KR100344238B1 - 카세트 이송장치용 도킹장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 카세트이송장치의 전면하측에 고정형으로 된 고정암과 작동형으로 된 작동암을 서로 이격되게 구비하고, 반도체제조장치의 전면 하측에는 별도의 도킹블럭을 설치하여, 고정암과 작동암을 도킹블럭에서 착탈시킬 수 있도록 된 도킹장치에 관한 것으로서, 카세트(6)가 탑재된 카세트이송장치(2)를 반도체제조장치(1)의 전방에 흔들림없이 고정시켜 주면서 항상 바르게 정렬시켜줄 수 있게 되고, 따라서 카세트(6)를 반도체제조장치(1)에 정확하고 바르게 공급할 수 있으므로 카세트(6)를 용이하게 교환할 수 있으며, 카세트이송장치(2)에서 엘리베이터를 작동시킬 때 카세트(6)의 자세가 변형되거나 탈락되는 것을 방지할 수 있게되고, 카세트이송장치(2)의 정렬시간을 단축시킬 수 있으므로 인력과 시간의 낭비를 줄이면서 생산성을 향상시킬 수 있게된다.

Description

카세트 이송장치용 도킹장치{Docking apparatus for cassette transfer equipment}

본 발명은 카세트이송장치를 반도체제조장치의 전방에 정렬시켜주기 위한 도킹장치에 관한 것이다.

이를 좀 더 상세히 설명하면, 카세트이송장치의 전면 하측에는 고정형으로 된 고정암과 작동형으로 된 작동암을 서로 이격되게 구비하고, 반도체제조장치의 전면 하측에는 별도의 도킹블럭을 설치하여, 고정암과 작동암을 도킹블럭에서 착탈시킬 수 있도록 된 도킹장치를 제공하려는 것이다.

도 1에 도시된 바와같이 통상의 반도체제조장치(1)는, 웨이퍼에 사진, 확산, 식각, 화학기상증착을 비롯하여 금속증착의 공정을 순차적으로 수행하게 되며, 반도체제조장치(1)에 반도체제조용으로 공급되는 웨이퍼(구체적으로 도시하지 아니함)는 도 1에 도시된 바와같이 카세트이송장치(2)에 탑재되는 카세트(6)를 장전시킨 상태에서 공급하게된다.

이와같이 카세트이송장치(2)에 탑재되는 카세트(6)를 반도체제조장치(1)의 안치판(1-1)에 바르게 안치시켜주기 위해서는 선행공정에서 끌고온 카세트이송장치(2)를 안치판(1-1)의 정면에 정확하게 정렬시키고 고정시켜주어야한다.

그런데, 종래에는 카세트(6)가 탑재되는 카세트이송장치(2)를 반도체제조장치(1)의 안치판(1-1)의 전면에 정렬고정시켜주도록 하는 장치가 제안되어 있지 않았으므로 도 1에 도시된 바와같이 안치판(1-1)의 하측바닥면에 스톱바(7)를 단순히 고정시켜서 카세트이송장치(2)를 안치판(1-1)에 정렬시킬 때 저면에 장착된 캐스터(4)가 스톱퍼(7)에 의해 정지될 때까지 카세트이송장치(2)를 밀어준 상태에서 카세트이송장치(2)를 좌·우로 이동시키면서 탑재된 카세트(6)를 안치판(1-1)에 일치시키도록 조정하였었다.

이와같은 종래의 방법은 카세트이송장치(2)를 반도체제조장치(1)의 안치판(1-1)에 정확하게 정렬시킬 수 없게되고, 정확하게 정렬시켜주는데 많은 시간이 소요되는 문제가 있었다. 또 카세트이송장치(2)를 정확하게 일치시켜주더라도 그 일치상태를 고정시켜 유지시킬 수 없기 때문에 반도체제조장치(1)와의 사이에 카세트(6)를 교환할 때 카세트 이송장치(2)의 자세가 변형되는 현상이 발생하게 되고, 그로 인하여 카세트(6)를 재차교환할 때 카세트(6)를 엘리베이터(5)의 위에 정확하게 올려놓을 수 없게 되며, 이와같이 카세트(6)가 엘리베이터(5)의 바르게 위에 올려져 있지 않은 상태에서 엘리베이터(5)를 작동시키게 되면 카세트(6)가 카세트이송장치(2)에서 바닥면(8)으로 추락하여 손상될 뿐만 아니라 내부에 장전된 웨이퍼가 이탈되어 손상되는 등의 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제들을 해소할 수 있도록 된 카세트이송장치용 도킹장치를 제공하려는 것이다.

