JPH09113592A - 磁気センサ - Google Patents
磁気センサInfo
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- JPH09113592A JPH09113592A JP29330895A JP29330895A JPH09113592A JP H09113592 A JPH09113592 A JP H09113592A JP 29330895 A JP29330895 A JP 29330895A JP 29330895 A JP29330895 A JP 29330895A JP H09113592 A JPH09113592 A JP H09113592A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】補償コイル付き磁気センサが近傍にある磁性
体，金属体の影響を受け易い欠点を少なくし、長手方向
に移動している細長いタグ状の磁性体の磁気特性をより
確実に検知することができる構造を有する改良された磁
気センサを提供する。 【解決手段】フェライトあるいは軟鉄のごとき強磁性材
のＵ字型磁心上に励磁コイルが配置され、その磁心のギ
ャップ内に補償コイルと検知コイルが取り付けられた構
造になってている。補償コイルと検知コイルは非磁性体
でできた空心ボビン上に形成されており、また上下ある
いは左右に近接して取り付けられている構造となってい
る。検知コイルと補償コイルを配置したギャップの外側
はセラミックあるいは硬質樹脂のカバーで覆われた構造
を持っている。
体，金属体の影響を受け易い欠点を少なくし、長手方向
に移動している細長いタグ状の磁性体の磁気特性をより
確実に検知することができる構造を有する改良された磁
気センサを提供する。 【解決手段】フェライトあるいは軟鉄のごとき強磁性材
のＵ字型磁心上に励磁コイルが配置され、その磁心のギ
ャップ内に補償コイルと検知コイルが取り付けられた構
造になってている。補償コイルと検知コイルは非磁性体
でできた空心ボビン上に形成されており、また上下ある
いは左右に近接して取り付けられている構造となってい
る。検知コイルと補償コイルを配置したギャップの外側
はセラミックあるいは硬質樹脂のカバーで覆われた構造
を持っている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁性体の磁気特性
を測定するための磁気センサに関するものである。
を測定するための磁気センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、磁性体の磁気特性（主にＢ−Ｈ特
性）を測定する方式として静磁場方式と交流磁場方式が
ある。静磁場方式は、図７（ａ）に示すように、直流電
源２２から励磁コイル２１に直流を流すことにより得ら
れる強力な一対の磁石２１ａを近接させ、空隙２１ｂに
生じる磁界中に被測定磁性体２４を置き、この磁性体２
４を振動させることによって生じる磁束変化を検知コイ
ル２３と増幅器２５とで検知増幅し、検出信号をとり出
すものである（ＶＳＭ方式）。この方式の欠点は装置が
大がかりになるため、簡単に交流磁気特性が得られない
ことである。次に、交流磁場方式は、図７（ｂ）に示す
ように、励磁コイル２１に交流電源２６から交流電流を
流し、それによって生ずる磁界中に被測定磁性体２４を
置き、励磁電流の変化によって生ずる磁界強度変化に対
応した磁束密度を検知コイル２３と増幅器２５とで検知
増幅し、検出信号をとり出すものであり、前方式に比べ
装置が比較的簡単であるが薄膜のように磁化の強さが小
さなものを測定するには特殊な検知コイルを必要として
いる。
性）を測定する方式として静磁場方式と交流磁場方式が
ある。静磁場方式は、図７（ａ）に示すように、直流電
源２２から励磁コイル２１に直流を流すことにより得ら
れる強力な一対の磁石２１ａを近接させ、空隙２１ｂに
生じる磁界中に被測定磁性体２４を置き、この磁性体２
４を振動させることによって生じる磁束変化を検知コイ
ル２３と増幅器２５とで検知増幅し、検出信号をとり出
すものである（ＶＳＭ方式）。この方式の欠点は装置が
大がかりになるため、簡単に交流磁気特性が得られない
