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JP7089402B2 - 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 - Google Patents

積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、積層セラミックコンデンサおよびその製造方法に関する。
積層セラミックコンデンサの基板への実装後、基板のたわみに起因する応力等によって、積層セラミックコンデンサにクラックが生じることがある。このクラックを抑制する技術が開示されている(例えば、特許文献1及び2参照)。特許文献1では、外部電極は、導電性樹脂層を下地層とめっき層とで挟み込む構造を有する。特許文献2では、端面と側面とでセラミック含有量が異なる金属層を形成することによって、外部電極と積層チップとの密着性をコントロールしている。
特開2001-76957号公報 特開2018-32788号公報
しかしながら、上記技術では、積層セラミックコンデンサの製造において、コストが増加するおそれがある。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、コストを抑えつつクラックの発生を抑制することができる積層セラミックコンデンサおよびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明に係る積層セラミックコンデンサは、セラミックを主成分とする誘電体層と、内部電極層と、が交互に積層され、積層された複数の前記内部電極層が交互に対向する2端面に露出するように形成され、略直方体形状を有する積層チップと、前記対向する2端面から前記積層チップの少なくともいずれかの側面にかけて形成された1対の外部電極と、を備え、前記1対の外部電極は、前記端面から前記少なくともいずれかの側面にかけて形成された、銅を主成分とする金属層と、前記金属層の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上の酸化物層と、を含み、前記少なくともいずれかの側面における前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率が、前記端面における前記被覆率よりも高い、ことを特徴とする。
上記積層セラミックコンデンサにおいて、前記少なくともいずれかの側面において、前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率が、20%以上であるとしてもよい。
上記積層セラミックコンデンサにおいて、前記少なくともいずれかの側面における前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率が、前記端面における前記被覆率よりも高くてもよい。
上記積層セラミックコンデンサにおいて、前記酸化物層は、前記金属層よりも前記積層チップの前記端面の対向方向の中心側まで延在し、前記少なくともいずれかの側面と接してもよい。
本発明に係る積層セラミックコンデンサの製造方法は、セラミック誘電体層グリーンシートと、内部電極層形成用導電ペーストと、を交互に積層し、積層された複数の内部電極層形成用導電ペーストを交互に対向する2端面に露出させることによって、略直方体形状のセラミック積層体を形成し、前記セラミック積層体に銅を主成分とする金属ペーストを塗布し、焼き付けることにより前記対向する2端面から前記セラミック積層体の少なくともいずれかの側面にかけて金属層を形成し、前記金属層を酸化させることにより、前記金属層の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上である酸化物層を形成する、工程を備え、前記少なくともいずれかの側面における前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率は、前記端面における前記被覆率よりも高い、ことを特徴とする。
本発明に係る積層セラミックコンデンサの製造方法は、セラミック誘電体層グリーンシートと、内部電極層形成用導電ペーストと、を交互に積層し、積層された複数の内部電極層形成用導電ペーストを交互に対向する2端面に露出させることによって、略直方体形状のセラミック積層体を形成し、前記セラミック積層体に銅を主成分とする金属ペーストを塗布し、得られたセラミック積層体を焼成することで、前記対向する2端面から前記セラミック積層体の少なくともいずれかの側面にかけて金属層を形成し、前記金属層を酸化させることにより、前記金属層の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上である酸化物層を形成する工程を備え、前記少なくともいずれかの側面における前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率は、前記端面における前記被覆率よりも高い、ことを特徴とする。
本発明によれば、コストを抑えつつクラックの発生を抑制することができる。
