Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPH11274280A - ワーク用バキュームチャック装置 - Google Patents

ワーク用バキュームチャック装置

Info

Publication number
JPH11274280A
JPH11274280A JP9236498A JP9236498A JPH11274280A JP H11274280 A JPH11274280 A JP H11274280A JP 9236498 A JP9236498 A JP 9236498A JP 9236498 A JP9236498 A JP 9236498A JP H11274280 A JPH11274280 A JP H11274280A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chuck
work
vacuum
barrier groove
suction hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9236498A
Other languages
English (en)
Inventor
Shunji Hakomori
守 駿 二 箱
Shiro Furusawa
澤 四 郎 古
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SpeedFam Co Ltd
Original Assignee
SpeedFam Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SpeedFam Co Ltd filed Critical SpeedFam Co Ltd
Priority to JP9236498A priority Critical patent/JPH11274280A/ja
Publication of JPH11274280A publication Critical patent/JPH11274280A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークとチャック面との間の隙間を通じて該
チャック面の外周部分から研磨材スラリーが吸着孔に吸
引されるのを防止する。 【解決手段】 ワークWをバキュームチャックするため
の吸着孔6を備えたチャックヘッド3のチャック面3a
に、上記吸着孔6の外周を取り囲むように、該吸着孔6
とチャック面3aの外周との間を遮断する遮断用液体を
充填するための環状のバリヤ溝7を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや磁
気ディスク基板、ガラス基板、その他のセラミック基板
のような各種ワークに研磨や洗浄等の処理を施す際に該
ワークをバキュームチャックする、ワーク用バキューム
チャック装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば、半導体ウエハの外周の面取り加
工されたエッジを研磨するエッジポリッシャにおいて
は、図7に示すように、チャック装置が傾動自在且つ回
転自在のチャックヘッド20を備えていて、該チャック
ヘッド20の上面のチャック面20aにウエハWをバキ
ュームチャックし、該ウエハWを回転させながらそのエ
ッジを回転する研磨ドラム21に押し付けて、ノズル2
2から研磨材スラリーを供給しながら研磨するように構
成されている。
【0003】上記チャックヘッド20のチャック面20
aには、図8及び図9から明らかなように、貼り付けら
れたパッド23を貫通するように複数の吸着孔24が設
けられ、この吸着孔24がチャックヘッド20及び支軸
25に設けられた通孔26を通じて吸引ポンプに接続さ
れており、上記吸着孔24によってウエハWがチャック
面20aに真空吸着されるようになっている。
【0004】ところが、吸着時にウエハWはチャック面
20aに完全に密着しているわけではなく、それらの間
に微小な隙間が形成されることが多い。そして、その隙
間を通じてチャック面20aの外周部分から研磨材スラ
リーがエアと共に僅かずつ吸着孔24に吸引されるた
め、スラリー中の砥粒がチャック面20a、特に吸着孔
24のエッジの部分に付着し、該ウエハに吸着孔24の
形をした吸着痕を付けたり、乾燥して固着した砥粒がウ
エハ表面を傷付けたりするおそれがある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、チャック面に設けた吸着孔によってワークをバキュ
ームチャックする構成のバキュームチャック装置におい
て、ワークとチャック面との間の隙間を通じて該チャッ
ク面の外周部分から研磨材スラリーが吸着孔に吸引され
るのを防止することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明によれば、ワークをバキュームチャックする
ための吸着孔を備えたチャックヘッドのワークチャック
面に、上記吸着孔の外周を取り囲むように、該吸着孔と
チャック面外周との間を遮断する遮断用流体を充填する
ための環状のバリヤ溝を形成したことを特徴とするワー
ク用バキュームチャック装置が提供される。
【0007】このバキュームチャック装置においては、
バリヤ溝に充満した流体が吸着孔とチャック面外周との
間の連通を遮断するため、ワークとチャック面との間の
隙間を通じてチャック面の外周部分から研磨材スラリー
とエアとが吸い込まれることがなく、従って、スラリー
中の砥粒がチャック面や吸着孔のエッジの部分に付着す
ることがないため、ワークが汚染されて吸着痕が付いた
り、固着した砥粒で表面が傷付けられたりすることがな
い。
【0008】本発明の具体的な実施形態においては、上
記吸着孔が吸引ポンプと液体源とに選択的に接続可能と
なっていて、液体源から該吸着孔に供給された液体がチ
ャック面を通して上記バリヤ溝に供給されるように構成
されている。
【0009】また、本発明によれば、ワークをバキュー
ムチャックするための吸着孔を備えたチャックヘッドの
ワークチャック面に、上記吸着孔の外周を取り囲む環状
のバリヤ溝を形成し、該バリヤ溝をチャック面以外の部
分において外部に開放したことを特徴とするワーク用バ
キュームチャック装置が提供される。
【0010】このバキュームチャック装置においては、
ワークとチャック面との間の隙間を通じて上記バリヤ溝
からエアが吸引されるが、該バリヤ溝から研磨材スラリ
ーは吸い込まれることがない。従って、スラリー中の砥
