JPS6186638A - 配線パターン欠陥検査方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、印刷回路パターンなどのパターンを検査する
方法に係り、特に電気的導通に関する欠陥を非接触かつ
高速に検出するに好適なパターン欠陥検出方法に関する
。

〔発明の背景〕

従来、厳密な位置合わせを必要としないパターン検査方
法としては、特開昭５８−１７９３４３に示された方法
があった。この方法は、検出した２値パターンあるいは
その細めたパターンあるいはその太めたパターンの特定
の範囲内のパターン数を検出、標準パターンから求める
パターン数と比較し、一致しない場合、欠陥があると判
定するものである。これによって検出画素毎の厳密なパ
ターン位置合わせは不要となる。

しかし、この方式では、欠陥の発生位置を厳密には指摘
できない。また、パターン数を計数する特定の範囲内に
、パターンの分離（断線）とパターンの融合（短絡）が
同時におこった場これを見逃す可能性があるという問題
点があった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、上記した従来技術の欠点をなくし、非
接触かつ高速に印刷回路パターンの断線、短絡、パター
ン幅小、パターン間隔小などのパターン欠陥を検出する
方式を提供することにある。

〔発明の概要〕

光学像の電気的処理として２値化がよく行われる。本発
明においては、２値化されたパターンの選択された２点
間の連結関係を調べることが特徴である。即ち、選択し
たパターン上の１点に付された番号をアドレスとし、連
結関係にあるパターンの代表点の番号をデータとする接
続データを生成する。この接続データと所定の設計デー
タとを比較することでパターンの欠陥を判定検出するみ ここで設計データとは、あらかじめ検査対象のパターン
（正しい連結関係を表わしているもの）から連結関係を
抽出し、必要があれば修正した後、循環リスト構造に変
換して得られた基準データを指称するものとする。

〔発明の実施例〕

回路パターンの電気的導通を非接触で検出するには、パ
ターンが平面上に存在することを考慮すると、パターン
の光学像を検出し、導体部分のみを２値パターンとして
分離抽出できれば、２値パターンに連結性処理を施し、
２パッド間の２値パターン上の接続関係を調べることに
よって実現でき、これと、あらかじめ欠陥を含まない検
査対象パターンに連結性処理を施して得られた接続デー
タまたは欠陥を含むパターンから得られた接続データを
修正し、これを循環リスト構造に変換することにより作
成される正しい接続関係とを比較すれば、断線、短絡の
検査が可能となる。

本発明は、連結性処理の出力データ構造として着目パッ
ドをアドレスとし、それに接続しているパッド番号をデ
ータ内容とし、欠陥を含まない検査対象パターンから得
られた接続関係データまたは、欠陥を含む検査対象パタ
ーンから得られた接続データを循環リスト構造に変換し
、必要であれば、接続関係データ、もしくは、循環リス
ト構造に修正を加え、（以降、本明細書においては、前
者を接続データ、後者を設計データと呼ぶ）接続データ
から１つずつデータを取り田し、設計データの循環リス
ト上にそれぞれのパッドが存在するか否かを調べること
によって検査する方式である。これによって、データ鷲
と処理量の大幅な低減を実現することができる。

まず接続データについてさらに詳しく説明する。第４図
は接続データを示す。同図に示すように、接続データは
、着目パッド番号をアドレスとし、データ内容は着目パ
ッド番号と連結関係にある親パッド番号とする構成にな
っている。

パッド番号とは、回路パターン上で導通関係等を検査す
る必要のあるパッドに特定の規則にしたがって付された
番号である。例えば、第５図に示すように、上から下、
左から右へという順に１から順に番号付けする。パッド
のうち親パッドとは、連結した個々の回路パターンを代
表する特定の１個のパッドである。親パッドの決定法は
、例えば、回路パターン上で最も左上にあるものという
ように特定の規準を定めておけばよい。第６図のパター
ンを例とした接続データを第１表に示す。同図で、親パ
ッドはパッド番号１，４である。

