JPH0332792A - 脱酸素システムの制御装置 - Google Patents
脱酸素システムの制御装置Info
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- JPH0332792A JPH0332792A JP16871589A JP16871589A JPH0332792A JP H0332792 A JPH0332792 A JP H0332792A JP 16871589 A JP16871589 A JP 16871589A JP 16871589 A JP16871589 A JP 16871589A JP H0332792 A JPH0332792 A JP H0332792A
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Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
- Physical Water Treatments (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、冷熱機器装置への給水ライン中に適用され
る脱酸素システムに関するものであり、特に、給水ライ
ン中の流水検知に関連して水封式真空ポンプの駆動を制
御するようにした脱酸素システムにおける水封式真空ポ
ンプ制御方法に関するものである。
る脱酸素システムに関するものであり、特に、給水ライ
ン中の流水検知に関連して水封式真空ポンプの駆動を制
御するようにした脱酸素システムにおける水封式真空ポ
ンプ制御方法に関するものである。
[従来の技術]
周知のように、ボイラ、温水器あるいは冷却器等の冷熱
機器類への給水に関しては、当該冷熱機器の腐食防止を
目的とする脱酸素システムを組み込んでおく必要がある
。前記脱酸素システムは、使用機器への給水ライン中に
、脱酸素モジュールを接続しておき、前記脱酸素モジュ
ール内に原水(水道水、井戸水、その他の工業用水)を
通水し、該通水過程において、前記脱酸素モジュール内
を真空引きして、前記原水中の溶存気体を脱気除去する
構成のものである。
機器類への給水に関しては、当該冷熱機器の腐食防止を
目的とする脱酸素システムを組み込んでおく必要がある
。前記脱酸素システムは、使用機器への給水ライン中に
、脱酸素モジュールを接続しておき、前記脱酸素モジュ
ール内に原水(水道水、井戸水、その他の工業用水)を
通水し、該通水過程において、前記脱酸素モジュール内
を真空引きして、前記原水中の溶存気体を脱気除去する
構成のものである。
従来、この脱酸素システムにおいて、真空引き処理のた
めの手段として、構造が簡単で安価な水封式真空ポンプ
が多用されている。前記水封式真空ポンプは、例えば、
楕円形をしたポンプ室をもつケーシング内に、適量の封
水を入れ、インペラの回転により、遠心力作用で、前記
射水を前記ケーシングの内壁に沿わせて流し、ケーシン
グ中央部に楕円形の空所を生せしめ、インペラの回転に
ともなう空所の変位によって吸込と吐出の作用をする装
置である。
めの手段として、構造が簡単で安価な水封式真空ポンプ
が多用されている。前記水封式真空ポンプは、例えば、
楕円形をしたポンプ室をもつケーシング内に、適量の封
水を入れ、インペラの回転により、遠心力作用で、前記
射水を前記ケーシングの内壁に沿わせて流し、ケーシン
グ中央部に楕円形の空所を生せしめ、インペラの回転に
ともなう空所の変位によって吸込と吐出の作用をする装
置である。
[発明が解決しようとする課!IJ
従来の脱酸素システムは、第2図に示すように給水ライ
ン〈23〉中に接続した脱酸素モジュール(25)及び
フロースイッチ(26〉と、給水ライン(23)と封水
式真空ポンプ(27)との間の水封供給ライン(28)
中に設けた水封用電磁弁(31〉と、脱酸素モジュール
(25)と水封式真空ポンプ(27)との間の脱気真空
ライン(29)中に設けた停止時真空保持用の電磁弁(
33〉とを備えており、前記給水ライン(23)中に水
が供給されると、フロースイッチ(26)が作動して、
流水検知信号を出力し、該出力信号に応答して前記水封
式真空ポンプ(27)を駆動するとともに、前記2つの
電磁弁(31)、(33〉を開いて真空脱気する。そし
て、給水がとまると水封式真空ポンプ(27)が停止し
、前記2つの電磁弁(31)、(33)が閉じる。
