여 더 큰 치수의 디스플레이 패널과 복잡한 마이크로 패치 패턴을 생산하기 위해서 사용될 수 있다.

나아가, 본 발명은 반복된 노출공정을 요구하는 사진석판술보다 높은 재료이용율을 제공한다. 본 발명은 공정시간을 줄인다. 본 발명의 코팅방법에서, 코팅유체와 보조유체의 배출비율과, 코팅다이와 평판의 상대적인 이동을 변화시킴으로써 코팅패턴이 형성된다. 게다가, 평판에 다상유체를 직접 코팅함으로써, 스탬핑에서보다 용이하게 패턴이 변화된다. 한편, 상기 방법은 전통적인 잉크주입에서 요구되던 것만큼 높은 정밀 주입을 요구하지 않고 생산에 있어서 높은 생산율이 가능하도록 한다.

본 발명인 마이크로 패치 코팅기 및 그 방법은 다음과 같은 효과를 가진다.

첫째, 위에서 언급된 전통적인 방법들의 단점을 극복하는 마이크로 패치 코팅기(micro patch coating device)를 제공한다.

둘째, 불연속적인 패턴(discontinuous pattern)을 만들기 위하여 슬릿 코팅방법(slit coating method)을 제공한다.

이하, 첨부된 도면들을 참조로 본 발명에 대해서 상세히 설명하기로 한다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 따라서, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 실시예들에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.

도면들 특히, 도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따라 제조된 마이크로 패치 코팅기(micro patch coating device)(100)를 보여준다. 마이크로 패치 코팅기(100)는 마이크로 채널(12), 구동메카니즘(driving mechanism)(13), 지지부재(supporing member)(14), 연결재(connector)(15), 및 유체 구동메카니즘(fluid driving mechanism)(16)을 포함한다.

마이크로 채널(12)은 구동메카니즘(13)에 연결된 지지부재(14)에 의하여 지지된다. 지지부재(14)는 구동메카니즘(13)에 의하여 수평방향(I)으로 왕복이동하도록 구동된다. 이 실시예에서, 마이크로채널(12)은 모세관(capillary tube)일 수 있다.

마이크로채널(12)은 입구(inlet)(121)와 출구(outlet)(122)를 가진다. 출구(122)는 평판(substrate)(6)의 상면으로부터 미리 정해진 거리에 위치한다. 입구(121)는 유체 구동메카니즘(16)에 연결되는데, 유체 구동메카니즘(16)은 주사기(syringe)(161), 플런저(plunger)(162), 및 펌프(163)를 포함한다. 연결재(15)는 주사기(161)와 마이크로채널(12)의 사이에 연결된다.

주사기(syringe)(161)는 펌프(163)에 연결된 플런저(162)를 포함한다. 펌프(163)는 제어기(control device)(미도시)에 의하여 제어되는데, 펌프(163)는 주사기(161)의 길이방향에 평행한 방향(II)을 따라 플런저(162)를 앞으로 밀거나 플런저(162)를 뒤로 당긴다. 펌프(163)가 플런저(162)를 앞으로 밀면 마이크로채널(12)에 수용된 다상유체(multi-phase fluid)(11)가 출구(122)를 통하여 배출되도록 구동된다.

한편, 구동메카니즘(13)은 마이크로채널(12)을 평판(6) 표면에 평행한 수평방향(I)을 따라 이동시키기 위하여 지지부재(14)를 통하여 마이크로채널(12)을 구동한다.

평판(6)에 미리 정해진 마이크로-패치 패턴(micro-patch pattern)을 형성하기 위하여 평판(6)에 다상유체(multi-phase fluid)를 코팅하는 것을 보여주는 도 2와 도 3을 참조하라. 이 실시예에서, 다상유체(11)는 2상 유체(two-phase fluid)에 한정되는 것은 아니다.

마이크로 채널(12)에 수용된 다상유체(11)는 다수의 보조유체 흐름부분(a plurality of auxiliary fluid flow sections)에 의하여 교대로 차단된(alternatively intercepted) 코팅유체 흐름(coating fluid flow)으로 구성된다. 즉, 다상유체(11)는 다수의 코팅유체(coating fluids)(2a)와 다수의 보조유체(auxiliary fluids)(3)로 구성된다. 각각의 코팅유체(2a)는 특정한 안료(pigment) 예를 들면, 파란색, 녹색, 또는 빨간색 안료를 포함하는 반면에, 각각 의 보조 유체(3)는 코팅유체(2a)와 섞일 수 없는(immiscible) 액체 또는 가스를 포함한다. 도 3에 나타난 바와 같이, 다상유체(11)는 미리 정해진 길이의 코팅유체(2a)로 이루어진 다수의 부분(segment)(2a')과 미리 정해진 길이의 보조유체(3)로 이루어진 다수의 부분(segment)(3')을 포함하는 교대로된 부분(alternating segments)으로 형성된다.

