JPH1166311A - むら検査方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 むら欠陥を自動的に検査する。 【解決手段】 むら検査装置１０のコンピュータ１２
は、ＬＣＤ１の被検査面２である表示画面を撮像した撮
像装置１１からの画像信号をＡ／Ｄ変換するＡ／Ｄ変換
モジュール１３と、画像圧縮モジュール１４と、各画素
の輝度値で構成された曲線をスプライン関数で平坦化す
る平坦化モジュール１５と、平坦化された曲線のノイズ
を除去するノイズ除去モジュール１６と、ノイズ除去さ
れた曲線のむら欠陥部分を強調する強調化モジュール１
７と、強調化された曲線に閾値を設定しむら欠陥を判定
する欠陥判定モジュール１８とを備えている。 【効果】 ＬＣＤのむら検査を自動化して人間の目視検
査を省略することで、検査精度やＬＣＤの製造歩留りを
向上できる。一度の演算処理であらゆる大きさのむら欠
陥を検出できるため、検査時間を短縮できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、むら検査技術、特
に、被検査面上のむら（所々に濃い所や淡い所があって
一様でないこと。surface irregularity。）を高精度で
検査する技術に関し、例えば、液晶ディスプレイ（liqu
id crystal display。以下、ＬＣＤという。）の表示画
面のむらを検出して検査するのに利用して有効な技術に
関する。

【０００２】

【従来の技術】ＬＣＤの表示画面（以下、ＬＣＤ画面と
いう。）の欠陥の一つにむらに関する欠陥（以下、むら
欠陥という。）がある。このＬＣＤ画面のむら欠陥につ
いての検査作業の自動化は、次のような理由できわめて
困難である。ＬＣＤ画面の明るさは全体にわたって均一
ではなく、例えば、中央部が明るく周辺部が暗い傾向が
ある。他方、ＬＣＤ画面のむら欠陥は明るさの変化に相
当する。このため、明るさが均一でないＬＣＤ画面中に
おいて単に明るさの偏差値を比較するだけでは、むら欠
陥を抽出することができない。その結果、ＬＣＤ画面の
むら欠陥についての検査作業の自動化はきわめて困難に
なる。したがって、ＬＣＤ画面のむら欠陥についての検
査作業は、人間による目視検査作業によって実施されて
いるのが実情である。

【０００３】しかし、人間による目視検査作業には検査
員による検査精度のばらつきや、人件費を要する等の問
題点がある。そこで、波形処理のアルゴリズムうち周期
的信号抽出アルゴリズムである自己相関関数演算を利用
したむら検査装置が提案されている。このむら検査装置
は、ＬＣＤ画面の画像を取り込む画像取込みモジュール
と、取込み画像の輝度値によって構成されたデータ列に
自己相関関数演算を実行するモジュールと、自己相関関
数演算によって求められたデータ列に閾値が設定されむ
ら欠陥が判定される欠陥判定モジュールとを備えてい
る。自己相関関数演算モジュールにおいては、データ列
（波形信号に相当する。）の一点を中心に前後同数の点
（以下、窓という。）の輝度値が積算され、この窓群に
隣接する同数の窓群の輝度値が積算される。次いで、両
者の差が求められ、その差の値が前記中心点の値として
記憶される。以降、この処理が一点ずつずらされなが
ら、データ列について繰り返されて行く。そして、差の
値によってそれぞれ構成された各点が連続されてデータ
列（波形信号に相当する。）が再生される。この再生さ
れたデータ列においては、窓数に対応した大きさでの輝
度の変化が強調された状態になっているため、閾値を適
切に設定することにより、むら欠陥を判定することがで
きる。

【０００４】なお、前記した自己相関関数演算を利用し
たむら検査装置を述べてある例としては、株式会社テク
ノタイムズ社が平成８年５月１日に発行の「月刊ディス
プレイ５月号」Ｐ６９〜Ｐ７５、がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記したむら検査装置
においては、窓の数によって強調されるむらの大きさが
決まり、この窓の数は事前に指定する必要が有るため、
一回の演算によって強調することができるむらの大きさ
は限定されてしまう。そこで、例えば、大中小の窓数を
指定して自己相関関数演算を３回実施することにより、
３段階のむらの大きさを求める必要がある。このような
複数回の演算を同一の演算モジュールによって実施する
と、演算時間が長くなってしまう。演算時間を短くする
ためには、演算モジュールを並列に構成する必要が有る
ため、演算モジュールがきわめて高価格になってしま
う。

