JPH086007Y2 - 真空炉 - Google Patents
真空炉Info
- Publication number
- JPH086007Y2 JPH086007Y2 JP8972991U JP8972991U JPH086007Y2 JP H086007 Y2 JPH086007 Y2 JP H086007Y2 JP 8972991 U JP8972991 U JP 8972991U JP 8972991 U JP8972991 U JP 8972991U JP H086007 Y2 JPH086007 Y2 JP H086007Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- furnace
- tight box
- box
- pressure
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Powder Metallurgy (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、焼結処理等に利用され
る真空炉に関するものである。
る真空炉に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】焼結処理などに利用される従来の真空炉
としては、炉内に単一のタイトボックスを配置して、タ
イトボックスの外部に不活性ガス等の炉内ガスを導入す
る一方、タイトボックスの内部に反応性ガス等の雰囲気
ガスを導入し、処理後の汚れた雰囲気ガスを、タイトボ
ックスを介して外部から内部へ差圧フローさせた炉内ガ
スとともに該タイトボックス内部より炉外へ直接排気す
る構成が一般的である。かかるタイトボックスの役割
は、有害な雰囲気ガスや、処理によって二次的に発生す
るワックスその他の不純物を、ヒータ、断熱材、炉壁等
の炉内構成部品に接触させることなく、炉外に排出する
ことを可能ならしめる点にある。
としては、炉内に単一のタイトボックスを配置して、タ
イトボックスの外部に不活性ガス等の炉内ガスを導入す
る一方、タイトボックスの内部に反応性ガス等の雰囲気
ガスを導入し、処理後の汚れた雰囲気ガスを、タイトボ
ックスを介して外部から内部へ差圧フローさせた炉内ガ
スとともに該タイトボックス内部より炉外へ直接排気す
る構成が一般的である。かかるタイトボックスの役割
は、有害な雰囲気ガスや、処理によって二次的に発生す
るワックスその他の不純物を、ヒータ、断熱材、炉壁等
の炉内構成部品に接触させることなく、炉外に排出する
ことを可能ならしめる点にある。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】ところで、雰囲気ガス
は処理物に有効に作用するためにタイトボックスの内部
において所定濃度に保たれている必要がある。しかる
に、上述した一重タイトボックス構造においては、炉内
ガスと雰囲気ガスが異なる種類のガスである場合に、雰
囲気ガスがタイトボックスの内部に流れ込んだ炉内ガス
により希釈され、その濃度が成り行きになってしまうと
いう不都合がある。
は処理物に有効に作用するためにタイトボックスの内部
において所定濃度に保たれている必要がある。しかる
に、上述した一重タイトボックス構造においては、炉内
ガスと雰囲気ガスが異なる種類のガスである場合に、雰
囲気ガスがタイトボックスの内部に流れ込んだ炉内ガス
により希釈され、その濃度が成り行きになってしまうと
いう不都合がある。
【０００４】本考案は、このような課題を解決すること
を目的としている。
を目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本考案は、かかる目的を
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
達成するために、次のような構成を採用したものであ
る。
【０００６】すなわち、本考案に係る真空炉は、図１に
示すように、炉１内に二重に配置される外側タイトボッ
クス２及び内側タイトボックス３と、外側タイトボック
ス２の外部に炉内ガスａを導入するためのガス導入系路
Ｌ 2 と、内側タイトボックス３の内部に雰囲気ガスｂを
導入するためのガス導入系路Ｌ 3 と、外側タイトボック
ス２と内側タイトボックス３の間の中間室Ｓを排気する
排気系路Ｌ 1 とを具備してなり、中間室Ｓの圧力Ｐ 1 を
外側タイトボックス２の外部圧Ｐ 2 および内側タイトボ
ックス３の内部圧Ｐ 3 よりも相対的に低圧に保つことに
