JPH08113338A - Carrying device - Google Patents
Carrying deviceInfo
- Publication number
- JPH08113338A JPH08113338A JP24981094A JP24981094A JPH08113338A JP H08113338 A JPH08113338 A JP H08113338A JP 24981094 A JP24981094 A JP 24981094A JP 24981094 A JP24981094 A JP 24981094A JP H08113338 A JPH08113338 A JP H08113338A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moving
- base
- carrying
- rack
- moving part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Reciprocating Conveyors (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、小スペースでワークを
搬送することができる搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device capable of transferring a work in a small space.
【0002】[0002]
【従来の技術とその課題】従来、ワークを搬送させる際
には、ベルトコンベヤ等のエンドレスの牽引部材を利用
して搬送させたり、エアシリンダ等の往復動のシリンダ
を利用して搬送させたり、あるいは、回動するアームを
利用して搬送させる場合があった。2. Description of the Related Art Conventionally, when a work is carried, it is carried by using an endless traction member such as a belt conveyor or a reciprocating cylinder such as an air cylinder. Alternatively, there is a case where the rotating arm is used to carry the sheet.
【0003】しかし、ベルトコンベヤ等を利用する場合
には、ワークを搬送させる搬送始点から搬送終了地点ま
で、ベルトコンベヤ等を配置させる必要があり、大きな
スペースが必要となってしまう。However, when a belt conveyor or the like is used, it is necessary to dispose the belt conveyor or the like from the starting point for carrying the work to the ending point, and a large space is required.
【0004】また、エアシリンダ等では、搬送する距離
分、ピストンロッドを移動させる必要があり、そのピス
トンロッドのストロークを確保するために、搬送距離よ
り長いシリンダやピストンロッドを利用することとなっ
て、これまた大きなスペースが必要となってしまう。Further, in an air cylinder or the like, it is necessary to move the piston rod by the conveying distance, and in order to secure the stroke of the piston rod, a cylinder or piston rod longer than the conveying distance is used. , This also requires a large space.
【0005】さらに、回動するアームを利用する場合に
は、ワークを搬送する搬送路以外の位置に、アームの旋
回スペースが必要となって、これまた大きなスペースが
必要となってしまう。Further, when the rotating arm is used, a space for turning the arm is required at a position other than the transfer path for transferring the work, and a large space is required.
【0006】本発明は、上述の課題を解決するものであ
り、小スペースでワークを搬送することができる搬送装
置を提供することを目的とする。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a transfer device capable of transferring a work in a small space.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送装置
は、ベースの上方に2段以上の移動部が配設されるとと
もに、前記ベース上の各移動部が階段状に搬送方向に移
動して、最上段の移動部がワークを搬送することとなる
搬送装置であって、前記ベースと前記ベースの直上の移
動部とには、該移動部を搬送方向に移動させる移動機構
が配設され、前記ベースと前記最上段の移動部との間の
移動部には、搬送方向と直交する方向に回動軸を配置さ
せた回動自在な従動ピニオンが保持され、該従動ピニオ
ンを保持した移動部の直下と直上とのベース若しくは移
動部には、それぞれ、相互に対向するように前記従動ピ
ニオンに噛合して搬送方向と平行に延びるラックが、配
設固定されていることを特徴とする。In the carrying apparatus according to the present invention, two or more moving parts are arranged above the base, and each moving part on the base moves stepwise in the carrying direction. Is a transfer device in which the uppermost moving part transfers a work, and a moving mechanism for moving the moving part in the carrying direction is provided in the base and the moving part directly above the base. A movable driven pinion having a rotation shaft arranged in a direction orthogonal to the transport direction is held at a moving portion between the base and the uppermost moving portion, and the movable pinion is moved while being held. Racks that engage with the driven pinions and extend parallel to the conveying direction so as to face each other are arranged and fixed to the bases or the moving portions just below and above the portions, respectively.
【0008】[0008]
【発明の作用・効果】本発明に係る搬送装置では、移動
機構が作動されてベースの直上の移動部(これを第1移
動部とする)が搬送方向に移動すると、この第1移動部
に保持された従動ピニオンが、ベースに対して搬送方向
と平行に配設固定されたラックに噛合しているために、
所定方向に回転する。In the carrying device according to the present invention, when the moving mechanism is actuated and the moving part immediately above the base (which is referred to as the first moving part) moves in the carrying direction, the moving part moves to the first moving part. Since the retained driven pinion is meshed with the rack that is fixed to the base in parallel with the transport direction,
Rotate in a predetermined direction.
