JPS58154612A - 変位量検出装置 - Google Patents
変位量検出装置Info
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- JPS58154612A JPS58154612A JP3664082A JP3664082A JPS58154612A JP S58154612 A JPS58154612 A JP S58154612A JP 3664082 A JP3664082 A JP 3664082A JP 3664082 A JP3664082 A JP 3664082A JP S58154612 A JPS58154612 A JP S58154612A
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 57
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims description 23
- 239000011295 pitch Substances 0.000 abstract description 19
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910002555 FeNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/023—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring distance between sensor and object
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はロータリーエンコーダ、リニアエンコーダとし
て用いることができる変位量検出装置、特に磁気記録ト
ラックに沿つ【配列された磁化パターンの変位を複数個
の磁気抵抗効果素子で検出し、その差動出力を得るよう
にした変位量検出装置に関するものである、 例えば回転軸に取付けた磁気記録媒体を有する円板また
は円筒に等間隔のビット長を有する磁化、パターンの形
態で記録されている磁気信号を強磁性磁気抵抗効果素子
（以下ＭＲ素子と略称する）を具える磁気センサで読み
取ることにより１回転軸の回転角を検出する所謂ロータ
リーエンコーダは既知である。このようなロータリーエ
ンコーダにおいては、基本的には１個のＭＲ素子により
磁気信号を検出し、変位量を知ることができるが、出力
電圧が小さいこと、温度変化により出力電圧がドリフト
するなどの欠点があるため、８つ以上のＭＲ素子な差動
結合して出力を得ることが一般的である。例えば特公昭
５４−１１５２５７号公報には２個のＭＲ素子を磁気記
鍮媒体上の磁気パターンのピッチの整数倍に郷しい間隔
を置いて配設し、これらＭＲ素子の出力の差を差動増幅
器で求めるようにした角度検出器が記載されている。
て用いることができる変位量検出装置、特に磁気記録ト
ラックに沿つ【配列された磁化パターンの変位を複数個
の磁気抵抗効果素子で検出し、その差動出力を得るよう
にした変位量検出装置に関するものである、 例えば回転軸に取付けた磁気記録媒体を有する円板また
は円筒に等間隔のビット長を有する磁化、パターンの形
態で記録されている磁気信号を強磁性磁気抵抗効果素子
（以下ＭＲ素子と略称する）を具える磁気センサで読み
取ることにより１回転軸の回転角を検出する所謂ロータ
リーエンコーダは既知である。このようなロータリーエ
ンコーダにおいては、基本的には１個のＭＲ素子により
磁気信号を検出し、変位量を知ることができるが、出力
電圧が小さいこと、温度変化により出力電圧がドリフト
するなどの欠点があるため、８つ以上のＭＲ素子な差動
結合して出力を得ることが一般的である。例えば特公昭
５４−１１５２５７号公報には２個のＭＲ素子を磁気記
鍮媒体上の磁気パターンのピッチの整数倍に郷しい間隔
を置いて配設し、これらＭＲ素子の出力の差を差動増幅
器で求めるようにした角度検出器が記載されている。
また［日経エレクトロニクスＪ、１９８１年６月ｇｇ日
号、第８８頁には、第１８！ｉ！に示すようにそれぞれ
４個のＭＲ素子Ａ０〜Ａ４． Ｂ、〜Ｂ４を育する２群
の磁気センサを設け、各群のＭＲ素子を磁気記碌媒体Ｍ
の磁化パターンのピッチＰのｉの関隅だけ離して配設す
