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JPH056211A - レーザ加工機のギヤツプ制御方法 - Google Patents

レーザ加工機のギヤツプ制御方法

Info

Publication number
JPH056211A
JPH056211A JP3156330A JP15633091A JPH056211A JP H056211 A JPH056211 A JP H056211A JP 3156330 A JP3156330 A JP 3156330A JP 15633091 A JP15633091 A JP 15633091A JP H056211 A JPH056211 A JP H056211A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
work
coordinate value
gap control
gap
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3156330A
Other languages
English (en)
Inventor
Etsuo Yamazaki
悦雄 山崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fanuc Corp
Original Assignee
Fanuc Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fanuc Corp filed Critical Fanuc Corp
Priority to JP3156330A priority Critical patent/JPH056211A/ja
Publication of JPH056211A publication Critical patent/JPH056211A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Numerical Control (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 欠落部分が存在するワークをギャップ制御し
てもノズルがワークと干渉することがないようにする。 【構成】 予め、ノズル5が、ワーク7表面からレーザ
加工を行うのに適した所定の距離の位置にある時、ノズ
ルのZ軸の座標値ZOCを検出し、この検出されたノズル
のZ軸座標値に基づき、ノズルのワーク方向への移動を
制限するためのクランプ座標値ZCLを決定する。次に、
ノズルがワークに対し、相対的にXY方向へ移動する
際、ノズルのZ軸の座標値が前に決定されたクランプ座
標値ZCLよりも小さくならないようにノズルのZ軸方向
の移動を制御する。即ち、ワーク欠落部71において、
ノズルがワーク表面以下に低下することが防止される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はノズルに設けられたギャ
ップ検出器の検出信号に基づいてノズルとワークとの間
のギャップを一定値に制御しながらワークを加工するレ
ーザ加工機のギャップ制御方法に関し、特に、欠落部分
が存在するワークをギャップ制御してもノズルがワーク
と干渉することがないようにするレーザ加工機のギャッ
プ制御方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、レーザ加工機はレーザ光を集光レ
ンズ等によって集光してワークの一点に照射し、照射し
た部分を加熱して加工を行う。非常に小さいスポットに
絞って照射した部分を蒸発させることによってピアシン
グや切断加工を行い、また、焦点を僅かにずらしてスポ
ット径を広げ、ワークを溶融状態にして溶接を行う。
【0003】従って、ワークに照射されたレーザ光のス
ポット径が常時一定であることが求められるが、実際の
加工ではワークの反り等によってワーク上のスポット径
がしばしば変化することがあり得、これを防止するた
め、加工プログラムを実行しながら、同時にノズルとワ
ークとの距離を一定に保つギャップ制御が行われてい
る。
【0004】通常、ギャップ制御ではノズルにギャップ
検出器を設けて、ノズルとワークとの距離(ギャップ)