【0009】すると、第1移動部の直上の移動部(これ
を第2移動部とする)は、ベースに配設固定されたラッ
クと対向するように搬送方向と平行に配置されて第1移
動部の従動ピニオンに噛合するラックを、固定させてい
るため、所謂、複動歯車機構と同様に、第1移動部より
さらに搬送方向に移動することとなる。Then, the moving part immediately above the first moving part (this is referred to as the second moving part) is arranged parallel to the carrying direction so as to face the rack fixed to the base, and is moved first. Since the rack that meshes with the driven pinion of the unit is fixed, the rack moves further in the transport direction than the first moving unit, as in the so-called double-acting gear mechanism.
【0010】また、第2移動部が搬送方向に移動する
と、この第2移動部に保持された従動ピニオンが、第1
移動部に対して搬送方向と平行に配設固定されたラック
に噛合しているために、所定方向に回転する。When the second moving section moves in the carrying direction, the driven pinion held by the second moving section moves to the first
The rack rotates in a predetermined direction because it meshes with a rack that is fixed to the moving unit in parallel with the transport direction.
【0011】そのため、第2移動部の直上の移動部(こ
れを第3移動部とする)は、第1移動部に配設固定され
たラックと対向するように搬送方向と平行に配置されて
第2移動部の従動ピニオンに噛合するラックを、固定さ
せているため、所謂、複動歯車機構と同様に、第2移動
部よりさらに搬送方向に移動することとなる。Therefore, the moving part immediately above the second moving part (this is referred to as the third moving part) is arranged parallel to the carrying direction so as to face the rack fixed and fixed to the first moving part. Since the rack that meshes with the driven pinion of the second moving unit is fixed, the rack moves further in the transport direction than the second moving unit, as in the so-called double-acting gear mechanism.
【0012】そして、第1移動部より上方の移動部(第
2・第3・第4・…)が、順次、所謂複動歯車機構によ
って、直下の移動部より搬送方向に移動することとな
り、最上段の移動部が、ワークを搬送始点から搬送終点
まで、搬送することとなる。Then, the moving parts (second, third, fourth, ...) Above the first moving part are sequentially moved by the so-called double-acting gear mechanism in the carrying direction from the moving part directly below. The uppermost moving unit conveys the work from the conveyance start point to the conveyance end point.
【0013】以上のように、本発明に係る搬送装置で
は、ベース上方の各移動部が、直下のベース若しくは移
動部より搬送方向へ移動し、階段状に延びる態様となっ
て、最上段の移動部がワークを搬送することから、搬送
路以外のスペースを必要としない。As described above, in the carrying apparatus according to the present invention, the moving parts above the base move in the carrying direction from the base or the moving part directly below to extend in a stepwise manner, and move to the uppermost stage. Since the section conveys the work, no space other than the conveyance path is required.
【0014】また、各移動部が、下方のベース若しくは
移動部より搬送方向に移動するため、移動部の段数を増
やせば、各移動部の搬送方向の長さ寸法より長く、最上
段の移動部を移動させることも可能となり、各移動部が
積層される厚さが大きくなるものの、搬送距離を無限に
大きくすることも可能となる。Further, since each moving unit moves in the carrying direction from the lower base or the moving unit, if the number of stages of the moving units is increased, the moving unit at the uppermost stage is longer than the length of each moving unit in the carrying direction. It is also possible to move the moving parts, and although the thickness of each moving part is increased, the carrying distance can be increased infinitely.
【0015】さらに、非搬送時に、各移動部を積層させ
れば、1つの移動部(若しくはベース)の投影面積のス
ペースで待機させることができる。Furthermore, by stacking the moving parts during non-conveying, it is possible to wait in the space of the projected area of one moving part (or base).
【0016】したがって、本発明に係る搬送装置では、
小スペースでワークを搬送することができる。Therefore, in the carrying device according to the present invention,
Work can be transported in a small space.
