JPH0317621A - 多色表示装置の製造方法 - Google Patents
多色表示装置の製造方法Info
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- JPH0317621A JPH0317621A JP1151972A JP15197289A JPH0317621A JP H0317621 A JPH0317621 A JP H0317621A JP 1151972 A JP1151972 A JP 1151972A JP 15197289 A JP15197289 A JP 15197289A JP H0317621 A JPH0317621 A JP H0317621A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 22
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 4
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 108010010803 Gelatin Proteins 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
- 229920000159 gelatin Polymers 0.000 description 1
- 239000008273 gelatin Substances 0.000 description 1
- 235000019322 gelatine Nutrition 0.000 description 1
- 235000011852 gelatine desserts Nutrition 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラーフィルターを応用した多色表示装置の
製造方法に関し、特に駆動電圧を低減するためにカラー
フィルター上に駆動用電極を設けた多色表示装置の製造
方法に関する。
製造方法に関し、特に駆動電圧を低減するためにカラー
フィルター上に駆動用電極を設けた多色表示装置の製造
方法に関する。
本発明はカラーフィルター上に透明導電膜を形成し、次
に全面ポジレジストを塗布した後カラーフィルターをフ
ォトマスクとして４００ｎ一以下の光でカラーフィルタ
ーの背面よりポジレジストを露光し、現像してカラーフ
ィルター間隙の透明導電膜をエノチングする事により、
非常に簡便な方法なが精度良くカラーフィルター上のみ
に駆動用の電極を形成できるものである。
に全面ポジレジストを塗布した後カラーフィルターをフ
ォトマスクとして４００ｎ一以下の光でカラーフィルタ
ーの背面よりポジレジストを露光し、現像してカラーフ
ィルター間隙の透明導電膜をエノチングする事により、
非常に簡便な方法なが精度良くカラーフィルター上のみ
に駆動用の電極を形成できるものである。
近年、液晶表示装置はカラーフィルターとの組み合わせ
により多色化が進んでいる。最初は駆動用電極の上にカ
ラーフィルターを設け、カラーフィルターを介して液晶
を駆動していたが、大型化、多画素化が進む中で低減電
圧駆動の要求が強く、カラーフィルター分の電圧ロスを
避けるため、カラーフィルター上に駆動用電極を形成す
る方法が開発されつつある． 第４図に、カラーフィルターを用い多色液晶表示装置の
一例を示す。第４図において４１はガラスよりなる透明
基板、４２は透明導電膜より戒る電極、４３はカラーフ
ィルターで電着法、染色法、印刷法等により形成される
。なお、染色法、印刷法の場合は４２の電極は必要ない
。４４はカラーフィルター上にパターンを一致して形成
される透明導電膜より成る駆動用電極であり、第５図に
示す工程にて形成される．第５図ｆａｔにおいて５１は
透明基板で５２は透明電極、５３はカラーフィルターで
電着性高分子と色素を含む溶液から電着法により形成さ
れる．この基板全面にスパッタ、蒸着等によりＩＴＯよ
り成る透明導電ｇ！５４が形成される．第５図（ｂｌに
おいて透明導電股上にレジスト５５が全面塗布される。
により多色化が進んでいる。最初は駆動用電極の上にカ
ラーフィルターを設け、カラーフィルターを介して液晶
を駆動していたが、大型化、多画素化が進む中で低減電
圧駆動の要求が強く、カラーフィルター分の電圧ロスを
避けるため、カラーフィルター上に駆動用電極を形成す
る方法が開発されつつある． 第４図に、カラーフィルターを用い多色液晶表示装置の
一例を示す。第４図において４１はガラスよりなる透明
基板、４２は透明導電膜より戒る電極、４３はカラーフ
ィルターで電着法、染色法、印刷法等により形成される
。なお、染色法、印刷法の場合は４２の電極は必要ない