を検出し、その検出値を基準値と比較して偏差を求め
る。そして、この偏差が零になるようにノズル位置を制
御してノズルとワークとの距離を一定に保つようにして
いる。ギャップ検出器としては、ノズルとワークとの間
の静電容量を検出して両者の距離を検出するようにした
静電容量式距離検出器を初め、反射光量式、渦電流式、
磁気式等の非接触型距離検出器が多く使用される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ワークに切断
加工によって欠落部分があったり、加工すべき領域にワ
ークがない部分があったりした場合に、レーザ加工がそ
うしたワークの欠落領域へ移行しようとすると、ギャッ
プ検出器は検出すべきワークを失い、この検出器から遠
く離れたワーク以外のものの位置を検出することとな
る。このため、上記偏差の値が大きくなり、ノズルはこ
の偏差を縮めるべくワーク方向に大幅に移動され、その
結果、ノズルがワーク表面よりも下降してワークの端に
当たるような干渉が発生するという問題点があった。
【0006】本発明はこのような点に鑑みてなされたも
のであり、欠落部分が存在するワークをギャップ制御し
てもノズルがワークと干渉することがないようにしたレ
ーザ加工機のギャップ制御方法を提供することを目的と
する。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明では上記課題を解
決するために、ノズルに設けられたギャップ検出器の検
出信号に基づいて前記ノズルとワークとの間のギャップ
を一定値に制御しながら前記ワークを加工するレーザ加
工機のギャップ制御方法において、前記ノズルが、前記
ワーク表面からレーザ加工を行うのに適した所定の距離
の位置にある時、前記ノズルのZ軸の座標値を検出し、
前記検出されたノズルのZ軸座標値に基づき、前記ノズ
ルの前記ワーク方向への移動を制限するためのクランプ
座標値を決定し、前記ノズルが前記ワークに対し、相対
的にXY方向へ移動する際、前記ノズルのZ軸の座標値
が前記決定されたクランプ座標値よりも小さくならない
ように前記ノズルのZ軸方向の移動を制御することを特
徴とするレーザ加工機のギャップ制御方法が、提供され
る。
【0008】
【作用】予め、ノズルが、ワーク表面からレーザ加工を
行うのに適した所定の距離の位置にある時、ノズルのZ
軸の座標値を検出し、この検出されたノズルのZ軸座標
値に基づき、ノズルのワーク方向への移動を制限するた
めのクランプ座標値を決定する。
【0009】次に、ノズルがワークに対し、相対的にX
Y方向へ移動する際、ノズルのZ軸の座標値が前に決定
されたクランプ座標値よりも小さくならないようにノズ
ルのZ軸方向の移動を制御する。即ち、ノズルはクラン
プ座標値によりワーク方向への移動を制限されて、ノズ
ルがワーク表面と干渉することが防止される。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図2は本発明を実施するためのレーザ加工機の
ハードウェアの概略構成図である。図において、プロセ
ッサ11はバス10を介してROM12aに格納されて
いるシステムプログラムを読みだし、これに従って制御
装置1の全体の動作を制御する。RAM12bはDRA
Mであり、一時的な計算データを格納する。不揮発性メ
モリ12cは図示されないバッテリでバックアップされ
ており、加工プログラムや各種のパラメータを格納す
る。
【0011】プロセッサ11はレーザ出力指令をインタ
ーフェース13を介してレーザ発振器2に指令し、これ
に基づいてレーザ発振器2がレーザ光3を出力する。レ
ーザ光3は集光レンズ4で集光されてノズル5からテー
ブル6に固定されたワーク7に照射される。ギャップ検
出器8は静電容量式の距離検出器であり、ノズル5を中
心にしたリング状の構造になっていて、ワーク7との間
の静電容量を検出して検出信号を出力する。この検出さ
れた静電容量はノズル5とワーク7との間のギャップ量
に対応する。
【0012】検出信号はA/D変換器14によってディ
ジタルな値に変換される。プロセッサ11はこれをバス
10を介して読み込み、ワーク7の材質や表面状態の相
違、及びギャップ検出器8の経年変化やドリフト等に起
因するレベル変化分を補正する補正係数で、距離検出器
8からの検出信号を補正してノズル5とワーク7とのギ
ャップ量を求め、さらにこのギャップ量を基準値と比較
して偏差量を求め、偏差量に比例した速度指令をサーボ
アンプ15に指令する。
【0013】サーボアンプ15は内部にD/A変換器を
内蔵しており、速度指令をアナログ値に変換した後、増
幅してサーボモータ9を駆動する。サーボモータ9が駆
動されることにより、ノズル5がZ軸方向に移動する。
なお、この他にテーブル6をX軸方向、及び紙面に垂直
なY軸方向に制御するサーボ系があり、これらは加工プ
ログラムの軸移動指令に従って制御されるが、本図では
これらを省略してある。
【0014】サーボモータ9にはパルスコーダ91が取
り付けられており、サーボモータ9が所定角度回転する
毎にパルス信号を発生する。このパルス信号はサーボア
ンプ15にフィードバック信号として入力される。この
結果、ノズル5は基本的には加工プログラムに従った移
動を行いながら、ギャップ制御によりワーク7とのギャ
ップ量が一定に保たれる。
【0015】図1は、欠落部分71が存在するワーク7
をレーザ加工する場合の本発明に係るギャップ制御方法
を説明する概念図である。ワーク7には複数のレーザ加
工領域が存在し、加工プログラムには、各レーザ加工領
域毎にその加工開始点にギャップ制御オンの命令が、加
工終了点にギャップ制御オフの命令が設定されている。
【0016】まず加工プログラムの実行に先立って、加
工プログラムをサーチしてギャップ制御が開始されるべ
きギャップ制御オンの命令を見つけ、そのギャップ制御
オン時のXY座標位置にノズル5を位置決めする。そし
てギャップ制御を開始してアプローチを行い、ノズル5
がワーク7の表面から所定の距離の位置になるようにノ
ズル5をZ軸方向に移動する。この所定の距離は、レー
ザ光のワーク表面への照射スポットの絞り具合等の加工
条件に従い設定される値である。
【0017】アプローチが完了したら、その時のノズル
5のZ軸座標値ZOCを読み取り、記憶する。同様に、加
工プログラムから、次に続くギャップ制御オンの命令を
見つけ、そのギャップ制御オン時のXY座標位置にノズ
ル5を位置決めし、アプローチを行い、その時のノズル
5のZ軸座標値ZOCを読み取る、という一連の処理を加
工プログラム全体にわたって繰り返して、各ギャップ制
御オン時のノズル5のZ軸座標値ZOCを読み取り、記憶
する。
【0018】次に加工プログラムを最初から実際に実行
する。ギャップ制御が開始されるべきギャップ制御オン
の命令があると、前に検出され記憶されたZ軸座標値Z
OCの中から対応の値を読み出し、ノズル5がワーク7に
当たって干渉を起こし始めるノズル5のZ軸座標値であ
るクランプレベルZCLを算出する。この算出の詳細に関
しては後述する。
【0019】この算出後、加工プログラムに従ってレー
ザ加工が、例えばレーザ加工領域(1)内で行われると
同時に、本発明に係るギャップ制御が行われる。即ち、
ノズル5のXY方向への移動に伴い、ワーク7とノズル
5とのギャップ量を一定にするようにノズル5のZ方向
の位置制御が行われるとともに、ノズル5のZ軸座標値
の現在値Zが、先に算出されたクランプレベルZCLと比
較される。
【0020】ノズル5が図1のワーク欠落部71に至る
と、ギャップ量を一定にしようとするノズル5の下方向
への動作で、ノズル5のZ軸座標値の現在値Zが小さい
値に低下する。この場合に、本発明によればノズル5の
Z軸座標値の現在値ZをクランプレベルZCL以下の値に
ならないようにする。即ち、ノズル5の先端がワーク7
の表面より下がりワーク7に当たる直前でノズル5が下
方向(Z軸マイナス方向)へ移動することを禁止する。
【0021】そして、ノズル5が再びワーク7の欠落部
でない部分に至ると、ノズル5はワーク7から所定の距
離に保持される。その後、ギャップ制御が終了されるべ
きギャップ制御オフの命令があると、ギャップ制御が終
了され、それとともに加工プログラムに従ってレーザ加
工領域(1)でのレーザ加工も終了し、ノズル5は所定
の早送り待機位置まで上方向(Z軸プラス方向)へ移動
する。
【0022】以上のような加工プログラムの実行及び本
発明に係るギャップ制御がレーザ加工領域毎に繰り返さ
れる。なお、複数のレーザ加工領域毎に各ギャップ制御
オン時のノズル5のZ軸座標値ZOCを読み出し、その値
に基づいてクランプレベルZCLをそれぞれ算出してノズ
ル5のZ方向の動きを抑制するようにしている。従っ
