JPH09148395A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
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- JPH09148395A JPH09148395A JP30421595A JP30421595A JPH09148395A JP H09148395 A JPH09148395 A JP H09148395A JP 30421595 A JP30421595 A JP 30421595A JP 30421595 A JP30421595 A JP 30421595A JP H09148395 A JPH09148395 A JP H09148395A
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- Japan
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- substrate
- wafer
- transfer
- transfer arm
- moving
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- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 三次元方向に急激にあるいは高速で移動させ
たとしても基板を確実に保持することが可能な搬送アー
ムを備えた基板搬送装置を提供することである。 【解決手段】 搬送アーム10の円弧状の基板載置部1
1aの周方向の3ヵ所に基板保持部13を設けている。
基板保持部13は、基板45の底面を支持する基板底面
支持部材18と外周端面を支持する基板端面支持部材1
9と基板45が上方へ動くのを防止する飛び出し防止部
材14とを備える。飛び出し防止部材14はピン15の
周りに回動可能に取り付けられ、コイルばねにより、常
時基板45の上部を覆う位置にある。ワイヤ17aが引
っ張られると、飛び出し防止部材14は基板45の上方
から退避した位置に移動され、基板45の出し入れが可
能となる。
たとしても基板を確実に保持することが可能な搬送アー
ムを備えた基板搬送装置を提供することである。 【解決手段】 搬送アーム10の円弧状の基板載置部1
1aの周方向の3ヵ所に基板保持部13を設けている。
基板保持部13は、基板45の底面を支持する基板底面
支持部材18と外周端面を支持する基板端面支持部材1
9と基板45が上方へ動くのを防止する飛び出し防止部
材14とを備える。飛び出し防止部材14はピン15の
周りに回動可能に取り付けられ、コイルばねにより、常
時基板45の上部を覆う位置にある。ワイヤ17aが引
っ張られると、飛び出し防止部材14は基板45の上方
から退避した位置に移動され、基板45の出し入れが可
能となる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、基板を水平に保持
して搬送するための基板搬送装置に関する。
して搬送するための基板搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体デバイスの製造プロセスでは、半
導体基板が種々の処理装置に供給され、その半導体基板
上に多量のデバイスが形成される。この半導体デバイス
の製造プロセスでは、生産効率を高めるために、一連の
処理の各々をユニット化し、これらを統合した基板処理
装置が用いられている。例えば、レジストプロセスで
は、塗布、洗浄、現像、密着強化、加熱および冷却の各
処理を連続的に処理する基板処理装置が用いられてい
る。基板処理装置は各処理ごとのユニットに分けられて
おり、各ユニット間を基板搬送装置が基板を搬送してい
る。このような構造によって一連の処理が連続的に行わ
れている。
導体基板が種々の処理装置に供給され、その半導体基板
上に多量のデバイスが形成される。この半導体デバイス
の製造プロセスでは、生産効率を高めるために、一連の
処理の各々をユニット化し、これらを統合した基板処理
装置が用いられている。例えば、レジストプロセスで
は、塗布、洗浄、現像、密着強化、加熱および冷却の各
処理を連続的に処理する基板処理装置が用いられてい
る。基板処理装置は各処理ごとのユニットに分けられて
おり、各ユニット間を基板搬送装置が基板を搬送してい
る。このような構造によって一連の処理が連続的に行わ
れている。
【0003】図7は、従来の基板搬送装置に用いられて
いる搬送アームの平面図であり、図8は図7のA−A線
断面図である。図7および図8において、搬送アーム1
10は、フレーム111とガイド部112とを備えてい
る。フレーム111の先端側には、半導体ウエハ等の基
板45を受け入れる円弧状の基板載置部113が構成さ
れている。円弧状の基板載置部113の内側には、等角
度間隔に配置された3つの基板支持部114が取り付け
られている。各基板支持部114は、基板45の底面を
支持する底面支持部材118と、基板45の外周端面に
当接して基板45の水平方向の位置を規制する端面支持
部材119とから構成されている。基板載置部113に
載置された基板45は、3つの底面支持部材118によ
り鉛直下方に落下しないように支持され、また3つの端
面支持部材119により基板45が水平方向に移動しな
いように規制されている。
いる搬送アームの平面図であり、図8は図7のA−A線
断面図である。図7および図8において、搬送アーム1
10は、フレーム111とガイド部112とを備えてい
る。フレーム111の先端側には、半導体ウエハ等の基
板45を受け入れる円弧状の基板載置部113が構成さ
れている。円弧状の基板載置部113の内側には、等角
度間隔に配置された3つの基板支持部114が取り付け
られている。各基板支持部114は、基板45の底面を
支持する底面支持部材118と、基板45の外周端面に