【0017】[0017]
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0018】実施例の搬送装置Mは、図1〜4に示すよ
うに、液晶パネルに使用される薄いガラス基板等のワー
クWを、カット部位から収納カセットまで水平方向に搬
送するものであり、ベース1の上方に3段の移動部10
・20・30が配設されて構成されている。As shown in FIGS. 1 to 4, the carrying device M of the embodiment carries a work W such as a thin glass substrate used for a liquid crystal panel in a horizontal direction from a cut portion to a storage cassette. Above the base 1, there are three stages of moving parts 10
・ 20 and 30 are arranged.
【0019】ベース1には、搬送方向と平行に延びるラ
ック2が配設固定されるとともに、ベース1の直上の移
動部10(これを第1移動部10とする)を搬送方向に
移動させるための移動機構4の駆動モータ5を配設固定
している。A rack 2 extending parallel to the carrying direction is disposed and fixed to the base 1, and a moving part 10 (which is referred to as a first moving part 10) immediately above the base 1 is moved in the carrying direction. The drive motor 5 of the moving mechanism 4 is fixed.
【0020】移動機構4は、実施例の場合、駆動モータ
5と、駆動モータ5の駆動軸5aに固着されるピニオン
6と、第1移動部10に対して搬送方向と平行に延びる
ように固定されてピニオン6と噛合するラック7と、か
ら構成されている。In the case of the embodiment, the moving mechanism 4 is fixed so as to extend parallel to the transport direction with respect to the drive motor 5, the pinion 6 fixed to the drive shaft 5a of the drive motor 5, and the first moving portion 10. And a rack 7 that meshes with the pinion 6.
【0021】ベース1と最上段の移動部30(これを第
3移動部30とする)との間の中間移動部、すなわち、
ベース1の直上の第1移動部10と、第1移動部10の
直上の移動部20(これを第2移動部20とする)と、
には、それぞれ、搬送方向と直交する方向に回動軸12
・22を配置させた回動自在な従動ピニオン11・21
が保持されている。An intermediate moving section between the base 1 and the uppermost moving section 30 (this is referred to as a third moving section 30), that is,
A first moving unit 10 directly above the base 1, a moving unit 20 immediately above the first moving unit 10 (this is referred to as a second moving unit 20),
The rotating shafts 12 are respectively arranged in a direction orthogonal to the transport direction.
.Turning driven pinion 11 and 21 with 22 arranged
Is held.
【0022】各ピニオン11・21は、移動部10・2
0に固定された軸受13・23に回動軸12・22を挿
通させて、上下端に歯部11a・11b・21a・21
bを配置させている。Each pinion 11/21 has a moving part 10/2.
The rotating shafts 12 and 22 are inserted into the bearings 13 and 23 fixed to 0, and the tooth portions 11a, 11b, 21a and 21 are attached to the upper and lower ends.
b is arranged.
【0023】そして、これらの従動ピニオン11・21
を保持した移動部10・20の直下と直上とのベース1
若しくは移動部10・20・30には、それぞれ、相互
に対向するように従動ピニオン11・21に噛合して搬
送方向と平行に延びるラック2・14・24・34が、
配設固定されている。Then, these driven pinions 11 and 21
1 just below and above the moving parts 10 and 20 holding the
Alternatively, racks 2, 14, 24, 34, which engage with the driven pinions 11 and 21 and extend parallel to the transport direction, are provided in the moving units 10, 20, and 30 so as to face each other.
Arranged and fixed.
【0024】すなわち、従動ピニオン11を保持した第
1移動部10の直下のベース1と直上の第2移動部20
とには、それぞれ、相互に対向するように従動ピニオン
11に噛合して搬送方向と平行に延びるラック2・24
が、配設固定されている。That is, the base 1 immediately below the first moving unit 10 holding the driven pinion 11 and the second moving unit 20 immediately above.
And the racks 2 and 24 that mesh with the driven pinion 11 so as to face each other and extend parallel to the transport direction.
Are fixedly arranged.
【0025】また、従動ピニオン21を保持した第2移
動部20の直下の第1移動部10と直上の第3移動部3
0とには、それぞれ、相互に対向するように従動ピニオ
ン21に噛合して搬送方向と平行に延びるラック14・
34が、配設固定されている。Further, the first moving portion 10 directly below the second moving portion 20 holding the driven pinion 21 and the third moving portion 3 immediately above.
0 means racks 14 that mesh with the driven pinions 21 so as to face each other and extend parallel to the transport direction.
34 is disposed and fixed.
【0026】さらに、この搬送装置Mには、第1・2・
3移動部10・20・30が搬送方向からずれないよう
に、ベース1・第1・2移動部10・20の左右の部位
に、それぞれ、移動部10・20・30の左右の側面に
摺動する案内部材8が配設されている。Further, the transfer device M includes the first, second,
3 To prevent the moving parts 10, 20, 30 from shifting from the transport direction, slide them on the left and right parts of the base 1, the first, second moving parts 10, 20, respectively, on the left and right side surfaces of the moving parts 10, 20, 30, respectively. A moving guide member 8 is provided.
【0027】なお、各移動部10・20・30には、そ
の周壁に、ラック2やピニオン6・11・21と干渉し
ないように、孔(図符号省略)が形成されている。Each of the moving parts 10, 20 and 30 has a hole (not shown) formed on the peripheral wall thereof so as not to interfere with the rack 2 and the pinions 6.11.
【0028】この搬送装置Mの使用態様について説明す
ると、まず、図1に示すように、各移動部10・20・
30がベース1の上方で積層された待機状態の最上段の
第3移動部30の上面にワークWを載置する。The mode of use of the carrier M will be described. First, as shown in FIG.
The work W is placed on the upper surface of the uppermost third moving unit 30 in a standby state in which 30 is stacked above the base 1.
【0029】そして、移動機構4としての駆動モータ5
を平面から見た状態で時計方向に回転させれば、図3・
4に示すように、ピニオン6が回転し、ピニオン6と噛
合するラック7を固定させている第1移動部10が、搬
送方向に移動する。Then, the drive motor 5 as the moving mechanism 4
If you rotate it clockwise when viewed from above,
As shown in FIG. 4, the pinion 6 rotates, and the first moving unit 10 that fixes the rack 7 that meshes with the pinion 6 moves in the transport direction.
【0030】この第1移動部10の移動に伴ない、第1
移動部10に保持された従動ピニオン11が、ベース1
に対して搬送方向と平行に配設固定されたラック2に、
その歯部11aを噛合させているために、反時計方向に
回転する。With the movement of the first moving section 10, the first
The driven pinion 11 held by the moving unit 10 is the base 1
To the rack 2 which is arranged and fixed in parallel with the transport direction,
Since the teeth 11a are meshed with each other, the teeth 11a rotate counterclockwise.
【0031】すると、第1移動部10の直上の第2移動
部20は、ベース1に配設固定されたラック2と対向す
るように搬送方向と平行に配置されて従動ピニオン11
の歯部11bに噛合するラック24を、固定させている
ため、所謂、複動歯車機構と同様に、第1移動部10よ
りさらに搬送方向に移動することとなる。Then, the second moving portion 20 immediately above the first moving portion 10 is arranged in parallel with the conveying direction so as to face the rack 2 arranged and fixed on the base 1 and is driven by the driven pinion 11.
Since the rack 24 that meshes with the tooth portion 11b of the first fixing portion is fixed, the rack 24 moves further in the transport direction than the first moving portion 10 as in the so-called double-acting gear mechanism.
【0032】また、第2移動部20が搬送方向に移動す
ると、この第2移動部20に保持された従動ピニオン2
1が、第1移動部10に対して搬送方向と平行に配設固
定されたラック14に、その歯部21aを噛合させてい
るために、反時計方向に回転する。When the second moving section 20 moves in the carrying direction, the driven pinion 2 held by the second moving section 20.
1 rotates in the counterclockwise direction because the tooth portion 21a of the rack 1 is meshed with the rack 14 which is fixed to the first moving portion 10 in parallel with the transport direction.
【0033】そのため、第2移動部20の直上の第3移
動部30は、第1移動部10に配設固定されたラック1
4と対向するように搬送方向と平行に配置されて従動ピ
ニオン21の歯部21bに噛合するラック34を、固定
させているため、所謂、複動歯車機構と同様に、第2移
動部20よりさらに搬送方向に移動し、上面に載置した
ワークWを搬送終了地点まで搬送することとなる。Therefore, the third moving section 30 immediately above the second moving section 20 has the rack 1 fixed to the first moving section 10.
Since the rack 34, which is arranged parallel to the transport direction so as to face 4 and meshes with the tooth portion 21b of the driven pinion 21, is fixed, as in the case of the so-called double-acting gear mechanism, Further, it moves in the carrying direction, and the work W placed on the upper surface is carried to the carrying end point.