【０００６】本発明の目的は、効率よくむらを検査する
ことができるむら検査技術を提供することにある。

【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００９】すなわち、むら検査装置は、被検査面の画
像を取り込む画像取込みモジュールと、前記取込み画像
の輝度値によって構成されたデータ列をスプライン関数
によって平坦化する平坦化モジュールと、前記平坦化さ
れたデータ列のむら欠陥の部分を強調する強調モジュー
ルと、前記強調されたデータ列に閾値が設定されむら欠
陥が判定される欠陥判定モジュールとを備えている。

【００１０】前記した手段において、画像取込みモジュ
ールによって取り込まれた画像は輝度値のデータ列を構
成される。平坦化モジュールにおいて、輝度値のデータ
列に基づいてスプライン関数によって平坦化されたデー
タ列が求められる。強調モジュールにおいては平坦化さ
れたデータ列のうちむら欠陥部分が強調される。欠陥判
定モジュールにおいては、むら欠陥の部分を強調された
データ列に閾値が設定されむら欠陥が判定される。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施形態である
むら検査装置を示す模式図である。図２は同じくむら検
査方法を示す工程図である。図３以降はその作用を説明
するための説明図である。

【００１２】本実施形態において、本発明に係るむら検
査装置は、被検査面であるＬＣＤ画面のむら欠陥を検査
するむら検査装置１０として構成されている。被検査物
であるＬＣＤ１の第１主面には液晶の制御によって所望
の画像を映し出すための表示画面２が形成されており、
この表示画面２の輝度のむらがむら検査装置１０の検査
対象になる。本実施形態において、ＬＣＤ１の表示画面
（以下、被検査面という。）２は長方形に形成されてお
り、水平走査線方向（以下、Ｈ方向という。）Ｈの長さ
が垂直走査線方向（以下、Ｂ方向という。）Ｂの長さよ
りも長くなっている。

【００１３】むら検査装置１０は被検査面２の画像を取
り込むための撮像装置１１を備えている。撮像装置１１
はＣＣＤ（charge coupled device）カメラ等から構成
されており、被検査面２を正面から撮像するように配置
されている。撮像装置１１の出力端にはパーソナルコン
ピュータ（以下、コンピュータという。）１２が接続さ
れている。コンピュータ１２はＡ／Ｄ変換モジュール１
３、画像圧縮モジュール１４、平坦化モジュール１５、
ノイズ除去モジュール１６、強調化モジュール１７、欠
陥判定モジュール１８、出力モジュール１９を備えてお
り、これらのモジュールは後述する作用を実行するよう
に構成（プログラミング）されている。また、コンピュ
ータ１２にはモニタやプリンタ等の出力機器２０および
キーボードやマウス等の入力機器（図示せず）が接続さ
れている。

【００１４】以下、前記構成に係るむら検査装置１０に
よる本発明の一実施形態であるむら検査方法を図２に示
されている工程図に沿って説明する。

【００１５】本実施形態に係るむら検査方法の実施に際
して、被検査物であるＬＣＤ１の被検査面２は予め指定
された明るさおよびコントラストをもって駆動される。
この状態で、被検査面２はむら検査装置１０の撮像装置
１１によって正面から撮像される。撮像装置１１は撮像
した被検査面２の画像信号をコンピュータ１２に入力す
る。つまり、コンピュータ１２に被検査面２の画像が取
り込まれる。

【００１６】続いて、図２に示されているように、Ａ／
Ｄ変換工程２２において、取込み画像はコンピュータ１
２のＡ／Ｄ変換モジュール１３によってＡ／Ｄ変換され
る。すなわち、Ａ／Ｄ変換モジュール１３は撮像装置１
１からのアナログ画像信号を例えば２５６階調の輝度値
のデジタル信号に変換する。