当接して基板45の水平方向の位置を規制する端面支持
部材119とから構成されている。基板載置部113に
載置された基板45は、3つの底面支持部材118によ
り鉛直下方に落下しないように支持され、また3つの端
面支持部材119により基板45が水平方向に移動しな
いように規制されている。
【0004】搬送アーム110は、移動体(図示省略)
上に設置され、ガイド部112が係合するレールに沿っ
て前進後退移動する。また、搬送アーム110を支持す
る移動体は鉛直軸を中心に回動可能に構成されている。
さらに、搬送アーム110を備える基板搬送装置は、搬
送アーム110を水平方向に移動させるとともに、上下
方向に移動させる機構も備えている。したがって、搬送
アーム110は、基板45を水平に保持した状態で三次
元方向に直線移動あるいは回転移動し、所定の処理ユニ
ットに対し基板45を速やかに搬送し、基板45の受け
渡し動作を行う。
上に設置され、ガイド部112が係合するレールに沿っ
て前進後退移動する。また、搬送アーム110を支持す
る移動体は鉛直軸を中心に回動可能に構成されている。
さらに、搬送アーム110を備える基板搬送装置は、搬
送アーム110を水平方向に移動させるとともに、上下
方向に移動させる機構も備えている。したがって、搬送
アーム110は、基板45を水平に保持した状態で三次
元方向に直線移動あるいは回転移動し、所定の処理ユニ
ットに対し基板45を速やかに搬送し、基板45の受け
渡し動作を行う。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】近年では、スループッ
ト(単位時間当たりの処理量)の向上のために、基板処
理装置に組み込まれる基板搬送装置においても、基板4
5を保持した搬送アーム110を急発進や急停止させた
り、高速で旋回や移動させることが要求されている。し
かも、このような動作のいくつかを同時に行うことがで
きるように要求されている。例えば、搬送アームを急速
に上昇させながらかつ旋回させる等の動作が要求され
る。
ト(単位時間当たりの処理量)の向上のために、基板処
理装置に組み込まれる基板搬送装置においても、基板4
5を保持した搬送アーム110を急発進や急停止させた
り、高速で旋回や移動させることが要求されている。し
かも、このような動作のいくつかを同時に行うことがで
きるように要求されている。例えば、搬送アームを急速
に上昇させながらかつ旋回させる等の動作が要求され
る。
【0006】ところが、図7および図8に示したよう
に、従来の搬送アーム110は、基板45の底面および
外周端面のみを支持している。したがって、例えば搬送
アームが急速に下降し、しかも下降速度が自然落下速度
を越える場合には、基板45が搬送アーム110の下降
動作に追随できず、搬送アーム110の基板載置部11
3から上方へ飛び出してしまうという不都合が生じる。
また、搬送アーム110が急速に下降しながら旋回した
ような場合には、基板45が浮き上がるとともに遠心力
によって搬送アーム110の基板載置部113から振り
出されることになる。
に、従来の搬送アーム110は、基板45の底面および
外周端面のみを支持している。したがって、例えば搬送
アームが急速に下降し、しかも下降速度が自然落下速度
を越える場合には、基板45が搬送アーム110の下降
動作に追随できず、搬送アーム110の基板載置部11
3から上方へ飛び出してしまうという不都合が生じる。
また、搬送アーム110が急速に下降しながら旋回した
ような場合には、基板45が浮き上がるとともに遠心力
によって搬送アーム110の基板載置部113から振り
出されることになる。
【0007】また、基板搬送装置が組み込まれた基板処
理装置が大きな振動を伴うような場合や、あるいは周囲
から振動が搬送アーム110に伝達されるような環境下
では、その振動によって基板45が搬送アーム110か
ら飛び出してしまう場合も生じる。
理装置が大きな振動を伴うような場合や、あるいは周囲
から振動が搬送アーム110に伝達されるような環境下
では、その振動によって基板45が搬送アーム110か
ら飛び出してしまう場合も生じる。
【0008】さらに、処理ユニットから処理済の基板4
5を取り出す際に、基板45が滑るなどして搬送アーム
110の基板載置部113の正規の位置に正しく納まら
ず、ずれたような場合には、搬送アーム110の移動中
に搬送アーム110から落下したり、あるいは搬送アー
ム110の移動時に搬送アーム110周辺の構造物と衝
突して基板を損傷するような場合も生じる。
5を取り出す際に、基板45が滑るなどして搬送アーム
110の基板載置部113の正規の位置に正しく納まら
ず、ずれたような場合には、搬送アーム110の移動中
に搬送アーム110から落下したり、あるいは搬送アー
ム110の移動時に搬送アーム110周辺の構造物と衝
突して基板を損傷するような場合も生じる。
【0009】このように、従来の搬送アーム110は、
水平に置かれた基板45の底面および外周端面を支持し
て基板45を保持するように構成されているものの、上
方への移動は何ら規制されていなかった。そのため、搬
送アーム110をより高速で移動させると上記のような
基板45の損傷や落下が生じるという問題がある。
水平に置かれた基板45の底面および外周端面を支持し
て基板45を保持するように構成されているものの、上
方への移動は何ら規制されていなかった。そのため、搬
送アーム110をより高速で移動させると上記のような
基板45の損傷や落下が生じるという問題がある。
【0010】本発明の目的は、三次元方向に急激にある
いは高速で移動させたとしても、基板を確実に保持する
ことが可能な搬送アームを備えた基板搬送装置を提供す
ることである。
いは高速で移動させたとしても、基板を確実に保持する
ことが可能な搬送アームを備えた基板搬送装置を提供す
ることである。