【0034】なお、搬送装置Mを復帰させる場合には、
駆動モータ5を逆転させれば、搬送方向と反対側に各移
動部10・20・30が移動して、ベース1の上方に復
帰することとなる。When the transport device M is returned,
When the drive motor 5 is rotated in the reverse direction, the moving parts 10, 20 and 30 are moved to the opposite side to the conveying direction and returned to above the base 1.
【0035】したがって、実施例の搬送装置Mでは、ベ
ース1上方の各移動部10・20・30が、直下のベー
ス1・移動部10・20より搬送方向へ移動し、階段状
に延びる態様となって、最上段の移動部30がワークW
を搬送することから、搬送路以外のスペースを必要とし
ない。Therefore, in the carrying device M of the embodiment, the moving parts 10, 20, 30 above the base 1 move in the carrying direction from the base 1 / moving parts 10, 20 immediately below and extend in a stepwise manner. Then, the moving part 30 at the top is the work W.
No space other than the transportation path is required since the paper is transported.
【0036】また、非搬送時に、各移動部10・20・
30を積層させれば、図1に示すように、1つの移動部
10(若しくはベース1)の投影面積のスペースで待機
させることができ、小スペースでワークWを搬送するこ
とができる。Further, at the time of non-conveyance, the moving parts 10, 20, ...
If 30 is stacked, as shown in FIG. 1, it is possible to wait in a space of the projected area of one moving part 10 (or base 1), and the work W can be transported in a small space.
【0037】なお、実施例では、移動部10・20・3
0を三段とした場合を示したが、33移動部10の直上
に第4移動部を設け、第3移動部30に従動ピニオンを
回動自在に保持させるとともに、第2移動部20と第4
移動部とに、第3移動部30に配設させたピニオンと噛
合して相互に対向するラックを設ければ、実施例の場合
より、ワークを長く搬送することができ、さらに、所定
の従動ピニオンやラックを配設させて移動部の段数を増
やせば、各移動部が積層される厚さが大きくなるもの
の、搬送距離を無限に大きくすることも可能となる。In the embodiment, the moving parts 10, 20 and 3 are
Although the case where 0 is set in three stages is shown, the fourth moving unit is provided immediately above the 33 moving unit 10 to rotatably hold the driven pinion of the third moving unit 30, and the second moving unit 20 and the second moving unit 20. Four
If the moving portion is provided with a rack that meshes with the pinion arranged in the third moving portion 30 and faces each other, the work can be conveyed longer than in the case of the embodiment, and further, the predetermined driven member is driven. If a pinion or a rack is provided and the number of stages of the moving parts is increased, the transport distance can be increased infinitely, although the thickness of the stacked moving parts is increased.
【0038】また、実施例では、第1移動部10を移動
させる移動機構4として、駆動モータ5・ピニオン6・
ラック7を利用したものを示したが、他に、エアシリン
ダをベース1に固定し、そのピストンロッドの先端を第
1移動部10に連結させるように、往復動するシリンダ
等を利用しても良い。Further, in the embodiment, as the moving mechanism 4 for moving the first moving portion 10, the drive motor 5, the pinion 6 ,.
Although the rack 7 is used, an air cylinder may be fixed to the base 1 and a reciprocating cylinder or the like may be used so that the tip of the piston rod is connected to the first moving portion 10. good.
【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]
【図1】本発明の一実施例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment of the present invention.
【図2】同実施例の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of the same embodiment.
【図3】同実施例の使用態様を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a mode of use of the embodiment.
【図4】同実施例の使用態様を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a mode of use of the embodiment.
1…ベース、 2・14・24・34…ラック、 4…移動機構、 5…駆動モータ、 6…ピニオン、 7…ラック、 10・20・30…移動部、 11・21…従動ピニオン、 M…搬送装置、 W…ワーク。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Base, 2 * 14 * 24 * 34 ... Rack, 4 ... Moving mechanism, 5 ... Drive motor, 6 ... Pinion, 7 ... Rack, 10 * 20 * 30 ... Moving part, 11.21 ... Followed pinion, M ... Conveyor, W ... Work.