よって、前記排気系路Ｌ 1 から炉内ガスａ及び雰囲気ガ
スｂの排気が行われるように構成されることを特徴とす
る。
示すように、炉１内に二重に配置される外側タイトボッ
クス２及び内側タイトボックス３と、外側タイトボック
ス２の外部に炉内ガスａを導入するためのガス導入系路
Ｌ 2 と、内側タイトボックス３の内部に雰囲気ガスｂを
導入するためのガス導入系路Ｌ 3 と、外側タイトボック
ス２と内側タイトボックス３の間の中間室Ｓを排気する
排気系路Ｌ 1 とを具備してなり、中間室Ｓの圧力Ｐ 1 を
外側タイトボックス２の外部圧Ｐ 2 および内側タイトボ
ックス３の内部圧Ｐ 3 よりも相対的に低圧に保つことに
よって、前記排気系路Ｌ 1 から炉内ガスａ及び雰囲気ガ
スｂの排気が行われるように構成されることを特徴とす
る。
【０００７】
【作用】外側タイトボックス２の外部に導入される炉内
ガスａは差圧により中間室Ｓに流入し、また、内側タイ
トボックス３の内部に導入される雰囲気ガスｂは不純物
等とともに差圧により中間室Ｓに流出する。これらの圧
力関係下では、中間室Ｓに流入した炉内ガスａがさらに
内側タイトボックス３の内部に流入するようなことはあ
り得ず、中間室Ｓに流出した汚れた雰囲気ガスｂがさら
に外側タイトボックス２の外部に流出するようなことも
あり得ない。そして、それらは全てこの中間室Ｓから直
接炉１外に排気される。このため、この炉構造による
と、汚れた雰囲気ガスｂにより炉内構成部品が汚染され
ることを防止でき、その上、内側タイトボックス３の内
部処理空間を常にフレッシュな雰囲気ガスｂで満たすこ
とができ、さらにその濃度設定も炉内ガスａが流入しな
いために正確に行うことができるものとなる。
ガスａは差圧により中間室Ｓに流入し、また、内側タイ
トボックス３の内部に導入される雰囲気ガスｂは不純物
等とともに差圧により中間室Ｓに流出する。これらの圧
力関係下では、中間室Ｓに流入した炉内ガスａがさらに
内側タイトボックス３の内部に流入するようなことはあ
り得ず、中間室Ｓに流出した汚れた雰囲気ガスｂがさら
に外側タイトボックス２の外部に流出するようなことも
あり得ない。そして、それらは全てこの中間室Ｓから直
接炉１外に排気される。このため、この炉構造による
と、汚れた雰囲気ガスｂにより炉内構成部品が汚染され
ることを防止でき、その上、内側タイトボックス３の内
部処理空間を常にフレッシュな雰囲気ガスｂで満たすこ
とができ、さらにその濃度設定も炉内ガスａが流入しな
いために正確に行うことができるものとなる。
【０００８】
【実施例】以下、本考案の一実施例を、図２を参照して
説明する。
説明する。
【０００９】この炉１は、両側に開閉扉４ａを有する円
筒状の炉殻４の内側空間を、両側に開閉部５ａをする円
筒状の断熱材５によって区画し、この断熱材５の内面に
ロッドヒータ６を配設している。そして、この断熱材５
のさらに内部に、グラファイト製のタイトボックス２、
３を二重に配置している。内側タイトボックス３は、そ
の内部に形成される処理空間に処理物を内有した容器ｘ
を収納するようにしたものであり、また、内側タイトボ
ックス３を包囲する外側タイトボックス２は、前記内側
タイトボックス３との間に適当な間隔の中間室Ｓを形成
している。これらのタイトボックス２、３は、その扉２
ａ、３ａの四隅の隙間等に内外の差圧排気を実現するた
めの図示しない通気路を形成している。外側タイトボッ
クス２の両側の端板２ａおよび内側タイトボックス３の
一方の端板３ａも処理物の挿脱のための開閉扉となって
いる。
筒状の炉殻４の内側空間を、両側に開閉部５ａをする円
筒状の断熱材５によって区画し、この断熱材５の内面に
ロッドヒータ６を配設している。そして、この断熱材５
のさらに内部に、グラファイト製のタイトボックス２、
３を二重に配置している。内側タイトボックス３は、そ
の内部に形成される処理空間に処理物を内有した容器ｘ
を収納するようにしたものであり、また、内側タイトボ
ックス３を包囲する外側タイトボックス２は、前記内側
タイトボックス３との間に適当な間隔の中間室Ｓを形成
している。これらのタイトボックス２、３は、その扉２
ａ、３ａの四隅の隙間等に内外の差圧排気を実現するた
めの図示しない通気路を形成している。外側タイトボッ
クス２の両側の端板２ａおよび内側タイトボックス３の
一方の端板３ａも処理物の挿脱のための開閉扉となって
いる。
【００１０】そして、前記外側タイトボックス２の外部
加熱空間にガス導入系路Ｌ2 を接続して例えば不活性ガ
スのような安定した炉内ガスａを一定圧でまたは炉内が