ン〈23〉中に接続した脱酸素モジュール(25)及び
フロースイッチ(26〉と、給水ライン(23)と封水
式真空ポンプ(27)との間の水封供給ライン(28)
中に設けた水封用電磁弁(31〉と、脱酸素モジュール
(25)と水封式真空ポンプ(27)との間の脱気真空
ライン(29)中に設けた停止時真空保持用の電磁弁(
33〉とを備えており、前記給水ライン(23)中に水
が供給されると、フロースイッチ(26)が作動して、
流水検知信号を出力し、該出力信号に応答して前記水封
式真空ポンプ(27)を駆動するとともに、前記2つの
電磁弁(31)、(33〉を開いて真空脱気する。そし
て、給水がとまると水封式真空ポンプ(27)が停止し
、前記2つの電磁弁(31)、(33)が閉じる。
給水ライン(23〉に対して再び給水が始まると、前記
フロースイッチ〈26)が作動して、その出力信号に応
答して水封式真空ポンプ(27)を駆動し、2つの電磁
弁(31)、(33)を開いて真空脱気を再開する。こ
の場合、先の真空脱気作動時に、脱酸素モジュール(2
5)から停止時真空保持用の電磁弁(33)までの区間
は真空状態に保持されているため、封水供給ライン(2
8)側からの封水が、負圧作用によって真空ポンプ(2
7〉内に急激に流れ込むことになる。この種の水封式真
空ポンプ〈27〉は、前述するように、ポンプケーシン
グ内で一定量の水が、ケーシング内壁に沿って流れるこ
とにより作動する。しかしながら、前述する再起動時の
ように、多量の封水がケーシング内に急激に流入してし
まうと、インペラーの根元に空間が生じにくくなる。更
に封水は、給水側から定流量弁(30)を介して常時供
給されているため、所定量の封水がケーシング内壁に沿
って流れる定常運転状態に移行しない場合がある。この
状態では、ポンプ内部でのキャビテーションに起因して
、騒音が発生し、ポンプ駆動動力も増加するという難点
を有していた。このようなキャビテーション等の状態か
ら抜けているには、真空ポンプ内に空気を導入すればよ
いが、そのような手段では、脱酸素モジュールが機能す
る真空度まで、再び真空引きする必要が生じ、動力のロ
スが増大し、処理水中の溶存酸素の残留値が高くなって
しまうという問題点を有していた。
フロースイッチ〈26)が作動して、その出力信号に応
答して水封式真空ポンプ(27)を駆動し、2つの電磁
弁(31)、(33)を開いて真空脱気を再開する。こ
の場合、先の真空脱気作動時に、脱酸素モジュール(2
5)から停止時真空保持用の電磁弁(33)までの区間
は真空状態に保持されているため、封水供給ライン(2
8)側からの封水が、負圧作用によって真空ポンプ(2
7〉内に急激に流れ込むことになる。この種の水封式真
空ポンプ〈27〉は、前述するように、ポンプケーシン
グ内で一定量の水が、ケーシング内壁に沿って流れるこ
とにより作動する。しかしながら、前述する再起動時の
ように、多量の封水がケーシング内に急激に流入してし
まうと、インペラーの根元に空間が生じにくくなる。更
に封水は、給水側から定流量弁(30)を介して常時供
給されているため、所定量の封水がケーシング内壁に沿
って流れる定常運転状態に移行しない場合がある。この
状態では、ポンプ内部でのキャビテーションに起因して
、騒音が発生し、ポンプ駆動動力も増加するという難点
を有していた。このようなキャビテーション等の状態か
ら抜けているには、真空ポンプ内に空気を導入すればよ
いが、そのような手段では、脱酸素モジュールが機能す
る真空度まで、再び真空引きする必要が生じ、動力のロ
スが増大し、処理水中の溶存酸素の残留値が高くなって
しまうという問題点を有していた。
そこで、この発明は、冷熱機器用の脱酸素システムにお
いて、給水ライン中の流水検知に関連して作動する水封
式真空ポンプの駆動を制御し、水封式真空ポンプの再起
動時等に生じるキャビテーション現象等に起因する騒音
の発生、ポンプ駆動動力のロスを防止する脱酸素システ
ムにおける真空ポンプ制御方法を提供することにある。
いて、給水ライン中の流水検知に関連して作動する水封
式真空ポンプの駆動を制御し、水封式真空ポンプの再起
動時等に生じるキャビテーション現象等に起因する騒音
の発生、ポンプ駆動動力のロスを防止する脱酸素システ
ムにおける真空ポンプ制御方法を提供することにある。
[課題を解決するための手段J
この発明は、上記する目的を達成するにあたって、具体
的には、原水供給源と処理水給配部との間の給水ライン
中に、前記原水中の溶存気体を取り除く脱酸素モジュー