つぎに、設計データについてさらに詳しく説明する。設
計データはアドレスすなわちパッド番号と、その番号を
表わしている数字を循環して変化させたとき、最初に現
われる、そのパッドと連結関係にあるパッド番号とから
なる循環リストで表現されたデータ構造を持っている。

個々の循環リストは一つの連結した回路パターン上にあ
るすべてのパッド番号の接続関係を示したものである。

ここで、接続関係とは、パッド相互間の単なる連結関係
のみを意味し、幾何的な位置関係を示すものではない。

ポインティング順は番号の若い順または古い脂とする。

第６図のパターンを例とした設計データを第２表に示す
。

この設謂データは、欠陥を含まない検査対象パターンか
ら連結性処理を行なうことにより得られた佇続データを
循環リスト構造に変換して得るか、または、欠陥を含む
検査対象パターンから得られた接続データをまず循環リ
スト構造に変換し、その後に＠環すスト構造に変換され
第　　１　　表　　　　　　　　　第　　２　　表たデ
ータの欠陥部分を修正して得るものである。

つぎに、接続データを循環リス）ｌ造に変換する方法に
ついて述べる。接続データは、データ・テーブル内に、
アドレス１からルまでに格納されているものとする。こ
れを、第７図に示すフローチャートの手順に従りで内容
を書き換えることによって循環リストが得られ茗。“以
上に説明した接続゛データと設計データ゛を比較して、
欠陥を検出する方法について述べ□゛る。

処理の中間データを格納するために、設計データの各パ
ッド番号（アドレス）に２ビツトの属性データを付加す
る。そのためのアルゴリズムを以下に示す。

欠陥検出アルゴリズム 段階ｔ　属性データをすべて０にクリアする。

段階λ　全での接続データを以下の手順で設計データと
比較し、属性データに結果を 格納する。もし接続データの左右のパ ッド番号が等しいときは、属性データ ＝１、そうでないときは、設計データ 上の循環リストを一巡し接続データの 右パッド番号（親パッド番号）が設計 データ上にあるか調べる。もしあると き、属性データー２、そうでないとき、属性データ＝＝
３、 段階３゜　設計データを個々の循環リストの属性データ
を調べ、つぎに示す規準にした がって欠陥判定する。

ケース１．、Ｏが一つ以上ありた場合 →パッドに欠陥がある（パッドな し） ケース２．１が−っで他はみな２の場合→正常 ナース５．１が二つ以上あった場合 →断線 ケース４．５が一つ以上あった場合 →短絡 段階４．各循環リスト（連結した回路パターン）の欠陥
判定結果を出力する。

以下に、図面を参照しながら、実施例を用いて本発明を
一層詳細に説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明
の枠を越えることなしにいろいろな変形や改良があり得
ることは勿論である０ 〔発明の実施例〕 まず、本発明の最も基本的な実施例を説明する。本実施
例を具体的に実行する装置の構成を第７図に示す。同図
に示すように、まず、撮像装置２１によって、被検査パ
ターンの光学像を電気信号に変換する。撮像装置２１に
はＴＶカメラなどの２次元画像撮像装置を用いてもよい
し、リニアセンサと一方向駆動機構との組合せによる撮
像装置を用いてもよい。電気信号は、２値化装置２２に
よって２値付号（２値パターン）に変換される。２値化
方式には、固定閾値方式を用いてもよいし、安定なパタ
ーンを得るため、浮動閾値方式を用いたり、シェーディ
ング補正の手段を用いてもよい。２値付号は、連結性処
理装置２３に入力され、第４図に示した接続データを作
成する。パッド番号を連結性処理の際に知るため、予め
設計情報もしくは、パッド間隔と個数よりパッド位置と
パッド番号の対応関係を作成し、パッド位置データ・メ
モリ２７に格納しておく、連結性処理装置は、より′　
具体的には本出願人が先に提出した「連結関係検出法（
特願昭５９−１０４５７１号）」と題する出願明細書に
示された方法を具現する装置である。

