Nothing Special   »   [go: up one dir, main page]

JPH06297315A - Optical part working device - Google Patents

Optical part working device

Info

Publication number
JPH06297315A
JPH06297315A JP10733793A JP10733793A JPH06297315A JP H06297315 A JPH06297315 A JP H06297315A JP 10733793 A JP10733793 A JP 10733793A JP 10733793 A JP10733793 A JP 10733793A JP H06297315 A JPH06297315 A JP H06297315A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
cylinder
optical component
upper shaft
grindstone
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP10733793A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Atsutoshi Yokota
敦俊 横田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Olympus Corp
Original Assignee
Olympus Optical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Optical Co Ltd filed Critical Olympus Optical Co Ltd
Priority to JP10733793A priority Critical patent/JPH06297315A/en
Publication of JPH06297315A publication Critical patent/JPH06297315A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PURPOSE:To enable polishing work to be always carried out at a predetermined constant pressing force by detecting the working pressure of an optical part between the optical part and a grinding wheel by means of a sensor, and by carrying out the working of the optical part while controlling the working pressure by a pressurization regulating part on the basis of the detected output. CONSTITUTION:A piston 15 inside a cylinder 10 for elevating or lowering an upper stem is lifted by air pressure, and the upper stem 8 is lifted through a pressurization cylinder 9 and a slider 31, and a work 6 to be worked is suction-held by a holder 7. Then, the piston 15 is lowered so that the work 6 is abutted on a grinding wheel 5, and after a working rod 29 has been relatively raised inside the upper cylinder chamber 23 of a downward pressurizing cylinder 18, a downward force is applied to a downward pressurizing piston 21 for pressing the work 6 against the grinding wheel 5, grinding work is carried out. At that time, the pressurizing force received by a sensor 35 that has been provided to the lower end of the upper stem 8 is detected, and this is analyzed by a control part 37, and the supply or discharge of air to the pressurization cylinder 9 is controlled through an electropneumatic regulator 38 for maintaining the pressing force constant.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、光学部品加工装置に係
り、さらに詳細には、下軸部における回転駆動自在に設
けた下軸の上端部に砥石を装備し、上軸の下端部で保持
した光学部品を前記砥石に対して当接、押圧することに
より光学部品を加工する光学部品加工装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical component processing apparatus, and more specifically, it is equipped with a grindstone at the upper end of a lower shaft rotatably driven in the lower shaft and at the lower end of the upper shaft. The present invention relates to an optical component processing apparatus that processes an optical component by abutting and pressing the held optical component against the grindstone.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、前記のように砥石を下軸部に装備
し、上軸部で保持した光学部品を前記砥石に対して当
接、押圧することにより光学部品を加工する装置として
は、特開昭61−188064号公報に開示されてい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an apparatus for processing an optical component by equipping the lower shaft portion with a grindstone as described above and abutting and pressing an optical component held by the upper shaft portion against the grindstone, It is disclosed in JP-A-61-188064.

【0003】図3は、前記従来技術の光学部品加工装置
を示す概略構成図で、この光学部品加工装置は、その上
端部に砥石43を固着し回転駆動自在な下軸44を装備
した下軸部41を設け、光学部品46の保持部47を有
しリニアガイド48によって昇降自在に保持された上軸
49と、上軸49を昇降するための昇降操作部50と、
上軸49の加工時に保持部47で保持した光学部品46
を砥石43に対して加圧するための加圧操作部51とを
備えた上軸部45を下軸部41の上方に設けて構成され
ている。
FIG. 3 is a schematic block diagram showing the above-mentioned optical component processing apparatus of the prior art. This optical component processing apparatus has a lower shaft 44 to which a grindstone 43 is fixed at its upper end and which is rotatably driven. An upper shaft 49 that is provided with a portion 41, has a holding portion 47 for the optical component 46, and is held by a linear guide 48 so as to be able to move up and down;
The optical component 46 held by the holding portion 47 when processing the upper shaft 49
An upper shaft portion 45 having a pressing operation portion 51 for pressurizing the grindstone 43 is provided above the lower shaft portion 41.