ル及び前記給水ライン中の流水を検知して電気信号を出
力するフロースイッチを接続し、前記給水ラインに接続
した封水供給ラインを介して封水を取り入れ、前記脱酸
素モジュールに対して真空脱気ラインを介して接続され
ていて、前記フロースイッチの出力信号に応答して駆動
なろ水封式真空ポンプと、前記フロースイッチの出力信
号に応答して前記封水供給ラインの流路を開くように、
前記封水供給ラインに設けた第1のバルブと、前記フロ
ースイッチの出力信号に応答して前記真空脱気ラインの
流路を開くように、前記真空脱気ラインに設けた第2の
バルブとを備えた脱酸素システムにおいて、 前記フロースイッチの出力信号に応答して前記第2のバ
ルブを開いた後、予め設定したディレータイム経過後、
前記第1のバルブを開くようにし、再起動時に前記水封
式真空ポンプに対する封水の過剰流れ込みを阻止するよ
うにした脱酸素システムにおける真空ポンプ制御方法で
ある。
的には、原水供給源と処理水給配部との間の給水ライン
中に、前記原水中の溶存気体を取り除く脱酸素モジュー
ル及び前記給水ライン中の流水を検知して電気信号を出
力するフロースイッチを接続し、前記給水ラインに接続
した封水供給ラインを介して封水を取り入れ、前記脱酸
素モジュールに対して真空脱気ラインを介して接続され
ていて、前記フロースイッチの出力信号に応答して駆動
なろ水封式真空ポンプと、前記フロースイッチの出力信
号に応答して前記封水供給ラインの流路を開くように、
前記封水供給ラインに設けた第1のバルブと、前記フロ
ースイッチの出力信号に応答して前記真空脱気ラインの
流路を開くように、前記真空脱気ラインに設けた第2の
バルブとを備えた脱酸素システムにおいて、 前記フロースイッチの出力信号に応答して前記第2のバ
ルブを開いた後、予め設定したディレータイム経過後、
前記第1のバルブを開くようにし、再起動時に前記水封
式真空ポンプに対する封水の過剰流れ込みを阻止するよ
うにした脱酸素システムにおける真空ポンプ制御方法で
ある。
[作 用1
上記するように構成されるこの発明の脱酸素システムに
おける真空ポンプ制御方法では、給水ライン中にフロー
スイッチを接続しておき、該フロースイッチにより給水
ライン中の流れを検知した際、その検知出力信号に応答
して水封式真空ポンプを駆動するとともに、水封式真空
ポンプへの封水供給ライン中に設けた第1のバルブと、
脱酸素モジュール及び水封式真空ポンプ間を結ぶ真空脱
気ラインに設けた第2のバルブとを開く。この場合、フ
ロースイッチの出力信号は、制御器において、前記第2
のバルブを開いた後、ディレータイム経過後、前記第1
のバルブを開くように出力制御され、再起時におけろ水
封式ポンプに対する封水の過剰流れ込みを阻止し、封水
の過剰流れ込み時のキャビテーションに起因する騒音、
並びにポンプ駆動動力のロスを低減する。
おける真空ポンプ制御方法では、給水ライン中にフロー
スイッチを接続しておき、該フロースイッチにより給水
ライン中の流れを検知した際、その検知出力信号に応答
して水封式真空ポンプを駆動するとともに、水封式真空
ポンプへの封水供給ライン中に設けた第1のバルブと、
脱酸素モジュール及び水封式真空ポンプ間を結ぶ真空脱
気ラインに設けた第2のバルブとを開く。この場合、フ
ロースイッチの出力信号は、制御器において、前記第2
のバルブを開いた後、ディレータイム経過後、前記第1
のバルブを開くように出力制御され、再起時におけろ水
封式ポンプに対する封水の過剰流れ込みを阻止し、封水
の過剰流れ込み時のキャビテーションに起因する騒音、
並びにポンプ駆動動力のロスを低減する。
[実施例の説明]
以下、この発明になる脱酸素システムにおける真空ポン
プ制御方法について、図面に示す具体的な実施例にもと
づいて詳細に説明する。
プ制御方法について、図面に示す具体的な実施例にもと
づいて詳細に説明する。
第1図は、この発明の水封式真空ポンプ制御方法のため
の好ましい装置例を示すものである。この装置は、原水
供給源(1)と、処理水給配部〈2〉との間の給水ライ
ン(3〉中に、減圧バルブ(4)、脱酸素モジュール(
5)及びフロースイッチ(6)を接続しである。前記減
圧バルブ(4)は、前記脱酸素モジュール(5〉に一定
以上の供給水圧が加わらないようにするもので、前記脱
酸素モジュール(5)の破損防止を図っている。前記脱
酸素モジュール(5)は、例えば、多数の中空糸膜を備