ると共に一方の群のＭＲ素子を他方の群のＭＲ素子に対
してτだけずらして配設し、第２図に示すように各群の
４個のＭＲ素子をブリッジ回路としてそれぞれ接続し、
各ブリッジ回路の対角点に現われる出力電圧の差をそれ
ぞれ差動増幅器Ｄ Ａ、およびＤ Ａ！で求めることに
より変位量および変位方向を検出するようＫした角度検
出装置が示されている。このような差動結合方式を採用
すると出力振幅が大きくなると共にドリフトの影響も相
殺除去できる利点が得られる。
号、第８８頁には、第１８！ｉ！に示すようにそれぞれ
４個のＭＲ素子Ａ０〜Ａ４． Ｂ、〜Ｂ４を育する２群
の磁気センサを設け、各群のＭＲ素子を磁気記碌媒体Ｍ
の磁化パターンのピッチＰのｉの関隅だけ離して配設す
ると共に一方の群のＭＲ素子を他方の群のＭＲ素子に対
してτだけずらして配設し、第２図に示すように各群の
４個のＭＲ素子をブリッジ回路としてそれぞれ接続し、
各ブリッジ回路の対角点に現われる出力電圧の差をそれ
ぞれ差動増幅器Ｄ Ａ、およびＤ Ａ！で求めることに
より変位量および変位方向を検出するようＫした角度検
出装置が示されている。このような差動結合方式を採用
すると出力振幅が大きくなると共にドリフトの影響も相
殺除去できる利点が得られる。
しかしながらこのような従来の角度検出装置にお（・て
は２個以上のＭＲ素子を変位方向、すなわち磁気パター
ンの配列方向に、磁化パターンのピッチＰの整数倍また
は整数分の−の間隔で配設しなければならず、種々のピ
ッチの磁化パターンを有する磁気％ｌ媒体に対してそれ
ぞれ所定の間隔に配設したＭＲ素子を有する磁気センサ
を準備しなければならず、設計の自由度に制限を受ける
欠点がある。また磁気記録媒体を円筒表面に設ける場合
、複数のＭＲ素子を平坦な基板上に形成すると各ＭＲ素
子と磁気記録媒体までの距離が等しくならず、各ＭＲ素
子の出力信号の振幅がばらつくことになり差動出力に誤
差が入る欠点がある。このような欠点を解決するために
ＭＲ素子の幅を変えることが特公昭５６−８５０１１号
公報に開示されているが、そのようなＭＲ素子を製作す
ることは面倒であると共に前記の距離が変った場合には
これに対応した幅を有するＭＲ素子を製作する必要があ
り、５凡用性に欠ける欠点がある。また、２個以上のＭ
Ｒ素子を磁気記録媒体の磁化パターンの配列方向にずら
せると、磁気センサの寸法は必然的に大きくなり、検出
装置全体も大形になり易くなるという次点もある。
は２個以上のＭＲ素子を変位方向、すなわち磁気パター
ンの配列方向に、磁化パターンのピッチＰの整数倍また
は整数分の−の間隔で配設しなければならず、種々のピ
ッチの磁化パターンを有する磁気％ｌ媒体に対してそれ
ぞれ所定の間隔に配設したＭＲ素子を有する磁気センサ
を準備しなければならず、設計の自由度に制限を受ける
欠点がある。また磁気記録媒体を円筒表面に設ける場合
、複数のＭＲ素子を平坦な基板上に形成すると各ＭＲ素
子と磁気記録媒体までの距離が等しくならず、各ＭＲ素
子の出力信号の振幅がばらつくことになり差動出力に誤
差が入る欠点がある。このような欠点を解決するために
ＭＲ素子の幅を変えることが特公昭５６−８５０１１号
公報に開示されているが、そのようなＭＲ素子を製作す
ることは面倒であると共に前記の距離が変った場合には
これに対応した幅を有するＭＲ素子を製作する必要があ
り、５凡用性に欠ける欠点がある。また、２個以上のＭ
Ｒ素子を磁気記録媒体の磁化パターンの配列方向にずら
せると、磁気センサの寸法は必然的に大きくなり、検出
装置全体も大形になり易くなるという次点もある。
本発明の目的は上述した欠点を除去し、ＭＲ素子を磁気
記録媒体の磁化パターンの配列方向に離間して配置する
必要がなく、しかも差動出力が得られるようにした変位
量検出装置を提供しようとするものである。
記録媒体の磁化パターンの配列方向に離間して配置する
必要がなく、しかも差動出力が得られるようにした変位
量検出装置を提供しようとするものである。
本発明の変位量検出装置は、所定の方向に変位する部材
Ｋ、その変位方向に延在する少なく共２本の磁気記録ト
ラックを並設し、これら記録トラックには変位方向に見
て互いに位相をずらせて磁化パターンを形成し、これら
磁気記録トラックと灼向して少なく共２個の磁気抵抗効
果素子を変位方向に対して直交する方向に並べて配置し
たことを％徴とするものである。
Ｋ、その変位方向に延在する少なく共２本の磁気記録ト
