JPS5892068A - 欠陥検出装置及び欠陥検出方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の分野〕 本発明は全体として容器用の側壁検査装置に関するもの
であり、とくにガラスびんのような容器の検査から％た
個々の映像データ信号を比較するだめの方法および装置
に関するものである。

〔先行技術についての説明〕。

容器の側壁を検査するために光学的走査器を用いること
はよく知られている。たとえば米国特許＄、３７０ｔｔ
ｔＯ号、第３７／６／３６号に示されているような畝多
くの装置が、検査対象物品を透過した光を受け、その光
を解釈するための手段を含む回路を有する。そのような
装置は物品を比較するための光学的表示器を含むか１、
照射された光の強さに比例する抵抗値を生ずることがで
きる装置を用いる。そのような装置の出力が光学的なも
の、または電気的なもの込ずれであっても、検査対象物
が寸法と構造の面で適切なものであるか否か、ひび、傷
、または異物がないかどうかを決定するために、最終的
にはその出力をモデルと比較される。

そのような装置は、７個もしくは多数のびんを含む動く
びんの列に含まれているびんを検査するための自動びん
検査装置を目的とするものである。

米国時計第３１７７１１２／号には、検査対象物体を透
過した光を表す振幅を有する一連のパルスを発生するた
めに、直列に質問される走査アレイを有する装置が開示
されている。１ｉＩＩｂ合うパルスは比較されて、パル
ス振幅の差を表す振幅を有するパルスを発生する。検査
対象物体中の欠陥を指示するために差パルスを利用でき
る。米国特許第３２４Ａλ００／号には、透明な容器中
での異物またはひびの存在を検出するｔこめの装置が開
示されている。

検査信号を発生させるために光ビームが容器を透過させ
られる。その検査信号は合格信号と比較される。容器に
対するスポットビームの位置に従りて合格信号の振幅が
変えられる。

従来の検査装置における問題の１つは、容器の内外にお
ける周囲光の変化を検査装置が感することである。たと
えば、前記米国特許第３１７７１１１号においては、差
パルスの振幅が光の強さに従って変化する。したがって
、光の強さが容器の内外で変化するものとすると、容器
の１つの部分における１つの種類の欠陥を表す差ノくル
スの振幅は、異なる強さの光を照射される容器の別の部
分の類似する欠陥を表す差ノ（ルスの振幅と異なる。

〔発明の概要〕

本発明は、検査対象である物体の内外における周囲光の
変化に対して比較結釆が影響を受けない、物体の検査に
より発生された映像データ信号を比較する方法と装置に
関するものである。物体上のある特定の検査点すなわち
ビクセル（ｐｉｘ＠ｌ）から受けた光の址に対応する大
きさを有する一連の映倫信号を発生するために光源とカ
メラが利用される。引き続く映像信号が物体上の隣シ合
うピクセルを表す。

比較回路が映像信号に応答して、λつのアナログ映像信
号の間の大きさのずれを表す比較信号を発生する。本発
明に従って、一つの映像信号の比を表す大きさの比較信
号が発生されろ。その比は、一つの各アナログ映像信号
を、計算を行う前に、デジタル形式に変換することによ
り計算される。

その後で、デジタル技術により希望の比を計算できる。

アナログ映像信号をデジタル形式にまず変換することに
より、本発明の比較回路により行われる計算は部品の値
の変化や、アナログ比較回路のドリフトの影響を受けな
くなる。

本発明の好適な実施例においては、アナログ映ｇ１信号
をデジタル形式に変換するために比較回路はＡ／Ｄ変換
器を用いる。デジタル化された映像信号の一方を貯える
ためにラッチが用いられる。

他方の映像信号はＡ／Ｄ変換器へ与えられる。うッチの
出力とＡ／Ｄ変換器の出力は個々のＲＯＭ対数表へ与え
られる。各ＲＯＭ対数表はそれぞれの入カイロ号の対数
を表す出力信号を生ずる。一つの対数出力信号の差は加
算器によシ決定される。

この加算器は出力信号をＲＯＭ逆対数表へ与える。

このＲＯＭ逆対数表は差信号の指畝をとって、２つの映
像信号の比を表す比較信号を発生する。

ＲＯＭ逆対数表は、一つの映像信号の比が／に等しいか
、／よシ小さい値で発生されるように、λつの対数出力
信号の負の差の真数をとるためにプログラムされる。

本発明の比較回路により、各入来アナログ映像信号を、
一連の映像信号の暗い信号レベルを表す量だけオフセッ
トするための手段も構成する。この比較回路に関連して
用いられるカメラは、暗い信号レベルの一連の映像信号
の一部を発生する。