え、該中空糸膜の内側に原水を通し、その外側を真空に
引いて、中空糸膜内を水が通過する過程において原水中
の溶存酸素を除去する所謂中空糸膜脱酸素モジュール、
あるいは積層シート状に形成したシート状濾過部材を、
のりまき状に巻いた脱酸素モジュールであってもよい。
の好ましい装置例を示すものである。この装置は、原水
供給源(1)と、処理水給配部〈2〉との間の給水ライ
ン(3〉中に、減圧バルブ(4)、脱酸素モジュール(
5)及びフロースイッチ(6)を接続しである。前記減
圧バルブ(4)は、前記脱酸素モジュール(5〉に一定
以上の供給水圧が加わらないようにするもので、前記脱
酸素モジュール(5)の破損防止を図っている。前記脱
酸素モジュール(5)は、例えば、多数の中空糸膜を備
え、該中空糸膜の内側に原水を通し、その外側を真空に
引いて、中空糸膜内を水が通過する過程において原水中
の溶存酸素を除去する所謂中空糸膜脱酸素モジュール、
あるいは積層シート状に形成したシート状濾過部材を、
のりまき状に巻いた脱酸素モジュールであってもよい。
前記フロースイッチ(6)は、前記給水ライン(3)中
において、前記脱酸素モジュールの出口側に接続されて
いて、給水ライン(3)から脱酸素モジュール(5)内
に供給される流水を検知して電気信号を出力するように
なっている。
において、前記脱酸素モジュールの出口側に接続されて
いて、給水ライン(3)から脱酸素モジュール(5)内
に供給される流水を検知して電気信号を出力するように
なっている。
一方、この発明では、前記脱酸素モジュール(5)を真
空脱気する手段として水封式真空ポンプ(7)が適用さ
れる。前記水封式真空ポンプ(7)は、前記給水ライン
(3)に対して、封水供給ライン(8〉を介して流路接
続され、前記脱酸素モジュール(5〉に対して、真空脱
気ライン(9)を介して流路接続されている。前記水封
式真空ポンプ(7)は、前記フロースイッチ(6)に対
して電気的に接続されていて、前記フロースイッチ(6
)の出力信号に応答して作動するようになっている。前
記封水供給ライン(8)には、定流量バルブ(10)と
第1の電磁バルブ(11)とが設けである。前記定流量
バルブ(10)は、水封式真空ポンプ(7)に一定量の
封水を供給するためのものである。前記第1の電磁バル
ブ(11〉は、前記フロースイッチ(6)に対して、制
御器(12)を介して電気的に接続されていて、前記フ
ロースイッチ(6〉が給水ライン中において流水を検知
した際、前記制御器(12)において予め設定されてい
るディレータイム経過後に、その出力信号を受けて開弁
し、前記封水供給ライン(8)を開路して、前記封水を
前記水封式真空ポンプ(7)内に供給する。
空脱気する手段として水封式真空ポンプ(7)が適用さ
れる。前記水封式真空ポンプ(7)は、前記給水ライン
(3)に対して、封水供給ライン(8〉を介して流路接
続され、前記脱酸素モジュール(5〉に対して、真空脱
気ライン(9)を介して流路接続されている。前記水封
式真空ポンプ(7)は、前記フロースイッチ(6)に対
して電気的に接続されていて、前記フロースイッチ(6
)の出力信号に応答して作動するようになっている。前
記封水供給ライン(8)には、定流量バルブ(10)と
第1の電磁バルブ(11)とが設けである。前記定流量
バルブ(10)は、水封式真空ポンプ(7)に一定量の
封水を供給するためのものである。前記第1の電磁バル
ブ(11〉は、前記フロースイッチ(6)に対して、制
御器(12)を介して電気的に接続されていて、前記フ
ロースイッチ(6〉が給水ライン中において流水を検知
した際、前記制御器(12)において予め設定されてい
るディレータイム経過後に、その出力信号を受けて開弁
し、前記封水供給ライン(8)を開路して、前記封水を
前記水封式真空ポンプ(7)内に供給する。
一方、真空脱気ライン(9)には、第2の電磁バルブ〈
13〉が設けである。前記第2の電磁バルブ(13)は
、前記フロースイッチ(6)に対して、電気的に接続さ
れていて、前記フロースイッチ(6)が流水を検知した
際、その検知信号に応答して開弁する。前記第2の電磁
バルブ(13)が開かれると、前記脱酸素モジュール(
5)は、真空脱気ライン(9)を介して、水封式真空ポ
ンプ(7)に連通され、前記脱酸素モジュール(5)の
真空引きがなされる。
13〉が設けである。前記第2の電磁バルブ(13)は
、前記フロースイッチ(6)に対して、電気的に接続さ
れていて、前記フロースイッチ(6)が流水を検知した