【0011】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第1の
発明に係る基板搬送装置は、基板を水平に保持して搬送
するための搬送アームを有する基板搬送装置であり、搬
送アームには、保持した基板の上方への動きを規制する
規制部材が設けられたものである。
発明に係る基板搬送装置は、基板を水平に保持して搬送
するための搬送アームを有する基板搬送装置であり、搬
送アームには、保持した基板の上方への動きを規制する
規制部材が設けられたものである。
【0012】第2の発明に係る基板搬送装置は、第1の
発明に係る基板搬送装置の構成において、規制部材が、
少なくとも一部が基板の上方に覆い被さる第1の位置と
基板の上方から退いた第2の位置との間を移動可能に形
成されており、規制部材を第1の位置と第2の位置とに
移動させる移動手段をさらに備えたものである。
発明に係る基板搬送装置の構成において、規制部材が、
少なくとも一部が基板の上方に覆い被さる第1の位置と
基板の上方から退いた第2の位置との間を移動可能に形
成されており、規制部材を第1の位置と第2の位置とに
移動させる移動手段をさらに備えたものである。
【0013】第3の発明に係る基板搬送装置は、第2の
発明に係る基板搬送装置の構成において、搬送アームを
所定の位置に移動させるための搬送アーム駆動手段をさ
らに備えており、移動手段が、搬送アーム駆動手段の駆
動力を用いて規制部材を少なくとも第1の位置と第2の
位置に移動させるものである。
発明に係る基板搬送装置の構成において、搬送アームを
所定の位置に移動させるための搬送アーム駆動手段をさ
らに備えており、移動手段が、搬送アーム駆動手段の駆
動力を用いて規制部材を少なくとも第1の位置と第2の
位置に移動させるものである。
【0014】第4の発明に係る基板搬送装置は、第2の
発明に係る基板搬送装置の構成において、搬送アームを
所定の位置に移動させるための搬送アーム駆動手段をさ
らに備えており、移動手段が、搬送アーム駆動手段と独
立して設けられかつ規制部材を少なくとも第1の位置か
ら第2の位置に移動させるための駆動力を発生する規制
部材駆動部を含むものである。
発明に係る基板搬送装置の構成において、搬送アームを
所定の位置に移動させるための搬送アーム駆動手段をさ
らに備えており、移動手段が、搬送アーム駆動手段と独
立して設けられかつ規制部材を少なくとも第1の位置か
ら第2の位置に移動させるための駆動力を発生する規制
部材駆動部を含むものである。
【0015】第1〜第4の発明に係る基板搬送装置にお
いては、搬送アームに設けられた規制部材が、基板の上
方への動きを規制する。このため、基板は水平な姿勢の
ままで水平方向のみならず鉛直上下方向にも支持され
る。したがって、搬送アームを急発進、急停止あるいは
高速移動や高速旋回を行わせたとしても、基板が搬送ア
ームに確実に保持され、基板が上方に飛び出したり落下
したりすることが防止される。これによって搬送アーム
あるいは基板搬送装置を高速で動作させることができ、
基板搬送装置を用いた基板処理装置のスループットを向
上させることができる。
いては、搬送アームに設けられた規制部材が、基板の上
方への動きを規制する。このため、基板は水平な姿勢の
ままで水平方向のみならず鉛直上下方向にも支持され
る。したがって、搬送アームを急発進、急停止あるいは
高速移動や高速旋回を行わせたとしても、基板が搬送ア
ームに確実に保持され、基板が上方に飛び出したり落下
したりすることが防止される。これによって搬送アーム
あるいは基板搬送装置を高速で動作させることができ、
基板搬送装置を用いた基板処理装置のスループットを向
上させることができる。
【0016】特に、第2の発明に係る基板搬送装置にお
いては、基板の飛び出しを防止する規制部材が基板の飛
び出しを防止し得る第1の位置と基板の取り出しを阻害
しない第2の位置とに移動可能に構成され、かつ移動手
段によって移動されるように構成されている。このた
め、基板の搬送時には基板を確実に保持して基板の飛び
出し防止が図られ、また、基板の受け渡し時には、規制
部材によって阻害されることなく基板の取り出しや収納
を自由に行うことができる。
いては、基板の飛び出しを防止する規制部材が基板の飛
び出しを防止し得る第1の位置と基板の取り出しを阻害
しない第2の位置とに移動可能に構成され、かつ移動手
段によって移動されるように構成されている。このた
め、基板の搬送時には基板を確実に保持して基板の飛び
出し防止が図られ、また、基板の受け渡し時には、規制
部材によって阻害されることなく基板の取り出しや収納
を自由に行うことができる。
【0017】さらに、第3の発明に係る基板搬送装置に
おいては、規制部材の移動が搬送アームを駆動する搬送
アーム駆動手段の駆動力を利用して行われることによ
り、搬送アームの駆動に伴って自動的に規制部材の移動
動作を行うことができる。従って、規制部材を駆動する
ための駆動手段を別途設ける必要がない。
おいては、規制部材の移動が搬送アームを駆動する搬送
アーム駆動手段の駆動力を利用して行われることによ
り、搬送アームの駆動に伴って自動的に規制部材の移動
動作を行うことができる。従って、規制部材を駆動する
ための駆動手段を別途設ける必要がない。
【0018】さらに、第4の発明に係る基板搬送装置に
おいては、規制部材を移動させるための規制部材駆動手
段を設けることにより、搬送アームの制御とは独立して
規制部材の動作を制御することができる。
おいては、規制部材を移動させるための規制部材駆動手
段を設けることにより、搬送アームの制御とは独立して
規制部材の動作を制御することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】図5は、本発明の一実施例に係る
基板搬送装置を組み込んだ基板処理装置の構造斜視図で
ある。
基板搬送装置を組み込んだ基板処理装置の構造斜視図で
ある。
