JPS5954279A - 高出力流動ガス・レ−ザ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 λμので１肛。

本発明１Ｊし〜す゛に門し、特１、高出力流動力′ス・
１ノーリパ【Ｊ閂づるものである。

近年、１）に金屈加工桑ｔこυ３１−）る利用の７．Ｔ
：　／Ｉｌｌ　Ｉ−、、高出力のｉｎｔ’　！、！＋カ
ス・１ノーげの開発が盛Δ、（２行なわれてきた。この
秤のレーザで知ら４１１いるいくつかの例ｙｆ、米（１
４ヤ７に’１第３　、６４　’１　、　／１．　Ｅ）７
暴：拾３３゜ン　０　２　　＋　　９　−ｔ’　　３　
　号　二　第　３　　、　　　Ｑ　　Ｑ　　ＦＪ　　＋
　　　／ｌ　８　　’ｌ　　”；’３　　：　　”口／
１，０５８．’７７８号：イ！４　、　、”Ｊ　１７　
、０　＜）０冗：Ｊ３よび第４　、３２　’Ｉ　、　５
５８夕Ｊでン１「ｌ・二ら３．Ｌ−１いイ）。

その　Ｊ、　う　な　？・）出ツノ　（）　−　リ゛の
　設泪　（こ　Ａ−３１Ｊ”る　主　要な問題の１つは
熱の６５（ａである。ｌ。ＣＶ’ならバソー・１．フー
プ（よ不当（１，、高い湛１瓶（・は０に棒′〔（“Ｊ
　ｔｃ　ｆＰ力・ぐ、−１（、が７７きないからでＬり
る。たとえば、今１−」高出力利用（コ−Ｊ３いＣ±１
、二甲いられ（いイ↓をンので市るＣ（、）　、　Ｌ＝
　−ザは、２００“Ｃよりす゛つと高い洞磨−Ｃ；１．
龍キ的軒絢くことが又・きない。熱１ｉ文敗と、で−（
１，に−〕れンニパソー出力とのどらららレーザ・すト
ンネルの長さを増す゛ことにより増大させ得るが、これ
はそのレーザ装置の大きさと費用の相当な増大を伴う。

したかっＣ本発明の１つの「１的は、　／ｒ５る憧えら
れた賛同の人きさむ゛、１ノーリ”・ブ＼・ンネルの長
さと１ノーリ゛のバ「ノー出力ｒ１）２力をＰ人にする
新し７い高出力流動カス・シー９−１−１８同を（゛ご
１１−９る（二とでｄちる。

従、ｔｌｒ、の高出力流ｔ１〕刀ス・１ノーリ（、二ｄ
；　ＬＪるもう１つの問題ｕ、　＋ｌ　ｎ・Ｊされｌ、
＝じ−ムにお１）る光、）３＜、的歪１ノであり、それ
は主に流動ガス内の密１１１勾配による位相歪みから力
こるものと流動ガスのゲイン勾配による振幅変化から起
こるしのて゛ある。

ぞして、１ノーリ゛・ノックが１ノーリ゛・ヂ計ン゛ン
ルを構Ｉ！７ｉりる方向に流れるレーザ１誹ｉ置に（１
，５いてにＪ、その流れるカス内に温度どｔｉ７　Ｒの
勾配が本質的にひ在りる。、その濃度は、流れ４いるカ
ス・ブーセンオルの上流側で低く、ソの流れるカス・チ
ャンネルを横切って増大し１、Ｌ）たがってそのカスＧ
Ｊでのチャンネルの上流側で本？１的に？）い）８度と
なつ′（いる、、密億勾配Ｇ、１：渇度勾配と逆てｄ）
す、すな４つもｎ７度は流れているガス・チャンネルの
上流側で最も高くＦ流側で最も低い。この密度勾配は、
流れ（いるガスによって横切ら４する１ノーリ゛・ブヤ
ンネルにＪ３いて位相の歪みを生じる、 さらに、流れているガ、・（・ヂＡ・二／ネルには木質
的にゲーｒシ勾配で７存在しており、そのゲインはイの
流１１のブ１７ンネルの上流側で最も高く下流側で足も
低い。ξれはヂャンオルの上流側から下漬側へ分子数が
逆転し・て減少するためである。このゲイン勾配Ｇｅｔ
、レー＋ｙ・ブーヤンオル内の１ノーザ・ビームの振幅
：Ｉ−、ｔ、：　’ｒ）、七−１・に変化を生じる。

したがって、本発明のもう′１つの目的は、レー（）゛
・ブＰシ゛ニン／１．４ｆ！切って流ねるガス内の密度
勾配（（：　Ｊ、る位相の歪ｌＪに門するＭ　Ｒ、ａ−
３よび流れろガニミ内のゲーｆ〕ｌ勾配（二Ｊ：る振幅
変化に門づる補啓を（り６えた品出ブ３の肺−リガス・
１ノーザ装貿を提供することである、１ 傾」し入鴛」Ｌ 本発明の１つの特ｒりｌ：：　、ｌ：れば、１つのレー
ザ・グー１１ンネルと、その１ノー４〕″・チャンネル
を横切るレーザ゛・、′Ｊ゛スの）ｔこれを生ヂるため
の手段からなる高出力流動ガス・１ノーｆアを得ること
ができ、それは次のように１う徴づけ３れう。その１ノ
ーリ゛・チャンネ！しは共通面内で互いに角度をなして
配置されＩコ少す＜〆！ち？つのり、／　ツク（１ｃ４
１）　７ｒ、（Ｈ６含む）、う（２析り曲（Ｊ′ら１、
での２つの１７〕・ツク部の間ｔ、：二（、：、Ｌ甲−
の［用析ミラーがあるっ　Ｉ　−１）　Ｃノ）　Ｉ、′
パノノノ内の１ノーリ゛光枳の゛）ちでの１つの１ノツ
クを４．”４１．７ノっで、流れるガスに門し−Ｃ上流
側にあるもの（−ｔ、１１１１の１）゛ングを（（４切
′）て流れるノＪス（・２四してｆｌ＋Ｊの１゜ツバｌ
グ内の下流側へ入れ替わろＩこめ【二ｌ１ｉｌ　４１ｉ
ミ°ラーｌｉ−、、ｊ−、−）′７．反川公用）。

