JPH077120A - 半導体装置の実装構造体並びに実装基板および半導体装置 - Google Patents
半導体装置の実装構造体並びに実装基板および半導体装置Info
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- JPH077120A JPH077120A JP5167413A JP16741393A JPH077120A JP H077120 A JPH077120 A JP H077120A JP 5167413 A JP5167413 A JP 5167413A JP 16741393 A JP16741393 A JP 16741393A JP H077120 A JPH077120 A JP H077120A
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- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
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- H01L2224/48463—Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K1/18—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
- H05K1/182—Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
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- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
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- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
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- H05K3/3421—Leaded components
Landscapes
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体装置の高密度および薄型実装を実現す
る。 【構成】 実装基板本体23に収容孔24が開設され、
本体23の上面における収容孔24の開口縁辺部にラン
ド25が配設されている。半導体装置15は収容孔24
に収容されるパッケージ14を備え、パッケージ14の
外周面における一主面側端部にはアウタリード8がラン
ド25に対向するように突設されている。半導体装置1
5が実装基板22にパッケージ14を収容孔24に収容
され、アウタリード8がランド25に電気的に接続され
た状態で実装されている。 【効果】 半導体装置は実装基板本体の収容孔に収容さ
れているため、半導体装置は実装基板の表面から殆ど突
出しない。半導体装置のアウタリード群は実装基板の収
容孔開口縁辺に配設されるため、半導体装置の実装基板
上における占有面積は最小限度に抑制できる。
る。 【構成】 実装基板本体23に収容孔24が開設され、
本体23の上面における収容孔24の開口縁辺部にラン
ド25が配設されている。半導体装置15は収容孔24
に収容されるパッケージ14を備え、パッケージ14の
外周面における一主面側端部にはアウタリード8がラン
ド25に対向するように突設されている。半導体装置1
5が実装基板22にパッケージ14を収容孔24に収容
され、アウタリード8がランド25に電気的に接続され
た状態で実装されている。 【効果】 半導体装置は実装基板本体の収容孔に収容さ
れているため、半導体装置は実装基板の表面から殆ど突
出しない。半導体装置のアウタリード群は実装基板の収
容孔開口縁辺に配設されるため、半導体装置の実装基板
上における占有面積は最小限度に抑制できる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の実装技
術、特に、半導体装置が実装基板の主面から突出しない
ように実装することができる画期的な半導体装置の実装
技術に関し、例えば、半導体集積回路装置(以下、IC
という。)の実装技術に利用して有効なものに関する。
術、特に、半導体装置が実装基板の主面から突出しない
ように実装することができる画期的な半導体装置の実装
技術に関し、例えば、半導体集積回路装置(以下、IC
という。)の実装技術に利用して有効なものに関する。
【0002】
【従来の技術】従来のIC実装技術としては、次のよう
なものがある。 (1) シングル・インライン・パッケージや、デュア
ル・インライン・パッケージを備えているIC(SIP
・IC、DIP・IC)等のように、インライン構造の
アウタリードを備えているICが実装基板に実装される
場合、実装基板本体にはコンタクト構造を有する挿入口
が複数個開設されており、この挿入口群に前記アウタリ
ード群がそれぞれ挿入され、この挿入口のコンタクトと
アウタリードとの間がそれぞれはんだ付けされることに
より、ICが実装基板上に持ち上げられた状態で実装さ
れる。
なものがある。 (1) シングル・インライン・パッケージや、デュア
ル・インライン・パッケージを備えているIC(SIP
・IC、DIP・IC)等のように、インライン構造の
アウタリードを備えているICが実装基板に実装される
場合、実装基板本体にはコンタクト構造を有する挿入口
が複数個開設されており、この挿入口群に前記アウタリ
ード群がそれぞれ挿入され、この挿入口のコンタクトと
アウタリードとの間がそれぞれはんだ付けされることに
より、ICが実装基板上に持ち上げられた状態で実装さ
れる。
【0003】なお、DIP形部品自動挿入技術を述べて
ある例としては、日刊工業新聞社発行「電子部品の自動
組立入門」昭和56年7月30日発行 P135〜P1
37、がある。
ある例としては、日刊工業新聞社発行「電子部品の自動
組立入門」昭和56年7月30日発行 P135〜P1
37、がある。
【0004】(2) スモール・アウトライン・パッケ
ージやクワッド・フラット・パッケージを備えているI
C(SOP・IC、QFP・IC)等のように、アウト
ライン構造のアウタリードを備えているICが実装基板
に実装される場合、実装基板本体の主面上にはコンタク
ト構造を有するランドが複数個形成されており、このラ
ンド群に前記アウタリード群がそれぞれ当接され、この
ランドとアウタリードとの間がそれぞれはんだ付けされ
ることにより、ICが実装基板上に支持(表面実装)さ