【0020】この基板処理装置は、基板45に一連の処
理、この例では塗布処理、現像処理、密着強化処理、加
熱処理および冷却処理を行うための装置である。そし
て、塗布処理を行う回転式塗布部(スピンコータ)SC
と、現像処理を行う回転式現像部(スピンデベロッパ
ー)SDが正面側に配置され、第1の基板処理領域30
1を形成している。
理、この例では塗布処理、現像処理、密着強化処理、加
熱処理および冷却処理を行うための装置である。そし
て、塗布処理を行う回転式塗布部(スピンコータ)SC
と、現像処理を行う回転式現像部(スピンデベロッパ
ー)SDが正面側に配置され、第1の基板処理領域30
1を形成している。
【0021】また、第1の基板処理領域301に対向す
る後方側には、各種熱処理を行うホットプレートHPお
よびクーリングプレートCPあるいは密着強化部AHが
整列して配置され、第2の基板処理領域302を形成し
ている。
る後方側には、各種熱処理を行うホットプレートHPお
よびクーリングプレートCPあるいは密着強化部AHが
整列して配置され、第2の基板処理領域302を形成し
ている。
【0022】さらに、第1の基板処理領域301と第2
の基板処理領域302との間には搬送領域303が設け
られている。この搬送領域303には、基板45を搬送
する基板搬送装置50が移動自在に設けられている。
の基板処理領域302との間には搬送領域303が設け
られている。この搬送領域303には、基板45を搬送
する基板搬送装置50が移動自在に設けられている。
【0023】また、第1の基板処理領域301、第2の
基板処理領域302および搬送領域303の一方の端面
側には、インデクサINDが設けられている。インデク
サINDには複数の基板45を収納するカセット52が
取り付けられている。そして、インデクサINDに設け
られた移動ロボット51がカセット52から基板45を
取り出し、搬送領域303に設けられた基板搬送装置5
0に基板45を引き渡したり逆に一連の処理が施された
基板45を基板搬送装置50から受け取り、カセット5
2に戻すように動作する。
基板処理領域302および搬送領域303の一方の端面
側には、インデクサINDが設けられている。インデク
サINDには複数の基板45を収納するカセット52が
取り付けられている。そして、インデクサINDに設け
られた移動ロボット51がカセット52から基板45を
取り出し、搬送領域303に設けられた基板搬送装置5
0に基板45を引き渡したり逆に一連の処理が施された
基板45を基板搬送装置50から受け取り、カセット5
2に戻すように動作する。
【0024】図6は基板搬送装置50の詳細な構造を示
す斜視図である。基板搬送装置50は、基板45を保持
する一対の搬送アーム10,30と、一対の搬送アーム
10,30を三次元的に移動させる移動機構部とから構
成されている。
す斜視図である。基板搬送装置50は、基板45を保持
する一対の搬送アーム10,30と、一対の搬送アーム
10,30を三次元的に移動させる移動機構部とから構
成されている。
【0025】移動機構部は、移動体40に対して一対の
搬送アーム10,30を水平方向(Y方向)に個別に移
動させるY方向移動機構部と、一対の搬送アーム10,
30を移動体40とともに鉛直方向(Z方向)に移動さ
せるZ方向移動機構部60と、一対の搬送アーム10,
30を移動体40とともにY方向と直交する水平方向
(X方向)に移動させるX方向移動機構部70と、さら
に移動体40を鉛直軸Rの周りに旋回させる旋回機構部
80とから構成される。
搬送アーム10,30を水平方向(Y方向)に個別に移
動させるY方向移動機構部と、一対の搬送アーム10,
30を移動体40とともに鉛直方向(Z方向)に移動さ
せるZ方向移動機構部60と、一対の搬送アーム10,
30を移動体40とともにY方向と直交する水平方向
(X方向)に移動させるX方向移動機構部70と、さら
に移動体40を鉛直軸Rの周りに旋回させる旋回機構部
80とから構成される。
【0026】ここで、図示のX方向が図5に示す第1の
基板処理領域301に配置された各処理ユニットの整列
している方向であり、Y方向は、搬送領域303から各
処理ユニットの基板出し入れ口に向かう方向である。
基板処理領域301に配置された各処理ユニットの整列
している方向であり、Y方向は、搬送領域303から各
処理ユニットの基板出し入れ口に向かう方向である。
【0027】X方向移動機構部70は、搬送領域303
の長手方向に沿って設けられたボールねじの雄ねじ71
を有している。雄ねじ71の両端は、搬送領域303の
長手方向の両端部にまで達しており、その両端部で回転
自在に支持されている。雄ねじ71の一端には、プーリ
72aが固定して取り付けられている。プーリ72a
は、基板処理装置のフレームに取り付けられたモータ7
3のプーリ72bにベルト72cを介して連結されてい
る。したがって、モータ73の回転に伴い、雄ねじ71
が回転駆動される。雄ねじ71にはボールねじの雌ねじ
74が螺合している。この雌ねじ74は、X方向移動台
75に固定されている。そして、モータ73が正方向に
あるいは逆方向に回転すると、その回転方向に伴い、X
方向移動台75はX方向に往復移動する。この雄ねじ7
4には、ケーブルベア76が連結されている。なお、図
中一点鎖線は、移動の様子を示している。
の長手方向に沿って設けられたボールねじの雄ねじ71
を有している。雄ねじ71の両端は、搬送領域303の
長手方向の両端部にまで達しており、その両端部で回転
自在に支持されている。雄ねじ71の一端には、プーリ
72aが固定して取り付けられている。プーリ72a
は、基板処理装置のフレームに取り付けられたモータ7
3のプーリ72bにベルト72cを介して連結されてい
る。したがって、モータ73の回転に伴い、雄ねじ71
が回転駆動される。雄ねじ71にはボールねじの雌ねじ
74が螺合している。この雌ねじ74は、X方向移動台
75に固定されている。そして、モータ73が正方向に