ラックを並設し、これら記録トラックには変位方向に見
て互いに位相をずらせて磁化パターンを形成し、これら
磁気記録トラックと灼向して少なく共２個の磁気抵抗効
果素子を変位方向に対して直交する方向に並べて配置し
たことを％徴とするものである。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第８図は本発明の変位量検出装置の一例の構成を示す平
面図である。本例においては磁気記録媒体１０に２本の
記録トラックｌｌａおよびｌｌｂを設け、これら記録ト
ラックに磁化パターンを、与いにそのピッチＰの半分だ
けずらして記録する。
面図である。本例においては磁気記録媒体１０に２本の
記録トラックｌｌａおよびｌｌｂを設け、これら記録ト
ラックに磁化パターンを、与いにそのピッチＰの半分だ
けずらして記録する。
これら記録トラックｌｌａおよび１１１）と対向して第
１および第２の強磁性磁気・抵抗効果素子１２ａおよび
１２ｂを、磁化パターンの配列方向、すなわち変位方向
に対して直交する方向に配置する。
１および第２の強磁性磁気・抵抗効果素子１２ａおよび
１２ｂを、磁化パターンの配列方向、すなわち変位方向
に対して直交する方向に配置する。
このような構成において磁気記録媒体１ｏが矢印で示す
方向に変位すると第１および第８のＭＲ素子１２ａおよ
び１１ｂＫ作用する磁界が変化し、この磁界の変化に応
答してこれらＭＲ素子の抵抗値Ｒは第４図にそれぞれ曲
線１８ａおよび１８ｂで示すよ５Ｋｆｆｉ化する。すな
わち、この抵抗０１Ｒの変化は互いに１８０°位相のず
れたものとなる。
方向に変位すると第１および第８のＭＲ素子１２ａおよ
び１１ｂＫ作用する磁界が変化し、この磁界の変化に応
答してこれらＭＲ素子の抵抗値Ｒは第４図にそれぞれ曲
線１８ａおよび１８ｂで示すよ５Ｋｆｆｉ化する。すな
わち、この抵抗０１Ｒの変化は互いに１８０°位相のず
れたものとなる。
したがってこれら第１および第２１７）ＭＲ素子１２ａ
および１２ｂの出力信号の差動を取ることにより第６図
において曲ｌ１１１４で示すような差動出力電圧が得ら
れることになる。本発明においては第１および第２のＭ
Ｒ素子１２ａおよび１２ｂは磁化パターンの配列方向す
なわち変位方向に対して直交する方向に並べられている
ため、検出が磁化パターンのピッチＰに依存することは
なくなり、ピッチＰの異なる磁化パターンに対しても磁
気センサは共通に用いることができる。
および１２ｂの出力信号の差動を取ることにより第６図
において曲ｌ１１１４で示すような差動出力電圧が得ら
れることになる。本発明においては第１および第２のＭ
Ｒ素子１２ａおよび１２ｂは磁化パターンの配列方向す
なわち変位方向に対して直交する方向に並べられている
ため、検出が磁化パターンのピッチＰに依存することは
なくなり、ピッチＰの異なる磁化パターンに対しても磁
気センサは共通に用いることができる。
第６図は本発明の変位量検出装置の変形例を示す斜視図
である。本例でも磁気記録媒体２ｏに２本の記録トラッ
ク２１ａおよび２１ｂを設け、これらトラックに矢印で
示す変位方向に見てピッチＰの号だけずらして磁化パタ
ーンを形成する点は前例と同様である。本例では変位方
向に対して直交する方向に磁気記録媒体２０に対して垂
直に延在する基板２１！上に４個のＭＲ素子２８ａ〜２
４ｂを設け、ＭＲ素千２８ａと２４＆と（７）間に絶縁
層２５ａｌｉ−介挿し、ＭＲ素子２ｄｂと２４ｂとの間
に絶縁層ｇ５ｂを介在させる。第６１ｉ！！Ｉでは図面
を明瞳とするためにＭＲ素子および絶縁層は匣く示しで
あるが、実際には著しく薄いものである。コれら４個（
７）ＭＲ素子！２１ａ、ｇ８ｂ、２４ａおよび２４ｉ）
を第７図に示すようにブリッジ回路に組み、ＭＲ素子２
８ａと２４ｋ）との接続点を電源上端子＋Ｅに接続し、
舅Ｒ素子２δｂと２傷ａとの接続点を電源負端子−Ｅに
接続し、ＭＲ素子２４ｉ）と２４＆の接続点を差動増幅
器２６の正入力端子に接続し、）ｌ［Ｒ素子２８＆と２
８ｂの接続点を差動増幅器２６の負入力端子に接続する
ことにより、出力端子２７に差動出力信号が得られるこ
とになる。本例ではＭＲ素子は磁気記録媒体２０の表面
に対して撫直に配置しであるが、勿論前列と同様に平行
に配置してもよい。
である。本例でも磁気記録媒体２ｏに２本の記録トラッ
ク２１ａおよび２１ｂを設け、これらトラックに矢印で