。４４はカラーフィルター上にパターンを一致して形成
される透明導電膜より成る駆動用電極であり、第５図に
示す工程にて形成される．第５図ｆａｔにおいて５１は
透明基板で５２は透明電極、５３はカラーフィルターで
電着性高分子と色素を含む溶液から電着法により形成さ
れる．この基板全面にスパッタ、蒸着等によりＩＴＯよ
り成る透明導電ｇ！５４が形成される．第５図（ｂｌに
おいて透明導電股上にレジスト５５が全面塗布される。
第５図（Ｃｌにおいてフォトマスク５６をカラーフィル
ターパターンに一致させるようにアラインメントし、光
５７によりレジストを露光する。第５図＋ｄｉにおいて
レジストを現像し、カラーフィルター間隙部分の透明導
電膜を露出させる。第５図ｔｅｌにおいてカラーフィル
ター間隙の透明導＠．膜をエソチングし、残存レジスト
を剥離させカラーフィルター上のみに駆動電極５８を形
成する。第４図に戻り多色液晶装置の製造方法を説明す
ると、このようにして形成された駆動用電極４４を設け
た基板４１と他の駆動用電ＦｆＡ４５を設けた基板４６
を相対向させ、液晶４７を狭持する事によって多色液晶
表示装置が構成される。このように構戒された多色液晶
表示装置はカラーフィルターによる電圧ロスがなく低電
圧駆動が可能なものである． （発明が解決しようとする課題〕 第４図および第５図にて説明した多色液晶表示装置の製
造方法においては、カラーフィルター上に駆動電極を形
成する際、カラーフィルターのパターンと同しパターン
を有する高い精度のフォトマスクを必要とする．フォト
マスクはカラーフィルターパターンが高精細になるにつ
れ、欠陥なく作るのが難しく、それだけ高価なものとな
る．また露光の際もカラーフィルターとフォトマスクの
アラインメントが必要であり、パターンが精細になれば
なるほど技術的に困難となり、装置上も工程上も複雑に
なり、不良となる確率も高い．〔課題を解決するための
手段〕 そこで、本発明は簡便な工程でカラーフィルター上に精
度の高い駆動用電極を形成する事を目的とし、カラーフ
ィノレター自体をフォトマスクとして、透明電極をセル
ファラインメントでパクーニングする手段として、カラ
ーフィルターに透明導電膜、ポジレジストを順次形成し
、カラーフィルター背面より４０ｏｎ−以下の光でポジ
レジストを露光する事により、カラーフィルター間隙部
分のポジレジストのみが感光され、現像、エッチングす
る事により、精度良くカラーフィルター上のみに透明電
極が形成されるものである。
ターパターンに一致させるようにアラインメントし、光
５７によりレジストを露光する。第５図＋ｄｉにおいて
レジストを現像し、カラーフィルター間隙部分の透明導
電膜を露出させる。第５図ｔｅｌにおいてカラーフィル
ター間隙の透明導＠．膜をエソチングし、残存レジスト
を剥離させカラーフィルター上のみに駆動電極５８を形
成する。第４図に戻り多色液晶装置の製造方法を説明す
ると、このようにして形成された駆動用電極４４を設け
た基板４１と他の駆動用電ＦｆＡ４５を設けた基板４６
を相対向させ、液晶４７を狭持する事によって多色液晶
表示装置が構成される。このように構戒された多色液晶
表示装置はカラーフィルターによる電圧ロスがなく低電
圧駆動が可能なものである． （発明が解決しようとする課題〕 第４図および第５図にて説明した多色液晶表示装置の製
造方法においては、カラーフィルター上に駆動電極を形
成する際、カラーフィルターのパターンと同しパターン
を有する高い精度のフォトマスクを必要とする．フォト
マスクはカラーフィルターパターンが高精細になるにつ
れ、欠陥なく作るのが難しく、それだけ高価なものとな
る．また露光の際もカラーフィルターとフォトマスクの
アラインメントが必要であり、パターンが精細になれば
なるほど技術的に困難となり、装置上も工程上も複雑に
なり、不良となる確率も高い．〔課題を解決するための
手段〕 そこで、本発明は簡便な工程でカラーフィルター上に精
度の高い駆動用電極を形成する事を目的とし、カラーフ
ィノレター自体をフォトマスクとして、透明電極をセル
ファラインメントでパクーニングする手段として、カラ
ーフィルターに透明導電膜、ポジレジストを順次形成し
、カラーフィルター背面より４０ｏｎ−以下の光でポジ
レジストを露光する事により、カラーフィルター間隙部
分のポジレジストのみが感光され、現像、エッチングす
る事により、精度良くカラーフィルター上のみに透明電
極が形成されるものである。
現在、多色表示装置用のカラーフィルターとしては加法
混色における３原色、つまり赤・緑・青を使用する事が
多く、その分光特性は第３図に示すように４００ｎ一以
下では透過率はほぼＯとなっている。すなわち４００ｎ
一以下の光に対してはフォトマスクとして用いる事がで
き、セルファラインメントが可能である事を示している