【００１７】さらに、コンピュータ１２の画像圧縮モジ
ュール１４は図２に示されている画像圧縮工程２３を実
施する。例えば、画像圧縮工程２３は１画素（ピクセ
ル）置きに信号を間引くことにより実行される。

【００１８】ここで、図３（ａ）と（ｂ）、図４（ａ）
と（ｂ）は、被検査面の取込み画像（ａ）と、画素位置
・輝度値の三次元グラフ（ｂ）との関係を示しており、
図３は良品の場合を、図４は不良品の場合をそれぞれ示
している。すなわち、図３（ａ）は良品被検査面の取込
み画像（以下、良品画像という。）３０を示しており、
図４（ａ）は不良品被検査面の取込み画像（以下、不良
品画像という。）４０を示している。図３（ｂ）は良品
画像３０の画素位置・輝度値の三次元グラフ（以下、良
品画像曲面という。）３１を示しており、図４（ｂ）は
不良品画像４０の画素位置・輝度値の三次元グラフ（以
下、不良品画像曲面という。）４１を示している。図３
（ｂ）および図４（ｂ）において、三次元座標軸のＸ軸
には取込み画像のＨ方向の画素位置が取られ、Ｙ軸には
取込み画像のＹ方向の画素位置が取られ、Ｚ軸には輝度
値が取られている。輝度値は２５６階調で示されてお
り、単位はない。図４（ｂ）に示された不良品画像曲面
４１の例では、座標位置（Ｈ₃₄、Ｂ₂₂) を含む領域にむ
ら欠陥Ｓがある。

【００１９】ところで、明るさが均一でないＬＣＤ画面
中において単に明るさの偏差値を比較するだけでは、む
ら欠陥を抽出することができないことは前述した。これ
を図３および図４について説明すると、次の通りであ
る。図３（ａ）に示された良品画像３０においては、向
かって右側端部が全体的に暗くなっている。これに対し
て、図４（ａ）に示された不良品画像４０においては、
明るさ（輝度）が全体的に均一になっている。したがっ
て、単に明るさの偏差値の比較だけで良品不良品を判定
すると、図３（ａ）が不良品、図４（ａ）が良品と誤判
定されてしまう。

【００２０】ところが、図３（ｂ）に示された良品画像
曲面３１においては、輝度値の最大差の値は大きいが、
全体にわたって連続的（所謂傾斜的）に変化しているた
め、人間の目視観察によれば、むら欠陥はないと判定さ
れる。これに対して、図４（ｂ）に示された不良品画像
曲面４１においては、輝度値の最大差の値は小さいが、
輝度値が局所的に変化する場所が人間の目視観察によれ
ば、むら欠陥Ｓとして判定される。

【００２１】図５はＨ方向の画素位置と輝度値との関係
を示したデータ列（曲線）であり、（ａ）は良品と判定
される場合を、（ｂ）は不良品と判定される場合をそれ
ぞれ示している。図５において、縦軸には輝度が取ら
れ、横軸にはＨ方向の画素の座標が取られている。つま
り、図５の曲線は取込み画像のＨ方向の各画素の輝度値
によって構成されたデータ列に相当する。図５（ａ）に
示された良品曲線３２において、輝度値の最大差の値Ｄ
₁ は大きいが、全体にわたって連続的に変化している。
これに対し、図５（ｂ）に示された不良品曲線４２にお
いては、輝度値の最大差の値Ｄ₂ は良品曲線３２の最大
差の値Ｄ₁ よりも小さい。また、不良品曲線４２におい
て、人間の目視観察によればむら欠陥Ｓと判定される座
標値Ｈ₃₄を含む領域の輝度値の差の値Ｄ₃ は、最大差の
値Ｄ₂ よりも小さい。