て、各レーザ加工領域間においてワーク7に反りがあっ
ても、各Z軸座標値ZOCがワーク7の反りを折り込み済
であるから、ノズル5がワーク7と干渉することは防止
できる。
【0023】以上の本発明に係るギャップ制御方法を更
にフローチャートを用いて詳述する。図3は各ギャップ
制御オン時のノズル5のZ軸座標値ZOCを読み取り、記
憶する手順を示すフローチャートであり、図4は加工プ
ログラムを実際に実行した時にノズル5のワーク7との
干渉を防止するようにするギャップ制御の手順を示すフ
ローチャートである。これらのフローチャートは図2の
ROM12aに記憶されており、プロセッサ11で実行
される。図中、Sに続く数字はステップ番号を表す。
【0024】〔S1〕加工プログラムを全部読み取る。 〔S2〕読み取った加工プログラムをサーチしてギャッ
プ制御オンの命令を見つける。即ち、ステップS3で更
新されたXY座標値にノズル5が位置する時にギャップ
制御オンの指令が行われるか否かを判別する。ギャップ
制御オンの指令が行われるならばステップS4へ、行わ
れないならばステップS3へ進む。
【0025】〔S3〕XY座標値を加工プログラムに沿
って更新する。 〔S4〕ギャップ制御オンの指令が行われるならば、そ
のXY座標値に実際にノズル5を位置決めする。 〔S5〕ギャップ制御を開始し、ノズル5がワーク7の
表面から所定の距離の位置になるようにノズル5をZ軸
方向に移動するアプローチを行う。
【0026】〔S6〕ノズル5がワーク7の表面から所
定の距離の位置に至ったか否か、即ち、アプローチが完
了したか否かを判別する。アプローチが完了したらステ
ップS7へ進む。 〔S7〕アプローチが完了した時点でのノズル5のZ軸
座標値ZOCを読み取り、それを、ステップS4のギャッ
プ制御オンのXY座標値と対応づけて記憶する。
【0027】〔S8〕加工プログラムに含まれる全部の
ギャップ制御オンの命令に対するステップS2のサーチ
及びそのサーチに基づくステップS7のZ軸座標値ZOC
の読み取りが完了したか否かを判別する。完了していな
ければ、ステップS1へ戻って、ステップS1〜S7を
繰り返し、一方、完了すれば、図4のステップS11へ
進む。
【0028】以上のステップS1〜S8の実行により、
予め行われるべき、各ギャップ制御オン時のZ軸座標値
OCの読み取りと記憶が完了する。次に、図4のフロー
チャートによって実際の加工プログラムの実行を行う。 〔S11〕図3で読み取った加工プログラムを最初の位
置に戻す。 〔S12〕加工プログラムを逐次読み込み、解読する。
【0029】〔S13〕ステップS12で読み込まれ、
解読された加工プログラム部分にギャップ制御オンの命
令があるか否かを判別する。ギャップ制御オンの指令が
行われている時のみステップS14へ進む。 〔S14〕図3のステップS7で記憶された各Z軸座標
値ZOCの中から、ギャップ制御オンのXY座標値が同一
なZ軸座標値ZOCを選別して読み出す。
【0030】〔S15〕読み出されたZ軸座標値ZOC
用いてクランプレベルZCLを下記式に基づき算出する。 ZCL = ZOC − ZR ここでZR は変数として与えられるクランプ許容値であ
り、各レーザ加工領域内でのワーク7の反りが無視し得
る程度ならば、一定値に保持されるノズル5とワーク7
との間の所定の距離に設定される。しかし、各レーザ加
工領域内でのワーク7の反りを考慮にいれるならば、上
記ノズル・ワーク間の所定の距離から、各レーザ加工領
域内でのワーク7の反りの最大値を減算した値を、ZR
として設定してもよい。
【0031】〔S16〕ギャップ制御オフの状態か否か
を判別する。ギャップ制御オン状態ならばステップS1
7〜S19へ進み、一方、ギャップ制御オフの状態なら
ば、ステップS17〜S19をスキップしてステップS
20へ進む。 〔S17〕ノズル5のZ軸座標値の現在値Zが検出さ
れ、それがステップS15で算出されたクランプレベル
CLと比較される。現在値ZがクランプレベルZ CLより
も大きいならば、即ち、ノズル5の先端がワーク7の表
面よりも上にあれば、ノズル5のワーク7との干渉はな
いので、ステップS18へ進む。しかし、現在値Zがク
ランプレベルZCL以下ならば、即ち、ノズル5の先端が
ワーク7の表面あるいは表面よりも下にあれば、ノズル
5がワーク7と干渉を起こすので、ステップS19へ進