도면들에 나타난 바와 같이, 구동메카니즘(13)이 마이크로 채널(12)을 수평으로 이동시키고 유체 구동메카니즘(16)이 마이크로채널(12)의 다상유체(11)를 밀면, 다상유체(11)는 마이크로채널(12)의 출구(122)로부터 배출되어서 평판(6) 위에 유체필름(7')을 형성한다.

출구(122)로부터 배출된 후, 다상유체(11)는 평판(6)의 미리 정해진 위치에 코팅되고, 따라서 다수의 마이크로 패치들(7a)을 포함하는 마이크로-패치 패턴이 평판(6)에 형성된다.

보조유체(3)로써 가스가 사용되는 경우에는 마이크로 패치(7a)가 평판(6)에 직접 형성된다. 코팅유체(2a)와 섞일 수 없는 액체가 보조유체(3)로 사용되는 경우에는 보조유체(3)를 증발시키고 코팅유체(2a)를 남겨서 마이크로 패치(7a)를 형성하기 위하여 가열될 수 있다. 다상유체(11)의 흐름속도(flowing velocity)는 펌프(163)의 펌핑율(pumping rate)에 의하여 정해지고, 펌프(163)는 제어기에 의하여 제어된다.

도 4는 본 발명에서 다상유체 생성 기구(multi-phase fluid generating device)의 바람직한 실시예를 보여주는 사시도이다. 코팅유체 공급탱크(18)는 코팅 유체(2a)를 저장하고, 마이크로 패치 코팅기(micro patch coating device)(100)로 코팅유체(2a)를 공급한다. 코팅유체 공급탱크(18)의 한측면에는 코팅유체(2a)의 자유면(free surface) 아래의 미리 정해진 위치에 관통홀(through hole)(181)이 형성된다.

비록, 관통홀(181)에 마개나 실링이 구비되지 않더라도 코팅유체(2a)는 관통홀(181)에서 표면장력(surface tension)을 갖기 때문에 코팅유체 공급탱크(18)로부터 코팅유체(2a)가 유출되는 것이 방지된다.

도 5에 나타난 바와 같이, 다상유체(11)를 얻기 위하여 구동메카니즘(13)이 마이크로채널(12)을 수평방향(I)을 따라 이동시키고 마이크로채널(12)은 관통홀(181)을 관통한다. 이어서 펌프(163)는 플런저(162)를 후방으로 당기기 위하여 작동하고 흡입력(suction force)이 발생한다. 흡입력은 코팅유체공급탱크(18)의 코팅유체(2a)가 마이크로채널(12)에 빨려들어가서 마이크로채널(12)에 미리 정해진 길이의 코팅유체(2a) 부분(2a')이 형성되도록 한다.

도 6을 참조하라. 구동메카니즘(13)이 마이크로채널(12)을 코팅유체공급탱크(18)로부터 인출하기 위하여 수평으로 이동하는 반면에, 펌프(163)는 계속 작동을 하고, 따라서 공기가 마이크로채널(12)에 유입되어 공기로 이루어진 미리 정해진 길이의 부분(3')을 형성하는데, 상기 공기는 보조유체(3)로서 작용을 한다. 이렇게 하여 다상유체(11)가 형성된다.

도 7과 도 8은 마이크로채널 내부에 다상유체가 형성되는 것을 보여준다. 제어기의 제어하에서, 펌프(163)는 계속 작동을 하고 구동메카니즘(13)은 전후 이동 을 계속하여서 코팅유체(2a)를 흡입하고 이어서 특정한 가스 또는 공기 즉, 보조유체(3)를 유입하기 위하여 관통홀(181)로부터 마이크로채널(12)을 인출하는 것을 반복한다. 결과적으로, 마이크로채널(12)은 코팅유체(2a)와 보조유체(3)로 이루어진 교대로 된 부분(alternating segments)으로 채워진다. 환언하면, 다상유체(11)가 마이크로채널(12) 내에 발생된다. 적용시에는, 코팅유체공급탱크(18)에서의 마이크로채널(12)의 체류시간과 공기 중에서의 마이크로채널(12)의 체류시간은 코팅유체(2a)와 보조유체(3) 부분의 길이를 제어하기 위하여 조절된다.