あるいは逆方向に回転すると、その回転方向に伴い、X
方向移動台75はX方向に往復移動する。この雄ねじ7
4には、ケーブルベア76が連結されている。なお、図
中一点鎖線は、移動の様子を示している。
【0028】Z方向移動機構部60は、モータ61と、
モータ61の回転軸に直結された雄ねじ62とを有して
いる。モータ61はX方向移動台75の上面に取り付け
られている。したがって、雄ねじ62は鉛直方向に配置
され、その一方端部はX方向移動台75の上面に回転自
在に支持されている。雄ねじ62には、Z方向移動台6
4に固定された雌ねじ63が螺合している。また、Z方
向移動台64は、X方向移動台75から鉛直方向に立設
されたガイド65によって上下方向の移動が案内されて
いる。そのため、Z方向移動台64は、モータ61が正
方向あるいは逆方向に回転すると、ガイド65に案内さ
れて鉛直方向に上下動する。
モータ61の回転軸に直結された雄ねじ62とを有して
いる。モータ61はX方向移動台75の上面に取り付け
られている。したがって、雄ねじ62は鉛直方向に配置
され、その一方端部はX方向移動台75の上面に回転自
在に支持されている。雄ねじ62には、Z方向移動台6
4に固定された雌ねじ63が螺合している。また、Z方
向移動台64は、X方向移動台75から鉛直方向に立設
されたガイド65によって上下方向の移動が案内されて
いる。そのため、Z方向移動台64は、モータ61が正
方向あるいは逆方向に回転すると、ガイド65に案内さ
れて鉛直方向に上下動する。
【0029】Y方向移動機構部は、図示が省略されてい
るが、移動体40に連結して設けられている。移動体4
0は、その両側面にY方向に延びるガイドレールを有し
ており、このガイドレールに一対の搬送アーム10,3
0のガイド部12,32が係合することにより、搬送ア
ーム10,30がガイドレールの延びる方向(Y方向)
に往復移動する。また、移動体40には係合ピン22が
設けられている。係合ピン22は、搬送アーム10,3
0が前進した際に、搬送アーム10,30の開閉部材2
0(図1参照)に係合する位置に設けられている。
るが、移動体40に連結して設けられている。移動体4
0は、その両側面にY方向に延びるガイドレールを有し
ており、このガイドレールに一対の搬送アーム10,3
0のガイド部12,32が係合することにより、搬送ア
ーム10,30がガイドレールの延びる方向(Y方向)
に往復移動する。また、移動体40には係合ピン22が
設けられている。係合ピン22は、搬送アーム10,3
0が前進した際に、搬送アーム10,30の開閉部材2
0(図1参照)に係合する位置に設けられている。
【0030】Y方向移動機構部は、一対の搬送アーム1
0,30のガイド部12,32に係合し、往復移動させ
るためのモータ、ワイヤあるいはプーリ等からなる一対
の駆動装置を有している。このような機構により、一対
の搬送アーム10,30は、各々直接に駆動力が付与さ
れて、Y方向に往復移動することができる。
0,30のガイド部12,32に係合し、往復移動させ
るためのモータ、ワイヤあるいはプーリ等からなる一対
の駆動装置を有している。このような機構により、一対
の搬送アーム10,30は、各々直接に駆動力が付与さ
れて、Y方向に往復移動することができる。
【0031】旋回機構部80は、Z方向移動台64の水
平部64aに形成されている。旋回機構部80は、Z方
向移動台64の水平部64aに固定されたモータ81を
備えている。モータ81の回転軸には移動体40が取り
付けられている。このため、移動体40は、モータ81
の回転によりその回転軸を通る鉛直軸Rの周りに旋回可
能に構成されている。
平部64aに形成されている。旋回機構部80は、Z方
向移動台64の水平部64aに固定されたモータ81を
備えている。モータ81の回転軸には移動体40が取り
付けられている。このため、移動体40は、モータ81
の回転によりその回転軸を通る鉛直軸Rの周りに旋回可
能に構成されている。
【0032】以上のような移動機構を有する基板搬送装
置50において、一対の搬送アーム10,30は以下の
ような構造を有している。図1は、1つの搬送アーム1
0の平面構造図であり、図2はその要部拡大図、さらに
図3は、図1中のB−B線断面図である。
置50において、一対の搬送アーム10,30は以下の
ような構造を有している。図1は、1つの搬送アーム1
0の平面構造図であり、図2はその要部拡大図、さらに
図3は、図1中のB−B線断面図である。
【0033】図1〜図3に示すように、搬送アーム10
は、金属プレートから形成されたフレーム11と、移動
体40(図6参照)のガイドレールに係合するガイド部
12と備えている。フレーム11は、その先端側が開か
れた円弧状の基板載置部11aを有している。基板載置
部11aの内周に沿って3つの基板保持部13が等角度
間隔に配置されている。
は、金属プレートから形成されたフレーム11と、移動
体40(図6参照)のガイドレールに係合するガイド部
12と備えている。フレーム11は、その先端側が開か
れた円弧状の基板載置部11aを有している。基板載置
部11aの内周に沿って3つの基板保持部13が等角度
間隔に配置されている。
【0034】基板保持部13は、基板45の底面を支持
する基板底面支持部材18と、基板45の外周端面に当
接して水平方向の位置を規制する基板端面支持部材19
とを備えている(図2および図3参照)。基板45は、
等角度間隔に配置された3つの基板底面支持部材18に
よって底面を3点で支持されることにより、水平な状態
で安定して保持される。また、基板45は、3つの基板
端面支持部材19によって外周端面が3点で支持される
ことにより、水平面内の如何なる方向に対しても基板4
5がずれることが確実に防止される。
する基板底面支持部材18と、基板45の外周端面に当
接して水平方向の位置を規制する基板端面支持部材19