【0004】そして、上記光学部品加工装置にあって
は、昇降操作部50の下降動作により、上軸49を下降
して保持部47に保持した光学部品46を回転駆動して
いる下軸部41の砥石43に当接させ、さらに、加圧操
作部51により光学部品46を砥石に対して押し付けて
光学部品46を加工する。そして、前記のように、昇降
操作部50と加圧操作部51を分けることにより、光学
部品の加工圧の大小に関係なく、上軸部45のスムーズ
な昇降操作を行えるとともに、レギュレータ(図示省
略)の圧力を設定することにより小径の光学部品の加工
に必要な微圧から高圧までの広範囲の加工圧力を設定で
きるようになっている。
In the above-described optical component processing apparatus, the lower shaft portion 41 that drives the optical component 46 held by the holding portion 47 by rotating the lower shaft portion 41 by lowering the raising / lowering operation portion 50. The optical component 46 is pressed against the grindstone by the pressing operation portion 51, and the optical component 46 is processed. As described above, by separating the raising / lowering operation unit 50 and the pressurizing operation unit 51, a smooth raising / lowering operation of the upper shaft portion 45 can be performed and a regulator (not shown) regardless of the processing pressure of the optical component. By setting the pressure of), it is possible to set a wide range of processing pressures from low pressure to high pressure necessary for processing small-diameter optical components.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかし、前記従来の構
成の光学部品加工装置にあっては次のような問題点があ
った。 (1)光学部品46を研磨加工する際、加工中の加圧力
変動は加工レンズ品質に影響する主なパラメーターの1
つであり、加工後の加工レンズ品質、特に加工後のレン
ズのニュートン品質に影響を与えるもので、光学部品4
6を一定の加圧力により砥石43に加圧する必要がある
が、上記従来構成においては、研磨加工中の下軸44の
回転や揺動、それに伴う上軸49や保持部47の動き等
により、光学部品46と砥石43の当たり量が変化し、
光学部品46を一定圧力で加圧することは困難となって
いた。
However, the above-mentioned conventional optical component processing apparatus has the following problems. (1) When polishing the optical component 46, the fluctuation of the pressing force during processing is one of the main parameters that affect the quality of the processed lens.
The quality of the processed lens, especially Newton quality of the processed lens, is affected by the optical component 4
6 needs to be pressed against the grindstone 43 by a constant pressure, but in the above-described conventional configuration, due to the rotation and swing of the lower shaft 44 during the polishing process, the movement of the upper shaft 49 and the holding portion 47, etc., The contact amount of the optical component 46 and the grindstone 43 changes,
It has been difficult to pressurize the optical component 46 with a constant pressure.

【0006】(2)光学部品46を砥石43に加圧する
加圧力と不図示のレギュレーター等により制御されたエ
アーの圧力の校正は、はじめにロードセル等を用いてお
こなわれ校正表としてまとめられるが、時間経過や使用
状況等によりはじめの校正表が使用不可となり、再び上
記同様に計測し直さなければならないという問題点があ
った。
(2) The pressure of the optical component 46 applied to the grindstone 43 and the pressure of the air controlled by a regulator (not shown) are calibrated using a load cell or the like, which is summarized as a calibration table. There was a problem that the first calibration table became unusable due to the progress and the usage situation and the measurement had to be performed again in the same manner as above.

【0007】(3)上記従来校正においては、光学部品
46の砥石43に対する加圧力は、前記(2)の校正表
をもとに不図示のレギュレーター等により圧力が制御さ
れたエアーの圧力から算出しているので、設定されたレ
ギュレーターの圧力、すなわち光学部品46に与えるべ
き加圧力は、リニアガイド48等の部材の摺動抵抗によ
って正確に伝わらない場合があるとともに、前記加圧力
は間接的にしかわからず、さらにその値が設定値かどう
かも判断出来ないという問題点があった。
(3) In the above conventional calibration, the pressure applied to the grindstone 43 of the optical component 46 is calculated from the pressure of air whose pressure is controlled by a regulator or the like (not shown) based on the calibration table of (2) above. Therefore, the set pressure of the regulator, that is, the pressing force to be given to the optical component 46 may not be accurately transmitted by the sliding resistance of the members such as the linear guide 48, and the pressing force is indirectly. However, there is a problem that it is impossible to judge whether the value is the set value or not.