る。

了ノヨうなｌ’ｉ：列１．１．　、　Ｊ？７　ｆ’（勾
ｒ！ｉ：　ｉ；−、Ｉ、６位ＩＩＩ歪力、流れ内の回転
（、−よろ）“１を１１’［変化、バｊ　−Ｊ、　（ｊ
ゲーｒン勾配による振輻変仙（こ門１．（、？−）の１
−・ツクを横１つ一４流れるガス内テ４ｒｉｉ°Ｉ　ｌ
−＋　Ｏ□−，＞　Ｕ　刈Ｐ’ｔ　−１ル、。

にノ補（桝をｆＪ７ｉ　エ／、：、　１ｉＦｉ　’）％
　０）　ｉ’ｑ　ｌｊ＋　ｉｌ　、　ｆＣ来（ｒ）　”
、／ｌ／　−フｌ−ツブ・ミラー゛）人ジ゛ド別２＼れ
るべεすＣｄうる。

パ　ル　−　−７１〜　ツ　−ゾ　・　　ミ　　７−−
　　’Ｔ　　ｌ＋ζ−ｊ−ｌ；ｊ　　、　　　１　て）
　の　しノ　−　リ゛・ヂヤ〕／ネルが、ｌｊいにε）
０°（二配向さ１！Ｉうれｌ、＝２つの屈折ミラーを用
いｒ　７７い（二平行ξ２つの１ノツク（、二分割さｔ
ｚｌての１つの平行Ｑｙ　ｌノックからイ）う１つの平
すな１ノ・ングヘ１ε３（つ０１二なる。１、う【、−
で−のＬノーザ光線ＧＪ反剣される。この（！η来の方
法にＪ３いて、その両方のし・ソゲを横１．．７Ｊるカ
ス流を形成づるために単一の流動ガス・チトンネルが用
いられる。しかし、本発明の装置に、Ｉ３い−Ｕ　１．
；ｔ、２つの隣接する１ノツグはＵいに角度をなして配
置；され”Ｃｉｊ？す（１なわち、１８０°より小さい
角度）、これはで−れら２つのレッグの間に甲−のミラ
ー４含むことを必要と覆るだけであり、をつ′η゛ルー
ツトップ・ミラー法にお（プる第２のミラー（３：Ｊつ
ζ生じるパワー・ロスを除くことができろ１．さ’Ｊ　
Ｖｌ、各レッグのために独立した流動ガス・ブセンンル
を設置プることにＪ、す、（流動ガス・ｙｌ、ンネルが
両方のレッグに共通である゛ルーフ１〜ツブ・ミミラー
゛°法から区別される）本発明の配９１ＪにＪりい（、
ｆｆ’［勾配による位相の歪み、おＪ−びゲイン勾配に
よる振幅変化に関して、そのレーザ゛・ブｔ・ンオル・
レッグを横切って流れるガス内での１゛］消（）による
補償においで木質的な改良が１ｑられれる。

レーザ・チャンネルは２つ以」二のレッグを含むように
折り曲げることも可能である。好ましくは、共通面内の
各ペアの隣接する１ノツク間の単一の屈折ミラーに、Ｊ
一つ一４偶故のヂレンとルレッ、グが与えられる。１１
１．：、良い結果が、各１ノツゾのための独立の流動が
ス・プレンネル４１情え（にｆり形状（たとえば四辺形
）に祈り曲げられた１ノー１ノ゛・ブ１？ンネル・レッ
グの場合に背らね２、この１．き、呂ガス・チャンネル
はノＪスの４（通１１１ｆ　ｊＩｉ　ｒｎ　ｆＱ　ｉ＼
向が−）　（’　ｆｊｋ　ＣＴＪν（の内向＼ガスを流
、シ（いる、ｉ−’１）　Ｊ：　）’：’ｔ：　＋ｊＴ
ｈ　ｉべは、位相、速度、１３Ｊζび振幅などの変動に
門り、て通人の補償を生ｆるよ−うに、上Ｉホの−１，
流ど下流の光、腺の相互の置き換えを可能にづ−るのみ
ならず、ある与えられた大きさの装置に門して、レーザ
゛・チャンネルの長さを通人にし、ざらにレーザ“出力
をも通人にづる。

以下に例どしで、本発明の数通りの実施例を）ホベる。

１つの実施例に４３　’ｔ）′Ｃ％レーレー・ヂ１７ン
ネルは）７１−の多角形配胃、たどえｉＪ、’　ｌ′ニ
ア１ｉｉζさ′１１．た例のような四；υ形装置に従っ
（折り曲！ｙられる７、第２の実施例では、レーザ・ヂ
ｉ・ンネルの長さく′、Ｊ甲−の多角形（３６０°）の
長さを＋＋へえ（延ばさ１ｔで、２つの共軸の多角形を
形成リ−る配Ｈに従って折り曲げし才）、すなわちその
し・・−り伎さは３’ｌ　（３０’″かｌう７２　Ｕ　
’へＩｆｆ人づる。

本発明のさらにｂう１つの一人眉例では、折り曲げられ
た１ノーリ・ブーＶンネルは）札振ｊ：＋４　％Ｍ、　
ｇｖ影形成る１ノツクの第１の多角形（たとえ（，１゛
、四辺形）を含み、−その第１の多角形ど共軸（、噌転
１會１１或を形成づるレッグの第２の同様の多角形をも
合／１７（Ｘ゛いる。

本ざし明のさらにもう１つの実施Ｂｌ　’Ｐ　Ｌｌ、　
、　ｔｒｉり曲【〕られ１ごレーザ゛・ブーＶンネル【
、Ｊ、第１の１川内の１丁（１の複数本の１ノツクを含
み、かつ（の第１の面に平すな用２の面内の第２の複数
本の１．・ツク６（ン含み、イこ（、二１．Ｊ各ｉｉ’
ｉｉ内の隣接づる（ノッグ間ＩＪ’甲　の屈ＪＩＴミラ
ーがあり、ぞ゛の２つの面の１−ノック間をｒｉ’ｉぶ
一用屈折ミラーも１悄えζいる。ｆ′４ＩＩ）の１．ｌ
ツクと屈折ミラー＝は、ガス流内の上述のｌｉ’７　Ｉ
ＩＩ　、　ｉ・Ｉ；　１．（［および振幅などの度仙に
門づる二次ｉ＋、的補（へ（ｊｌ　４′ｒわら、ガス流
の横切る方向とＴｉｊナノｊ向の両ツノ（、：　ｉｌ３
　’＝）る補バ）を備えるように配置さ１する１゜本発
明の持微亡利点にＬ、以１・の、１１２明から、Ｊ−り
明らかとなろう。