一方、設計データは、あらかじめ欠陥を含まない検査対
象パターンから得られた接続データ、もしくは欠陥を含
む検査対象パターンから得られたものを修正した接続デ
ータを、接続データ・メモリ２４から読み出し、処理装
置２５上で先に述べた変換方法により循環リスト構造に
変換し、設計データ・メモリ２６に格納しておく。

そして、検査対象のすべての回路パターンの接続データ
を作成した後（撮像装置によるすべての回路パターンの
撮像後）、処理装置２５によって先に述べた欠陥検出ア
ルゴリズムを実行し、属性データを属性データ・メモリ
２８に出力、欠陥判定を行なう。

第９図に示す被検査パターンを例に実際の欠陥検出処理
過程を示す。２値化処理、連結性処理を経て、接続デー
タ・メモリ２４に格納された接続データの内容を第４表
に示す。親パッドが０となっているのは、そのアドレス
番号に相当するパッドが見つからなかったことを示す。

一方、第１０図に示す正常なパターンから得られた設計
データを第５表に示す。第５表の左コラムはアドレス、
中央コラムはパッド番号（ポインタ）、右コラムは属性
データを示す。属性データは０に初期化しておく。まず
、接続データ・メモリ２４の先頭のデータを調べると左
右のパッド番号とも１であるので、設計データのアドレ
ス１の属性データを１とする。つぎの接続データも左右
のパッド番号とも２であるので、第　　４　　表　　　
　　　　　　第　　５　　表設針データのアドレス２の
属性データを１とする。つぎの接続データは左パッド番
号が３、親パッド番号は２である。まず、設計データの
アドレス３のデータ（ポインタ）を調べると１であり、
親パッド番号２と一致しない。そこで、つぎにポインタ
の指しているアドレス１のデータを調べる。データは２
であり親パッド番号と一致したのでアドレス３の属性デ
ータを２とする。つぎの接続データの左パッド番号は４
、親パッド番号は２である。設計データのアドレス４の
データを調べると５であり、親パッド番号２と一致しな
い。そこでアドレス５のデータを調べると４であり、親
パッド番号２と一致しないばかりか、データが接続デー
タの左のパッド番号４に一致し、循環リストを一巡して
も親パッドが発見できなかつたことになる。そこで、ア
ドレス４の属性データを３とする。つぎの接続データに
関しても、同様に循環リストを一巡しても親パッドが発
見できないので、アドレス５の属性データを３とする。

つぎの接続データは左のパッド番号６、親パッド番号６
であるので、アドレス６の属性データを１とする。つぎ
の接続データは左のパッド番号が８、親パッド番号が６
であり、設計データのアドレス８のデータを調べると６
なので、アドレス８の属性データを２とする。以上で、
この場合のすべての接続データのサーチが終り、属性デ
ータが作成されたことになる。そこで、今度は属性デー
タを各循環リスト毎に調べ、欠陥判定を行なう。

まず、パッド番号１．２．５より成るパターンは、属性
データに１が二つあるので、断線と判定される。つぎに
パッド番号４，５より成るパターンは、属性データがす
べて３であるので、短絡と判定される。また、パッド番
号６，７゜８より成るパターンは、属性データに０があ
るので、パッドなし不良が存在する（パッド番号７）。