積層セラミックコンデンサの部分断面斜視図である。 図2(a)および図2(b)は比較形態に係る外部電極について説明するための図である。 図3(a)および図3(b)は実施形態に係る外部電極について説明するための図である。 被覆率について説明する図である。 図5は実施形態に係る外部電極の別例について説明するための図である。 積層セラミックコンデンサの製造方法のフローを例示する図である。 実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面の写真を描いた図である。 積層セラミックコンデンサの他の製造方法のフローを例示する図である。 図9(a)~図9(d)はそれぞれ、比較例及び実施例1~3の積層セラミックコンデンサの断面の写真を描いた図である。
以下、図面を参照しつつ、実施形態について説明する。
(実施形態)
まず、積層セラミックコンデンサについて説明する。図1は、積層セラミックコンデンサ100の部分断面斜視図である。図1で例示するように、積層セラミックコンデンサ100は、直方体形状を有する積層チップ10と、積層チップ10のいずれかの対向する2端面に設けられた外部電極20a,20bとを備える。なお、積層チップ10の当該2端面以外の4面を側面と称する。外部電極20a,20bは、4つの側面に延在している。ただし、外部電極20a,20bは、4つの側面において互いに離間している。
積層チップ10は、誘電体として機能するセラミック材料を含む誘電体層11と、卑金属材料を含む内部電極層12とが、交互に積層された構成を有する。各内部電極層12の端縁は、積層チップ10の外部電極20aが設けられた端面と、外部電極20bが設けられた端面とに、交互に露出している。それにより、各内部電極層12は、外部電極20aと外部電極20bとに、交互に導通している。その結果、積層セラミックコンデンサ100は、複数の誘電体層11が内部電極層12を介して積層された構成を有する。また、積層チップ10において、4つの側面のうち、誘電体層11と内部電極層12との積層方向(以下、積層方向と称する。)の上面と下面とに対応する2側面は、カバー層13によって覆われている。カバー層13は、セラミック材料を主成分とする。例えば、カバー層13の材料は、誘電体層11と同じである。
積層セラミックコンデンサ100のサイズは、例えば、長さ0.25mm、幅0.1mm、高さ0.3mmであり、または長さ0.6mm、幅0.3mm、高さ0.3mmであり、または長さ1.0mm、幅0.5mm、高さ0.5mmであり、または長さ3.2mm、幅1.6mm、高さ1.6mmであり、または長さ4.5mm、幅3.2mm、高さ2.5mmであるが、これらのサイズに限定されるものではない。
内部電極層12は、Ni(ニッケル),Cu(銅),Sn(スズ)等の卑金属を主成分とする。内部電極層12として、Pt(白金)、Pd(パラジウム)、Ag(銀)、Au(金)などの貴金属やこれらを含む合金を用いてもよい。誘電体層11は、一般式ABOで表されるペロブスカイト構造を有するセラミック材料を主成分とする。なお、当該ペロブスカイト構造は、化学量論組成から外れたABO3-αを含む。例えば、当該セラミック材料として、BaTiO(チタン酸バリウム)、CaZrO(ジルコン酸カルシウム)、CaTiO(チタン酸カルシウム)、SrTiO(チタン酸ストロンチウム)、ペロブスカイト構造を形成するBa1-x-yCaSrTi1-zZr(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦z≦1)等を用いることができる。
ここで、比較形態に係る外部電極200について説明する。図2(a)は、外部電極200の断面図であり、図1のA-A線の部分断面図である。なお、図2(a)では断面を表すハッチを省略している。図2(a)で例示するように、外部電極200は、下地層21上に、Cuめっき層22、導電性樹脂層23、Niめっき層24およびSnめっき層25が形成された構造を有する。下地層21、Cuめっき層22、導電性樹脂層23、Niめっき層24およびSnめっき層25は、積層チップ10の両端面から4つの側面に延在している。
下地層21は、Cu,Ni,Al(アルミニウム),Zn(亜鉛)などの金属を主成分とし、下地層21の緻密化のためのガラス成分や、下地層21の焼結性を制御するための共材を含む。これらのセラミック成分が多く含まれる下地層21は、セラミック材料を主成分とするカバー層13と良好な密着性を有する。導電性樹脂層23は、Agなどの金属フィラーを含む樹脂層である。導電性樹脂層23は、柔軟であるため、積層セラミックコンデンサ100が実装される基板のたわみによって生じる応力を緩和する。
しかしながら、導電性樹脂層23は、コーティング等によって形成されるため、厚くなる傾向にある。したがって、導電性樹脂層23を下地層21とめっき層とで挟み込む構造では、積層セラミックコンデンサ100の小型大容量化に不利になる。特に、低背品では、積層チップ10の側面部分の外部電極20a,20bの厚みの影響が大きくなる。また、導電性樹脂層23にはAg等の高価な金属が用いられるため、コストがかかる。そこで、導電性樹脂層23を含まない外部電極200aについて検討する。
図2(b)で例示するように、積層セラミックコンデンサを基板上に実装する場合、積層チップ10の両端面およびいずれかの側面の外部電極200aがハンダ50によって実装されることになる。この場合、基板にたわみが生じた場合に、当該たわみに起因する応力が積層チップ10の側面の外部電極200aに伝わる。それにより、図2(b)の破線で囲まれた領域に応力が生じる。その結果、積層チップ10にクラック60が発生することになる。
そこで、本実施形態においては、図3(a)で例示するように、外部電極20a,20bは、積層チップ10の少なくとも側面において、下地層21上に、酸化物層26、Niめっき層24およびSnめっき層25が形成された構造を有する。なお、図3(a)では、外部電極20bについて例示しているが、外部電極20aも同様の構造を有する。
下地層21は、Cuを主成分とし、下地層21の緻密化のためのガラス成分や、下地層21の焼結性を制御するための共材を含む。
下地層21上には、酸化銅(CuO,CuO)を主成分とし、最大厚みが0.5μm以上である酸化物層26が形成されている。酸化物層26は、下地層21よりも積層チップ10の端面の対向方向の内側まで延在し、積層チップ10の側面と接することが好ましい。
酸化銅を主成分とする酸化物層26と、下地層21との密着性は弱い。さらに、酸化物層26の最大厚みは0.5μm以上であるため、酸化物層26は下地層21から剥離しやすくなっている。それにより、図3(b)で例示するように、積層セラミックコンデンサ100が実装される基板にたわみが生じて応力が積層チップ10の側面に伝わると、酸化物層26が下地層21から剥離する。この場合、基板からの応力が積層チップ10に伝わることが抑制されるため、積層セラミックコンデンサ100のクラックが抑制されることになる。
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサ100によれば、セラミックを主成分とする誘電体層11と、内部電極層12と、が交互に積層され、積層された複数の内部電極層12が交互に対向する2端面に露出するように形成され、略直方体形状を有する積層チップ10と、対向する2端面から積層チップ10の少なくともいずれかの側面にかけて形成された1対の外部電極20a,20bと、を備え、1対の外部電極20a,20bは、端面から少なくともいずれかの側面にかけて形成された、銅を主成分とする下地層21と、下地層21の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上である酸化物層26と、を含む。酸化銅を主成分とする酸化物層26と、下地層21との密着性は弱い。さらに、酸化物層26の最大厚みが0.5μm以上であるため、酸化物層26は下地層21から剥離しやすくなっている。それにより、積層セラミックコンデンサ100が実装される基板にたわみが生じて応力が積層チップ10の側面に伝わると、酸化物層26が下地層21から剥離する。この場合、基板からの応力が積層チップ10に伝わることが抑制されるため、積層セラミックコンデンサ100のクラックが抑制されることになる。
剥離しやすさの観点から、側面における酸化物層26による下地層21の被覆率は、20%以上であることが好ましい。ここで、酸化物層26による下地層21の被覆率は、図4で例示するように、ある下地層21における面積A0の観察領域において、酸化物層26の面積A1,A2,・・・,Anを測定して合計し、下地層21の単位面積当たりの酸化物層26の面積の割合ΣAn/A0として定義できる。
導通性及び密着性を確保する観点から、酸化物層26の最大厚みが2.0μm以上である場合、図5に示すように、端面には酸化物層26が形成されていないことが好ましい。すなわち、端面における酸化物層26による下地層21の被覆率よりも、積層チップ10の実装面として機能する側面における酸化物層26による下地層21の被覆率が高いことが好ましい。
なお、積層チップ10の実装面として機能する側面の少なくとも一部の外部電極20a,20bが酸化物層26を有していれば、基板からの応力が緩和される。したがって、積層チップ10の実装面として機能する側面の外部電極20a,20bが酸化物層26を有していればよい。
続いて、積層セラミックコンデンサ100の製造方法について説明する。図6は、積層セラミックコンデンサ100の製造方法のフローを例示する図である。
(原料粉末作製工程)
まず、誘電体層11の主成分であるセラミック材料の粉末に、目的に応じて所定の添加化合物を添加する。添加化合物としては、Mg(マグネシウム),Mn(マンガン),V(バナジウム),Cr(クロム),希土類元素(Y(イットリウム),Dy(ジスプロシウム),Tm(ツリウム),Ho(ホロミウム),Tb(テルビウム),Yb(イッテルビウム),Sm(サマリウム),Eu(ユウロビウム),Gd(ガドリニウム)およびEr(エルビウム))の酸化物、並びに、Co(コバルト),Ni,Li(リチウム),B,Na(ナトリウム),K(カリウム)およびSiの酸化物もしくはガラスが挙げられる。例えば、まず、セラミック材料の粉末に添加化合物を含む化合物を混合して仮焼を行う。続いて、得られたセラミック材料の粒子を添加化合物とともに湿式混合し、乾燥および粉砕してセラミック材料の粉末を調製する。