妬ユ」昌二大（７）」Ｌム伎覗− Ｊ：　ｆ　ｉ”＜ｊ　１ｉＦ、ｌを余熱し仁、τＬ！、
１　ｉ１’ｊ　、人！−と７４なった内圧に１′ｄえ（
Ｊる外部？４”；”；　２をｆ４１’ｉ　、ｔた高出力
；ｋ（１１〕Ｊズ・１ノーリ゛装置７４が１旨か１′Ｌ
シいる。、二のりｒ゛ブのレ−’ｊ’　Ｒ冒７−’　Ｌ
Ｊ圧力（２Ｌ約０．２虱圧以Ｆ　’ｒＥ　＋３）る。

図示されｌ−装置にりい（の好七ト、Ｌ７いＬトノノ（
１′ηｌ、レーザ゛・ガスをト１′］起りる／ご（Ｘン
に１（１ν・’ｔ　４１．る８ス雷の夕１ブー（ξ〉（
、入杓０．５気１−ｉ二（イＰ）ζ）。ζ・７）カス覧
、Ｖ、好Ｊ、シ・りは畠１］１カガス・１ノ−リ゛（６
°で１．−用い）れξよ＜　ｙｌｌ　”３れ（いに、　
ＣＯ２山１合カスの１つ（あるっ１〕　−−リ゛　の　
同Ｊ　、襲　が　、ＩＣ・ニ　イ）ｉノ　−−リ゛　・
　フ　　１・　ン　ｔ　ル　は　Ｊ斤’）　曲：ｊ’　
”３れた光ノ、−１−ｐビア′−１（ＯｉｌＶ　ｉ　Ｉ
ｙ）よＬ　ＩＪ共撮器の形をなし？、−７１３’Ｊ、２
ｎ　２　ｉ７！ＩＰ−１！’Ｊ　＜’−３’ＣＪＦ１定
されｉｌ、し・る。１ｆ１２図１ノ）１１：嘗に８７い
４、そのし　書ア・ＩＩ・シネル）、Ｌ四ｊＪＪ形の配
置にｄ）、ｊ、　、１つの１ノツグを形成りるよ）ｌこ
ＩＪｉす１１１０）′らＪＬる１、（］ノ′Ｃ其＋％　
Ｒ：ｊ３は、　端の１次ミー、ｉ−：］１１．月りろ届
のフイードバツク・ミラー：ｌ　２ｉ１３よυ３：）の
屈ＪＩ’＋ミラー３３、３４　、３５　ｋ−Ｊ、）′Ｃ
形１−シされ′Ｃ１Ｊ３す、その各ｂＴｉ析ミラーは直
接づるベアのレノク間ζビームに対し一ξ４５６に向（
）られてお０．ｔ″ｉｔ　によって光線は１つの１．・
ツクから次のし・・ノグノ＼１に川さ−れる。

さらにＲ子しくンホベると、第２図に示されているよう
に、レーザ・デセンネル３０月ノック３　ａは１次ミラ
ー３１と屈折ミラー３３によ−）Ｔ、形成され；レッグ
３ｂは屈折ミラー３３と３４ににつで形成され；レッグ
３Ｇは屈折ミラー３４と３３５によ−〕又影形成れ；１
ノツグ３（１は屈折ミラーζ３（）とフィードバック・
ミラー３２によって形成さ１１−（いる。

出）ｊミラー３６は、フィードバック・ミ゛用−３２の
直前にあるラス１ノーイパー（ＳＣｒ；１ｌｌｎｒ　）
　　ミ゛ノーυあり、４１ノツグ光学キＶヒテイ内で反
９・１されているレーデ光線の一部を取出して、７ｎ３
ｅ窓のＪ：うな出力窓３７を通して出力１ノーＩｆ・ビ
ームを生成Ｊるように屈折づる。

図示されたレーザ駅間は、折り曲げられた１ノーＩＪ’
・デセンネルの各１ノツグ３ａ・〜・３（１を横切る１
ノーザ・ガスの流れを生じる手段をイ１している。各レ
ーデ・デセンネル・レッグは、第２図でそれぞれ４８〜
４（１に指定されている独立のガス流チャシ乏ルとｆ’
ｌ；川２）る　、、−れらのブ１７ン≧ル６）ｍしη力
゛ノ流を生じるたＡす（１，１ノーり装Ｐ　Ｉ、ｌ容）
（号２内に配置されＩＣｌ３［ンｉｆ；　＋５１１４１
　（第′ｌβ］）を！’ＪＭえ’Ｃｎ３す、そのｆｉｔ
３１Ｑ　ｌ古は、での合器の（，１、ＰＩ　ｌこ配置さ
Ｊ１ζベルト４３によっＣそのＢ　３１ｔｌ！ｊ、’４
　’４　’ｌ　ｌ二結合されている？１￥気Ｅ−タ４２
によつ４駆動される。（１（ンｆｆｉ　（Ｃｉｉ　４１
の出力端にはデ′、（ヒコーリ“４／１が備えられ゛（
おり、ガスＩＬＬイのデｒヒｔ−ＩＪ”から外部ＹＴ四
２に治って！Ｊスス；マヂトンネル４ａへ一４イ１の唱
人喘へ向りら１する。１ 流ねブヤンンル４ａ・〜／Ｉｄを通るカス流Ｉよ、１１
１り曲げＣろれた１ノーリ゛・デー・ンネルの仏１１も
了ｌるレッグ３ａへ−３６を■切って流れるが、Ｊ：す
゛最初ぞのカス１．Ｌ１各１ノーザ・ブートンネル−レ
ッグに尚えら１１て第１図に＋１３いて一部に５と指定
されている放電装置によっ’Ｕ　ｊｉｌｌ起さする，％
／（のタイプのｈｌ電装置が知られており、７１だ利用
可ｏｈであろう．、ＩＪ：とえば、電子じーｈ，のＪ−
）な外部イオン４Ｉ′源を備えたちのなどがある。し、
かし、木ｆｌの場合は、高周波放電装置を用いることが
９．１　１＋　ｔ，　＜、自己紺続敢電を牛じるために
当該技術分野で７．１１られているような分節された電
極′１ゝ）敷さ砂（１１をｉｉ　Ｌｙ　”Ｃいる。