제1 실시예에서, 보조유체는 가스이다. 적용시에는, 보조유체(3)는 코팅유체(2a)와 섞일 수 없는 액체를 포함할 수 있다. 보조유체를 공급하기 위하여 보조유체공급탱크(auxiliary fluid supply tank)(미도시)가 구비된다.

도 4의 다상유체 생성 기구(multi-phase fluid generating device)는 반시계방향으로 90도 회전됨으로써 코팅유체공급탱크(18)의 위에 위치되고 마이크로채널(12)을 위 아래로 이동시키기 위해서 구동하게 되는데, 이렇게 됨으로써 마이크로채널(12)의 출구(122)가 코팅유체(2a) 자유면의 아래 또는 위에 있게 되고, 위에서 언급한 것과 동일한 공정을 통하여 다상유체(11)를 발생시킨다.

위에서 설명된 마이크로 패치 코팅기의 제1 실시예는 단지 하나의 마이크로 채널을 구비한다. 적용시에는, 미리 정해진 거리로 서로 떨어진 다수의 평행한 마이크로 패치를 동시에 평판에 형성하기 위하여 다수의 마이크로 채널이 마이크로 패치 코팅기에 설치될 수 있다. 예를 들면, 도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따라 만들어진 마이크로 패치 코팅기(200)를 보여주는 사시도이다. 제2 실시예는 제1 실 시예와 유사하고, 동일한 구성요소에는 동일한 참조번호가 사용된다. 제2 실시예와 제1 실시예의 차이점은 마이크로 패치 코팅기(200)가 일렬로 정렬되고 지지부재(14)에 의하여 지지되는 다수의 마이크로 채널(12a)(12b)(12c)을 포함한다는 것이다. 지지부재(14)가 수평방향(I)을 따라 이동하고, 이와 동시에 펌프(163)의 펌핑이 다상유체(11)가 마이크로 채널(12a)(12b)(12c)로부터 평판(6)으로 아래로 흐르도록 구동하면, 평판(6)에 평행한 마이크로 패치(7a)(7b)(7c)가 동시에 각각 형성된다.

도 10 내지 도 12를 참조하면, 본 발명에 따라 만들어진 마이크로 패치 코팅기(300)가 개시된다. 마이크로 패치 코팅기(300)는 코팅다이(coating die)(2)를 포함하는데, 코팅다이(2)는 특정한 위치에 배치된 다수의 코팅유체 입구(21a)(21b)(21c)와 보조유체입구(22)를 구비한다. 코팅유체 입구(21a)(21b)(21c)는 코팅다이(2)에 코팅유체(2a)(2b)(2c)를 각각 공급하기 위하여 사용된다. 각각의 코팅유체(2a)(2b)(2c)는 서로 다르고 특정한 조성(composition)을 가진 특정한 안료(pigment), 예를 들어 파란색, 녹색 또는 빨간색 안료를 포함한다. 보조유체(3)는 코팅유체의 타입(types)에 따라서 하나의 유체 또는 다수의 상이한 유체를 포함할 수 있다.

도 11에 나타난 바와 같이, 코팅다이(2)는 내부에 배열된 마이크로 채널구조(micro channel structure)(4)를 구비한다. 코팅다이(2)의 바닥에는 유체출구(24)가 형성된다. 코팅유체 입구(21a)(21b)(21c)와 보조유체입구(22)는 각각 마이크로 채널 구조(4)에 연결된다.

마이크로 채널구조(4)는 다수의 코팅유체 완충부분(buffering section)(211)(212)(213)과, 다수의 코팅유체 통로(coating fluid passage)(21a')(21b')(21c')와, 다수의 보조유체 통로(auxiliary fluid passage)(22a)(22b)(22c) 및, 다수의 다상유체 배출부분(multi-phase fluid output sections)(23a)(23b)(23c)을 포함한다.