ことである。次に、交流磁場方式は、図７（ｂ）に示す
ように、励磁コイル２１に交流電源２６から交流電流を
流し、それによって生ずる磁界中に被測定磁性体２４を
置き、励磁電流の変化によって生ずる磁界強度変化に対
応した磁束密度を検知コイル２３と増幅器２５とで検知
増幅し、検出信号をとり出すものであり、前方式に比べ
装置が比較的簡単であるが薄膜のように磁化の強さが小
さなものを測定するには特殊な検知コイルを必要として
いる。
【０００３】この交流磁場方式には補償コイル無し方式
と有り方式がある。補償コイル無し方式では図７（ｂ）
に示すコアのような比較的大きな磁性体を測定するため
に用いられ、励磁コイル２１を被測定磁性体２４に巻き
付けるかまたは検知コイル２３も同様に被測定磁性体２
４に巻き付けて磁性材の磁気特性を測定している。この
方式では比較的簡単に磁気特性が測定できるが、一方コ
イルを巻く手間と、被測定磁性体２４にある程度大きな
質量を必要とする欠点がある。
と有り方式がある。補償コイル無し方式では図７（ｂ）
に示すコアのような比較的大きな磁性体を測定するため
に用いられ、励磁コイル２１を被測定磁性体２４に巻き
付けるかまたは検知コイル２３も同様に被測定磁性体２
４に巻き付けて磁性材の磁気特性を測定している。この
方式では比較的簡単に磁気特性が測定できるが、一方コ
イルを巻く手間と、被測定磁性体２４にある程度大きな
質量を必要とする欠点がある。
【０００４】この欠点を解消するために、本願発明者
は、先に特願平７−１６９３３４号「磁気センサ」を提
案した。この先願発明では交流磁場方法による補償コイ
ル付き磁気センサの有効性が示されている。これに述べ
られた補償コイル付き磁気センサは円筒形の励磁コイル
の両端面に補償コイル，検知コイルが位置している。図
８は、先願で提案した磁気センサである。
は、先に特願平７−１６９３３４号「磁気センサ」を提
案した。この先願発明では交流磁場方法による補償コイ
ル付き磁気センサの有効性が示されている。これに述べ
られた補償コイル付き磁気センサは円筒形の励磁コイル
の両端面に補償コイル，検知コイルが位置している。図
８は、先願で提案した磁気センサである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、図８に示す
先願発明の改良に関するものであり、この先願方式では
磁化の小さな磁性体の磁気特性を簡単に測定することは
できるが、励磁コイル２１によって作られる磁力線が励
磁コイル２１の内側から外側に向かって発生する。この
ため二つの問題が生じる。その一つは、磁気センサ近傍
に磁性体あるいは金属体が存在すると磁力線の片寄りが
生じ、検知コイル２３と補償コイル２７との発生電圧バ
ランスを崩すことになる。バランスの崩れはそのまま励
磁電源の電圧成分が被測定磁性体による励磁電圧成分よ
り大きくなり、磁気特性測定のＳ／Ｎ比を劣化させる原
因となる。このため、先願の磁気センサを金属部分の多
い搬送系を持つ機器などに組み込んで使用する場合は取
付け位置などの制限があり、非常に使いずらいという問
題点があることが判った。磁気センサ近傍に金属体があ
った場合には空間上の磁界は金属が強磁性体ならば分極
作用により、また、強磁性体以外では磁束変化にともな
う渦電流により磁束密度が変化する。そのため、周辺金
属体により補償コイルと検知コイルの励磁磁界に対する
起電力のバランスがくずれる。他の問題は、励磁コイル
２１の周辺部を取り囲むように金属導体が存在するとき
で、励磁コイル２１の磁力線は電磁気理論で示されるよ
うに閉じており、磁力線を横切る金属体が存在する場
合、その金属体内部に渦電流を生じ、励磁磁界のエネル
ギが熱あるいは反磁界となって励磁磁界を弱める。その
ため、被測定磁性体２４を十分励磁出来なくなるため被
測定磁性体２４に充分な磁界を与えることができないた
め良好な磁気特性が得られなくなる。センサ周辺に金属
体を用いるこのような使用方法は一般的であり、金属体
でこの磁気センサを使用出来ないとなると、使用上の制
限として使いずらいものとなるという問題点があること
が判った。
先願発明の改良に関するものであり、この先願方式では
磁化の小さな磁性体の磁気特性を簡単に測定することは
できるが、励磁コイル２１によって作られる磁力線が励