【００２２】今、輝度値の差の値によってむら欠陥を抽
出するために、閾値を仮に不良品曲線４２における最大
差の値Ｄ₂ に設定したと仮定すると、Ｄ₁ ＞Ｄ₂ 、であ
るから、図５（ａ）の良品曲線３２はむら欠陥が無いと
判定される。しかしながら、Ｄ₂ ＞Ｄ₃ であるから、図
５（ｂ）のむら欠陥Ｓを見逃してしまう。そこで、輝度
値と画素列との関係曲線（データ列）において、輝度値
の連続的な変化を取り除いて、むら欠陥Ｓの局所的な輝
度値の変化を残す必要がある。

【００２３】そこで、本実施形態においては、図２に示
されている平坦化工程２４において輝度値と画素列との
関係曲線に対して平坦化処理が実施される。すなわち、
コンピュータ１２の平坦化モジュール１５は、次に示さ
れている数式１を使用して、輝度値と画素列との関係曲
線に対して平坦化処理を図６に示されているように実施
する。この平坦化処理によって、例えば、図４（ｂ）に
示された不良品画像曲面４１を平坦化した三次元グラフ
（以下、平坦化曲面という。）４７が図７に示されてい
るように仮想的に作成されることになる。

【００２４】

【数１】

【００２５】数式１は平坦化スプライン関数の評価関数
であり、ここでは、σを最小にする平滑化曲線ｆ（Ｘ）
を求める。数式１中、ｘｉは観測点のＸ軸の座標値であ
り、ここでは、図６（ａ）の各観測点４３のＸ座標値で
あって、画素位置に相当する。ｙｉは観測点のＹ軸の座
標値であり、ここでは、図６（ａ）の各観測点４３のＹ
座標値であって、輝度値に相当する。Ｗｉは重みであ
り、観測点の値毎に設定することができるが、ここで
は、全て「１．０」に設定した。ｇは平滑化パラメータ
であり、ｇが小であると、観測点を正確に追従すること
ができ、ｇが大であると、振動が少ない滑らかな曲線が
得られる。ここでは、ｇは「５０．０」に設定した。数
式１の右辺の後段は任意の区間で区切られた範囲の積分
値である。したがって、ａ〜ｂの範囲はその区切られた
範囲である。

【００２６】なお、スプライン曲線（spline curve ）
は特定の連続性の条件を満たすように接続した曲線分の
集まりとして定義付けされる曲線である。スプライン関
数とは節点と節点との間では一つの多項式が与えられ、
異なった節点間にはそれぞれ一つの多項式が対応して、
かつ、多項式と多項式との結び目である節点では滑らか
な区分的多項式関数であり、ここでは、（２Ｍ−１）次
の自然スプライン曲線の差分商を用いることによって、
図６（ｂ）に示されている平滑化曲線４４の関数値ｆ
（Ｘ）を求める。

【００２７】図６（ａ）は図５（ｂ）に示された不良品
曲線４２の観測点４３を示しており、図６（ｂ）はその
観測点４３に基づいて数式１によって求めた平滑化曲線
４４を示している。図６（ｃ）は各観測点４３の平滑化
曲線４４との偏差値４５を各観測点４３毎に取ってグラ
フにした平坦化曲線４６を示している。この平坦化曲線
４６によれば、輝度値と画素列との関係曲線である不良
品曲線４２において、輝度値の連続的な変化が取り除か
れて、むら欠陥Ｓの局所的な変化が残されたことが、理
解される。

【００２８】この平坦化処理が図４（ｂ）に示された不
良品画像曲面４１における全ての不良品曲線４２につい
てそれぞれ実行されることにより、図７に示されている
平坦化曲面４７が仮想的に作成されることになる。

【００２９】以上のようにして平坦化された平坦化曲面
４７にはノイズ４８が図７に示されているように混入し
ているため、このままではむら欠陥Ｓを自動的に認識す
るのは困難である。

【００３０】そこで、本実施形態においては、ノイズ４
８が混入した平坦化曲面４７に対してノイズ除去処理
が、図２に示されているノイズ除去工程２５において実
施される。すなわち、コンピュータ１２のノイズ除去モ
ジュール１６は、次に示されている数式２を使用して、
空間フィルタリング（space filtering ) を実施する。
この空間フィルタリングによって、例えば、図７に示さ
れた平坦化曲面４７のノイズ４８を除去した平滑化曲面
４９が、図８に示されているように仮想的に作成される
ことになる。

