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JP7421162B2 - Glass plate manufacturing method - Google Patents

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JP7421162B2 JP2020001457A JP2020001457A JP7421162B2 JP 7421162 B2 JP7421162 B2 JP 7421162B2 JP 2020001457 A JP2020001457 A JP 2020001457A JP 2020001457 A JP2020001457 A JP 2020001457A JP 7421162 B2 JP7421162 B2 JP 7421162B2
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Description

本発明は、閉曲線を含む切断予定線を表面に有するマザーガラスから、閉曲線に対応する外輪郭形状をなすガラス板を分離するために用いられる製法技術に関する。 The present invention relates to a manufacturing technique used to separate a glass plate having an outer contour shape corresponding to a closed curve from a mother glass having a cut line including a closed curve on its surface.

ガラス板の製造の分野では、マザーガラスの表面に閉曲線をなすスクライブ線を形成して、マザーガラスから閉曲線に対応する外輪郭形状をなす製品または製品の元になるガラス板を分離する製法技術が公知となっている。 In the field of manufacturing glass plates, there is a manufacturing technology that forms closed curved scribe lines on the surface of the mother glass and separates from the mother glass a product with an outer contour shape corresponding to the closed curve, or a glass plate that is the source of the product. It is publicly known.

その具体例として、特許文献1に開示されたガラス板の製造方法が挙げられる。この製造方法は、まず、マザーガラス(同公報では脆性材料基板)に、閉曲線をなす輪郭用スクライブ線と、輪郭用スクライブ線に外側から近接する補助スクライブ線とを形成する。次いで、亀裂を補助スクライブ線に沿って伸展させた後、補助スクライブ線から輪郭用スクライブ線に沿って亀裂を伸展させることで、マザーガラスからガラス板(同公報では製品基板)を分離させるものである。 A specific example thereof is a method for manufacturing a glass plate disclosed in Patent Document 1. In this manufacturing method, first, a contour scribe line forming a closed curve and an auxiliary scribe line adjacent to the contour scribe line from the outside are formed on a mother glass (brittle material substrate in the publication). Next, the crack is extended along the auxiliary scribe line, and then the crack is extended from the auxiliary scribe line to the contour scribe line, thereby separating the glass plate (product substrate in the publication) from the mother glass. be.

ここで、特許文献1に開示の輪郭用スクライブ線は、スクライブホイールやスクライブカッターなどによってマザーガラスの表面に切り込まれた細溝状の線であると解される(同文献に特許文献1として挙げられている特許第5171522号の段落[0015]、[0016]等、及び同文献に特許文献2として挙げられている特開2014-217982号公報の[請求項2]等参照)。このような手法で輪郭用スクライブ線を形成する際には、当該スクライブ線の縁部でマザーガラスの表面に平行な方向に延びるクラック(ラテラルクラック)が形成される。このラテラルクラックは、マザーガラスから分離した後のガラス板に残存するため、ガラス板の機械的強度を低下させる要因になる。そのため、当該ガラス板の端面には、ラテラルクラックを除去するための面取り加工等が必要になり、ガラス板の製造に要する工数の増加や時間の長期化を招く。 Here, the contour scribe line disclosed in Patent Document 1 is understood to be a narrow groove-like line cut into the surface of the mother glass by a scribe wheel, a scribe cutter, etc. (See paragraphs [0015], [0016], etc. of the cited patent No. 5171522, and [Claim 2] of JP 2014-217982, which is listed as Patent Document 2 in the same document). When a contour scribe line is formed using such a method, a crack (lateral crack) extending in a direction parallel to the surface of the mother glass is formed at the edge of the scribe line. These lateral cracks remain in the glass plate after being separated from the mother glass, and thus become a factor that reduces the mechanical strength of the glass plate. Therefore, the end face of the glass plate needs chamfering or the like to remove lateral cracks, which increases the number of man-hours and prolongs the time required to manufacture the glass plate.

このような問題に対処する製法技術として、特許文献2に開示されたガラス板の製造方法が挙げられる。この製造方法は、スクライブチップによりマザーガラスの表面に塑性変形による凹状線を形成する工程と、この凹状線に対応する位置に初期クラックを形成する工程と、この初期クラックを凹状線に沿って伸展させる工程とを備えている。なお、上述の初期クラックを伸展させて得られるスクライブ線(同公報ではクラックC)は、閉曲線ではなく直線として形成されている。この製造方法によれば、マザーガラスの表面をスクライブチップの押圧により塑性変形させることで、ラテラルクラックが存在しない凹状線を形成することができる。これにより、マザーガラスから分離されたガラス板の端面には、ラテラルクラックが存在しない状態となり得る。 As a manufacturing method for dealing with such problems, there is a method for manufacturing a glass plate disclosed in Patent Document 2. This manufacturing method consists of a step of forming a concave line by plastic deformation on the surface of the mother glass using a scribing tip, a step of forming an initial crack at a position corresponding to the concave line, and a process of extending this initial crack along the concave line. The process includes a step of Note that the scribe line (crack C in the publication) obtained by extending the above-mentioned initial crack is formed not as a closed curve but as a straight line. According to this manufacturing method, concave lines without lateral cracks can be formed by plastically deforming the surface of the mother glass by pressing the scribe tip. As a result, the end face of the glass plate separated from the mother glass can be free from lateral cracks.

特開2019-43010号公報JP 2019-43010 Publication 特開2019-89672号公報JP2019-89672A

ところで、特許文献2に開示のように塑性変形による凹状線を形成する手法を、特許文献1に開示のように閉曲線をなすスクライブ線を形成する手法に適用した場合、以下に示すような問題が生じる。 By the way, when the method of forming a concave line by plastic deformation as disclosed in Patent Document 2 is applied to the method of forming a scribe line forming a closed curve as disclosed in Patent Document 1, the following problems occur. arise.

すなわち、閉曲線を有する切断予定線の形状が、長い曲線部分を含んでいたり、直線部分と曲線部分とを繰り返し含んでいたりすると、凹状線の途中でクラックの伸展が停止してしまう場合がある。このような事態が生じた場合には、マザーガラスを廃棄せざるを得ず、製品歩留まりの悪化並びに生産効率の低下を招くおそれがある。 That is, if the shape of the planned cutting line having a closed curve includes a long curved portion or repeatedly includes straight and curved portions, the crack may stop extending in the middle of the concave line. When such a situation occurs, the mother glass has to be discarded, which may lead to deterioration in product yield and production efficiency.

以上の観点から、本発明は、マザーガラスの表面に閉曲線を含む形態のスクライブ線を形成するスクライブ工程で、ラテラルクラックの発生を抑止しつつ、塑性変形による凹状線の全長に亘って初期クラックを円滑に伸展させることを課題とする。 In view of the above, the present invention aims to suppress the occurrence of lateral cracks and prevent initial cracks over the entire length of the concave lines due to plastic deformation in the scribing process of forming scribe lines including closed curves on the surface of the mother glass. The challenge is to ensure smooth expansion.