このように、判定結果はパターン上の欠陥を正しく指摘
している。ただし短絡しているパターンのうち一つは判
定結果に表われない。

しかし、これは重大な欠点とはなり得ない。

このように、本実施例によれば比較的簡単な構成で、非
接触でパターンの短絡、断線を検出できる。

つぎに本発明による第２の実施例について説明する。本
実施例を具体的に実行す墨装置の構成を第１１図に示す
。先に示した実施例（第８図）との相違は２値化装置２
２と連結性処理装置２３との間に縮小処理装置２９が入
っている点であり、他の構成は全く同じである。縮小処
理袋＠２９の一実施例を第１２図に示す。装置はｎビッ
トのシフト・レジスタ３１（ｍｚ　　１）本とｍ１ビツ
トのシフト・レジスタ３２１本から成る。これらのシフ
ト・レジスタは同一のサンプリング・クロックにより駆
動される。ｎは撮像装置２１の水平方向のサンプリング
点数に一致させる。また、”ｌ　？　”２はサンプリン
グ時間間隔、撮像装置の垂直方向分解能、検出したい欠
陥の大きさにより決定される。例えばサンプリング時間
間隔、垂直方向分解能がそれぞれ１０μｍ４に相当し、
欠陥の大きさが３０μｍ角であればｍ１＝ｍ２−３とす
る。（第１３図）。そして、扉１ｘｒｎ２のシフトレジ
スタ３２の出力をＡＮＤ回路３３に導き、連結性処理装
置２３に対して出力する。第１２図では、すべてのシフ
ト・レジスタの出力を取り出しているが、検出したい欠
陥の形によりて選択的に取り出してもよい。第１３図に
示す２値パターンの第１２図の装置による縮小処理結果
を第１４図に示す。最も短い線分を一辺とする正方形は
１画素を表わす。第１５図に示す被検査パターンの縮小
処理後のパターンを第１６図に、連結性処理で生成され
た接続データを第６表に、設計データを第７表に示す。

さらに、先に述べた第１の実施例と同様に生成した属性
データと欠陥判定結果を第７表以下余白 第　　６　　表　　　　　　　　　第　　７　　表の右
の欄に示す。この結果から明らかなように、規定値（こ
の例では３０μｍ）以下のパターン幅′　　小を断線と
して検出できている。ただし、断線とパターン幅小の区
別はできないし、微細な短絡を見逃す可能性がある。こ
のように、本実施例によれば、断線およびパターン幅小
を区別なしに検出さえすればよい場合に、比較的簡単な
構成でパターン欠陥検出装置を実現できる。

つぎに第３の実施例について説明する。本実施例を具体
的に実行する装置の構成を第１７図に示す。同図より明
らかなように、本実施例は、第１の実施例と第２の実施
例の複合である。第１５図に示す被検査パターンより検
出された属性データおよび欠陥判定結果を設計データと
ともに第８表に示す。

以下余白 第８表 第１７図に示す装置は第８図に示す装置と第１１図に示
す装置を合わせたものであり、それらの図と共通する引
用番号はそれらの図におけるものと同じ部分を表わし、
引用番号に添えられたａは原パターンを処理する系列に
属することを表わし、ｂは縮小パターンを処理する系列
に属することを表わす。各系列における処理は、前２例
と全く同じであり、最後に、原パターンより得られた判
定結果と縮小パターンより得られた判定結果を総合的に
判断する処理を加える。

すなわち、第８表に示すように、二つの判定結果より、
断線とパターン幅小の区別が可能になるとともに、微細
な短絡の見逃しもなくなる。

このように、本実施例によれば、断線とパターン幅小を
区別して検出できる。

つぎに、本発明による第４の実施例について説明する。

本実施例を具体的に実行する装置の構成を第１８図に示
す。第１の実施例（第８図）との相違は、２値化装置２
２と連結性処理装置２３との間に、拡大処理装置３０が
入っている点であり、他の構成は全く同じである。拡大
処理装置３０の一実施例を第１９図に示す。装置はｎビ
ットのシフト・レジスタ３１　（ｍ、　−１）本とｍ１
ビツトのシフト・レジスタ３２ｍ２本から成る。これら
のシフト・レジスタは同一のサンプリング・クロックで
駆動される。ｎは撮像装置の水平方向のサンプリング点
数に一致させる。

また、１１ＬＩ　１−２はサンプリング時間間隔、撮像
装置２１の垂直方向分解能、検出したい欠陥の大きさに
より決定される。例えば、サンプリング時間間隔、垂直
方向分解能がそれぞれ１０μｍに相当し、欠陥の大きさ
が３０μｍ角であれば、ｒｎ１＝ｒＩＬ２−３とする（
第１９図）。そして、’！ｌ　ＸｒｒＬ２のシフト・レ
ジスタ３２の出力をＯＲ回路３４に濃き、連結性処理数
ｉ　２３に対して出力する。