【００３１】

【数２】

【００３２】空間フィルタリングとは、画像空間または
空間周波数領域において入力画像に何らかのフィルタ関
数を当てはめて改良された画像を得る技術をいう。デジ
タル処理において、画像空間のフィルタリングは局所的
な積和演算（畳み込み）によって実行され、一般的に、
ｎ×ｎのマトリクスの演算子（オペレータ）が畳み込み
関数として使用される。数式２中、ｆは入力画像、ｇは
空間フィルタリング後の出力画像、ｈはフィルタ関数で
ある。ここでは、フィルタ関数ｈとして、次の表１の
「３×３」のマトリクス演算子が使用される。図８に示
されている平滑化曲面４９は、次の表１のうちスムージ
ングが演算子として使用された場合の一例である。

【００３３】

【表１】

【００３４】以上のようにしてノイズ除去された平滑化
曲面４９であっても、むら欠陥Ｓは平滑化曲面４９の変
化の中に埋もれてしまうため、このままではむら欠陥Ｓ
を自動的に認識するのは困難である。

【００３５】そこで、本実施形態においては、図２に示
されている強調化工程２６において平滑化曲面４９に対
して強調化処理が実施される。すなわち、コンピュータ
１２の強調化モジュール１７は次に示されている数式３
を使用して、強調化処理を実施する。この強調化処理に
よって、例えば、図８に示された平滑化曲面４９のむら
欠陥Ｓの部分が強調された強調化曲面５０が図９（ａ）
に示されているように仮想的に作成されることになる。

【００３６】数式３ ｙ＝ａ^x

【００３７】数式３は指数関数であり、ａ＞１のとき、
ｘの値が大きくなるにつれて、ｙの増加率が大きくなる
という特徴がある。この指数関数の特徴を利用するた
め、本実施形態においては、次の処理が実行される。

【００３８】例えば、図９（ｂ）に示されているよう
に、平滑化された平滑化曲線５１の偏差値データについ
ての平均値５２が求められる。各観測点ｘｉの平均値５
２との偏差値５３がそれぞれ求められる。求められた各
観測点ｘｉの偏差値５３が、数式３のｘの値に代入され
る。ここで、数式３において、ａとしては「１．６５」
が、むら欠陥Ｓを強調化するのに最適値であることが、
コンピュータによる模擬実験によって明らかにされた。

【００３９】以上のようにして求められた強調化曲面５
０に関するデータは欠陥判定モジュール１８に送られ
る。欠陥判定モジュール１８は予め設定された閾値と、
強調化曲面５０に関するデータとを比較する。欠陥判定
モジュール１８は閾値を超える部分がある場合には、む
ら欠陥が有ると判定し、全てのデータが閾値以下である
場合には、むら欠陥は無く、良品であると判定する。

【００４０】本実施形態においては、強調化曲面５０に
おいてむら欠陥Ｓがきわめて強調されているため、むら
欠陥判定のための閾値を図９（ａ）に示されている閾値
５４のように大きく設定しても、むら欠陥Ｓを見逃すこ
とはない。他面、大きな閾値５４を設定することによ
り、ノイズや連続的な輝度の変化をむら欠陥であると、
誤判定するのを確実に回避することができる。

【００４１】欠陥判定モジュール１８による欠陥判定工
程２７の判定結果は、図２に示されている判定結果出力
工程２８を実施する出力モジュール１９に送られる。出
力モジュール１９はモニタやプリンタ等の出力機器２０
に判定結果を被検査物である各ＬＣＤ１に対応させて表
示させる。例えば、むら欠陥が有りと判定された場合に
は、図９（ａ）の強調化曲面５０に閾値５４を適用して
得られる画像がモニタやプリンタ等の出力機器２０に表
示される。この表示により、不良品と判定されたＬＣＤ
の被検査面におけるどの位置にどの程度の大きさのむら
欠陥が有るのかを、作業者は認識することができる。