れた状態で実装される。
ージやクワッド・フラット・パッケージを備えているI
C(SOP・IC、QFP・IC)等のように、アウト
ライン構造のアウタリードを備えているICが実装基板
に実装される場合、実装基板本体の主面上にはコンタク
ト構造を有するランドが複数個形成されており、このラ
ンド群に前記アウタリード群がそれぞれ当接され、この
ランドとアウタリードとの間がそれぞれはんだ付けされ
ることにより、ICが実装基板上に支持(表面実装)さ
れた状態で実装される。
【0005】なお、表面実装技術を述べてある例として
は、株式会社プレスジャーナル発行「1989サーフェ
イスマウントテクノロジー」昭和63年8月25日発
行、がある。
は、株式会社プレスジャーナル発行「1989サーフェ
イスマウントテクノロジー」昭和63年8月25日発
行、がある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の半
導体装置の実装技術においては、次のような問題点があ
る。
導体装置の実装技術においては、次のような問題点があ
る。
【0007】(1) インライン構造のアウタリードを
備えている半導体装置においては、半導体装置の実装基
板への実装状態において、半導体装置が実装基板の本体
表面から突出するため、実装後の厚みが全体として厚く
なる。
備えている半導体装置においては、半導体装置の実装基
板への実装状態において、半導体装置が実装基板の本体
表面から突出するため、実装後の厚みが全体として厚く
なる。
【0008】(2) アウトライン構造のアウタリード
を備えている半導体装置においては、アウタリードがラ
ンドにはんだ付けされるため、実装基板上における半導
体装置の占有面積が大きくなるばかりでなく、パッケー
ジの厚さ分が実装基板上にどうしても突出してしまう。
を備えている半導体装置においては、アウタリードがラ
ンドにはんだ付けされるため、実装基板上における半導
体装置の占有面積が大きくなるばかりでなく、パッケー
ジの厚さ分が実装基板上にどうしても突出してしまう。
【0009】本発明の目的は、半導体装置が実装基板か
ら突出するのを回避することができる半導体装置の実装
技術を提供することにある。
ら突出するのを回避することができる半導体装置の実装
技術を提供することにある。
【0010】本発明の第2の目的は、実装基板上におけ
る半導体装置の占有面積を小さくすることができる半導
体装置の実装技術を提供することにある。
る半導体装置の占有面積を小さくすることができる半導
体装置の実装技術を提供することにある。
【0011】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0012】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。すなわち、本体に収容凹部が形成されていると
ともに、この本体の一主面における収容凹部の開口縁辺
部にコンタクトが配設されている実装基板と、この実装
基板の収容凹部に収容されるパッケージを備えていると
ともに、このパッケージの外周面における一主面側端部
にアウタリードが前記コンタクトに対向するように突設
されている半導体装置とを備えており、前記半導体装置
が前記実装基板に前記パッケージを前記収容凹部に全体
的に没するように収容され、かつ、前記アウタリードが
前記コンタクトに電気的に接続された状態で実装されて
いることを特徴とする。
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。すなわち、本体に収容凹部が形成されていると
ともに、この本体の一主面における収容凹部の開口縁辺
部にコンタクトが配設されている実装基板と、この実装
基板の収容凹部に収容されるパッケージを備えていると
ともに、このパッケージの外周面における一主面側端部
にアウタリードが前記コンタクトに対向するように突設
されている半導体装置とを備えており、前記半導体装置
が前記実装基板に前記パッケージを前記収容凹部に全体
的に没するように収容され、かつ、前記アウタリードが
前記コンタクトに電気的に接続された状態で実装されて
いることを特徴とする。
【0013】
【作用】前記した手段によれば、半導体装置は実装基板
本体の収容凹部に全体的に没するように収容されている
ため、半導体装置が実装基板の表面から突出するのはき
わめて小さく抑制される。
本体の収容凹部に全体的に没するように収容されている
ため、半導体装置が実装基板の表面から突出するのはき
わめて小さく抑制される。
【0014】また、半導体装置のアウタリード群は実装
基板の一主面における収容凹部の開口縁辺に配設される
ため、アウタリード群の実装基板上における占有面積は
最小限度に抑制することができる。
基板の一主面における収容凹部の開口縁辺に配設される
ため、アウタリード群の実装基板上における占有面積は
最小限度に抑制することができる。
【0015】
【実施例】図1は本発明の一実施例である半導体装置の
実装構造体を示しており、(a)は正面断面図、(b)
は一部省略一部切断平面図である。図2はそれに使用さ
れている実装基板を示しており、(a)は斜視図、
(b)は(a)のb−b線に沿う断面図である。図3以
降は本発明の一実施例である半導体装置の製造方法を示
す各説明図である。
実装構造体を示しており、(a)は正面断面図、(b)
は一部省略一部切断平面図である。図2はそれに使用さ
れている実装基板を示しており、(a)は斜視図、
(b)は(a)のb−b線に沿う断面図である。図3以
降は本発明の一実施例である半導体装置の製造方法を示
す各説明図である。
【0016】本実施例において、本発明に係る半導体装
置の実装構造体21は実装基板22、および半導体集積
回路装置から成る半導体装置15を備えている。
置の実装構造体21は実装基板22、および半導体集積
回路装置から成る半導体装置15を備えている。
【0017】本発明の一実施例である実装基板22は本
体23を備えており、本体23は樹脂またはセラミック
等のような絶縁材料を用いられて所望の平板形状に形成
されている。本体23には収容凹部としての収容孔24
が所望の場所に配されて、厚さ方向に貫通するように一
体的に開設されており、この収容孔24の内部空間は半
導体装置15を収容し得る略正方形の柱形状に形成され
ている。
体23を備えており、本体23は樹脂またはセラミック
等のような絶縁材料を用いられて所望の平板形状に形成
されている。本体23には収容凹部としての収容孔24
が所望の場所に配されて、厚さ方向に貫通するように一
体的に開設されており、この収容孔24の内部空間は半
導体装置15を収容し得る略正方形の柱形状に形成され
ている。
【0018】本体23の一主面(以下、上面とする。)
における収容孔24の開口縁辺部の四辺には、コンタク
トとしてのランド25が複数個宛配されて形成されてい
る。ランド25のそれぞれは周方向に所定のピッチをも
って等間隔に配されて、径方向に延在するように形成さ
れている。そして、各ランド25群のピッチは後記する
半導体装置のアウタリードのピッチと対応されるように
設定されている。
における収容孔24の開口縁辺部の四辺には、コンタク
トとしてのランド25が複数個宛配されて形成されてい
る。ランド25のそれぞれは周方向に所定のピッチをも
って等間隔に配されて、径方向に延在するように形成さ
れている。そして、各ランド25群のピッチは後記する
半導体装置のアウタリードのピッチと対応されるように
設定されている。
【0019】また、ランド25は略長方形の小さい板形
状に形成されており、その大きさは後記する半導体装置
のアウタリードよりも若干大きめに設定されている。そ
して、各ランド25の上面にははんだクリーム(図示せ
ず)がスクリーン印刷法等の適当な手段によって塗布さ
れている。このはんだクリームによってはんだ盛り層2
7が形成されるようになっている。
状に形成されており、その大きさは後記する半導体装置
のアウタリードよりも若干大きめに設定されている。そ
して、各ランド25の上面にははんだクリーム(図示せ
ず)がスクリーン印刷法等の適当な手段によって塗布さ
れている。このはんだクリームによってはんだ盛り層2
7が形成されるようになっている。
【0020】そして、各ランド25は本体23の収容孔
24が開口された上面に形成されている電気配線26に
電気的に接続されている。この電気配線6は本体23の
上面にスクリーン印刷法等のような適当な厚膜形成技術
により、予め形成しておいてもよいが、後述するよう
に、半導体装置が収容孔24に没入された後、スクリー
ン印刷法等により形成することもできる。
24が開口された上面に形成されている電気配線26に
電気的に接続されている。この電気配線6は本体23の
上面にスクリーン印刷法等のような適当な厚膜形成技術
により、予め形成しておいてもよいが、後述するよう
に、半導体装置が収容孔24に没入された後、スクリー
ン印刷法等により形成することもできる。
【0021】他方、本実施例に係る半導体装置15は、
シリコン半導体ペレット(以下、ペレットという。)1
2と、ペレットの周囲に配設されている複数本のインナ
リード7と、各インナリード7にそれぞれ一体的に接続
されている各アウタリード8と、ペレット12の各ボン
ディングパッド12aおよびインナリード7の先端部に
その両端部をそれぞれボンディングされて橋絡されてい
るワイヤ13と、これらを樹脂封止するパッケージ14
とを備えている。そして、樹脂封止パッケージ14の外
周面における一主面側端部にアウタリード8群が径方向
外向きに突設されているとともに、各アウタリード8の
径方向の長さが約0.8mm以下になるように短く形成
されている。
シリコン半導体ペレット(以下、ペレットという。)1
2と、ペレットの周囲に配設されている複数本のインナ
リード7と、各インナリード7にそれぞれ一体的に接続
されている各アウタリード8と、ペレット12の各ボン
ディングパッド12aおよびインナリード7の先端部に
その両端部をそれぞれボンディングされて橋絡されてい
るワイヤ13と、これらを樹脂封止するパッケージ14
とを備えている。そして、樹脂封止パッケージ14の外
周面における一主面側端部にアウタリード8群が径方向
外向きに突設されているとともに、各アウタリード8の
径方向の長さが約0.8mm以下になるように短く形成
されている。
【0022】以下、本発明の一実施例であるこの半導体
装置の製造方法を説明する。この説明により、前記半導
体装置ついての構成の詳細が共に明らかにされる。
装置の製造方法を説明する。この説明により、前記半導
体装置ついての構成の詳細が共に明らかにされる。
【0023】本実施例において、前記構成に係る半導体
装置についての製造方法には、図3に示されている多連
リードフレーム1が使用されている。この多連リードフ
レーム1は銅系(銅またはその合金)材料からなる薄板
が用いられて、打ち抜きプレス加工またはエッチング加
工等の適当な手段により一体成形されている。
装置についての製造方法には、図3に示されている多連
リードフレーム1が使用されている。この多連リードフ
レーム1は銅系(銅またはその合金)材料からなる薄板
が用いられて、打ち抜きプレス加工またはエッチング加
工等の適当な手段により一体成形されている。
【0024】この多連リードフレーム1には複数の単位
リードフレーム2が横方向に1列に並設されている。但
し、一単位についてのみ図示および説明される。単位リ
ードフレーム2は位置決め孔3aが開設されている外枠
3を一対備えており、両外枠3、3は所定の間隔で平行
になるように配されて一連にそれぞれ延設されている。
隣り合う単位リードフレーム2、2間には一対のセクシ
ョン枠4が両外枠3、3間に互いに平行に配されて一体
的に架設されており、これら外枠3、3、セクション枠
4、4により形成される略正方形の枠体内に単位リード
フレーム2が構成されている。
リードフレーム2が横方向に1列に並設されている。但
し、一単位についてのみ図示および説明される。単位リ
ードフレーム2は位置決め孔3aが開設されている外枠
3を一対備えており、両外枠3、3は所定の間隔で平行
になるように配されて一連にそれぞれ延設されている。
隣り合う単位リードフレーム2、2間には一対のセクシ
ョン枠4が両外枠3、3間に互いに平行に配されて一体
的に架設されており、これら外枠3、3、セクション枠
4、4により形成される略正方形の枠体内に単位リード
フレーム2が構成されている。
【0025】各単位リードフレーム2において、外枠3
およびセクション枠4の接続部にはダム吊り部材5が略
直角方向にそれぞれ配されて一体的に突設されており、
ダム吊り部材5には4本のダム部材6が略正方形の枠形
状になるように配されて、一体的に吊持されている。
およびセクション枠4の接続部にはダム吊り部材5が略
直角方向にそれぞれ配されて一体的に突設されており、
ダム吊り部材5には4本のダム部材6が略正方形の枠形
状になるように配されて、一体的に吊持されている。
【0026】ダム部材6には複数本のインナリード7が
長手方向に等間隔に配されて、略放射状に延在するよう
に径方向内向きに突設されており、インナリード7のそ
れぞれはその先端が一列に整列されて配置されている。
長手方向に等間隔に配されて、略放射状に延在するよう
に径方向内向きに突設されており、インナリード7のそ
れぞれはその先端が一列に整列されて配置されている。
【0027】他方、ダム部材6におけるインナリード7
と反対側にはアウタリード8が複数本、それぞれが各イ
ンナリード7と一体的に連続するように配されて、互い
に平行で、かつ、ダム部材6に対して直角になるように
一体的に突設されている。そして、各アウタリード8の
外側先端は外枠3またはセクション枠4にそれぞれ連結
されている。また、アウタリード8のダム部材6から外
枠3またはセクション枠4までの距離はきわめて短く設
定されている。したがって、アウタリード8の外側先端
は外枠3またはセクション枠4から予め切り離しておい
てもよい。
と反対側にはアウタリード8が複数本、それぞれが各イ
ンナリード7と一体的に連続するように配されて、互い
に平行で、かつ、ダム部材6に対して直角になるように
一体的に突設されている。そして、各アウタリード8の
外側先端は外枠3またはセクション枠4にそれぞれ連結
されている。また、アウタリード8のダム部材6から外
枠3またはセクション枠4までの距離はきわめて短く設
定されている。したがって、アウタリード8の外側先端
は外枠3またはセクション枠4から予め切り離しておい
てもよい。
【0028】そして、ダム部材6における隣り合うイン
ナリード7、7およびアウタリード8、8間の部分は、
後述する樹脂封止パッケージの成形時にレジンの流れを
せき止めるダム6aを実質的に構成している。
ナリード7、7およびアウタリード8、8間の部分は、
後述する樹脂封止パッケージの成形時にレジンの流れを
せき止めるダム6aを実質的に構成している。
【0029】本実施例において、インナリード7群はそ
のダム部材6の付近においてダム部材6を含む平面から
一方向(以下、下方向とする。)に離れるように約45
度の傾斜角度をもって屈曲されている。また、インナリ
ード7群はの先端付近である傾斜下端付近において水平
方向内向きに屈曲されている。したがって、インナリー
ド7群の内側端部はダム部材6を含む平面から下方向に
下げられており、その下げられる高さは、ペレットの厚
み分以上になるように設定されている。
のダム部材6の付近においてダム部材6を含む平面から
一方向(以下、下方向とする。)に離れるように約45
度の傾斜角度をもって屈曲されている。また、インナリ
ード7群はの先端付近である傾斜下端付近において水平
方向内向きに屈曲されている。したがって、インナリー
ド7群の内側端部はダム部材6を含む平面から下方向に
下げられており、その下げられる高さは、ペレットの厚
み分以上になるように設定されている。
【0030】そして、インナリード7群の下げられて水
平に形成された部分によってタブ部材取付部9が実質的
に形成されており、この取付部9の下面にはタブ部材1
0が固着されるようになっている。タブ部材10は絶縁
性を有する樹脂から成るテープが用いられて形成されて
おり、接着等の適当な手段によって取付部9の下面に固
着されるようになっている。
平に形成された部分によってタブ部材取付部9が実質的
に形成されており、この取付部9の下面にはタブ部材1
0が固着されるようになっている。タブ部材10は絶縁
性を有する樹脂から成るテープが用いられて形成されて
おり、接着等の適当な手段によって取付部9の下面に固
着されるようになっている。
【0031】前記構成にかかる多連リードフレームには
ペレット・ボンディング作業、続いて、ワイヤ・ボンデ
ィング作業が実施され、これら作業により、図4に示さ
れているような組立体が製造されることになる。
ペレット・ボンディング作業、続いて、ワイヤ・ボンデ
ィング作業が実施され、これら作業により、図4に示さ
れているような組立体が製造されることになる。
【0032】まず、ペレットボンディング作業により、
前工程においてバイポーラ形の集積回路素子等(図示せ
ず)を作り込まれた半導体集積回路構造体としてのペレ
ット12が、各単位リードフレーム2におけるタブ部材
10の上の略中央部に配されて、銀ペースト等の適当な
ボンディング材料が用いられて形成されるボンディング
層11を介して固着される。銀ペーストは、エポキシ系
樹脂接着剤、硬化促進剤、および溶剤に銀粉が混入され
て構成されているボンディング材料であり、タブ部材1
0上に塗布された銀ペーストにペレットが押接された
後、適当な温度により硬化(キュア)されることによ
り、ボンディング層11を形成するようになっている。
前工程においてバイポーラ形の集積回路素子等(図示せ
ず)を作り込まれた半導体集積回路構造体としてのペレ
ット12が、各単位リードフレーム2におけるタブ部材
10の上の略中央部に配されて、銀ペースト等の適当な
ボンディング材料が用いられて形成されるボンディング
層11を介して固着される。銀ペーストは、エポキシ系
樹脂接着剤、硬化促進剤、および溶剤に銀粉が混入され
て構成されているボンディング材料であり、タブ部材1
0上に塗布された銀ペーストにペレットが押接された
後、適当な温度により硬化(キュア)されることによ
り、ボンディング層11を形成するようになっている。
【0033】なお、本実施例においては、ペレット12
はタブ部材10にボンディングされるため、タブ部材1
0にペレット12を予めボンディングしておき、このペ
レット12がボンディングされたタブ部材10を単位リ
ードフレーム2のタブ取付部9にボンディングするよう
にしてもよい。この場合には、複数枚のタブ部材10を
多連リードフレーム1の各単位リードフレーム2に対応
するように配置されているテープ形状に連結しておくこ
とにより、複数個のペレット12を多連リードフレーム
1に一括にボンディングすることができる。また、タブ
部材10群のテープと、多連リードフレーム1とを同一
方向に同期させて送ることにより、ペレットボンディン
グ作業を順次かつ連続的に実行することができる。
はタブ部材10にボンディングされるため、タブ部材1
0にペレット12を予めボンディングしておき、このペ
レット12がボンディングされたタブ部材10を単位リ
ードフレーム2のタブ取付部9にボンディングするよう
にしてもよい。この場合には、複数枚のタブ部材10を
多連リードフレーム1の各単位リードフレーム2に対応
するように配置されているテープ形状に連結しておくこ
とにより、複数個のペレット12を多連リードフレーム
1に一括にボンディングすることができる。また、タブ
部材10群のテープと、多連リードフレーム1とを同一
方向に同期させて送ることにより、ペレットボンディン
グ作業を順次かつ連続的に実行することができる。
【0034】そして、タブ部材10に固定的にボンディ
ングされたペレット12のボンディングパッド12a
と、単位リードフレーム2における各インナリード7と
の間に、金系材料、銅系材料およびアルミニウム系材料