본 발명은, 카세트이송장치와 같은 도킹대상장치의 전면하단에 고정암으로된 기준부와 스프링에 의해 외측으로 탄발되는 작동암으로 된 셋팅부를 이격되게 설치하고, 이격된 한 쌍의 셋팅홈이 대향되게 형성된 도킹블럭을 메인장치가 구비된 바닥의 소정위치에 고정시킬 수 있도록 하여, 스프링으로 탄발되는 셋팅부의 작동암을 도킹블럭의 일측의 셋팅홈에 장전시킨 상태에서 카세트이송장치를 셋팅부측으로 밀어 스프링을 압축시켜 주면서 고정암을 타측의 셋팅홈에 장전시켜 도킹 시킬 수 있도록 하고, 도킹상태에서는 카세트이송장치를 셋팅부측으로 밀어 스프링을 압축시켜준 상태에서 고정암을 일측 셋팅홈에서 먼저 이탈시키고 스프링으로 탄발되는 작동암을 타측 셋팅홈에서 이탈시켜줌으로서 도킹상태를 해제시킬 수 있도록 된 카세트이송장치용 도킹장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 다른 목적은, 카세트이송장치에 구비되는 고정암과 작동암을 도킹블럭에 용이하게 도킹시키거나 도킹을 해제시킬 수 있도록 하고, 도킹 시켰을 때에는 카세트이송장치가 언제나 기준선에 자연스럽게 정렬되어질 수 있도록 된 카세트이송장치용 도킹장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 또 다른 목적은, 구조를 간단히 하여 저렴한 비용으로서 용이하게 제작하고, 메인(모)장치에 보조(자)장치를 도킹시키고자 하는 장치에 장착하여 사용할 수 있도록 된 카세트이송장치용 도킹장치를 제공하는데 있다.

본 발명의 상기 및 기타목적은,

도킹대상장치의 배면하단에 고정암(11)을 고정시킨 기준부(10-1)와 작동암(17)을 스프링(16)에 의해 외측으로 탄발시키도록 된 셋팅부(10-2)를 이격되게 설치한 것과, 메인장치가 설치되는 바닥면(8)의 소정위치에는 고정암(11)과 작동암(17)을 셋팅시킬 수 있도록 한 쌍의 셋팅홈(24)이 대향되게 이격형성된 도킹블럭(20)을 고정시켜서 된 것이 포함되는 것을 특징으로 하는 도킹장치(10)에 의해 달성된다.

도 1은 반도체제조장치의 전방에 카세트이송장치를 정렬시킨 상태의 예시도.

도 2는 본 발명에 따른 카세트이송장치용 도킹장치를 장착시킨 상태의 사시 도.

도 3은 본 발명에 따른 카세트이송장치용 도킹장치에서 도킹블럭의 다른 실 시예를 보인 예시도.

도 4는 본 발명에 따른 카세트이송장치용 도킹장치에 의해 카세트 이송장치 를 반도체 제조장치의 전방에 정렬시킨 상태의 측면예시도.

도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 카세트이송장치용 도킹장치의 작동관계를 설명도.

※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 반도체제조장치 2 : 카세트이송장치 10 : 도킹장치

10-1 : 기준부 10-2 : 셋팅부 11 : 고정암

12 : 기준롤러 13, 14 : 고정판 15 : 지지봉

16 : 스프링 17 : 작동암 18 : 셋팅롤러

20 : 도킹블럭 21 : 안치판 22 : 스톱편

23 : 셋팅편 24 : 셋팅홈

본 발명의 상기 및 기타목적과 특징은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명에 의하여 더욱 명확하게 이해할 수 있을 것이다.

첨부도면 도 2 내지 도 6b는 본 발명에 따른 카세트이송장치용 도킹장치의 구체적인 실현예를 보인 예시도로서, 도 2는 도킹장치를 장착시킨 상태의 사시도이고, 도 3은 도킹블럭의 다른 실시예를 보인 것이며, 도 4 내지 도 5b는 도킹장치를 보여주는 작동관계 설명도이다.

본 발명에 따른 도킹장치(10)는 도 2에 도시된 바와같이 도킹대상장치인 카세트이송장치(2)의 저면판(3)에 이격되게 장착고정되는 기준부(10-1)와 셋팅부(10-2)그리고 별도의 도킹블럭(20)으로 구성하였다.

기준부(10-1)는, 저면판(3)의 일측에 고정암(11)을 고정시키고 고정암(11)의 선단하측에는 기준롤러(12)를 축(12-1)으로 회전가능하게 굴대 설치하였다.

셋팅부(10-2)는, 저면판(3)의 타측에 한쌍의 고정판(13)·(14)을 서로 이격시켜 고정시켰고 이들 사이에 한쌍의 지지봉(15)을 장착시켰으며, 지지봉(15)에는 스프링(16)과 작동암(17)을 결합시켜주되 작동암(17)이 스프링(16)에 의해 외측으로 탄발되어지도록 하였으며, 작동암(17)의 선단하측에는 셋팅롤러(18)를 축(18-1)으로 회전가능하게 굴대설치하였다.

