JPH0444639A - 垂直磁気記録媒体の製造装置 - Google Patents
垂直磁気記録媒体の製造装置Info
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- JPH0444639A JPH0444639A JP15312790A JP15312790A JPH0444639A JP H0444639 A JPH0444639 A JP H0444639A JP 15312790 A JP15312790 A JP 15312790A JP 15312790 A JP15312790 A JP 15312790A JP H0444639 A JPH0444639 A JP H0444639A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ８発明の目的
〔産業上の利用分野〕
本発明は、スパッタリング法により垂直磁気記録媒体を
製造するための製造装置に関する。
製造するための製造装置に関する。
近年、磁気記録の高密度化の要求に伴い、磁性層が磁性
材料のみによって形成される所謂連続磁性薄膜媒体の研
究が盛んに行われ、真空蒸着法、スパッタ法、鍍金法に
よって形成される連続磁性薄膜媒体は、磁性層が連続磁
性媒体であるために、長手方向の記録が可能なことは言
うまでもないが、垂直記録方式の採用が可能で、これに
より記録密度の飛躍的向上が期待されており、各種磁気
テープ、あるいはディスク状磁気記録媒体等の様々な製
品形態への応用開発が進められている。
材料のみによって形成される所謂連続磁性薄膜媒体の研
究が盛んに行われ、真空蒸着法、スパッタ法、鍍金法に
よって形成される連続磁性薄膜媒体は、磁性層が連続磁
性媒体であるために、長手方向の記録が可能なことは言
うまでもないが、垂直記録方式の採用が可能で、これに
より記録密度の飛躍的向上が期待されており、各種磁気
テープ、あるいはディスク状磁気記録媒体等の様々な製
品形態への応用開発が進められている。
この垂直磁気記録方式に適した磁気記録媒体の磁性層と
して、再生信号のＳ／Ｎ比が良い特色があるＣｏＣｒ膜
等が使用され、検討されている。
して、再生信号のＳ／Ｎ比が良い特色があるＣｏＣｒ膜
等が使用され、検討されている。
磁性層が一つの磁性体の層からなる垂直単層媒体は、従
来のリングヘッドで記録再生が行え、記憶容量が大きく
取れることから、スチルビデオ・フロッピー・ディスク
等に用いることが検討されている。
来のリングヘッドで記録再生が行え、記憶容量が大きく
取れることから、スチルビデオ・フロッピー・ディスク
等に用いることが検討されている。
この種の磁気ディスクを作製する装置は、従来第２図に
示すように送り出しロール１から繰り出された長尺のベ
ースフィルム２をガイドロール３を介して断続的に走行
させ、スパッタリング法により垂直単層媒体をフィルム
上に形成させる装置が用いられている。
示すように送り出しロール１から繰り出された長尺のベ
ースフィルム２をガイドロール３を介して断続的に走行
させ、スパッタリング法により垂直単層媒体をフィルム
上に形成させる装置が用いられている。
この場合、２つのガイドロール３間でフィルム走行方向
に適当なテンションをかけ、膜形成時のみベースフィル
ム２の移動を停止し、断続的に巻取りロール７に巻き取
るようにしている。このようにして、膜形成後にカール
やしわのない垂直磁気記録媒体を作製している。
に適当なテンションをかけ、膜形成時のみベースフィル
ム２の移動を停止し、断続的に巻取りロール７に巻き取
るようにしている。このようにして、膜形成後にカール
やしわのない垂直磁気記録媒体を作製している。
しかしながら、第２図の従来の装置によって作製された
垂直磁気記録媒体は、第３図に示すように媒体の外側に
いくほど再生出力が低いという問題点があった。この問
題点に対して本発明者は検討を行った結果、第４図に示
すように磁性層としてＣｏＣｒを用いた媒体の中心から
の距離と、各位置の媒体の垂直方向の抗磁力（以下Ｈｃ
ｖと記す）の関係を示したものである。第４図が示すよ
うにＣｏＣｒのＨｃｖが媒体の外側にいくほど小さくな
っていることがわかる。更に、第２図に示すように膜形
成時のベースフィルム２の温度制御をするステンレス族