む。
【0032】〔S18〕通常のギャップ制御を行う。即
ち、ノズル5とワーク7とのギャップを所定の距離に保
持する制御が行われる。 〔S19〕ノズル5のZ軸マイナス方向への移動をクラ
ンプしてしまう。即ち、ノズル5の先端がワーク7の表
面に至る直前の位置を保持して、ノズル5のZ軸座標値
の現在値ZがクランプレベルZCLより僅か大きい値を取
るように制御される。
【0033】〔S20〕加工プログラムに従って加工演
算を行い、パルス分配を行う。 〔S21〕加工プログラムを全て終了したか否かを判別
する。未だ完了していないならばステップS12へ戻
り、完了したならば本プログラムを終了する。以上のス
テップS11〜S21で説明したように、各レーザ加工
領域内でのワーク7の反りが無視し得る通常の加工の場
合ならば、ノズル5の先端は、図1のワーク7の表面に
沿ってZ軸座標値ZOCを維持したままXY方向に移動
し、ワークの欠落部71に至ると、ワーク7の表面より
僅か上の位置を維持しながら、XY方向に移動する。そ
して、ワーク7の欠落部でない部分に至ると再びZ軸座
標値ZOCを維持する。このようにしてレーザ加工領域
(1)でのギャップ制御が完了し、ノズル5がワーク7
と干渉することを防止できる。
【0034】同様に、Z軸座標値ZOCが異なるレーザ加
工領域(n)に移行すると、その異なったZ軸座標値Z
OCに基づきクランプレベルZCLを算出して、やはりワー
クの欠落部に至ると、ワーク7の表面より僅か上の位置
を維持しながら、XY方向に移動する。かくして、各レ
ーザ加工領域間でワークに反りがあっても、ノズル5が
ワーク7と干渉することを防止できる。
【0035】図1に2重括弧で示すように、ZOCをワー
ク7の表面のZ軸座標値と見做せば、クランプレベルZ
CLは破線の位置で表せ、この破線の位置は、これ以下の
位置ではクランプが行われるワーク7のクランプ限度表
面位置を表していることになる。
【0036】
【発明の効果】以上説明したように本発明では、予め、
ワーク表面からノズルまでの距離に基づきノズルのワー
ク方向への移動を制限するためのクランプ座標値を決定
し、次に、ノズルがワークに対し、相対的にXY方向へ
移動する際、ノズルのZ軸の座標値が前に決定されたク
ランプ座標値よりも小さくならないようにノズルのZ軸
方向の移動を制御するようにしたので、ノズルがクラン
プ座標値によりワーク方向への移動を制限されて、ノズ
ルがワーク表面と干渉することが防止される。
【図面の簡単な説明】
【図1】欠落部分が存在するワークをレーザ加工する場
合の本発明に係るギャップ制御方法を説明する概念図で
ある。
【図2】本発明を実施するためのレーザ加工機のハード
ウェアの概略構成図である。
【図3】ノズルのZ軸座標値ZOCを読み取り、記憶する
手順を示すフローチャートである。
【図4】加工プログラムを実際に実行した時のギャップ
制御の手順を示すフローチャートである。
【符号の説明】
5 ノズル 7 ワーク 71 ワーク欠落部分 8 ギャップ検出器

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ノズルに設けられたギャップ検出器の検
    出信号に基づいて前記ノズルとワークとの間のギャップ
    を一定値に制御しながら前記ワークを加工するレーザ加
    工機のギャップ制御方法において、前記ノズルが、前記
    ワーク表面からレーザ加工を行うのに適した所定の距離
    の位置にある時、前記ノズルのZ軸の座標値を検出し、
    前記検出されたノズルZ軸座標値に基づき、前記ノズル
    の前記ワーク方向への移動を制限するためのクランプ座
    標値を決定し、前記ノズルが前記ワークに対し、相対的
    にXY方向へ移動する際、前記ノズルのZ軸の座標値が
    前記決定されたクランプ座標値よりも小さくならないよ
    うに前記ノズルのZ軸方向の移動を制御することを特徴
    とするレーザ加工機のギャップ制御方法。
  2. 【請求項2】 ノズルに設けられたギャップ検出器の検
    出信号に基づいて前記ノズルとワークとの間のギャップ
    を一定値に制御しながら前記ワークを加工するレーザ加
    工機のギャップ制御方法において、複数のレーザ加工工
    程を含む加工プログラムに、レーザ加工の開始点に対し