示す変位方向に見てピッチＰの号だけずらして磁化パタ
ーンを形成する点は前例と同様である。本例では変位方
向に対して直交する方向に磁気記録媒体２０に対して垂
直に延在する基板２１！上に４個のＭＲ素子２８ａ〜２
４ｂを設け、ＭＲ素千２８ａと２４＆と（７）間に絶縁
層２５ａｌｉ−介挿し、ＭＲ素子２ｄｂと２４ｂとの間
に絶縁層ｇ５ｂを介在させる。第６１ｉ！！Ｉでは図面
を明瞳とするためにＭＲ素子および絶縁層は匣く示しで
あるが、実際には著しく薄いものである。コれら４個（
７）ＭＲ素子！２１ａ、ｇ８ｂ、２４ａおよび２４ｉ）
を第７図に示すようにブリッジ回路に組み、ＭＲ素子２
８ａと２４ｋ）との接続点を電源上端子＋Ｅに接続し、
舅Ｒ素子２δｂと２傷ａとの接続点を電源負端子−Ｅに
接続し、ＭＲ素子２４ｉ）と２４＆の接続点を差動増幅
器２６の正入力端子に接続し、）ｌ［Ｒ素子２８＆と２
８ｂの接続点を差動増幅器２６の負入力端子に接続する
ことにより、出力端子２７に差動出力信号が得られるこ
とになる。本例ではＭＲ素子は磁気記録媒体２０の表面
に対して撫直に配置しであるが、勿論前列と同様に平行
に配置してもよい。
ト述した第６図に示す本発明の変位量検出装置の実施列
に用いる磁気センサの基板８１ｉはガラス板とし、ＭＲ
素子２８ａ、２８ｂ、２４ａ、２４ｂはＦｅ Ｎｉ合金
（パーマロイ）を約６００久の厚さに蒸着して形成し、
絶縁膜２５ａ、２５ｂは８１０、を１００θ〜２０００
Ａの厚さに蒸着して形成することができる。このように
磁気センサは蒸着により簡単に製作することができるの
で安価である。
に用いる磁気センサの基板８１ｉはガラス板とし、ＭＲ
素子２８ａ、２８ｂ、２４ａ、２４ｂはＦｅ Ｎｉ合金
（パーマロイ）を約６００久の厚さに蒸着して形成し、
絶縁膜２５ａ、２５ｂは８１０、を１００θ〜２０００
Ａの厚さに蒸着して形成することができる。このように
磁気センサは蒸着により簡単に製作することができるの
で安価である。
第８図および第９図は本発明の変位量検出装置に用いる
磁気記録媒体に記録した磁化パターンの変形例を示すも
のである。第８図に示す例においては磁気記録媒体８０
０２本の記録トラック８１ａおよび８１ｂＫピッチＰ１
． Ｐ、およびＰ、と異なる磁化パターンをそれぞれの
ピッチのしだけずらして記録する。また第９図に示す例
では磁気記録媒体４０の２本の記録トラック４１＆およ
び４１ｂＫピツチが徐々に変化するようＫして磁化■ パターンをピッチの４だけずらして記慟する。
磁気記録媒体に記録した磁化パターンの変形例を示すも
のである。第８図に示す例においては磁気記録媒体８０
０２本の記録トラック８１ａおよび８１ｂＫピッチＰ１
． Ｐ、およびＰ、と異なる磁化パターンをそれぞれの
ピッチのしだけずらして記録する。また第９図に示す例
では磁気記録媒体４０の２本の記録トラック４１＆およ
び４１ｂＫピツチが徐々に変化するようＫして磁化■ パターンをピッチの４だけずらして記慟する。
このように磁化パターンのピッチが変化した磁気記録媒
体は従来の磁気センサでは使用できなかったが、本発明
ではＭＲ素子を変位方向に対して直交する方向に並べて
配列するため用いることができる。このような磁気記録
媒体は、例えばＩＪ ニアエンコーグにおいて、変位の
途中で検出精度を変えるような場合に有効である。
体は従来の磁気センサでは使用できなかったが、本発明
ではＭＲ素子を変位方向に対して直交する方向に並べて
配列するため用いることができる。このような磁気記録
媒体は、例えばＩＪ ニアエンコーグにおいて、変位の
途中で検出精度を変えるような場合に有効である。
本発明は上述した例にのみ限定されるものではなく、幾
多の変形例が可能である。例えば上述した例ではリニア
エンコーグとして示したが、ロータリーエンコーダとし
て回転角を検出することもできる。また上述した例では
記録トラックを２本とし、磁化パターンをピッチの半分
だけずらして形成したが、３本以上の記録トラックを設
けることもできる。例えば４本の記録トラックを設け、
これらにベヒツチづつずらして磁化パターンを形成する
ことができる。この場合には４個または８個のＭＲ素子
をトラックの延在方向と直交する方向に並べて配置する
こともできる。さらに第６図に示す例ではＭＲ素子２８
ａ、２８ｂと２４＆。
多の変形例が可能である。例えば上述した例ではリニア
エンコーグとして示したが、ロータリーエンコーダとし