のサブストホルダ６に温度勾配が生じると、膜内でのＨ
ｃｖ分布に影響を及ぼしていることがわかった。
垂直磁気記録媒体は、第３図に示すように媒体の外側に
いくほど再生出力が低いという問題点があった。この問
題点に対して本発明者は検討を行った結果、第４図に示
すように磁性層としてＣｏＣｒを用いた媒体の中心から
の距離と、各位置の媒体の垂直方向の抗磁力（以下Ｈｃ
ｖと記す）の関係を示したものである。第４図が示すよ
うにＣｏＣｒのＨｃｖが媒体の外側にいくほど小さくな
っていることがわかる。更に、第２図に示すように膜形
成時のベースフィルム２の温度制御をするステンレス族
のサブストホルダ６に温度勾配が生じると、膜内でのＨ
ｃｖ分布に影響を及ぼしていることがわかった。
然るに本発明の課題は、ベースフィルムの温度を膜形成
域内で温度勾配なく制御しつつ磁性膜を作製し、ベース
フィルム内に形成された垂直磁気記録媒体の特性を均質
化できる垂直磁気記録媒体の製造装置を提供することに
ある。
域内で温度勾配なく制御しつつ磁性膜を作製し、ベース
フィルム内に形成された垂直磁気記録媒体の特性を均質
化できる垂直磁気記録媒体の製造装置を提供することに
ある。
口１発明の構成
〔課題を解決するための手段〕
本発明は、長尺の高分子フィルム上にスパッタリング法
により垂直磁気記録媒体を作製する製造装置において、
該フィルムとスパッタリング・ターゲットとの間に、ヒ
ータを備えたリングを設置したことを特徴とする垂直磁
気記録媒体の製造装置を提供する。
により垂直磁気記録媒体を作製する製造装置において、
該フィルムとスパッタリング・ターゲットとの間に、ヒ
ータを備えたリングを設置したことを特徴とする垂直磁
気記録媒体の製造装置を提供する。
垂直磁気記録媒体用磁性膜のスパッタリングによる形成
時に、形成されるベースフィルムの温度を被形成面ＩＩ
ｉからリング状のヒータにより昇温することにより、ベ
ースフィルムの面内の温度勾配を小さくし均質な磁性膜
を形成させる。
時に、形成されるベースフィルムの温度を被形成面ＩＩ
ｉからリング状のヒータにより昇温することにより、ベ
ースフィルムの面内の温度勾配を小さくし均質な磁性膜
を形成させる。
以下、図面を用いて本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の実施例の製造装置を示す概念的な外観
斜視図である。
斜視図である。
第５図は本発明の一実施例による製造装置に用いられた
ヒータを備えたリング５の説明図を示す。
ヒータを備えたリング５の説明図を示す。
このリング５は、第５図に示すようにリング本体の温度
が制御できるようにヒータ８がリング５に組み込まれて
おり、第１図に示すように製造装置のスパッタリング・
ターゲット４とベースフィルム２の間に設置されている
。
が制御できるようにヒータ８がリング５に組み込まれて
おり、第１図に示すように製造装置のスパッタリング・
ターゲット４とベースフィルム２の間に設置されている
。
（比較例）
リング５に通電せず、リングの温度を制御しない製造装
置にてＣｏＣｒの磁性体で単層の垂直磁気記録媒体を作
製した。
置にてＣｏＣｒの磁性体で単層の垂直磁気記録媒体を作
製した。
（実施例１）
比較例と同じ条件のもとてリング５の温度を１００℃に
制御した製造装置にてＣｏＣｒ磁性体で単層の垂直磁気
記録媒体を作製した。
制御した製造装置にてＣｏＣｒ磁性体で単層の垂直磁気
記録媒体を作製した。
（実施例２）
比較例と同じ条件のもとてリング５の温度を１５０℃に
制御した製造装置にてＣｏＣｒ磁性体で単層の垂直磁気
記録媒体を作製した。
制御した製造装置にてＣｏＣｒ磁性体で単層の垂直磁気
記録媒体を作製した。
以上の実施例１及び実施例２で作成した垂直磁気記録媒
体の電磁変換特性を評価したところ、第６図に示すよう
に実施例の媒体は比較例の媒体に比べ、リングの温度を
高めることにより良好な再生出力の分布が得られている
。
体の電磁変換特性を評価したところ、第６図に示すよう
に実施例の媒体は比較例の媒体に比べ、リングの温度を
高めることにより良好な再生出力の分布が得られている
。
上述の実施例の結果によれば、リングからの熱輻射によ
り膜形成部の外郭部を加熱し、磁性体膜の形成時の膜形
酸部全体の温度を一様に制御することにより良好な再生