比軟回路は暗い信号レベルの映像信号に応答して、その
暗い信号レベルに比例するカウント値にカウンタなセッ
トする。そのカウンタの出力をアナログ・オフセクト信
号に変換するためにＤ／Ａ変換器が設けられる。そのア
ナログ・オフセット信号は入来映像信号に組合わされる
。それらの入来オフセット信号をオフセクトすることに
より、比較回路はＡ　／　Ｄ　＆換器の全範囲を利用で
きることになシ、そのために、計算された比の確度が高
くなる。

〔発明の実施例〕

以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。

まず、容器のような物体の欠陥を検出する側壁検査装置
の一部がブロック図で示されている第１図を参照する。

笛１図については簡単に説明するが、図に７００番以下
の参照番号をつけて示されている構成要素と、この検査
装置のうち第１図に示されていない部品は／りｒθ年／
／月７日付の米国特許出願第、２０ｊＯ！ｌ／−号にお
いて説明されている。

第１図において、ガラスびん（図示せず）のような物体
がカメラ１０により走査される。このカメラＩＯは、ガ
ラスびんから受けた光の量に比例する大きさを有する複
数個の信号を発生してそれらの１６号をｌｓｌコへ与え
る。本発明の好適な冥り例においては、光源（図示せず
）が光ビームを検査するガラスビンを通じてカメラ１０
へ照射する。第２図に示すように、カメラＩＯはフォト
ダイオードのような光検出器１００−／〜１ｏｏ−ｎを
複数個含む。

それらの光検出器は１列になって垂直方向に配列される
。２５４個のフォトダイオードな１列に配列することに
より満足できる結果が得られることが見出されている。

フォトダイオードは、入射光の量に比例して電圧を通す
可変抵抗素子である。

各フォトダイオードはびんの種々の検査点を透過してき
た光を受ける。この検査点のことは通常はピクセルと呼
ぶ。びんにひび割れや異物が存在すると、びんの対応す
るピクセルを透過した光の一部が遮断または反射される
から、そのピクセルに対応するフォトダイオードが、そ
れらの欠陥が存在しない時に受ける光とは異なる強さの
光を受ける。

カメラＩＯのフォトダイオード１００−／〜１００−ｎ
からの信号は複数の縁／コー／〜／ニーｎを介して標本
化器ｌ≠へ供給される。各フォトダイオードからの信号
は順次標本化されて一連の映像信号−５ルスとなり、線
１６に出力される。それらのノくルス信号は検査されて
いるびんのフォトダイオードの垂直列に対応する点を透
過した光の量を表す。標本化器ｌ弘はこの分野では周知
のものである。検査するびんをカメラＩＯに対して回転
させることにより複数回の掃引を行うことができる。各
掃引によりびんの異なる部分が検査される。約３７５−
≠００回の掃引を行うことによシ平均的なびんを十分に
カッく−でき、正確な検査を行えることが見出されてい
る。したがって、標本化器ｌ弘は、びんの対応する点を
透過した光の蓋に比例する大きさをそれぞれ有する複数
の［ｇｊ！信号列を発生する。

第２図に示すように、アナログ・カメラ映像信号が線／
ｊｍに与えられる。＃ｔ／６ｍを介して与えられるカメ
ラ映像信号に加えて、標本化器／ｌはカメラクロック信
号とカメラ掃引信号も発生し、それらのクロック信号と
掃引信号は線／６　ｂ　、　／ｌ　ｃにそれぞれ与えら
れる。カメラ掃引信号は各カメラ掃引の開始を表すパル
スよシ成シ、カメラクロック信号は、／６ａへの映像パ
ルス信号の送シ出しを合図するパルスの列よシ成る。

標本化器／４（によ多発生された映像信号は一部６を介
して事象検出器クヘ与えられる。この事象検出６Ｂは、
検査装置インターフェイス／ｌとして示り。

である、検査装置の一部を表す。前記米国特許出願側−
０！０＃号に詳しく説明されているインターフェイス／
ｌは、ガラスびんの掃引がら意味のあるデータを、２コ
ンビ具−夕での解析に適当なやシ方で迅速にとシ出すよ
うに＠能する。

事象検出６参ｌは比較回路１０コを含む。この比較回路
１０λはアナログ映像信号を線／６を介して受け、デジ
タル比較信号を発生して、その比較信号を線１０４！を
介して加算器６１１へ与える。比較回路１０λは、＠ｉ
ａを介して与えられたλつのアナログ映像信号のずれを
表す比較信号を線発生するように機能する。