て回転角を検出することもできる。また上述した例では
記録トラックを２本とし、磁化パターンをピッチの半分
だけずらして形成したが、３本以上の記録トラックを設
けることもできる。例えば４本の記録トラックを設け、
これらにベヒツチづつずらして磁化パターンを形成する
ことができる。この場合には４個または８個のＭＲ素子
をトラックの延在方向と直交する方向に並べて配置する
こともできる。さらに第６図に示す例ではＭＲ素子２８
ａ、２８ｂと２４＆。
２４ｂとは一層して設けたが、これらを変位方向と直交
する方向に一列に並べて配電することもできる。この場
合には一方の記録トラック１ｌｌａの上方にＭＲ素子２
８ａと２４ａとを、変位方向と直交する方向に並べて配
列し、他方の記録トラック２１ｂの上方にＭＲ素子２８
ｂと２４ｂとを同様に並べて配列することがで會る。ま
た、上述した例では記録トラックは同じ磁気記録媒体上
に形成したが、それぞれ別個の磁気記録媒体上に形成し
ても良い。
する方向に一列に並べて配電することもできる。この場
合には一方の記録トラック１ｌｌａの上方にＭＲ素子２
８ａと２４ａとを、変位方向と直交する方向に並べて配
列し、他方の記録トラック２１ｂの上方にＭＲ素子２８
ｂと２４ｂとを同様に並べて配列することがで會る。ま
た、上述した例では記録トラックは同じ磁気記録媒体上
に形成したが、それぞれ別個の磁気記録媒体上に形成し
ても良い。
上述した本発明の変位量検出装置によれば、複数のＭＲ
素子を変位方向と直交する方向に配列させたため、磁気
記録媒体上に形成した磁化パターンのピンチのいかんに
拘らず検出が可能となり、したがってピッチの異なる磁
化パターンを有する穐々の磁気記録媒体に対して磁気セ
ンサを共通に使用することができ、またピッチの異なる
磁化パターンを有する磁気記録媒体も使用可能となる利
点が得られる。円筒または円板の側壁に磁気記録媒体を
設けたロータリーエンコーダに適用した場合、総てのＭ
Ｒ素子と磁気記録媒体との距離が郷しくなるため、総て
のＭＲ素子が受ける磁界の作用は均等となり、一層正確
な差動出力が得られ、したがって変位量をより正確に検
出することができる利点がある。また複数のＭＲ素子は
変位方向と直交する方向に配列されているため磁気セン
サの寸法を著しく小さくすることができる。
素子を変位方向と直交する方向に配列させたため、磁気
記録媒体上に形成した磁化パターンのピンチのいかんに
拘らず検出が可能となり、したがってピッチの異なる磁
化パターンを有する穐々の磁気記録媒体に対して磁気セ
ンサを共通に使用することができ、またピッチの異なる
磁化パターンを有する磁気記録媒体も使用可能となる利
点が得られる。円筒または円板の側壁に磁気記録媒体を
設けたロータリーエンコーダに適用した場合、総てのＭ
Ｒ素子と磁気記録媒体との距離が郷しくなるため、総て
のＭＲ素子が受ける磁界の作用は均等となり、一層正確
な差動出力が得られ、したがって変位量をより正確に検
出することができる利点がある。また複数のＭＲ素子は
変位方向と直交する方向に配列されているため磁気セン
サの寸法を著しく小さくすることができる。
第１図は従来の変位量検出装置の一例の構成を示す斜視
図、 第２図は同じくその磁気抵抗効果素子より成るブリッジ
回路を示す回路図、 第８図は本発明の変位量検出装置の一例の構成を示す平
面図、 第４図は同じくその磁気抵抗効果素子の抵抗値の便化を
示す波形図、 第５図は淋１じくその差動出力信号を示す波形図、第６
図は本発明の変位量検出装置の他の例の構成を示す斜視
図、 第７図は同じくその磁気抵抗効果素子により構成したブ
リッジ回路を示す回路図、 第８図および第９図は本発明の変位量検出装置に用いる
磁気記録媒体上の磁化パターンの他の例を示す平面図で
ある。 Ｎｏ、５！０．３０．４０・・・磁気記録媒体、１１ａ
、ｌｌｂ、２１ａ、２１ｂ、８１ａ、８１ｂ。 ４１ａ、４１ｂ・・・記録トラック、 １２ａ、１２ｂ、２３ａ、２８ｂ、２４ａ、２４ｂ−磁
気抵抗効果素子、 ２６ａ、２５ｂ・・・絶縁膜、２６・・・差動増幅器。 特許出願人 株式会社 コ パル 第１図 第２図 第３図 第４図 手続補正書 昭和５７年 ６ 月 ９ 日 １、事件の表示 昭和５７年特 許 願第３６６４０ 号２・発明の名称 変位量検出装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 株式会社 フ バ ル 図面中筒２図を別紙の通り訂正する。 （ｉＴ ｉｌ Ｌ；６ ” 第２図
図、 第２図は同じくその磁気抵抗効果素子より成るブリッジ
回路を示す回路図、 第８図は本発明の変位量検出装置の一例の構成を示す平
面図、 第４図は同じくその磁気抵抗効果素子の抵抗値の便化を
示す波形図、 第５図は淋１じくその差動出力信号を示す波形図、第６
図は本発明の変位量検出装置の他の例の構成を示す斜視
図、 第７図は同じくその磁気抵抗効果素子により構成したブ
リッジ回路を示す回路図、 第８図および第９図は本発明の変位量検出装置に用いる
磁気記録媒体上の磁化パターンの他の例を示す平面図で
ある。 Ｎｏ、５！０．３０．４０・・・磁気記録媒体、１１ａ
、ｌｌｂ、２１ａ、２１ｂ、８１ａ、８１ｂ。 ４１ａ、４１ｂ・・・記録トラック、 １２ａ、１２ｂ、２３ａ、２８ｂ、２４ａ、２４ｂ−磁
気抵抗効果素子、 ２６ａ、２５ｂ・・・絶縁膜、２６・・・差動増幅器。 特許出願人 株式会社 コ パル 第１図 第２図 第３図 第４図 手続補正書 昭和５７年 ６ 月 ９ 日 １、事件の表示 昭和５７年特 許 願第３６６４０ 号２・発明の名称 変位量検出装置 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 株式会社 フ バ ル 図面中筒２図を別紙の通り訂正する。 （ｉＴ ｉｌ Ｌ；６ ” 第２図
Claims (1)
- ｔ 所定の方向に変位する部材に、その変位方向に延在
する少なく共２本の磁気記録トラックを並設し、これら
記録トラックには変位方向に見て互いに位相をずらせて
磁化パターンを形成し、これら磁気記録トラックと対向
して少なく共２個の磁気抵抗効果素子を変位方向に対し
て直交する方向に並べて配置したこ□とを４Ｉ徴とする
変位量検出装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3664082A JPS58154612A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 変位量検出装置 |
| US06/473,250 US4616281A (en) | 1982-03-10 | 1983-03-08 | Displacement detecting apparatus comprising magnetoresistive elements |
| DE3308404A DE3308404C2 (de) | 1982-03-10 | 1983-03-09 | Vorrichtung zur Messung einer Relativverschiebung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3664082A JPS58154612A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 変位量検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58154612A true JPS58154612A (ja) | 1983-09-14 |
Family
ID=12475436
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3664082A Pending JPS58154612A (ja) | 1982-03-10 | 1982-03-10 | 変位量検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JPS58154612A (ja) |
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| US11444521B2 (en) | 2013-11-13 | 2022-09-13 | Brooks Automation Us, Llc | Sealed switched reluctance motor |
| US11799346B2 (en) | 2013-11-13 | 2023-10-24 | Brooks Automation Us, Llc | Sealed robot drive |
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