ガス・ブ１シンネル／１ａ＝−／ｌｄを通るガス）にｔ
は、１ノーザ光学キヤビテイ３の対１．？５りる（ノツ
ク３ａ・〜３ｄを力スが（貸切るので潤度が」二譬し、
しＩζがってチャンネル４ａ〜４ｄから出（いくガスは
てれらのデセンネルへ流入づるカスよりも本質的に高い
潤度にある。その熱せられたガスは、たとえば壁４５（
第１図）によって、熱父抱器４（うを通して流され、ぞ
１１によつη？Ｔｈ　ＦＪＩされたガス（Ｊ、力λ流チ
ャンネル４ａ・−４ｄを通る循環のにめにＪｌ（進Ｆｌ
　／Ｉ　’Ｉの入口に向（ノられる。

第１図６３Ｊ−び第２図に示さ１ｔたレーリ゛装バの重
要な特徴ｔＪ、　１ノーザ光学−１−マ１ビーｉイＪ１
直゛ｄうり、そ１しくよ上述のように、共通面内の四３
７Ｊ、形に配置さ１ｔた４つの１ノツタζ３ａ−３ｄを
形成りるＪ、う（Ｊ各ペノ′のレッグ間−η゛屈折ミラ
ー３３．．−’ｔノ１．１５にＪ、て）て折り曲げら１
１でいる。これらの屈折ミラーＬＪ、１ノツグを横切る
ガス流に関しＣ，１ノーリ゛）に腺が１つのレッグの「
流（または下流）側からその次に隣接づろ１ノツ４ノの
下流（ｉ：　ｔζは上流）側／゛、の択一的な移動を起
こツように配置されている。、ｎ’ｊに示し、ｌ−ふう
に、この配置によって、ｎ　Ｗ勾配による位相Ｊ１み、
４・ンよびゲ、イ〕／勾配による振幅変動に関しｔ　、
ｔ、’ソゲを横切、もカス流内でその補償が可Ｇしどな
る。

これ【、１、′１次ミラー３１から出光してフィードバ
ック・ミラー３２へ４つのレーザ・１−１７ンネル・！
、／・Ｉグ３８−：３Ｉ＋のリペてを通って、−各端の
光ｆｆＲ，とＲ２の経路をたどることによって明らかど
なろう４、たとえば第２図に示されているように、光線
「＜、はレーザ・チャンネル・レッグ３ａ（７）　タメ
＋７）　の７．流チャンネル／１　ａ　ｔｙ′）ｌｕｌ
ｌ；ニ４）す、光ＩＱ　Ｒ２！：ｔレーザ・チャンネル
・１ノツグ３ａ内で下流側【こ６うる。しかし、光線Ｒ
１とＲ２はレーザ・ヂｐ　：／オル・レッグ３ａと３１
１の間にある屈折ミラー３３によって置き換えられて、
レッグ３ｂでは光線Ｒ３が流れチャンネルの下流側に現
われ、光線Ｒ２が上〃ｆ、側に現われる。同様な置き拾
えが屈折ミラー３４によってわｈ　くしく）１１、ドッ
グ３　ｃにＪ５いξ光線［ン、（３１上流側へＤ！　、
；＼ＩＬ、）Ｙ、枳］り、は不流側へ戻る。さらに屈折
ミノ−３５１，，１、−）（シう−Ｋ［置き捨えが行な
われ、１ノツグ３（Ｃ１にＪｌい（光線Ｒ４は再び下流
側へ反則さ１暑、）ｌ′、紗［ン、　＋；１．−１流側
へ反則される。

Ｌ）たがって、１つのレッグ内ξ゛の畜但勾配（湯度勾
配の逆）（Ｊよる位相歪みが次に隣接する１、／ラグ内
でｆＪ消されるで゛あろう。同様にり、て、１つのレッ
グ内の振幅や速度の変動し次にＣ前接４るレッグでの置
き換えにＪ：って補償されるであろう、最大の補償は、
１つのレッグ内の変動が次の１ノツグ内の変動で主１１
ンヒルされるＪ、うにレーザ゛・ブ１シンネルの偶数の
１ノツクを備えることにＪ、す、またそれぞれのレッグ
を横切るガス流が連続し／、：　ｉｉ’４．９す的なも
のよりもむしろ並列的なりのｌ”　１ｌｊｉるＪ、うに
、そのレーザ゛・ヂトンネル・レッグの各々に門しく独
立なガス流チャンネルを僅えることににり達成される。

さらに、折り曲げられたレーザ・チャンネル・１７・ン
グに関τる多角形型の配列し上、あるちえられた鉄盤の
ソ、ぎさに関してへ鶴τ長ぎを最大（ごづる二１ン・バ
シ′１な配置を司舒１３づる。さらｌ、二それ１）、あ
る与えられた胚伊ンの人σさに関１−ζ冷却を最大にブ
る１、−めに、敢躬オ人の内向１−向いたカス流を効二
ｊｔｔ１りに利用づる。Ｊらに、Ｊく知ら・れ文いるパ
ルーフ１〜＞ブ・ミラー法で必要な２つの屈折ミラーか
ら品別されるＪうに、レーザ・チトン・ネル・レッグＩ
’Ａｉで（七たた１つの屈折ミラーだ【）が必要である
の−（、へ′！２の響１斤ご、ラーによ、り）パワー・
ロスか除かれて、それにＪつである与λられｌ；装侃の
大ぎさに関してパワー出力を有しく１１１人させること
ができる。ざ’：′）ｌ：　、２　’つのＬノ−ザ・レ
ッグが１つの共通なカス・チ計〕・ネルに間して連続的
直列的に配置されているパルーフトップナミラー″法か
ら区別２！れるＪ、うＧＴ、独立で並列的なカス流チャ
ンネルが折り曲げられたレーザ・チャンネルのレッグの
８／？に四して備えられているので、イヴ相歪力Ａ″ｊ
振幅変動に関する補償が゛′ルーフ１ヘツブ・ミラー・
法のて−れｃｌ−りもはるかに改丹されるっ第３図は、
ある与えられた装置の大きさに関してさらに共振Ｐ（長
さを増大させ、一方間時に、レーク゛・す１７ンンル・
レッグを穴明るガス流にＪ、る（ｔ’２相歪ｊｙ、　ｉ
″）振幅変動に萌りる一Ｆ述の補償をも備えるｔ二めの
しう１．）の折り曲１′ｌ”た１、・−リ゛−ブーＴ、
ノネル配列を小１ノ（いる１、簡申ｋ　？ｔえ（Ｉ、こ
れは第１図や第２図のようなＷ−〇′省角形の長さより
長い全体長さをイーｊ″ＩＪる複数本のレッグをｊび成
するように１ノーザ・チャンネルを折り曲げることによ
って第３図のように達成される。第３図に示された実旋
１ｆｌｌで、レー１１′・チャンネルはｑいに共軸の関
係にある２つの四辺形を形成覆る複数本のレッグの配列
に１ｒｔり曲げられ、そのレーザ・チャンネルは第１図
ｉＪ３　、ｌ、び第２図の実施例（２二（１３りる３　
６０　”でなくて７２０　’にわたる全長をｂ！ｌる。