事象検出器≠ｌは複数のしきい値信号を格納するための
しきい値ＲＡＭ５Ｉを含む。ＲＡＭｊｌに格納されてい
る各しきい値信号は、比較回路１０λにより発生された
特定の比較信号に対応する。比較回路１０コによ多発生
された現在の比較信号に対応する、ＲＡＭ、！ｔ♂から
の個々のしきい値信号を選択するためにダイオード・カ
ウンタ６θが用いられる。

このダイオード・カクンタメｏはクリヤ信号にょシ零リ
セットでき、増加信号によシカクント値を増加テきる。

クリヤ信号と増加信号はインターフェイス／Ｉの制御論
理ユニット！；４Ａ（図示せず）にょ多発生できる。

しきい値ＲＡＭ＃からの信号は加算器を夕の相補入力端
子へ与えられ、そこで、比較回路１０コから＠１０４Ｉ
を介して与えられた比較信号に組合わされる。その比較
信号が対応するしき１値信号より大きい時は、加算器４
ダは、検出６蓼ｌが欠陥を検出したことをインターフェ
イス／ｌの制御論理ユニットｓ４Ａへ知らせる事象信号
を発生する。加算器６４ｃは。

比較信号と対応するしきい値信号との大きさの差につｌ
、ｎテ、インターフェイスｉｔの制御論理ユニット評へ
知らせる大きさ信号も発生する。

ｗｃＪ図には本発明の比較回路ｉｏコのブロック図が示
されている。基本的には、この比較回路は、８１４ｍを
介して与えられた２つの映像信号の大きさの差を表す比
較信号を発生するように動作する。

後で説明するように１本発明の方法により、びんの内外
の周囲光の変化により影響を受けない比較信号す１得ら
れる。

第３図において、線／Ａ　ｍを介して与えられたアナロ
グ・カメラ映像信号は加算点ＩＯ４の纂ｌの入力端子へ
与えられる。この加算点１０４の出力線１０７は〜生変
換器１０ｒの・入力端子へ接続され、その出力＠１０７
を介してオフセット映像信号Ｘｎを与える。〜巾変換器
１０１はアナログ映像信号Ｘｎをデジタル形式に変換し
、変換されたデジタル信号を＠１０りを介してラブチ／
ＩＯ，！：ＲＯＭ対数表／／λの入力端子へ与える。ラ
ッチｌｌＯのクロック（ＣＬＫ）入力端子は纏／Ａｂへ
接続されてカメラ・クロック信号を受ける。ラッチＩ１
０の出力信号Ｘｎ−□は線／／≠を介して第２のＲＯＭ
対数表／／１の入力端子へ与えられる。ＲＯＭ対数表１
／コ、’／Ｉｔはそれぞれの人力信号の対数を表すデジ
タル出力信号を発生し、＠／／Ｉ、／コＯへそれぞれ与
える。後で説明するように、ＲＯＭ対数表／／２は入来
オフセット映像信号Ｘ１１の極性を表す極性論理信号も
発生する。この極性論理信号は線ｌココな介してオフセ
ット回路／２１７の入力端子へ与えられ、このオフセッ
ト回路はその極性論理信号を周込てオフセット信号を決
定する。このオフセット信号は入来カメラ映像信号に組
合わされる。

ＲＯＭ対数表／／２．　ＩＩ＆の出力は加算器／２４の
入力端子へ与えられる。この加算器ｌλｔはそれらλつ
の入来対数信号の差を表すデジタル出力信号を発生する
。ＲＯＭ対数表／／２．　／／ｌ−ら線／／ｒ。

／コ０をそれぞれ介して与えられた２つの論理信号の差
は、それらのＲＯＭ対数表へ線ｌ／≠、　１０Ｐを介し
て与えられたデジタル化された映像信号の比の対数を表
す。加算器／Ａｔによ多発生された差対数信号はｓｌｌ
コケ介してＲＯＭ逆対数対数表／３０力端子へ与えられ
る。このＲＯＭ逆対数表／ＪＯは線ｌコｒを介して与え
られた信号の真数を計算して比較信号を発生する。この
比較信号は＠１３２を介してラッチｉ３ａの入力端子へ
与えられる。ラプチ／ＪｌｌツクＣ１？　り（ＣＬ　Ｋ
　）　入力端子に！ｔｌｌｌＡ　ｂが接続されてカメラ
ｅクロブク信号が与えられ、ラッチ／ＩＩＩの出力端子
は＠１０１７を介して加算器６ダに接続され、比較信号
Ｙｎを加算６評へ与える。