際、その検知信号に応答して開弁する。前記第2の電磁
バルブ(13)が開かれると、前記脱酸素モジュール(
5)は、真空脱気ライン(9)を介して、水封式真空ポ
ンプ(7)に連通され、前記脱酸素モジュール(5)の
真空引きがなされる。
前記水封式真空ポンプ(7)は、排出ライン(14)を
備えていて、前記排出ライン(14)を介して、当該水
封式真空ポンプ(7)内に供給される射水の排水、並び
に真空引きによる気体の排気がなされるようになってい
る。
備えていて、前記排出ライン(14)を介して、当該水
封式真空ポンプ(7)内に供給される射水の排水、並び
に真空引きによる気体の排気がなされるようになってい
る。
[発明の効果]
上記する構成において、この発明によれば、封水供給ラ
イン(8)に設けた第1の電磁バルブ(11)の開放タ
イミングを、真空脱気ライン(9〉に設けた第2の電磁
バルブ(13〉の開放タイミングより、予め制御器(1
2)において設定されるディレータイムだけ遅らせ、封
水供給ライン(8)を介して水封式真空ポンプ(7)に
送られる封水の供給を遅くすることにより、水封式真空
ポンプ(7)内のキャビテーション現象を抑制して、キ
ャビテーション現象に起因する騒音、並びにポンプ駆動
動力のロスを低減する。
イン(8)に設けた第1の電磁バルブ(11)の開放タ
イミングを、真空脱気ライン(9〉に設けた第2の電磁
バルブ(13〉の開放タイミングより、予め制御器(1
2)において設定されるディレータイムだけ遅らせ、封
水供給ライン(8)を介して水封式真空ポンプ(7)に
送られる封水の供給を遅くすることにより、水封式真空
ポンプ(7)内のキャビテーション現象を抑制して、キ
ャビテーション現象に起因する騒音、並びにポンプ駆動
動力のロスを低減する。
第1図は、この発明になる脱酸素システムにおける真空
ポンプ制御方法に対して有効に作用する具体的装置例の
ブロック線図、 第2図は、従来例になる水封式真空ポンプによる脱酸素
システムの説明図である。 (1)・・・・・・原水供給源 (2〉・・・・・・処理水給配部 (3)・・・・・・給水ライン (5〉・・・・・・脱酸素モジュール (6)・・・・・・フロースイッチ (7)・・・・・・水封式真空ポンプ (8)・・・・・・封水供給ライン (9〉・・・・・・真空脱気ライン (11)・・・・・・第1の電磁バルブ(12)・・・
・・・制御器 (I3〉・・・・・・第2の電磁バルブ第 図 第 図
ポンプ制御方法に対して有効に作用する具体的装置例の
ブロック線図、 第2図は、従来例になる水封式真空ポンプによる脱酸素
システムの説明図である。 (1)・・・・・・原水供給源 (2〉・・・・・・処理水給配部 (3)・・・・・・給水ライン (5〉・・・・・・脱酸素モジュール (6)・・・・・・フロースイッチ (7)・・・・・・水封式真空ポンプ (8)・・・・・・封水供給ライン (9〉・・・・・・真空脱気ライン (11)・・・・・・第1の電磁バルブ(12)・・・
・・・制御器 (I3〉・・・・・・第2の電磁バルブ第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 原水供給源と処理水給配部との間の給水ライン中に、前
記原水中の溶存気体を取り除く脱酸素モジュール及び前
記給水ライン中の流水を検知して電気信号を出力するフ
ロースイッチを接続し、前記給水ラインに接続した封水
供給ラインを介して封水を取り入れ、前記脱酸素モジュ
ールに対して真空脱気ラインを介して接続されていて、
前記フロースイッチの出力信号に応答して駆動される水
封式真空ポンプと、前記フロースイッチの出力信号に応
答して前記封水供給ラインの流路を開くように、前記封
水供給ラインに設けた第1のバルブと、前記フロースイ
ッチの出力信号に応答して前記真空脱気ラインの流路を
開くように、前記真空脱気ラインに設けた第2のバルブ
とを備えた脱酸素システムにおいて、 前記フロースイッチの出力信号に応答して前記第2のバ
ルブを開いた後、予め設定したディレータイム経過後、
前記第1のバルブを開くようにし、再起動時に前記水封
式真空ポンプに対する封水の過剰流れ込みを阻止するよ
うにしたことを特徴とする脱酸素システムにおける真空