．しかし、−ａ的にレジストの露光に用いる光源は４０
０ｎｍ以下の光のみを発生するものは少ない。光源とし
ては水銀ランプもしくはメタルハライドランプ等が一般
的であるが、例えば高圧水銀ランプの発光スペクトルは
第３図中に示したようにｇ線（４３５ｎｍ） ， ｈ線
（４０５ｎｍ）， ｉ線（３６５ｎａ＋）の３種が主な
ものであり、種類によって多少の強弱や広がりを持つ。
混色における３原色、つまり赤・緑・青を使用する事が
多く、その分光特性は第３図に示すように４００ｎ一以
下では透過率はほぼＯとなっている。すなわち４００ｎ
一以下の光に対してはフォトマスクとして用いる事がで
き、セルファラインメントが可能である事を示している
．しかし、−ａ的にレジストの露光に用いる光源は４０
０ｎｍ以下の光のみを発生するものは少ない。光源とし
ては水銀ランプもしくはメタルハライドランプ等が一般
的であるが、例えば高圧水銀ランプの発光スペクトルは
第３図中に示したようにｇ線（４３５ｎｍ） ， ｈ線
（４０５ｎｍ）， ｉ線（３６５ｎａ＋）の３種が主な
ものであり、種類によって多少の強弱や広がりを持つ。
メタルハライドランプの場合は明確な線スペクトルでは
なくブロードな広がりを持ったものが多い。もし、光源
として４００ｎｍ以下であるｉ ｖＡ（３６５ｎｍ）の
みで４００（至）以上の光がほとんど発生しない光源が
存在すれば、その光源を用いる事で本発明の目的は達成
される．しかし、現実の光源でカラーフィルターをフォ
トマスクとしてレジストを露光するとｇ線（４３５ｎｎ
＋） ． ｈ ｇ （４０５ｎｍ）も発生ずるため、特
に青のフィルターは４５０ｎｍ付近を透過するので光の
漏れが生し、本来、露光したくないカラーフィルター上
のレジストが露光されてしまい、現像、エッチングによ
りカラーフィルター上の透明導電膜が除去されてしまう
。
なくブロードな広がりを持ったものが多い。もし、光源
として４００ｎｍ以下であるｉ ｖＡ（３６５ｎｍ）の
みで４００（至）以上の光がほとんど発生しない光源が
存在すれば、その光源を用いる事で本発明の目的は達成
される．しかし、現実の光源でカラーフィルターをフォ
トマスクとしてレジストを露光するとｇ線（４３５ｎｎ
＋） ． ｈ ｇ （４０５ｎｍ）も発生ずるため、特
に青のフィルターは４５０ｎｍ付近を透過するので光の
漏れが生し、本来、露光したくないカラーフィルター上
のレジストが露光されてしまい、現像、エッチングによ
りカラーフィルター上の透明導電膜が除去されてしまう
。
そこで、本発明者らは従来の光源に第３図中に示した分
光特性を持つ４００ｎ＋ｍ以上の光を遮断する紫外線透
過光学フィルターを付加し、この光学フィルターを通っ
た光でカラーフィルターをフォトマスクとしてセルファ
ラインメントで露光する事により、カラーフィルターを
通る光の漏れを完全になくす事ができ、高い解像度を得
られる事を見出した．この方法によれば、ただ単に紫外
線透過光学フィルターを従来の露光用光源に付加するだ
けで、非常に簡便にカラーフィルター上に精度良く透明
電極を形成する事ができ、実用上極めて有用なものであ
る． 〔実施例〕 以下、実施例と比較例を用いて本発明を具体的に説明す
る． （実施例１） 第１図に本発明による多色液晶表示装置の実施例の断面
図を示す。１１はガラスより或る基板、ｌ２はＩＴＯか
ら或る透明電極、１３はカラーフィルターで電着性高分
子と色素を含む溶液中で透明電極１２に電圧を印加し、
電着させて形成する。１４はカラーフィルターにパター
ンを一敗させたＩＴＯよりなる駆動用透明電極で第２図
に示す工程にて作製する。第２図ｆａｌにおいて２１は
ガラス基板で上にＩＴＯｉ３明ｔ極２２とカラーフィル
ター２３が形成されている．さらにその上にスパッタ、
蒸着等によりＩＴ○から或る透明導電膜２４が形成され
る。第２図山）においてポジレジスト２５（ＯＦＰＲ
８００東京応化製）が全面塗布される．第２図（Ｃ）に
おいて、基板背面から高圧水銀ランプを光源とし、紫外
線透過光学フィルター２６を介して、光２７でカラーフ
ィルターをフォトマスクとしてポジレジストを露光させ
る。この際、紫外線透過光学フィルターは薄膜干渉タイ
プでもガラス中に可視光吸収物質を混合したタイプでも
どちらでも良い。第２図ｆｄｌにおいてポジレジストを
現像し、カラーフィルター間隙部分のＩＴＯを露出させ
る．第２図＋ｅｌにおいてカラーフィルター間隙部分の
ＩＴＯをエソチングし、残存レジストを剥離させカラー
フィルター上のみに駆動電極２８を形成する．この工程
の中には精密なフォトマスクも正確なアラインメントも
不要であり、簡便ながら不良率を大幅に改善できた。
光特性を持つ４００ｎ＋ｍ以上の光を遮断する紫外線透
過光学フィルターを付加し、この光学フィルターを通っ