一定圧となるように流量調節して導入し、前記内側タイ
トボックス３の内部処理空間にガス導入系路Ｌ3 を接続
して雰囲気ガスｂ（例えばアンモニア分解ガス；Ｎ2、
ＮＨ3 、Ａｒ）が所定濃度となるように調節して導入
し、前記外側タイトボックス２と前記内側タイトボック
ス３の間の中間室Ｓに排気系路Ｌ1 を接続してそれらの
ガスａ、ｂを炉外へ直接排出し図示しないワックストラ
ップへ連行するようにしている。なお、中間室Ｓの圧力
Ｐ1 を外側タイトボックス２の外部圧Ｐ2および内側タ
イトボックス３の内部圧Ｐ3 よりも相対的に低圧に保つ
ように、例えば、Ｐ1 ＜Ｐ2 ＝Ｐ3 なる条件を成立させ
るようにしている。また、前記ガス導入系路Ｌ3 はこの
実施例では内側タイトボックス３の内部に達した後、ロ
ードヒータ６に沿って引き回した予熱パイプ７内に雰囲
気ガスｂを流通させ、しかる後、処理物を収容した容器
ｘ内にそのガスｂを導入するようにしている。さらに、
図において８は炉内温度を検出するための熱電対であ
り、９はヒータ６に通電するための電極棒であり、１０
は断熱材５と炉殻４の間に介在する防熱材であり、１１
はクーラー、１２はファンである。
加熱空間にガス導入系路Ｌ2 を接続して例えば不活性ガ
スのような安定した炉内ガスａを一定圧でまたは炉内が
一定圧となるように流量調節して導入し、前記内側タイ
トボックス３の内部処理空間にガス導入系路Ｌ3 を接続
して雰囲気ガスｂ（例えばアンモニア分解ガス；Ｎ2、
ＮＨ3 、Ａｒ）が所定濃度となるように調節して導入
し、前記外側タイトボックス２と前記内側タイトボック
ス３の間の中間室Ｓに排気系路Ｌ1 を接続してそれらの
ガスａ、ｂを炉外へ直接排出し図示しないワックストラ
ップへ連行するようにしている。なお、中間室Ｓの圧力
Ｐ1 を外側タイトボックス２の外部圧Ｐ2および内側タ
イトボックス３の内部圧Ｐ3 よりも相対的に低圧に保つ
ように、例えば、Ｐ1 ＜Ｐ2 ＝Ｐ3 なる条件を成立させ
るようにしている。また、前記ガス導入系路Ｌ3 はこの
実施例では内側タイトボックス３の内部に達した後、ロ
ードヒータ６に沿って引き回した予熱パイプ７内に雰囲
気ガスｂを流通させ、しかる後、処理物を収容した容器
ｘ内にそのガスｂを導入するようにしている。さらに、
図において８は炉内温度を検出するための熱電対であ
り、９はヒータ６に通電するための電極棒であり、１０
は断熱材５と炉殻４の間に介在する防熱材であり、１１
はクーラー、１２はファンである。
【００１１】以上のような炉構造であると、外側タイト
ボックス２の外部にガス導入系路Ｌ2 を通じて導入され
る炉内ガスａは差圧により中間室Ｓに流入し、また、内
側タイトボックス３の内部にガス導入系路Ｌ3 を通じて
導入される雰囲気ガスｂは不純物等とともに差圧により
中間室Ｓに流出する。これらの圧力関係下では、中間室
Ｓに流入した炉内ガスａがさらに内側タイトボックス３
の内部に流入するようなことはあり得ず、中間室Ｓに流
出した汚れた雰囲気ガスｂがさらに外側タイトボックス
２の外部に流出するようなこともあり得ない。そして、
それらのガスａ、ｂは全てこの中間室Ｓから排気系路Ｌ
1 を通じて直接炉１外に排気される。このため、この炉
構造によると、汚れた雰囲気ガスｂを炉内構成部品に接
触させることなく炉外に排出することができ、その上
に、容器ｘ内を常にフレッシュな雰囲気ガスｂで満たし
て、そのガスｂの濃度設定を炉内ガスａの影響を受けず
に正確に行うことができることになり、それらの結果、
炉内構成部品の汚染に悪影響を与えるようなガス（腐食
性ガス等）を雰囲気ガスとして不都合なく使用できた
り、雰囲気ガスを最適濃度に調節して効率の高い処理を
行うこと等が可能になる。
ボックス２の外部にガス導入系路Ｌ2 を通じて導入され
る炉内ガスａは差圧により中間室Ｓに流入し、また、内
側タイトボックス３の内部にガス導入系路Ｌ3 を通じて
導入される雰囲気ガスｂは不純物等とともに差圧により
中間室Ｓに流出する。これらの圧力関係下では、中間室
Ｓに流入した炉内ガスａがさらに内側タイトボックス３
の内部に流入するようなことはあり得ず、中間室Ｓに流
出した汚れた雰囲気ガスｂがさらに外側タイトボックス
２の外部に流出するようなこともあり得ない。そして、
それらのガスａ、ｂは全てこの中間室Ｓから排気系路Ｌ
1 を通じて直接炉１外に排気される。このため、この炉
構造によると、汚れた雰囲気ガスｂを炉内構成部品に接
触させることなく炉外に排出することができ、その上
に、容器ｘ内を常にフレッシュな雰囲気ガスｂで満たし