等を使用されて形成されているワイヤ13が、超音波熱
圧着式等のような適当なワイヤボンディング装置が使用
されることにより、その両端部をそれぞれボンディング
されて橋絡される。これにより、ペレット12に作り込
まれている集積回路は、ボンディングパッド12a、ワ
イヤ13、インナリード7およびアウタリード8を介し
て電気的に外部に引き出されることになる。
ングされたペレット12のボンディングパッド12a
と、単位リードフレーム2における各インナリード7と
の間に、金系材料、銅系材料およびアルミニウム系材料
等を使用されて形成されているワイヤ13が、超音波熱
圧着式等のような適当なワイヤボンディング装置が使用
されることにより、その両端部をそれぞれボンディング
されて橋絡される。これにより、ペレット12に作り込
まれている集積回路は、ボンディングパッド12a、ワ
イヤ13、インナリード7およびアウタリード8を介し
て電気的に外部に引き出されることになる。
【0035】このようにしてペレットおよびワイヤ・ボ
ンディングされた多連リードフレームには、各単位リー
ドフレーム毎に樹脂封止するパッケージ群が、図5に示
されているようなトランスファ成形装置を使用されて単
位リードフレーム群について同時成形される。
ンディングされた多連リードフレームには、各単位リー
ドフレーム毎に樹脂封止するパッケージ群が、図5に示
されているようなトランスファ成形装置を使用されて単
位リードフレーム群について同時成形される。
【0036】図5に示されているトランスファ成形装置
50はシリンダ装置等(図示せず)によって互いに型締
めされる上型51と下型52とを備えている。下型52
の上型51との合わせ面には下型キャビティー凹部53
bが上型51の合わせ面53aと協働して、前記実装基
板22における収容孔24と略同一の深さを有するキャ
ビティー53を形成するようにそれぞれ複数組没設され
ている。但し、一単位のみが図示されている。
50はシリンダ装置等(図示せず)によって互いに型締
めされる上型51と下型52とを備えている。下型52
の上型51との合わせ面には下型キャビティー凹部53
bが上型51の合わせ面53aと協働して、前記実装基
板22における収容孔24と略同一の深さを有するキャ
ビティー53を形成するようにそれぞれ複数組没設され
ている。但し、一単位のみが図示されている。
【0037】上型51の合わせ面にはポット54が開設
されており、ポット54にはシリンダ装置(図示せず)
により進退されるプランジャ55が成形材料としての樹
脂から成るタブレットが投入され、このタブレットが溶
融されて成る樹脂(以下、レジンという。)を送給し得
るようになっている。
されており、ポット54にはシリンダ装置(図示せず)
により進退されるプランジャ55が成形材料としての樹
脂から成るタブレットが投入され、このタブレットが溶
融されて成る樹脂(以下、レジンという。)を送給し得
るようになっている。
【0038】下型52の合わせ面にはカル56がポット
54との対向位置に配されて没設されているとともに、
複数条のランナ57がポット54にそれぞれ接続するよ
うに放射状に配されて没設されている。各ランナ57の
他端部は下側キャビティー凹部53bにそれぞれ接続さ
れており、その接続部にはゲート58がレジンをキャビ
ティー53内に注入し得るように形成されている。ま
た、下型52の合わせ面には逃げ凹所59がリードフレ
ームの厚みを逃げ得るように、多連リードフレーム1の
外形よりも若干大きめの長方形で、その厚さと略等しい
寸法の一定深さに没設されている。
54との対向位置に配されて没設されているとともに、
複数条のランナ57がポット54にそれぞれ接続するよ
うに放射状に配されて没設されている。各ランナ57の
他端部は下側キャビティー凹部53bにそれぞれ接続さ
れており、その接続部にはゲート58がレジンをキャビ
ティー53内に注入し得るように形成されている。ま
た、下型52の合わせ面には逃げ凹所59がリードフレ
ームの厚みを逃げ得るように、多連リードフレーム1の
外形よりも若干大きめの長方形で、その厚さと略等しい
寸法の一定深さに没設されている。
【0039】前記構成にかかる多連リードフレーム1が
用いられて樹脂封止型パッケージがトランスファ成形さ
れる場合、上型51および下型52における各キャビテ
ィー53は各単位リードフレーム2における一対のダム
6a、6a間の空間にそれぞれ対応される。
用いられて樹脂封止型パッケージがトランスファ成形さ
れる場合、上型51および下型52における各キャビテ
ィー53は各単位リードフレーム2における一対のダム
6a、6a間の空間にそれぞれ対応される。
【0040】トランスファ成形時において、前記構成に
かかる多連リードフレーム1は下型52に没設されてい
る逃げ凹所59内に、各単位リードフレーム2における
ペレット12が各下型キャビティー凹部53b内にそれ
ぞれ収容されるように配されてセットされる。この状態
において、ペレット12は下方に下げられインナリード
7群のタブ部材10上にボンディングされているため、
下型キャビティー凹部53bの底面付近に位置した状態
になっている。
かかる多連リードフレーム1は下型52に没設されてい
る逃げ凹所59内に、各単位リードフレーム2における
ペレット12が各下型キャビティー凹部53b内にそれ
ぞれ収容されるように配されてセットされる。この状態
において、ペレット12は下方に下げられインナリード
7群のタブ部材10上にボンディングされているため、
下型キャビティー凹部53bの底面付近に位置した状態
になっている。
【0041】続いて、上型51と下型52とが型締めさ
れて各キャビティー53がそれぞれ形成されると、ポッ
ト54からプランジャ55により成形材料としてのレジ
ン60がランナ57およびゲート58を通じて各キャビ
ティー53に送給されて注入される。
れて各キャビティー53がそれぞれ形成されると、ポッ
ト54からプランジャ55により成形材料としてのレジ
ン60がランナ57およびゲート58を通じて各キャビ
ティー53に送給されて注入される。
【0042】注入後、レジンが熱硬化されて樹脂封止パ
ッケージ14が成形されると、上型51および下型52
は型開きされるとともに、エジェクタ・ピン(図示せ
ず)により樹脂封止パッケージ14群が離型される。こ
のようにして、樹脂封止パッケージ14群が成形された
多連リードフレーム1はトランスファ成形装置50から
脱装される。
ッケージ14が成形されると、上型51および下型52
は型開きされるとともに、エジェクタ・ピン(図示せ
ず)により樹脂封止パッケージ14群が離型される。こ
のようにして、樹脂封止パッケージ14群が成形された
多連リードフレーム1はトランスファ成形装置50から