또, 도킹블럭(20)은, 안치판(21)의 후측에 스톱편(22)을 길게 형성하였고, 양측에는 스톱편(22)과 동일한 높이로 셋팅편(23)을 각각 형성하되 각 셋팅편(23)에는 셋팅홈(24)을 서로 대향되고 안치판(21)과 연통되게 형성하였으며, 다수개의 고정공(25)을 형성하였다.

도 3은 상기 도킹블럭(20)의 다른 실시예를 보인 것으로서, 도킹블럭(20)을 분리형으로 형성하되 각 도킹블럭은, 전면과 일측으로 개방되는 안치판(21)의 후측에 스톱편(22)을 형성하였고, 일측에는 스톱편(22)과 동일한 높이로 셋팅편(23)을 형성하되 셋팅편(23)에는 셋팅홈(24)을 형성하였으며, 분리형으로 된 도킹블럭은 각 셋팅편(23)과 셋팅홈(24)을 서로 대향되게 설치하도록 하였다.

이하, 작동 관계를 설명한다.

본 발명에 따른 도킹장치(10)를 사용하고자 할 때에는 도 2 및 도 4에 도시된 바와같이 기준부(10-1)와 셋팅부(10-2)를 도킹대상장치인 카세트이송장치(2)의 저면판(3)에 각각 고정시켜주고, 도킹장치(20)는 메인장치인 반도체제조장치(1)가 설치된 바닥면(8)의 소정위치에 고정시키거나 구체적으로 도시하지는 아니하였으나 별도의 지지수단을 이용하여 반도체제조장치(1)의 저면하측에 일체형으로 설치할 수 있으며, 바닥면(8)에 설치할 때에는 각 고정공(25)에 볼트못(구체적으로 도시하지 아니함)과 같은 고정수단을 이용하여 고정시켜준다.

이와같이 도킹장치(10)의 기준부(10-1) 및 셋팅부(10-2) 그리고 도킹블럭(20)을 각각 고정시킨 상태에서 기준부(10-1) 및 셋팅부(10-2)를 도킹블럭(20)에 도킹(셋팅)시켜주고자 할 때에는 다음과 같이 실시한다.

저면판(3)에 캐스터(4)가 장착되어 있는 카세트이송장치(2)를 이동시켜서 작동암(17)의 셋팅롤러(18)를 도킹블럭(20)의 안치판(21)의 위에 올려주고, 셋팅롤러(18)가 안치판(21)의 위에 올려진 상태에서 카세트이송장치(2)를 셋팅부(10-2)측으로 밀어주면 작동암(17)의 셋팅롤러(18)가 스톱편(22)을 따라 롤링되면서 이동하게되며, 이동되는 작동암(17)의 셋팅롤러(18)는 일측의 셋팅홈(24)에 유입되어지는데 그의 셋팅편(23)에 의해 전방으로의 이탈이 방지된다.

이와같이 작동암(17)의 셋팅롤러(18)가 일측의 셋팅홈(24)에 유입되어진 상태에서 카세트이송장치(2)를 셋팅부(10-2)측으로 재차밀어주게 되면 저면판(3)과 함께 고정판(13)·(14)이 스프링(16)을 압축시키면서 이동하게되고, 고정암(11)이 작동암(17)측으로 이동하여 간격을 줄여주게 된다. 이 상태에서 일측의 셋팅홈(24)에 유입된 셋팅롤러(18)를 축으로 하여 카세트이송장치(2)를 내측으로 회전시켜주면 고정암(11)의 기준롤러(12)는 도킹블럭(20)의 안치판(21)의 위로 올려지게 되고, 기준롤러(12)가 스톱편(22)과 접촉되어지면 카세트이송장치(2)에서 밀어주는 힘을 제거하되 기준롤러(12)가 안치판(21)의 전방으로 배출되지 않도록 가볍게 잡아주기만 한다.

상기와 같이 카세트이송장치(2)에서 밀어주던 힘을 제거하게 되면 압축되어있던 스프링(16)이 신장되면서 고정판(13)(14)을 반대방향으로 밀어주게 되므로 카세트이송장치(2)는 타측방향으로 이동하게 되고, 카세트이송장치(2)의 저면판(3)과 함께 고정암(11)이 이동하게 되므로 기준롤러(12)는 타측의 셋팅홈(24)에 유입되어지며, 고정암(11)의 기준롤러(12)가 타측의 셋팅홈(24)에 유입(셋팅)되어짐으로서도킹은 완료된다.

도킹이 완료되면 셋팅부(10-2)의 스프링(16)이 작동암(17)을 외측으로 밀어주게 되므로 고정형으로 된 기준부(10-1)의 고정암(11)은 항상 기준선 정렬이 되어진 상태를 유지하게 되고, 따라서 카세트이송장치(2)는 반도체 제조장치(1)의 안치판(1-1)의 전방에 항상 바르게 정렬되어지게 된다.