磁コイル２１の内側から外側に向かって発生する。この
ため二つの問題が生じる。その一つは、磁気センサ近傍
に磁性体あるいは金属体が存在すると磁力線の片寄りが
生じ、検知コイル２３と補償コイル２７との発生電圧バ
ランスを崩すことになる。バランスの崩れはそのまま励
磁電源の電圧成分が被測定磁性体による励磁電圧成分よ
り大きくなり、磁気特性測定のＳ／Ｎ比を劣化させる原
因となる。このため、先願の磁気センサを金属部分の多
い搬送系を持つ機器などに組み込んで使用する場合は取
付け位置などの制限があり、非常に使いずらいという問
題点があることが判った。磁気センサ近傍に金属体があ
った場合には空間上の磁界は金属が強磁性体ならば分極
作用により、また、強磁性体以外では磁束変化にともな
う渦電流により磁束密度が変化する。そのため、周辺金
属体により補償コイルと検知コイルの励磁磁界に対する
起電力のバランスがくずれる。他の問題は、励磁コイル
２１の周辺部を取り囲むように金属導体が存在するとき
で、励磁コイル２１の磁力線は電磁気理論で示されるよ
うに閉じており、磁力線を横切る金属体が存在する場
合、その金属体内部に渦電流を生じ、励磁磁界のエネル
ギが熱あるいは反磁界となって励磁磁界を弱める。その
ため、被測定磁性体２４を十分励磁出来なくなるため被
測定磁性体２４に充分な磁界を与えることができないた
め良好な磁気特性が得られなくなる。センサ周辺に金属
体を用いるこのような使用方法は一般的であり、金属体
でこの磁気センサを使用出来ないとなると、使用上の制
限として使いずらいものとなるという問題点があること
が判った。
【０００６】長手方向に移動している細長いタグ状の磁
性体２４の磁気特性を検知しようとする場合、タグの磁
化容易軸が短手方向にあると検出が極めて困難であっ
た。その理由は短手方向の磁性体の作る磁気モーメント
は小さいため検知信号は微弱であるため、磁化容易軸に
対し励磁磁界は平行になるようにせざるを得ない。ま
た、長手方向に移動しているため磁気センサとタグの搬
送系とのわずかな短手方向へのずれがギャップの狭い通
常の磁気ヘッドを用いたセンサでは検出を困難にしてい
る。
性体２４の磁気特性を検知しようとする場合、タグの磁
化容易軸が短手方向にあると検出が極めて困難であっ
た。その理由は短手方向の磁性体の作る磁気モーメント
は小さいため検知信号は微弱であるため、磁化容易軸に
対し励磁磁界は平行になるようにせざるを得ない。ま
た、長手方向に移動しているため磁気センサとタグの搬
送系とのわずかな短手方向へのずれがギャップの狭い通
常の磁気ヘッドを用いたセンサでは検出を困難にしてい
る。
【０００７】本発明は、このような補償コイル付き磁気
センサが近傍にある磁性体，金属体の影響を受け易い欠
点を少なくし、長手方向に移動している細長いタグ状の
磁性体の磁気特性をより確実に検知することができる構
造を有する改良された磁気センサを提供するものであ
る。
センサが近傍にある磁性体，金属体の影響を受け易い欠
点を少なくし、長手方向に移動している細長いタグ状の
磁性体の磁気特性をより確実に検知することができる構
造を有する改良された磁気センサを提供するものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気センサは、
ギャップを有するＵ字型軟鉄材磁心と、該Ｕ字型軟鉄材
磁心の該軟鉄材上に捲回された励磁コイルと、前記Ｕ字
型軟鉄材磁心と、前記Ｕ字型軟鉄材磁心の前記ギャップ
内に前記励磁コイルに流れる励磁電流による励磁磁界の
磁束の方向に各巻軸が沿うように並んで配置された検知
コイルと補償コイルとを備えたことを特徴とする。
ギャップを有するＵ字型軟鉄材磁心と、該Ｕ字型軟鉄材
磁心の該軟鉄材上に捲回された励磁コイルと、前記Ｕ字
型軟鉄材磁心と、前記Ｕ字型軟鉄材磁心の前記ギャップ
内に前記励磁コイルに流れる励磁電流による励磁磁界の
磁束の方向に各巻軸が沿うように並んで配置された検知
コイルと補償コイルとを備えたことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明による磁気センサは、フェ
ライトあるいは軟鉄のごとき強磁性材のＵ字型磁心上に
励磁コイルが配置され、その磁心のギャップ内に補償コ