脱装される。
【0043】そして、このように樹脂成形された樹脂封
止パッケージ14は実装基板22に開設された前記収容
孔24の内部空間よりも僅かに小さい略正方形の平盤形
状にされている。この樹脂封止パッケージ14の内部に
は、ペレット12、タブ部材10、インナリード7およ
びワイヤ13が樹脂封止された状態になっている。ま
た、各アウタリード8は樹脂封止パッケージ14におけ
る上面側の四辺から外部に直角にそれぞれ突出した状態
になっている。
止パッケージ14は実装基板22に開設された前記収容
孔24の内部空間よりも僅かに小さい略正方形の平盤形
状にされている。この樹脂封止パッケージ14の内部に
は、ペレット12、タブ部材10、インナリード7およ
びワイヤ13が樹脂封止された状態になっている。ま
た、各アウタリード8は樹脂封止パッケージ14におけ
る上面側の四辺から外部に直角にそれぞれ突出した状態
になっている。
【0044】樹脂封止パッケージを成形された多連リー
ドフレーム1は、リード切断成形工程において各単位リ
ードフレーム毎に順次、リード切断装置(図示せず)に
より、外枠3、セクション枠4およびダム6aが切り落
される。
ドフレーム1は、リード切断成形工程において各単位リ
ードフレーム毎に順次、リード切断装置(図示せず)に
より、外枠3、セクション枠4およびダム6aが切り落
される。
【0045】外枠3およびセクション枠4が切り落とさ
れると、各アウタリード8がそれぞれ成形された状態に
なる。この際、アウタリード8のそれぞれは樹脂封止パ
ッケージ14の上面側の四辺に外部にきわめて短く突出
するように切断されて成形される。例えば、アウタリー
ド8の長さは、0.8mm以下になるように設定されて
いる。
れると、各アウタリード8がそれぞれ成形された状態に
なる。この際、アウタリード8のそれぞれは樹脂封止パ
ッケージ14の上面側の四辺に外部にきわめて短く突出
するように切断されて成形される。例えば、アウタリー
ド8の長さは、0.8mm以下になるように設定されて
いる。
【0046】次に、前記構成に係る実装基板および半導
体装置が使用される本発明の一実施例である半導体装置
の実装構造体の実装作業について説明する。この説明に
より、本発明の一実施例である半導体装置の実装構造体
の構成が明らかにされる。
体装置が使用される本発明の一実施例である半導体装置
の実装構造体の実装作業について説明する。この説明に
より、本発明の一実施例である半導体装置の実装構造体
の構成が明らかにされる。
【0047】前記構成に係る半導体装置15は前記構成
に係る実装基板22の収容孔24に、パッケージ14の
アウタリード8群が突設された端面側を上側にされて挿
入される。この挿入により、半導体装置15の各アウタ
リード8の下面は実装基板22の上面における収容孔2
4の開口縁辺に形成された各ランド25のはんだクリー
ムの上にそれぞれ接着される。
に係る実装基板22の収容孔24に、パッケージ14の
アウタリード8群が突設された端面側を上側にされて挿
入される。この挿入により、半導体装置15の各アウタ
リード8の下面は実装基板22の上面における収容孔2
4の開口縁辺に形成された各ランド25のはんだクリー
ムの上にそれぞれ接着される。
【0048】その後、ランド25の上に塗布されたはん
だクリームがリフローはんだ処理によって溶融されて固
化されると、各アウタリード8とランド25とがリフロ
ーはんだ処理により形成されたはんだ盛り層27によっ
て電気的かつ機械的に接続される。このようにしてアウ
タリード8とランド25とは電気的かつ機械的に接続さ
れた状態になるため、半導体装置15は実装基板22に
電気的かつ機械的に実装された状態になる。
だクリームがリフローはんだ処理によって溶融されて固
化されると、各アウタリード8とランド25とがリフロ
ーはんだ処理により形成されたはんだ盛り層27によっ
て電気的かつ機械的に接続される。このようにしてアウ
タリード8とランド25とは電気的かつ機械的に接続さ
れた状態になるため、半導体装置15は実装基板22に
電気的かつ機械的に実装された状態になる。
【0049】半導体装置15が実装基板22の収容孔2
4に挿入され、アウタリード8群がランド25群に機械
的かつ電気的に接続された状態において、半導体装置1
0は実装基板22における本体23の上面から全く突出
されていない状態になっている。したがって、実装基板
22に半導体装置15が実装された後においても、実装
基板本体23の上面上に電気配線26をスクリーン印刷
法により形成することもできる。
4に挿入され、アウタリード8群がランド25群に機械
的かつ電気的に接続された状態において、半導体装置1
0は実装基板22における本体23の上面から全く突出
されていない状態になっている。したがって、実装基板
22に半導体装置15が実装された後においても、実装
基板本体23の上面上に電気配線26をスクリーン印刷
法により形成することもできる。
【0050】以上説明した前記実施例によれば次の効果
が得られる。 (1) 実装基板本体に収容孔を形成し、この収容孔に
半導体装置を挿入するとともに、収容孔の開口縁辺に形
成されたランドにこの半導体装置のアウタリードを電気
的かつ機械的に接続することにより、半導体装置を実装
基板の収容孔に確実に保持させることができるため、半
導体装置を実装基板にその本体上面から突出しない状態
で実装することができるとともに、半導体装置の各アウ
タリードを実装基板の各コンタクトとしてのランドに電
気的に接続することができる。
が得られる。 (1) 実装基板本体に収容孔を形成し、この収容孔に
半導体装置を挿入するとともに、収容孔の開口縁辺に形
成されたランドにこの半導体装置のアウタリードを電気
的かつ機械的に接続することにより、半導体装置を実装
基板の収容孔に確実に保持させることができるため、半
導体装置を実装基板にその本体上面から突出しない状態
で実装することができるとともに、半導体装置の各アウ
タリードを実装基板の各コンタクトとしてのランドに電
気的に接続することができる。
【0051】(2) 半導体装置を実装基板にその本体
上面から突出しない状態で実装させることにより、実装
後の厚さを薄くすることができ、また、実装後に電気配
線を実装基板本体上面にスクリーン印刷法等のような適
当な厚膜形成技術により形成することもできる。
上面から突出しない状態で実装させることにより、実装
後の厚さを薄くすることができ、また、実装後に電気配
線を実装基板本体上面にスクリーン印刷法等のような適
当な厚膜形成技術により形成することもできる。
【0052】(3) 半導体装置のアウタリードの径方
向の長さを短く形成することにより、実装基板上におけ