出力の分布を有する垂直単層媒体が得られていることが
わかる。又、本実施例ではＣｏＣｒ磁性体膜について示
したが、他の磁性体についても同様の効果を得ることが
出来る。
り膜形成部の外郭部を加熱し、磁性体膜の形成時の膜形
酸部全体の温度を一様に制御することにより良好な再生
出力の分布を有する垂直単層媒体が得られていることが
わかる。又、本実施例ではＣｏＣｒ磁性体膜について示
したが、他の磁性体についても同様の効果を得ることが
出来る。
ハ１発明の効果
〔発明の効果〕
以上、本発明により均一な特性の得られる垂直磁気記録
媒体の製造装置が提供出来る。
媒体の製造装置が提供出来る。
第１図は、本発明の一実施例による製造装置の概略を示
す外観斜視図。 第２図は、従来の製造装置の概略を示す外観斜視図。 第３図は、従来の製造装置により作成された媒体の中心
からの距離とその場所の媒体の再生出力との関係を示す
図。 第４図は、第３図に示す従来の製造装置で作製された媒
体の媒体中心からの距離とその部分の媒体のＨｅｖの値
の関係を示す図。 第５図は、本発明の一実施例の製造装置に組み込まれた
ヒータを備えたリングの概要を説明する説明図である。 第６図は、比較例、実施例］、及び実施例２の媒体の中
心からの距離とその位置の媒体の再生出力との関係を示
す図。 １・・・送り出しロール、２・・・ベースフィルム、３
・・・ガイトロ・〜ル、 ４・・・スパッタリング・ターゲット、５・・・リング
、 ６・・・サブストホルダ、 ７・・・巻取ロール。 ８・・・ヒータ。
す外観斜視図。 第２図は、従来の製造装置の概略を示す外観斜視図。 第３図は、従来の製造装置により作成された媒体の中心
からの距離とその場所の媒体の再生出力との関係を示す
図。 第４図は、第３図に示す従来の製造装置で作製された媒
体の媒体中心からの距離とその部分の媒体のＨｅｖの値
の関係を示す図。 第５図は、本発明の一実施例の製造装置に組み込まれた
ヒータを備えたリングの概要を説明する説明図である。 第６図は、比較例、実施例］、及び実施例２の媒体の中
心からの距離とその位置の媒体の再生出力との関係を示
す図。 １・・・送り出しロール、２・・・ベースフィルム、３
・・・ガイトロ・〜ル、 ４・・・スパッタリング・ターゲット、５・・・リング
、 ６・・・サブストホルダ、 ７・・・巻取ロール。 ８・・・ヒータ。
Claims (1)
- １、長尺の高分子フィルム上に、スパッタリング法によ
り垂直磁気記録媒体を作製する製造装置において、該フ
ィルムとスパッタリング・ターゲットの間に、ヒータを
備えたリングを設置したことを特徴とする垂直磁気記録
媒体の製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15312790A JPH0444639A (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | 垂直磁気記録媒体の製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15312790A JPH0444639A (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | 垂直磁気記録媒体の製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0444639A true JPH0444639A (ja) | 1992-02-14 |
Family
ID=15555574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15312790A Pending JPH0444639A (ja) | 1990-06-12 | 1990-06-12 | 垂直磁気記録媒体の製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0444639A (ja) |
-
1990
- 1990-06-12 JP JP15312790A patent/JPH0444639A/ja active Pending
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