上記課題を解決するために創案された本発明は、マザーガラスと、前記マザーガラスの表面を押圧しつつ移動することで該マザーガラスの表面に塑性変形による凹状線を形成するために用いるスクライブチップとを準備する準備工程と、前記マザーガラスの表面の閉曲線を含む切断予定線に沿ってスクライブ線を形成するスクライブ工程と、前記マザーガラスを前記スクライブ線に沿って折割ることで、前記マザーガラスから前記閉曲線に対応する外輪郭形状をなすガラス板を分離させる折割工程と、を備え、前記スクライブ工程では、前記マザーガラスの表面で、前記閉曲線が、連続して繋がる複数の単位閉曲線からなるものと仮定すると共に、前記切断予定線が、前記複数の単位閉曲線を別々に含む複数の単位切断予定線からなるものと仮定して、前記複数の単位切断予定線に沿って別々に前記スクライブチップを押圧させつつ移動させることで、前記複数の単位切断予定線ごとに塑性変形による単位凹状線をそれぞれ形成し、然る後、それらの単位凹状線にそれぞれ対応する初期クラックを形成して、それらの初期クラックをそれらの単位凹状線に沿って別々に伸展させることで、複数の単位スクライブ線が連続して繋がった前記スクライブ線を形成することに特徴づけられる。 The present invention, which was created to solve the above problems, includes a mother glass and a scribe chip used for forming concave lines by plastic deformation on the surface of the mother glass by moving while pressing the surface of the mother glass. a scribing step of forming a scribe line along a planned cutting line including a closed curve on the surface of the mother glass; and a scribing step of forming a scribe line along the scribe line, and breaking the mother glass along the scribe line. a folding step of separating a glass plate having an outer contour shape corresponding to the closed curve from the substrate, and in the scribing step, the closed curve consists of a plurality of continuously connected unit closed curves on the surface of the mother glass. Assuming that the planned cutting line is composed of a plurality of planned unit cutting lines that separately include the plurality of unit closed curves, the scribe tip is cut separately along the plurality of planned unit cutting lines. By moving while pressing, a unit concave line is formed by plastic deformation for each of the plurality of unit cutting planned lines, and then initial cracks corresponding to each of the unit concave lines are formed, and the The scribe line is characterized in that a plurality of unit scribe lines are continuously connected by extending the initial cracks separately along the unit concave lines.

このような構成によれば、スクライブ工程で、まず、閉曲線を含む切断予定線が、複数の単位閉曲線を別々に含む複数の単位切断予定線からなるものと仮定すると共に、それら複数の単位切断予定線ごとに塑性変形による単位凹状線をそれぞれ形成する。これにより、マザーガラスの表面にはラテラルクラックが発生し難くなる。この後、複数の初期クラックがそれらの単位凹状線に沿って別々に伸展することで、スクライブ線が形成される。したがって、閉曲線に沿うスクライブ線を形成する際に、一つの初期クラックは、切断予定線に沿って形成される凹状線の全長よりも短い距離を伸展するだけで済む。これにより、初期クラックの伸展が凹状線の途中で停止する弊害が生じ難くなり、マザーガラスの廃棄量が減少するなどして、製品歩留まりの向上並びに生産効率の改善が図られる。 According to such a configuration, in the scribing step, first, it is assumed that the planned cutting line including the closed curve is composed of a plurality of planned unit cutting lines each including a plurality of unit closed curves separately, and A unit concave line is formed by plastic deformation for each line. This makes it difficult for lateral cracks to occur on the surface of the mother glass. Thereafter, a scribe line is formed by a plurality of initial cracks extending separately along the unit concave lines. Therefore, when forming a scribe line along a closed curve, one initial crack only needs to extend a distance shorter than the entire length of the concave line formed along the planned cutting line. As a result, the problem of the initial crack stopping in the middle of the concave line is less likely to occur, and the amount of discarded mother glass is reduced, thereby improving product yield and production efficiency.

この製造方法において、前記複数の単位切断予定線が、2つの単位切断予定線であってもよい。 In this manufacturing method, the plurality of unit cutting planned lines may be two unit cutting planned lines.

このように複数の単位切断予定線を、2つの単位切断予定線としたことに伴って、上述の複数の単位閉曲線が、2つの単位閉曲線になり、上述の複数の塑性変形による単位凹状線が、2つの塑性変形による単位凹状線になり、上述の複数の初期クラックが、2つの初期クラックになり、上述の複数の単位スクライブ線が、2つの単位スクライブ線になる。このようにすれば、凹状線に沿って個々の初期クラックを伸展させる距離を半分にすることができる。 In this way, by changing the plurality of unit cutting planned lines to two unit cutting planned lines, the plurality of unit closed curves described above become two unit closed curves, and the plurality of unit concave lines due to the plurality of plastic deformations described above become , two unit concave lines due to plastic deformation, the plurality of initial cracks described above become two initial cracks, and the plurality of unit scribe lines described above become two unit scribe lines. In this way, the distance that each initial crack extends along the concave line can be halved.

以上の製造方法において、前記スクライブ工程では、前記単位閉曲線が、直線部分と湾曲線部分とを有するようにしてもよい。 In the above manufacturing method, in the scribing step, the unit closed curve may have a straight line portion and a curved line portion.

このようにすれば、閉曲線を複数の単位閉曲線としたことによる格別の効果が得られる。すなわち、初期クラックは、凹状線が湾曲している箇所で伸展し難くなるため、閉曲線が多数箇所に湾曲線部分を有している場合には、初期クラックの伸展が停止する確率が大きくなる。これに対して、本発明に係る構成のように、閉曲線が複数の単位閉曲線からなるようにすれば、各単位閉曲線に存在する湾曲線部分の個数を減らすことができ、初期クラックの伸展が停止する確率を小さくすることができる。 In this way, a special effect can be obtained by forming the closed curve into a plurality of unit closed curves. That is, since the initial crack becomes difficult to extend at a location where the concave line is curved, if the closed curve has curved portions at many locations, the probability that the initial crack will stop extending is increased. On the other hand, if the closed curve is made up of a plurality of unit closed curves, as in the configuration according to the present invention, the number of curved curved portions existing in each unit closed curve can be reduced, and the extension of the initial crack can be stopped. It is possible to reduce the probability of

以上の製造方法において、前記スクライブ工程では、前記複数の単位切断予定線が何れも、前記単位閉曲線と、前記単位閉曲線の一端から前記閉曲線の外側に延出する単位延出線とからなるようにしてもよい。 In the above manufacturing method, in the scribing step, each of the plurality of planned unit cutting lines is made up of the unit closed curve and a unit extension line extending from one end of the unit closed curve to the outside of the closed curve. You can.

このようにすれば、複数の単位切断予定線が何れも、単位閉曲線だけでなく単位延出線をも含むため、それらの単位切断予定線に沿って形成される個々の単位凹状線は、個々の単位延出線に対応する個々の凹状線部分を含むことになる。したがって、それらの単位延出線に対応する個々の凹状線部分に初期クラックをそれぞれ形成すれば、それらの初期クラックを個々の単位凹状線に沿ってそれぞれ伸展させることが可能になる。これにより、複数の初期クラックを形成する作業が容易化される。 In this way, each of the plurality of unit cutting lines includes not only a unit closed curve but also a unit extension line, so each unit concave line formed along the unit cutting line is individually includes individual concave line portions corresponding to unit extension lines of . Therefore, by forming initial cracks in the respective concave line portions corresponding to these unit extension lines, it becomes possible to extend these initial cracks along the respective unit concave lines. This facilitates the work of forming a plurality of initial cracks.

この製造方法において、前記スクライブ工程では、前記複数の単位閉曲線のうち、一の単位閉曲線とこれに隣接する他の単位閉曲線とがそれぞれ、直線部分とこれに連なる湾曲線部分とを有し、前記一の単位閉曲線の一端から延出する単位延出線は、前記一の単位閉曲線の直線部分と同一直線に沿って延出し且つ前記他の単位閉曲線の湾曲線部分の接線に沿って延出するようにしてもよい。 In this manufacturing method, in the scribing step, one unit closed curve and another unit closed curve adjacent thereto among the plurality of unit closed curves each have a straight line portion and a continuous curved line portion, and the A unit extension line extending from one end of one unit closed curve extends along the same straight line as the straight line part of the one unit closed curve and extends along a tangent to the curved part of the other unit closed curve. You can do it like this.

このようにすれば、一の単位閉曲線の一端から延出する単位延出線と、一の単位閉曲線の直線部分とが、一直線上に連なるため、その一直線上に形成される凹状線に沿って初期クラックを円滑に伸展させることができる。また、一の単位閉曲線の一端から延出する単位延出線が、これに隣接する他の単位閉曲線の湾曲線部分の接線に沿って延出するため、一の単位閉曲線に沿って形成される単位スクライブ線と、他の単位閉曲線に沿って形成される単位スクライブ線との繋ぎ部分が滑らかに形成される。したがって、2つの単位スクライブ線の繋ぎ部分が滑らかに形成されない場合には、繋ぎ部分に欠陥等が発生し得るが、ここでの構成によれば、そのような不具合が生じ難くなる。 In this way, the unit extension line extending from one end of one unit closed curve and the straight line part of one unit closed curve are connected on a straight line, so that along the concave line formed on the straight line, Initial cracks can be extended smoothly. In addition, since the unit extension line extending from one end of one unit closed curve extends along the tangent to the curved part of the other adjacent unit closed curve, it is formed along one unit closed curve. A connecting portion between a unit scribe line and a unit scribe line formed along another unit closed curve is formed smoothly. Therefore, if the connecting portion between two unit scribe lines is not formed smoothly, defects or the like may occur in the connecting portion, but with the configuration here, such defects are less likely to occur.

これらの製造方法において、前記スクライブ工程では、前記単位延出線が、前記マザーガラスの端縁に到達するようにしてもよい。 In these manufacturing methods, in the scribing step, the unit extension line may reach an edge of the mother glass.

このようにすれば、スクライブチップが単位延出線に沿って凹状線を形成する際に、マザーガラスの中央側領域から端縁に向かって凹状線を形成していくようにした場合に有利となる。すなわち、この場合には、スクライブチップがマザーガラスの端縁を通過する時点で、スクライブチップにより当該端縁に切り込み(傷や欠け等)を入れて初期クラックを形成することができる。そのため、初期クラックを他の工具等を用いて別途形成する必要がなくなり、スクライブ線を形成する作業の簡略化が図られる。 This is advantageous when the scribe chip forms a concave line along the unit extension line from the central region of the mother glass toward the edge. Become. That is, in this case, when the scribe tip passes the edge of the mother glass, the scribe tip can make a cut (a scratch, a chip, etc.) on the edge to form an initial crack. Therefore, there is no need to separately form initial cracks using other tools, and the work for forming scribe lines can be simplified.

本発明によれば、マザーガラスの表面に閉曲線を含む形態のスクライブ線を形成するスクライブ工程で、ラテラルクラックの発生を抑止しつつ、塑性変形による凹状線の全長に亘って初期クラックを円滑に伸展させることができる。 According to the present invention, in the scribing process of forming a scribe line including a closed curve on the surface of the mother glass, the initial crack can be smoothly extended over the entire length of the concave line due to plastic deformation while suppressing the occurrence of lateral cracks. can be done.

本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法の手順を示す工程図である。It is a process diagram showing the procedure of a method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法で用いるマザーガラスを示す斜視図である。1 is a perspective view showing a mother glass used in a method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法で用いるスクライブチップの主要部を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing the main parts of a scribe tip used in the method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法で用いるスクライブチップの作用を示す概略側面図である。FIG. 2 is a schematic side view showing the action of a scribe tip used in the method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法によりマザーガラスの表面に形成された凹状線を示す縦断正面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional front view showing concave lines formed on the surface of mother glass by the method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法で用いるスクライブチップの主要部の他の例、及び当該製造方法によりマザーガラスの表面に形成された凹状線の他の例を示す縦断正面図である。FIG. 7 is a longitudinal sectional front view showing another example of the main part of the scribe chip used in the method for manufacturing a glass plate according to the embodiment of the present invention, and another example of the concave line formed on the surface of the mother glass by the manufacturing method. . 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法で用いるマザーガラスの表面の切断予定線を説明するための平面図である。FIG. 3 is a plan view for explaining a planned cutting line on the surface of the mother glass used in the method for manufacturing a glass plate according to the embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法によりマザーガラスにスクライブ線を形成する過程を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a process of forming scribe lines on mother glass by a method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法によりマザーガラスに初期クラックが形成された状態を示す縦断正面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional front view showing a state in which initial cracks are formed in mother glass by the method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法によりマザーガラスに形成された初期クラックが伸展する過程を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a process in which an initial crack formed in mother glass expands by the method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法によりマザーガラスにスクライブ線が形成された状態を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a state in which scribe lines are formed on mother glass by a method for manufacturing a glass plate according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法の第一の変形例によりマザーガラスにスクライブ線が形成された状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state where the scribe line was formed in mother glass by the first modification of the manufacturing method of the glass plate based on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法の第二の変形例によりマザーガラスにスクライブ線が形成された状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state in which the scribe line was formed in mother glass by the second modification of the manufacturing method of the glass plate based on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法の第三の変形例によりマザーガラスにスクライブ線が形成された状態を示す平面図である。It is a top view which shows the state where the scribe line was formed in mother glass by the third modification of the manufacturing method of the glass plate based on embodiment of this invention. 図15(a)は、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法によりマザーガラスを折割る過程を示す平面図であり、図15(b)は、図15(a)のZ-Z線に従って切断した断面図である。FIG. 15(a) is a plan view showing the process of breaking the mother glass by the method of manufacturing a glass plate according to the embodiment of the present invention, and FIG. 15(b) is a plan view taken along the ZZ line in FIG. 15(a). FIG. 図16(a)は、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法によりマザーガラスを折割る過程を示す拡大縦断正面図であり、図16(b)は、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法によりマザーガラスの折割りが完了した状態を示す拡大縦断正面図である。FIG. 16(a) is an enlarged longitudinal sectional front view showing the process of breaking the mother glass according to the method of manufacturing a glass plate according to the embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 3 is an enlarged longitudinal sectional front view showing a state in which the mother glass has been completely broken by the plate manufacturing method.

以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法について添付図面を参照して説明する。 EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the manufacturing method of the glass plate based on embodiment of this invention is demonstrated with reference to an accompanying drawing.

図1に示すように、ガラス板の製造方法は、マザーガラスとスクライブチップとを準備する準備工程1と、マザーガラスの表面の切断予定線に沿ってスクライブ線を形成するスクライブ工程2と、マザーガラスをスクライブ線に沿って折割ることでマザーガラスからガラス板を分離させる折割工程3とを備える。 As shown in FIG. 1, the method for manufacturing a glass plate includes a preparation step 1 of preparing a mother glass and a scribe chip, a scribing step 2 of forming a scribe line along a planned cutting line on the surface of the mother glass, and a scribing step 2 of forming a scribe line along a planned cutting line on the surface of the mother glass. A breaking step 3 is provided in which the glass plate is separated from the mother glass by breaking the glass along the scribe line.

図2は、準備工程1で準備されるマザーガラスGを例示している。マザーガラスGは、矩形をなすものであって、その表面Ghにおける切断予定線4は、閉曲線4Rを含んでいる。マザーガラスGのサイズは、特に限定されないが、一辺の長さが50mm以上であることが好ましく、また、厚みtは、0.01mm~1mmであることが好ましく、0.01mm~0.7mmであることがより好ましい。 FIG. 2 illustrates the mother glass G prepared in the preparation step 1. The mother glass G has a rectangular shape, and the planned cutting line 4 on the surface Gh includes a closed curve 4R. The size of the mother glass G is not particularly limited, but it is preferable that the length of one side is 50 mm or more, and the thickness t is preferably 0.01 mm to 1 mm, and 0.01 mm to 0.7 mm. It is more preferable that there be.

図3及び図4は、準備工程1で準備されるスクライブチップ5を例示している。スクライブチップ5は、ペンシル型のものであって、シャンク5aと、シャンク5aの端部に固定されるチップ5bとを有する。シャンク5aを保持するホルダ5cは、スクライブチップ5を上下方向及び水平方向に移動させる。また、ホルダ5cは、マザーガラスGに対するシャンク5aの傾斜角度を自在に変更できる。 3 and 4 illustrate the scribe tip 5 prepared in the preparation step 1. The scribing tip 5 is of a pencil type and has a shank 5a and a tip 5b fixed to the end of the shank 5a. The holder 5c holding the shank 5a moves the scribing tip 5 vertically and horizontally. Moreover, the holder 5c can freely change the inclination angle of the shank 5a with respect to the mother glass G.