(積層工程)
次に、得られたセラミック材料の粉末に、ポリビニルブチラール(PVB)樹脂等のバインダと、エタノール、トルエン等の有機溶剤と、可塑剤とを加えて湿式混合する。得られたスラリーを使用して、例えばダイコータ法やドクターブレード法により、基材上に例えば厚み0.8μm以下の帯状の誘電体グリーンシートを塗工して乾燥させる。
次に、誘電体グリーンシートの表面に、内部電極層形成用導電ペーストをスクリーン印刷、グラビア印刷等により印刷することで、内部電極層12のパターンを配置する。内部電極層形成用導電ペーストは、内部電極層12の主成分金属の粉末と、バインダと、溶剤と、必要に応じてその他助剤とを含んでいる。バインダおよび溶剤は、上記したセラミックスラリーと異なるものを使用することが好ましい。また、内部電極層形成用導電ペーストには、共材として、誘電体層11の主成分であるセラミック材料を分散させてもよい。
次に、内部電極層パターンが印刷された誘電体グリーンシートを所定の大きさに打ち抜いて、打ち抜かれた誘電体グリーンシートを、基材を剥離した状態で、内部電極層12と誘電体層11とが互い違いになるように、かつ内部電極層12が誘電体層11の長さ方向両端面に端縁が交互に露出して極性の異なる一対の外部電極に交互に引き出されるように、所定層数(例えば200~500層)だけ積層する。積層したパターン形成シートの上下にカバー層13となるカバーシートを圧着させ、所定チップ寸法(例えば1.0mm×0.5mm)にカットする。これにより、略直方体形状のセラミック積層体が得られる。
(焼成工程)
このようにして得られたセラミック積層体を、250~500℃のN雰囲気中で脱バインダした後に、還元雰囲気中で1100~1300℃で10分~2時間焼成することで、誘電体グリーンシートを構成する各化合物が焼結して粒成長する。このようにして、内部に焼結体からなる誘電体層11と内部電極層12とが交互に積層されてなる積層チップ10と、積層方向上下の最外層として形成されるカバー層13とを有する積層セラミックコンデンサ100が得られる。
(再酸化処理工程)
その後、Nガス雰囲気中で600℃~1000℃で再酸化処理を行ってもよい。
次に、積層チップ10に外部電極20a,20bを形成する。
(下地層形成工程)
Cuフィラー、ガラスフリット、バインダ、および溶剤を含む金属ペーストに、積層チップ10の端面を浸漬した後引き上げることにより、積層チップ10の両端面に金属ペーストを塗布し、乾燥させる。
その後、金属ペーストを焼き付ける。これにより、Cuを主成分とする下地層21が形成される。なお、バインダおよび溶剤は、焼き付けによって揮発する。
(酸化物層形成工程)
その後、積層チップ10に対し各種熱処理を行うことで、下地層21を酸化させ、酸化銅を主成分とし、最大厚みが0.5μm以上の酸化物層26を下地層21上に形成する。
(還元工程)
酸化物層26上に直接Niめっき層24を形成することは難しいため、還元処理を行い、酸化物層26の表面にCu粒子を形成する。還元処理により、図7に矢印で示すように、酸化物層26の表面に金属粒子が形成される。これにより、酸化物層26上にNiめっき層24を形成することができる。
(めっき層形成工程)
その後、めっきによって、Niめっき層24およびSnめっき層25を、酸化物層26上に形成する。
なお、積層チップ10の焼成時に下地層21を同時に焼成してもよい。この場合の製造方法を図8に示す。
(塗布工程)
積層工程で得られたセラミック積層体を、250~500℃のN雰囲気中で脱バインダした後に、セラミック積層体の両端面に、Cuフィラー、共材、バインダ、および溶剤を含む金属ペーストを塗布し、乾燥させる。
(焼成工程)
その後、金属ペーストをセラミック積層体と同時に焼成する。これにより、Cuを主成分とする下地層21が形成される。その後、Nガス雰囲気中で600℃~1000℃で再酸化処理を行ってもよい。
(酸化物層形成工程)
その後、積層チップ10に対し各種熱処理を行うことで、下地層21を酸化させ、酸化銅を主成分とし、最大厚みが0.5μm以上の酸化物層26を下地層21上に形成する。
(還元工程)
酸化物層26上に直接Niめっき層24を形成することは難しいため、還元処理を行い、酸化物層26の表面にCu粒子を形成する。
(めっき層形成工程)
その後、めっきによって、Niめっき層24およびSnめっき層25を、酸化物層26上に形成する。
本実施形態に係る製造方法によれば、下地層21上に、下地層21の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上である酸化物層26が形成される。酸化銅を主成分とする酸化物層26は、下地層21との密着性が十分に得られない。さらに、酸化物層26は最大厚みが0.5μm以上であるため、酸化物層26は下地層21から剥離しやすくなっている。それにより、積層セラミックコンデンサ100が実装される基板にたわみが生じて応力が積層チップ10の側面に伝わると、酸化物層26が下地層21から剥離する。この場合、基板からの応力が積層チップ10に伝わることが抑制されるため、積層セラミックコンデンサ100のクラックが抑制されることになる。また、下地層21を酸化させることにより酸化物層26を形成できるため、製造が容易であり、コストを抑えることができる。