ＲＯＭ逆対数表／ＪＯは、線／、２ｔを介して与えられ
た差対数信号の負の値の真数を計算するようにプログラ
ムされる。したがりて、＠　ｔｓｒを介して与えられた
差対数信号の値が正であると、ＲＯＭ対数表／３０はそ
の信号を負の値にしてから逆対数計算を行う。この結果
として、／に等しいか、ｌより小さい値を有する比較信
号が得られ、したがつてコつの映像信号の大きい方を分
母として比を表す０ オフセット回路ｌコ参はオフセット信号を発生し。

この信号を＠　／Ｊｔを介して加算点／ａｔの第２の入
力端子へ与える。基本的には、このオフセット信号は、
カメラ１０のフォトダイオードｌＯＯの一部により発生
された暗信号レベルを表す大きさで発生される。

オフセット回路／λ≠はカウンタ／３ｒを含み、このカ
ウンタのクロック（ＣＬ、Ｋ）入力端子は！！１１ｂか
らカメラ・クロプク信号を受け、０−ド（ＬＯＡＤ）入
力端子は線ｔｔｅからカメラ掃引信号を受ける。カウン
タ／３１のプリセット入力端子Ａ。

Ｂは＋Ｖ電源（図示せず）に接続され、プリセット入力
端子Ｃ，Ｄは接地される。カウンタ／３１のＭＡＸ／Ｍ
ＩＮ出力端子はカウンタｌ≠Ｏのクロック（ＣＬＫ）入
力端子へ接続され、このカウンタ１４ｔｏのアップ／ダ
ウン（Ｕ／Ｄ）入力端子は線／ココに接続されて極性論
理信号を受ける。カクンタｌ参〇の出力はＤ／Ａ変換器
ｌ≠λの入力端子へ与えられる０このカウンタ／４’コ
の出力端子は＠　０１．に接続される。カウンタｌ弘０
のＭＡＸ／ＭＩＮ出力端子は「オフセット・パッドＪＬ
ＥＤ／＄４のカソードに抵抗器ｌ≠ｌを介して接続され
る。このＬＥＤ／≠４のアノードは＋Ｖ’ｌ源へ接続さ
れる。

暗信号レベルの大きさを決寓するためには、本発明では
カメラｌＯの少くとも１個のフォトダイオード１００を
「しやへい」することを必要とする。

これは、カメラＩＯの選択されたフォトダイオードを覆
うととＫよシ行われる。たとえば、第一図においてフォ
トダイオード／ＤＯ−／−１００−ｊが覆われている様
子が示されて込る。走査器の各掃引の開始時にカメラ掃
引信号が発生される。このカメラ掃引信号はｍｔｂｃを
介してカウンタ／Ｊ！へ与えられて、プリセット入力端
子Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄにおけるプリセット・カウントをカウ
ンタＩＩＩにプリセットさせる０第３図においてはプリ
セット−カウントの値は３である。カメラ掃引信号がカ
ウンタ／ＩＩに与えられると、カウンタ／３１はカウン
タ・クロック信号に応答して、カウント値が零になるま
でカウント・ダウンを行う０カウンタ／３１のカウント
値が零になると、カウンタ／３１はＭＡＸ／ＭＥＮ出力
端子に信号を発生し、その信号をカウンタ１４Ｉｏのク
ロック入力端子へ与える。そうすると、カウンタｌ参〇
のカウント値は、＠　／ＪＪにおける極性論理信号のレ
ベルに従ってｌカウントだけ増加または減少させられる
Ｑ フォトダイオード１０／　−／に対応するカメラ映像信
号の発生直前にカメラの掃引が行われ、カウンタ／３１
のプリセット人力が３にプリセットされるから、カウン
タ／３１のカウント値が零になった時にＲＯＭ対数表１
１λに供給されてｂるある特定のカメラ映像信号がフォ
トダイオード１００−Ｊに一致する。フォトダイオード
１００−Ｊにより纏１０２に与えられたオフセット映像
信号Ｘ。が零より大きいとすると、ＲＯＭ対数表／／コ
は極性論理信号を発生して、その信号を＠／２コを介し
てカウンタｌりＯへ与えられ、そのたぬにカウンタ／４
！−０はカウンタ／３１からのＭＡＸ／Ｍ！Ｎ出力信号
に応答してカウント・アップさせられる。このように。

フォトダイオード１００−３に対応するオフセット映像
信号の極性が正であると、カウンタ／３１のＭＡＸ／Ｍ
ＩＮ出力のためにカウンタ／１７０のカウント値が増加
さ゛せられるために、オフセット信号の値が増加させら
れる。これとは逆に、＠ｉｏりを介して与えられるオフ
セット映像信号の極性が負の場合には、＠Ｗを介して与
えられる極性論理信号のためにカウンタ／４ｔＯのカウ
ント値が減少させられるから、オフセラ）信号の値が減
少させられる。

したがって、走査器７μの掃引ごと）Ｃ，Ａ／ｉ）変換
器ｉｏｔへ与えられる入力信号ｘｎの極性に応じて。

カウンタ／≠Ｏのカウント値が減少または増加させられ
る。比較回路１０コの最初のスタート中には。

＠１ｘｔｙｃ与えられたオフセット信号の大きさを暗信
号レベルにするために所定回数の掃引が要求される。そ
の後で、オフセット回路／Ｊ４４は選択された１個のフ
ォトダイオードから−の暗信号レベルのモータを継続し
、それに従ってカウンタ／４ｆＯのカウント値を更新す
る。そのカウント値が最大許容カウント値に達したとす
ると、カウンタ／１７０はアース電位に近いレベルのＭ
ＡＸ／ＭＩＮ信号を発生して「オフセット・バッドＪＬ
ＥＤ／＄７を点灯し、＠／Ｊ４に存在するオフセ・ノド
信号が実際の暗信号レベルを正しく表さないかも知れな
いことをオペレータに合図する◎ −り合うピクセルの差を求める方法を本発明の方法と比
較すると、本発明の利点が容易にわかる。

隣シ合うピクセルの差を求める方法においては、比較信
号はＹｎ二Ｘｎ−Ｘ、、である。したがって。

Ｘｎの大きさが弘で、ＸｔＬ−１の大きさが３であれば
比較信号Ｙ０は、与えられた照度に対して／に郷しい。

しかし、照度が２倍になったとすると、比較信号の値は
コとなる。したが９て、ピクセルの差を求める従来の方
法においては、びんの内外の周囲光を比較的一様に保り
て、同じような欠陥に対して同じような応答が得られる
ようにする０本発明によシ、比較信号の値に影響を及ぼ
すことなしに、びんの内外の周囲光を徐々に変化できる
０たとえば１本発明の方法において、信号Ｘ０とＸ。−
１がそれぞれ弘、ＪＩＣ等しいとすると、比較信号Ｙ。

は％に叫しくなる。同じ欠陥に対してＸｌの値がｔ、Ｘ
ｎ−１の値がｔとなるように照度を高くしたとしてもＹ
ｌの値は依然として％に郷しい０このように、Ｘｎビク
セルとＸｎ−１ピクセルに共通な周囲光レベルとは無関
係に、本発明の方法では同じ欠陥に対しては同じ比較信
号値が得られることになる。

びんの内外の周囲光の影響を受けない比較方法に加えて
、本発明は、希望の比の計算がアナログ比較回路のドリ
フトと、Ｓ品の値の変化の影響な受けなりよつに、比較
回路中にデジタル回路も使用する０更に、基本的なデジ
タル・オフセット回路が、ＡＡ変換器／１０の全レンジ
を利用できるように、入来アナログ・カメラ映像信号を
オフセットするのに効果的な手段が得られる０ 第３図に示す回路は引き続く２つのカメラ映像信号の比
を表す比較信号を発生するように構成されている。しか
し、ある場合には、引き続−ていないカメラ映像信号を
比較し１こい４場合もある。たとえば、第参図は第３図
の変更例を示すもので。

第コのラッチｌ！Ｏがラッチ／１０の出力端子とＲＯＭ
対数表／Ｉｔの入力端子の間に接続される。ラツｆ／１
０の１０ツｌ＜ＣＬＫ）人力ｍ子）！１１６ｂ　Ｋ接続
されてカメラ・クロック信号を受ける０このような構成
によシ、交互に発生されたカメラ映像信号を、ｘ、とＸ
ｎ−２の映像信号の比を表す比較信号を発生することＫ
よりて、比較回路＆家比較できる０ 隣９合う映像信号ではなくて１つおきの映ｇ１信号を比
較することＫよυ％られる１つの利点し１゜１つお色の
映像信号を比較したことにより発生された比較信号が、
検出した欠陥を一層正確に表すことができることである
。ｔことえば、びんのある特定のピクセルの所に石があ
るとすると、そのピクセルの検査から受けた光の量が減
少する。し力・し、通常は、隣シ合うピクセルの検査力
・ら受ける光もその石の影響を受け、その光の量も通常
の場合よシは減少する。一方、石が含まれているピクセ
ルからビクセルコつ分だけ離れているピクセルの検査か
ら受ける光はその石による影響をあまり大匙くは受けな
い。したがって、１つおきの映像信号の比較の方がガラ
スに石が含まれていることをよシ正確に反映することに
なる０ ＠Ｊ、　４Ａ図に示されている部品は全て市販されてい
るものである。Ａ／Ｉ］変換器／ＩＭは米国力１ノホル
ニア州レドンドーピーチ（Ｒ＠ｄｏｎｄｏ　Ｂ＠ａｃｂ
　）　　所在のＴＲＷプロダクツ（Ｔ　ＲＷ　Ｐｒｏｄ
ｕｃｔｓ　）　　のＴＤ　Ｃ−／ＤＯ／　Ｊ雛を使用で
き、ラッチ／１０．　／Ｊ弘。