とを備えている(図2および図3参照)。基板45は、
等角度間隔に配置された3つの基板底面支持部材18に
よって底面を3点で支持されることにより、水平な状態
で安定して保持される。また、基板45は、3つの基板
端面支持部材19によって外周端面が3点で支持される
ことにより、水平面内の如何なる方向に対しても基板4
5がずれることが確実に防止される。
【0035】さらに、基板保持部13は、基板45が上
方に飛び出すことを防止するための飛び出し防止部材1
4を備えている。飛び出し防止部材14は、細長い板状
部材からなり、一方端部側がピン15により基板端面支
持部材19の上面に回動可能に取り付けられている。飛
び出し防止部材14は、このピン15を中心としてその
先端部が基板45の上方に覆い被さる規制位置と、その
先端部が基板45の上面上から退避して基板端面支持部
材19の上面にある退避位置との間を回動する。
方に飛び出すことを防止するための飛び出し防止部材1
4を備えている。飛び出し防止部材14は、細長い板状
部材からなり、一方端部側がピン15により基板端面支
持部材19の上面に回動可能に取り付けられている。飛
び出し防止部材14は、このピン15を中心としてその
先端部が基板45の上方に覆い被さる規制位置と、その
先端部が基板45の上面上から退避して基板端面支持部
材19の上面にある退避位置との間を回動する。
【0036】また、飛び出し防止部材14は、コイルば
ね16により規制位置の方向に付勢されている(図2参
照)。さらに、飛び出し部材14の端部にはワイヤ17
a〜17c(図1参照)が取り付けられている。3つの
飛び出し防止部材14の各々から延びるワイヤ17a〜
17cは、適当なガイドやローラによってフレーム11
の上面に沿って引き回され、開閉部材20の先端部に接
続されている。
ね16により規制位置の方向に付勢されている(図2参
照)。さらに、飛び出し部材14の端部にはワイヤ17
a〜17c(図1参照)が取り付けられている。3つの
飛び出し防止部材14の各々から延びるワイヤ17a〜
17cは、適当なガイドやローラによってフレーム11
の上面に沿って引き回され、開閉部材20の先端部に接
続されている。
【0037】開閉部材20は、フレーム11の下面にピ
ン21により回動可能に取り付けられている。図1にお
いて、開閉部材20が時計回りに回動すると、例えばワ
イヤ17aは飛び出し防止部材14をコイルばね16
(図2参照)の付勢力に抗して規制位置から退避位置へ
と移動させる。これにより、基板45の上方への取り出
しが可能となる。
ン21により回動可能に取り付けられている。図1にお
いて、開閉部材20が時計回りに回動すると、例えばワ
イヤ17aは飛び出し防止部材14をコイルばね16
(図2参照)の付勢力に抗して規制位置から退避位置へ
と移動させる。これにより、基板45の上方への取り出
しが可能となる。
【0038】図3に示すように、飛び出し防止部材14
が規制位置にある場合には、基板45は垂直上方に向か
って移動することが規制されている。このため、搬送ア
ーム10が急激な下降動作や旋回動作を行ない、基板4
5に鉛直上方に向かう力が作用したとしても、飛び出し
防止部材14が基板45の上方への移動を阻止する。こ
のために、基板45が搬送アーム10から飛び出したり
落下したりすることが防止される。
が規制位置にある場合には、基板45は垂直上方に向か
って移動することが規制されている。このため、搬送ア
ーム10が急激な下降動作や旋回動作を行ない、基板4
5に鉛直上方に向かう力が作用したとしても、飛び出し
防止部材14が基板45の上方への移動を阻止する。こ
のために、基板45が搬送アーム10から飛び出したり
落下したりすることが防止される。
【0039】次に、搬送アームの基板受け渡し動作につ
いて説明する。図4は、搬送アーム10の基板受け渡し
動作を説明するための平面図である。搬送アーム10が
移動体40(図6参照)の上部に待機している状態で
は、飛び出し防止部材14はコイルばね16(図2参
照)の付勢力によって規制位置にある。このため、この
状態では搬送アーム10との間で基板45の受け渡しを
行うことはできない。
いて説明する。図4は、搬送アーム10の基板受け渡し
動作を説明するための平面図である。搬送アーム10が
移動体40(図6参照)の上部に待機している状態で
は、飛び出し防止部材14はコイルばね16(図2参
照)の付勢力によって規制位置にある。このため、この
状態では搬送アーム10との間で基板45の受け渡しを
行うことはできない。
【0040】次に、所定の処理ユニットCとの間で基板
45の受け渡しを行う場合、図6の移動体40が所定の
処理ユニットCの基板受け渡し位置に移動する。そし
て、搬送アーム10は、矢印で示すように処理ユニット
Cの基板受け渡し口に向かって前進する。
45の受け渡しを行う場合、図6の移動体40が所定の
処理ユニットCの基板受け渡し位置に移動する。そし
て、搬送アーム10は、矢印で示すように処理ユニット
Cの基板受け渡し口に向かって前進する。
【0041】搬送アーム10が前進すると、移動体40
に設けられた係合ピン22が搬送アーム10の開閉部材
20に当接し、搬送アーム10がさらに前進することに
よって、開閉部材20がピン21の周りに回動する。開
閉部材20が回動すると、その先端部に連結されたワイ
ヤ17a〜17cが引っ張られる。これにより、各飛び
出し防止部材14が規制位置から退避位置に移動させら
れる。この結果、飛び出し防止部材14に邪魔されるこ
となく搬送アーム10の基板載置部11aに基板45を
載置し、あるいはそこから基板45を取り出すことがで
きる。
に設けられた係合ピン22が搬送アーム10の開閉部材
20に当接し、搬送アーム10がさらに前進することに
よって、開閉部材20がピン21の周りに回動する。開
閉部材20が回動すると、その先端部に連結されたワイ
ヤ17a〜17cが引っ張られる。これにより、各飛び