ポンプ制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16871589A JPH0698345B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 脱酸素システムの制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16871589A JPH0698345B2 (ja) | 1989-06-29 | 1989-06-29 | 脱酸素システムの制御装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6013194A Division JP2919262B2 (ja) | 1994-01-10 | 1994-01-10 | 脱酸素システムの制御方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0332792A true JPH0332792A (ja) | 1991-02-13 |
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JP (1) | JPH0698345B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5205844A (en) * | 1990-11-30 | 1993-04-27 | Uniflows Co., Ltd. | Degassing apparatus |
WO1994003397A1 (en) * | 1992-08-07 | 1994-02-17 | Miura Co., Ltd. | Improvement to membrane type deaerator |
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JP2012072711A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Miura Co Ltd | 水封式真空ポンプの起動時騒音低減方法および装置 |
JP2014533803A (ja) * | 2011-11-22 | 2014-12-15 | ステアリング・インダストリー・コンサルト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングSterling Industry Consult GmbH | 液体リング真空ポンプ及び液体リング真空ポンプのためのインペラー |
-
1989
- 1989-06-29 JP JP16871589A patent/JPH0698345B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5205844A (en) * | 1990-11-30 | 1993-04-27 | Uniflows Co., Ltd. | Degassing apparatus |
JPH0655162A (ja) * | 1991-04-17 | 1994-03-01 | Nitto Denko Corp | 循環冷却水の脱気方法 |
JPH0738982B2 (ja) * | 1991-04-17 | 1995-05-01 | 日東電工株式会社 | 循環冷却水の脱気方法 |
WO1994003397A1 (en) * | 1992-08-07 | 1994-02-17 | Miura Co., Ltd. | Improvement to membrane type deaerator |
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JP2014533803A (ja) * | 2011-11-22 | 2014-12-15 | ステアリング・インダストリー・コンサルト・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングSterling Industry Consult GmbH | 液体リング真空ポンプ及び液体リング真空ポンプのためのインペラー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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JPH0698345B2 (ja) | 1994-12-07 |
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