た光でカラーフィルターをフォトマスクとしてセルファ
ラインメントで露光する事により、カラーフィルターを
通る光の漏れを完全になくす事ができ、高い解像度を得
られる事を見出した．この方法によれば、ただ単に紫外
線透過光学フィルターを従来の露光用光源に付加するだ
けで、非常に簡便にカラーフィルター上に精度良く透明
電極を形成する事ができ、実用上極めて有用なものであ
る． 〔実施例〕 以下、実施例と比較例を用いて本発明を具体的に説明す
る． （実施例１） 第１図に本発明による多色液晶表示装置の実施例の断面
図を示す。１１はガラスより或る基板、ｌ２はＩＴＯか
ら或る透明電極、１３はカラーフィルターで電着性高分
子と色素を含む溶液中で透明電極１２に電圧を印加し、
電着させて形成する。１４はカラーフィルターにパター
ンを一敗させたＩＴＯよりなる駆動用透明電極で第２図
に示す工程にて作製する。第２図ｆａｌにおいて２１は
ガラス基板で上にＩＴＯｉ３明ｔ極２２とカラーフィル
ター２３が形成されている．さらにその上にスパッタ、
蒸着等によりＩＴ○から或る透明導電膜２４が形成され
る。第２図山）においてポジレジスト２５（ＯＦＰＲ
８００東京応化製）が全面塗布される．第２図（Ｃ）に
おいて、基板背面から高圧水銀ランプを光源とし、紫外
線透過光学フィルター２６を介して、光２７でカラーフ
ィルターをフォトマスクとしてポジレジストを露光させ
る。この際、紫外線透過光学フィルターは薄膜干渉タイ
プでもガラス中に可視光吸収物質を混合したタイプでも
どちらでも良い。第２図ｆｄｌにおいてポジレジストを
現像し、カラーフィルター間隙部分のＩＴＯを露出させ
る．第２図＋ｅｌにおいてカラーフィルター間隙部分の
ＩＴＯをエソチングし、残存レジストを剥離させカラー
フィルター上のみに駆動電極２８を形成する．この工程
の中には精密なフォトマスクも正確なアラインメントも
不要であり、簡便ながら不良率を大幅に改善できた。
以下、第１図に戻り説明を続けると、このようにして形
成された透明電極１４を持つ基板１１と他の駆動用電極
１５を形成した基板１６を相対向させ、液晶１７を狭持
して多色液晶表示装置を作製した．この多色液晶表示装
置は簡便な方法で作られたにもかかわらず、欠陥による
不良もなく、ｇ電圧駆動に適したものであった． （実施例２〉 実施例ｌにおけるカラーフィルター１３を感光性ゼラチ
ンをパターニングして染料により染色して形成する染色
法にて透明電極１２をはぶき基板１１に直接、作製した
．以下、実施例ｌにおける露光用光源をメタルハライド
ランプとして他は実施例１とどうよ にカラーフィルタ
ー上に透明電極１４を形成し、多色液晶表示装置を構成
したところ、実施例ｌと同様の効果が得られた。
成された透明電極１４を持つ基板１１と他の駆動用電極
１５を形成した基板１６を相対向させ、液晶１７を狭持
して多色液晶表示装置を作製した．この多色液晶表示装
置は簡便な方法で作られたにもかかわらず、欠陥による
不良もなく、ｇ電圧駆動に適したものであった． （実施例２〉 実施例ｌにおけるカラーフィルター１３を感光性ゼラチ
ンをパターニングして染料により染色して形成する染色
法にて透明電極１２をはぶき基板１１に直接、作製した
．以下、実施例ｌにおける露光用光源をメタルハライド
ランプとして他は実施例１とどうよ にカラーフィルタ
ー上に透明電極１４を形成し、多色液晶表示装置を構成
したところ、実施例ｌと同様の効果が得られた。
（比較例）
実施例ｌにおける紫外線透過光学フィルター２６なしで
直接、光源の光をカラーフィルター背面から当てて、カ
ラーフィルター上に透明電極を形成しようとしたところ
、青のフィルター上は４００ｎｍ以上の光が漏れてレジ
ストが露光されてしまい、透明電極がエノチングされな
くなってしまった。
直接、光源の光をカラーフィルター背面から当てて、カ
ラーフィルター上に透明電極を形成しようとしたところ
、青のフィルター上は４００ｎｍ以上の光が漏れてレジ
ストが露光されてしまい、透明電極がエノチングされな
くなってしまった。
以上、実施例と比較例にて具体的に説明したように、本
発明による多色表示装置の製造方法は、従来のように精
密なフォトマスクや正確なアラインメントを必要とせず
、カラーフィルターをフォトマスクとしてセルファライ
ンメントで精度の高い透明電極ノメターンをカラーフィ
ルター上に形成できる。また、必要とするのは４００ｒ
＋Ｉ＋＋以下の光を作り出すことの光学フィルターのみ
であるため従来の製造設備を複雑化させる事なく、非常
に簡便に不良のない、低電圧駆動に適した多色表示装置
を大量に製造できるものである。
発明による多色表示装置の製造方法は、従来のように精
密なフォトマスクや正確なアラインメントを必要とせず
、カラーフィルターをフォトマスクとしてセルファライ