出し防止部材14が規制位置から退避位置に移動させら
れる。この結果、飛び出し防止部材14に邪魔されるこ
となく搬送アーム10の基板載置部11aに基板45を
載置し、あるいはそこから基板45を取り出すことがで
きる。
【0042】基板45の受け渡しが終了すると、搬送ア
ーム10は後退動作を開始する。搬送アーム10が後退
すると、開閉部材20は係合ピン22との係合が解除さ
れる。そして、飛び出し防止部材14を付勢するコイル
ばね16(図2参照)の復元力により、飛び出し防止部
材14が規制位置に復帰するとともに、各ワイヤ17a
〜17cが元の方向に引き戻され、これによって開閉部
材20が元の位置に復帰する。
ーム10は後退動作を開始する。搬送アーム10が後退
すると、開閉部材20は係合ピン22との係合が解除さ
れる。そして、飛び出し防止部材14を付勢するコイル
ばね16(図2参照)の復元力により、飛び出し防止部
材14が規制位置に復帰するとともに、各ワイヤ17a
〜17cが元の方向に引き戻され、これによって開閉部
材20が元の位置に復帰する。
【0043】このように、本実施例に係る基板搬送装置
において、搬送アーム10に飛び出し防止部材14が設
けられているので、載置された基板45は水平方向およ
び鉛直上下方向にその移動が規制されるように保持され
ている。したがって、基板処理のスループットの向上の
ために高速で搬送アーム10を移動したり、あるいは外
部からの振動が搬送アーム10に加えられたりした場合
でも、基板45が搬送アーム10から飛び出したり落下
したりすることが確実に防止される。また、搬送アーム
10に基板45を載置する際に、正規の位置に納まらず
に、多少ずれたように載置されたとしても、飛び出し防
止部材14が退避位置から基板45の上方に覆い被さる
規制位置に移動する際に基板の傾きを修正することも可
能である。このため、基板45が多少ずれて搬送アーム
10に載置された場合でも、そのことによって基板45
が外方へずれ落ちたり、他の搬送アームや構造物との衝
突によって基板45が損傷したりすることを防止するこ
とができる。
において、搬送アーム10に飛び出し防止部材14が設
けられているので、載置された基板45は水平方向およ
び鉛直上下方向にその移動が規制されるように保持され
ている。したがって、基板処理のスループットの向上の
ために高速で搬送アーム10を移動したり、あるいは外
部からの振動が搬送アーム10に加えられたりした場合
でも、基板45が搬送アーム10から飛び出したり落下
したりすることが確実に防止される。また、搬送アーム
10に基板45を載置する際に、正規の位置に納まらず
に、多少ずれたように載置されたとしても、飛び出し防
止部材14が退避位置から基板45の上方に覆い被さる
規制位置に移動する際に基板の傾きを修正することも可
能である。このため、基板45が多少ずれて搬送アーム
10に載置された場合でも、そのことによって基板45
が外方へずれ落ちたり、他の搬送アームや構造物との衝
突によって基板45が損傷したりすることを防止するこ
とができる。
【0044】以上、1つの搬送アーム10を例に説明し
たが、下方側に設けられる他の搬送アーム30もこれと
同様の構成を有している。ただし、ガイド部32は、上
記の搬送アーム10のガイド部12と反対側の移動体4
0側面に係合するように設けられる。
たが、下方側に設けられる他の搬送アーム30もこれと
同様の構成を有している。ただし、ガイド部32は、上
記の搬送アーム10のガイド部12と反対側の移動体4
0側面に係合するように設けられる。
【0045】なお、上記の実施例においては、飛び出し
防止部材14を回動させるための開閉部材20を駆動さ
せる機構として、移動体40に設けた係合ピン22を利
用する構成について説明したが、係合ピン22は処理ユ
ニット側に設けられてもよい。
防止部材14を回動させるための開閉部材20を駆動さ
せる機構として、移動体40に設けた係合ピン22を利
用する構成について説明したが、係合ピン22は処理ユ
ニット側に設けられてもよい。
【0046】また、開閉部材20を駆動させる機構とし
ては、上記の係合ピン22を利用する機構に限定される
ものではない。例えば、開閉部材20の端部をエアシリ
ンダあるいは真空シリンダ等を用いて回動させるように
構成してもよい
ては、上記の係合ピン22を利用する機構に限定される
ものではない。例えば、開閉部材20の端部をエアシリ
ンダあるいは真空シリンダ等を用いて回動させるように
構成してもよい
【図1】本発明の実施例による搬送アームの平面図であ
る。
る。
【図2】図1に示す搬送アームの要部拡大平面図であ
る。
る。
【図3】図1中のB−B線断面図である。
【図4】搬送アームの基板受け渡し動作を説明するため
の平面図である。
の平面図である。
【図5】本発明の基板搬送装置が組み込まれた基板処理
装置の斜視図である。
装置の斜視図である。
【図6】本発明の実施例による基板搬送装置の斜視図で
ある。
ある。
【図7】従来の搬送アームの平面図である。
【図8】図7中のA−A線断面図である。
【符号の説明】 10,30 搬送アーム 13 基板保持部 14 飛び出し防止部材 15 ピン 16 コイルばね 17a〜17c ワイヤ 18 基板底面支持部材 19 基板端面支持部材 20 開閉部材 21 ピン 22 係合ピン
Claims (4)
- 【請求項1】 基板を水平に保持して搬送するための搬
送アームを有する基板搬送装置において、 前記搬送アームに、保持した基板の上方への動きを規制
する規制部材を設けたことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項2】 前記規制部材は、少なくとも一部が前記
基板の上方に覆い被さる第1の位置と前記基板の上方か
ら退いた第2の位置との間を移動可能に形成されてお
り、 前記規制部材を前記第1の位置と前記第2の位置とに移