チップ5bは、例えば単結晶または多結晶のダイヤモンドチップであることが好ましいが、PCBN、セラミック、または超硬合金その他の金属で構成してもよい。チップ5bの形状は、端面5dが平面状をなす円錐台状であって、チップ5bの端部には、マザーガラスGに接触する平面視で円弧状の押圧部5eが形成されている。詳しくは、押圧部5eは、チップ5bにおける軸方向先端の端面5dの縁部である。この場合、スクライブチップ5は、マザーガラスGの表面Ghに対して傾斜した状態(傾斜角度は、例えば30°~85°)で移動する。この傾斜状態での移動時に押圧部5e(端面5dの縁部)がマザーガラスGの表面Ghを押圧しつつ矢印X方向に移動することで、当該表面Ghに塑性変形が生じ、この塑性変形部に凹状線6が形成される。押圧部5eの半径(曲率半径)は、0.001mm~1mmであることが好ましく、0.025mm~0.5mmであることがより好ましい。 The tip 5b is preferably a monocrystalline or polycrystalline diamond tip, for example, but may also be made of PCBN, ceramic, cemented carbide, or other metal. The shape of the chip 5b is a truncated cone shape with a planar end surface 5d, and a pressing portion 5e that contacts the mother glass G and has an arc shape in plan view is formed at the end of the chip 5b. Specifically, the pressing portion 5e is the edge of the end surface 5d at the axial tip of the chip 5b. In this case, the scribe tip 5 moves in an inclined state (the inclination angle is, for example, 30° to 85°) with respect to the surface Gh of the mother glass G. During movement in this inclined state, the pressing portion 5e (edge of the end surface 5d) moves in the direction of the arrow X while pressing the surface Gh of the mother glass G, causing plastic deformation on the surface Gh, and this plastic deformation portion A concave line 6 is formed. The radius (radius of curvature) of the pressing portion 5e is preferably 0.001 mm to 1 mm, more preferably 0.025 mm to 0.5 mm.

図5は、断面が湾曲形状をなす凹状線6の周辺状態を示す図(凹状線6が延びる方向と直角な断面図)である。同図に示すように、凹状線6の深さD1は、例えば、300nm~500nmとされ、凹状線6の幅W1は、例えば、15μm~30μmとされる。凹状線6の内部には、塑性変形による圧縮応力層7が形成され、圧縮応力層7よりも内側の内部領域に、引張応力層8が形成される。また、凹状線6の幅方向の端部には、塑性変形により、表面Ghから突出する突起部9が、凹状線6の全長に亘って形成される。この突起部9の表面Ghからの突出量hは、例えば、10nm~20nmとされる。 FIG. 5 is a diagram (a sectional view perpendicular to the direction in which the concave line 6 extends) showing the peripheral state of the concave line 6 having a curved cross section. As shown in the figure, the depth D1 of the concave line 6 is, for example, 300 nm to 500 nm, and the width W1 of the concave line 6 is, for example, 15 μm to 30 μm. A compressive stress layer 7 due to plastic deformation is formed inside the concave line 6, and a tensile stress layer 8 is formed in an internal region inside the compressive stress layer 7. In addition, at the ends of the concave lines 6 in the width direction, protrusions 9 that protrude from the surface Gh are formed over the entire length of the concave lines 6 by plastic deformation. The protrusion amount h of the protrusion 9 from the surface Gh is, for example, 10 nm to 20 nm.

この場合、スクライブチップ5としては、図6に示すように、シャンク5aの先端部分にV字型のチップ5bを有し、このチップ5bの先端が押圧部5eとされたものを使用することができる。このスクライブチップ5を使用する態様は、図4に示す態様と実質的に同一である。このスクライブチップ5を使用した場合には、図6に示すように、マザーガラスGの表面Ghに、断面がV字形状をなす凹状線9が形成され、この凹状線6の内部には、縦長の引張応力層8が形成される。以下の説明では、便宜上、既述の図3に示すスクライブチップ5を使用する場合を例に挙げる。 In this case, as the scribe tip 5, as shown in FIG. 6, it is possible to use a tip that has a V-shaped tip 5b at the tip of a shank 5a, and the tip of this tip 5b is used as a pressing part 5e. can. The mode of using this scribe tip 5 is substantially the same as the mode shown in FIG. 4. When this scribe tip 5 is used, a concave line 9 having a V-shaped cross section is formed on the surface Gh of the mother glass G, as shown in FIG. A tensile stress layer 8 is formed. In the following description, for convenience, the case where the scribe tip 5 shown in FIG. 3 described above is used will be taken as an example.

図7は、スクライブ工程2を実行する際に用いられるマザーガラスGの表面Ghを例示する平面図である。同図に示すように、マザーガラスGの表面Ghの切断予定線4は、矩形の四隅部が円弧状に湾曲した閉曲線4Rを含む。そして、切断予定線4は、太い鎖線で示す第一単位切断予定線4Aと、細い鎖線で示す第二単位切断予定線4Bとからなるものと仮定される。また、閉曲線4Rは、第一単位切断予定線4Aの第一単位閉曲線4R1と、第二単位切断予定線4Bの第二単位閉曲線4R2とからなるものと仮定される。第一単位閉曲線4R1は、2つの直線部分4A1、4A2と、2つの湾曲線部分4a1、4a2とからなるものと仮定される。第二単位閉曲線4R2は、2つの直線部分4B1、4B2と、2つの湾曲線部分4b1、4b2とからなるものと仮定される。さらに、第一単位切断予定線4Aは、第一単位閉曲線4R1の一端から閉曲線4Rの外側に延出する第一単位延出線4A3を有するものと仮定される。第二単位切断予定線4Bは、第二単位閉曲線4R2の一端から閉曲線4Rの外側に延出する第二単位延出線4B3を有するものと仮定される。この場合、第一単位延出線4A3は、直線部分4A1の一端(紙面の上側の端)からその直線部分4A1と同一直線に沿って延出してマザーガラスGの端縁(紙面の上側の端縁)Gxに到達している。また、第二単位延出線4B3は、直線部分4B1の一端(紙面の下側の端)からその直線部分4B1と同一直線に沿って延出してマザーガラスGの端縁(紙面の下側の端縁)Gyに到達している。 FIG. 7 is a plan view illustrating the surface Gh of the mother glass G used when performing the scribing step 2. As shown in the figure, the planned cutting line 4 on the surface Gh of the mother glass G includes a closed curve 4R in which the four corners of a rectangle are curved into circular arcs. The planned cutting line 4 is assumed to be composed of a first planned unit cutting line 4A shown by a thick chain line and a second planned unit cutting line 4B shown by a thin chain line. Further, the closed curve 4R is assumed to be composed of a first unit closed curve 4R1 of the first unit cutting planned line 4A and a second unit closed curve 4R2 of the second unit cutting planned line 4B. It is assumed that the first unit closed curve 4R1 consists of two straight line portions 4A1 and 4A2 and two curved line portions 4a1 and 4a2. The second unit closed curve 4R2 is assumed to consist of two straight line portions 4B1 and 4B2 and two curved line portions 4b1 and 4b2. Furthermore, it is assumed that the first unit cutting line 4A has a first unit extension line 4A3 extending from one end of the first unit closed curve 4R1 to the outside of the closed curve 4R. It is assumed that the second unit cutting line 4B has a second unit extension line 4B3 extending from one end of the second unit closed curve 4R2 to the outside of the closed curve 4R. In this case, the first unit extension line 4A3 extends from one end of the straight portion 4A1 (the upper end in the paper) along the same straight line as the straight portion 4A1, and extends from the edge of the mother glass G (the upper end in the paper). Edge) Gx has been reached. Further, the second unit extension line 4B3 extends from one end of the straight portion 4B1 (the lower end in the paper) along the same straight line as the straight portion 4B1, and extends from the edge of the mother glass G (the lower end in the paper). edge) has reached Gy.

スクライブ工程2では、上記のマザーガラスGに対して、先ず図8に示すように、第一単位切断予定線4Aに沿ってスクライブチップ5を押圧させつつ移動させることで、塑性変形による第一単位凹状線6Aを形成する。詳述すると、スクライブチップ5は、第一単位切断予定線4Aの始点4Ax(湾曲線部分4a2の一端)から、湾曲線部分4a2、直線部分4A2、湾曲線部分4a1、直線部分4A1、及び第一単位延出線4A3の上を、矢印Aで示す方向に移動し、第一単位切断予定線4Aの終点4Ay(第一単位延出線4A3の一端)に至る。これにより、既述の図5に示すような断面の態様をなす第一単位凹状線6Aが形成される。この場合、第一単位凹状線6Aの終点6Ayでは、スクライブチップ5がマザーガラスGの端縁Gxに切り込み(傷や欠け等)を入れることで、第一単位凹状線6Aの終点6Ayにおいては、図9に示すように、第一初期クラック10が引張応力層8内に形成される。この後の時間経過に伴って、第一初期クラック10が、引張応力層8の引張応力の作用により、第一単位凹状線6Aに沿って伸展することで、第一単位凹状線6の全長に沿う第一単位スクライブ線11Aが形成される。この第一初期クラック10の伸展は、図10に矢印Yで示すように、第一単位凹状線6Aの終点6Ayを始点として開始し、図8に示す第一単位凹状線6Aの始点6Axを終点として完了する。この第一単位スクライブ線11Aは、第一初期クラック10が引張応力層8内を伸展することで形成される。したがって、第一単位スクライブ線11Aは、圧縮応力層7の存在によってマザーガラスGの表面Gh(凹状線6Aの表面)に到達していない。なお、この第一単位スクライブ線11Aは、スクライブチップ5の押圧力を小さくして圧縮応力層7の厚みを薄くすることで、マザーガラスGの表面Ghに到達するようにしてもよい(後述する第二単位スクライブ線11Bも同様)。 In the scribing step 2, as shown in FIG. 8, the scribing tip 5 is moved while pressing the mother glass G along the first unit cutting line 4A, thereby forming the first unit by plastic deformation. A concave line 6A is formed. Specifically, the scribe tip 5 cuts from the starting point 4Ax (one end of the curved line portion 4a2) of the first unit cutting planned line 4A to the curved line portion 4a2, the straight line portion 4A2, the curved line portion 4a1, the straight line portion 4A1, and the first unit cutting line 4A. It moves on the unit extension line 4A3 in the direction shown by the arrow A, and reaches the end point 4Ay of the first unit cutting planned line 4A (one end of the first unit extension line 4A3). As a result, the first unit concave line 6A having a cross-sectional shape as shown in FIG. 5 described above is formed. In this case, at the end point 6Ay of the first unit concave line 6A, the scribe tip 5 makes a cut (a scratch, a chip, etc.) on the edge Gx of the mother glass G, so that at the end point 6Ay of the first unit concave line 6A, As shown in FIG. 9, a first initial crack 10 is formed in the tensile stress layer 8. As time passes thereafter, the first initial crack 10 extends along the first unit concave line 6A due to the action of the tensile stress of the tensile stress layer 8, thereby extending the entire length of the first unit concave line 6. A first unit scribe line 11A is formed along the line. The extension of this first initial crack 10 starts from the end point 6Ay of the first unit concave line 6A as shown by the arrow Y in FIG. 10, and ends at the start point 6Ax of the first unit concave line 6A shown in FIG. Complete as. The first unit scribe line 11A is formed by the first initial crack 10 extending within the tensile stress layer 8. Therefore, the first unit scribe line 11A does not reach the surface Gh of the mother glass G (the surface of the concave line 6A) due to the presence of the compressive stress layer 7. Note that this first unit scribe line 11A may be made to reach the surface Gh of the mother glass G by reducing the pressing force of the scribe tip 5 and reducing the thickness of the compressive stress layer 7 (described later). The same applies to the second unit scribe line 11B).

次いで、スクライブ工程2では、上記の場合と同様にして、図11に示すように、スクライブチップ5を用いて、第二単位切断予定線4Bの始点4Bxから終点4Byに向かってその全長に沿う塑性変形による第二単位凹状線6Bを形成する。詳述すると、この第二単位凹状線6Bの形成は、スクライブチップ5が、湾曲線部分4b2、直線部分4B2、湾曲線部分4b1、直線部分4B1、及び第二単位延出線4B3の上を、矢印Bで示す方向に移動することで行われる。その後、第二単位凹状線6Bの終点6Byに図9に示すような第二初期クラック12を形成し、然る後、第二単位凹状線6Bの終点6Byから始点6Bxに向かって初期クラック12を伸展させることで(図10参照)、図11に示す第二単位凹状線6Bの全長に沿う第二単位スクライブ線11Bを形成する。以上の結果、マザーガラスGには、第一単位スクライブ線11Aと第二単位スクライブ線11Bとが連続して繋がったスクライブ線11、すなわち閉曲線4Rを含む切断予定線4の全長に沿うスクライブ線11が形成される。 Next, in the scribing step 2, as shown in FIG. 11, in the scribing step 2, as shown in FIG. A second unit concave line 6B is formed by deformation. To be more specific, the second unit concave line 6B is formed by the scribing tip 5 moving over the curved line portion 4b2, the straight line portion 4B2, the curved line portion 4b1, the straight line portion 4B1, and the second unit extension line 4B3. This is done by moving in the direction shown by arrow B. Thereafter, a second initial crack 12 as shown in FIG. 9 is formed at the end point 6By of the second unit concave line 6B, and then an initial crack 12 is formed from the end point 6By of the second unit concave line 6B toward the start point 6Bx. By stretching (see FIG. 10), a second unit scribe line 11B is formed along the entire length of the second unit concave line 6B shown in FIG. As a result of the above, the mother glass G has a scribe line 11 in which the first unit scribe line 11A and the second unit scribe line 11B are continuously connected, that is, a scribe line 11 along the entire length of the planned cutting line 4 including the closed curve 4R. is formed.

ここで説明したスクライブ工程2では、第一単位凹状線6Aを形成した後に第二単位凹状線6Bを形成したが、第一初期クラック10の伸展が完了した後に第二初期クラック12の伸展が開始するのであれば、この2つの単位凹状線6A、6Bを形成する時期は、重複していてもよい。また、この2つの単位凹状線6A、6Bを形成するためのスクライブチップ5は、同一のものを兼用しもよく、別々のものであってもよい。 In the scribing step 2 described here, the second unit concave line 6B is formed after the first unit concave line 6A is formed, but the second initial crack 12 starts to expand after the first initial crack 10 has finished expanding. If so, the two unit concave lines 6A and 6B may be formed at the same time. Further, the scribe chips 5 for forming the two unit concave lines 6A and 6B may be the same or different ones.

以上のようなスクライブ工程2によれば、以下に示すような作用効果を奏する。すなわち、第一単位凹状線6A及び第二単位凹状線6Bは何れも、押圧による塑性変形によって形成されるものであるため、マザーガラスGの表面Ghにラテラルクラックが発生し難くなる。また、2つの初期クラック10、12が2つの単位凹状線6A、6Bに沿って別々に伸展するため、切断予定線4に沿うスクライブ線11を形成するには、2つの初期クラック10、12を2つの単位凹状線6A、6Bのトータル長さの半分だけ伸展させれば済む。これにより、2つの単位凹状線6A、6Bをトータルした凹状線の全長に亘って1つの初期クラックを伸展させる場合に生じ得る弊害、すなわち初期クラックの伸展が当該凹状線の途中で停止する弊害が生じ難くなる。その結果、マザーガラスGの廃棄量が減少するなどして、製品歩留まりの向上並びに生産効率の改善が図られる。 According to the scribing step 2 as described above, the following effects are achieved. That is, since both the first unit concave line 6A and the second unit concave line 6B are formed by plastic deformation due to pressure, lateral cracks are less likely to occur on the surface Gh of the mother glass G. Furthermore, since the two initial cracks 10 and 12 extend separately along the two unit concave lines 6A and 6B, in order to form the scribe line 11 along the planned cutting line 4, the two initial cracks 10 and 12 are extended separately. It is sufficient to extend only half of the total length of the two unit concave lines 6A and 6B. This eliminates the problem that may occur when one initial crack extends over the entire length of the concave line, which is the total length of the two unit concave lines 6A and 6B, that is, the problem that the extension of the initial crack stops in the middle of the concave line. It becomes difficult to occur. As a result, the amount of discarded mother glass G is reduced, thereby improving product yield and production efficiency.

また、切断予定線4の閉曲線4Rにおける湾曲線部分では、初期クラックが特に伸展し難くなるため、一つの初期クラックについて上述の例のように四つの湾曲線部分4a1、4a2、4b1、4b2を伸展させようとすれば、初期クラックの伸展が停止する確率が大きくなる。しかし、ここでのスクライブ工程2では、一つの初期クラックについて2つの湾曲線部分を伸展させるだけで済むため、初期クラックの伸展が停止する確率を小さくすることができる。 In addition, since the initial crack is particularly difficult to extend in the curved portion of the closed curve 4R of the planned cutting line 4, the four curved portions 4a1, 4a2, 4b1, and 4b2 are extended for one initial crack as in the above example. If you try to do so, the probability that the initial crack will stop growing increases. However, in the scribing step 2 here, it is sufficient to extend only two curved portions for one initial crack, so that the probability that the extension of the initial crack stops can be reduced.

さらに、ここでのスクライブ工程2では、第一単位閉曲線4R1の直線部分4A1と第一単位延出線4A3とが一直線上に連なり、第二単位閉曲線4R2の直線部分4B1と第二単位延出線4B3とが一直線上に連なっているため、それらの連なり部に形成される凹状線部分に沿って初期クラック10、12をそれぞれ円滑に伸展させることができる。また、第一単位延出線4A3が、第二単位閉曲線4R2の湾曲線部分4b2の接線に沿って延出し、第二単位延出線4B3が、第一単位閉曲線4R1の湾曲線部分4a2の接線に沿って延出しているため、2つの単位スクライブ線11A、11Bの繋がり部分を滑らかに形成することができる。したがって、2つの単位スクライブ線11A、11Bの繋がり部分が滑らかに形成されない場合には、その繋がり部分に欠陥等が発生し得るが、ここでのスクライブ工程2によれば、そのような不具合が生じ難くなる。 Furthermore, in the scribing step 2 here, the straight part 4A1 of the first unit closed curve 4R1 and the first unit extension line 4A3 are connected in a straight line, and the straight part 4B1 of the second unit closed curve 4R2 and the second unit extension line are connected in a straight line. 4B3 are connected in a straight line, so that the initial cracks 10 and 12 can each be extended smoothly along the concave line portion formed in the continuous portion. Further, the first unit extension line 4A3 extends along the tangent to the curved line portion 4b2 of the second unit closed curve 4R2, and the second unit extension line 4B3 extends along the tangent to the curved line portion 4a2 of the first unit closed curve 4R1. , the connecting portion between the two unit scribe lines 11A and 11B can be formed smoothly. Therefore, if the connecting portion between the two unit scribe lines 11A and 11B is not formed smoothly, defects may occur in the connecting portion, but according to the scribing process 2 here, such defects will not occur. It becomes difficult.

また、ここでのスクライブ工程2では、2つの単位延出線4A3、4B3が、マザーガラスGの端縁Gx、Gyにそれぞれ到達しているため、スクライブチップ5を用いて2つの初期クラック10、12を形成することができる。そのため、これらの初期クラック10、12を他の工具を使用して別途形成する必要がなくなり、スクライブ線11を形成する作業の簡略化が図られる。 In addition, in the scribing step 2 here, since the two unit extension lines 4A3 and 4B3 have reached the edges Gx and Gy of the mother glass G, respectively, the two initial cracks 10 and 12 can be formed. Therefore, there is no need to separately form these initial cracks 10 and 12 using other tools, and the work for forming the scribe line 11 is simplified.

図12は、スクライブ工程2の第一の変形例を示すものである。この第一の変形例は、マザーガラスGの表面Ghに、4つの単位凹状線6C、6D、6E、6Fを別々に形成し、それらの単位凹状線6C~6Fに沿って別々に初期クラックを伸展させることで、4つの単位スクライブ線11C、11D、11E、11Fが連続して繋がったスクライブ線11を形成したものである。詳述すると、第一単位スクライブ線11Cは、切断予定線4の湾曲線部分4C1と直線部分4C2と第一単位延出線4C3との上を、矢印Cで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。第二単位スクライブ線11Dは、切断予定線4の湾曲線部分4D1と直線部分4D2と第二単位延出線4D3との上を、矢印Dで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。第三単位スクライブ線11Eは、切断予定線4の湾曲線部分4E1と直線部分4E2と第三単位延出線4E3との上を、矢印Eで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。第四単位スクライブ線11Fは、切断予定線4の湾曲線部分4F1と直線部分4F2と第四単位延出線4F3との上を、矢印Fで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。なお、閉曲線4Rの形状は、既述の図7に示す閉曲線4Rと同一である。また、4つの単位凹状線6C~6Fを別々に形成する処理、4つの初期クラックを別々に形成する処理、及び4つの単位凹状線6C~6Fに沿って別々に4つの初期クラックを伸展させる処理は、既に詳細に説明した事項に基づく。 FIG. 12 shows a first modification of the scribing process 2. In this first modification, four unit concave lines 6C, 6D, 6E, and 6F are separately formed on the surface Gh of the mother glass G, and initial cracks are separately formed along these unit concave lines 6C to 6F. By stretching, a scribe line 11 is formed in which four unit scribe lines 11C, 11D, 11E, and 11F are continuously connected. Specifically, the first unit scribe line 11C is such that the scribe tip 5 moves in the direction indicated by the arrow C on the curved line portion 4C1, the straight line portion 4C2, and the first unit extension line 4C3 of the planned cutting line 4. It was formed by this. The second unit scribe line 11D is formed by moving the scribe tip 5 in the direction shown by the arrow D on the curved part 4D1, the straight part 4D2, and the second unit extension line 4D3 of the planned cutting line 4. It is something that The third unit scribe line 11E is formed by moving the scribe tip 5 in the direction shown by the arrow E on the curved part 4E1, the straight part 4E2, and the third unit extension line 4E3 of the planned cutting line 4. It is something that The fourth unit scribe line 11F is formed by moving the scribe tip 5 in the direction shown by the arrow F on the curved part 4F1, the straight part 4F2, and the fourth unit extension line 4F3 of the planned cutting line 4. It is something that Note that the shape of the closed curve 4R is the same as the closed curve 4R shown in FIG. 7 described above. Further, a process of separately forming four unit concave lines 6C to 6F, a process of separately forming four initial cracks, and a process of separately extending four initial cracks along four unit concave lines 6C to 6F. is based on the matters already explained in detail.

図13は、スクライブ工程2の第二の変形例を示すものである。この第二の変形例は、マザーガラスGの表面Ghにおいて、閉曲線4Rを円形とした上で、2つの単位凹状線6H、6Iを別々に形成し、それらの単位凹状線6H、6Iに沿って別々に初期クラックを伸展させることで、2つの単位スクライブ線11H、11Iが連続して繋がったスクライブ線11を形成したものである。詳述すると、第一単位スクライブ線11Hは、切断予定線4の半円形部分4H1と、その一端から直線状に延びる第一単位延出線4H2との上を、矢印Hで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。また、第二単位スクライブ線11Iは、切断予定線4の半円形部分4I1と、その一端から直線状に延びる第二単位延出線4I2との上を、矢印Iで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。なお、2つの単位凹状線6H、6Iを別々に形成する処理、2つの初期クラックを別々に形成する処理、及び2つの単位凹状線6H、6Iに沿って別々に4つの初期クラックを伸展させる処理は、既に詳細に説明した事項に基づく。 FIG. 13 shows a second modification of the scribing process 2. In this second modification, on the surface Gh of the mother glass G, the closed curve 4R is made circular, two unit concave lines 6H and 6I are separately formed, and the unit concave lines 6H and 6I are By extending initial cracks separately, a scribe line 11 in which two unit scribe lines 11H and 11I are continuously connected is formed. Specifically, the first unit scribe line 11H is a scribe tip in the direction shown by the arrow H above the semicircular portion 4H1 of the planned cutting line 4 and the first unit extension line 4H2 extending linearly from one end of the semicircular portion 4H1. 5 was formed by moving. Further, the second unit scribe line 11I is such that the scribe tip 5 moves in the direction indicated by the arrow I above the semicircular portion 4I1 of the planned cutting line 4 and the second unit extension line 4I2 extending linearly from one end of the semicircular portion 4I1. It is formed by movement. In addition, a process of separately forming two unit concave lines 6H and 6I, a process of separately forming two initial cracks, and a process of separately extending four initial cracks along two unit concave lines 6H and 6I. is based on the matters already explained in detail.

図14は、スクライブ工程2の第三の変形例を示すものである。この第三の変形例は、マザーガラスGの表面Ghにおいて、上記と同様に閉曲線4Rを円形とした上で、4つの単位凹状線6J、6K、6L、6Mを別々に形成し、それらの単位凹状線6J~6Mに沿って別々に初期クラックを伸展させることで、4つの単位スクライブ線11J、11K、11L、11Mが連続して繋がったスクライブ線11を形成したものである。詳述すると、第一単位スクライブ線11Jは、切断予定線4の四分円形部分4J1と、その一端から直線状に延びる第一単位延出線4J2との上を、矢印Jで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。第二単位スクライブ線11Kは、切断予定線4の四分円形部分4K1と、その一端から直線状に延びる第二単位延出線4K2との上を、矢印Kで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。第三単位スクライブ線11Lは、切断予定線4の四分円形部分4L1と、その一端から直線状に延びる第三単位延出線4L2との上を、矢印Lで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。第四単位スクライブ線11Mは、切断予定線4の四分円形部分4M1と、その一端から直線状に延びる第四単位延出線4M2との上を、矢印Mで示す方向にスクライブチップ5が移動することで形成されたものである。なお、4つの単位凹状線6J~6Mを別々に形成する処理、4つの初期クラックを別々に形成する処理、及び4つの単位凹状線6J~6Mに沿って別々に初期クラックを伸展させる処理は、既に詳細に説明した事項に基づく。 FIG. 14 shows a third modification of the scribing process 2. In this third modification, on the surface Gh of the mother glass G, the closed curve 4R is made circular in the same way as above, and four unit concave lines 6J, 6K, 6L, and 6M are formed separately, and these units are A scribe line 11 in which four unit scribe lines 11J, 11K, 11L, and 11M are continuously connected is formed by extending initial cracks separately along concave lines 6J to 6M. Specifically, the first unit scribe line 11J scribes in the direction shown by arrow J above the quarter-circular portion 4J1 of the planned cutting line 4 and the first unit extension line 4J2 extending linearly from one end thereof. It is formed by the movement of the chip 5. On the second unit scribe line 11K, the scribe tip 5 moves in the direction shown by the arrow K on the quarter-circular part 4K1 of the planned cutting line 4 and the second unit extension line 4K2 extending linearly from one end of the quarter-circular part 4K1. It was formed by On the third unit scribe line 11L, the scribe tip 5 moves in the direction indicated by the arrow L over the quarter-circular portion 4L1 of the planned cutting line 4 and the third unit extension line 4L2 extending linearly from one end thereof. It was formed by On the fourth unit scribe line 11M, the scribe tip 5 moves in the direction shown by the arrow M on the quarter-circular portion 4M1 of the planned cutting line 4 and the fourth unit extension line 4M2 extending linearly from one end thereof. It was formed by Note that the process of forming four unit concave lines 6J to 6M separately, the process of forming four initial cracks separately, and the process of extending initial cracks separately along four unit concave lines 6J to 6M are as follows: Based on what has already been explained in detail.

なお、既述の図11乃至図14に示した態様は、何れも、各単位延出線がマザーガラスの端縁に到達しているが、各単位延出線は、マザーガラスの端縁に到達していなくてもよい。この場合における初期クラックは、例えば、マザーガラスの表面で単位延出線を横切るようにスクライブホイールを押し付けて移動させることで形成することができる。また、各単位延出線を有しない構成とすることもできる。この場合における初期クラックは、例えば、各単位凹状線の一箇所にピン状部材などを別々に押し付けることで形成することができる。 In addition, in the embodiments shown in FIGS. 11 to 14 described above, each unit extension line reaches the edge of the mother glass, but each unit extension line does not reach the edge of the mother glass. It doesn't have to be reached. In this case, the initial crack can be formed, for example, by pressing and moving a scribe wheel across the unit extension line on the surface of the mother glass. Moreover, it is also possible to have a configuration in which each unit extension line is not provided. In this case, the initial crack can be formed, for example, by separately pressing a pin-shaped member or the like onto one location of each unit concave line.

次に、上記のスクライブ工程2の後に実行される折割工程3について説明する。この折割工程3は、負圧吸引を利用したものである。また、この折割工程3では、図11に示す形態のスクライブ線11が形成されたマザーガラスGを対象にして説明する。折割工程3の実行には、図15(a),(b)に示す支持部材13を用いる。支持部材13は、マザーガラスGを平置き姿勢で支持するための平坦な支持面13aを有し、この支持面13aに溝状の凹部14を備えている。凹部14は、マザーガラスGを支持部材13に支持させた際に、凹部14がスクライブ線11に沿って延びるように形成されている。なお、支持部材13は、マザーガラスGを載置した際に傷等が生じないようにするため、樹脂等で構成されることが好ましい。 Next, the folding process 3 executed after the above-mentioned scribing process 2 will be explained. This folding step 3 utilizes negative pressure suction. Further, this folding step 3 will be described with reference to the mother glass G on which the scribe line 11 of the form shown in FIG. 11 is formed. To execute the folding process 3, the support member 13 shown in FIGS. 15(a) and 15(b) is used. The support member 13 has a flat support surface 13a for supporting the mother glass G in a horizontal position, and is provided with a groove-shaped recess 14 on the support surface 13a. The recess 14 is formed so that the recess 14 extends along the scribe line 11 when the mother glass G is supported by the support member 13. Note that the support member 13 is preferably made of resin or the like in order to prevent scratches or the like from occurring when the mother glass G is placed thereon.

凹部14は、溝が延びる方向に直交する断面上において矩形の輪郭形状を有する。この凹部14の内壁面14aには多数の吸引用孔(図示略)が形成されており、各吸引用孔は真空ポンプ等の負圧発生源(図示略)と接続されている。これにより、マザーガラスGによって凹部14に蓋をした状態の下で負圧発生源を稼働させることで、吸引用孔を通じて凹部14内のガスを吸引して、凹部14内に負圧を発生させることが可能となっている。 The recess 14 has a rectangular profile in a cross section perpendicular to the direction in which the groove extends. A large number of suction holes (not shown) are formed in the inner wall surface 14a of the recess 14, and each suction hole is connected to a negative pressure generation source (not shown) such as a vacuum pump. As a result, by operating the negative pressure generation source while the recess 14 is covered with the mother glass G, gas within the recess 14 is sucked through the suction hole, and negative pressure is generated within the recess 14. It is now possible.

以上のような構成の装置を用いて折割工程3を実行する際には、図16(a),(b)に示すように、マザーガラスGの表面Gh(スクライブ線11が形成された側の面)が支持部材13の支持面13aと当接するように、マザーガラスGを支持部材13上に載置する。さらに、マザーガラスGに形成されたスクライブ線11が凹部14の開口幅の中央に位置するように、マザーガラスGを支持部材13上に載置する。加えて、支持部材13上のマザーガラスGをカバー部材15で覆う。カバー部材15は、可撓性および気密性を有するシート体16と、シート体16を保持する保持体17とを備えている。保持体17は、負圧が発生しても変形しないが、シート体16は負圧の発生により容易に撓む特性を有している。 When performing the folding step 3 using the apparatus configured as described above, as shown in FIGS. The mother glass G is placed on the support member 13 so that the mother glass G is in contact with the support surface 13a of the support member 13. Further, the mother glass G is placed on the support member 13 so that the scribe line 11 formed on the mother glass G is located at the center of the opening width of the recess 14. In addition, the mother glass G on the support member 13 is covered with the cover member 15. The cover member 15 includes a flexible and airtight sheet body 16 and a holder 17 that holds the sheet body 16. The holding body 17 does not deform even when negative pressure is generated, but the sheet body 16 has a characteristic that it easily bends when negative pressure is generated.

このような状態の下で、図16(a)に示すように、負圧発生源を稼働させ、密閉された状態にある凹部14内のガスを矢印Wで示すように吸引し、凹部14内に負圧を発生させる。そして、負圧を利用して凹部14上に存するスクライブ線11の周辺領域を表面Gh側が凸となるように湾曲させ、これに伴い発生した応力によりスクライブ線11に含まれるメディアンクラックをマザーガラスGの厚み方向に伸展させる。これにより、図16(b)に示すようにスクライブ線11を起点にマザーガラスGを折割り、マザーガラスGから閉曲線4Rを外輪郭形状とするガラス板G1を分離させる。このガラス板G1は、製品または製品の元になり、残りのガラス部分G2は不要部分になる。この負圧吸引による折割工程3によれば、ガラス板G1の割断面が高品位になる等の利点が得られる。 Under such conditions, as shown in FIG. 16(a), the negative pressure source is operated to suck the gas in the sealed recess 14 as shown by the arrow W, and the gas inside the recess 14 is generates negative pressure. Then, by using negative pressure, the peripheral area of the scribe line 11 existing on the recess 14 is curved so that the surface Gh side becomes convex, and the stress generated thereby causes the median crack included in the scribe line 11 to be removed from the mother glass G. Stretch in the thickness direction. Thereby, as shown in FIG. 16(b), the mother glass G is broken starting from the scribe line 11, and the glass plate G1 having an outer contour shape of the closed curve 4R is separated from the mother glass G. This glass plate G1 becomes the product or the source of the product, and the remaining glass portion G2 becomes an unnecessary portion. According to this breaking step 3 using negative pressure suction, advantages such as a high-quality broken surface of the glass plate G1 can be obtained.

本発明に係るガラス板の製造方法は、以上の実施形態で説明した態様に限定されるものではない。例えば、切断予定線の閉曲線の形状は上記例示した形状以外であってもよく、また、切断予定線が上記例示した個数以外の単位切断予定線からなるものと仮定してもよい。さらに、折割工程は、負圧吸引ではなく、マザーガラスの閉曲線の外側領域に工具等を押し付けて外力を作用させる方法などを採用してもよい。 The method for manufacturing a glass plate according to the present invention is not limited to the aspects described in the above embodiments. For example, the shape of the closed curve of the planned cutting line may be other than the shape exemplified above, or it may be assumed that the planned cutting line consists of a number of unit cutting planned lines other than the number exemplified above. Furthermore, the breaking process may employ a method of applying an external force by pressing a tool or the like to the outer region of the closed curve of the mother glass, instead of using negative pressure suction.

1 準備工程
2 スクライブ工程
3 折割工程
4 切断予定線
4A 単位切断予定線
4A3 単位延出線
4B 単位切断予定線
4B3 単位延出線
4R 閉曲線
4R1 単位閉曲線
4R2 単位閉曲線
5 スクライブチップ
6 凹状線
6A 単位凹状線
6B 単位凹状線
10 初期クラック
11 スクライブ線
11A 単位スクライブ線
11B 単位スクライブ線
12 初期クラック
G マザーガラス
G1 ガラス板
Gh ガラス板の表面
Gx ガラス板の端縁
Gy ガラス板の端縁
1 Preparation process 2 Scribe process 3 Folding process 4 Cutting plan line 4A Unit cutting plan line 4A3 Unit extension line 4B Unit cutting plan line 4B3 Unit extension line 4R Closed curve 4R1 Unit closed curve 4R2 Unit closed curve 5 Scribe tip 6 Concave line 6A Unit Concave line 6B Unit concave line 10 Initial crack 11 Scribe line 11A Unit scribe line 11B Unit scribe line 12 Initial crack G Mother glass G1 Glass plate Gh Surface of glass plate Gx Edge of glass plate Gy Edge of glass plate

Claims (6)

マザーガラスと、前記マザーガラスの表面を押圧しつつ移動することで該マザーガラスの表面に塑性変形による凹状線を形成するために用いるスクライブチップとを準備する準備工程と、前記マザーガラスの表面の閉曲線を含む切断予定線に沿ってスクライブ線を形成するスクライブ工程と、前記マザーガラスを前記スクライブ線に沿って折割ることで、前記マザーガラスから前記閉曲線に対応する外輪郭形状をなすガラス板を分離させる折割工程と、を備え、
前記スクライブ工程では、前記マザーガラスの表面で、前記閉曲線が、連続して繋がる複数の単位閉曲線からなるものと仮定すると共に、前記切断予定線が、前記複数の単位閉曲線を別々に含む複数の単位切断予定線からなるものと仮定して、前記複数の単位切断予定線に沿って別々に前記スクライブチップを押圧させつつ移動させることで、前記複数の単位切断予定線ごとに塑性変形による単位凹状線をそれぞれ形成し、然る後、それらの単位凹状線にそれぞれ対応する初期クラックを形成して、それらの初期クラックをそれらの単位凹状線に沿って別々に伸展させることで、複数の単位スクライブ線が連続して繋がった前記スクライブ線を形成することを特徴とするガラス板の製造方法。
a preparation step of preparing a mother glass and a scribing tip used to press and move the surface of the mother glass to form a concave line by plastic deformation on the surface of the mother glass; A scribing step of forming a scribe line along a planned cutting line including a closed curve, and breaking the mother glass along the scribe line to produce a glass plate having an outer contour shape corresponding to the closed curve from the mother glass. A folding process for separating;
In the scribing step, it is assumed that on the surface of the mother glass, the closed curve is composed of a plurality of unit closed curves that are continuously connected, and the planned cutting line is composed of a plurality of units that separately include the plurality of unit closed curves. Assuming that the scribing tip consists of planned cutting lines, by moving the scribe tip while pressing it separately along the plurality of planned unit cutting lines, a unit concave line is formed by plastic deformation for each of the plurality of planned unit cutting lines. , and then forming initial cracks corresponding to the unit concave lines, respectively, and extending these initial cracks separately along the unit concave lines, thereby forming a plurality of unit scribe lines. A method for manufacturing a glass plate, comprising forming the scribe line in which the scribe lines are continuously connected.
前記スクライブ工程では、前記複数の単位切断予定線が、2つの単位切断予定線である請求項1に記載のガラス板の製造方法。 The method for manufacturing a glass plate according to claim 1, wherein in the scribing step, the plurality of planned unit cutting lines are two planned unit cutting lines. 前記スクライブ工程では、前記複数の単位閉曲線がそれぞれ、直線部分と湾曲線部分とを有する請求項1または2に記載のガラス板の製造方法。 3. The method for manufacturing a glass plate according to claim 1, wherein in the scribing step, each of the plurality of unit closed curves has a straight line portion and a curved line portion. 前記スクライブ工程では、前記複数の単位切断予定線が何れも、前記単位閉曲線と、前記単位閉曲線の一端から前記閉曲線の外側に延出する単位延出線とからなる請求項1~3の何れかに記載のガラス板の製造方法。 In the scribing step, each of the plurality of planned unit cutting lines comprises the unit closed curve and a unit extension line extending from one end of the unit closed curve to the outside of the closed curve. A method for manufacturing a glass plate as described in . 前記スクライブ工程では、前記複数の単位閉曲線のうち、一の単位閉曲線とこれに隣接する他の単位閉曲線とがそれぞれ、直線部分とこれに連なる湾曲線部分とを有し、前記一の単位閉曲線の一端から延出する単位延出線は、前記一の単位閉曲線の直線部分と同一直線に沿って延出し且つ前記他の単位閉曲線の湾曲線部分の接線に沿って延出する請求項4に記載のガラス板の製造方法。 In the scribing step, one unit closed curve and another adjacent unit closed curve among the plurality of unit closed curves each have a straight line part and a curved part continuous to this, and the unit closed curve of the one unit closed curve 5. The unit extension line extending from one end extends along the same straight line as the straight line part of the one unit closed curve and extends along the tangent to the curved part of the other unit closed curve. A method of manufacturing a glass plate. 前記スクライブ工程では、前記単位延出線が、前記マザーガラスの端縁に到達している請求項4または5に記載のガラス板の製造方法。 6. The method for manufacturing a glass plate according to claim 4, wherein in the scribing step, the unit extension line reaches an edge of the mother glass.
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