第１９図では、すべてのシフト・レジスタ３２の出力を
ＯＲ回路３４に導いているが、検出したい欠陥の形によ
って、選択的に取り出してもよい。第１３図に示す２値
パターンの第１９図の装置により拡大処理結果を第２０
図に示す。また、第１５図に示す被検査パターンの拡大
処理後のパターンを第２１図に、連結性処理で生成され
た接続データを第９表に示す。さらに、第１の実施例と
同様に生成した属性データと欠陥判定結果を設計データ
とともに第１０表に示す。

第　　９　　表　　　　　　　　　第　　１０　　表こ
の結果より明らかなように、規定値（この例では３０μ
ｍ）以下のパターン間隔小を短縮として検出できている
。ただし、短絡パターン間隔小の区別はできないし、微
細な断線を見逃す可能性がある。このように、本実施例
によれば、短絡およびパターン間聞手を区別なしに検出
さえすればよい場合に、比較的簡単な構成でパターン欠
陥検出装置を実現できる。

つぎに第５の実施例について説明する。本実施例を具体
的に実行する装置の構成を第２２図に示す。同図より明
らかなように、本実施例は、第１の実施例と第４の実施
例の複合である。第１５図に示した被検査パターンより
検出されたｎ性データおよび欠陥判定結果を第１１表に
テす。第２２図に示す装置は第８図に示す装置と第１８
図に示す装置を合わせたものであり、そわらの図と共通
ずる引用番号はそれらの図におけるものと同じ部分を表
わし、引用番号に添えられたａは、第１７図におけると
同様に、原パターンを処理す２．系列に民することを表
わし、Ｃは拡大パターンを処理する系列に属することを
表わす。各系列における処理は、＃Ｊ１および第４の例
における処理と全く同じであるが、最後に、第５の例と
同様、ＮＣパターンより得られた判定結果と拡大パター
ンより得られた判定結果を総合的に判断する処理を加え
る。

すなわち、第１１表に示すように、二つの判定結果より
、短絡パターン間痛手の区別が可能になるとともに、微
細な断線の見逃しもなくなる。

このように、本実施例によれば、短絡とパターン間聞手
を区別して検出できる。

第　　　１１　　　表 つぎに本発明による第６の実施例について説明する。本
実施例を具体的に実行する装置の構成を第２３図に示す
。同図より明らかなように、本実施例は、第２の実施例
と第４の実施例の複合である。第１５図に示した被検査
パターンより検出された属性データおよび欠陥判定結果
を設計データとともに第１２表に示す。ここに至る処理
は第２．第４の例と全く同じである。ただし、最後に、
縮小パターンより得られた判定結果と拡大パターンより
得られた判定結果を総合的に判断する処理を加える。す
なわち、第１３表に示すように、二つの判定結果より、
パターン間聞手と微細な短絡、パターン幅小と微細な断
線の区別は付かないが、その他に関しては、完全に区別
して検出が可能であるとともに、見逃しもない。このよ
うに本実施例によれば、完全な短絡、完全な断線、パタ
ーン間聞手または微細な短絡、パターン幅小または微細
な断線を区別して検出できる。

以下余白 第　　　　　１２　　　　　表 第　　　　　１３　　　　　表 つぎに本発明による第７の実施例について説明する。本
実施例を具体的に実行する装置の構成を第２４図に示す
。同図より明らかなように、本実施例は、第１．第２．
第４の実施例の複合である。第１５図に示した被検査パ
ターンより検出された属性データおよび欠陥判定結果を
設計データとともに第１４表に示す。

ここに至る処理は、第１．第２．第４の例と全く同じで
ある。ただし、最後に縮小パターンより得られた判定結
果と拡大パターンより得られた判定結果と原パターンよ
り得られた判定結果を総合的に判断する処理を加える。

すなわち、第１５表に示すように、三つの判定結果より
、完全な断線、完全な短絡、微細な断線、微細な短絡、
パターン幅小、パターン間痛手を完全に区別して検出が
可能であるとともに、見逃しもない。このように、本実
施例によれば、完全に欠陥の種類を区別した検出が可能
である。