イルと検知コイルが取り付けられた構造になっている。
補償コイルと検知コイルは非磁性体でできた空心ボビン
上に形成されており、また上下あるいは左右に近接して
取り付けられた構造となっている。検知コイルと補償コ
イルを配置したギャップの外側はセラミックあるいは硬
質樹脂のカバーで覆われた構造を持っている。
ライトあるいは軟鉄のごとき強磁性材のＵ字型磁心上に
励磁コイルが配置され、その磁心のギャップ内に補償コ
イルと検知コイルが取り付けられた構造になっている。
補償コイルと検知コイルは非磁性体でできた空心ボビン
上に形成されており、また上下あるいは左右に近接して
取り付けられた構造となっている。検知コイルと補償コ
イルを配置したギャップの外側はセラミックあるいは硬
質樹脂のカバーで覆われた構造を持っている。
【００１０】図１は励磁コイルモデルを示し、図２はそ
の磁界強度図を示す。４は磁心で、図１に示すように正
面からみてＵ字状に形成されている。５は励磁コイル、
７はギャップである。このモデルの磁束磁界強度を求め
てみると、磁気抵抗Ｒｍは、
の磁界強度図を示す。４は磁心で、図１に示すように正
面からみてＵ字状に形成されている。５は励磁コイル、
７はギャップである。このモデルの磁束磁界強度を求め
てみると、磁気抵抗Ｒｍは、
【数１】 Ｒｍ＝１１／μ0 ・μ1 ・ｓ＋１０／μ0 ・ｓ ………（１） ここで、１１：磁心通過距離、１０：ギャップ距離、
ｓ：磁心断面積、μ0 ：真空透磁率、μ1 ：磁心比透磁
率である。ただし、ギャップ間での磁束のひろがりはあ
まりないとする。また、磁束φと磁界強度Ｈは、次のよ
うに表すことができる。
ｓ：磁心断面積、μ0 ：真空透磁率、μ1 ：磁心比透磁
率である。ただし、ギャップ間での磁束のひろがりはあ
まりないとする。また、磁束φと磁界強度Ｈは、次のよ
うに表すことができる。
【数２】 φ＝ＮＩ／Ｒｍ …………（２） Ｎ：励磁コイル５の巻き数 Ｉ：励磁電流
【数３】 Ｈ＝φ／μ0 ・ｓ …………（３） 式（２），式（３）から式（１）を変形して
【数４】 Ｈ＝ＮＩ・μ1 ／（１１＋μ0 ・１０） …………（４） となる。例えば、ギャップ距離１０mm、Ｕ字型磁心の平
均磁束通過距離９０mm、磁心の比透磁率１０００とし、
Ｎ＝３００，Ｉ＝０．３とした場合、式（４）に代入す
ると、Ｈ＝９０００アンペアターン／ｍとなり、広いギ
ャップでも充分な励磁磁界を得ることができる。
均磁束通過距離９０mm、磁心の比透磁率１０００とし、
Ｎ＝３００，Ｉ＝０．３とした場合、式（４）に代入す
ると、Ｈ＝９０００アンペアターン／ｍとなり、広いギ
ャップでも充分な励磁磁界を得ることができる。
【００１１】
【実施例】図３に本発明による磁気センサの実施例を示
す。１は保護用の表面カバーであり、耐磨耗性のある非
磁性材が用いられる。例えばアルミニウムなどのセラミ
ック材、ＦＲＰ（繊維強化プラスチック）やＰＯＭ（ポ
リアセテート）などの硬質プラスチック材である。２，
３は検知コイルと補償コイルであり空心ボビン２ａ，３
ａに導線が巻かれた構造、すなわち空心検知コイルと空
心補償コイルの構成となっている。それぞれのコイルは
同形状と同巻数となっており各端子を逆極性で接続して
出力電圧が相殺されるようになっている。図３の実施例
では各コイルは上下に位置しているが、図４で示される
例のような左右に並列にならべてもよい。４はギャップ
７を有するＵ字形磁心であり、フェライトや軟鉄を材料
としている。５は磁心４上に捲回された励磁コイルであ
る。６は外部カバーであり非磁性材であればアルミニウ
ム，黄銅のような金属であってもよい。検知コイル２と
補償コイル３とは、実際はギャップ７内に配置される
が、各部構造を明示するために、図３では検知コイル２
と補償コイル３とはギャップ７の外側に図示してある。
す。１は保護用の表面カバーであり、耐磨耗性のある非
磁性材が用いられる。例えばアルミニウムなどのセラミ
ック材、ＦＲＰ（繊維強化プラスチック）やＰＯＭ（ポ
リアセテート）などの硬質プラスチック材である。２，
３は検知コイルと補償コイルであり空心ボビン２ａ，３
ａに導線が巻かれた構造、すなわち空心検知コイルと空
心補償コイルの構成となっている。それぞれのコイルは
同形状と同巻数となっており各端子を逆極性で接続して