【００４２】前記実施形態によれば次の効果が得られ
る。 （１） ＬＣＤの被検査面の取込み画像データをスプラ
イン関数によって平坦化することにより、人間の目視検
査によってむら欠陥と判定されない輝度値の連続的な変
化を取り除いて、むら欠陥の局所的な輝度値の変化を残
すことができるため、ＬＣＤの被検査面に対するむら検
査を自動化することができる。

【００４３】（２） 人間の目視検査を省略することに
より、検査精度のばらつきや人為的ミスを排除すること
ができ、また、人件費を低減することができるため、製
造コストを低減しつつ、ＬＣＤの製造歩留りを高めるこ
とができる。

【００４４】（３） 一度の演算処理によってあらゆる
大きさのむら欠陥を検出して検査することができるた
め、検査時間を短縮することができる。

【００４５】（４） 自己相関関数演算を利用したむら
検査装置のようにむらの大きさに対応するのに同種の演
算処理を何回も繰り返さなくて済むため、当該むら検査
装置に比べて検査時間を短縮することができるととも
に、処理量の軽減によりむら検査装置のコストを低減す
ることができる。

【００４６】（５） ＬＣＤの被検査面の取込み画像デ
ータをスプライン関数によって平坦化することにより、
大局的な明るさの変動を除去することができるため、被
検査面に対する照明のばらつきや変動等の外部環境の影
響を受けずに、検査精度を高めることができる。

【００４７】（６） 平坦化後に強調化処理を実行する
ことにより、むら欠陥の部分を強調することができるた
め、閾値を大きく設定することができ、欠陥判定精度を
より一層高めることができる。

【００４８】（７） 取込み画像を圧縮することによ
り、演算処理を軽減することができるため、検査時間を
より一層短縮することができる。

【００４９】（８） 平坦化後にノイズ除去することに
より、ノイズの影響を回避することができるため、検査
精度をより一層高めることができる。

【００５０】以上本発明者によってなされた発明を実施
形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施形
態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範
囲で種々変更可能であることはいうまでもない。

【００５１】例えば、強調化工程は、指数関数を使用し
て実施するに限らず、数式２に表１のラプラシアンを演
算子として使用して実施してもよい。

【００５２】画像圧縮工程は、信号を一つ置きに間引く
手段によって実施するに限らず、他の圧縮手段によって
実施してもよいし、省略してもよい。

【００５３】ノイズ除去工程は、数式２の演算子にスム
ージングを使用するに限らず、他の演算子を使用しても
よいし、空間フィルタリング以外のノイズ除去手段を使
用してもよい。また、ノイズ除去工程は省略してもよ
い。

【００５４】撮像装置としては、エリアセンサを使用す
るに限らず、ラインセンサや撮像管等を使用することが
できる。

【００５５】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるＬＣＤ
のむら検査技術に適用した場合について説明したが、そ
れに限定されるものではなく、ＣＲＴやプラズマ・ディ
スプレイの画面、シャドウマスク、スクリーン、感光フ
ィルムや偏光フィルム、プリント配線基板、さらには、
メッキむらや塗装むら等のむら検査技術全般に適用する
ことができる。

【００５６】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００５７】被検査面の取込み画像データをスプライン
関数によって平坦化することにより、人間の目視検査に
よってむら欠陥と判定されない輝度値の連続的な変化を
取り除いて、むら欠陥の局所的な輝度値の変化を残すこ
とができるため、被検査面に対するむら検査を自動化す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態であるむら検査装置を示す
模式図である。

【図２】同じくむら検査方法を示す工程図である。

【図３】（ａ）は良品被検査面の取込み画像の画面図で
あり、（ｂ）はその画素位置・輝度値の三次元グラフで
ある。

【図４】（ａ）は不良品被検査面の取込み画像の画面図
であり、（ｂ）はその画素位置・輝度値の三次元グラフ
である。

【図５】画素位置と輝度値との関係を示したグラフであ
り、（ａ）は良品と判定される場合を、（ｂ）は不良品
と判定される場合をそれぞれ示している。

【図６】平坦化工程を説明するための線図であり、
（ａ）は図５（ｂ）に示された不良品曲線の観測点を示
し、（ｂ）はその観測点に基づいて求めた平滑化曲線を
示し、（ｃ）は各観測点の平滑化曲線との偏差値を各観
測点４３毎に取った平坦化曲線を示している。