각각의 코팅유체 완충부분(211)(212)(213)은 코팅유체 입구(21a)(21b)(21c)에 연결된다. 코팅유체 완충부분(211)(212)(213)은 코팅유체 입구(21a)(21b)(21c)와 코팅유체 통로(21a')(21b')(21c') 사이에 배치된다. 코팅유체(2a)(2b)(2c)는 코팅유체 입구(21a)(21b)(21c)로부터 코팅유체 완충부분(211)(212)(213)을 경유하여 코팅유체 통로(21a')(21b')(21c')로 각각 공급된다. 보조유체 통로(22a)(22b)(22c)는 보조유체입구(22)에 연결된다.

코팅유체 통로(21a')(21b')(21c')의 사이즈는 코팅유체 완충부분(211)(212)(213)의 사이즈와 코팅유체 입구(21a)(21b)(21c)의 사이즈보다 작다. 다상유체 발생기(multi-phase fluid generator)(5a)(5b)(5c)는 코팅유체 통로(21a')(21b')(21c')와 대응되는 보조유체 통로(22a)(22b)(22c)가 만나는 교차점(junction)에 배치된다.

각각의 다상유체 배출부분(23a)(23b)(23c)은 한쪽 끝단의 다상유체 입구(231)(232)(233)와 다른쪽 끝단의 다상유체 배출구(24a)(24b)(24c)를 포함한다. 다상유체 입구(231)(232)(233)는 다상유체 발생기(5a)(5b)(5c)에 의하여 발생된 다상유체(11)를 이송하기 위하여 다상유체 발생기(5a)(5b)(5c)와 각각 연결된다. 다 상유체 배출구(24a)(24b)(24c)는 코팅다이(2)의 바닥에 배치되고, 평판(6)의 표면으로부터 미리 정해진 거리에 위치된다. 따라서, 다상유체(11)는 코팅다이(2)의 유체배출구(24)를 통하여 다상유체 배출부분(23a)(23b)(23c)으로부터 배출된다.

실제 적용시에는, 보조유체(3)는 코팅유체(2a)(2b)(2c)와 섞일 수 없는 액체 또는 가스를 포함할 수 있다. 다상유체(11)는 코팅다이(2)의 유체출구(24)로부터 배출된 후에, 코팅다이(2)와 평판(6)이 평행한 방향을 따라 서로에 대하여 이동하는 것에 의하여 평판(6)의 미리 정해진 위치에 코팅된다. 보조유체로서 가스가 사용되는 경우에는 마이크로패치(7a)(7b)(7c)가 평판에 직접적으로 형성된다. 코팅유체(2a)(2b)(2c)와 섞일 수 없는 액체가 보조유체로서 사용되는 경우에는, 가열에 의하여 보조유체(3)를 증발시키고 코팅유체(2a)(2b)(2c)를 남겨서 마이크로패치(7a)(7b)(7c)를 형성하기 위하여 평판(6)이 가열될 수 있다.

도 13을 참조하라. 도 13은 마이크로패치 코팅기의 다상흐름 발생기(multi-phase flow generator)에 의하여 다상유체가 발생되는 것을 개략적으로 보여준다. 다상유체 발생기(5a)는 코팅유체 통로(21a')와 보조유체 통로(22a)가 만나는 교차점에 배치된다. 다상유체 발생기(5a)는 인터셉터(interceptor)(5a1)를 포함한다. 인터셉터(5a1)는 밸브를 포함할 수 있거나, 또는 동일한 기능을 성취할 수 있는 밸브가 없는 타입(valveless type)일 수 있다.

코팅유체(2a)는 코팅유체 입구(21a)를 통하여 코팅유체 완충부분(211)으로 이동되고, 이어서 코팅유체 통로(21a')로 이동된다. 보조유체(3)는 보조유체 입구(22)로부터 보조유체 통로(22a)로 이동된다. 다상유체 배출부분(23a)에 미리 정 해진 길이의 부분(2a')을 발생시키기 위하여 미리 정해진 양의 코팅유체(2a)가 인터셉터(5a1)를 통하여 이동한 후에 인터셉터(5a1)는 코팅유체(2a)의 흐름을 차단한다. 이어서, 인터셉터(5a1)는 보조유체(3)가 보조유체 통로(22a)로부터 흐르도록 한다. 다상유체 배출부분(23a)에 미리 정해진 길이의 부분(3')을 발생시키기 위하여 미리 정해진 양의 보조유체(3)가 인터셉터(5a1)를 통하여 흐른 후에 인터셉터(5a1)는 코팅유체(2a)의 흐름을 차단한다. 코팅유체의 흐름과 보조유체의 흐름에 대한 인터셉터(5a1)의 차단작용(interception actions)은 교대로 진행되어서 다상유체 배출부분(23a)에 다상유체(11)를 형성한다.