て、そのガスｂの濃度設定を炉内ガスａの影響を受けず
に正確に行うことができることになり、それらの結果、
炉内構成部品の汚染に悪影響を与えるようなガス（腐食
性ガス等）を雰囲気ガスとして不都合なく使用できた
り、雰囲気ガスを最適濃度に調節して効率の高い処理を
行うこと等が可能になる。
【００１２】
【考案の効果】本考案に係る真空炉は、以上説明したよ
うに、炉内に二重にタイトボックスを配置して、外側タ
イトボックスの外部に炉内ガスを導入し、内側タイトボ
ックスの内部に雰囲気ガスを導入し、それらのガスを外
側タイトボックスと内側タイトボックスの間の中間室か
ら排気するものである。このため、炉内構成部品の汚染
に悪影響を与えるようなガス（腐食性ガス等）を雰囲気
ガスとして不都合なく使用でき、雰囲気ガスを最適濃度
に調節して効率の高い処理を行うことも可能になる。
うに、炉内に二重にタイトボックスを配置して、外側タ
イトボックスの外部に炉内ガスを導入し、内側タイトボ
ックスの内部に雰囲気ガスを導入し、それらのガスを外
側タイトボックスと内側タイトボックスの間の中間室か
ら排気するものである。このため、炉内構成部品の汚染
に悪影響を与えるようなガス（腐食性ガス等）を雰囲気
ガスとして不都合なく使用でき、雰囲気ガスを最適濃度
に調節して効率の高い処理を行うことも可能になる。
【図１】本考案を説明するための構成説明図。
【図２】本考案の一実施例を示す全体縦断面図。
２…外側タイトボックス ３…内側タイトボックス ａ…炉内ガス ｂ…雰囲気ガスＬ 1 …排気系路 Ｌ 2 、Ｌ 3 …ガス導入系路 Ｐ 1 …中間室圧力 Ｐ 2 …外部圧 Ｐ 3 …内部圧 Ｓ…中間室
Claims (1)
- 【請求項１】炉内に二重に配置される外側タイトボック
ス及び内側タイトボックスと、外側タイトボックスの外
部に炉内ガスを導入するためのガス導入系路と、内側タ
イトボックスの内部に雰囲気ガスを導入するためのガス
導入系路と、外側タイトボックスと内側タイトボックス
の間の中間室を排気する排気系路とを具備してなり、中
間室の圧力を外側タイトボックスの外部圧および内側タ
イトボックスの内部圧よりも相対的に低圧に保つことに
よって、前記排気系路から炉内ガス及び雰囲気ガスの排
気が行われるように構成されることを特徴とする真空
炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8972991U JPH086007Y2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 真空炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8972991U JPH086007Y2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 真空炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0537925U JPH0537925U (ja) | 1993-05-21 |
| JPH086007Y2 true JPH086007Y2 (ja) | 1996-02-21 |
Family
ID=13978852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8972991U Expired - Fee Related JPH086007Y2 (ja) | 1991-10-31 | 1991-10-31 | 真空炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH086007Y2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6482072B2 (ja) * | 2015-06-02 | 2019-03-13 | Ｄｏｗａサーモテック株式会社 | 真空脱脂焼結炉 |
| JP7398032B2 (ja) * | 2020-02-28 | 2023-12-14 | 島津産機システムズ株式会社 | 工業炉 |
-
1991
- 1991-10-31 JP JP8972991U patent/JPH086007Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0537925U (ja) | 1993-05-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |