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JP7568413B2 - Photosensitive resin composition, cured film obtained by curing the same, and display device having the cured film - Google Patents

Photosensitive resin composition, cured film obtained by curing the same, and display device having the cured film Download PDF

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JP7568413B2 JP2020056205A JP2020056205A JP7568413B2 JP 7568413 B2 JP7568413 B2 JP 7568413B2 JP 2020056205 A JP2020056205 A JP 2020056205A JP 2020056205 A JP2020056205 A JP 2020056205A JP 7568413 B2 JP7568413 B2 JP 7568413B2
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Description

本発明は、特定の構造を有する重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を含む感光性樹脂組成物、それを硬化してなる硬化膜、その硬化膜を構成成分として含むタッチパネルおよびカラーフィルターに関する。 The present invention relates to a photosensitive resin composition containing an alkali-soluble resin containing a polymerizable unsaturated group having a specific structure, a cured film obtained by curing the photosensitive resin composition, and a touch panel and a color filter containing the cured film as a constituent component.

従来、カラー液晶ディスプレイ(LCD)の製造に用いられるカラーフィルターの表面上には、保護層として透明な硬化膜(以下、「保護膜」ともいう)が形成されている。カラーフィルターの保護膜は、カラーフィルターの画素間に生じる凹凸を平坦化すること、後工程における熱処理や薬品処理に対するカラーフィルターの耐久性を向上させること、カラー液晶ディスプレイの信頼性を向上させることなどを目的として形成される。カラーフィルターの保護膜としては、透明性、耐薬品性、密着性、硬度、平坦性、耐熱性および電気的信頼性などに優れることが求められている。 Conventionally, a transparent cured film (hereinafter also referred to as a "protective film") is formed as a protective layer on the surface of a color filter used in the manufacture of a color liquid crystal display (LCD). The protective film of a color filter is formed for the purposes of flattening the unevenness that occurs between the pixels of the color filter, improving the durability of the color filter against heat treatment and chemical treatment in the post-process, and improving the reliability of the color liquid crystal display. The protective film of a color filter is required to have excellent transparency, chemical resistance, adhesion, hardness, flatness, heat resistance, and electrical reliability.

一方、保護膜の形成方法としては、熱硬化により前面に保護膜を形成する方法と、フォトリソグラフィーにより保護膜を形成する方法とがある。この保護膜の形成方法は、カラーフィルターのパネル設計および加工工程を設計する中で、保護膜が具備すべき特性とパターニングの要否によって、選択され得る。ここで、フォトリソグラフィーで形成する場合に重視される保護膜の特性としては、所望の保護膜パターンの形成が可能な現像特性を具備できることを前提として、透明性、耐薬品性、密着性、硬度および電気的信頼性を有することである。 Meanwhile, there are two methods for forming a protective film: one is to form a protective film on the front surface by thermal curing, and the other is to form a protective film by photolithography. The method for forming the protective film can be selected during the panel design and processing of the color filter, depending on the characteristics that the protective film should have and whether patterning is required. Here, when forming a protective film by photolithography, the characteristics that are important are transparency, chemical resistance, adhesion, hardness, and electrical reliability, assuming that the film has development characteristics that allow the desired protective film pattern to be formed.

例えば、透明性としては、カラーフィルターの色特性を損なわないよう、保護膜が可視光波長域に吸収を持たないことが求められる。耐薬品性としては、後工程で用いられる酸、アルカリおよび溶剤などに対する保護膜の安定性が求められる。密着性としては、液晶ディスプレイパネルを作製する際に保護膜上で基板の貼り合わせが行われることがあり、その部位の保護膜の下地がガラス基板、ITO基板、およびMAM基板等であっても剥離しないことが求められる。硬度としては、保護膜の耐久性の観点から、高い硬度を有することが求められる。電気的信頼性としては、保護膜の絶縁性の維持や、保護膜に含まれる不純物等が液晶を汚染しないことが求められる。 For example, in terms of transparency, the protective film is required to have no absorption in the visible light wavelength range so as not to impair the color characteristics of the color filter. In terms of chemical resistance, the protective film is required to be stable against acids, alkalis, solvents, etc. used in later processes. In terms of adhesion, when a substrate is laminated on the protective film when manufacturing a liquid crystal display panel, the protective film in that area is required to not peel off even if the base is a glass substrate, an ITO substrate, a MAM substrate, etc. In terms of hardness, the protective film is required to have high hardness from the viewpoint of durability. In terms of electrical reliability, it is required that the insulating properties of the protective film be maintained and that impurities contained in the protective film do not contaminate the liquid crystal.

上記保護膜に対する要求特性において、LCDパネルの高機能化に伴い広視野角、高速応答が求められ、IPS(In-plane Switching)モードに類する表示方式が用いられるようになってきた中で、要求が厳しくなってきている。IPSモードのような表示方式においては、カラーフィルター層から発生もしくはブリードアウトするガス状または液状成分や水が保護層を経由して液晶層に進入して液晶層中の水分やイオン性不純物の濃度が増加したり、液晶層中で気泡になったりすると、表示不良の原因となる。このため、前述の不純物成分の通過を防ぐことはもちろんのこと、液晶層と直接接触する保護膜からのガス発生は表示不良に直結することから、低発ガス性が特に重要視される。 The requirements for the above protective film are becoming stricter as LCD panels become more sophisticated, requiring wider viewing angles and faster response times. In display methods such as IPS (In-plane Switching) mode, gaseous or liquid components or water generated or bleed-out from the color filter layer may enter the liquid crystal layer through the protective layer, increasing the concentration of moisture or ionic impurities in the liquid crystal layer or forming bubbles in the liquid crystal layer, causing display defects. For this reason, it is particularly important to prevent the passage of the above-mentioned impurities, as well as to have low gas generation properties, since gas generation from the protective film in direct contact with the liquid crystal layer directly leads to display defects.

さらには、保護膜形成後に液晶の配向膜の光配向処理等のLCDパネル製造プロセス上の問題や、有機EL等の各種表示装置を含め外光の影響を低減するといった課題も出てきている。このため、保護膜としての透明性(高透過率)を確保した上で色表示に寄与しない短波長の紫外光の吸収能を保護膜に要求される場合も出てきている。 Furthermore, there are issues in the LCD panel manufacturing process, such as photo-alignment treatment of the liquid crystal alignment film after the protective film is formed, and issues such as reducing the effects of external light, including various display devices such as organic electroluminescence. For this reason, there are cases where the protective film is required to have the ability to absorb short-wavelength ultraviolet light that does not contribute to color display, while still ensuring transparency (high transmittance) as a protective film.

フォトリソグラフィーで適正な保護膜パターンを形成することが可能な感光性樹脂組成物であり、当該の保護膜パターンが、透明性、耐薬品性、密着性、硬度等の特性を十分に保持した上で、電気的信頼性に影響を及ぼす発ガス性が十分に低減されたものにできることが望まれている。また、RGB画素を形成するカラーレジスト、遮光膜を形成するブラックレジスト等においても、必要な諸特性に加えて、低発ガス性に優れる硬化膜が望まれるケースが出てきている。 It is desirable for the photosensitive resin composition to be capable of forming an appropriate protective film pattern by photolithography, and for the protective film pattern to be one that adequately retains properties such as transparency, chemical resistance, adhesion, and hardness, while also sufficiently reducing the gas generation that affects electrical reliability. Also, for color resists that form RGB pixels, black resists that form light-shielding films, and the like, there are cases in which a cured film that has excellent low gas generation properties in addition to the various required properties is desired.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、ガスの発生が少ない保護膜、遮光膜を含む着色膜等に適用できる感光性樹脂組成物、これを硬化してなる硬化膜、および当該硬化膜を有する表示装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in consideration of these points, and aims to provide a photosensitive resin composition that can be used for protective films that generate little gas, colored films including light-shielding films, etc., a cured film obtained by curing the composition, and a display device having the cured film.

本発明者らは、上記遮光膜用の感光性樹脂組成物における課題を解決すべく検討を行った結果、特定の着色材が目的の遮光膜用の感光性樹脂組成物の遮光成分として好適であることを見出し、本発明を完成させた。 As a result of investigations conducted by the inventors to solve the problems with the photosensitive resin composition for the light-shielding film, they discovered that a specific colorant is suitable as a light-shielding component for the photosensitive resin composition for the light-shielding film, and thus completed the present invention.

本発明の感光性樹脂組成物は、下記(A)~(D)成分、(A)一般式(1)の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂と、(B)少なくとも3個のエチレン性不飽和結合を有する光重合性モノマーと、(C)光重合開始剤と、(D)溶剤と、を必須成分として含む。 The photosensitive resin composition of the present invention contains the following components (A) to (D) as essential components: (A) an alkali-soluble resin containing a polymerizable unsaturated group represented by general formula (1), (B) a photopolymerizable monomer having at least three ethylenically unsaturated bonds, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a solvent.

Figure 0007568413000001
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(式(1)中、Arは、それぞれ独立して、炭素数6~14の芳香族炭化水素基であり、結合している水素原子の一部分は炭素数1~10のアルキル基、炭素数6~10のアリール基またはアリールアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基またはシクロアルキルアルキル基、炭素数1~5のアルコキシ基、またはハロゲン基で置換されていてもよい。Rは、それぞれ独立して、炭素数2~4のアルキレン基であり、lは、それぞれ独立して、0~3の数である。Gは、それぞれ独立して、一般式(2)または一般式(3)で表される置換基であり、Yは4価のカルボン酸残基である。Zは、それぞれ独立して、水素原子または一般式(4)で表される置換基であり、1個以上は一般式(4)で表される置換基である。nは平均値が1~20の数である。) (In formula (1), Ar's are each independently an aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms, and a portion of the bonded hydrogen atoms may be substituted with an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group or arylalkyl group having 6 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group or cycloalkylalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen group. Each R 1 is independently an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, and each l is independently a number from 0 to 3. Each G is independently a substituent represented by general formula (2) or general formula (3), and Y is a tetravalent carboxylic acid residue. Each Z is independently a hydrogen atom or a substituent represented by general formula (4), and at least one Z is a substituent represented by general formula (4). n is a number having an average value of 1 to 20.)

Figure 0007568413000002
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Figure 0007568413000003
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(式(2)、(3)中、Rは水素原子またはメチル基であり、Rは炭素数2~10の2価のアルキレン基またはアルキルアリーレン基であり、Rは炭素数2~20の2価の飽和または不飽和の炭化水素基であり、pは0~10の数である。) (In formulas (2) and (3), R2 is a hydrogen atom or a methyl group, R3 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 10 carbon atoms, R4 is a divalent saturated or unsaturated hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms, and p is a number from 0 to 10.)

Figure 0007568413000004
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(式(4)中、Wは2価または3価のカルボン酸残基であり、mは1または2である。) (In formula (4), W is a divalent or trivalent carboxylic acid residue, and m is 1 or 2.)

本発明の硬化膜は、上記感光性樹脂組成物を硬化してなる。 The cured film of the present invention is formed by curing the above-mentioned photosensitive resin composition.

本発明の表示装置は、上記硬化膜を有する。 The display device of the present invention has the above-mentioned cured film.

本発明によれば、ガスの発生が少ない保護膜、遮光膜を含む着色膜等に適用できる感光性樹脂組成物、これを硬化してなる硬化膜、および当該硬化膜を有する表示装置を提供することができる。 The present invention provides a photosensitive resin composition that can be used for protective films that generate little gas, colored films including light-shielding films, etc., a cured film obtained by curing the composition, and a display device having the cured film.

以下、本発明の実施形態を説明するが、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本発明において、各成分の含有量について、小数第一位が0であるときは、小数点以下の表記を省略することがある。 The following describes an embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to the following embodiment. Note that in the present invention, when the first decimal place of the content of each component is 0, the decimal point may be omitted.

本発明の一般式(1)で表される(A)成分の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物(a-1)と、(メタ)アクリル酸誘導体との反応物に対して、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)、およびテトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)を反応させることにより得られる。なお、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸およびメタクリル酸の総称であり、これらの一方または両方を意味する。 The polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of component (A) represented by general formula (1) of the present invention is obtained by reacting a reaction product of an epoxy compound (a-1) having two glycidyl ether groups and a (meth)acrylic acid derivative with a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or an acid monoanhydride thereof (b), and a tetracarboxylic acid or an acid dianhydride thereof (c). Note that "(meth)acrylic acid" is a general term for acrylic acid and methacrylic acid, and means either or both of these.

また、上記重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、原料となるエポキシ化合物として、1分子内にいくつかのオキシアルキレン基を含んでもよい、一般式(1)中のArが炭素数6~14の芳香族炭化水素基である化合物を使用することを特徴とする。 The above-mentioned polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin is characterized in that the epoxy compound used as the raw material is a compound in which Ar in the general formula (1) is an aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms, and may contain several oxyalkylene groups in one molecule.

上記炭素数6~14の芳香族炭化水素基の好ましい例には、2価のナフチル基、および水素原子の一部がアルキル基等で置換されていてもよいフェニレン基が含まれる。ここで、本発明の(A)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂は、一般式(1)中のフルオレン基に結合する2つのArがいずれもナフチル基である(ビスナフトールフルオレン骨格を有する)か、またはいずれもフェニレン基である(ビスフェノールフルオレン骨格を有する)ことが好ましく、上記フルオレン基に結合する2つのArがいずれもナフチル基であることがより好ましい。上記フルオレン基に結合する2つのArがいずれもナフチル基である(A)重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂を硬化してなる硬化膜(塗膜)は、加熱した際に発生するガスの量が少ないからである。 Preferred examples of the aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms include a divalent naphthyl group and a phenylene group in which some of the hydrogen atoms may be substituted with an alkyl group or the like. Here, in the (A) polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of the present invention, it is preferable that both of the two Ars bonded to the fluorene group in the general formula (1) are naphthyl groups (having a bisnaphtholfluorene skeleton) or both are phenylene groups (having a bisphenolfluorene skeleton), and it is more preferable that both of the Ars bonded to the fluorene group are naphthyl groups. This is because the cured film (coating film) obtained by curing the (A) polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin in which both of the Ars bonded to the fluorene group are naphthyl groups generates a small amount of gas when heated.

Figure 0007568413000005
Figure 0007568413000005

(式(1)中、Arは、それぞれ独立して、炭素数6~14の芳香族炭化水素基であり、結合している水素原子の一部分は炭素数1~10のアルキル基、炭素数6~10のアリール基またはアリールアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基またはシクロアルキルアルキル基、炭素数1~5のアルコキシ基、またはハロゲン基で置換されていてもよい。Rは、それぞれ独立して、炭素数2~4のアルキレン基であり、lは、それぞれ独立して、0~3の数であり、1分子中におけるlの平均値も0~3の数であり、組成物中におけるlの平均値も0~3の数である。Gは、それぞれ独立して、一般式(2)または一般式(3)で表される置換基であり、Yは4価のカルボン酸残基である。Zは、それぞれ独立して、水素原子または一般式(4)で表される置換基であり、1個以上は一般式(4)で表される置換基である。nは平均値が1~20の数である。) (In formula (1), Ar is each independently an aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms, and a portion of the bonded hydrogen atom may be substituted with an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group or arylalkyl group having 6 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group or cycloalkylalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen group. Each R 1 is each independently an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, each l is independently a number from 0 to 3, the average value of l in one molecule is also a number from 0 to 3, and the average value of l in the composition is also a number from 0 to 3. Each G is independently a substituent represented by general formula (2) or general formula (3), and Y is a tetravalent carboxylic acid residue. Each Z is independently a hydrogen atom or a substituent represented by general formula (4), and at least one Z is a substituent represented by general formula (4). n is a number having an average value of 1 to 20.)

Figure 0007568413000006
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Figure 0007568413000007
Figure 0007568413000007

(式(2)、(3)中、Rは水素原子またはメチル基であり、Rは炭素数2~10の2価のアルキレン基またはアルキルアリーレン基であり、Rは炭素数2~20の2価の飽和または不飽和の炭化水素基であり、pは0~10である。) (In formulas (2) and (3), R2 is a hydrogen atom or a methyl group, R3 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 10 carbon atoms, R4 is a divalent saturated or unsaturated hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms, and p is 0 to 10.)

Figure 0007568413000008
Figure 0007568413000008

(式(4)中、Wは2価または3価のカルボン酸残基であり、mは1または2である。) (In formula (4), W is a divalent or trivalent carboxylic acid residue, and m is 1 or 2.)

一般式(1)で表される、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の製造方法について詳細に説明する。 The method for producing the alkali-soluble resin containing a polymerizable unsaturated group represented by general formula (1) is described in detail below.

先ず、一般式(5)で表される、1分子内にいくつかのオキシアルキレン基を有してもよい、ビスナフトールフルオレン骨格またはビスフェノールフルオレン骨格を有するエポキシ化合物(a-1)(以下、単に「エポキシ化合物(a-1)」ともいう)に、一般式(6)または一般式(7)で表される(メタ)アクリル酸誘導体のいずれか一方もしくは両方を反応させて、エポキシ(メタ)アクリレートを得る。 First, an epoxy compound (a-1) (hereinafter simply referred to as "epoxy compound (a-1)") having a bisnaphtholfluorene skeleton or a bisphenolfluorene skeleton, which may have several oxyalkylene groups in one molecule and is represented by general formula (5), is reacted with either or both of a (meth)acrylic acid derivative represented by general formula (6) or general formula (7) to obtain an epoxy (meth)acrylate.

Figure 0007568413000009
Figure 0007568413000009

(式(5)中、Arは、それぞれ独立して、炭素数6~14の芳香族炭化水素基であり、結合している水素原子の一部分は炭素数1~10のアルキル基、炭素数6~10のアリール基またはアリールアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基またはシクロアルキルアルキル基、炭素数1~5のアルコキシ基、またはハロゲン基で置換されていてもよい。Rは、それぞれ独立して、炭素数2~4のアルキレン基であり、lは、それぞれ独立して、0~3の数である。) (In formula (5), each Ar is independently an aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms, and a portion of the bonded hydrogen atoms may be substituted with an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group or arylalkyl group having 6 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group or cycloalkylalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen group. Each R 1 is independently an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, and each 1 is independently a number from 0 to 3.)

Figure 0007568413000010
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Figure 0007568413000011
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(式(6)、(7)中、Rは水素原子またはメチル基であり、Rは炭素数2~10の2価のアルキレン基またはアルキルアリーレン基であり、Rは炭素数2~20の2価の飽和または不飽和の炭化水素基であり、pは0~10の数である。) (In formulas (6) and (7), R2 is a hydrogen atom or a methyl group, R3 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 10 carbon atoms, R4 is a divalent saturated or unsaturated hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms, and p is a number from 0 to 10.)

上記エポキシ化合物(a-1)と上記(メタ)アクリル酸誘導体との反応は、公知の方法を使用することができる。たとえば、特開平4-355450号公報には、2つのエポキシ基を有するエポキシ化合物1モルに対し、約2モルの(メタ)アクリル酸を使用することにより、重合性不飽和基を含有するジオール化合物が得られることが記載されている。本発明において、上記反応で得られる化合物は、式(8)で表される重合性不飽和基を含有するジオール(d)(以下、単に「一般式(8)で表されるジオール(d)」ともいう)である。 The reaction between the epoxy compound (a-1) and the (meth)acrylic acid derivative can be carried out by a known method. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-355450 describes that a diol compound containing a polymerizable unsaturated group can be obtained by using about 2 moles of (meth)acrylic acid per mole of an epoxy compound having two epoxy groups. In the present invention, the compound obtained by the above reaction is a diol (d) containing a polymerizable unsaturated group represented by formula (8) (hereinafter, also simply referred to as "diol (d) represented by general formula (8)").

Figure 0007568413000012
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(式(8)中、Arは、それぞれ独立して、炭素数6~14の芳香族炭化水素基であり、結合している水素原子の一部分は炭素数1~10のアルキル基、炭素数6~10のアリール基またはアリールアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基またはシクロアルキルアルキル基、炭素数1~5のアルコキシ基、またはハロゲン基で置換されていてもよい。Gは、それぞれ独立して、一般式(2)または一般式(3)で表される置換基であり、Rは、それぞれ独立して、炭素数2~4のアルキレン基であり、lは、それぞれ独立して、0~3の数である。) (In formula (8), each Ar is independently an aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms, and a portion of the bonded hydrogen atom may be substituted with an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group or arylalkyl group having 6 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group or cycloalkylalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen group. Each G is independently a substituent represented by general formula (2) or general formula (3), each R 1 is independently an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, and each 1 is independently a number from 0 to 3.)

Figure 0007568413000013
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Figure 0007568413000014
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(式(2)、(3)中、Rは水素原子またはメチル基であり、Rは炭素数2~10の2価のアルキレン基またはアルキルアリーレン基であり、Rは炭素数2~20の2価の飽和または不飽和の炭化水素基であり、pは0~10の数である。) (In formulas (2) and (3), R2 is a hydrogen atom or a methyl group, R3 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 10 carbon atoms, R4 is a divalent saturated or unsaturated hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms, and p is a number from 0 to 10.)

一般式(8)で表されるジオール(d)の合成、およびそれに続く多価カルボン酸またはその無水物を反応させて、一般式(1)で表される重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の製造においては、通常、溶媒中で必要に応じて触媒を用いて反応を行う。 In the synthesis of diol (d) represented by general formula (8) and the subsequent reaction with a polycarboxylic acid or anhydride thereof to produce an alkali-soluble resin containing a polymerizable unsaturated group represented by general formula (1), the reaction is usually carried out in a solvent using a catalyst as necessary.

溶媒の例には、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート等のセロソルブ系溶媒;ジグライム、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等の高沸点のエーテル系もしくはエステル系の溶媒;シクロヘキサノン、ジイソブチルケトン等のケトン系溶媒等が含まれる。なお、使用する溶媒、触媒等の反応条件に関しては特に制限されないが、例えば、水酸基を持たず、反応温度より高い沸点を有する溶媒を反応溶媒として用いることが好ましい。 Examples of solvents include cellosolve-based solvents such as ethyl cellosolve acetate and butyl cellosolve acetate; high-boiling ether or ester-based solvents such as diglyme, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, and propylene glycol monomethyl ether acetate; and ketone-based solvents such as cyclohexanone and diisobutyl ketone. There are no particular limitations on the reaction conditions, such as the solvent and catalyst used, but it is preferable to use, for example, a solvent that does not have a hydroxyl group and has a boiling point higher than the reaction temperature as the reaction solvent.

また、エポキシ基とカルボキシ基またはヒドロキシル基との反応においては触媒を使用することが好ましく、特開平9-325494号公報には、テトラエチルアンモニウムブロマイド、トリエチルベンジルアンモニウムクロライド等のアンモニウム塩、トリフェニルホスフィン、トリス(2,6-ジメトキシフェニル)ホスフィン等のホスフィン類等が記載されている。 In addition, it is preferable to use a catalyst in the reaction between an epoxy group and a carboxyl group or a hydroxyl group. JP-A-9-325494 describes ammonium salts such as tetraethylammonium bromide and triethylbenzylammonium chloride, and phosphines such as triphenylphosphine and tris(2,6-dimethoxyphenyl)phosphine.

次に、上記エポキシ化合物(a-1)と上記(メタ)アクリル酸誘導体との反応で得られる一般式(8)で表されるジオール(d)と、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはその酸無水物(b)と、テトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)とを反応させて、一般式(1)で表される1分子内にカルボキシ基および重合性不飽和基を有するアルカリ可溶性樹脂を得ることができる。 Next, the diol (d) represented by the general formula (8) obtained by the reaction of the epoxy compound (a-1) with the (meth)acrylic acid derivative is reacted with a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or its acid anhydride (b) and a tetracarboxylic acid or its acid dianhydride (c) to obtain an alkali-soluble resin having a carboxy group and a polymerizable unsaturated group in one molecule represented by the general formula (1).

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(式(1)中、Arは、それぞれ独立して、炭素数6~14の芳香族炭化水素基であり、結合している水素原子の一部分は炭素数1~10のアルキル基、炭素数6~10のアリール基またはアリールアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基またはシクロアルキルアルキル基、炭素数1~5のアルコキシ基、またはハロゲン基で置換されていてもよい。Rは、それぞれ独立して、炭素数2~4のアルキレン基であり、lは、それぞれ独立して、0~3の数である。Gは、それぞれ独立して、一般式(2)または一般式(3)で表される置換基であり、Yは4価のカルボン酸残基である。Zは、それぞれ独立して、水素原子または一般式(4)で表される置換基であり、1個以上は一般式(4)で表される置換基である。nは平均値が1~20の数である。) (In formula (1), Ar's are each independently an aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms, and a portion of the bonded hydrogen atoms may be substituted with an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group or arylalkyl group having 6 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group or cycloalkylalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen group. Each R 1 is independently an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, and each l is independently a number from 0 to 3. Each G is independently a substituent represented by general formula (2) or general formula (3), and Y is a tetravalent carboxylic acid residue. Each Z is independently a hydrogen atom or a substituent represented by general formula (4), and at least one Z is a substituent represented by general formula (4). n is a number having an average value of 1 to 20.)

Figure 0007568413000016
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(式(2)、(3)中、Rは水素原子またはメチル基であり、Rは炭素数2~10の2価のアルキレン基またはアルキルアリーレン基であり、Rは炭素数2~20の2価の飽和または不飽和の炭化水素基であり、pは0~10の数である。) (In formulas (2) and (3), R2 is a hydrogen atom or a methyl group, R3 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 10 carbon atoms, R4 is a divalent saturated or unsaturated hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms, and p is a number from 0 to 10.)

Figure 0007568413000018
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(式(4)中、Wは2価または3価のカルボン酸残基であり、mは1または2である。) (In formula (4), W is a divalent or trivalent carboxylic acid residue, and m is 1 or 2.)

次に、一般式(1)で表されるアルカリ可溶性樹脂を構成する一般式(6)および一般式(7)で表される(メタ)アクリル酸誘導体を由来とする一般式(2)または一般式(3)で表される置換基について詳細に説明する。 Next, the substituents represented by general formula (2) or (3) derived from the (meth)acrylic acid derivatives represented by general formula (6) and general formula (7) constituting the alkali-soluble resin represented by general formula (1) will be described in detail.

一般式(2)、(3)、(6)および(7)は、重合性不飽和基と少なくとも1つ以上のエステル結合を有する。 General formulas (2), (3), (6) and (7) have a polymerizable unsaturated group and at least one ester bond.

Figure 0007568413000019
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Figure 0007568413000020
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Figure 0007568413000021
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Figure 0007568413000022
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一般式(2)、(3)、(6)および(7)に示される、Rは水素原子またはメチル基である。 In the general formulae (2), (3), (6) and (7), R2 is a hydrogen atom or a methyl group.

また、一般式(2)、(3)、(6)および(7)に示される、Rは炭素数2~10の2価のアルキレンまたはアルキルアリーレン基である。 In addition, in the general formulae (2), (3), (6) and (7), R 3 is a divalent alkylene or alkylarylene group having 2 to 10 carbon atoms.

上記アルキレン基は、直鎖または分岐のいずれでもよく、エチレン、エチリデン、ビニレン、ビニリデン、プロピレン、トリメチレン、プロペニレン、イソプロピリデン、テトラメチレン基などである。 The alkylene group may be linear or branched, and may be, for example, an ethylene, ethylidene, vinylene, vinylidene, propylene, trimethylene, propenylene, isopropylidene, or tetramethylene group.

また、上記アルキルアリーレン基は、炭素数の範囲内であれば無置換アリーレン基でもよく、例えば、o,m,p-フェニレン、トルイレン、エチルフェニレン、n-プロピルフェニレン、イソプロピルフェニレン、直鎖または分岐したブチルフェニレン、ペンチルフェニレン基などである。 The alkylarylene group may be an unsubstituted arylene group within the range of carbon number, such as o-, m-, or p-phenylene, toluylene, ethylphenylene, n-propylphenylene, isopropylphenylene, linear or branched butylphenylene, or pentylphenylene.

一般式(2)、(3)、(6)および(7)に示される、Rは炭素数2~20の飽和または不飽和の脂肪族または芳香族炭化水素基である。 In the general formulas (2), (3), (6) and (7), R 4 is a saturated or unsaturated aliphatic or aromatic hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms.

上記飽和および不飽和の脂肪族炭化水素基は、直鎖または分岐のいずれでもよく、エチレン、エチリデン、ビニレン、ビニリデン、プロピレン、トリメチレン、プロペニレン、イソプロピリデン、テトラメチレン基などである。 The above-mentioned saturated and unsaturated aliphatic hydrocarbon groups may be either linear or branched, and include ethylene, ethylidene, vinylene, vinylidene, propylene, trimethylene, propenylene, isopropylidene, and tetramethylene groups.

また、上記芳香族炭化水素基は、炭素数の範囲内であれば無置換体でもよく、例えば、o,m,p-フェニレン、トルイレン、エチルフェニレン、n-プロピルフェニレン、イソプロピルフェニレン、直鎖または分岐したブチルフェニレン、ペンチルフェニレン基などであり、炭素数の範囲を超えない限り2~4個の置換基で置換されていてもよい。また、上記脂肪族炭化水素基は不飽和結合、エーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。 The aromatic hydrocarbon group may be unsubstituted within the range of the carbon number, for example, o-, m-, or p-phenylene, toluylene, ethylphenylene, n-propylphenylene, isopropylphenylene, linear or branched butylphenylene, or pentylphenylene, and may be substituted with 2 to 4 substituents as long as the range of the carbon number is not exceeded. The aliphatic hydrocarbon group may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, or an ester bond.

また、pは、一般式(1)で表されるアルカリ可溶性樹脂を合成した際には、それぞれ独立して0~10の数であるが、樹脂においてpの平均値が0~5の数であることが好ましく、pの平均値が0~2の数であることがより好ましい。pの平均値が上記範囲である場合には、アルキレンオキサイドという柔軟構造の分布が広範囲になることを抑制できるので、樹脂性能を低下させることなく、硬化膜として十分な硬化性を付与することができる。 When the alkali-soluble resin represented by general formula (1) is synthesized, each p is independently a number from 0 to 10, but the average value of p in the resin is preferably a number from 0 to 5, and more preferably a number from 0 to 2. When the average value of p is within the above range, the distribution of the flexible structure, alkylene oxide, can be prevented from becoming wide, and sufficient curability can be imparted to the cured film without reducing the resin performance.

一般式(1)で表されるアルカリ可溶性樹脂を合成するために使用される酸成分は、一般式(8)で表されるジオール(d)分子中の水酸基と反応し得る多価の酸成分であり、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)とテトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)とを併用することが必要である。上記酸成分のカルボン酸残基は、飽和炭化水素基または不飽和炭化水素基のいずれでもよい。また、これらのカルボン酸残基には-O-、-S-、カルボニル基等のヘテロ元素を含む結合を含んでいてもよい。 The acid component used to synthesize the alkali-soluble resin represented by general formula (1) is a polyvalent acid component capable of reacting with the hydroxyl group in the diol (d) molecule represented by general formula (8), and it is necessary to use a dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or an acid monoanhydride thereof (b) in combination with a tetracarboxylic acid or an acid dianhydride thereof (c). The carboxylic acid residue of the acid component may be either a saturated or unsaturated hydrocarbon group. In addition, these carboxylic acid residues may contain bonds containing heteroatoms such as -O-, -S-, and carbonyl groups.

上記ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)の例には、鎖式炭化水素ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸、脂環式炭化水素ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸、芳香族炭化水素ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸、またはそれらの酸一無水物等が含まれる。 Examples of the dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydrides (b) include open-chain hydrocarbon dicarboxylic acids or tricarboxylic acids, alicyclic hydrocarbon dicarboxylic acids or tricarboxylic acids, aromatic hydrocarbon dicarboxylic acids or tricarboxylic acids, or their monoanhydrides.

上記鎖式炭化水素ジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物の例には、コハク酸、アセチルコハク酸、マレイン酸、アジピン酸、イタコン酸、アゼライン酸、シトラリンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、オキソグルタル酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、ジグリコール酸等の酸一無水物、および任意の置換基が導入されたジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物等が含まれる。 Examples of the acid monoanhydrides of the above-mentioned chain hydrocarbon dicarboxylic or tricarboxylic acids include acid monoanhydrides of succinic acid, acetylsuccinic acid, maleic acid, adipic acid, itaconic acid, azelaic acid, citramalic acid, malonic acid, glutaric acid, citric acid, tartaric acid, oxoglutaric acid, pimelic acid, sebacic acid, suberic acid, diglycolic acid, etc., and acid monoanhydrides of dicarboxylic acids or tricarboxylic acids having any substituent introduced therein.

また、上記脂環式ジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物の例には、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ヘキサヒドロフタル酸、テトラヒドロフタル酸、ノルボルナンジカルボン酸等の酸一無水物、および任意の置換基が導入されたジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物等が含まれる。 Examples of the above-mentioned alicyclic dicarboxylic or tricarboxylic acid monoanhydrides include cyclobutanedicarboxylic acid, cyclopentanedicarboxylic acid, hexahydrophthalic acid, tetrahydrophthalic acid, norbornanedicarboxylic acid, and the like, as well as dicarboxylic or tricarboxylic acid monoanhydrides having any substituent introduced therein.

また、上記芳香族ジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物の例には、フタル酸、イソフタル酸、トリメリット酸等の酸一無水物、および任意の置換基が導入されたジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物が含まれる。 Examples of the above aromatic dicarboxylic or tricarboxylic acid monoanhydrides include phthalic acid, isophthalic acid, trimellitic acid, and the like, and dicarboxylic or tricarboxylic acid monoanhydrides having any substituent introduced therein.

上記ジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物の中では、コハク酸、イタコン酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロトリメリット酸、フタル酸、トリメリット酸が好ましく、コハク酸、イタコン酸、テトラヒドロフタル酸であることがより好ましい。 Among the above dicarboxylic or tricarboxylic acid monoanhydrides, succinic acid, itaconic acid, tetrahydrophthalic acid, hexahydrotrimellitic acid, phthalic acid, and trimellitic acid are preferred, and succinic acid, itaconic acid, and tetrahydrophthalic acid are more preferred.

また、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸においては、それらの酸一無水物を用いることが好ましい。上述したジカルボン酸またはトリカルボン酸の酸一無水物は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 In addition, in the case of dicarboxylic acids or tricarboxylic acids, it is preferable to use their acid monoanhydrides. The above-mentioned acid monoanhydrides of dicarboxylic acids or tricarboxylic acids may be used alone or in combination of two or more kinds.

また、上記テトラカルボン酸またはその酸二無水物(c)の例には、鎖式炭化水素テトラカルボン酸、脂環式炭化水素テトラカルボン酸、芳香族炭化水素テトラカルボン酸、またはそれらの酸二無水物等が含まれる。 Examples of the tetracarboxylic acid or its dianhydride (c) include chain hydrocarbon tetracarboxylic acid, alicyclic hydrocarbon tetracarboxylic acid, aromatic hydrocarbon tetracarboxylic acid, or their dianhydrides.

上記鎖式炭化水素テトラカルボン酸の例には、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、ヘキサンテトラカルボン酸、および脂環式炭化水素基、不飽和炭化水素基等の置換基が導入された鎖式炭化水素テトラカルボン酸等が含まれる。 Examples of the above chain hydrocarbon tetracarboxylic acids include butane tetracarboxylic acid, pentane tetracarboxylic acid, hexane tetracarboxylic acid, and chain hydrocarbon tetracarboxylic acids having substituents such as alicyclic hydrocarbon groups and unsaturated hydrocarbon groups.

また、上記脂環式テトラカルボン酸の例には、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロへプタンテトラカルボン酸、ノルボルナンテトラカルボン酸、および鎖式炭化水素基、不飽和炭化水素基等の置換基が導入された脂環式テトラカルボン酸等が含まれる。 Examples of the alicyclic tetracarboxylic acids include cyclobutane tetracarboxylic acid, cyclopentane tetracarboxylic acid, cyclohexane tetracarboxylic acid, cycloheptane tetracarboxylic acid, norbornane tetracarboxylic acid, and alicyclic tetracarboxylic acids having substituents such as chain hydrocarbon groups and unsaturated hydrocarbon groups.

また、芳香族テトラカルボン酸の例には、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸、ジフェニルスルホンテトラカルボン酸、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸、ナフタレン-2,3,6,7-テトラカルボン酸等が含まれる。 Examples of aromatic tetracarboxylic acids include pyromellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid, diphenyl ether tetracarboxylic acid, diphenyl sulfone tetracarboxylic acid, naphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic acid, and naphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid.

また、ビス無水トリメリット酸アリールエステル類を用いることもできる。ビス無水トリメリット酸アリールエステル類とは、例えば、国際公開第2010/074065号に記載された方法で製造される化合物群であり、構造的には芳香族ジオール(ナフタレンジオール、ビフェノール、ターフェニルジオール等)の2個のヒドロキシル基と2分子の無水トリメリット酸のカルボキシ基が反応してエステル結合した形の酸二無水物である。これらの化合物を以下、芳香族ジオールのビス無水トリメリット酸エステルと記載する。 Bis(trimellitic anhydride) aryl esters can also be used. Bis(trimellitic anhydride) aryl esters are a group of compounds produced, for example, by the method described in International Publication No. 2010/074065, and are structurally dianhydrides formed by reacting two hydroxyl groups of an aromatic diol (naphthalenediol, biphenol, terphenyldiol, etc.) with the carboxyl groups of two molecules of trimellitic anhydride to form an ester bond. Hereinafter, these compounds will be referred to as bis(trimellitic anhydride) esters of aromatic diols.

上記テトラカルボン酸またはその酸二無水物の中では、ビフェニルテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸であることが好ましく、ビフェニルテトラカルボン酸、ジフェニルエーテルテトラカルボン酸であることがより好ましい。また、上記テトラカルボン酸またはその酸二無水物においては、その酸二無水物を用いることが好ましい。さらに、ナフタレンジオールのビス無水トリメリット酸エステルも好ましく用いることができる。なお、上述したテトラカルボン酸またはその酸二無水物、および芳香族ジオールのビス無水トリメリット酸エステルは、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Among the above tetracarboxylic acids or their dianhydrides, biphenyltetracarboxylic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, and diphenylethertetracarboxylic acid are preferred, and biphenyltetracarboxylic acid and diphenylethertetracarboxylic acid are more preferred. In addition, among the above tetracarboxylic acids or their dianhydrides, it is preferred to use the dianhydrides. Furthermore, bis(trimellitic anhydride) esters of naphthalenediol can also be preferably used. The above tetracarboxylic acids or their dianhydrides, and bis(trimellitic anhydride) esters of aromatic diols may be used alone or in combination of two or more.

一般式(8)で表されるジオール(d)と酸成分(b)および(c)との反応については、特に限定されるものではなく、公知の方法を採用することができる。たとえば、特開平9-325494号公報には、反応温度が90~140℃でエポキシ(メタ)アクリレートとテトラカルボン酸二無水物を反応させる方法が記載されている。 The reaction between the diol (d) represented by the general formula (8) and the acid components (b) and (c) is not particularly limited, and any known method can be used. For example, JP-A-9-325494 describes a method in which an epoxy (meth)acrylate is reacted with a tetracarboxylic dianhydride at a reaction temperature of 90 to 140°C.

ここで、化合物の末端がカルボキシ基となるように、エポキシ(メタ)アクリレート(d)、ジカルボン酸もしくはトリカルボン酸またはそれらの酸一無水物(b)、テトラカルボン酸二無水物(c)とのモル比が(d):(b):(c)=1.0:0.01~1.0:0.2~1.0となるように反応させることが好ましい。 It is preferable to react the compound with the epoxy (meth)acrylate (d), dicarboxylic acid or tricarboxylic acid or their monoanhydrides (b), and tetracarboxylic dianhydride (c) in a molar ratio of (d):(b):(c) = 1.0:0.01-1.0:0.2-1.0 so that the terminals of the compound are carboxy groups.

たとえば、酸一無水物(b)、酸二無水物(c)を用いる場合には、重合性不飽和基を含有するジオール(d)に対する酸成分の量〔(b)/2+(c)〕のモル比[(d)/〔(b)/2+(c)〕]が0.5~1.0となるように反応させることが好ましい。ここで、モル比が1.0以下である場合には、未反応の重合性不飽和基を含有するジオールの含有量を増大させることがないのでアルカリ可溶性樹脂組成物の経時安定性を高めることができる。一方、モル比が0.5を超える場合には、式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂の末端が酸無水物とならないので、未反応酸二無水物の含有量が増大することを抑制できることから、アルカリ可溶性樹脂組成物の経時安定性を高めることができる。なお、一般式(2)で表されるアルカリ可溶性樹脂の酸価、分子量を調整する目的で、(b)、(c)および(d)の各成分のモル比は、上述の範囲で任意に変更することができる。 For example, when an acid monoanhydride (b) and an acid dianhydride (c) are used, it is preferable to react them so that the molar ratio [(d)/[(b)/2+(c)]] of the amount of the acid component to the diol (d) containing a polymerizable unsaturated group [(b)/2+(c)] is 0.5 to 1.0. Here, when the molar ratio is 1.0 or less, the content of the diol containing an unreacted polymerizable unsaturated group is not increased, so the stability over time of the alkali-soluble resin composition can be improved. On the other hand, when the molar ratio exceeds 0.5, the terminal of the alkali-soluble resin represented by formula (2) does not become an acid anhydride, so that the content of the unreacted acid dianhydride can be prevented from increasing, and the stability over time of the alkali-soluble resin composition can be improved. In addition, in order to adjust the acid value and molecular weight of the alkali-soluble resin represented by general formula (2), the molar ratios of each component (b), (c) and (d) can be arbitrarily changed within the above-mentioned range.

また、一般式(1)で表されるアルカリ可溶性樹脂の酸価の好ましい範囲は20~180mgKOH/gであり、40mgKOH/g以上120mgKOH/g以下であることが好ましい。酸価が20mgKOH/g以上である場合には、アルカリ現像時に残渣が残りにくくなり、180mgKOH/g以下である場合には、アルカリ現像液の浸透が早くなり過ぎないので、剥離現像を抑制することができる。なお、酸価は、電位差滴定装置「COM-1600」(平沼産業株式会社製)を用いて1/10N-KOH水溶液で滴定して求めることができる。 The acid value of the alkali-soluble resin represented by formula (1) is preferably in the range of 20 to 180 mgKOH/g, and more preferably 40 mgKOH/g or more and 120 mgKOH/g or less. When the acid value is 20 mgKOH/g or more, residues are less likely to remain during alkaline development, and when the acid value is 180 mgKOH/g or less, the penetration of the alkaline developer does not become too rapid, so peeling development can be suppressed. The acid value can be determined by titration with a 1/10N aqueous KOH solution using a potentiometric titrator "COM-1600" (manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.).

一般式(1)で表されるアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)測定(HLC-8220GPC、東ソー株式会社製)によるポリスチレン換算の重量平均分子量(Mw)は、通常1000~100000であり、2000~20000であることが好ましく、2000~6000であることがより好ましい。重量平均分子量が1000以上の場合には、アルカリ現像時のパターンの密着性の低下を抑制することができる。また、重量平均分子量(Mw)が100000未満である場合には、塗布に好適な感光性樹脂組成物の溶液粘度に調整しやすく、アルカリ現像に時間を要しすぎることがない。 The weight average molecular weight (Mw) of the alkali-soluble resin represented by general formula (1) in terms of polystyrene, as measured by gel permeation chromatography (GPC) (HLC-8220GPC, manufactured by Tosoh Corporation), is usually 1,000 to 100,000, preferably 2,000 to 20,000, and more preferably 2,000 to 6,000. When the weight average molecular weight is 1,000 or more, it is possible to suppress a decrease in the adhesion of the pattern during alkaline development. Furthermore, when the weight average molecular weight (Mw) is less than 100,000, it is easy to adjust the solution viscosity of the photosensitive resin composition to a level suitable for application, and alkaline development does not require too much time.

次に、本発明の一般式(1)で表されるアルカリ可溶性樹脂を用いた感光性樹脂組成物について説明する。 Next, we will explain the photosensitive resin composition using the alkali-soluble resin represented by general formula (1) of the present invention.

本発明の感光性樹脂組成物としては、(A)成分の含有量は、固形分の全質量に対して10~90質量%であることが好ましい。また、(B)成分の含有量は、(A)成分100質量部に対して5~200質量部であることが好ましく、(C)成分の含有量は、(A)成分と(B)成分の合計量100質量部に対して0.1~30質量部であることが好ましい。 In the photosensitive resin composition of the present invention, the content of component (A) is preferably 10 to 90% by mass based on the total mass of the solid content. The content of component (B) is preferably 5 to 200 parts by mass based on 100 parts by mass of component (A), and the content of component (C) is preferably 0.1 to 30 parts by mass based on 100 parts by mass of the total amount of components (A) and (B).

本発明の感光性樹脂組成物における、少なくとも3個のエチレン性不飽和結合を有する(B)光重合性モノマーの例には、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、またはジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリル酸エステル類;デンドリマー型多官能アクリレートなどが含まれる。これらの光重合性モノマーは、その1種類のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the photopolymerizable monomer (B) having at least three ethylenically unsaturated bonds in the photosensitive resin composition of the present invention include (meth)acrylic acid esters such as trimethylolpropane tri(meth)acrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, sorbitol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, sorbitol hexa(meth)acrylate, alkylene oxide-modified hexa(meth)acrylate of phosphazene, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate; dendrimer-type multifunctional acrylates. These photopolymerizable monomers may be used alone or in combination of two or more.

(B)成分の含有量は、(A)成分100質量部に対して5~200質量部であることが好ましく、(A)成分100質量部に対して10~80質量部であることがより好ましく、10~60質量部であることがさらに好ましい。(B)成分の含有量が(A)成分100質量部に対して5質量部以上である場合には、樹脂に占める光反応性官能基が十分にあるため、十分な架橋構造が形成される。また、樹脂成分における酸価が高くなりすぎないため、露光部におけるアルカリ現像液に対する溶解性を低くなるので、形成されたパターンが目標とする線幅より細くなることを抑制できるとともに、パターンの欠落を抑制できる。また、(B)成分の含有量が(A)成分100質量部に対して200質量部以下である場合には、十分な硬化性を有する硬化膜を得ることができるので、パターンエッジをシャープにすることができる。 The content of the (B) component is preferably 5 to 200 parts by weight per 100 parts by weight of the (A) component, more preferably 10 to 80 parts by weight per 100 parts by weight of the (A) component, and even more preferably 10 to 60 parts by weight. When the content of the (B) component is 5 parts by weight or more per 100 parts by weight of the (A) component, the resin contains a sufficient number of photoreactive functional groups, so that a sufficient crosslinked structure is formed. In addition, the acid value of the resin component does not become too high, so that the solubility in an alkaline developer in the exposed area is reduced, so that the formed pattern is prevented from becoming thinner than the target line width, and pattern loss can be suppressed. In addition, when the content of the (B) component is 200 parts by weight or less per 100 parts by weight of the (A) component, a cured film having sufficient curability can be obtained, so that the pattern edges can be made sharp.

本発明の感光性樹脂組成物における(C)光重合開始剤の例には、アセトフェノン、2,2-ジエトキシアセトフェノン、p-ジメチルアセトフェノン、p-ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p-tert-ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類;ベンゾフェノン、2-クロロベンゾフェノン、p,p’-ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類;ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル類;2-(o-クロロフェニル)-4,5-フェニルビイミダゾール、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)ビイミダゾール、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルビイミダゾール、2、4,5-トリアリールビイミダゾール等のビイミダゾール系化合物類;2-トリクロロメチル-5-スチリル-1,3,4-オキサジアゾ-ル、2-トリクロロメチル-5-(p-シアノスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール、2-トリクロロメチル-5-(p-メトキシスチリル)-1,3,4-オキサジアゾール等のハロメチルジアゾール化合物類;2,4,6-トリス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-メチル-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-フェニル-4、6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-クロロフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシフェニル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシナフチル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(3,4,5-トリメトキシスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン、2-(4-メチルチオスチリル)-4,6-ビス(トリクロロメチル)-1,3,5-トリアジン等のハロメチル-s-トリアジン系化合物類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル]-,2-(O-ベンゾイルオキシム)、1-(4-フェニルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-ベンゾア-ト、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1,2-ジオン-2-オキシム-O-アセタート、1-(4-メチルスルファニルフェニル)ブタン-1-オンオキシム-O-アセタート等のO-アシルオキシム系化合物類;ベンジルジメチルケタール、チオキサンソン、2-クロロチオキサンソン、2,4-ジエチルチオキサンソン、2-メチルチオキサンソン、2-イソプロピルチオキサンソン等のイオウ化合物;2-エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類;アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキサイド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物;2-メルカプトベンゾイミダゾール、2-メルカプトベンゾオキサゾール、2-メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物;トリエタノールアミン、トリエチルアミン等の第3級アミンなどが含まれる。なお、これら光重合開始剤は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the photopolymerization initiator (C) in the photosensitive resin composition of the present invention include acetophenones such as acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, and p-tert-butylacetophenone; benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone, and p,p'-bisdimethylaminobenzophenone; benzoin ethers such as benzil, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether; 2-(o-chlorophenyl)-4,5-phenylbiimidazole, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-di(m-methoxyphenyl)biimidazole, and 2-(o-fluorophenyl)-4,5-diphenylbiimidazole. , 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylbiimidazole, 2,4,5-triarylbiimidazole and other biimidazole compounds; 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-cyanostyryl)-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5-(p-methoxystyryl)-1,3,4-oxadiazole and other halomethyldiazole compounds; 2,4,6-tris(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-methyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-chlorophenyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxyphenyl)-4,6 -Bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxynaphthyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(3,4,5-trimethoxystyryl)-4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine, 2-(4-methylthiostyryl)- Halomethyl-s-triazine compounds such as 4,6-bis(trichloromethyl)-1,3,5-triazine; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl]-, 2-(O-benzoyloxime), 1-(4-phenylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxime-O-benzoate, 1-(4-methylsulfanylphenyl)butane-1,2-dione-2-oxy O-acyloxime compounds such as 1-(4-methylsulfanylphenyl)butan-1-one oxime-O-acetate; sulfur compounds such as benzyl dimethyl ketal, thioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-methylthioxanthone, and 2-isopropylthioxanthone; anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, and 2,3-diphenylanthraquinone; organic peroxides such as azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, and cumene peroxide; thiol compounds such as 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, and 2-mercaptobenzothiazole; and tertiary amines such as triethanolamine and triethylamine. These photopolymerization initiators may be used alone or in combination of two or more.

特に、着色材を含む感光性樹脂組成物とする場合には、O-アシルオキシム系化合物類(ケトオキシムを含む)を用いることが好ましい。具体的化合物群としては、一般式(9)または一般式(10)で表されるO-アシルオキシム系光重合開始剤がある。それらの中でも、着色材を高顔料濃度で用いる場合および遮光膜パターンを形成する場合には、365nmにおけるモル吸光係数が10000L/mol・cm以上であるO-アシルオキシム系光重合開始剤を用いることが好ましい。なお、本発明でいう「光重合開始剤」とは、増感剤を含む意味で使用される。 In particular, when a photosensitive resin composition containing a colorant is to be prepared, it is preferable to use O-acyloxime compounds (including ketoximes). Specific compound groups include O-acyloxime photopolymerization initiators represented by general formula (9) or general formula (10). Among these, when a colorant is used at a high pigment concentration or when a light-shielding film pattern is to be formed, it is preferable to use an O-acyloxime photopolymerization initiator having a molar absorption coefficient at 365 nm of 10,000 L/mol cm or more. In the present invention, the term "photopolymerization initiator" is used to include sensitizers.

Figure 0007568413000023
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(式(9)中、R、Rは、それぞれ独立して、炭素数1~15のアルキル基、炭素数6~18のアリール基、炭素数7~20のアリールアルキル基または炭素数4~12の複素環基であり、Rは炭素数1~15のアルキル基、炭素数6~18のアリール基、炭素数7~20のアリールアルキル基である。ここで、アルキル基およびアリール基は炭素数1~10のアルキル基、炭素数1~10のアルコキシ基、炭素数1~10のアルカノイル基、ハロゲンで置換されていてもよく、アルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合を含んでいてもよい。また、アルキル基は直鎖、分岐、または環状のいずれのアルキル基であってもよい。) (In formula (9), R 5 and R 6 are each independently an alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms, or a heterocyclic group having 4 to 12 carbon atoms; and R 7 is an alkyl group having 1 to 15 carbon atoms, an aryl group having 6 to 18 carbon atoms, or an arylalkyl group having 7 to 20 carbon atoms. Here, the alkyl group and the aryl group may be substituted with an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms, an alkanoyl group having 1 to 10 carbon atoms, or a halogen, and the alkylene portion may contain an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, or an ester bond. In addition, the alkyl group may be any of a linear, branched, and cyclic alkyl group.)

Figure 0007568413000024
Figure 0007568413000024

(式(10)中、RおよびRは、それぞれ独立して、炭素数1~10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基であるか、炭素数4~10のシクロアルキル基、シクロアルキルアルキル基もしくはアルキルシクロアルキル基であるか、または炭素数1~6のアルキル基で置換されていてもよいフェニル基である。R10は、それぞれ独立して、炭素数2~10の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基またはアルケニル基であり、当該アルキル基またはアルケニル基中の-CH-基の一部が-O-基で置換されていてもよい。さらに、これらR~R10基中の水素原子の一部がハロゲン原子で置換されていてもよい。) (In formula (10), R 8 and R 9 each independently represent a linear or branched alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group, a cycloalkylalkyl group or an alkylcycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, or a phenyl group which may be substituted with an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms. R 10 each independently represent a linear or branched alkyl group or alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms, and some of the -CH 2 - groups in the alkyl group or alkenyl group may be substituted with -O- groups. Furthermore, some of the hydrogen atoms in these R 8 to R 10 groups may be substituted with halogen atoms.)

(C)成分の含有量は、(A)成分と(B)成分の合計量100質量部に対して0.1~30質量部であることが好ましく、1~25質量部であることがより好ましい。上記(C)成分の含有量が0.1質量部以上である場合には、適度な光重合の速度を有するので、感度の低下を抑制できる。また、30質量部以下である場合には、マスクに対して忠実な線幅を再現できるとともにパターンエッジをシャープにすることができる。 The content of component (C) is preferably 0.1 to 30 parts by mass, and more preferably 1 to 25 parts by mass, per 100 parts by mass of the total amount of components (A) and (B). When the content of component (C) is 0.1 parts by mass or more, the photopolymerization speed is appropriate, and a decrease in sensitivity can be suppressed. When the content is 30 parts by mass or less, the line width can be faithfully reproduced on the mask and the pattern edges can be sharpened.

(D)感光性樹脂組成物に含まれる溶剤の例には、メタノール、エタノール、n-プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、3-メトキシ-1-ブタノール、エチレングリコールモノブチルエーテル、3-ヒドロキシ-2-ブタノン、ジアセトンアルコール等のアルコール類;α-もしくはβ-テルピネオール等のテルペン類;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、N-メチル-2-ピロリドン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシ-3-ブチルアセテート、3-メトキシ-3-メチル-1-ブチルアセテート、セロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエステル類等が含まれる。これらを用いて溶解、混合させることにより、均一な溶液状の組成物とすることができる。これらの溶剤は、塗布性等の必要特性とするためにこれらを単独または2種以上を併用してもよい。溶剤の量は、目標とする粘度によって変化するが、感光性樹脂組成物溶液中60~90質量%であることが好ましい。 (D) Examples of solvents contained in the photosensitive resin composition include alcohols such as methanol, ethanol, n-propanol, isopropanol, ethylene glycol, propylene glycol, 3-methoxy-1-butanol, ethylene glycol monobutyl ether, 3-hydroxy-2-butanone, and diacetone alcohol; terpenes such as α- or β-terpineol; ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, and N-methyl-2-pyrrolidone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, ethyl cellosolve, carbitol, methyl carbitol, ethyl carbitol, butyl carbitol, diethylene glycol ethyl methyl ether, and propylene glycol monomethyl ether. Examples of the solvent include glycol ethers such as propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, and triethylene glycol monoethyl ether; and esters such as ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-3-butyl acetate, 3-methoxy-3-methyl-1-butyl acetate, cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, butyl cellosolve acetate, carbitol acetate, ethyl carbitol acetate, butyl carbitol acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, and propylene glycol monoethyl ether acetate. By dissolving and mixing using these, a homogeneous solution-like composition can be obtained. These solvents may be used alone or in combination of two or more to obtain the required properties such as coatability. The amount of solvent varies depending on the target viscosity, but it is preferably 60 to 90% by mass in the photosensitive resin composition solution.

上述の感光性樹脂組成物は、(E)成分として着色材を含有する。上記(E)成分は、遮光膜用レジストとして使用する場合には、黒色有機顔料、混色有機顔料および遮光材からなる群から選択される1種以上の遮光成分であり、黒色有機顔料および/または混色有機顔料であることが好ましい。また、上記黒色有機顔料および/または混色有機顔料の平均二次粒径は20~500nmであることが好ましい。上記黒色有機顔料および混色有機顔料の平均二次粒径は、動的光散乱法の粒度分布計「粒径アナライザーFPAR-1000」(大塚電子株式会社製)を用い、キュムラント法で測定することができる。 The photosensitive resin composition described above contains a colorant as component (E). When used as a resist for a light-shielding film, component (E) is one or more light-shielding components selected from the group consisting of black organic pigments, mixed-color organic pigments, and light-shielding materials, and is preferably a black organic pigment and/or a mixed-color organic pigment. The average secondary particle size of the black organic pigment and/or the mixed-color organic pigment is preferably 20 to 500 nm. The average secondary particle size of the black organic pigment and the mixed-color organic pigment can be measured by the cumulant method using a dynamic light scattering particle size distribution meter "Particle Size Analyzer FPAR-1000" (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.).

(E)成分である着色材の含有量は、所望の遮光度によって任意に決めることができるが、感光性樹脂組成物中の固形分に対して1~80質量%であることが好ましく、有機顔料またはカーボン系無機顔料を用いる場合には20~60質量%であることがより好ましい。 The content of the colorant, which is component (E), can be determined arbitrarily depending on the desired degree of light blocking, but is preferably 1 to 80% by mass relative to the solid content in the photosensitive resin composition, and more preferably 20 to 60% by mass when an organic pigment or a carbon-based inorganic pigment is used.

(E)成分である黒色有機顔料の例には、ペリレンブラック、アニリンブラック、シアニンブラック、ラクタムブラックなどが含まれる。 Examples of black organic pigments, component (E), include perylene black, aniline black, cyanine black, lactam black, etc.

(E)成分である混色有機顔料の例には、アゾ顔料、縮合アゾ顔料、アゾメチン顔料、フタロシアニン顔料、キナクリドン顔料、イソインドリノン顔料、イソインドリン顔料、ジオキサジン顔料、スレン顔料、ペリレン顔料、ペリノン顔料、キノフタロン顔料、ジケトピロロピロール顔料、チオインジゴ顔料などの有機顔料から選択される少なくとも2色が混合して擬似黒色化されたものが含まれる。 Examples of mixed-color organic pigments, which are component (E), include pseudo-black pigments obtained by mixing at least two colors selected from organic pigments such as azo pigments, condensed azo pigments, azomethine pigments, phthalocyanine pigments, quinacridone pigments, isoindolinone pigments, isoindoline pigments, dioxazine pigments, threne pigments, perylene pigments, perinone pigments, quinophthalone pigments, diketopyrrolopyrrole pigments, and thioindigo pigments.

(E)成分である遮光材の例には、カーボンブラック、酸化クロム、酸化鉄、チタンブラックなどが含まれる。これらの(E)成分は、目的とする感光性樹脂組成物の機能に応じて、適宜表面処理されたものを用いることもできる。また、これらの(E)成分は、その1種のみを単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。 Examples of the light-shielding material (E) include carbon black, chromium oxide, iron oxide, and titanium black. These (E) components may be surface-treated as appropriate depending on the intended function of the photosensitive resin composition. These (E) components may be used alone or in combination of two or more.

上記(E)成分として使用可能な有機顔料の例には、カラーインデックス名で以下のナンバーのものが含まれるが、これらに限定されるわけではない。
ピグメント・レッド2、3、4、5、9、12、14、22、23、31、38、112、122、144、146、147、149、166、168、170、175、176、177、178、179、184、185、187、188、202、207、208、209、210、213、214、220、221、242、247、253、254、255、256、257、262、264、266、272、279等
ピグメント・オレンジ5、13、16、34、36、38、43、61、62、64、67、68、71、72、73、74、81等
ピグメント・イエロー1、3、12、13、14、16、17、55、73、74、81、83、93、95、97、109、110、111、117、120、126、127、128、129、130、136、138、139、150、151、153、154、155、173、174、175、176、180、181、183、185、191、194、199、213、214等
ピグメント・グリーン7、36、58等
ピグメント・ブルー15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、60、80等
ピグメント・バイオレット19、23、37等
Examples of organic pigments that can be used as component (E) include, but are not limited to, those having the following Color Index numbers:
Pigment Red 2, 3, 4, 5, 9, 12, 14, 22, 23, 31, 38, 112, 122, 144, 146, 147, 149, 166, 168, 170, 175, 176, 177, 178, 179, 184, 185, 187, 188, 202, 207, 208, 209, 210, 213, 214, 220, 221, 242, 247, 253, 254, 255, 256, 257, 262, 264, 266, 272, 279, etc. Pigment Orange 5, 13, 16, 34, 36, 38, 43, 61, 62, 64, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 81, etc. Pigment Yellow 1, 3, 12, 13, 14, 16, 17, 55, 73, 74, 81, 83, 93, 95, 97, 109, 110, 111, 117, 120, 126, 127, 128, 129, 130, 136, 138, 139, 150, 151, 153, 154, 155, 173, 174, 175, 176, 180, 181, 183, 185, 191, 194, 199, 213, 214, etc. Pigment Green 7, 36, 58, etc. Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 60, 80, etc. Pigment Violet 19, 23, 37, etc.

また、(E)成分である着色材は、予め(D)溶剤に(F)分散剤とともに分散させて着色材分散体としたうえで、感光性樹脂組成物に配合することが好ましい。ここで、分散させるための溶剤は、(D)成分の一部になるため、上述した(D)成分に含まれるものであれば使用することができる。上述した(D)成分の中では、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3-メトキシブチルアセテート、3-メトキシ-3-メチル-1-ブチルアセテート等であることが好ましい。 It is also preferable that the colorant (E) is dispersed in advance in the (D) solvent together with the (F) dispersant to form a colorant dispersion, which is then blended into the photosensitive resin composition. The solvent used for dispersion becomes part of the (D) component, and can be any solvent that is included in the above-mentioned (D) component. Among the above-mentioned (D) components, propylene glycol monomethyl ether acetate, 3-methoxybutyl acetate, 3-methoxy-3-methyl-1-butyl acetate, etc. are preferable.

(E)成分の含有量は、本発明の感光性樹脂組成物の全固形分に対して1~80質量%であることが好ましく、30~60質量%であることがより好ましい。なお、上記固形分とは、感光性樹脂組成物のうち(D)成分を除く成分を意味する。上記固形分には、光硬化後に固形分となる(B)成分も含まれる。(E)成分が1質量%以上である場合には、所望する遮光性に設定しやすくなる。また、80質量%以下である場合には、所望する現像特性および膜形成能が得られる。 The content of component (E) is preferably 1 to 80% by mass, and more preferably 30 to 60% by mass, based on the total solid content of the photosensitive resin composition of the present invention. The above solid content refers to the components of the photosensitive resin composition excluding component (D). The above solid content also includes component (B), which becomes a solid content after photocuring. When component (E) is 1% by mass or more, it is easy to set the desired light blocking properties. When it is 80% by mass or less, the desired development characteristics and film forming ability are obtained.

上記(F)分散剤は、着色材(顔料)の分散に用いられている公知の化合物(分散剤、分散湿潤剤、分散促進剤等の名称で市販されている化合物等)等を特に制限なく使用することができる。 The dispersant (F) can be any known compound used to disperse colorants (pigments) without any particular restrictions (compounds commercially available under the names of dispersants, dispersion wetting agents, dispersion promoters, etc.).

(F)成分である分散剤の例には、カチオン性高分子系分散剤、アニオン性高分子系分散剤、ノニオン性高分子系分散剤、顔料誘導体型分散剤(分散助剤)が含まれる。特に、分散剤は、着色材への吸着点としてイミダゾリル基、ピロリル基、ピリジル基、一級、二級または三級のアミノ基等のカチオン性の官能基を有し、アミン価が1~100mgKOH/g、数平均分子量が1千~10万の範囲にあるカチオン性高分子系分散剤であることが好ましい。この分散剤の配合量は、着色材に対して1~35質量%であることが好ましく、2~25質量%であることがより好ましい。なお、樹脂類のような高粘度物質は、一般に分散を安定させる作用を有するが、分散促進能を有しないものは分散剤として扱わない。しかし、分散を安定させる目的で使用することを制限するものではない。 Examples of the dispersant that is the component (F) include cationic polymer dispersants, anionic polymer dispersants, nonionic polymer dispersants, and pigment derivative dispersants (dispersion aids). In particular, the dispersant is preferably a cationic polymer dispersant that has a cationic functional group such as an imidazolyl group, a pyrrolyl group, a pyridyl group, or a primary, secondary, or tertiary amino group as an adsorption point to the colorant, has an amine value of 1 to 100 mgKOH/g, and has a number average molecular weight in the range of 1,000 to 100,000. The blending amount of this dispersant is preferably 1 to 35% by mass, more preferably 2 to 25% by mass, relative to the colorant. Note that, although high-viscosity substances such as resins generally have the effect of stabilizing dispersion, those that do not have the ability to promote dispersion are not treated as dispersants. However, there is no restriction on using them for the purpose of stabilizing dispersion.

また、着色材分散体を調製する際に、上記(F)分散剤に加えて(A)成分の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の一部を共分散させることにより、露光感度を高感度に維持しやすくし、現像時の密着性が良好で残渣の問題も発生しにくい感光性樹脂組成物とすることができる。(A)成分の含有量は、着色材分散体中2~20質量%であることが好ましく、5~15質量%であることがより好ましい。(A)成分が2質量%以上である場合には、感度向上、密着性向上、残渣低減といった共分散させた効果が得られる。また、20質量%以下である場合には、均一に(E)成分が分散した硬化膜(塗膜)を得ることができる。 When preparing the colorant dispersion, by co-dispersing a part of the polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin of component (A) in addition to the dispersant (F), it is possible to obtain a photosensitive resin composition that is easy to maintain high exposure sensitivity, has good adhesion during development, and is less likely to cause residue problems. The content of component (A) in the colorant dispersion is preferably 2 to 20% by mass, and more preferably 5 to 15% by mass. When component (A) is 2% by mass or more, the effects of co-dispersion such as improved sensitivity, improved adhesion, and reduced residue can be obtained. When component (A) is 20% by mass or less, a cured film (coating film) in which component (E) is uniformly dispersed can be obtained.

上記着色材分散体は、(A)成分(着色材分散体を調製する際に(A)成分を共分散させた場合は、残りの(A)成分)、(B)成分、(C)成分、および残りの(E)成分と混合することで、遮光膜用の感光性樹脂組成物とすることができる。 The colorant dispersion can be mixed with component (A) (if component (A) is co-dispersed when preparing the colorant dispersion, the remaining component (A)), component (B), component (C), and the remaining component (E) to form a photosensitive resin composition for a light-shielding film.

なお、本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、光または熱によって重合または硬化するその他の樹脂成分を併用してもよい。その他の樹脂成分の例には、フェノールノボラック、クレゾールノボラック等のノボラック類から誘導されるノボラックエポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、および当該のエポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸および酸無水物を反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂((A)成分を除く)、(メタ)アクリル酸および/または(メタ)アクリル酸エステル類との共重合体、および当該共重合体中のカルボキシ基にエポキシ基含有(メタ)アクリレートを反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂等が含まれる。 The photosensitive resin composition of the present invention may be used in combination with other resin components that polymerize or harden by light or heat, if necessary. Examples of other resin components include novolac epoxy resins derived from novolacs such as phenol novolac and cresol novolac, epoxy resins such as bisphenol-type epoxy resins, and alkali-soluble resins (excluding component (A)) obtained by reacting the epoxy resins with (meth)acrylic acid and acid anhydrides, copolymers with (meth)acrylic acid and/or (meth)acrylic acid esters, and alkali-soluble resins obtained by reacting the carboxy groups in the copolymers with epoxy group-containing (meth)acrylates.

本発明の感光性樹脂組成物には、必要に応じて硬化剤、硬化促進剤、熱重合禁止剤および酸化防止剤、可塑剤、充填材、レベリング剤、消泡剤、界面活性剤、カップリング剤等の添加剤を配合することができる。 The photosensitive resin composition of the present invention can contain additives such as curing agents, curing accelerators, thermal polymerization inhibitors and antioxidants, plasticizers, fillers, leveling agents, defoamers, surfactants, and coupling agents, as necessary.

硬化剤の例には、エポキシ樹脂の硬化に寄与するアミン系化合物、多価カルボン酸系化合物、フェノール樹脂、アミノ樹脂、ジシアンジアミド、ルイス酸錯化合物等が含まれる。硬化促進剤の例には、エポキシ樹脂の硬化促進に寄与する三級アミン、四級アンモニウム塩、三級ホスフィン、四級ホスホニウム塩、ホウ酸エステル、ルイス酸、有機金属化合物、イミダゾール類等が含まれる。熱重合禁止剤および酸化防止剤の例には、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、tert-ブチルカテコール、フェノチアジン、ヒンダードフェノール系化合物等が含まれる。可塑剤の例には、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、リン酸トリクレジル等が含まれる。充填材の例には、ガラスファイバー、シリカ、マイカ、アルミナ等が含まれる。消泡剤やレベリング剤の例には、シリコーン系、フッ素系、アクリル系の化合物が含まれる。界面活性剤の例には、フッ素系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤などが含まれる。カップリング剤の例には、3-(グリシジルオキシ)プロピルトリメトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-イソシアナトプロピルトリエトキシシラン、3-ウレイドプロピルトリエトキシシラン等が含まれる。 Examples of curing agents include amine compounds, polyvalent carboxylic acid compounds, phenolic resins, amino resins, dicyandiamide, Lewis acid complex compounds, etc., which contribute to the curing of epoxy resins. Examples of curing accelerators include tertiary amines, quaternary ammonium salts, tertiary phosphines, quaternary phosphonium salts, boric acid esters, Lewis acids, organometallic compounds, imidazoles, etc., which contribute to the curing acceleration of epoxy resins. Examples of thermal polymerization inhibitors and antioxidants include hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butylcatechol, phenothiazine, hindered phenol compounds, etc. Examples of plasticizers include dibutyl phthalate, dioctyl phthalate, tricresyl phosphate, etc. Examples of fillers include glass fiber, silica, mica, alumina, etc. Examples of defoamers and leveling agents include silicone-based, fluorine-based, and acrylic compounds. Examples of surfactants include fluorine-based surfactants and silicone-based surfactants. Examples of coupling agents include 3-(glycidyloxy)propyltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, 3-isocyanatopropyltriethoxysilane, 3-ureidopropyltriethoxysilane, etc.

本発明の硬化膜(塗膜)は、本発明の感光性樹脂組成物を用いてフォトリソグラフィー法により形成することができる。上記方法は、先ず、感光性樹脂組成物溶液を基板表面に塗布し、溶媒を乾燥させた(プリベーク)後、塗膜の上にフォトマスクをあて、紫外線を照射して露光部を硬化させ、さらにアルカリ水溶液を用いて未露光部を溶出させる現像を行ってパターンを形成し、さらに後硬化としてポストベークを行う方法である。ここで、感光性樹脂組成物溶液を塗布する基板の例には、ガラス、透明フィルム(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン等)等が含まれる。 The cured film (coating) of the present invention can be formed by photolithography using the photosensitive resin composition of the present invention. In the above method, first, a solution of the photosensitive resin composition is applied to the surface of a substrate, the solvent is dried (prebaked), a photomask is placed on the coating, and the exposed areas are cured by irradiating with ultraviolet light. A pattern is formed by developing the unexposed areas using an alkaline aqueous solution, and then post-baking is performed as a post-curing step. Examples of substrates onto which the photosensitive resin composition solution is applied include glass and transparent films (e.g., polycarbonate, polyethylene terephthalate, polyethersulfone, etc.).

上記基板は、透明基板でもよいし、透明基板以外の基材でもよい。感光性樹脂組成物を塗布する透明基板の例には、ガラス基板のほか、透明フィルム(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン等)上にITOや金などの透明電極が蒸着あるいはパターニングされたものなどが含まれる。 The substrate may be a transparent substrate or a substrate other than a transparent substrate. Examples of transparent substrates onto which the photosensitive resin composition is applied include glass substrates and transparent films (e.g., polycarbonate, polyethylene terephthalate, polyethersulfone, etc.) on which transparent electrodes such as ITO or gold are vapor-deposited or patterned.

上記基板上に感光性樹脂組成物溶液を塗布する方法としては、公知の溶液浸漬法、スプレー法の他、ローラーコーター機、ランドコーター機、スリットコーター機やスピナー機を用いる方法等を用いることができる。上記方法によって、所望の厚さに塗布した後、溶剤を乾燥させる(プリベーク)ことにより、被膜が形成される。なお、プリベークはオーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。プリベークにおける加熱温度および加熱時間は使用する溶剤に応じて適宜選択され、例えば、60~110℃の温度で1~3分間行われる。 Methods for applying the photosensitive resin composition solution onto the substrate include the well-known solution immersion method, spray method, and methods using a roller coater, land coater, slit coater, or spinner. After applying the solution to the desired thickness using the above method, the solvent is dried (prebaked) to form a coating. Prebaking is performed by heating in an oven, hot plate, or the like. The heating temperature and heating time in prebaking are appropriately selected depending on the solvent used, and are performed, for example, at a temperature of 60 to 110°C for 1 to 3 minutes.

プリベーク後に行われる露光は、紫外線露光装置によって行なわれ、フォトマスクを介して露光することによりパターンに対応した部分のレジストのみを感光させる。露光装置およびその露光照射条件は適宜選択され、超高圧水銀灯、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、遠紫外線灯等の光源を用いて露光を行い、塗膜中の感光性樹脂組成物を光硬化させる。 The exposure performed after pre-baking is performed using an ultraviolet exposure device, and only the resist in the area corresponding to the pattern is exposed by exposing through a photomask. The exposure device and its exposure irradiation conditions are appropriately selected, and exposure is performed using a light source such as an ultra-high pressure mercury lamp, high pressure mercury lamp, metal halide lamp, or far ultraviolet lamp, to photocure the photosensitive resin composition in the coating film.

露光に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、放射線の波長の範囲は、250~450nmであることが好ましい。また、このアルカリ現像に適した現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、水酸化カリウム、ジエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等の水溶液を用いることができる。これらの現像液は、樹脂層の特性に合わせて適宜選択されうるが、必要に応じて界面活性剤を添加することも有効である。現像温度は、20~35℃であることが好ましく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗される。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。 Radiation used for exposure can be, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beams, X-rays, etc., but the wavelength range of the radiation is preferably 250 to 450 nm. In addition, as a developer suitable for this alkaline development, for example, an aqueous solution of sodium carbonate, potassium carbonate, potassium hydroxide, diethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, etc. can be used. These developers can be appropriately selected according to the characteristics of the resin layer, but it is also effective to add a surfactant as necessary. The development temperature is preferably 20 to 35°C, and fine images can be precisely formed using a commercially available developing machine, ultrasonic cleaner, etc. Note that after alkaline development, the film is usually washed with water. As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a puddle (liquid puddle) development method, etc. can be applied.

露光後のアルカリ現像は、露光されない部分の感光性樹脂組成物を除去する目的で行われ、この現像によって所望のパターンが形成される。このアルカリ現像に適した現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の炭酸塩を0.03~1重量%含有する弱アルカリ性水溶液を用いて23~27℃の温度で現像するのがよく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。 After exposure, alkaline development is carried out for the purpose of removing the photosensitive resin composition from the unexposed areas, and the desired pattern is formed by this development. Examples of developers suitable for this alkaline development include aqueous solutions of carbonates of alkali metals or alkaline earth metals, and aqueous solutions of hydroxides of alkali metals. In particular, it is preferable to use a weakly alkaline aqueous solution containing 0.03 to 1% by weight of carbonates such as sodium carbonate or potassium carbonate at a temperature of 23 to 27°C, and fine images can be precisely formed using a commercially available developing machine or ultrasonic cleaner.

このようにして現像した後、180~250℃で、20~100分間、熱処理(ポストベーク)が行われる。ただし、製膜する基板等の耐熱性が低い場合には、80~180℃で、30~100分間のポストベーク条件にできるように組成物の配合を設計することもできる。このポストベークは、パターニングされた塗膜と基板との密着性を高めるため等の目的で行われる。これはプリベークと同様に、オーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。本発明のパターニングされた硬化膜は、以上のフォトリソグラフィー法による各工程を経て形成される。 After development in this manner, a heat treatment (post-baking) is performed at 180-250°C for 20-100 minutes. However, if the heat resistance of the substrate on which the film is to be formed is low, the composition can be designed so that the post-baking conditions are 80-180°C for 30-100 minutes. This post-baking is performed for the purpose of increasing the adhesion between the patterned coating film and the substrate, etc., as in the pre-baking, by heating in an oven, hot plate, etc. The patterned cured film of the present invention is formed through each of the steps of the photolithography method described above.

以下、実施例および比較例に基づいて、本発明の実施形態を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 The following describes the embodiments of the present invention in detail based on examples and comparative examples, but the present invention is not limited to these.

まず、一般式(1)で表される構造を含む重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂の合成例から説明するが、これらの合成例における樹脂の評価は、断りのない限り以下の通りに行った。各種測定機器について、同一の機種を使用した場合には、2か所目から機器メーカー名を省略している。また、実施例1および実施例2において、測定用硬化膜付き基板の作製に使用しているガラス基板は、全て同じ処理を施したガラス基板を使用している。 First, synthesis examples of alkali-soluble resins containing polymerizable unsaturated groups, including a structure represented by general formula (1), will be described. The resins in these synthesis examples were evaluated as follows unless otherwise noted. When the same model of measuring equipment was used, the name of the equipment manufacturer is omitted from the second position onwards. In addition, in Examples 1 and 2, the glass substrates used to prepare the substrates with cured films for measurement were all glass substrates that had been subjected to the same treatment.

[固形分濃度]
合成例中で得られた樹脂溶液1gをガラスフィルター〔重量:W(g)〕に含浸させて秤量し〔W(g)〕、160℃にて2時間加熱した後の重量〔W(g)〕から下記数式(1)より求めた。
固形分濃度(重量%)=100×(W-W)/(W-W) (1)
[Solid content]
1 g of the resin solution obtained in the synthesis example was impregnated into a glass filter (weight: W0 (g)), weighed ( W1 (g)), and the weight after heating at 160°C for 2 hours ( W2 (g)) was calculated from the following formula (1).
Solid content concentration (wt%) = 100 x (W 2 - W 0 )/(W 1 - W 0 ) (1)

[エポキシ当量]
樹脂溶液をジオキサンに溶解させた後に臭化テトラエチルアンモニウムの酢酸溶液を加え、電位差滴定装置「COM-1600」(平沼産業株式会社製)を用いて1/10N-過塩素酸溶液で滴定して求めた。
[Epoxy equivalent]
The resin solution was dissolved in dioxane, and then a solution of tetraethylammonium bromide in acetic acid was added. The content was determined by titration with a 1/10N perchloric acid solution using a potentiometric titrator "COM-1600" (manufactured by Hiranuma Sangyo Co., Ltd.).

[酸価]
樹脂溶液をジオキサンに溶解させ、電位差滴定装置「COM-1600」を用いて1/10N-KOH水溶液で滴定して求めた。
[Acid value]
The resin solution was dissolved in dioxane, and titrated with a 1/10N KOH aqueous solution using a potentiometric titrator "COM-1600" to determine the content.

[分子量]
ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)「HLC-8220GPC」(東ソー株式会社製、溶媒:テトラヒドロフラン、カラム:TSKgelSuperH-2000(2本)+TSKgelSuperH-3000(1本)+TSKgelSuperH-4000(1本)+TSKgelSuperH-5000(1本)(東ソー株式会社製)、温度:40℃、速度:0.6ml/min)にて測定し、標準ポリスチレン(東ソー株式会社製、PS-オリゴマーキット)換算値として重量平均分子量(Mw)を求めた。
[Molecular weight]
Measurement was performed using gel permeation chromatography (GPC) "HLC-8220GPC" (manufactured by Tosoh Corporation, solvent: tetrahydrofuran, columns: TSKgelSuperH-2000 (2 columns) + TSKgelSuperH-3000 (1 column) + TSKgelSuperH-4000 (1 column) + TSKgelSuperH-5000 (1 column) (manufactured by Tosoh Corporation), temperature: 40°C, speed: 0.6 ml/min), and the weight average molecular weight (Mw) was calculated as a value converted into standard polystyrene (manufactured by Tosoh Corporation, PS-oligomer kit).

また、合成例および比較合成例で使用する略号は次のとおりである。
BPFE :ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂
(一般式(5)でArがベンゼン環でlが0のエポキシ樹脂、エポキシ当量256)
BNFE :ビスナフトールフルオレン型エポキシ樹脂
(一般式(5)でArがナフタレン環でlが0のエポキシ樹脂、エポキシ当量281)
HOA-HH:2-アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸
(ライトアクリレートHOA-HH(N)、共栄社化学株式会社製)
BPDA :3,3’,4,4’-ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
BTDA :ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
BTANE :ナフタレンジオールのビス無水トリメリット酸エステル
(DHN-D1、本州化学工業株式会社製)
THPA :1,2,3,6-テトラヒドロフタル酸無水物
TPP :トリフェニルホスフィン
TBPC :2,6-ジ-tert-ブチル-p-クレゾール
AA :アクリル酸
MAA :メタクリル酸
MMA :メタクリル酸メチル
CHMA :メタクリル酸シクロヘキシル
AIBN :アゾビスイソブチロニトリル
GMA :グリシジルメタクリレート
PGMEA :プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
The abbreviations used in the Synthesis Examples and Comparative Synthesis Examples are as follows.
BPFE: Bisphenol fluorene type epoxy resin
(Epoxy resin of general formula (5) where Ar is a benzene ring and l is 0, epoxy equivalent 256)
BNFE: Bisnaphthol fluorene type epoxy resin
(Epoxy resin of general formula (5) where Ar is a naphthalene ring and l is 0, epoxy equivalent 281)
HOA-HH: 2-acryloyloxyethylhexahydrophthalic acid
(Light Acrylate HOA-HH(N), manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)
BPDA: 3,3',4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride BTDA: Benzophenonetetracarboxylic dianhydride BTANE: Bis(trimellitic anhydride) ester of naphthalenediol
(DHN-D1, manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.)
THPA: 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride TPP: triphenylphosphine TBPC: 2,6-di-tert-butyl-p-cresol AA: acrylic acid MAA: methacrylic acid MMA: methyl methacrylate CHMA: cyclohexyl methacrylate AIBN: azobisisobutyronitrile GMA: glycidyl methacrylate PGMEA: propylene glycol monomethyl ether acetate

[合成例1]
還留冷却器付き250mLの四つ口フラスコ中に、BPFE(46.64g、0.09mol)、AA(13.12g、0.18mol)、TPP(0.24g)、およびPGMEA(40.00g)を仕込み、100~105℃で12時間撹拌して、反応生成物を得た。その後、PGMEA(20.00g)を仕込み固形分が50質量%となるように調整した。
[Synthesis Example 1]
In a 250 mL four-neck flask equipped with a reflux condenser, BPFE (46.64 g, 0.09 mol), AA (13.12 g, 0.18 mol), TPP (0.24 g), and PGMEA (40.00 g) were charged and stirred at 100 to 105° C. for 12 hours to obtain a reaction product. Thereafter, PGMEA (20.00 g) was charged and adjusted so that the solid content was 50% by mass.

次いで、得られた反応生成物にBPDA(13.45g、0.05mol)およびTHPA(6.96g、0.05mol)を仕込み、115~120℃で6時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-1を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は57.3質量%であり、酸価(固形分換算)は96mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは3600であった。 Then, BPDA (13.45 g, 0.05 mol) and THPA (6.96 g, 0.05 mol) were added to the obtained reaction product and stirred at 115 to 120°C for 6 hours to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution (A)-1. The solids concentration of the obtained resin solution was 57.3 mass%, the acid value (solids equivalent) was 96 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 3600.

[合成例2]
還留冷却器付き250mLの四つ口フラスコ中に、BNFE(47.60g、0.08mol)、AA(12.18g、0.17mol)、TPP(0.22g)、およびPGMEA(40.00g)を仕込み、100~105℃で12時間撹拌し、反応生成物を得た。その後、PGMEA(20.00g)を仕込み固形分が50質量%となるように調整した。
[Synthesis Example 2]
In a 250 mL four-neck flask equipped with a reflux condenser, BNFE (47.60 g, 0.08 mol), AA (12.18 g, 0.17 mol), TPP (0.22 g), and PGMEA (40.00 g) were charged and stirred at 100 to 105° C. for 12 hours to obtain a reaction product. Thereafter, PGMEA (20.00 g) was charged and adjusted so that the solid content was 50% by mass.

次いで、得られた反応生成物にBPDA(12.49g、0.04mol)およびTHPA(6.46g、0.04mol)を仕込み、115~120℃で6時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-2を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.9質量%であり、酸価(固形分換算)は90mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは4000であった。 Then, BPDA (12.49 g, 0.04 mol) and THPA (6.46 g, 0.04 mol) were added to the obtained reaction product and stirred at 115 to 120°C for 6 hours to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution (A)-2. The solids concentration of the obtained resin solution was 56.9 mass%, the acid value (solids equivalent) was 90 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 4000.

[合成例3]
還留冷却器付き250mLの四つ口フラスコ中に、BNFE(47.60g、0.08mol)、AA(12.18g、0.17mol)、TPP(0.22g)、およびPGMEA(40.00g)を仕込み、100~105℃で12時間撹拌し、反応生成物を得た。その後、PGMEA(20.00g)を仕込み固形分が50質量%となるように調整した。
[Synthesis Example 3]
In a 250 mL four-neck flask equipped with a reflux condenser, BNFE (47.60 g, 0.08 mol), AA (12.18 g, 0.17 mol), TPP (0.22 g), and PGMEA (40.00 g) were charged and stirred at 100 to 105° C. for 12 hours to obtain a reaction product. Thereafter, PGMEA (20.00 g) was charged and adjusted so that the solid content was 50% by mass.

次いで、得られた反応生成物にBPDA(8.74g、0.03mol)およびTHPA(10.34g、0.07mol)を仕込み、115~120℃で6時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-3を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.9質量%であり、酸価(固形分換算)は90mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは2600であった。 Then, BPDA (8.74 g, 0.03 mol) and THPA (10.34 g, 0.07 mol) were added to the obtained reaction product and stirred at 115 to 120°C for 6 hours to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution (A)-3. The solids concentration of the obtained resin solution was 56.9 mass%, the acid value (solids equivalent) was 90 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 2600.

[合成例4]
還留冷却器付き250mLの四つ口フラスコ中に、BNFE(47.60g、0.08mol)、AA(12.18g、0.17mol)、TPP(0.22g)、およびPGMEA(40.00g)を仕込み、100~105℃で12時間撹拌し、反応生成物を得た。その後、PGMEA(20.00g)を仕込み固形分が50質量%となるように調整した。
[Synthesis Example 4]
In a 250 mL four-neck flask equipped with a reflux condenser, BNFE (47.60 g, 0.08 mol), AA (12.18 g, 0.17 mol), TPP (0.22 g), and PGMEA (40.00 g) were charged and stirred at 100 to 105° C. for 12 hours to obtain a reaction product. Thereafter, PGMEA (20.00 g) was charged and adjusted so that the solid content was 50% by mass.

次いで、得られた反応生成物にBPDA(16.49g、0.06mol)およびTHPA(0.26g、0.002mol)を仕込み、115~120℃で6時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-4を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は56.1質量%であり、酸価(固形分換算)は83mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは7000であった。 Then, BPDA (16.49 g, 0.06 mol) and THPA (0.26 g, 0.002 mol) were added to the obtained reaction product and stirred at 115 to 120°C for 6 hours to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution (A)-4. The solids concentration of the obtained resin solution was 56.1% by mass, the acid value (solids equivalent) was 83 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 7000.

[合成例5]
還留冷却器付き250mLの四つ口フラスコ中に、BNFE(30.53g、0.05mol)、HOA-HH(29.33g、0.11mol)、TPP(0.14g)、およびPGMEA(40.00g)を仕込み、100~105℃で12時間撹拌し、反応生成物を得た。その後、PGMEA(20.00g)を仕込み固形分が50質量%となるように調整した。
[Synthesis Example 5]
In a 250 mL four-neck flask equipped with a reflux condenser, BNFE (30.53 g, 0.05 mol), HOA-HH (29.33 g, 0.11 mol), TPP (0.14 g), and PGMEA (40.00 g) were charged and stirred at 100 to 105° C. for 12 hours to obtain a reaction product. Thereafter, PGMEA (20.00 g) was charged and adjusted so that the solid content was 50% by mass.

次いで、得られた反応生成物にBPDA(8.00g、0.03mol)およびTHPA(4.14g、0.03mol)を仕込み、115~120℃で6時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-5を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は54.6質量%であり、酸価(固形分換算)は63mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは5300であった。 Then, BPDA (8.00 g, 0.03 mol) and THPA (4.14 g, 0.03 mol) were added to the obtained reaction product and stirred at 115 to 120°C for 6 hours to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution (A)-5. The solids concentration of the obtained resin solution was 54.6 mass%, the acid value (solids equivalent) was 63 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 5,300.

[合成例6]
還留冷却器付き250mLの四つ口フラスコ中に、BNFE(47.60g、0.08mol)、AA(12.18g、0.17mol)、TPP(0.22g)、およびPGMEA(40.00g)を仕込み、100~105℃で12時間撹拌し、反応生成物を得た。その後、PGMEA(20.00g)を仕込み固形分が50質量%となるように調整した。
[Synthesis Example 6]
In a 250 mL four-neck flask equipped with a reflux condenser, BNFE (47.60 g, 0.08 mol), AA (12.18 g, 0.17 mol), TPP (0.22 g), and PGMEA (40.00 g) were charged and stirred at 100 to 105° C. for 12 hours to obtain a reaction product. Thereafter, PGMEA (20.00 g) was charged and adjusted so that the solid content was 50% by mass.

次いで、得られた反応生成物にBTDA(13.68g、0.04mol)およびTHPA(6.46g、0.04mol)を仕込み、115~120℃で6時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-6を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は54.6質量%であり、酸価(固形分換算)は92mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは4100であった。 Then, BTDA (13.68 g, 0.04 mol) and THPA (6.46 g, 0.04 mol) were added to the resulting reaction product and stirred at 115 to 120°C for 6 hours to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution (A)-6. The solids concentration of the resulting resin solution was 54.6% by mass, the acid value (solids equivalent) was 92 mg KOH/g, and the Mw by GPC analysis was 4100.

[合成例7]
還留冷却器付き250mLの四つ口フラスコ中に、BNFE(47.60g、0.08mol)、AA(12.18g、0.17mol)、TPP(0.22g)、およびPGMEA(40.00g)を仕込み、100~105℃で12時間撹拌し、反応生成物を得た。その後、PGMEA(20.00g)を仕込み固形分が50質量%となるように調整した。
[Synthesis Example 7]
In a 250 mL four-neck flask equipped with a reflux condenser, BNFE (47.60 g, 0.08 mol), AA (12.18 g, 0.17 mol), TPP (0.22 g), and PGMEA (40.00 g) were charged and stirred at 100 to 105° C. for 12 hours to obtain a reaction product. Thereafter, PGMEA (20.00 g) was charged and adjusted so that the solid content was 50% by mass.

次いで、得られた反応生成物にBTANE(21.58g、0.04mol)およびTHPA(6.46g、0.04mol)を仕込み、115~120℃で7時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-7を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は54.6質量%であり、酸価(固形分換算)は91mgKOH/gであり、GPC分析によるMwは5000であった。 Then, BTANE (21.58 g, 0.04 mol) and THPA (6.46 g, 0.04 mol) were added to the obtained reaction product and stirred at 115 to 120°C for 7 hours to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution (A)-7. The solids concentration of the obtained resin solution was 54.6 mass%, the acid value (solids equivalent) was 91 mgKOH/g, and the Mw by GPC analysis was 5000.

[合成例8]
窒素導入管及び還流管付き1000ml四つ口フラスコ中にMAA(51.65g、0.60モル)、MMA(36.04g、0.36モル)、CHMA(40.38g、0.24モル)、AIBN(5.91g)、およびPGMEA(360g)を仕込み、80~85℃で窒素気流下、8時間撹拌して重合させた。さらに、フラスコ内にGMA(61.41g、0.43モル)、TPP(2.27g)およびTBPC(0.086g)を仕込み、80~85℃で16時間撹拌し、重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液(A)-8を得た。得られた樹脂溶液の固形分濃度は35.7質量%、酸価(固形分換算)は50mgKOH/g、GPC分析によるMwは19600であった。
[Synthesis Example 8]
MAA (51.65 g, 0.60 mol), MMA (36.04 g, 0.36 mol), CHMA (40.38 g, 0.24 mol), AIBN (5.91 g), and PGMEA (360 g) were charged into a 1000 ml four-neck flask equipped with a nitrogen inlet tube and a reflux condenser, and the mixture was polymerized by stirring for 8 hours under a nitrogen stream at 80 to 85 ° C. Further, GMA (61.41 g, 0.43 mol), TPP (2.27 g) and TBPC (0.086 g) were charged into the flask, and the mixture was stirred for 16 hours at 80 to 85 ° C. to obtain a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution (A)-8. The solid content concentration of the obtained resin solution was 35.7% by mass, the acid value (solid content equivalent) was 50 mg KOH / g, and the Mw by GPC analysis was 19,600.

(アルカリ可溶性樹脂溶液)
(A)-1:上記合成例1で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-2:上記合成例2で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-3:上記合成例3で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-4:上記合成例4で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-5:上記合成例5で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-6:上記合成例6で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-7:上記合成例7で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(A)-8:上記合成例8で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液
(Alkali-soluble resin solution)
(A)-1: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 1 (A)-2: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 2 (A)-3: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 3 (A)-4: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 4 (A)-5: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 5 (A)-6: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 6 (A)-7: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 7 (A)-8: Alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 8

(光重合性モノマー)
(B):DPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートとジペンタエリスリトールペンタアクリレートとの混合物、日本化薬株式会社製)
(Photopolymerizable Monomer)
(B): DPHA (a mixture of dipentaerythritol hexaacrylate and dipentaerythritol pentaacrylate, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)

(光重合開始剤)
(C):Irgacure OXE02(エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(0-アセチルオキシム)、BASF社製、「Irgacure」は同社の登録商標)
(Photopolymerization initiator)
(C): Irgacure OXE02 (ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H-carbazol-3-yl]-, 1-(0-acetyloxime), manufactured by BASF Corporation; "Irgacure" is a registered trademark of the company)

(溶剤)
(D)-1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
(D)-2:3-メトキシ-3-メチル-1-ブチルアセテート
(solvent)
(D)-1: Propylene glycol monomethyl ether acetate (D)-2: 3-methoxy-3-methyl-1-butyl acetate

(界面活性剤)
BYK-330のPGMEA溶液(固形分1.0%)(ビックケミー社製)
(Surfactant)
PGMEA solution of BYK-330 (solid content 1.0%) (manufactured by BYK-Chemie)

[実施例1]
(A)~(D)成分および界面活性剤を表1に示す割合で配合して、実施例1~10および比較例1、2の感光性樹脂組成物を調製した。溶剤の欄中の(D)-1は、不飽和基含有樹脂溶液(重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液)中のPGMEA((D)-1と同じ)、遮光性顔料分散液中の溶剤、および界面活性剤中の溶剤を含まない量である。なお、表1の数値はすべて質量%を表す。
[Example 1]
Photosensitive resin compositions of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2 were prepared by mixing the components (A) to (D) and the surfactant in the ratios shown in Table 1. (D)-1 in the solvent column is the amount excluding PGMEA (the same as (D)-1) in the unsaturated group-containing resin solution (polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution), the solvent in the light-shielding pigment dispersion, and the solvent in the surfactant. All values in Table 1 are in mass %.

Figure 0007568413000025
Figure 0007568413000025

[評価]
実施例1~10および比較例1、2の感光性樹脂組成物を用いて、以下の評価を行った。
[evaluation]
The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2 were used to carry out the following evaluations.

(硬化膜(塗膜)の作製)
表1に示した感光性樹脂組成物を、予め低圧水銀灯で波長254nmの照度1000mJ/cmの紫外線を照射して表面を洗浄した、50mm×50mmのガラス基板「EAGLEXG」(コーニング社製)(以下「ガラス基板」という)、インジウム-スズ酸化物蒸着ガラス基板(以下「ITO基板」という)、およびモリブデン-アルミニウム合金蒸着基板(以下「MAM基板」という)上に、加熱硬化処理後の膜厚が1.5μmとなるようにスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて90℃で1分間プリベークをして塗布板を作製した。次いで、波長365nmの照度が30mW/cmの高圧水銀ランプで100mJ/cmの紫外線を照射して光硬化反応を行った。その後、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間硬化処理を行って、実施例1~10および比較例1、2に係る硬化膜(塗膜)を得た。
(Preparation of cured film (coating film))
The photosensitive resin composition shown in Table 1 was applied to a 50 mm x 50 mm glass substrate "EAGLEXG" (manufactured by Corning) (hereinafter referred to as "glass substrate"), an indium-tin oxide vapor-deposited glass substrate (hereinafter referred to as "ITO substrate " ), and a molybdenum-aluminum alloy vapor-deposited substrate (hereinafter referred to as "MAM substrate"), the surface of which had been cleaned by irradiating with ultraviolet light having a wavelength of 254 nm and an illuminance of 1000 mJ/cm 2 using a low-pressure mercury lamp, so that the film thickness after heat curing treatment would be 1.5 μm, using a spin coater, and pre-baked at 90 ° C. for 1 minute using a hot plate to prepare a coated plate. Next, a photocuring reaction was performed by irradiating with ultraviolet light having a wavelength of 365 nm and an illuminance of 30 mW/cm 2 at 100 mJ/cm 2. Thereafter, a curing treatment was performed for 30 minutes at 230 ° C. using a hot air dryer to obtain cured films (coating films) according to Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2.

上記で得られた実施例1~10および比較例1、2の感光性樹脂組成物からなる硬化膜(塗膜)について、以下の項目について評価した結果を表2に示す。これらの評価方法は以下の通りに行った。なお、耐高温高湿密着性、および耐薬品密着性については、ガラス基板上の硬化膜(塗膜)のみでなく、ITO基板およびMAM基板上に作製した硬化膜(塗膜)に対しても評価した。 The results of evaluation of the following items for the cured films (coatings) made of the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2 obtained above are shown in Table 2. These evaluation methods were performed as follows. Note that the high temperature and high humidity resistance adhesion and chemical resistance adhesion were evaluated not only for the cured films (coatings) on the glass substrate, but also for the cured films (coatings) prepared on the ITO substrate and MAM substrate.

(膜厚測定)
実施例1~10および比較例1、2の硬化膜(塗膜)の膜厚を触針式段差形状測定装置「P-17」(ケーエルエー・テンコール株式会社製)を用いて測定した。
(Film thickness measurement)
The thickness of the cured films (coating films) of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2 was measured using a stylus-type step shape measuring device "P-17" (manufactured by KLA Tencol Corporation).

[耐高温高湿密着性]
(評価方法)
ガラス基板、ITO基板、およびMAM基板上に作製した硬化膜(塗膜)を、温度121℃、湿度100%、気圧2atmの条件下で5時間静置した。その後、基板にSuperCutterGuide(太佑機材株式会社製)を使用して1mm×1mmの正方形のマス目が100個形成されるように切込みを入れ、マス目の上にセロハンテープ(ニチバン株式会社製)を貼ってから剥がす、クロスカット・ピーリング試験を行なった。
[High temperature and humidity resistance and adhesion]
(Evaluation Method)
The cured films (coating films) prepared on the glass substrate, ITO substrate, and MAM substrate were left to stand for 5 hours under conditions of a temperature of 121° C., humidity of 100%, and atmospheric pressure of 2 atm. Then, a cross-cut peeling test was performed in which the substrate was cut using a SuperCutterGuide (manufactured by Taiyu Kizai Co., Ltd.) so that 100 squares of 1 mm×1 mm were formed, and cellophane tape (manufactured by Nichiban Co., Ltd.) was applied on the squares and then peeled off.

(評価基準)
○:マス目の中の硬化膜(塗膜)は全く剥離していない
△:マス目の中の硬化膜(塗膜)の1/3未満が剥離している
×:1/3以上が剥離している
(Evaluation Criteria)
○: The cured film (coating film) in the square has not peeled off at all. △: Less than 1/3 of the cured film (coating film) in the square has peeled off. ×: 1/3 or more has peeled off.

[耐薬品密着性]
(評価方法)
ガラス基板、ITO基板、MAM基板上に作製した硬化膜(塗膜)を、N-メチル-2-ピロリドンの入ったシャーレに60℃で2分間浸漬した後、純水で洗浄し、水分を拭き取った。その後、基板にSuperCutterGuideを使用して1mm×1mmの正方形のマス目が100個形成されるように切込みを入れ、マス目の上にセロハンテープを貼ってから剥がす、クロスカット・ピーリング試験を行なった。
[Chemical resistance and adhesion]
(Evaluation Method)
The cured films (coatings) prepared on the glass substrate, ITO substrate, and MAM substrate were immersed in a petri dish containing N-methyl-2-pyrrolidone at 60°C for 2 minutes, washed with pure water, and wiped to remove moisture. Then, a cross-cut peeling test was performed in which the substrate was cut using a SuperCutterGuide to form 100 squares of 1 mm x 1 mm, and cellophane tape was applied to the squares and then peeled off.

(評価基準)
○:マス目の中の硬化膜(塗膜)は全く剥離していない
△:マス目の中の硬化膜(塗膜)の1/3未満が剥離している
×:1/3以上が剥離している
(Evaluation Criteria)
○: The cured film (coating film) in the square has not peeled off at all. △: Less than 1/3 of the cured film (coating film) in the square has peeled off. ×: 1/3 or more has peeled off.

[塗膜硬度1]
(評価方法)
ガラス基板上に作製した硬化膜(塗膜)を、JIS-K5600-5-4の試験法に準じて、鉛筆硬度試験機を用いて荷重750gをかけ、硬化膜(塗膜)にキズが付かない最も高い鉛筆硬度をもって表示した。使用した鉛筆は「三菱ハイユニ」(三菱鉛筆株式会社製)である。なお、塗膜表面の横方向の力(引っかき)に対する耐性の指標として本評価を実施した。
[Coating film hardness 1]
(Evaluation Method)
A load of 750 g was applied to the cured film (coating film) formed on the glass substrate using a pencil hardness tester in accordance with the test method of JIS-K5600-5-4, and the highest pencil hardness that did not scratch the cured film (coating film) was indicated. The pencil used was "Mitsubishi Hi-Uni" (manufactured by Mitsubishi Pencil Co., Ltd.). This evaluation was carried out as an index of resistance to lateral forces (scratching) on the coating film surface.

(評価基準)
○:3H以上
△:2H
×:H以下
(Evaluation Criteria)
○: 3H or more △: 2H
×: H or less

[塗膜硬度2]
(評価方法)
ガラス基板上に作製した硬化膜(塗膜)を、微小膜硬度計「HM2000」(フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて測定した。圧子はビッカース圧子を用いて5mN/μmの荷重を負荷速度0.25mN/secで負荷し、1秒間保持後に荷重を取り除いてマルテンス硬さ(ISO14577に準拠)を測定した。本評価は、硬化膜(塗膜)表面の縦方向の力(押し込み)に対する耐性の指標として実施した。なお、「マルテンス硬さ」とは、荷重―進入深さ曲線より算出される硬さのことである。
[Coating film hardness 2]
(Evaluation Method)
The hardness of the cured film (coating film) formed on the glass substrate was measured using a microfilm hardness tester "HM2000" (manufactured by Fisher Instruments). A Vickers indenter was used to apply a load of 5 mN/ μm2 at a loading rate of 0.25 mN/sec, and the load was removed after holding for 1 second to measure the Martens hardness (in accordance with ISO14577). This evaluation was carried out as an index of resistance to vertical force (indentation) on the surface of the cured film (coating film). The "Martens hardness" is the hardness calculated from the load-penetration depth curve.

(評価基準)
○:65N/mm以上
△:60N/mm以上65N/mm未満
×:60N/mm未満
(Evaluation Criteria)
○: 65 N/mm2 or more △: 60 N/mm2 or more and less than 65 N/ mm2 ×: Less than 60 N/mm2

[透過率1]
(評価方法)
ガラス基板「EAGLE XG」上に2μmの膜厚で作製した硬化膜(塗膜)を、透過率計「SPECTRO PHOTOMETERSD5000」(日本電色工業株式会社製)を用いて透過率測定した。
[Transmittance 1]
(Evaluation Method)
The transmittance of a cured film (coating film) formed on a glass substrate "EAGLE XG" with a thickness of 2 μm was measured using a transmittance meter "SPECTRO PHOTOMETER SD5000" (manufactured by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.).

(評価基準)
○:波長400nmでの透過率が95%以上
△:波長400nmでの透過率が90%以上95%未満
×:90%未満
(Evaluation Criteria)
◯: Transmittance at a wavelength of 400 nm is 95% or more △: Transmittance at a wavelength of 400 nm is 90% or more but less than 95% ×: Transmittance at a wavelength of 400 nm is less than 90%

[透過率2]
ガラス基板「EAGLE XG」上に3μmの膜厚で作製した硬化膜(塗膜)を、透過率計「SPECTRO PHOTOMETERSD5000」を用いて透過率測定した。
[Transmittance 2]
The transmittance of a cured film (coating film) formed on a glass substrate "EAGLE XG" with a thickness of 3 μm was measured using a transmittance meter "SPECTRO PHOTOMETER SD5000."

(評価基準)
○:波長340nmでの透過率が20%未満
△:波長340nmでの透過率が20%以上65%未満
×:65%以上
(Evaluation Criteria)
◯: The transmittance at a wavelength of 340 nm is less than 20%. △: The transmittance at a wavelength of 340 nm is 20% or more and less than 65%. ×: The transmittance at a wavelength of 340 nm is 65% or more.

[発ガス性]
(評価方法)
ガラス基板「EAGLE XG」上に作製した硬化膜(塗膜)をスクレイパー等で削り、得られた粉末状の硬化膜(塗膜)10mgの熱重量損失を示差熱熱重量測定装置(TG/DTA)「EXSTAR6000」(株式会社日立ハイテクサイエンス製)を用いて測定した。測定条件は、大気下、120℃で30分間の前処理を行った後、230℃で3時間保持とした。発ガス性は重量減少率より評価し、重量減少率は230℃での加熱前後の重量減少から算出した。
[Gas generation]
(Evaluation Method)
The cured film (coating) prepared on the glass substrate "EAGLE XG" was scraped off with a scraper or the like, and the thermal weight loss of 10 mg of the resulting powdery cured film (coating) was measured using a differential thermal analyzer (TG/DTA) "EXSTAR6000" (manufactured by Hitachi High-Tech Science Corporation). The measurement conditions were as follows: pretreatment was performed at 120°C for 30 minutes in air, followed by holding at 230°C for 3 hours. The gas generation property was evaluated from the weight loss rate, which was calculated from the weight loss before and after heating at 230°C.

(評価基準)
◎:重量減少率が3%未満
○:重量減少率が3%以上7%未満
△:重量減少率が7%以上15%未満
×:重量減少率が15%以上
(Evaluation Criteria)
◎: Weight loss rate is less than 3%. ○: Weight loss rate is 3% or more and less than 7%. △: Weight loss rate is 7% or more and less than 15%. ×: Weight loss rate is 15% or more.

[吸水性]
(評価方法)
ガラス基板「EAGLE XG」上に作製した硬化膜(塗膜)を温度40℃、湿度90%の恒温恒湿下に24時間静置した後、スクレイパー等で削り、得られた粉末状の硬化膜(塗膜)10mgの熱重量損失を示差熱熱重量測定装置(TG/DTA)「EXSTAR6000」を用いて測定した。測定条件は、窒素雰囲気下、10℃/minで120℃まで昇温し、1時間保持した。吸水性は重量減少率より評価した。
[Water absorbency]
(Evaluation Method)
The cured film (coating film) prepared on the glass substrate "EAGLE XG" was left to stand for 24 hours under constant temperature and humidity conditions of 40°C and 90%, and then scraped off with a scraper or the like, and the thermal weight loss of 10 mg of the resulting powdery cured film (coating film) was measured using a differential thermal analyzer (TG/DTA) "EXSTAR6000". The measurement conditions were as follows: under a nitrogen atmosphere, the temperature was raised to 120°C at 10°C/min, and held for 1 hour. The water absorption was evaluated from the weight loss rate.

(評価基準)
○:重量減少率が2%未満
△:重量減少率が2%以上5%未満
×:重量減少率が5%以上
(Evaluation Criteria)
○: Weight loss rate is less than 2% △: Weight loss rate is 2% or more and less than 5% ×: Weight loss rate is 5% or more

[現像特性]
(評価サンプルの作製)
表1に示した感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板「EAGLE XG」上に加熱硬化処理後の膜厚が1.5μmとなるように塗布し、ホットプレートを用いて90℃で1分間プリベークした。その後、フォトマスクを露光ギャップが150μmとなるように設置し、波長365nmの照度が30mW/cmの高圧水銀ランプで100mJ/cmの紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。
[Development characteristics]
(Preparation of evaluation samples)
The photosensitive resin composition shown in Table 1 was applied to a 125 mm x 125 mm glass substrate "EAGLE XG" using a spin coater so that the film thickness after heat curing treatment would be 1.5 μm, and the substrate was pre-baked for 1 minute at 90° C. using a hot plate. After that, a photomask was placed so that the exposure gap was 150 μm, and ultraviolet rays of 100 mJ/cm 2 were irradiated from a high-pressure mercury lamp with a wavelength of 365 nm and an illuminance of 30 mW/cm 2 to cause a photocuring reaction of the photosensitive portion.

次に、この露光済み硬化膜(塗膜)を23℃の0.05%水酸化カリウム水溶液または0.2%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、0.1MPaの圧力で60秒間現像し、さらに水洗を行い、硬化膜(塗膜)の未露光部を除去した。その後、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間加熱硬化処理を行い、実施例1~10および比較例1、2に係る硬化膜(パターン)を得た。 Next, this exposed cured film (coating film) was developed for 60 seconds at a pressure of 0.1 MPa using a 0.05% aqueous potassium hydroxide solution or a 0.2% aqueous sodium carbonate solution at 23°C, and then washed with water to remove the unexposed areas of the cured film (coating film). After that, a heat curing treatment was performed at 230°C for 30 minutes using a hot air dryer, and the cured films (patterns) according to Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 and 2 were obtained.

(評価方法・評価基準)
得られたパターンの細線形成を光学顕微鏡で確認し、以下の3段階で評価した。
○:L/Sが15μm/15μm以上のパターンが残渣なく形成されているもの
△:L/Sが30μm/30μm以上のパターンが残渣なく形成されているもの
×:L/Sが50μm/50μm未満のパターンが形成されていないか、パターンの裾引きや残渣が目立つもの
(Evaluation method and criteria)
The formation of fine lines in the obtained pattern was confirmed by an optical microscope and evaluated according to the following three levels.
◯: A pattern with an L/S of 15 μm/15 μm or more is formed without any residue. △: A pattern with an L/S of 30 μm/30 μm or more is formed without any residue. ×: A pattern with an L/S of less than 50 μm/50 μm is not formed, or the pattern has noticeable footing or residue.

Figure 0007568413000026
Figure 0007568413000026

[実施例2]
(A)~(E)成分および界面活性剤を表3に示す割合で配合して、実施例11~16および比較例11~13の遮光性顔料分散液を含有する感光性樹脂組成物を調製した。溶剤の欄中の(D)-1は、不飽和基含有樹脂溶液(重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂溶液)中のPGMEA((D)-1と同じ)、遮光性顔料分散液中の溶剤、および界面活性剤中の溶剤を含まない量である。なお、表3の数値はすべて質量%を表す。
[Example 2]
Photosensitive resin compositions containing light-shielding pigment dispersions of Examples 11 to 16 and Comparative Examples 11 to 13 were prepared by mixing the components (A) to (E) and the surfactant in the ratios shown in Table 3. (D)-1 in the solvent column is the amount excluding PGMEA (the same as (D)-1) in the unsaturated group-containing resin solution (polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin solution), the solvent in the light-shielding pigment dispersion, and the solvent in the surfactant. All values in Table 3 are in mass %.

(遮光性顔料分散液)
(E)-1:ラクタム系黒色顔料15.0質量%、高分子分散剤4.5質量%のPGMEA分散液(固形分19.5%)
(E)-2:樹脂被覆カーボン系黒色顔料25.0質量%、高分子分散剤5.0質量%のPGMEA分散液(固形分30.0%)
(Light-blocking pigment dispersion)
(E)-1: PGMEA dispersion of 15.0% by mass of lactam black pigment and 4.5% by mass of polymer dispersant (solid content 19.5%)
(E)-2: PGMEA dispersion (solid content 30.0%) of 25.0% by mass of resin-coated carbon-based black pigment and 5.0% by mass of polymer dispersant

Figure 0007568413000027
Figure 0007568413000027

[評価]
実施例11~16および比較例11~13の感光性樹脂組成物を用いて、以下の評価を行った。これらの評価結果を表4に示す。
[evaluation]
The following evaluations were carried out using the photosensitive resin compositions of Examples 11 to 16 and Comparative Examples 11 to 13. The evaluation results are shown in Table 4.

[光学濃度の測定]
表3に示した感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板上に加熱硬化処理後の膜厚が1.1μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間加熱硬化処理を行い、実施例11~16および比較例11~13に係る硬化膜(塗膜)を得た。次に、得られた硬化膜(塗膜)の光学濃度(OD)をマクベス透過濃度計を用いて測定し、単位膜厚当たりの光学濃度で評価した。
[Optical Density Measurement]
The photosensitive resin composition shown in Table 3 was applied onto a 125 mm x 125 mm glass substrate using a spin coater so that the film thickness after heat curing treatment would be 1.1 μm, and the substrate was prebaked at 90° C. for 1 minute. Then, a heat curing treatment was performed at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer, to obtain cured films (coating films) according to Examples 11 to 16 and Comparative Examples 11 to 13. Next, the optical density (OD) of the obtained cured films (coating films) was measured using a Macbeth transmission densitometer, and evaluated as the optical density per unit film thickness.

[体積抵抗率の測定]
(測定方法)
表3に示した各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて100mm×100mmのCr蒸着された厚さ1.2mmのガラス基板上の電極を除いた部分に加熱硬化処理後の膜厚が3.5μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間加熱硬化処理を行い、実施例11~16および比較例11~13に係る硬化膜(塗膜)を得た。その後、硬化膜(塗膜)上にアルミニウム電極を形成して体積抵抗率測定用基板を作製した。次に、エレクトロメーター「6517A型」(ケースレー社製)を用いて、印加電圧1Vから10Vにおける体積抵抗率を測定した。なお、1Vステップにおいて各印加電圧で60秒ずつ電圧保持する条件で測定した。
[Measurement of volume resistivity]
(Measurement method)
Each photosensitive resin composition shown in Table 3 was applied to a portion of a 100 mm x 100 mm Cr-deposited glass substrate with a thickness of 1.2 mm, excluding the electrodes, using a spin coater so that the film thickness after heat curing treatment would be 3.5 μm, and pre-baked at 90 ° C. for 1 minute. Then, a heat curing treatment was performed at 230 ° C. for 30 minutes using a hot air dryer to obtain cured films (coating films) according to Examples 11 to 16 and Comparative Examples 11 to 13. Then, an aluminum electrode was formed on the cured film (coating film) to prepare a substrate for measuring volume resistivity. Next, the volume resistivity was measured at applied voltages of 1 V to 10 V using an electrometer "6517A type" (manufactured by Keithley). The measurement was performed under conditions in which the voltage was held for 60 seconds at each applied voltage in 1 V steps.

[誘電率の測定]
(測定方法)
表3に示した各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて100mm×100mmのCr蒸着された厚さ1.2mmのガラス基板上の電極を除いた部分に加熱硬化処理後の膜厚が3.5μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、熱風乾燥機を用いて230℃、30分間加熱硬化処理を行い、実施例11~16および比較例11~13に係る硬化膜(塗膜)を得た。その後、塗膜上にアルミニウム電極を形成して誘電率測定用基板を作製した。次に、エレクトロメーター「6517A型」を用いて、周波数1Hzから100000Hzにおける電気容量を測定し、電気容量から誘電率を算出した。
[Measurement of dielectric constant]
(Measurement method)
Each photosensitive resin composition shown in Table 3 was applied to a portion of a 100 mm x 100 mm Cr-deposited glass substrate having a thickness of 1.2 mm, excluding the electrodes, using a spin coater so that the film thickness after heat curing treatment would be 3.5 μm, and the coating was prebaked at 90° C. for 1 minute. Then, a heat curing treatment was performed at 230° C. for 30 minutes using a hot air dryer, to obtain cured films (coating films) according to Examples 11 to 16 and Comparative Examples 11 to 13. Then, an aluminum electrode was formed on the coating film to prepare a substrate for measuring the dielectric constant. Next, an electrometer "6517A type" was used to measure the electric capacitance at frequencies from 1 Hz to 100,000 Hz, and the dielectric constant was calculated from the electric capacitance.

[発ガス性]
(評価方法)
ガラス基板「EAGLE XG」上に作製した硬化膜(塗膜)をスクレイパー等で削り、得られた粉末状の硬化膜(塗膜)10mgの熱重量損失を示差熱熱重量測定装置(TG/DTA)「EXSTAR6000」を用いて測定した。測定条件は、大気下、120℃で30分間の前処理を行った後、230℃で3時間保持した。
[Gas generation]
(Evaluation Method)
The cured film (coating) formed on the glass substrate "EAGLE XG" was scraped off with a scraper or the like, and the thermal weight loss of 10 mg of the resulting powdery cured film (coating) was measured using a differential thermal analyzer (TG/DTA) "EXSTAR6000". The measurement conditions were as follows: pretreatment was performed at 120°C for 30 minutes in air, followed by holding at 230°C for 3 hours.

(評価基準)
◎:重量減少率が3%未満
○:重量減少率が3%以上7%未満
△:重量減少率が7%以上10%未満
×:重量減少率が10%以上
(Evaluation Criteria)
◎: Weight loss rate is less than 3%. ○: Weight loss rate is 3% or more and less than 7%. △: Weight loss rate is 7% or more and less than 10%. ×: Weight loss rate is 10% or more.

[スペーサーの弾性回復率の測定]
(測定方法)
表3に示した各感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板「EAGLE XG」上に加熱硬化処理後の膜厚が3.0μmとなるように塗布し、90℃で1分間プリベークした。その後、ドットパターンを有するフォトマスクを密着させ、500Wの高圧水銀ランプを用いて波長365nmの照度30mW/cmの超高圧水銀ランプで100mJ/cmの紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。
[Measurement of Elastic Recovery Rate of Spacer]
(Measurement method)
Each photosensitive resin composition shown in Table 3 was applied onto a 125 mm x 125 mm glass substrate "EAGLE XG" using a spin coater so that the film thickness after heat curing treatment would be 3.0 μm, and the substrate was prebaked at 90° C. for 1 minute. Thereafter, a photomask having a dot pattern was attached to the substrate, and ultraviolet rays of 100 mJ/cm 2 were irradiated from an ultra-high pressure mercury lamp with an illuminance of 30 mW/cm 2 and a wavelength of 365 nm using a 500 W high pressure mercury lamp, to cause a photocuring reaction of the photosensitive portion.

次に、この露光後のガラス基板を0.05%水酸化カリウム水溶液を用いて、24℃、0.1MPaの圧力で60秒間現像し、硬化膜(塗膜)の未露光部を除去した。その後、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間加熱硬化処理を行い、実施例11~16および比較例11~13に係る硬化膜(塗膜)を得た。得られた硬化膜(塗膜)パターンのスペーサー特性は超微小硬度計「フィッシャースコープHM2000Xyp」(フィッシャー・インストルメンツ社製)を用いて評価した。負荷速度5.0mN/秒で100μm角の平面圧子を押し込み、50mNまでの荷重を負荷した後、除荷速度5.0mN/秒で除荷して変位量曲線を作成した。 Next, the exposed glass substrate was developed using a 0.05% potassium hydroxide aqueous solution at 24°C and 0.1 MPa for 60 seconds to remove the unexposed portions of the cured film (coating). After that, a heat curing treatment was performed at 230°C for 30 minutes using a hot air dryer to obtain the cured films (coatings) of Examples 11 to 16 and Comparative Examples 11 to 13. The spacer characteristics of the obtained cured film (coating) patterns were evaluated using an ultra-microhardness tester "Fisherscope HM2000Xyp" (manufactured by Fisher Instruments). A 100 μm square flat indenter was pressed at a loading speed of 5.0 mN/sec, a load of up to 50 mN was applied, and then the load was removed at a loading speed of 5.0 mN/sec to create a displacement curve.

弾性回復率は、負荷時の荷重50mNでの変位量をL1とし、除荷時の変位量をL2として、下記数式(2)から算出した。
弾性回復率(%)=(L1-L2)/L1×100 (2)
The elastic recovery rate was calculated from the following formula (2) using the displacement amount at a load of 50 mN when loaded as L1 and the displacement amount at the time of unloading as L2.
Elastic recovery rate (%) = (L1 - L2) / L1 × 100 (2)

[現像特性]
(評価サンプルの作製)
表3に示した感光性樹脂組成物を、スピンコーターを用いて125mm×125mmのガラス基板「EAGLE XG」上に加熱硬化処理後の膜厚が1.5μmとなるように塗布し、ホットプレートを用いて90℃で1分間プリベークした。その後、フォトマスクを露光ギャップが150μmとなるように設置し、波長365nmの照度が30mW/cmの高圧水銀ランプで100mJ/cmの紫外線を照射し、感光部分の光硬化反応を行った。
[Development characteristics]
(Preparation of evaluation samples)
The photosensitive resin composition shown in Table 3 was applied to a 125 mm x 125 mm glass substrate "EAGLE XG" using a spin coater so that the film thickness after heat curing treatment would be 1.5 μm, and the substrate was pre-baked for 1 minute at 90° C. using a hot plate. After that, a photomask was placed so that the exposure gap was 150 μm, and ultraviolet rays of 100 mJ/cm 2 were irradiated from a high-pressure mercury lamp with a wavelength of 365 nm and an illuminance of 30 mW/cm 2 to cause a photocuring reaction of the photosensitive portion.

次に、この露光済み硬化膜(塗膜)を23℃の0.05%水酸化カリウム水溶液または0.2%炭酸ナトリウム水溶液を用いて、0.1MPaの圧力で60秒間現像し、さらに水洗を行い、硬化膜(塗膜)の未露光部を除去した。その後、熱風乾燥機を用いて230℃で30分間加熱硬化処理を行い、実施例11~16および比較例11~13に係る硬化膜(パターン)を得た。 Next, this exposed cured film (coating film) was developed for 60 seconds at a pressure of 0.1 MPa using a 0.05% aqueous potassium hydroxide solution or a 0.2% aqueous sodium carbonate solution at 23°C, and then washed with water to remove the unexposed areas of the cured film (coating film). After that, a heat curing treatment was performed at 230°C for 30 minutes using a hot air dryer, and the cured films (patterns) of Examples 11 to 16 and Comparative Examples 11 to 13 were obtained.

(評価方法・評価基準)
得られたパターンの細線形成を光学顕微鏡で確認し、以下の3段階で評価した。
○:L/Sが15μm/15μm以上のパターンが残渣なく形成されているもの
△:L/Sが30μm/30μm以上のパターンが残渣なく形成されているもの
×:L/Sが50μm/50μm未満のパターンが形成されていないか、パターンの裾引きや残渣が目立つもの
(Evaluation method and criteria)
The formation of fine lines in the obtained pattern was confirmed by an optical microscope and evaluated according to the following three levels.
◯: A pattern with an L/S of 15 μm/15 μm or more is formed without any residue. △: A pattern with an L/S of 30 μm/30 μm or more is formed without any residue. ×: A pattern with an L/S of less than 50 μm/50 μm is not formed, or the pattern has noticeable footing or residue.

Figure 0007568413000028
Figure 0007568413000028

遮光性および絶縁性が高く、基板との密着性にも優れ、弾性率、変形量、および弾性復元率にも優れた硬化膜を提供できる感光性樹脂組成物を得ることができた。 We were able to obtain a photosensitive resin composition that can provide a cured film that has high light-blocking and insulating properties, excellent adhesion to the substrate, and excellent elastic modulus, deformation amount, and elastic recovery rate.

本発明の感光性樹脂組成物の硬化膜は有機EL素子、量子ドットディスプレイ、TFTアレイおよび波長変換素子などを含むカラーフィルターの構成要素として極めて有用である。また、ビスナフトールフルオレン骨格を有する樹脂組成物においては、特定の範囲の紫外光をカットする光透過制御層としての機能があり、有用である。 The cured film of the photosensitive resin composition of the present invention is extremely useful as a component of color filters including organic EL elements, quantum dot displays, TFT arrays, and wavelength conversion elements. In addition, resin compositions having a bisnaphtholfluorene skeleton are useful because they function as a light transmission control layer that blocks ultraviolet light in a specific range.

Claims (7)

下記(A)~(D)成分、
(A)一般式(1)の重合性不飽和基含有アルカリ可溶性樹脂と、
(B)トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ソルビトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、またはジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ソルビトールヘキサ(メタ)アクリレート、フォスファゼンのアルキレンオキサイド変性ヘキサ(メタ)アクリレート、およびカプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートからなる群から選択される(メタ)アクリル酸エステルと、
(C)光重合開始剤と、
(D)溶剤と、
を、必須成分として含み、ただし、o-ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルを含まず、前記(A)成分は、一般式(1)におけるArがナフタレン骨格を含む化合物である、感光性樹脂組成物。
Figure 0007568413000029
(式(1)中、Arは、それぞれ独立して、炭素数6~14の芳香族炭化水素基であり、結合している水素原子の一部分は炭素数1~10のアルキル基、炭素数6~10のアリール基またはアリールアルキル基、炭素数3~10のシクロアルキル基またはシクロアルキルアルキル基、炭素数1~5のアルコキシ基、またはハロゲン基で置換されていてもよい。Rは、それぞれ独立して、炭素数2~4のアルキレン基であり、lは、それぞれ独立して、0~3の数である。Gは、それぞれ独立して、一般式(2)または一般式(3)で表される置換基であり、Yは4価のカルボン酸残基である。Zは、それぞれ独立して、水素原子または一般式(4)で表される置換基であり、1個以上は一般式(4)で表される置換基である。nは平均値が1~20の数である。)
Figure 0007568413000030
Figure 0007568413000031
(式(2)、(3)中、Rは水素原子またはメチル基であり、Rは炭素数2~10の2価のアルキレン基またはアルキルアリーレン基であり、Rは炭素数2~20の2価の飽和または不飽和の炭化水素基であり、pは0~10の数である。)
Figure 0007568413000032
(式(4)中、Wは2価または3価のカルボン酸残基であり、mは1または2である。)
The following components (A) to (D):
(A) a polymerizable unsaturated group-containing alkali-soluble resin represented by general formula (1),
(B) a (meth)acrylic acid ester selected from the group consisting of trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, sorbitol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, sorbitol hexa(meth)acrylate, alkylene oxide-modified hexa(meth)acrylate of phosphazene, and caprolactone-modified dipentaerythritol hexa(meth)acrylate;
(C) a photopolymerization initiator; and
(D) a solvent;
as an essential component, with the proviso that no o-naphthoquinone diazide sulfonic acid ester is contained , and the component (A) is a compound in which Ar in general formula (1) contains a naphthalene skeleton .
Figure 0007568413000029
(In formula (1), Ar's are each independently an aromatic hydrocarbon group having 6 to 14 carbon atoms, and a portion of the bonded hydrogen atoms may be substituted with an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, an aryl group or arylalkyl group having 6 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group or cycloalkylalkyl group having 3 to 10 carbon atoms, an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms, or a halogen group. Each R 1 is independently an alkylene group having 2 to 4 carbon atoms, and each l is independently a number from 0 to 3. Each G is independently a substituent represented by general formula (2) or general formula (3), and Y is a tetravalent carboxylic acid residue. Each Z is independently a hydrogen atom or a substituent represented by general formula (4), and at least one Z is a substituent represented by general formula (4). n is a number having an average value of 1 to 20.)
Figure 0007568413000030
Figure 0007568413000031
(In formulas (2) and (3), R2 is a hydrogen atom or a methyl group, R3 is a divalent alkylene group or alkylarylene group having 2 to 10 carbon atoms, R4 is a divalent saturated or unsaturated hydrocarbon group having 2 to 20 carbon atoms, and p is a number from 0 to 10.)
Figure 0007568413000032
(In formula (4), W is a divalent or trivalent carboxylic acid residue, and m is 1 or 2.)
前記(A)成分の含有量は、固形分の全質量に対して10~90質量%であり、前記(B)成分の含有量は、(A)成分100質量部に対して5~200質量部であり、前記(C)成分の含有量は、(A)成分と(B)成分の合計量100質量部に対して0.1~30質量部である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。 2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein a content of the component (A) is 10 to 90% by mass based on the total mass of the solid contents, a content of the component (B) is 5 to 200 parts by mass based on 100 parts by mass of the component (A), and a content of the component (C) is 0.1 to 30 parts by mass based on 100 parts by mass of the combined amount of the component (A) and the component ( B) . (E)着色材を含む、請求項に記載の感光性樹脂組成物。 The photosensitive resin composition according to claim 1 , further comprising (E) a colorant. 前記(E)着色材は、黒色有機顔料、混色有機顔料および遮光材からなる群から選択される1種以上の遮光成分である、請求項に記載の感光性樹脂組成物。 4. The photosensitive resin composition according to claim 3 , wherein the colorant (E) is one or more light-shielding components selected from the group consisting of black organic pigments, mixed-color organic pigments, and light-shielding materials. 前記(E)成分の含有量は、前記感光性樹脂組成物の固形分の全質量に対して1~80質量%である、請求項または請求項に記載の感光性樹脂組成物。 5. The photosensitive resin composition according to claim 3 , wherein the content of the component (E) is 1 to 80 mass % based on the total mass of the solid content of the photosensitive resin composition. 請求項1~5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を硬化してなる硬化膜。 A cured film obtained by curing the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 5 . 請求項に記載の硬化膜を有する表示装置。
A display device comprising the cured film according to claim 6 .
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