반면에, 이와같이 도킹된 상태에서 도킹상태를 해제시켜주고자 할 때에는 다음과 같이 실시한다.

고정암(11)의 기준롤러(12)와 작동암(17)의 셋팅롤러(18)가 도킹블럭(20)의 양측 셋팅홈(24)에 각각 셋팅된 상태에서 카세트이송장치(2)를 (10-2)측으로 밀어주게 되면 고정판(13)(14)이 스프링(16)을 이기고 이동하게 되고 고정암(11)은 내측으로 이동되면서 기준롤러(12)가 그의 셋팅홈(24)에서 벗어나게 된다. 기준롤러(12)가 그의 셋팅홈(24)에서 벗어나면 타측의 셋팅홈(24)에 유입되어 있는 작동암(17)의 셋팅롤러(18)를 축으로 하여 카세트이송장치(2)를 외측으로 회전시켜서 기준롤러(12)를 안치판(21)의 외부로 배출시켜주고, 기준롤러(12)가 안치판(21)을 벗어나면 카세트이송장치(2)를 전방으로 당겨 셋팅롤러(18)를 셋팅홈(24)과 안치판(21)의 외부로 배출시켜줌으로서 카세트이송장치(2)의 도킹장치를 완전히 해제시킬 수 있게 된다.

도킹상태가 해제된 카세트이송장치(2)는 차기 공정으로 이동시켜주고, 도킹블럭(20)에는 새로운 카세트이송장치(2)를 전술한 바와같은 도킹과정으로 실시하여 도킹시켜준다.

이상에서와 같이 본 발명에 따른 도킹장치(10)는, 카세트(6)가 탑재된 카세트이송장치(2)를 반도체제조장치(1)의 전방에 흔들림 없이 고정시켜 주면서 항상 바르게 정렬시켜줄 수 있게 되고, 따라서 카세트(6)를 반도체제조장치(1)에 정확하고 바르게 공급할 수 있으므로 용이하게 교환할 수 있으며, 카세트이송장치(2)에서 엘리베이터를 작동시킬 때 카세트(6)의 자세가 변형되거나 탈락되는 것을 방지할 수 있게되고, 카세트이송장치(2)의 정렬시간을 단축시킬 수 있으므로 인력과 시간의 낭비를 줄이면서 생산성을 향상시킬 수 있게된다.

Claims (5)

1. 도킹대상장치의 배면하단에 고정암(11)을 고정시킨 기준부(10-1)와 작동암(17)을 스프링(16)에 의해 외측으로 탄발시키도록 된 셋팅부(10-2)를 이격되게 설치한 것과, 반도체제조장치(1)가 설치되는 바닥면(8)의 소정위치에는 고정암(11)과 작동암(17)을 셋팅시킬 수 있도록 한 쌍의 셋팅홈(24)이 대향되게 이격형성된 도킹블럭(20)을 고정시켜서 된 것이 포함되는 것을 특징으로 하는 카세트이송장치용 도킹장치.
2. 제 1 항에 있어서, 기준부(10-1)는, 저면판(3)의 일측에 고정암(11)을 고정시키고 고정암(11)의 선단하측에는 기준롤러(12)를 축(12-1)으로 회전가능하게 굴대설치하여서 된 것을 특징으로 하는 카세트이송장치용 도킹장치.
3. 제 1 항에 있어서, 셋팅부(10-2)는, 저면판(3)의 타측에 한쌍의 고정판(13)·(14)을 서로 이격되게 고정시키고 이들 사이에 한쌍의 지지봉(15)을 장착시키며, 지지봉(15)에는 스프링(16)과 작동암(17)을 결합시켜주되 작동암(17)이 스프링(16)에 의해 외측으로 탄발되어지도록 하며, 작동암(17)의 선단하측에는 셋팅롤러(18)를 축(18-1)으로 회전가능하게 굴대설치하여서 된 것을 특징으로 하는 카세트이송장치용 도킹장치.
4. 제 1 항에 있어서, 도킹블럭(20)은, 안치판(21)의 후측에 스톱편(22)을 길게 형성하고, 양측에는 스톱편(22)과 동일한 높이로 셋팅편(23)을 각각 형성하되 각 셋팅편(23)에는 셋팅홈(24)을 서로 대향되고 안치판(21)과 연통되게 형성하며, 다수개의 고정공(25)을 형성하여서 된 것을 특징으로 하는 카세트이송장치용 도킹장치.
5. 제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 도킹블럭(20)을 분리형으로 하되 분리형으로 된 각 도킹블럭은 각 셋팅편(23)과 셋팅홈(24)을 서로 대향되게 형성하여서 된 것을 특징으로 하는 카세트이송장치용 도킹장치.