１ノたがって、第３図のレーザ・チャンネルも１次ミラ
ー１３１とフィードバック・ミラー１３２間の共１１器
または光学キＶとティを形成する。その光学キヤとティ
は、２つの共軸の四辺形の辺をなす８つの（ノッグ：複
数個の屈折ミラー１３３゜１３／１，１３５Ｊ３Ｊ、び
１３６：さら１．二１ノーザ装同から出力されるビーＩ
＼またはし一トをＩｒ＜　＋Ｊ＋リスク１ノーイパ・ミ
ラー１３７を−ＩＱえ（いる１、了しく、レーザ・チャ
ンネル・１ノッグ、１０　：ｉ　；＋　にＬ　１次ミラ
ー１３１と屈折ミラー１３　ａの間１．ｌあり：Ｉノツ
タ′１０ζ３（）は屈折ミラー１３３．ｉζ３／１間（
二ｉｌ’ｉす；１ノツグ゛Ｉ　（’）　３　ｃは屈折ミ
ラー゛１３４と１３５の間にあり；１ノツグ１０３　ｄ
は屈折ミラー’１３５，１３６間にあり；１ノック１０
３０ｔ、１屈折ミラー１３６゜１３３間にあり；１ノッ
グ１０３ｆＬ；Ｌ屈折ミラー１３３．１３／Ｉ間にあり
：レッグ’ｌ　０３　ｇｆ：）Ｉｉｉ１折ミラー１３４
，１３５間にあり；さらに１７ツグ１０３　ｈは屈折ミ
ラー１３５とノイ−１〜”バック・ミラー１３２間にあ
る。

レッグ１０３８はレッグ１０３ｅと平行τ、どちらもガ
ス・チャンネルｉ　ｏ　４　ａを通るガス流によって横
切られおり：レッグ１０３　ｂ　Ｉｌｌレッグ１０３［
と平行で、どちらもチ鬼・ンネル１０　／＋　１１を通
るガス流によって構切らｉｔ　７．’　Ｊ３す；ｌノッ
ク１０３Ｃはレッグ１０３ｑに平行で、どちらもチトン
ネル１０４Ｃを通るガス流によって（へ１刀らｉｌ、　
（Ａ３す；さらにレッグ１０３ｄはレッグｉ　Ｑ　３　
ｂ　ｋ：平行で、としらもチャンネル１０　／１．　ｄ
を通るガス流（二よって＋べ切られＣいることが争′）
かる７！ＪＦ）ろ−）、。

また、屈折ミラー１．１：３３．１３／Ｉお、Ｊ二び１
３（５は第２図の対応づるミラー３３・・３５１．−比
べて（ｆｌの幅を有し−Ｃおり、各々はその反ＣＩＩ板
の１−側部分とト側部分て−２つのレーデ光線のＫ＜　
Ｃ！Ｊを起こ９１゜第３図に示した折り曲げられ！−１
．ノーリ゛・ブトンネル配列で特に注目されるべき、−
”、と（，１，１−流とＦ流の光線が、各レッグのベア
の対応りるｆｌ・ンネルを通るガス流に門して、１つの
１ノツクカ目ら次のレッグへ互いに同き換えられるのみ
ならず、各チャンネル・レッグ内のビームまたは七−ド
自身も１つのレッグから次のレッグへ行く過程で置き換
えられるという事実である。Ｌ、たがって、チャンネル
゛Ｉ　０４　ｆｌを通るガス流に凹して、Ｌノッグ゛１
０３ａはそのチャンネルの下流側にあり、レッグ１０３
０はそのチャンネルの上流側にあり：１］かし次のチャ
ンネル１０４ｂでは、反射板１３ζ３にＪ−るモード１
０３ａの反９ＪによつＩ／Ｊヂる１ノーリー・ビー１１
また（、ｔモー１”　１０３　ｂが今度ＩＩ）ｊノ流ヂ
ャンネル１０４ｂの１−ンＱ　ｆｉｌｌに１ｌｔｉす、
七−ド１　’０３　Ｆは手流側になるよ）にこ４）、ら
のし−ノ、ｔ、！直き１９えられる。第３図の配ｌＩＪ
　’？：上述シＩ、：よう４１名（ノックにｉｌ３　Ｇ
−するビーム全１本）１、Ａ：　４．−１．　Ｅ−ドや
体のこの直き換えは、第１図お、１．び第２図に閂１．
て一］；ボ（−７だ各１、・ラグ内の光線のｆｆｑ　ｉ
’ｉ換えどともに、脅ベアのレッグを横切るガス流内の
位相歪１！や振幅変動に門す−る？ｉ′Ｉｌ償をさらに
改善し・、加えて、（１）る′ｊえられた装置の大きさ
に関し・ＣＪ＋、振長さと熱＃！　！ｔ’！をさらに最
大にするよ）！ｉの利点を（−６え（いる。

第４図１．ｔ、さらにもう１つの配列を示しており、そ
こではレーク゛・チャンネルが光学−１“セヒア（５１
、たけ共振領域を形成する？！ｉ数本の１．ノックとそ
れに続いて増幅領域を形成りる複数本の１ノツクを形成
づるために折り曲げらＩＩてＪ３す、【の両ｆｆｉ域の
レッグは流動ガス内のｕ７ｊバ勾配による位相歪みとゲ
イン勾配による振幅変動に門づる補償を１！７るために
互いに置き換えら４する。

１ノたがって第４図のように、でのレ−１Ｆ・ブｔ・ン
ネルは１次ミラー２３　’Ｉ　、フィードハック・ミラ
ー２３２．３つの屈折ミラー２３　Ｃし２３５）および
スフ１ノイバ・ミラー２３Ｇからなっている。