위에서 언급된 실시예에서, 다상유체 발생기는 다상유체를 형성하는 코팅다이(2) 내부에 있는 마이크로채널 구조(4) 내부에 배치된다. 실제로 적용시에, 동일하게 다상유체를 형성하기 위하여 다상유체 발생기가 코팅다이(2) 외부에 배치될 수도 있다.

도 14는 마이크로패치 코팅기의 구동메카니즘에 의하여 구동되는 코팅다이의 이동을 개략적으로 보여주는데, 마이크로 패치 코팅기(300)의 코팅다이(2)는 평판(6) 위에서 미리 정해진 거리에 위치한다. 구동메카니즘(21)에 의하여 코팅다이(2)는 평판(6)에 평행한 수평방향(I)을 따라서 전후(back and forth)로 이동한다. 따라서, 코팅공정(coating procedure)을 수행하는 때에 코팅다이(2)가 평판(6)에 대하여 상대적으로 이동하는 것이 가능하다. 구동메카니즘(21)은 조절가능한 속도를 가진 플랫폼 운반기(platform conveying device)를 포함할 수 있는데, 코팅다이(2)의 이동속도를 조절하는 것이 가능하다.

도 15를 참조하라. 도 15는 마이크로 패치 코팅기의 판넬구동메카니즘(panel driving mechanism)에 의하여 구동되는 평판의 이동을 개략적으로 보여준다. 평판(6)은 코팅기(300)의 코팅다이(2) 아래에 미리 정해진 거리에 위치한다. 코팅다이(2)에 평행한 수평방향(I)을 따라 전후(back and forth)로 이동하기 위하여 판넬구동메카니즘(6a)에 의하여 평판(6)이 구동된다. 따라서, 코팅공정(coating procedure)을 수행하는 때에 평판(6)이 코팅다이(2)에 대하여 상대적으로 이동하는 것이 가능하다. 판넬 구동메카니즘(6a)은 조절가능한 속도를 가진 플랫폼 운반기(platform conveying device)를 포함할 수 있는데, 평판(6)의 이동속도를 조절하는 것이 가능하다.

나아가, 구동메카니즘(21)과 판넬 구동메카니즘(6a)이 동시에 사용될 수 있다. 코팅다이(2)와 평판(6)이 서로 반대방향으로 평행하게 수평방향(I)으로 이동하는 것이 가능하도록 구동메카니즘(21)은 코팅다이(2)가 이동되도록 구동하고 판넬 구동메카니즘(6a)은 평판(6)이 이동하도록 구동한다. 이 방법으로, 생산효율을 증가시키기 위하여 코팅공정의 속도가 증가된다. 실제 적용시에는, 보조유체(3)가 가스이면, 화소의 배열을 다르게 하기 위하여(so as to generate different arrangements of arrays of pixels) 코팅다이(2)나 평판(6) 중의 하나는 도 14의 평판(6) 표면에 수직인 방향과 수평인 방향으로 모두 이동하도록 구동될 수 있다.

도 16은 평판에 형성된 코팅패턴을 개략적으로 보여주고, 도 17은 평판에 형성된 또 다른 코팅패턴을 개략적으로 보여준다. 다상유체(11)가 코팅다이(2)의 유체출구(24)로부터 배출되면, 코팅다이(2)와 평판(6)의 서로 반대방향의 평행한 이 동에 의하여 평판(6)의 미리 정해진 위치에 다상유체(11)가 코팅되고, 다수의 마이크로 패치(7a)(7b)(7c)를 형성한다. 서로 다르고 특정한 조성을 가진 특정한 안료, 예를 들면 파란색, 녹색 또는 빨간색 안료를 코팅유체(2a)(2b)(2c)가 포함하기 때문에 마치크로 패치(7a)(7b)(7c)는 파란색, 녹색 및 빨간색이 순서대로 되도록 형성되어서 직사각형 행렬(rectangular) 형태로 화소(pixel)를 형성한다.

보조유체(3)가 가스인 경우에, 도 17에 나타난 바와 같이 화소의 배열을 다르게 하기 위하여(in order to generate different arrangements of arrays of pixels) 코팅다이(2)나 평판(6) 중의 하나는 도 14의 평판(6) 표면에 수직인 방향으로 이동하도록 배열될 수도 있다.