【0008】本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みな
されたものであって、供給エアー圧と光学部品の砥石に
対する加圧力の校正をする必要をなくし、かつ、光学部
品の加工圧の大小に関係なく、上軸のスムーズな昇降操
作が行えるとともに、小径の光学部品の加工時に必要な
微小加工圧から高圧加工圧までの広範囲の加工圧力を設
定でき、さらに、加工中何らかの原因で実際の加工圧力
が設定圧力に対して狂ってしまった場合、狂いを自動補
正し、常に設定した一定の加圧力で研磨加工できるよう
にした光学部品加工装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, eliminates the need to calibrate the supply air pressure and the pressure applied to the grindstone of the optical component, and reduces the processing pressure of the optical component. Despite the fact that the upper shaft can be smoothly moved up and down, it can set a wide range of processing pressure from the minute processing pressure to the high pressure processing pressure required for processing small-diameter optical parts. It is an object of the present invention to provide an optical component processing apparatus in which, when the processing pressure deviates from the set pressure, the deviation is automatically corrected and polishing processing can always be performed with a set constant pressure.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の光学部品加工装置は、回転駆動自在に砥石
を装備した下軸部と、被加工体である光学部品を保持す
るための保持部を有する上軸を備えた上軸部と、前記上
軸を昇降するための昇降操作部と、前記上軸の下降時に
前記保持部で保持した光学部品を前記砥石に対して加圧
するための加圧操作部と、前記加圧操作部の圧力を検知
するセンサーと、前記センサーからの出力信号を解析、
演算する制御部と、前記制御部からの出力信号に基づい
て前記砥石に対する光学部品の加圧力を調節する加圧調
節部とにより構成した。
In order to achieve the above object, an optical component processing apparatus of the present invention holds a lower shaft portion equipped with a grindstone so as to be rotationally driven and an optical component which is a workpiece. An upper shaft part having an upper shaft having a holding part, an elevating and lowering operation part for elevating and lowering the upper shaft, and an optical component held by the holding part is pressed against the grindstone when the upper shaft is lowered. A pressure operation unit for, a sensor for detecting the pressure of the pressure operation unit, and analyzing the output signal from the sensor,
The control unit calculates and the pressure adjusting unit adjusts the pressing force of the optical component to the grindstone based on the output signal from the control unit.

【0010】[0010]

【作用】上記構成によれば、加圧操作部による圧力、す
なわち、光学部品と砥石間における光学部品の加工圧力
はセンサーにより検知にされる。そして、センサーから
の出力信号により、制御部を介して加圧調節部によって
前記加工圧力を制御して光学部品の加工を行うことがで
き、光学部品の加工圧力を設定圧力どおりに常に一定と
することができる。
According to the above construction, the pressure detected by the pressing operation section, that is, the processing pressure of the optical component between the optical component and the grindstone is detected by the sensor. Then, according to the output signal from the sensor, the processing pressure can be controlled by the pressure adjusting unit via the control unit to process the optical component, and the processing pressure of the optical component is always constant according to the set pressure. be able to.

【0011】[0011]

【実施例】図1は、本発明に係る光学部品加工装置の一
実施例を示す断面図、図2は、図1におけるA部の拡大
正面図である。本実施例の光学部品加工装置1は、下軸
部2と上軸部3とにより構成されている。
1 is a sectional view showing an embodiment of an optical component processing apparatus according to the present invention, and FIG. 2 is an enlarged front view of a portion A in FIG. The optical component processing apparatus 1 according to this embodiment includes a lower shaft portion 2 and an upper shaft portion 3.

【0012】下軸部2は、回転自在に支持された下軸4
と、下軸4の上端部に固定された砥石5とにより構成さ
れ、下軸部2は、図示を省略した駆動装置により回転駆
動されるようになっている。
The lower shaft portion 2 is a lower shaft 4 which is rotatably supported.
And a grindstone 5 fixed to the upper end of the lower shaft 4, and the lower shaft 2 is driven to rotate by a driving device (not shown).

【0013】上軸部3は、図示を省略した吸着機構によ
り光学部品6を保持する保持部(ホルダー)7を下端部
に設けた上軸8と、砥石5に対してホルダー7で保持し
た光学部品6の加圧調整を行う加圧操作用シリンダー9
と、砥石5へ上軸8の送りを行う上軸昇降用シリンダー
10とにより構成されている。上軸8は、外筒11の下
部に内装したリニアガイド12を介して外筒11の軸心
部において上下動自在に支持されている。また、加圧操
作用シリンダー9は、外筒11内で上軸8の上方に設け
られ、上軸昇降用シリンダー10は、外筒11の外部上
端に固装されている。
The upper shaft portion 3 has an upper shaft 8 provided with a holding portion (holder) 7 for holding the optical component 6 at its lower end portion by a suction mechanism (not shown), and an optical member held by the holder 7 with respect to the grindstone 5. Cylinder 9 for pressurizing operation for adjusting pressurization of component 6
And an upper shaft lifting cylinder 10 for feeding the upper shaft 8 to the grindstone 5. The upper shaft 8 is supported at the axial center of the outer cylinder 11 so as to be vertically movable via a linear guide 12 provided in the lower portion of the outer cylinder 11. The pressurizing operation cylinder 9 is provided above the upper shaft 8 in the outer cylinder 11, and the upper shaft lifting cylinder 10 is fixed to the outer upper end of the outer cylinder 11.

【0014】上軸昇降用シリンダー10のピストンロッ
ド13は、外筒11の上端面軸心部に設けた孔(シール
されている)14を貫通して外筒11内の軸心部内に貫
入され、ピストンロッド13の先端部(図において下端
部)には、前記加圧操作用シリンダー9が固設されてい
る。図中、15はピストン、16は上昇操作用のエアポ
ート、17は下降操作用のエアポートである。
The piston rod 13 of the cylinder 10 for raising and lowering the upper shaft passes through a hole (sealed) 14 provided in the axial center of the upper end surface of the outer cylinder 11 and is inserted into the axial center of the outer cylinder 11. The pressurizing operation cylinder 9 is fixed to the tip end (lower end in the figure) of the piston rod 13. In the figure, 15 is a piston, 16 is an air port for raising operation, and 17 is an air port for lowering operation.

【0015】加圧操作用シリンダー9は、下加圧操作用
シリンダー部18と上加圧操作用シリンダー部19との
2つのシリンダー部により構成されている。下加圧シリ
ンダー部18と上加圧シリンダー部19は、中間支持部
材20を介して上下に対向配置され、下加圧シリンダー
部18の上端面に上記ピストン13の先端部が固着され
ている。
The pressurizing operation cylinder 9 is composed of two cylinder parts, a lower pressurizing operation cylinder part 18 and an upper pressurizing operation cylinder part 19. The lower pressurizing cylinder portion 18 and the upper pressurizing cylinder portion 19 are vertically opposed to each other with the intermediate support member 20 interposed therebetween, and the tip end portion of the piston 13 is fixed to the upper end surface of the lower pressurizing cylinder portion 18.

【0016】下加圧操作用シリンダー部18と上加圧操
作用シリンダー部19は、各シリンダー部18,19の
内周壁に対して気密性を有していない状態で下加圧ピス
トン21,上加圧ピストン22が上シリンダー室23,
下シリンダー室24内にそれぞれ配置され、加圧操作時
の摺動抵抗を極めて小さくし得るように構成されてい
る。すなわち、上下各シリンダー室23,24内には、
テフロン布等の上にゴム等を被覆して形成した気密性を
有する上薄膜25,下薄膜26が上下方向へ弾性変形自
在に内装されており、上薄膜25の上端部は上シリンダ
ー室23内の上端外周に沿って固定され、下薄膜26の
下端部は下シリンダー室24内の下端外周に沿って固定
されている。上下各薄膜25,26を隔壁として分割さ
れた各上シリンダー室23,下シリンダー室24のう
ち、上薄膜25で囲まれた上側シリンダー室23a内に
はエアポート27を介し、下薄膜26で囲まれた下側シ
リンダー室24a内にはエアポート28を介して、それ
ぞれエアが圧送されるようになっている。
The lower pressurizing operation cylinder portion 18 and the upper pressurizing operation cylinder portion 19 are arranged such that the lower pressurizing piston 21 and the upper pressurizing operation cylinder portion 19 are not airtight to the inner peripheral walls of the respective cylinder portions 18, 19. The pressure piston 22 is the upper cylinder chamber 23,
They are arranged in the lower cylinder chambers 24, respectively, and are configured so that the sliding resistance at the time of pressurizing operation can be made extremely small. That is, in the upper and lower cylinder chambers 23 and 24,
An airtight upper thin film 25 and a lower thin film 26, which are formed by coating rubber or the like on Teflon cloth or the like, are elastically deformable in the vertical direction, and the upper end of the upper thin film 25 is in the upper cylinder chamber 23. Is fixed along the outer circumference of the upper end of the lower cylinder 26, and the lower end of the lower thin film 26 is fixed along the outer circumference of the lower end in the lower cylinder chamber 24. Of the upper cylinder chamber 23 and the lower cylinder chamber 24 divided by the upper and lower thin films 25 and 26 as partition walls, the upper cylinder chamber 23a surrounded by the upper thin film 25 is surrounded by the lower thin film 26 via the air port 27. Air is pumped into the lower cylinder chamber 24a via the air port 28.

【0017】上下各薄膜25との間には加圧ロッド部2
9が配設され、加圧ロッド部29の上下両端部には上記
下加圧ピストン21,上加圧ピストン22がそれぞれ固
設されている。加圧ロッド部29は、ロッド支持部30
を設けた枠体状のスライダー31とによりロッド支持部
30を介して固定支持されている。
The pressing rod portion 2 is provided between the upper and lower thin films 25.
9 is provided, and the lower pressurizing piston 21 and the upper pressurizing piston 22 are fixedly provided at both upper and lower ends of the pressurizing rod portion 29. The pressure rod portion 29 is a rod support portion 30.
It is fixedly supported via the rod support portion 30 by a frame-shaped slider 31 provided with.

【0018】スライダー31は、下加圧操作用シリンダ
ー部18と上加圧操作用シリンダー部19との間に設け
た前記中間支持部材20により上下方向にスライドガイ
ドされるように設けられてる。スライダー31の下端部
には、連結部材32を介して上軸8の上端部が連結され
ており、上エアポート27を通じて上側シリンダー室2
3a内に圧送されるエアにより、加圧ロッド29,スラ
イダー31を介して、上軸8が加圧操作用シリンダー1
0の駆動と別個に下降操作されるように構成されてい
る。すなわち、ホルダー7で保持した光学部品6が砥石
5に当接した後、さらに上軸8を下降させた際には、ス
ライダー31,加圧ロッド29を介して上軸8に連結し
た下加圧ピストン21が上シリンダー室23内を相対的
に上昇し得るように設定構成されており、この上昇した
下加圧ピストン21をその上昇分だけ上エアポート27
から圧送されるエアを介して上側シリンダー室23aに
より加圧操作できるようになっている。
The slider 31 is provided so as to be vertically slid and guided by the intermediate support member 20 provided between the lower pressurizing operation cylinder portion 18 and the upper pressurizing operation cylinder portion 19. The upper end of the upper shaft 8 is connected to the lower end of the slider 31 via a connecting member 32, and the upper cylinder chamber 2 is connected through the upper air port 27.
The upper shaft 8 is pushed by the air pressure-fed into the cylinder 3a via the pressure rod 29 and the slider 31.
It is configured such that the descent operation is performed separately from the drive of 0. That is, when the upper shaft 8 is further lowered after the optical component 6 held by the holder 7 comes into contact with the grindstone 5, the lower pressurization connected to the upper shaft 8 via the slider 31 and the pressing rod 29 is performed. The piston 21 is configured so as to be able to relatively rise in the upper cylinder chamber 23, and the raised lower pressurizing piston 21 is moved upward by the amount corresponding to the rise.
Pressurization can be performed by the upper cylinder chamber 23a via air that is pressure-fed.

【0019】ホルダー7は、図2に示すように、上軸8
の下端部に形成したフランジ部に設けた孔8aに挿通し
たホルダー支持棒33の下部に固設して上軸8に取り付
けられ、ホルダー支持棒33を介して上軸8に対して上
下動自在に設けられている。ホルダー支持棒33の頭部
は、孔8aより大径に形成され、ホルダー支持棒33が
上軸8から抜け落ちないようになっている。上軸8の下
端部とホルダー7の間には、ホルダー支持棒33を挿通
してコイルスプリング34が配設され、コイルスプリン
グ34は、ホルダー7を上軸8の下端部から常時遠ざけ
る弾発力を有するように設定されている。これにより、
ホルダー7に保持した光学部品6が砥石5に押圧されな
い限り、コイルスプリングの弾発作用で上軸8の下端部
とホルダー7との間に隙間ができるようになっている。
The holder 7 has an upper shaft 8 as shown in FIG.
It is fixed to the lower part of the holder support rod 33 which is inserted into the hole 8a formed in the flange portion formed at the lower end of the holder and is attached to the upper shaft 8 and is vertically movable with respect to the upper shaft 8 via the holder support rod 33. It is provided in. The head of the holder support rod 33 is formed to have a larger diameter than the hole 8a so that the holder support rod 33 does not fall off the upper shaft 8. A coil spring 34 is inserted between the lower end of the upper shaft 8 and the holder 7 by inserting the holder support rod 33. The coil spring 34 constantly repels the holder 7 from the lower end of the upper shaft 8. Is set to have. This allows
As long as the optical component 6 held by the holder 7 is not pressed by the grindstone 5, a gap is created between the lower end of the upper shaft 8 and the holder 7 by the elastic action of the coil spring.

【0020】上軸8の下端部には、光学部品6の砥石5
に対する加圧力を測定するセンサー35が取り付けられ
ている。センサー35の下端部には、ホルダー7と対向
して感圧部36が設けられ、光学部品6が砥石5に押圧
されホルダー7が上軸8の動作に対して相対的に上昇す
るとき、ホルダー7の上端部と感圧部36が接触するよ
うになっている。
At the lower end of the upper shaft 8, the grindstone 5 of the optical component 6 is provided.
A sensor 35 is attached to measure the pressure applied to. A pressure-sensitive portion 36 is provided at the lower end of the sensor 35 so as to face the holder 7, and when the optical component 6 is pressed by the grindstone 5 and the holder 7 rises relative to the operation of the upper shaft 8, the holder is moved. The upper end of 7 and the pressure sensitive part 36 are in contact with each other.

【0021】センサー35の感圧部36はホルダー7の
上端部との接触によりセンサー35が加圧されたことを
感知し信号を出力する。その信号は、センサー35に接
続された制御部37において解析される。そして、制御
部37からの信号は、加圧調節部としての電空レギュレ
ーター38に送られ、加圧操作用シリンダー9のエア圧
を調整するのに用いられる。圧力を調整されたエアは、
上エアポート27,下エアポート28を介して上側シリ
ンダー室23a,下側シリンダー室24aに送られ、光
学部品6の砥石5に対する加圧力を増減するようになっ
ている。
The pressure-sensitive portion 36 of the sensor 35 detects that the sensor 35 is pressed by contact with the upper end of the holder 7 and outputs a signal. The signal is analyzed in the control unit 37 connected to the sensor 35. Then, a signal from the control unit 37 is sent to an electropneumatic regulator 38 as a pressurization adjusting unit and used to adjust the air pressure of the pressurizing operation cylinder 9. The air whose pressure is adjusted is
The pressure is sent to the upper cylinder chamber 23a and the lower cylinder chamber 24a via the upper air port 27 and the lower air port 28 to increase or decrease the pressure applied to the grindstone 5 by the optical component 6.

【0022】上記構成からなる本実施例の光学部品下降
装置の作用を以下に説明する。まず、上軸昇降操作用シ
リンダー10のエアポート16にエアーを圧送してピス
トンロッド13を上昇させ、加圧操作用シリンダー9,
スライダー31を介して上軸8を上昇し、ホルダー7に
被加工体である光学部品6を吸着部品により保持する。
次に、上軸昇降操作用シリンダー10のエアポート17
にエアーを圧送してピストンロッド13を下降する。こ
れにより、加圧操作用シリンダー9,スライダー31を
介して上軸8が下降されると、光学部品6が下軸部2の
砥石5に当接するが、さらに下降させると、光学部品6
が砥石5に当接しているため、加圧ロッド部29が下加
圧操作シリンダー部18の上シリンダー室23内を相対
的に上昇する。
The operation of the optical component lowering device of the present embodiment having the above structure will be described below. First, air is pressure-fed to the air port 16 of the upper shaft lifting operation cylinder 10 to raise the piston rod 13, and the pressurizing operation cylinder 9,
The upper shaft 8 is raised via the slider 31 and the holder 7 holds the optical component 6, which is the workpiece, by the suction component.
Next, the air port 17 of the cylinder 10 for raising and lowering the upper shaft.
The air is pumped to and the piston rod 13 is lowered. As a result, when the upper shaft 8 is lowered via the pressurizing operation cylinder 9 and the slider 31, the optical component 6 comes into contact with the grindstone 5 of the lower shaft portion 2.
Is in contact with the grindstone 5, the pressure rod portion 29 relatively rises in the upper cylinder chamber 23 of the lower pressure operation cylinder portion 18.

【0023】次に、下加圧操作用シリンダー部18の上
側シリンダー室23a内にエアポート27よりエアーを
圧送して、下加圧ピストン21を下降させるべく押圧し
て光学部品6を砥石5に加圧させ、光学部品6を研磨加
工する。この加圧の際、上加圧操作用シリンダー部19
のエアポート28にエアーを圧送、加圧ロッド部29を
介してスライダー31,上軸8を上方向に付勢すること
により、上軸8自体の自重による影響をなくして加圧操
作することができる。従って、より小さな微圧を加工圧
として設定することができる。
Next, air is pressure-fed from the air port 27 into the upper cylinder chamber 23a of the lower pressurizing cylinder portion 18, and the lower pressurizing piston 21 is pressed to lower the optical component 6 to the grindstone 5. The optical component 6 is polished by pressing. During this pressurization, the upper pressurizing operation cylinder portion 19
By sending air to the air port 28 and urging the slider 31 and the upper shaft 8 in the upward direction via the pressure rod portion 29, the pressing operation can be performed without being affected by the own weight of the upper shaft 8 itself. . Therefore, a smaller slight pressure can be set as the processing pressure.