粒がチャック面や吸着孔のエッジの部分に付着すること
がなく、ワークが汚染されたり傷付けられることもな
い。
【0011】上記バリヤ溝は、研磨材スラリーが侵入し
にくいチャックヘッドの下面において外部に開放してい
ることが望ましい。
【0012】
【発明の実施の形態】図1及び図2は本発明に係るバキ
ュームチャック装置の第1実施例を示すもので、このバ
キュームチャック装置1Aは、図示しない装置主体部に
取り付けられて傾動自在且つ回転自在の支軸2の先端
に、円形のチャックヘッド3を備えている。このチャッ
クヘッド3は、その上端にパッド4が貼着されたチャッ
ク面3aを有し、このチャック面3aには、ワークWを
真空吸着するための複数の吸着孔6が環状に配列して設
けられると共に、これらの吸着孔6の外周を取り囲むよ
うに円環状のバリヤ溝7aが設けられている。
【0013】上記各吸着孔6は、支軸2からチャックヘ
ッド3の中央部に向けて延びる通孔8と、流路切換用の
バルブ9とを通じて、吸引ポンプ10と液体源11とに
選択的に接続可能となっており、未処理ワークをチャッ
クするときは吸引ポンプ10に接続されて該ワークを吸
着し、処理済みのワークを取り出すときは液体源11に
接続され、この液体源11から供給される純水等の液体
によりワークWをチャック面3aから剥離させるように
構成されている。そして、そのとき吸着孔6から流出す
る液体がチャック面3aを通って上記バリヤ溝7aに供
給されるようになっている。
【0014】上記バリヤ溝7aは、充填した液体によっ
て吸着孔6とチャック面3aの外周部分との間を遮断す
るもので、ワークWをバキュームチャックした際に、該
ワークWとチャック面3aとの間の隙間を通じてチャッ
ク面3aの外周部分から研磨材スラリーとエアとが吸着
孔6に吸引されるのを防止するものである。
【0015】なお、上記バリヤ溝7aは、チャックヘッ
ド3及び支軸2に形成した専用の流路を通じて上記液体
源11に接続しても良い。
【0016】かくしてチャック面3aにバリヤ溝7aを
形成し、このバリヤ溝7aに液体を充満させた状態でワ
ークWをバキュームチャックすることにより、ワークW
とチャック面3aとの間の隙間を通じてチャック面3a
の外周部分から研磨材スラリーとエアとが吸い込まれる
のを確実に防止することができ、これにより、スラリー
中の砥粒がチャック面3aや吸着孔6のエッジの部分に
付着することがなくるため、付着した砥粒によってワー
クが汚染されて吸着痕が付いたり、乾燥した砥粒でワー
ク表面が傷付けられたりすることがない。
【0017】図3は本発明に係るバキュームチャック装
置の第2実施例を示すもので、このバキュームチャック
装置1Bが第1実施例のバキュームチャック装置1Aと
相違する点は、液体充填用のバリヤ溝7aを設ける代わ
りに、外部に開放するバリヤ溝7bを設けたことであ
る。即ち、チャックヘッド3のチャック面3aに、吸着
孔6を取り囲むように円環状のバリヤ溝7bが形成さ
れ、このバリヤ溝7bが、チャックヘッド3の下面の適
宜位置に設けた1つ又は複数の通孔13によって外部に
開放せしめられている。この通孔13は、チャック面3
a以外の研磨材スラリーが流入しにくい場所であればど
こに設けても良い。
【0018】なお、上記の相違点以外の構成は実質的に
第1実施例と同じであるから、同一構成部分には第1実
施例と同じ符号を付してその説明は省略する。
【0019】この第2実施例のバキュームチャック装置
は、上記バリヤ溝7bでワークWとチャック面3aとの
間の隙間の途中を外部に開放することにより、このバリ
ヤ溝7bから隙間内にエアが吸い込まれるようにして、
チャック面3aの外周から研磨材スラリーとエアとが吸
い込まれるのを防止するものである。この場合、上記バ
リヤ溝7bには研磨材スラリーが流入しないため、この
バリヤ溝7bを通じて隙間内へ研磨材スラリーが吸い込
まれることはなく、従って、スラリー中の砥粒がチャッ
ク面3aや吸着孔6のエッジの部分に付着しないため、
ワークが汚染されたり傷付けられたりすることがない。
【0020】図4及び図5は本発明に係るバキュームチ
ャック装置の第3実施例を示すもので、このバキューム
チャック装置1Cは、チャックヘッド3のワークチャッ
ク面3aに円環状をした複数の吸着孔6a,6bを同心
円状に形成し、内外の吸着孔6a,6bを連通孔14で
中央の通孔8に連通したもので、最外側の吸着孔6aの
回りを取り囲むように、遮断用液体を充填するためのバ
リヤ溝7aが形成されている。上記吸着孔は1つでも良
い。この第3実施例のその他の構成及び作用は上記第1
実施例と実質的に同じであるため、同一構成部分に第1
実施例と同じ符号を付してその説明は省略する。
【0021】図6は本発明に係るバキュームチャック装
置の第4実施例を示すもので、この第4実施例のバキュ
ームチャック装置1Dが上記第3実施例と相違するの
は、遮断用液体を充填するためのバリヤ溝7aに代え
て、通孔13により外部に開放するバリヤ溝7bを形成
した点であり、その他の構成は第3実施例と実質的に同
じである。なお、上記外部に開放するバリヤ溝7bの作
用は上記第2実施例で説明した通りであるため、ここで
の再度の説明は省略する。
【0022】
【発明の効果】このように本発明によれば、チャック面
に吸着孔を取り囲むように形成したバリヤ溝により、ワ
ークと該チャック面との間の隙間を通じて研磨材スラリ
ーが外周部分から吸着孔に吸引されるの確実に防止する
ことができ、このため、スラリー中の砥粒がチャック面
や吸着孔のエッジの部分に付着することがなく、付着し
た砥粒によってワークが汚染されたり傷付けられたりす
ることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るバキュームチャック装置の第1実
施例を示す断面図である。
【図2】図1におけるチャックヘッドの平面図である。
【図3】本発明に係るバキュームチャック装置の第2実
施例を示す断面図である。
【図4】本発明に係るバキュームチャック装置の第3実
施例を示す断面図である。
【図5】図4の平面図である。
【図6】本発明に係るバキュームチャック装置の第4実
施例を示す断面図である。
【図7】従来のバキュームチャック装置の側面図であ
る。
【図8】従来のチャックヘッドの平面図である。
【図9】図5のチャックヘッドの要部拡大断面図であ
る。
【符号の説明】
W ワーク 1A,1B,1C,1
D チャック装置 3 チャックヘッド 3a チャック面 6,6a,6b 吸着孔 7a,7b バリヤ溝 10 吸引ポンプ 11 液体源 13 通孔