る半導体装置の占有面積を小さく抑制することができる
ため、実装密度をより一層高めることができる。
向の長さを短く形成することにより、実装基板上におけ
る半導体装置の占有面積を小さく抑制することができる
ため、実装密度をより一層高めることができる。
【0053】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。
【0054】例えば、半導体装置15は実装基板の収容
孔に収容した状態で実装基板に実装するに限らず、図6
に示されているように、実装基板22Aの実装面の上に
実装してもよい。このように半導体装置15が実装基板
22Aの実装面の上に実装された場合であっても、アウ
タリード8の径方向の長さが短いため、実装基板22A
における半導体装置15の占有面積は充分に抑制するこ
とができ、実装密度を高めることができる。
孔に収容した状態で実装基板に実装するに限らず、図6
に示されているように、実装基板22Aの実装面の上に
実装してもよい。このように半導体装置15が実装基板
22Aの実装面の上に実装された場合であっても、アウ
タリード8の径方向の長さが短いため、実装基板22A
における半導体装置15の占有面積は充分に抑制するこ
とができ、実装密度を高めることができる。
【0055】また、図7に示されているように、ペレッ
ト12がボンディングされているタブ部材10のペレッ
トボンディング主面と反対側の主面にヒートシンク16
を固着してもよい。このヒートシンク16を有する半導
体装置15Aにおいては、ペレット12の発熱をヒート
シンク16を通じて樹脂封止パッケージ14の外部にき
わめて効果的に放熱することができるため、半導体装置
15Aの放熱性能を高めることができる。
ト12がボンディングされているタブ部材10のペレッ
トボンディング主面と反対側の主面にヒートシンク16
を固着してもよい。このヒートシンク16を有する半導
体装置15Aにおいては、ペレット12の発熱をヒート
シンク16を通じて樹脂封止パッケージ14の外部にき
わめて効果的に放熱することができるため、半導体装置
15Aの放熱性能を高めることができる。
【0056】前記実施例においては、アウタリードが樹
脂封止パッケージから四方に突出するように構成されて
いる場合について説明したが、これに限らず、アウタリ
ードは樹脂封止パッケージから二方に突出するように構
成してもよい。
脂封止パッケージから四方に突出するように構成されて
いる場合について説明したが、これに限らず、アウタリ
ードは樹脂封止パッケージから二方に突出するように構
成してもよい。
【0057】また、ペレットはインナリードに取り付け
られたタブ部材にボンディングするように構成するに限
らず、リードフレームに予め吊持されているタブにペレ
ットボンディングするように構成してもよい。
られたタブ部材にボンディングするように構成するに限
らず、リードフレームに予め吊持されているタブにペレ
ットボンディングするように構成してもよい。
【0058】前記実施例においては、実装基板に収容孔
が開設されている場合について説明したが、半導体装置
を収容する収容凹部は、実装基板に厚さ方向に貫通する
ように開設された透孔によって構成するに限らず、底を
有する穴によって構成してもよい。
が開設されている場合について説明したが、半導体装置
を収容する収容凹部は、実装基板に厚さ方向に貫通する
ように開設された透孔によって構成するに限らず、底を
有する穴によって構成してもよい。
【0059】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
集積回路装置に適用した場合について説明したが、それ
に限定されるものではなく、樹脂封止パッケージを備え
ているトランジスタやハイブリットIC等のような半導
体装置および実装基板への実装技術全般に適用すること
ができる。特に、本発明は高密度で、かつ、薄型の実装
が要求される場合に使用して優れた効果が得られる。
なされた発明をその背景となった利用分野である半導体
集積回路装置に適用した場合について説明したが、それ
に限定されるものではなく、樹脂封止パッケージを備え
ているトランジスタやハイブリットIC等のような半導
体装置および実装基板への実装技術全般に適用すること
ができる。特に、本発明は高密度で、かつ、薄型の実装
が要求される場合に使用して優れた効果が得られる。
【0060】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。
【0061】実装基板本体に収容凹部を形成し、この収
容凹部に半導体装置を挿入するとともに、収容凹部の開
口縁辺に形成されたコンタクトにこの半導体装置のアウ
タリードを電気的かつ機械的に接続することにより、半
導体装置を実装基板の収容凹部内において各コンタクト
に電気的に接続させることができるため、半導体装置を
実装基板にその本体上面から突出しない状態で実装する
ことができ、半導体装置の実装構造体の厚さを薄くする
ことができる。
容凹部に半導体装置を挿入するとともに、収容凹部の開
口縁辺に形成されたコンタクトにこの半導体装置のアウ
タリードを電気的かつ機械的に接続することにより、半
導体装置を実装基板の収容凹部内において各コンタクト
に電気的に接続させることができるため、半導体装置を
実装基板にその本体上面から突出しない状態で実装する
ことができ、半導体装置の実装構造体の厚さを薄くする
ことができる。
【0062】半導体装置のアウタリードの径方向の長さ
を短く形成することにより、実装基板上におけるアウタ
リードの占有面積を小さく抑制することができるため、
実装密度をより一層高めることができる。
を短く形成することにより、実装基板上におけるアウタ
リードの占有面積を小さく抑制することができるため、
実装密度をより一層高めることができる。
【図1】本発明の一実施例である半導体装置の実装構造
体を示しており、(a)は正面断面図、(b)は一部省
略一部切断平面図である。
体を示しており、(a)は正面断面図、(b)は一部省
略一部切断平面図である。
【図2】それに使用されている実装基板を示しており、
(a)は斜視図、(b)は(a)のb−b線に沿う断面
図である。
(a)は斜視図、(b)は(a)のb−b線に沿う断面
図である。
【図3】本発明の一実施例である半導体装置の製造に使
用される多連リードフレームを示しており、(a)は一
部省略平面図、(b)は正面断面図である。
用される多連リードフレームを示しており、(a)は一
部省略平面図、(b)は正面断面図である。
【図4】ペレットおよびワイヤボンディング後を示して
おり、(a)は一部省略拡大部分平面図、(b)は正面
断面図である。
おり、(a)は一部省略拡大部分平面図、(b)は正面