Claims (1)
されるとともに、前記ベース上の各移動部が階段状に搬
送方向に移動して、最上段の移動部がワークを搬送する
こととなる搬送装置であって、 前記ベースと前記ベースの直上の移動部とには、該移動
部を搬送方向に移動させる移動機構が配設され、 前記ベースと前記最上段の移動部との間の移動部には、
搬送方向と直交する方向に回動軸を配置させた回動自在
な従動ピニオンが保持され、 該従動ピニオンを保持した移動部の直下と直上とのベー
ス若しくは移動部には、それぞれ、相互に対向するよう
に前記従動ピニオンに噛合して搬送方向と平行に延びる
ラックが、配設固定されていることを特徴とする搬送装
置。1. A moving part having two or more steps is arranged above the base, and each moving part on the base moves stepwise in the carrying direction so that the uppermost moving part carries the work. In the transfer device, a moving mechanism that moves the moving unit in the transfer direction is provided in the base and the moving unit immediately above the base, and the moving unit moves between the base and the uppermost moving unit. In the moving part between,
A rotatable driven pinion having a rotating shaft arranged in a direction orthogonal to the transport direction is held, and the base or the moving portion immediately below and directly above the moving portion holding the driven pinion face each other. As described above, the rack is arranged and fixed to a rack that meshes with the driven pinion and extends parallel to the transport direction.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24981094A JPH08113338A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Carrying device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24981094A JPH08113338A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Carrying device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08113338A true JPH08113338A (en) | 1996-05-07 |
Family
ID=17198549
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24981094A Pending JPH08113338A (en) | 1994-10-14 | 1994-10-14 | Carrying device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH08113338A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007241152A (en) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Substrate sticking device |
WO2016076060A1 (en) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | 村田機械株式会社 | Transfer device and transfer method |
CN108033249A (en) * | 2018-01-15 | 2018-05-15 | 昆山精讯电子技术有限公司 | A kind of carrying mechanism |
CN111824699A (en) * | 2020-07-17 | 2020-10-27 | 胡佩珍 | Feeding trolley mechanism with hydraulic rotating arm |
-
1994
- 1994-10-14 JP JP24981094A patent/JPH08113338A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007241152A (en) * | 2006-03-13 | 2007-09-20 | Hitachi Plant Technologies Ltd | Substrate sticking device |
WO2016076060A1 (en) * | 2014-11-14 | 2016-05-19 | 村田機械株式会社 | Transfer device and transfer method |
JPWO2016076060A1 (en) * | 2014-11-14 | 2017-04-27 | 村田機械株式会社 | Transfer device and transfer method |
CN108033249A (en) * | 2018-01-15 | 2018-05-15 | 昆山精讯电子技术有限公司 | A kind of carrying mechanism |
CN108033249B (en) * | 2018-01-15 | 2024-02-13 | 苏州精濑光电有限公司 | Conveying mechanism |
CN111824699A (en) * | 2020-07-17 | 2020-10-27 | 胡佩珍 | Feeding trolley mechanism with hydraulic rotating arm |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2003170384A (en) | Scalar robot for carrying flat plate-like object and processing system for flat plate-like object | |
JP2007036227A (en) | Substrate storage cassette, transfer conveyor, and transfer system employing them | |
JPWO2003049181A1 (en) | Equipment for temporary loading, detention and unloading of containers | |
CN109417044A (en) | Handling system | |
JP4564084B2 (en) | Transport system | |
JPH09285982A (en) | Thin workpiece carrier device | |
JP4933625B2 (en) | Substrate transfer system | |
JPH08113338A (en) | Carrying device | |
JPH0549730U (en) | Sheet reversal conveyor | |
JP2002002932A (en) | Carrying-direction changing device | |
JP2571047Y2 (en) | Reverse transfer device for work | |
JP2004039706A (en) | Transport device | |
JPH09156743A (en) | Conveyance device | |
JP5212899B2 (en) | Work conveying apparatus and work conveying method | |
JP6465775B2 (en) | Sample processing system | |
JPH10275845A (en) | Transfer device and processing device of substrate | |
JP2897073B2 (en) | Plate-like reversing device | |
JPH07267325A (en) | Plate-like body transfer device | |
JP2001267393A (en) | Transfer robot | |
JPH09234681A (en) | Carrying device | |
JP4687120B2 (en) | Article alignment device | |
JPH04327417A (en) | Plate reversing device | |
JPH06336331A (en) | Device and method for transfer loading article in roller conveyer | |
JPS6231629A (en) | Handler for wafer conveyance | |
JPH09201735A (en) | Transfer device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040629 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041026 |