【図７】平坦化工程によって得られる平坦化曲面を示す
三次元グラフである。

【図８】ノイズ除去工程によって得られる平滑化曲面を
示す三次元グラフである。

【図９】（ａ）は強調化工程によって得られる強調化曲
面を示す三次元グラフ、（ｂ）は強調化処理を説明する
ためのグラフである。

【符号の説明】

１…ＬＣＤ（被検査物）、２…被検査面、Ｓ…むら欠
陥、１０…むら検査装置、１１…撮像装置、１２…コン
ピュータ、１３…Ａ／Ｄ変換モジュール、１４…画像圧
縮モジュール、１５…平坦化モジュール、１６…ノイズ
除去モジュール、１７…強調化モジュール、１８…欠陥
判定モジュール、１９…出力モジュール、２０…出力機
器、２１…画像取込み工程、２２…Ａ／Ｄ変換工程、２
３…画像圧縮工程、２４…平坦化工程、２５…ノイズ除
去工程、２６…強調化工程、２７…欠陥判定工程、２８
…判定結果出力工程、３０…良品被検査面の取込み画像
（良品画像）、３１…良品画像曲面、３２…良品曲線、
４０…不良品被検査面の取込み画像（不良品画像）、４
１…不良品画像曲面、４２…不良品曲線、４３…観測
点、４４…平滑化曲線、４５…偏差値、４６…平坦化曲
線、４７…平坦化曲面、４８…ノイズ、４９…平滑化曲
面、５０…強調化曲面、５１…平滑化曲線、５２…平均
値、５３…偏差値、５４…閾値。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 矢口 博之 東京都千代田区神田錦町２の２ 学校法人 東京電機大学内

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被検査面の画像を取り込む画像取込み工
   程と、 前記取込み画像の輝度値によって構成されたデータ列を
   スプライン関数によって平坦化する平坦化工程と、 前記平坦化されたデータ列のむら欠陥の部分を強調する
   強調化工程と、 前記強調化されたデータ列に閾値が設定されむら欠陥が
   判定される欠陥判定工程と、 を備えていることを特徴とするむら検査方法。
2. 【請求項２】 前記取込み画像信号を圧縮することを特
   徴とする請求項１に記載のむら検査方法。
3. 【請求項３】 前記平坦化されたデータ列のノイズが除
   去されることを特徴とする請求項１または２に記載のむ
   ら検査方法。
4. 【請求項４】 前記平坦化されたデータ列のノイズが空
   間フィルタリングによって除去されることを特徴とする
   請求項３に記載のむら検査方法。
5. 【請求項５】 前記平坦化されたデータ列が指数関数に
   よって強調されることを特徴とする請求項１、２、３ま
   たは４に記載のむら検査方法。
6. 【請求項６】 被検査面の画像を取り込む画像取込みモ
   ジュールと、 前記取込み画像の輝度値によって構成されたデータ列を
   スプライン関数によって平坦化する平坦化モジュール
   と、 前記平坦化されたデータ列のむら欠陥部分を強調する強
   調化モジュールと、 前記強調されたデータ列に閾値が設定されむら欠陥が判
   定される欠陥判定モジュールと、 を備えていることを特徴とするむら検査装置。
7. 【請求項７】 前記取込み画像信号を圧縮する画像圧縮
   モジュールを備えていることを特徴とする請求項６に記
   載のむら検査装置。
8. 【請求項８】 前記平坦化されたデータ列のノイズを除
   去するノイズ除去モジュールを備えていることを特徴と
   する請求項６または７に記載のむら検査装置。
9. 【請求項９】 前記平坦化されたデータ列のノイズを空
   間フィルタリングによって除去することを特徴とする請
   求項８に記載のむら検査装置。
10. 【請求項１０】 前記平坦化されたデータ列を指数関数
    によって強調することを特徴とする請求項６、７、８ま
    たは９に記載のむら検査装置。