／Ｊ−０としてはＬ　８３７％ラッチを使用でき、ＲＯ
Ｍ対数表／／２．　／Ｉｔとしては７弘Ｓ参７／ＰＲＯ
Ｍを使用でき、加算器ｌコ４は７参λｒＨ１１ｙピツト
コ進加算器で構成でき、ＲＯＭ逆対数表／ＪＯとしては
コア７、、ＺＡ［ｌＩＦＲＯＭを使用でき、カフｙｐｉ
ｓｒ。

ｌ〆Ｏは７４’／デ／［アップ／ダウノコ進カクンタで
構成できる。これらの部品は全てテキサス・インスツル
メンツ社（Ｔ＠ｘｔｓ　Ｉｎｓｔｒｕｍ＠ｎｔｓ、　Ｉ
ｎ＠、　）から入手できる。１変換器１０２としてはナ
シロナル・セミコンダクタ社（Ｎａｔｌｎａｌ　Ｓ＠ｍ
１ｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ　）のＤＡＣ／ＪＪＪ　　／コ
ビッ）　Ｄ／Ａ変換器を使用できる０ 本発明は、２つの映像信号の比を表す比較信号を得るた
めに、１つの映像ピクセル信号の値を第コの映像ビクセ
ル信号の値で除する方法も含むものである。しかし、実
用上の立場からは、広い範囲の値を〃バーで匙る比をと
ることは一般的に望ましいことではない。このことは、
アナログ信号をデジタル信号に変換するために、レンジ
が限られている〜４変換器を用いる場合にとくにそうで
ある。たとえば１分母が分子よシも非常に小さい場合に
はその比は比較的大きくなる。したがって、本発明の比
較回路は、λつの映像信号のうちの大きい方が分母にく
る時の比を計算する装置を含らそうすると、比はｌに等
しいか、／よシ小さくなる。これによシ、本発明の方法
をコンビーータ制御デジタル回路に容易に適用できる。

本発明の方法は、一連のデジタル化された映像信号を発
生するカメラにも容ＡＫｆｆｉ用できる０その場合には
、＠Ｊ図の〜生変換器ｉｏｔは不要であシ、カメラの出
力信号はラッチ／１０とＲＯＭ対数表／／コに直接与え
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の検査装置のブロック図、第２図は第７
図のカメラユニットと標本化器の詳しいブロック図、第
３図は第１図の比較回路のブロック図、第グ図は第３図
の回路の一部の別の実施例のブロック図である。 １０・・・カメラ、ｌｌ・・・検査装置インターフェイ
ス、Ｓｌ・・・しきい値ＲＡＭ、Ｗ・・・ダイオード−
カウンタ。 ！Ｑ、　／Ｊｊ・・・加算器、　１００・・・光検出器
、　１０コ・・・比較回路、１０ｒ・・・〜巾変換器、
　ｉｔｏ、　ｉｓｐ、　ｉｚｏ・・・ラッチ、／／コ、
　／／ぶ・・・ＲＯＭ対数表、／３０・・・ＲＯＭ逆対
数表、／３１．　／参〇・・・カウンタ、ｈ−・・・Ｄ
／Ａ変換器０ 出願人代理人　　　猪　股　　　　清