第　　　１５　　　表 つぎに、以上説明した７つの実施例に必要なメモリ容は
と処理時間について考察する。

パッドが１基板内に２５６Ｘ２５６点あると仮定し、ま
ずメモリ容量の計算を行なう。この場合、パッド番号は
１６ｂｉＪ　（２ｂｙｔｅ　）で表現できる。

連、随性処理で全てのパッドが検出されたとすると、生
成される接続データは、 １６　ｂｉｔ　ｘ　２５６’＝　１．０４８，５７６　
ｂｉｔ＝　１３１．０７２　ｋｂｙｔｅ また、設計データも １＜５ｂｉｔ　Ｘ　２５６”＝　１，０４８，５７６　
ｂｉｔ＝　１５１．０７２　ｋｂｙｔｅ 属性データは、予備も含めて４ｂｉｔで表現すると ４　ｂｉｔ　　Ｘ　　２５６２＝　　２６２，１４４　
　ｂｉｔ−５２，７６８ｋｂｙｔｅ となる。全メモリ容量を第１〜第７の実施例についてそ
れぞれ計算すると、 第１の実施例　　　　　　２９４．９１２　ｋｂｙｔｅ
第２の実施例　　　　　　２９４．９１２　ｋｂｙｔｅ
第３の実施例　　　　　　４５８．７５２　ｋｂｙｔｅ
第４の実施例　　　　　　２９４．９１２　ｋｂｙｔｅ
第５の実施例　　　　　　４５８．７５２　ｋｂｙｔｅ
第６の実ｆＩ例４５８．７５２　ｋｂｙｔｅ第７の実施
Ｂ’、１６２２−５９２　ｋｂｙｔｅとなる。これらは
、６４ｋｂｉｔのＲＡ　ｌｌｆを用いると、３６個〜７
６個必要となるが、十分実現可能な容量であり、今後の
ＲＡＭ８Ｍｔ増加を考慮すると、何ら問題となるもので
はない。例えば、１５０鵡角の基板を５μｍの分解能で
検出する時の原画像の清報ｉ　９００　Ｍｂｉｔ　（＝
　１１２．５　Ｍｂｙｔｅ）に比べ、これらは非常にコ
ンパクトなものと言える。

また、処理時間に関しては、接続データから循環リスト
構造に変換するのは、検査前に１回行なえばよいのでこ
れを考慮する必要はなく、したがって設計データの参照
口故によって評価するものとする。１つの連結したパタ
ーン上にある平均のパッド政をルとすると、属性データ
生成の陣、親パッドを発見するのに要する平均参照回数
は、全パターン欠陥なしと仮定して、したがって、２５
６×２５６パツドの場合、ｎ＋１ −Ｘ　　２５６２ となる。今、全パッドの１％に、親パッドを発見できな
い欠陥があったとすると、この場合の参照回数は１＋１
からｎ　＋　１になるので、となる。ｎ＝４を仮定する
と属性データの生成には１６５，４７８．４回の設計デ
ータの参照がある。

また、欠陥の判定処理には、全設計データを１回参照す
ればよいので、 ２５６２−６５，５３６回 の参照が必要である。撮像装置２１から、連結性処理装
置２３による接続データ生成までの処理はリアルタイム
で処理可能である。したがつて、撮像信号のサンプリン
グ周波数５　ＭＨｚ　Ｎ処理装置をマイクロコンピュー
タとし、１回の設計データの参照に１００μｓを要する
と仮定した装置で、１５０＋ｍ角の基板を５μｍの分解
能で検査したとすると、第１から第７までの実施例に関
して総合的な検査処理時間は、 第１の実施例では　　　２０３．１秒 第２の実施例では　　　２０５．１秒 第３の実施例では　　　２２６．２秒 第４の実施例では　　　２０５．１秒 第５の実施例では　　　２２６．２秒 第６の実施例では　　　２２６．２秒 第７の実施例では　　　２４９．３秒 となる。