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ワークをバキュームチャックするための吸
    着孔を備えたチャックヘッドのワークチャック面に、上
    記吸着孔の外周を取り囲むように、該吸着孔とチャック
    面外周との間を遮断する遮断用液体を充填するための環
    状のバリヤ溝を形成したことを特徴とするワーク用バキ
    ュームチャック装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載のバキュームチャック装置
    において、上記吸着孔が吸引ポンプと液体源とに選択的
    に接続可能となっていて、液体源から該吸着孔に供給さ
    れた液体がチャック面を通して上記バリヤ溝に供給され
    る構成であることを特徴とするするもの。
  3. 【請求項3】ワークをバキュームチャックするための吸
    着孔を備えたチャックヘッドのワークチャック面に、上
    記吸着孔の外周を取り囲む環状のバリヤ溝を形成し、該
    バリヤ溝をチャック面以外の部分において外部に開放し
    たことを特徴とするワーク用バキュームチャック装置。
  4. 【請求項4】請求項3に記載のバキュームチャック装置
    において、上記バリヤ溝が、チャックヘッドの下面にお
    いて外部に開放していることを特徴とするするもの。
JP9236498A 1998-03-20 1998-03-20 ワーク用バキュームチャック装置 Pending JPH11274280A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9236498A JPH11274280A (ja) 1998-03-20 1998-03-20 ワーク用バキュームチャック装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9236498A JPH11274280A (ja) 1998-03-20 1998-03-20 ワーク用バキュームチャック装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11274280A true JPH11274280A (ja) 1999-10-08