スクレイパ・ミラー２３６の上流のレーザ・ブｔＩンネ
ル・１ノツグ２０３ａ〜２０３ｄはノ！、振領域を形成
し；スクレイパ・ミラー２３６の上流のレッグ２０３０
〜２０３１１は増幅領域を形成づる。

第４図（こ示したように、共１にＦｌ域の１ノツク２０
３８は増幅領域０）　Ｉノック２０３　ａに甲ｉ■で、
どちらも流れチャンネル２０４ａを）■るＩｆス流にＪ
、って横切られている。同様に、残りの３つのガス流ヂ
ャンネル２０４ｂ〜２０　／ｌ　ｄの各々はノ（振領域
の１つのレッグと増幅領域の１つのレッグに対して共通
である。第４図に示したように、この配列は各ガス流ブ
ーセンネルに共通な）（振レッグと増幅シック間の相互
の侃き換えを生じ、したかつ−（１つのヂＶンネル内の
１つのレッグ（，１上流側にあり、それに続く次のチャ
ンネル内【゛はでれは下流側にある。したがって、第４
図に示した配列ら、各レック内で光徨を相−／−′ＩＩ
、二買３＼ｒｔ含−の力・でＴらＪｊ−、イれぞれのガ
ス流ブー１１ンンル内の１つ！７．）　Ｉ（′１幅１ノ
ックの１：’　　、ｌｘ　ト１　＝、）ＪＮｌｉ％　ｌ
／　ツク（１）し−ｌ”ノＩＩＩ　ｎノｉ’？　Ｎ　に
９えをも行＜ｋうことに、１：つで、イζｔ、　４！Ｉ
　ｍ≧１ノと壁幅変仙に門する上）ホの浦（べし、ニク
ＩＪ！ｎを牛ヂる。

第５図はさらにもう１つの配７１］を示し−（１３す、
そこで（、；を二次元的？ＩＩＩ債、’Ｊ　’ｊ　’Ｆ
）　、”）ガス流のブ）向におい−Ｃのみならず、ノｆ
スｒｌｔの方向を（３ｉ　１ｊ７）ｊ、）＋５向の補供
も１９られる。簡＋１４に酋えげ、こ４シＩ；Ｉ、　Ｑ
（−の回折ミラーによって′１つの曲内に１７９曲（［
られた１ノーリ゛・チャンネルの２′）のＬノックの配
芦と、第′１の面に平行で１１−のｍ（折ミラー＋：Ｅ
　Ｊ：る第２の面内の他の２つの１．／ツクの配列（二
。！、り達成され、その２つの面間で隣接づる１ノッグ
１４．　’１つの面から他の面へ膜用を起こりＬ用ｆｉ
ｉ１１１ｉミラーレＪ、つＴ−ｎい（＝結合されている
っ Ｊ、す’Ｒｊ定的に言え！ブ１、第１３図１′−ン−１
くさ１１プニレーリ゛・チャンネルは、１次ミラー３３
１　、　　］］ｒ−ドパツクミラー３３２．’１つの＠
ＪＩｉミラー３３３゜３３４ａ’、３３４ｂ　、３３５
．Ｊ３Ｊ、びスフ１ノイバ・ミラー３３ＧからＩｊ、Ｊ
−Ｃいる。、１ノ−リ゛・ｆ−ヤンネル・レッグ３０３
ａと３０３１３は′１つの曲内にあり、甲　の屈Ｊｈミ
ラー３３３によっ゛（を占合され一’ＣＪｊつ；１ノー
１ドブＡ・ンネル・１）′ツノ３０３　Ｃと３０３ｆｌ
ｌ；ｉ、レッグ３０３ａど３　’、’）　３１の而がら
隔文ら１したしかし平行な第２の１角内しＺ　８ｊｒす
、甲の屈折ミラー３：３５によっ−これｌ、含さ１シ℃
いろ。残りの２つの回折ミラー３３１　＋１と３３４　
ｂ　１．Ｌ　、＋２いに直角ｌＪ〈沁り、かつえＪ応−
４る１、・ンノ（、ニ対しｌ　’Ｉ　！、−ｒ０の角度
に（うり、したかっｃ　′（ｔｔζ−′）Ｌ；Ｌ　Ｌノ
ック３＋０３０．３０３＋１の最初に述べた曲内の１．
・ツ＜ノａ　０３１）から１ノツクＳ　０３　Ｉ’：　
、　３０３　＋＋の２　Ｘｉ　Ｉ−（ｆ：Ｚ　ｉホベた
曲内の１ノツノ３０３０’＼光線を反ｑ１）３るための
一庄屈折ミラーを形成する。

１次ミラー３３１はレッグご’（０（’（：ｌ　、　：
３０３　ｂおＪ、ひ１１１折ミラー３３３の曲内に、−
、Ｊｊす：　］ｊ、ノイードハック・ミラー３３２どス
フ１ノｒバ・ミラー３３６ｔＡＩノン９３０３Ｃ，３０
３［Ｉ　ＪＩＬ：び！ｉｔ折ミラー３３５の面内にある
こと／Ｊ（認識されるに・あろう。さらに、前述の配列
にお（Ｊるように、第５図においてイれそ゛れ３（Ｊ４
ｎ−□　３０　／Ｉ　＋＋に指定されている独立のカス
流ブー・シネル／ノ゛、４Ｆ＋り曲けられた１ノーリ゛
・チ１１ンネル・レッグ、’３　Ｃ１３ｎ−３０３ｄの
各々のために（イラえられηＪヒリ、各カス流ブヤンネ
ルはカスをそれぞれの１５・−４ノ・ブトンネル・し・
ツクを楢切つ一ζ流し、かつ１１１り曲（ノリまたレー
ク゛・ヂトンネル内の内部捕集Ｆ（１’□’；、へｂ（
シ用状σ−内向きに流づ。