〔発明の効果〕

以上説明した通り、本発明によれば、光学的手段を用い
て非接触にパターンを検出し、パッド間の接続関係を画
像処理で求めているので、対象パターンの多少の変動に
影響を受けず、かつパターンを傷つけることなく、高い
信頼性で、高速に欠陥検査を行なうことができる。

特に、接続関係を表す設計データにリスト構造を用いて
いるので、接続マ）　ＩＪクスで表現する場合に比べ、
例えば２５６Ｘ２５６パツドの場合、２５６２Ｘ２５６
〜２．５６ｘ１ｏ’　ｂｔｔから１．０５Ｘ１０’　ｂ
ｉｔへのデータ圧縮が実現でき、かつ処理時間も大幅に
低減できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は原パターンの１例の平面図、第２図は第１図に
示されたパターンに縮小処理を施して得られるパターン
の平面図、第３図は第１図に示されたパターンに拡大処
理を施して得られるパターンの平面図、第４図は接続デ
ータの構造を示す図表、第５図および第６図は回路パタ
ーンの２つの異った例を示す平面図、第７図は接続デー
タを循環リスト構造に変換するフローチャート、第８図
は本発明の第１の、実施の態様による方法を実施するた
めの装置の構成を示すブロク・り図、第９図は被検査パ
ターンの１例の平面図、第１０図は第９図に示された被
検査パターンに対応する正常なパターンの平面図、第１
１図は本発明の第２の実施の態様による方法を実施する
ための装置の構成を示すブロック図、第１２図は縮小処
理装置の構成を示すブロック図、第１３図は２値パター
ンの一例を示す図、第１４図は第１３図に示されたパタ
ーンに縮小処理を施して得られるパターン図、第１５図
は被検査パターンの他の一つの例の平面図、第１６図は
第１５図に示されたパターンに縮小処理を施して得られ
るパターンの平面図、第１７図は本発明の第５の実施の
態様による方法を実施するための装置の構成を示すブロ
ック図、第１８図は本発明の第４の実施の態様による方
法を実施するための装置の構成を示すブロック図、第１
９図は拡大処理装置の構成を示すブロック図、第２０図
は第１３図に示されたパターンに拡大処理を施して得ら
れるパターン図、第２１図は第１５図に示されたパター
ンに拡大処理を施して得られるパターンの平面図、第２
２図、第２３図および第２４図はそれぞれ本発明の第５
．第６゜および第７の実施の態様による方法を実施する
ための装置の構成を示すブロック図である。 符号の説明 ２１・・・撮像装置、 ２２・・・２値化装置、 ２５．２５（１，２５ｈ、２３Ｃ・・・連結性処理袋ｕ
１２４　、２４α、２４１５，２４Ｃ・・・接続データ
・メモリ、２５・・・処理装置、 ２６・・・設計データ・メモリ、 ２７・・・パッド位置データ・メモリ、２８・・・属性
データ・メモリ、 ２９・・・縮小処理装置、 ５０・・・拡大処理装憤、 ５１．５２・・・シフト・レジスタ、 ６６・・・ＡＮＤ回路、 ３４・・・ＯＲ回路。 代理人弁理士　高　　橋　　明　　夫 菓１図　　　　　　　　第十図 第７図 第８図 第９図　　　　　　　　第１０　図 ′：４ＩＴ回 第１３　図　　　　　篤１＋図 羊１５し　　　第１ム図 第１７図 菓　１８図 萬２０図　　　　　　　　箋２１図 第２２図 第２３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、複数又は１つのパッドから成るパターンの光学像を
   電気信号に変換して２値化した後、前記パッドに付され
   た番号を該パッドのア ドレスとし、該パッドが連結関係にある前記パターンに
   付された番号を該パッドのデータとする接続データを循
   環リスト構造とし、 ２値化した正規のパターンに基づいて作成 した接続データと比較することにより、前記パターンの
   欠陥を検出することを特徴とするパターン欠陥検出方法
   。 ２、特許請求の範囲第１項記載のパターン欠陥検出方法
   において、 前記光学像を電気信号に変換して２値化し た後、該２値化されたパターンの縮小又は拡大処理をす
   ることを特徴とするパターン欠陥検出方法。