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）物体上のある特定の検査点から受けた光の量に比
   例する大きさをそれぞれ有する一連のアナジグ映倫信号
   を発生するためのカメラと、λつのアナログ映像信号を
   発生するためのカメラと、一つのアナログ映像信号の大
   きさの差を表す比較信号を発生するための回路とを含む
   物体中の欠陥を検出する装置において、 前記回路は、アナログ映像信号に応答して一つのアナロ
   グ映像信号の大きさの値をデジタル形式に変換器と、デ
   ジタル化された映像信号に応答して一つの映像信号の大
   きさの比を表わす大きさを有する比較信号を発生する比
   較器とを備えることを特徴とする比較信号を発生する回
   路。 （２、特許請求の範囲第１項記載の回路であって、前記
   比較信号は／に等しいか、／よシ小さい値を有する比を
   もって発生されることを特徴とする回路。 （３）特許請求の範囲第１項記載の回路であって、比較
   されるλつのアナログ映像信号は物体上の隣接する検査
   点から受けた光を表すことを特徴とする回路。 （４）　ＩＦ！許請求の範囲第１項記載の回路であって
   、比較されるλつのアナログ映倫信号は物体上の隣接し
   ない検査点を表すことを特徴とする回路。 （５）特許請求の範囲第１項記載の回路であって、２つ
   のデジタル化された映像信号のうちの一方を格納するた
   めの要素を含むことを特徴とする回路。 （６）　＃許−求の範囲第１項記載の回路であって、前
   記比械信号を一発生する前記要素は、前記２つ□　のデ
   ジタル化された訳像信号の一方に応答してその一方の映
   像信号の値の対数を表す航ｌの対数信号を発生する第１
   のＲＯＭ対数表と、前記２つのデジタル化された映像信
   号の他方に応答してその他方の映像信号の値の対数を表
   す第２の対数信号を発生する第λのＲＯＭ対数表と、前
   記第１と鮪コの対数信号に応答してそれら第１と第λの
   対数信号の値の差を表す出力信号を発生する要素と、前
   記出力信号に応答して前記比較信号を発生するＲＯＭ逆
   対数対数表備えることを特徴とする回路。 （７）特許請求の範囲第１項記載の回路であって、出力
   信号を発生する前記要素は前記第１と第コの対数信号の
   値の負の差を表す大きさの前記出力信号を発生すること
   を特徴とする回路。 （８）特許請求の範囲第１項記載の回路であって、前記
   一連の映像信号に応答してその一連の映倫信号の暗信号
   の大きさを表すオフセット信号を発生するオフセット要
   素を含むことを特徴とする回路。 （９）特許請求の範囲第を項記載の回路であって、前記
   オフセット信号に応答して前記暗イｇ号の大キサにより
   アナログ映像信号をオフセラ）−ｔ−る要素を含むこへ
   を特徴とする回路。 Ｑｌ　特許請求の範囲第２項記載の回路であって、前記
   一連のアナログ映像信号のうちの少なくとも選択された
   ７つが前記暗信号の大きさで発生される、前記オフセッ
   ト要素は、前記選択された１つのアナログ映像信号に応
   答して前記暗信号の大きさを表す値を格納する要素を含
   むことを特徴とする回路。 （１１）特許請求の範囲第１Ｏ項記載の回路であって、
   前記格納する要素は、前記選択された１つのデジタル映
   像信号に応答して前記暗信号の大きさを表す信号を格納
   するカウンタであることを特徴とする回路。 （ｌ邊特許請求の範囲第１項記載の回路であって、前記
   オフセット要素はＤ−Ａ変換器を含み、前記オフセット
   信号をアナログ形式で発生するためＫこのＤ−Ａ変換器
   の入力端子は前記カウンタの出力端子へ接続されること
   を特徴とする回路。 α尋物体上のある特定の検査点から受けた光の景に比例
   する大きさをそれぞれ有する一連のアナログ映倫信号を
   発生するためのカメラを含み、物体中の欠陥を検出する
   装置により発生された一つのアナログ映像信号の大きさ
   の差を表す比較信号を発生する方法であつて、 （ａ）　　一つのアナログ映像信号をデジタル形式に変
   換する過程と、 （ｂ）　　前記一つのデジタル化された映倫信号の値ρ
   比を決定する過程と、 （ｃ）　　前記比に等しい大きさの比較信号を発生する
   過程と、 を備えることを特徴とする２つのアナログ映倫信号の間
   の大きさの差を表す比較信号を発生する方法。 ０４％許請求の範囲第１３項記載の方法でありて、過程
   （ｂ）は／よシ小さいか、／に等しい値である前記比を
   決定することによシ行われることを特徴とする方法。 四特許請求の範囲第７４４項記載の方法でありて、過程
   （ｂ）は、 （ｂｌ）　Ｊつのデジタル化された映像信号の値の対数
   を決定する過程と、 （ｂｌ）一つの対数値の間の負の差の値を決定する過程
   と、 （ｂ５）前記負の差の値の指数をとって比を決定する過
   程と、 を備えることを特徴とする方法。 ＱＧ特許請求の範囲第１３項記載の方法であって、λつ