第５Ｎｉｌ　１ｗ　示シタ配列１．ノー２／（７５ｒｌ
’ｖ　？ＩＩ　ｆｔ　、４１イＩ−わち（第１ト１ない
し第’ｌ　ｌ１ｋｌのよう４ｒ）カス凪の方向に平行４
ｒ補償のみならす゛カス流を（黄１．υる方向の補（Ｈ
をも（６えでＪｊす、シ！−リ゛・］Ｖンネル・１ノツ
クを横切るぞれそれのカス・チＸ・シネルを通るガス流
内の密度勾配による位（］１歪的Ｊ′３Ｊ：　Ｕゲイン
勾配（こよる振幅変動を補償すろ。したが−）一覧、１
ノーリ゛・ヂトンネル・レッグ３　（、）　：３　ａ内
Ｃ゛光腺１り＋　＋　Ｌｌそのガス・チャンネルに間し
く上流、１’１ｊｉｌにあり、光相］で、２は下流側に
あり：光線ｊ％＋　３　＋　Ｒ＋　４は中間であるがし
、かしレッグ３０３　ａ内で向う側と手前側にある。同
じ面内−Ｃしノック３０３ａからしノツグ３０３ｂｌ＼
光栓を反則り−る第１の＠　Ｊ７ｉ　Ｓ、５−３３３は
２つの光線Ｒ１１，Ｉ又４．装置２＼換えで、１ノたが
っで光線り女１．は次にト流側になり、光線１゛員つ（
ノー１−流ｌｌ１ｌｌｋ＝なる。２つの中間の光Ｐ）Ｌ
マ、。

とＲ＋　＜　Ｉｔ：買き換えられないｔ−１ノツグ３　
（’）　、’）　ａ内と回し中間の位置（５二留まる。

今、光線がミラー３３４．’ｌ　４−当たり、次【、ミ
ラー３３／′１１１に当た−）Ｃ，イれらの光わ？が１
ノツグ３０３１〕の第１の而から１／　ラグ３０３０の
５Ｐｂな而へ反０１木れるどき、今度は光線１＜１．ど
ｌ？、＋２がブヤンネル・１ノツクの手前側と反対側の
中間の光線になり、一方光徨Ｒ１、は下流の光線で、光
■Ｒ、、Ｌ；ｊグートシネル・レッグ３０３　ｃ内の上
流の光線にｌするというような置きＪβえが起こる。単
一の反則ミラー３３５は光線のもう１′′）の門さ換え
を起こし、光ｅｉｌ、、がチャンネル・１ノツグの」二
流側に移り、光ｎ　Ｒ＋−がチャンネル・ｌノックの下
流側に移り、残りの２つの光ＳＲ＋＋ど１で、２はチャ
ンネル−１ノツグ３０３ｄの中間の位置に留まる。光線
は（スクレイパ・ミラー３３６にょっη−取り除かれる
部分は別にして）フィードバック・ミラー；３３２によ
って反射されて、づべてのし・−ザ・チャンネル・レッ
グを通って逆戻りし、ぞれらのレッグにｉ３いてそれら
の）に線の前進経路で）ホベｌ、二のと同じ相対的位置
を通る。

１次ミラー３３１どスフ１ノイパ・ミラー、３３６（ま
た（よフィードバック・ミラー３３２）によって形成さ
れている折り曲げられたレーｆノ゛・デセンネル共担器
内のモードが、ガス流の面内で−（９）置き換えられて
、ガス流の面を横切って一度置き換えられ、そしてスク
レイパ・ミラー３３６によっ−Ｃ取出されたレーザ・ビ
ームは、さもなくばそれぞ１′シのレーザ・チャンネル
・レッグを横切るガス流中に存在するであろうところの
以前に痛論した位相、速度、おにび振幅などの変動に門
１ノで２次元的Ｗ償が与えられる。

本発明が数種類の好ましい実施例に関して述べられたが
、本発明の多くの他の変化や修正や応用が可能であるこ
とが認識されるであろう。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明ｔ；従つ−（構成されたレーザ装置の
１つの形態を概略的に示乃側立面図である。 第２図は、第１図を横断した概略図で、特に第１図のレ
ーザ装置における、折り曲げられたレーザ・チャンネル
と流動ガス・チャンネルを示している。 第３図は、第１図と第２図に示した折り曲げられたレー
ザ・チャンネルにおける変更を概略図示する拡大図であ
る。 第４図は、共成領域と増幅領域の両方を備えるように、
本発明に従って構成された折り曲げられた１ノーザ・チ
ャンネルのもう１つの形態を画略図示している。 第５図は、位相歪みと振幅変動に関して二次元的な裡償
を与えるために、本発明に従って構成された折り曲げら
れたレーザ・チャンネルのもう１つの形態を概略図示し
ている。 図において、２は外部容器、３は折り曲げられた光学キ
ャビティまたは共振器、３ａ　、　３ｂ　、　３Ｃ，３
ｄはレーザ・チャンネル３の各レッグ、４ａ　、　４ｂ
　、　４ｃ　、　４ｔ＋　μカ′ス流ブヤンネル、３１
は１次ミラー、３２１．Ｅフィードバックルミラー、Ｓ
３，３・Ｊ＋３；５１よ屈折ミラー、３Ｇｔよスフレ１
′バ・ミラー、３　’７は出力照、／１１は推進機、４
３は電気を一タ、＝ｌ　３　ｔよペルＩ・、４１よディ
ヒユーザ、４５はを、４６（Ｌ熱交挽器を示す。 １！ｔ　Ｋ’Ｆ出員人　メタルソー二１−ング・レーザ
ーズ・インクーブショナル・リミーｒツド 代　　１！ｌ！　　　人　　Ｊｒ埋士　　深　　見　　
久　　Ｃ１５（（１か？名ン