도 18은 본 발명에 따라 마이크로 패치 코팅 방법을 수행하기 위한 플로우 차트이다. 첫째, 101단계에서 코팅다이가 준비된다. 코팅다이는 마이크로채널 구조를 가지는데, 마이크로채널 구조는 적어도 하나의 코팅유체 입구, 적어도 하나의 보조입구, 적어도 하나의 다상유체 배출부분 및, 적어도 하나의 유체출구를 가진다.

코팅다이가 준비된 후, 102단계에서 코팅유체 입구로부터 마이크로채널 구조로 코팅유체가 공급된다. 103단계에서 마이크로채널 구조의 보조유체 입구로 보조유체가 공급된다.

코팅유체의 흐름과 보조유체의 흐름이 다상유체 발생기에 의하여 교대로 차단되어(104단계), 미리 정해진 길이의 코팅유체 부분과 미리 정해진 길이의 보조유체 부분을 포함하는 다상유체를 발생시킨다.

105단계에서, 다상유체는 다상유체 배출부분으로 운반되고, 이어서 106단계에서 유체배출부분의 다상유체 출구를 통하여 코팅다이의 유체출구로 흐른다.

마지막으로, 107단계에서, 보조유체가 가스이면 다상유체가 코팅다이로부터 배출되어 평판의 미리정해진 위치에 코팅되어 마이크로 패치를 직접 형성하는 것이 가능하도록 코팅다이와 평판이 서로 반대방향으로 평행하게 이동하는 것이 허용된다. 107b 단계에서, 보조유체가 코팅유체와 섞일 수 없는 액체이면, 보조유체를 증발시키고 코팅유체를 남겨서 마이크로패치를 형성하기 위하여 평판이 가열된다.

도 19는 본 발명의 제4 실시예에 따른 코팅다이의 마이크로채널구조를 보여주는 개략적인 도면이다. 제4 실시예는 제3 실시예와 유사하고, 동일한 구성요소에 대하여 동일한 참조번호가 사용된다. 제4 실시예와 제3 실시예의 차이점은 보조유체 입구(22)가 코팅유체 입구(21a)(21b)(21c)의 아래에 배치된다는 점이다. 또한, 보조유체통로(22a)(22b)(22c)는 코팅유체통로(21a')(21b')(21c')의 아래에 배치된다.

코팅유체(2a)는 코팅유체입구(21a)로부터 코팅유체 완충부분(211)과 코팅유체통로(21a')를 통하여 다상유체 발생기(5a)로 흐른다. 보조유체(3)는 보조유체 입구(22)와 보조유체 통로(22a)로부터 다상유체 발생기(5a)로 흐른다. 도 20에 나타난 바와 같이, 다상유체 발생기(5a)는 코팅유체(2a)와 보조유체(3)가 교대로 흐르고 차단되도록 한다. 다상유체 배출부분(23a)에서 다상유체(11)가 형성된다. 다상유체(11)는 코팅다이(2)의 다상유체 출구(24a)를 통하여 흐른다.

이 분야의 기술자에 의하여 위에서 설명된 실시예들에 대한 다양한 수정과 변경이 만들어질 수 있다는 것은 명백하다. 예를 들어, 마이크로 채널(12) 또는 코팅다이(2)의 마이크로채널 구조(4)에 저장된 유체는 2상 유체(two-phase fluid)에 한정되지 않는다. 적용시에, 3상 유체 또는 그 이상의 유체와 같은 다상유체가 만들어지고 마이크로 채널 또는 마이크로채널 구조에 저장될 수 있다.

본 발명은 다음의 도면들을 참조하여 실시예의 설명을 읽으면 이 분야의 기술자에게 명백해질 것이다.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따라 만들어진 마이크로 패치 코팅기의 사시도.

도 2는 평판에 다상유체가 코팅되는 것을 보여주는 개략적인 도면.

도 3은 평판에 마이크로패치가 형성되는 것을 보여주는 개략적인 도면.

도 4는 코팅유체 공급탱크로부터 코팅유체를 도 1의 마이크로 패치 코팅기의 마이크로채널에 공급하는 것을 보여주는 개략적인 도면.

도 5는 마이크로채널이 코팅유체 공급탱크에 연결되기 위하여 구동되고 코팅유체 부분이 마이크로채널로 흡입되는 것을 보여주는 단면도.

도 6은 보조유체부분이 마이크로채널로 흡입되는 것을 보여주는 단면도.