出力電圧が相殺されるようになっている。図３の実施例
では各コイルは上下に位置しているが、図４で示される
例のような左右に並列にならべてもよい。４はギャップ
７を有するＵ字形磁心であり、フェライトや軟鉄を材料
としている。５は磁心４上に捲回された励磁コイルであ
る。６は外部カバーであり非磁性材であればアルミニウ
ム，黄銅のような金属であってもよい。検知コイル２と
補償コイル３とは、実際はギャップ７内に配置される
が、各部構造を明示するために、図３では検知コイル２
と補償コイル３とはギャップ７の外側に図示してある。
【００１２】この磁気センサでは、補償コイル３と検知
コイル２を同じ巻数でかつ巻方向が逆で相加されて出力
電圧ｖ0 を得るように接続されており、Ｕ字型磁心４の
上端のギャップ７内に配置されている。励磁コイル５か
らの励磁磁界が同じ強度で二つのコイル２，３を横切る
と各コイル２，３によって励磁された起電力は相等し
く、出力ｖ0 側で殆ど相殺することができる。また、同
一平面状あるいは上下近接しているため極対称に位置さ
れた従来形よりも近傍の金属体による磁界の変化による
バランスのくずれが少ない。励磁コイル５を捲回してい
る磁心４を図示の如くＵ字型にすると、磁力線はＵ字型
磁心４のギャップ７を主に通り、近傍には空心型より磁
束の広がりが少なく、水平方向の磁界強度は磁心端面で
は変化があるもののほぼ一定に保たれる。
コイル２を同じ巻数でかつ巻方向が逆で相加されて出力
電圧ｖ0 を得るように接続されており、Ｕ字型磁心４の
上端のギャップ７内に配置されている。励磁コイル５か
らの励磁磁界が同じ強度で二つのコイル２，３を横切る
と各コイル２，３によって励磁された起電力は相等し
く、出力ｖ0 側で殆ど相殺することができる。また、同
一平面状あるいは上下近接しているため極対称に位置さ
れた従来形よりも近傍の金属体による磁界の変化による
バランスのくずれが少ない。励磁コイル５を捲回してい
る磁心４を図示の如くＵ字型にすると、磁力線はＵ字型
磁心４のギャップ７を主に通り、近傍には空心型より磁
束の広がりが少なく、水平方向の磁界強度は磁心端面で
は変化があるもののほぼ一定に保たれる。
【００１３】この状態で、表面カバー１の外側（図３で
は上部）にタグの如き被測定磁性体２４が存在すれば、
検知コイル２と補償コイル３に対する励磁磁界による起
電力のバランスがくずれて、検出電圧ｖ0 が得られるこ
とになる。
は上部）にタグの如き被測定磁性体２４が存在すれば、
検知コイル２と補償コイル３に対する励磁磁界による起
電力のバランスがくずれて、検出電圧ｖ0 が得られるこ
とになる。
【００１４】この磁気センサでは、磁力線は空間にあま
り広がらないため磁気センサ近傍にある磁性体，金属体
の影響を受けにくい。短手方向に磁化容易軸ａを有し長
手方向に移動する磁気タグ２４の磁気特性を検知する場
合にも本方式の磁気センサはギャップ７間の平行磁界が
広くかつ一様にとれるため、ギャップ７に平行に移動す
る図５のときにも、また、ギャップに直角に移動する図
６の場合にも、搬送上の位置変化に対して有利である。
従来型の磁気ヘッドでの空隙は通常狭いので短手方向に
磁化容易軸ａを有する磁気タグ２４の磁気特性を効率よ
く検知するには、長手方向に移動する磁気タグ２４を検
出するには狭いギャップを高精度で通過させる必要があ
り極めて困難であったこと、およびギャップに対し幅の
広い直角方向に磁気タグ２４を移動させた場合には磁化
容易軸ａに対し励磁磁界は直角となるので磁気特性をと
ることが困難であった問題点を、効果的に解消してい
る。本発明では、検知コイル２，補償コイル３は上下あ
るいは同一平面上にあり、被測定磁性体２４をその表面
を極めて近接して移動させることができる。そのためこ
の表面は接触等による耐久性を増すためにセラミック、
あるいは硬質樹脂の表面カバー１で覆ってある。
り広がらないため磁気センサ近傍にある磁性体，金属体
の影響を受けにくい。短手方向に磁化容易軸ａを有し長
手方向に移動する磁気タグ２４の磁気特性を検知する場
合にも本方式の磁気センサはギャップ７間の平行磁界が
広くかつ一様にとれるため、ギャップ７に平行に移動す
る図５のときにも、また、ギャップに直角に移動する図
６の場合にも、搬送上の位置変化に対して有利である。