【0024】そして、上軸8の加工にあわせて光学部品
6が砥石5に当接すると、コイルスプリング34によっ
て下方に押し下げられていたホルダー7が上軸8の下降
に対して相対的に上昇し、上軸8の下端部に取り付けた
センサー35の感圧部36に接触する。そして、加圧操
作用シリンダー9にて加圧を始めると更に強く接触し、
加圧力と同等の力を感圧部36はホルダー7の上端部よ
り受ける。その時のセンサー35の出力信号は制御部3
7に入力され解析、演算した後、再び出力されて電空レ
ギュレーター38に入力され、加圧操作用シリンダー9
に送られるエアーの圧力を調整する。これにより光学部
品6の砥石5に対する加圧力も増減する。再びセンサー
35にて変化した加圧力を感知して任意の設定圧力にな
るまで繰り返し行われる。任意の設定圧力になっても常
時加圧力を計測し、上記と同様の動作にて設定圧力を維
持しつつ光学部品6の加工を行う。
When the optical component 6 comes into contact with the grindstone 5 in accordance with the machining of the upper shaft 8, the holder 7, which has been pushed down by the coil spring 34, moves up relative to the lowering of the upper shaft 8. , The pressure-sensitive portion 36 of the sensor 35 attached to the lower end of the upper shaft 8 is contacted. Then, when pressurization is started in the pressurizing operation cylinder 9, the contact is further strengthened,
The pressure-sensitive portion 36 receives a force equivalent to the pressing force from the upper end portion of the holder 7. The output signal of the sensor 35 at that time is the control unit 3
After being input to 7, analyzed and calculated, it is output again and input to the electropneumatic regulator 38, and the cylinder 9 for pressurizing operation is input.
Adjust the pressure of the air sent to. This also increases or decreases the pressure applied to the grindstone 5 by the optical component 6. The pressure applied by the sensor 35 is sensed again, and the process is repeated until an arbitrary set pressure is reached. Even if an arbitrary set pressure is reached, the applied pressure is constantly measured, and the optical component 6 is processed while maintaining the set pressure by the same operation as above.

【0025】本実施例によれば、上軸昇降操作用シリン
ダー10と加圧操作用シリンダー9を別個とすることに
より被加工体である光学部品6の加工圧の大小に関係な
く、上軸8のスムーズな昇降操作が行えるとともに、小
径の光学部品の加工時に必要とされる微小加工圧から高
圧加工圧までの広範囲の加工圧力を設定することが可能
となり、さらに、供給エアー圧力と光学部品6の砥石5
に対する加圧力の構成が不必要となる。そして、時間経
過や使用状況により機能の低下、研磨加工中の下軸4の
回転や揺動、それに伴う上軸8やホルダー7の動き等が
あっても常時加圧力を計測しているので、任意の設定圧
力を維持することができる。従って、研磨加工中の光学
部品6の砥石5に対する加圧力は常に任意の設定値で維
持され、測定に時間がかかり、時間経過等により信頼性
も低下する校正も不必要になり、正確で高精度な上軸加
圧調整が可能となる。
According to the present embodiment, the upper shaft lifting operation cylinder 10 and the pressurizing operation cylinder 9 are separate, regardless of the processing pressure of the optical component 6, which is the workpiece, regardless of the processing pressure. In addition to being able to perform a smooth lifting operation, it is possible to set a wide range of processing pressure from the minute processing pressure to the high processing pressure required when processing optical components of small diameter. Grindstone 5
The configuration of the pressing force for is unnecessary. The pressure is constantly measured even if there is a decline in function due to the passage of time or usage, rotation or swing of the lower shaft 4 during polishing, and accompanying movement of the upper shaft 8 or holder 7, etc. An arbitrary set pressure can be maintained. Therefore, the pressure applied to the grindstone 5 of the optical component 6 during the polishing process is always maintained at an arbitrary set value, the measurement takes time, and the reliability that deteriorates due to the passage of time and the like becomes unnecessary. Accurate upper shaft pressure adjustment is possible.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上により、本発明によれば、研磨加工
中の光学部品の砥石に対する加圧力を常に任意の設定値
に維持することができるので、測定に時間がかかり、時
間経過等により信頼性も低下する校正も不必要になり、
そのことにより正確で高精度な上軸加圧調整が可能とな
り、加工後のレンズのニュートン品質も向上させること
が可能になるものである。
As described above, according to the present invention, the pressure applied to the grindstone of the optical component during polishing can be maintained at an arbitrary set value at all times. Calibration is also unnecessary,
As a result, it is possible to accurately and accurately adjust the upper axis pressure, and it is also possible to improve the Newton quality of the lens after processing.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1におけるA部の拡大正面図である。FIG. 2 is an enlarged front view of part A in FIG.