ンメントで精度の高い透明電極ノメターンをカラーフィ
ルター上に形成できる。また、必要とするのは４００ｒ
＋Ｉ＋＋以下の光を作り出すことの光学フィルターのみ
であるため従来の製造設備を複雑化させる事なく、非常
に簡便に不良のない、低電圧駆動に適した多色表示装置
を大量に製造できるものである。
第１図は本発明による多色表示装置の断面図、第２図ｔ
ａ＋〜ｔｅｌは本発明によるカラーフィルター上透明電
極製造のための工程を示す断面図、第３図は各フィルタ
ーの分光特性と光源の輝度スペクトルを示す図、第４図
は従来の多色表示装置の断面図、第５図［ａ）〜ｔｅｌ
は従来のカラーフィルター上透明電極製造のための工程
を示す断面図である。 １１， １６， ２１， ４１， ４６，１２
， １４， １５， ２８， ４４１３．２３
，４３．５３・ ・ ・ １７．４７・ ・ ・ ・ ・ ・ ・２４ ５４・
・ ・ ・ ・ ・ ・２５．５５・ ・ ・ ・ ・
・ ・２６・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・５６
・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ２７．５７・ ・ ・ ・ ・ ５ｌ・・・基板 ４５． ５８・・・透明電極 ・・カラーフィルター ・・液晶 ・・透明導電膜 ・・レジスト ・・紫外ｖＡ透過光学フィ ルター フォトマスク 光
ａ＋〜ｔｅｌは本発明によるカラーフィルター上透明電
極製造のための工程を示す断面図、第３図は各フィルタ
ーの分光特性と光源の輝度スペクトルを示す図、第４図
は従来の多色表示装置の断面図、第５図［ａ）〜ｔｅｌ
は従来のカラーフィルター上透明電極製造のための工程
を示す断面図である。 １１， １６， ２１， ４１， ４６，１２
， １４， １５， ２８， ４４１３．２３
，４３．５３・ ・ ・ １７．４７・ ・ ・ ・ ・ ・ ・２４ ５４・
・ ・ ・ ・ ・ ・２５．５５・ ・ ・ ・ ・
・ ・２６・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・５６
・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ２７．５７・ ・ ・ ・ ・ ５ｌ・・・基板 ４５． ５８・・・透明電極 ・・カラーフィルター ・・液晶 ・・透明導電膜 ・・レジスト ・・紫外ｖＡ透過光学フィ ルター フォトマスク 光
Claims (4)
- （１）カラーフィルターを用いた多色液晶表示装置の製
造方法において、 ［１］透明基板上に複数のカラーフィルターを形成する
工程 ［２］該カラーフィルター上に透明導電膜を全面形成す
る工程 ［３］該カラーフィルター上透明導電膜の全面にポジレ
ジストを塗布する工程 ［４］該カラーフィルターをフォトマスクとして基板の
背面の光源より４００ｎｍ以下の光で該ポジレジストを
露光する工程 ［５］現像後、カラーフィルター間隙部分の透明導電膜
をエッチングしてカラーフィルター上のみに透明導電膜
を残存させる工程 を含む事を特徴とする多色表示装置の製造方法。 - （２）前記４００ｎｍ以下の光が光源に４００ｎｍ以上
の光を遮断し、４００ｎｍ以下の光を透過する光学フィ
ルターを付加する事によって作り出される事を特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の多色表示装置の製造方法
。 - （３）前記光源が水銀ランプもしくはメタルハライドラ
ンプである事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の
多色表示装置の製造方法。 - （４）前記カラーフィルターが基板上に互いに絶縁され
て配置された複数の導電層を形成し、次にそれらの導電
層上に、電着性高分子と色素とを分散された溶液より、
電着により選択的に形成される事を特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の多色表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15197289A JPH07104516B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 多色表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15197289A JPH07104516B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 多色表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0317621A true JPH0317621A (ja) | 1991-01-25 |