従来型の磁気ヘッドでの空隙は通常狭いので短手方向に
磁化容易軸ａを有する磁気タグ２４の磁気特性を効率よ
く検知するには、長手方向に移動する磁気タグ２４を検
出するには狭いギャップを高精度で通過させる必要があ
り極めて困難であったこと、およびギャップに対し幅の
広い直角方向に磁気タグ２４を移動させた場合には磁化
容易軸ａに対し励磁磁界は直角となるので磁気特性をと
ることが困難であった問題点を、効果的に解消してい
る。本発明では、検知コイル２，補償コイル３は上下あ
るいは同一平面上にあり、被測定磁性体２４をその表面
を極めて近接して移動させることができる。そのためこ
の表面は接触等による耐久性を増すためにセラミック、
あるいは硬質樹脂の表面カバー１で覆ってある。
【００１５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、近傍に磁性体を含む金属体が存在しても、殆ど影
響を受けることなしに、確実に被検知磁性体の磁気特性
を検知することができ、特に、細長いタグ状の磁性体に
適用して有効である。
れば、近傍に磁性体を含む金属体が存在しても、殆ど影
響を受けることなしに、確実に被検知磁性体の磁気特性
を検知することができ、特に、細長いタグ状の磁性体に
適用して有効である。
【図１】本発明に用いる励磁コイルのモデルを示す斜視
図である。
図である。
【図２】本発明に用いる励磁コイルのギャップ距離と磁
界強度の関係を示す特性図である。
界強度の関係を示す特性図である。
【図３】本発明の実施例の構造を示す斜視図である。
【図４】本発明の他の実施例を説明するための斜視図で
ある。
ある。
【図５】本発明による磁気センサの動作を説明するため
の斜視図である。
の斜視図である。
【図６】本発明による磁気センサの動作を説明するため
の斜視図である。
の斜視図である。
【図７】従来の磁気センサを説明するための接続図であ
る。
る。
【図８】本願発明者が先に提案した磁気センサを説明す
るための斜視図である。
るための斜視図である。
１ 表面カバー ２ 検知コイル ２ａ 空心コイル ３ 補償コイル ３ａ 空心コイル ４ 磁心 ５ 励磁コイル ６ 外部カバー ７ ギャップ ２１ 励磁コイル ２１ａ 磁石 ２１ｂ ギャップ ２２ 直流電源 ２３ 検知コイル ２４ 被測定磁性体（被検出タグ） ２５ 増幅器 ２６ 交流電源 ２７ 補償コイル ２８ 信号処理回路
Claims (2)
- 【請求項１】 ギャップを有するＵ字型軟鉄材磁心と、 該Ｕ字型軟鉄材磁心の該軟鉄材上に捲回された励磁コイ
ルと、 前記Ｕ字型軟鉄材磁心の前記ギャップ内に前記励磁コイ
ルに流れる励磁電流による励磁磁界の磁束の方向に各巻
軸が沿うように並んで配置された検知コイルと補償コイ
ルとを備えた磁気センサ。 - 【請求項２】 前記検出コイルと前記補償コイルとは空
心ボビンに捲回された空心検知コイルと空心補償コイル
の構造を有し、それぞれの各巻軸が平行になるように並
んで配置されていることを特徴とする請求項１に記載の
磁気センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29330895A JP3618425B2 (ja) | 1995-10-17 | 1995-10-17 | 磁気センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29330895A JP3618425B2 (ja) | 1995-10-17 | 1995-10-17 | 磁気センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09113592A true JPH09113592A (ja) | 1997-05-02 |
| JP3618425B2 JP3618425B2 (ja) | 2005-02-09 |
Family
ID=17793160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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1995
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