【図3】従来の光学部品加工装置を示す概略構成図であ
る。
FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing a conventional optical component processing apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光学部品加工装置 2 下軸部 3 上軸部 5 砥石 6 光学部品 7 保持部(ホルダー) 8 上軸 9 加工操作用シリンダー 10 上軸昇降用シリンダー 35 センサー 37 制御部 38 電空レギュレーター 1 Optical Part Processing Device 2 Lower Shaft Part 3 Upper Shaft Part 5 Grinding Stone 6 Optical Parts 7 Holding Part (Holder) 8 Upper Axis 9 Cylinder for Processing Operation 10 Upper Axis Lifting Cylinder 35 Sensor 37 Controller 38 Electropneumatic Regulator

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 回転駆動自在に砥石を装備した下軸部
と、被加工体である光学部品を保持するための保持部を
有する上軸を備えた上軸部と、前記上軸を昇降するため
の昇降操作部と、前記上軸の下降時に前記保持部で保持
した光学部品を前記砥石に対して加圧するための加圧操
作部と、前記加圧操作部の圧力を検知するセンサーと、
前記センサーからの出力信号を解析、演算する制御部
と、前記制御部からの出力信号に基づいて前記砥石に対
する光学部品の加圧力を調節する加圧調節部とにより構
成したことを特徴とする光学部品加工装置。
1. A lower shaft part equipped with a grindstone rotatably driven, an upper shaft part having an upper shaft having a holding part for holding an optical component which is a workpiece, and an elevating and lowering the upper shaft. For raising and lowering operation unit, a pressure operation unit for pressing the optical component held by the holding unit against the grindstone when the upper shaft is lowered, a sensor for detecting the pressure of the pressure operation unit,
An optical system comprising a control unit that analyzes and calculates an output signal from the sensor, and a pressurizing adjustment unit that adjusts a pressure applied to the grindstone by an optical component based on the output signal from the control unit. Parts processing equipment.
JP10733793A 1993-04-09 1993-04-09 Optical part working device Pending JPH06297315A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10733793A JPH06297315A (en) 1993-04-09 1993-04-09 Optical part working device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP10733793A JPH06297315A (en) 1993-04-09 1993-04-09 Optical part working device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06297315A true JPH06297315A (en) 1994-10-25

Family

ID=14456502

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP10733793A Pending JPH06297315A (en) 1993-04-09 1993-04-09 Optical part working device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06297315A (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002113646A (en) * 2000-10-10 2002-04-16 Olympus Optical Co Ltd Method and device for working lens
CN102785143A (en) * 2012-08-21 2012-11-21 苏州嘉仁精密机电有限公司 Concentric circle milling and grinding machine
CN111002155A (en) * 2019-11-27 2020-04-14 中国科学院上海光学精密机械研究所 Polishing force control flexible polishing tool

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002113646A (en) * 2000-10-10 2002-04-16 Olympus Optical Co Ltd Method and device for working lens
CN102785143A (en) * 2012-08-21 2012-11-21 苏州嘉仁精密机电有限公司 Concentric circle milling and grinding machine
CN102785143B (en) * 2012-08-21 2014-07-09 苏州嘉仁精密机电有限公司 Concentric circle milling and grinding machine
CN111002155A (en) * 2019-11-27 2020-04-14 中国科学院上海光学精密机械研究所 Polishing force control flexible polishing tool

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8517796B2 (en) Dressing apparatus, dressing method, and polishing apparatus
CN108723976B (en) Leak detection method and non-transitory computer-readable recording medium
US20190351526A1 (en) Method of detecting a polishing surface of a polishing pad using a polishing head, and polishing apparatus
US10987776B2 (en) Calibration method and non-transitory computer-readable storage medium storing a program of calibration
US20230106649A1 (en) Grinding apparatus
JP2016124097A (en) Wafer polishing device and polishing method of the same
US7145642B2 (en) Wafer support device and a wafer support method
CN109202686B (en) Robot grinding system and grinding control method
KR100356440B1 (en) Grinder
JPH06297315A (en) Optical part working device
US7335087B2 (en) Eyeglass lens processing apparatus
JP2008105163A (en) Pressing device
CN116021357A (en) Setting method
JP2002313765A (en) Brush cleaning device and control method therefor
JP3463908B2 (en) Substrate cleaning method and substrate cleaning apparatus
JPH0811338B2 (en) Work rest device
JPH081498A (en) Optical part matching device and machining method
JPH06179160A (en) Optical part working device
CN117381659A (en) Semiconductor material grinding processing clamp with controllable and adjustable pressure measurement and processing method
JP4181472B2 (en) Tape polishing equipment
JPH05208365A (en) Precise polishing finishing method and its device
KR100269220B1 (en) Working method of optical lens and working apparatus the same
JPH11188622A (en) Grinding method, and grinding machine
JP2001225251A (en) Spherical surface grinding/polishing method and spherical surface grinding/polishing device
JPS63232978A (en) Polishing method and device therefor

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20020910