Family

ID=14052369

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9236498A Pending JPH11274280A (ja) 1998-03-20 1998-03-20 ワーク用バキュームチャック装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11274280A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100375984B1 (ko) * 2001-03-06 2003-03-15 삼성전자주식회사 플레이트 어셈블리 및 이를 갖는 가공 장치
WO2014152977A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-25 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for wafer chucking on a susceptor for ald
JP2016152303A (ja) * 2015-02-17 2016-08-22 株式会社東京精密 ウエハの受け渡し装置及び方法
KR20170013996A (ko) * 2014-06-06 2017-02-07 에이씨엠 리서치 (상하이) 인코포레이티드 웨이퍼의 배면측의 에지 상의 막을 제거하는 장치 및 방법
CN108147652A (zh) * 2018-01-18 2018-06-12 广东猎奇高科技股份有限公司 一种手机镜头用玻璃的加工装置及其加工工艺
JP2023015011A (ja) * 2021-07-19 2023-01-31 セメス カンパニー,リミテッド 支持ユニット及びこれを含む基板処理装置

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100375984B1 (ko) * 2001-03-06 2003-03-15 삼성전자주식회사 플레이트 어셈블리 및 이를 갖는 가공 장치
US11094577B2 (en) 2013-03-14 2021-08-17 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for wafer chucking on a susceptor for ALD
KR20150132843A (ko) * 2013-03-14 2015-11-26 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 Ald를 위한 서셉터 상에 웨이퍼를 척킹하기 위한 장치 및 방법
US9922860B2 (en) 2013-03-14 2018-03-20 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for wafer chucking on a susceptor for ALD
WO2014152977A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-25 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for wafer chucking on a susceptor for ald
US11984343B2 (en) 2013-03-14 2024-05-14 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for semiconductor processing
US12112969B2 (en) 2013-03-14 2024-10-08 Applied Materials, Inc. Apparatus and methods for wafer chucking on a susceptor for ALD
KR20170013996A (ko) * 2014-06-06 2017-02-07 에이씨엠 리서치 (상하이) 인코포레이티드 웨이퍼의 배면측의 에지 상의 막을 제거하는 장치 및 방법
CN107615443A (zh) * 2014-06-06 2018-01-19 盛美半导体设备(上海)有限公司 去除晶圆背面边缘薄膜的装置与方法
CN107615443B (zh) * 2014-06-06 2021-06-18 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 去除晶圆背面边缘薄膜的装置与方法
JP2016152303A (ja) * 2015-02-17 2016-08-22 株式会社東京精密 ウエハの受け渡し装置及び方法
CN108147652A (zh) * 2018-01-18 2018-06-12 广东猎奇高科技股份有限公司 一种手机镜头用玻璃的加工装置及其加工工艺
JP2023015011A (ja) * 2021-07-19 2023-01-31 セメス カンパニー,リミテッド 支持ユニット及びこれを含む基板処理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108705422B (zh) 真空吸附垫和基板保持装置
CN106206374B (zh) 湿式基板处理装置及衬垫件
US6193586B1 (en) Method and apparatus for grinding wafers using a grind chuck having high elastic modulus
KR100316712B1 (ko) 화학기계적 연마장치에 웨이퍼를 로딩/언로딩하기 위한 로드컵의 페디스탈
KR19980071275A (ko) 가요성 캐리어 플레이트를 갖는 반도체 웨이퍼 연마 장치
JP6719271B2 (ja) 処理対象物を保持するためのテーブルおよび該テーブルを有する処理装置
JP5989501B2 (ja) 搬送方法
JPH11274280A (ja) ワーク用バキュームチャック装置
JP2018024067A (ja) ドレッシング装置、研磨装置、ホルダー、ハウジング及びドレッシング方法
JP2003332410A (ja) 真空吸着装置
JP2001176957A (ja) 吸着プレート及び真空吸引装置
JP2006135113A (ja) デバイスウエハの真空チャックシステムおよびそれを用いてデバイスウエハ裏面を研磨する方法
JP4427308B2 (ja) 半導体ウェーハの分割方法
JP2006015457A (ja) 吸着装置、研磨装置、半導体デバイス製造方法およびこの方法により製造される半導体デバイス
JP2004330326A (ja) ポリッシング装置
JP2019119039A (ja) ウェーハ研磨装置
JP2003309093A (ja) 半導体ウエハ研磨装置
JP7529387B2 (ja) 被加工物の研削方法
JP2004106118A (ja) 研磨装置
JP2009142961A (ja) 平板状保持具の保持装置
TWI650828B (zh) 基板處理裝置
JP2002066912A (ja) 半導体ウェーハの加工装置
JPH10277927A (ja) 平面研磨装置
JP2023106812A (ja) 貼り合わせウェーハの加工方法
JP2024067614A (ja) 保持パッド、及び、搬送装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050224

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20071217

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080212

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080701