   のアナログ映倫信号の値を一連の映倫信号の暗信号の大
   きさを表す量だけオフセクトする過程を含むことを特徴
   とする方法。 α１特許請求の範囲第１３３項記載方法であって、比較
   される前記一つの映倫信号は物体上の隣シ合う検査点か
   ら受けた光の量を表すことを特徴とする方法。 餞特許請求の範囲第１３項記載の方法であって、比較さ
   れる前記一つの映像信号は物体上の隣り合わない検査点
   から受けた光の量を表すことを特徴とする特許 ０Ｉ　物体上のある特定の検査点から受けた光の量に比
   例する大きさをそれぞれ有する一連のデジタル化された
   映像信号を発生するためのカメラと、２つのデジタル化
   された映像信号の大きさの差を表す比較信号を発生する
   ための回路とを含む物体中の欠陥を検出する装置におい
   て、前記回路は、λつのデジタル化された映像信号に応
   答してλつの映像信号の大きさの比を表す大きさを有す
   る比較信号を発生する比較器を備えることを特徴とする
   比較信号を発生する回路Ｏ ｃＡ特許請求の範囲第１９項記載の回路であって、比較
   信号は／に尋しいか、ｌよシ小さい値を有する比を表す
   大きさをもって発生されることを特徴とする回路。 Ｑυ特許請求の範囲第１９項記載の回路であって、前記
   λつのデジタル化された映像信号のうちの１つを格納す
   るための要素を含むことを特徴とする回路。 四特許請求の範囲第１９項記載の回路であって、前記比
   較信号を発生する前記要素は、前記一つのデジタル化さ
   れた映像信号の一方に応答してその一方の映像信号の値
   の対数を表す第１の対数信号を発生する第１のＲＯＭ対
   数表と、前記λつのデジタル化された映像信号の他方に
   応答してその他方の映像信号の値の対数を表す第一の対
   数信号を発生する第一のＲＯＭ対数表と、前記第１と第
   一の対数信号に応答してそれら第１と第一の対数信号の
   値の差を表す出力信号を発生する要素と、前記出力信号
   に応答して前記比較信号を発生するＲＯＭ逆対数対数表
   備えることを特徴とする回路。 （ハ）検査物から受けた光の量に比例する大きさを有す
   る別々の映像信号をそれぞれ発生する複数の光検出器を
   有するカメラと、それらの光検出器のうちの少なくとも
   ７つを覆って暗信号の大きさの選択された映像信号を発
   生する要素と、前記選択された映像信号に応答して暗信
   号の大きさを表すオフセット信号を発生するオフセット
   信号を発生するオフセット要素とを含むことを特徴とす
   る検査装置。 （２４１特許請求の範囲第９項記載の装置であって、前
   記オフセット信号に応答して前記各映倫信号の値を暗信
   号の大きさを表す量だけオフセクトする要素を含むこと
   を特徴とする装置。 （ハ）検査物から受けた光の量に比例する大きさを有す
   る別々の映像信号をそれぞれ発生する複数の光検出器を
   有するカメラを含む検査鯨直によ多発生された暗信号の
   大きさを表すオフセット信号を発生する方法であって、 （ａ）　　少なくとも１つの選択された光検出器を覆っ
   て暗信号の大きさの選択された映像信号を発生する過程
   と、 （ｂ）　　選択された映像信号に応答して暗信号の大き
   さのオフセット信号を発生する過程と、を備えることを
   特徴とするオフセット信号を発生する方法。 翰特許請求の範囲第３項記載の方法であって、暗信号の
   大きさを表す量だけ各映像信号をオフセットする過程を
   含むことを特徴とする方法。 （９）物体のある特定の検査点から受けた光の量をそれ
   ぞれ表す一連のデジタル映像信号を発生する１ｉ！素と
   、デジタル映像信号に応答して一つの映＊ｇ号の大きさ
   の比を表す大きさを有する比較信号を発生する比較器と
   を富むことを特徴とする検査装置。 （至）特許請求の範囲第２７項記載の検査装置であって
   、前記比較信号を発生する前記要素は、前記一つのデジ
   タル化された映倫信号の一方に応答してその一方の映像
   信号の値の対数を表す第１の対数信号を発生する第１の
   ＲＯＭ対数表と、前記一つのデジタル化された映像信号
   の他方に応答してその他方の映像信号の値の対数を表す
   Ｘコの対数信号を発生する第一のＲＯＭ対数表と前記第
   １と第２の対数信号に応答してそれら第１と第一の対数
   信号の値の差を表す出力信号を発生する要素と、前記出
   力信号に応答して前記比較信号を発生するＲＯＭ逆対数
   対数表備え□　ることを特徴とする検査装置。 （２、特許請求の範囲第３項記載の検査装置であつて、
   出力信号を発生する前記要素は前記第１と菌コの対数信
   号の値の負の差を表す大きさで前記出力信号を発生する
   ことを特徴とする検査装置。 （至）特許請求の範囲ｔＩｉｃ、２７項記載の検査装置
   であって、前記比較信号はｌに等しいか、ｌよシ小さい
   値を有する比をもって発生することを特徴とする検査装
   置。