    てはギャップ制御オンの命令を、レーザ加工終了点に対
    してはギャップ制御オフの命令を加え、前記ギャップ制
    御オンの命令毎に、前記ノズルが、前記ワーク表面から
    レーザ加工を行うのに適した所定の距離の位置に至った
    時、前記ノズルのZ軸の座標値を検出して記憶し、その
    後、前記加工プログラムを最初から実行し、前記加工プ
    ログラムの各レーザ加工工程において、対応する前記検
    出され記憶されたノズルのZ軸座標値に基づき、前記ノ
    ズルの前記ワーク方向への移動を制限するためのクラン
    プ座標値を決定し、前記ノズルが前記ワークに対し、相
    対的にXY方向へ移動する際、前記ノズルのZ軸の座標
    値が前記決定されたクランプ座標値よりも小さくならな
    いように前記ノズルのZ軸方向の移動をそれぞれ制御す
    ることを特徴とするレーザ加工機のギャップ制御方法。
  3. 【請求項3】 ノズルに設けられたギャップ検出器の検
    出信号に基づいて前記ノズルとワークとの間のギャップ
    を一定値に制御しながら前記ワークを加工するレーザ加
    工機のギャップ制御方法において、複数のレーザ加工工
    程を含む加工プログラムに、レーザ加工の開始点に対し
    てはギャップ制御オンの命令を、レーザ加工終了点に対
    してはギャップ制御オフの命令を加え、前記加工プログ
    ラムにわたって前記ギャップ制御オンの命令をサーチし
    て、前記ギャップ制御オンの命令がある毎に、前記ギャ
    ップ制御オンの命令があった時点のX・Y座標位置に前
    記ノズルを位置決めし、前記ノズルの位置決めが行われ
    る毎に、ギャップ制御を開始して、前記ノズルを、前記
    ワーク表面からレーザ加工を行うのに適した所定の距離
    の位置に至らしめるべくアプローチを行い、前記アプロ
    ーチが行われる毎に、前記検出信号に基づき、前記ノズ
    ルが前記ワークにアプローチを完了したことを判定し、
    前記判定が行われる毎に、その時の前記ノズルのZ軸の
    座標値を検出して記憶し、その後、前記加工プログラム
    を最初から実行し、前記加工プログラムの実行に際し、
    各レーザ加工工程のギャップ制御オンの命令を読み取る
    毎に、前記各レーザ加工工程に対応する前記記憶された
    ノズルのZ軸座標値をそれぞれ読み出し、読み出される
    毎に、前記各読み出されたノズルのZ軸座標値から前記
    所定の距離分だけ減算してクランプ座標値をそれぞれ決
    定し、前記各レーザ加工工程において、前記ノズルが前
    記ワークに対し相対的にXY方向へ移動する際、前記ノ
    ズルのZ軸の座標値を、対応する前記決定されたクラン
    プ座標値とそれぞれ比較し、前記ノズルのZ軸の座標値
    が対応する前記決定されたクランプ座標値よりも小さく
    ならないように前記ノズルのZ軸方向の移動をそれぞれ
    制御することを特徴とするレーザ加工機のギャップ制御
    方法。
  4. 【請求項4】 前記加工プログラムの実行に際し、各レ
    ーザ加工工程のギャップ制御オフの命令を読み取ると、
    それまで前記比較に用いていたクランプ座標値をキャン
    セルし、続いて、次のレーザ加工工程のギャップ制御オ
    ンの命令を読み取ると、このレーザ加工工程に対応する
    新たなクランプ座標値を前記比較に用いるようにするこ
    とを特徴とする請求項3記載のレーザ加工機のギャップ
    制御方法。
JP3156330A 1991-06-27 1991-06-27 レーザ加工機のギヤツプ制御方法 Pending JPH056211A (ja)

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JP3156330A JPH056211A (ja) 1991-06-27 1991-06-27 レーザ加工機のギヤツプ制御方法

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JPH056211A true JPH056211A (ja) 1993-01-14

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