動させる移動手段をさらに備えたことを特徴とする請求
項1記載の基板搬送装置。 - 【請求項3】 前記搬送アームを所定の位置に移動させ
るための搬送アーム駆動手段をさらに備えており、 前記移動手段は、前記搬送アーム駆動手段の駆動力を用
いて前記規制部材を少なくとも前記第1の位置から前記
第2の位置に移動させることを特徴とする請求項2記載
の基板搬送装置。 - 【請求項4】 前記搬送アームを所定の位置に移動させ
るための搬送アーム駆動手段をさらに備えており、 前記移動手段は、前記搬送アーム駆動手段と独立して設
けられかつ前記規制部材を少なくとも前記第1の位置か
ら前記第2の位置に移動させるための駆動力を発生する
規制部材駆動手段を含むことを特徴とする請求項2記載
の基板搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30421595A JPH09148395A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30421595A JPH09148395A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09148395A true JPH09148395A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=17930399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30421595A Pending JPH09148395A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09148395A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001027992A1 (fr) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Nikon Corporation | Mecanisme empechant la chute d'un substrat, et testeur de substrats pourvus d'un tel mecanisme |
JPWO2004109780A1 (ja) * | 2003-06-04 | 2006-07-20 | 株式会社ニコン | ステージ装置、固定方法、露光装置、露光方法、及びデバイスの製造方法 |
KR100754245B1 (ko) * | 2006-02-06 | 2007-09-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 웨이퍼 이송로봇 및 그를 구비한 반도체제조설비 |
JP2011029241A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Nikon Corp | 基板搬送装置および基板貼り合わせ装置 |
CN104658958A (zh) * | 2015-02-13 | 2015-05-27 | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 | 晶片抓取手臂 |
-
1995
- 1995-11-22 JP JP30421595A patent/JPH09148395A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001027992A1 (fr) * | 1999-10-08 | 2001-04-19 | Nikon Corporation | Mecanisme empechant la chute d'un substrat, et testeur de substrats pourvus d'un tel mecanisme |
JP2001110882A (ja) * | 1999-10-08 | 2001-04-20 | Nikon Corp | 基板落下防止機構およびこれを備えた基板検査装置 |
US6635516B1 (en) | 1999-10-08 | 2003-10-21 | Nikon Corporation | Substrate dropping prevention mechanism and substrate inspection device provided therewith |
JPWO2004109780A1 (ja) * | 2003-06-04 | 2006-07-20 | 株式会社ニコン | ステージ装置、固定方法、露光装置、露光方法、及びデバイスの製造方法 |
US8253929B2 (en) | 2003-06-04 | 2012-08-28 | Nikon Corporation | Stage apparatus, fixation method, exposure apparatus, exposure method, and device-producing method |
KR100754245B1 (ko) * | 2006-02-06 | 2007-09-03 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조용 웨이퍼 이송로봇 및 그를 구비한 반도체제조설비 |
JP2011029241A (ja) * | 2009-07-21 | 2011-02-10 | Nikon Corp | 基板搬送装置および基板貼り合わせ装置 |
CN104658958A (zh) * | 2015-02-13 | 2015-05-27 | 苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 | 晶片抓取手臂 |
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