도 7은 다수의 보조유체부분에 의하여 코팅유체가 교대로 차단된 것을 보여주는 단면도.

도 8은 마이크로채널의 내부에서 다상유체가 발생되는 것을 보여주는 단면도.

도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따라 만들어진 마이크로 패치 코팅기의 사시도.

도 10은 본 발명의 제3 실시예에 따라 만들어진 마이크로 패치 코팅기의 사시도.

도 11은 도 10의 마이크로 패치 코팅기의 코팅다이에 구비된 마이크로채널 구조를 보여주는 개략적인 도면.

도 12는 도 11의 12-12선을 따라 취해진 단면도.

도 13은 도 10의 마이크로 패치 코팅기에 구비된 흐름발생기(flow generator)에 의하여 다상유체가 발생되는 것을 보여주는 개략적인 도면.

도 14는 도 10의 마이크로 패치 코팅기에 구비된 구동메카니즘에 의하여 구동되는 코팅다이의 이동을 보여주는 개략적인 도면.

도 15는 도 10의 마이크로 패치 코팅기에 구비된 판넬 구동메카니즘에 의하여 구동되는 평판의 이동을 보여주는 개략적인 도면.

도 16은 도 10의 마이크로 패치 코팅기에 의하여 평판에 형성된 코팅패턴을 보여주는 개략적인 도면.

도 17은 도 10의 마이크로 패치 코팅기에 의하여 평판에 형성된 또 다른 코팅패턴을 보여주는 개략적인 도면.

도 18은 본 발명에 따라 마이크로 패치 코팅 방법을 수행하기 위한 플로우차트.

도 19는 본 발명에 따라 만들어진 마이크로 패치 코팅기의 제4 실시예에 구비된 코팅다이의 마이크로채널 구조를 보여주는 개략적인 도면.

도 20은 도 19의 20-20선을 따라 취해진 단면도.

Claims (27)

1. (a) 마이크로채널 구조를 갖는 코팅다이를 준비하고, 마이크로채널 구조는 적어도 하나의 코팅유체 입구, 적어도 하나의 보조유체 입구, 적어도 하나의 다상유체 배출부분, 및 적어도 하나의 유체출구를 포함하고;

   (b) 코팅유체 입구를 통하여 마이크로채널 구조에 적어도 하나의 코팅유체를 공급하고;

   (c) 보조유체 입구를 통하여 마이크로채널 구조에 적어도 하나의 보조유체를 공급하고;

   (d) 미리 정해진 길이의 코팅유체가 형성된 후에 코팅유체의 공급을 차단하고 미리 정해진 길이의 보조유체가 형성된 후에 보조유체의 공급을 차단함으로써 코팅유체 부분과 보조유체 부분으로 이루어진 다상유체를 발생시키고;

   (e) 다상유체를 다상유체 배출부분 내에 있는 다상유체 입구로 이송하고, 다상유체 배출부분의 다상유체 출구를 통과하게 하고, 이어서 코팅다이의 유체출구를 통하여 배출되도록 하고;

   (f) 코팅다이와 평판이 서로에 대하여 이동되도록 구동하여 다상유체가 코팅다이로부터 배출되어 평판의 미리 정해진 위치에 코팅되고, 보조유체가 가스인 경우에는 평판에 마이크로 패치를 직접 형성하고, 보조유체가 코팅유체와 섞일 수 없는 액체인 경우에는 평판에 마이크로 패치를 형성하기 위하여 가열하는 단계;를 포함하고,

   유체출구로부터 코팅유체와 보조유체가 교대로 배출되고, (f) 단계의 상기 코팅 후에 보조유체가 제거됨으로써 코팅유체가 불연속적인 마이크로 패치 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 평판에 마이크로-패치 패턴을 형성하는 방법.
2. 제1항에 있어서,

   보조유체는 코팅유체와 섞일 수 없는 액체 또는 가스인 것을 특징으로 하는 방법.
3. 제1항에 있어서,

   (f) 단계에서,

   코팅다이와 평판 사이의 이동은 코팅다이를 이동시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
4. 제1항에 있어서,

   (f) 단계에서,

   코팅다이와 평판 사이의 이동은 평판을 이동시킴으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
5. 제1항에 있어서,

   상기 다상유체를 펌핑하기 위하여 유체 구동메카니즘(16)이 적어도 하나의 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
6. 제1항에 있어서,