断面図である。
【図5】樹脂封止型パッケージの成形工程を示す縦断面
図である。
図である。
【図6】本発明の一実施例である半導体装置の他の実装
例を示しており、(a)は正面断面図、(b)は一部省
略一部切断平面図である。
例を示しており、(a)は正面断面図、(b)は一部省
略一部切断平面図である。
【図7】本発明の他の実施例である半導体装置を示して
おり、(a)は正面断面図、(b)は半分が平面図、他
の半分が底面図である。
おり、(a)は正面断面図、(b)は半分が平面図、他
の半分が底面図である。
1…多連リードフレーム、2…単位リードフレーム、3
…外枠、4…セクション枠、5…ダム吊り部材、6…ダ
ム部材、6a…ダム、7…インナリード、8…アウタリ
ード、9…タブ部材取付部、10…タブ部材、11…ペ
レットボンディング層、12…ペレット、13…ボンデ
ィングワイヤ、14…樹脂封止パッケージ、15…半導
体装置、15A…ヒートシンク付き半導体装置、16…
ヒートシンク、21…半導体装置の実装構造体、22…
実装基板、23…実装基板本体、24…収容孔(収容凹
部)、25…ランド(コンタクト)、26…電気配線、
27…はんだ盛り層、50…トランスファ成形装置、5
1…上型、52…下型、53…キャビティー、54…ポ
ット、55…プランジャ、56…カル、57…ランナ、
58…ゲート、59…リードフレーム逃げ凹所、60…
樹脂(レジン、成形材料)。
…外枠、4…セクション枠、5…ダム吊り部材、6…ダ
ム部材、6a…ダム、7…インナリード、8…アウタリ
ード、9…タブ部材取付部、10…タブ部材、11…ペ
レットボンディング層、12…ペレット、13…ボンデ
ィングワイヤ、14…樹脂封止パッケージ、15…半導
体装置、15A…ヒートシンク付き半導体装置、16…
ヒートシンク、21…半導体装置の実装構造体、22…
実装基板、23…実装基板本体、24…収容孔(収容凹
部)、25…ランド(コンタクト)、26…電気配線、
27…はんだ盛り層、50…トランスファ成形装置、5
1…上型、52…下型、53…キャビティー、54…ポ
ット、55…プランジャ、56…カル、57…ランナ、
58…ゲート、59…リードフレーム逃げ凹所、60…
樹脂(レジン、成形材料)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 和也 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内 (72)発明者 桜庭 忠基 東京都小平市上水本町5丁目20番1号 株 式会社日立製作所半導体事業部内
Claims (3)
- 【請求項1】 本体に収容凹部が形成されているととも
に、この本体の一主面における収容凹部の開口縁辺部に
コンタクトが配設されている実装基板と、 この実装基板の収容凹部に収容されるパッケージを備え
ているとともに、このパッケージの外周面における一主
面側端部にアウタリードが前記コンタクトに対向するよ
うに突設されている半導体装置とを備えており、 前記半導体装置が前記実装基板に前記パッケージを前記
収容凹部に全体的に没するように収容され、かつ、前記
アウタリードが前記コンタクトに電気的に接続された状
態で実装されていることを特徴とする半導体装置の実装
構造体。 - 【請求項2】 本体に収納凹部が形成されているととも
に、この本体の一主面における収容凹部の開口縁辺部に
コンタクトが配設されていることを特徴とする実装基
板。 - 【請求項3】 電子回路が作り込まれているペレット
と、このペレットの電子回路を外部に取り出す複数本の
インナリードおよびアウタリードと、ペレットおよび各
インナリードを樹脂封止する樹脂封止パッケージとを備
えている半導体装置において、 前記樹脂封止パッケージの外周面における一主面側端部
にアウタリードが径方向外向きに突設されているととも
に、各アウタリードの径方向の長さが短く形成されてい
ることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5167413A JPH077120A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 半導体装置の実装構造体並びに実装基板および半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5167413A JPH077120A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 半導体装置の実装構造体並びに実装基板および半導体装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000074431A Division JP2000243878A (ja) | 2000-01-01 | 2000-03-16 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH077120A true JPH077120A (ja) | 1995-01-10 |
Family
ID=15849241
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5167413A Pending JPH077120A (ja) | 1993-06-14 | 1993-06-14 | 半導体装置の実装構造体並びに実装基板および半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH077120A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112010005769T5 (de) | 2010-07-26 | 2013-05-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Transformator |
-
1993
- 1993-06-14 JP JP5167413A patent/JPH077120A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE112010005769T5 (de) | 2010-07-26 | 2013-05-08 | Mitsubishi Electric Corporation | Transformator |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A02 | Decision of refusal |
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