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　レーザ゛・チャンネルと、での１ノーザ・−ヂ
   （・ンネルを横切るレーザ・ガスの流を牛ｆる手段を１
   ４０えた高出力流動ガス・１．・−リ゛ｖ装置で８’）
   つく。 前記レーザ゛・ブ］・ンネルが１１１通な面内ひＨい（
   （角度をなして配置された少なくとも２つの１．ノック
   を含むにうに折り曲げられてａ５す、 前記２つのレッグ間に単一の屈折ミラーを有し、１つσ
   月ノッグを通るレーγ光枳のうち前記１′つのレッグを
   横切って流ｔＬるガス（＝関してその」二流側にあるも
   のが、前記屈折ミラ〜ににつＣ反射されてもう１つのレ
   ッグを横切って流れるガスに関してそのもう１つ０月ノ
   ック内の下流側に移動さけられることをｔ；ｊ　ＩＧと
   づる高出力流動カス・１ノーリ゛装冒。 （２）　前記レーザ゛・チャンネルを横切る前記レー１
   ／’・ガスの流れを生じる前記手段が、てのし−り“・
   ブートンネルの１）り記１ノッグの各ｌ（に門して、イ
   れぞれ独立な）Ｒ動カス・チー　ｌ−ンンルを１４Ｍえ
   −Ｃいることを特徴とする特許ｊｔｊ〜求の帥囲第１１
   ｒｉｉ；［！戟の畠出力流動ガ４・１ノーリ′七Ｆ’？
   。 （３３〉　　前配置ノーリ“・ブ鬼・シンルが１′、）
   の共通面内で２つ１；４上の偶数のｌ１ｃｉ記１７ソク
   ４・含み、前記共通面内の阿接する１ノツグの各べｊ′
   の間（、−甲一の屈折ミラーを備えていることをＴ！ｉ
   　ｉ？Ｑとりる１″ｆ訂請求の範囲第２　Ｉｎ記載の高
   出力流、　７１．カス・１ノーリー装置。 （４）　前記レーザ゛・′ｆ−トンネルが′１つの面内
   で少なくどし２つのｆ男り文のし・ソーリ′を含・む、
   Ｊ、う（二、かつ第２の平行な面内ひ少なくとも２つの
   門ｔ（のレッグをも含むようにＪ、ＩＴり曲りｌｆＩれ
   ζ、４３す、各面のＮＩｌ接づる１ノツグ間には甲−の
   屈折ミラー、・１夕よび２つの面を連結するＦ、′１り
   合一）ｌ、二ｌノックの間の一市Ｉｉ′ｉ′１ｌｌｉミ
   ラーを怖え、 前記１ノツグと屈折ミラーが、ＩＦＩ　；Ｌ　Ｌノック
   を（＾Ｉシカ−て−流れるガス内の密度勾配（二よるＩ
   ｃ／　ｔ［ｌ企み、ぞの流れ内の回転による逓磨変ト１
   ）、・［；よＯグー１′：）勾配による振幅変％ｌ）　
   ｆ；Ｉ−どに間してガス流の方向と・［１行な方向およ
   （ｆ　横切る方向Ｃの？＋ｌｉ　ｌｌ’ｔイ・りえるＪ
   、うに配回され（いることを特１℃（とりるｑ−！ｊ訂
   請求の範囲第２項記載のγ：）出力流動ガス・レーリ゛
   装置。 （５）　前記レーリー・−ヂ丸・ンネルが多角形りへ９
   の配置にｌｆｒり曲（」られた２１ｇ＜十の前記レッグ
   を含み、各レッグに０ｉ」シて独立の流動カス・ブトシ
   ンルを１げδえ、各チャンネルが力′スの１．＝　Ｎ、
   ）の共）山；市！ｔｌ　ｆ４’ｉ　ｌｅへ向【ノて敢躬
   状の内向へガスを流（ｊことを１ｉｒ　Ｗ＜どづる特ｒ
   ［請求の範「［１第１項記載（り凸出り流動〕ｊス・　
   １ノ　−−リ“＠！Ｐ！？。 （６）　前記多角形型配冒（、おい（ｆｔ１３スにのレ
   ー４Ｊ・チャンネル・レッグを右！Ｙる１、′ｌ訂請求
   の範囲第５項記載の高出力流動カス・１．ノーリ′装β
   “。 （７）　四辺形配貿に配列された４つの（ノーリ・チト
   ンネルーレッグを備えた特許請求の範囲第６項記載の高
   出力流動ガス・１ノーリ′装置。 （８）　前記レーザ・チ１７ンネル・１．・ラグの４つ
   のづべてが′１つの共通面に配置され？ｌＴ　６３す、
   前記共通面内で隣接するレッグの各ベアの間に里−の屈
   Ｉｆｆミラーを１イ１′ｉえたこと’ｂ−４４７ｉつ（
   とぎＪイ）ＴＳｊら′［−へ５１この　卸　四　川　−
   １１，ｉ”ｉ　記　＋５．の　、へ出　ツノ　乏・凭戸
   り　、１１（・　１〕　−　げ　賃　？イ　。 （９）２つの借灰りる１ノツクがこ１璽うの間の１１シ
   ーのＩｉ７！ノｆｒミラーを２・む１てごの自白し配ｆ
   ｉ／ｊさねζｄｌす、ダ１；りの２−）の１ノ・ソ／ｊ
   がで１）１）の間のｌ、う′１ツａ）　＋ｐ　−ノｍ＋
   　ｔｔｒ　ミ、／−＜−ｒむ而Ｂ、：３Ｉｉｉ’ｊ＜Ｉ
   第；３の面内ｌ（−、ｌｌｌ１．’　ｐｉされ′７．６
   ３　リ、−ｒ　（７）　２　’：’Ｊ　＋７）　面Ｑ−
   １１１Ｈ枯ｉ　ルレック間に二手＠　４斤−ミラーをＭ
   ａｔえ、ぞイ１１う１１△Ｃの１ノツクと屈折ミラーが
   前記１ノーリ・ブトン≧ル・１、ノックを通る光の相ｌ
   ｌ的１．；　ｆ’ｌき換λをＬ２・ニリ、Ｊうに配回さ
   ねでおり、（１目−Ｊ、−）ＣβＦｉ　ｒ・：１ノーリ
   ′・チｉ・ンネル・１ノッグ’ｊａ、−１ｉｆｔ　Ｌｊ
   ｌるｌｊｉ・Ｃ，ｌ、　ｌ、Ｔ　、リノ・ブトンネ、ル
   ろ通つ−Ｚ　ｉ’ｈ＞　＋するノ、１ス内の！！ｉ′７
   ｆ！Ｅ勾配に、］イ＋　ｆ１１イ１１歪み、イの流１ｚ
   内の回収、に、Ｊイ）ｊｌ・１０めｉ動１．ｊりＪびゲ
   イン勾配Ｉｎ　ｃＪ、る旧やτ・′ｉ変Ｍ（）に門しく
   −（の７．１スＶｌ’ｉの方向どゝ１′（ｉ浄７’ｊ向
   ｉ１３よｉｌ　４Ｎ：切る方向ζ？ｆ！ｉ　ＩＩ’４　
   ＜、　１４〕えることを特徴とする特ｉ′１請求の４１
   ４間第１　ｌＪ’ｑ　ｉｉｌ：載の高出力流動カッ・１
   ．ノーリ゛装冒。