   상기 (d) 단계는 다상유체 발생기에 의해서 이루어지고,

   다상유체 발생기는 밸브를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
7. 제1항에 있어서,

   상기 (d) 단계는 다상유체 발생기에 의해서 이루어지고,

   다상유체 발생기(5a)는 밸브가 없는 타입(valvaless type)인 것을 특징으로 하는 방법.
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19. 코팅다이(2);

    코팅다이(2)의 내부에 배열된 마이크로채널 구조(4);

    마이크로채널 구조(4)에 코팅유체(2a)를 공급하기 위하여 코팅다이(2)의 마이크로채널 구조(4)에 연결된 적어도 하나의 코팅유체 입구(21a);

    코팅다이(2)의 마이크로채널 구조(4)에 연결되고, 마이크로채널 구조(4)에 보조유체(3)를 공급하기 위하여 교차점(junction)을 통하여 코팅유체 입구(21a)와 연통되는 적어도 하나의 보조유체 입구(22);

    다상유체(11)를 형성하기 위하여 코팅유체(2a)의 흐름과 보조유체(3)의 흐름을 교대로 차단하기 위하여 마이크로채널 구조(4)의 코팅유체 입구(21a)와 보조유체 입구(22)의 교차점에 연결된 적어도 하나의 다상유체 발생기(5a); 및

    한쪽 끝단에 다상유체 입구(231)와 다른쪽 끝단에 다상유체 출구(24a)를 포함하고, 다상유체 발생기(5a)에 의하여 발생된 다상유체(11)를 운반하기 위하여 다상유체 입구(231)가 다상유체 발생기(5a)에 연결되고, 다상유체 출구(24a)가 코팅다이(2)의 바닥에 배열되고, 다상유체(11)를 이송하여 코팅다이(2)로부터 배출하기 위하여 다상유체 출구(24a)는 평판(6)의 표면으로부터 미리 정해진 거리에 있는 적어도 하나의 다상유체 배출부분(23a);을 포함하고,

    평판(6)에 대하여 코팅다이(2)가 이동하여 미리 정해진 위치의 평판(6)에 다상유체(11)가 코팅되어 평판(6)에 적어도 하나의 마이크로 패치(7a)(7b)(7c)가 형성되고,

    다상유체 출구(24a)로부터 코팅유체와 보조유체가 교대로 배출되고, 상기 코팅 후에 보조유체가 제거됨으로써 코팅유체가 불연속적인 마이크로 패치 패턴을 형성하는 것을 특징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).
20. 제19항에 있어서,

    보조유체(3)는 코팅유체(2a)(2b)(2c)와 섞일 수 없는 액체 또는 가스인 것을 특징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).
21. 제19항에 있어서,

    다상유체 발생기(5a)는 다상유체 흐름이 발생되는 부분인 것을 특징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).
22. 제19항에 있어서,

    다상유체 발생기(5a)는 인터셉터를 포함하고, 인터셉터는 미리 정해진 길이의 코팅유체 부분(2a')이 형성되면 코팅유체의 유입을 차단하고, 이어서 미리 정해진 길이 동안에 다상유체 배출부분(23a)을 향하여 보조유체(3)가 흐른 후 코팅유체(2a)에 의하여 차단되고, 이 공정을 반복하여 다상유체 흐름을 만드는 것을 특징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).
23. 제19항에 있어서,

    마이크로 패치 코팅 공정을 수행하는 동안에 구동메카니즘(21)에 의하여 구동되어 코팅다이(2)가 평판(6)에 대하여 반대방향으로 평행하게 이동하는 것을 특징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).
24. 제23항에 있어서,

    구동메카니즘(21)은 조절가능한 속도를 가진 플랫폼 운반기(platform conveying device)이어서 코팅다이(2)의 상대적인 속도를 조절할 수 있는 것을 특 징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).
25. 제19항에 있어서,

    마이크로 패치 코팅 공정을 수행하는 동안에 판넬 구동메카니즘(6a)에 의하여 구동되어 평판(6)이 코팅다이(2)에 대하여 반대방향으로 평행하게 이동하는 것을 특징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).
26. 제25항에 있어서,

    판넬 구동메카니즘(6a)은 조절가능한 속도를 가진 플랫폼 운반기(platform conveying device)이어서 평판(6)의 상대적인 속도를 조절할 수 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).
27. 제19항에 있어서,

    다상유체 발생기(5a)는 밸브가 없는 타입(valvaless type)인 것을 특징으로 하는 마이크로 패치 코팅기(300).

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