| JPH07104516B2 JPH07104516B2 (ja) | 1995-11-13 |
Family
ID=15530248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15197289A Expired - Lifetime JPH07104516B2 (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 多色表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07104516B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000035576A (ja) * | 1998-07-21 | 2000-02-02 | Sharp Corp | 導光体フィルムおよびその製造方法、積層フィルム、並びにこれらを用いた液晶表示装置 |
| JP2000330128A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-30 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | カラー液晶表示装置製造方法 |
| JP2016540900A (ja) * | 2013-11-18 | 2016-12-28 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＯｓｒａｍ Ｏｐｔｏ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ ＧｍｂＨ | 多機能層の製造方法、電気泳動基板、電気泳動基板の使用、変換プレートおよびオプトエレクトロニクス装置 |
| CN114527591A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-05-24 | Tcl华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板的制备方法及液晶显示面板 |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP15197289A patent/JPH07104516B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4538111B2 (ja) * | 1999-05-14 | 2010-09-08 | エーユー オプトロニクス コーポレイション | カラー液晶表示装置製造方法 |
| JP2016540900A (ja) * | 2013-11-18 | 2016-12-28 | オスラム オプト セミコンダクターズ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＯｓｒａｍ Ｏｐｔｏ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ ＧｍｂＨ | 多機能層の製造方法、電気泳動基板、電気泳動基板の使用、変換プレートおよびオプトエレクトロニクス装置 |
| US10253950B2 (en) | 2013-11-18 | 2019-04-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Method for producing a multifunctional layer, electrophoresis substrate, converter plate and optoelectronic component |
| CN114527591A (zh) * | 2022-03-30 | 2022-05-24 | Tcl华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板的制备方法及液晶显示面板 |
| CN114527591B (zh) * | 2022-03-30 | 2023-08-01 | Tcl华星光电技术有限公司 | 液晶显示面板的制备方法及液晶显示面板 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07104516B2 (ja) | 1995-11-13 |
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|
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