なお、導通性及び密着性を確保するために、本実施形態に係る製造方法において、酸化物層26の最大厚みが2.0μm以上である場合、酸化物層26を形成後、端面に機械的な衝撃を加えて、端面の酸化物層26を除去した後、めっきによりNiめっき層24及びSnめっき層25を形成することが好ましい。これにより、端面における酸化物層26による下地層21の被覆率よりも、側面における酸化物層26による下地層21の被覆率が高い積層セラミックコンデンサが得られる。なお、側面の酸化物層26をマスキングした後、端面の酸化物層26を溶解させることにより、端面の酸化物層26を除去してもよい。
なお、本実施形態において、酸化物層26を形成後に還元処理を行うことにより酸化物層26の表面にCu粒子を形成していたが、これに限られるものではない。例えば、酸化物層26の形成後に、めっきによりCu粒子を形成してもよい。
なお、本実施形態においては、下地層21が、端面から少なくともいずれかの側面にかけて形成された、銅を主成分とする金属層の一例である。酸化物層26が、金属層の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上の酸化物層の一例である。
以下、実施形態に係る積層セラミックコンデンサを作製し、特性について調べた。
(実施例1~3)
外部電極を形成せずに焼成した積層チップ10を用意する。積層チップ10は、長さ1.0mm、幅0.5mm、高さ0.5mmであり、10μFの容量を有する。
Cuフィラー、ガラスフリット、バインダ、および溶剤を含む金属ペーストを積層チップ10に塗布し、乾燥させた。その後、金属ペーストを焼き付けた。それにより、Cuを主成分とする下地層21が形成された。なお、バインダおよび溶剤は、焼き付けによって揮発した。
その後、各種熱処理を行うことにより、下地層21の表面を酸化させ、酸化物層26を形成した。実施例1~3の酸化物層26の最大厚み及び積層チップ10の側面における酸化物層26による下地層21の被覆率を表1に示す。
Figure 0007089402000001
酸化物層26を形成した後、還元処理を行い、酸化物層26の表面にCu粒子を形成した。その後、めっきによって、Niめっき層24およびSnめっき層25を、酸化物層26上に形成した。実施例1~3に係るサンプルを10個作製した。
比較例では、下地層21を形成した後、酸化物層26を形成せずに、めっきによって、Niめっき層24およびSnめっき層25を、下地層21上に形成した。比較例に係るサンプルを10個作製した。
実施例1~3および比較例のそれぞれについて、たわみ試験(押込み量は10mm)を行い、その後のクラック発生率及び容量低下発生率を調査した。たわみ試験の結果を表2に示す。比較例では、クラック及び容量低下が発生した。これに対して、実施例1~3では、クラック及び容量低下の発生を0/10に抑制することができた。なお、容量が12.5%以上低下したものを容量低下の発生とした。たわみに起因する応力が外部電極20a,20bに伝わるときに、酸化物層26が下地層21から剥離したからであると考えられる。
Figure 0007089402000002
クラックが発生した比較例に係るサンプルの断面(図1のA-A線断面)と、実施例1~3に係るサンプルの断面(図1のA-A線断面)を確認した。図9(a)~図9(d)はそれぞれ、比較例及び実施例1~3に係るサンプルの断面写真を描いた図である。
図9(a)に示すように比較例に係るサンプルではクラックが発生しているが、図9(b)~図9(d)に示すように、実施例1~3では、クラックの発生は確認されず、酸化物層26の下地層21からの剥離が観察された。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
10 積層チップ
11 誘電体層
12 内部電極層
20a,20b 外部電極
21 下地層
24 Niめっき層
25 Snめっき層
26 酸化物層
100 積層セラミックコンデンサ

Claims (7)

  1. セラミックを主成分とする誘電体層と、内部電極層と、が交互に積層され、積層された複数の前記内部電極層が交互に対向する2端面に露出するように形成され、略直方体形状を有する積層チップと、
    前記対向する2端面から前記積層チップの少なくともいずれかの側面にかけて形成された1対の外部電極と、を備え、
    前記1対の外部電極は、前記端面から前記少なくともいずれかの側面にかけて形成された、銅を主成分とする金属層と、前記金属層の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上の酸化物層と、を含み、
    前記少なくともいずれかの側面における前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率が、前記端面における前記被覆率よりも高い、
    ことを特徴とする積層セラミックコンデンサ。
  2. 前記少なくともいずれかの側面において、前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率が、20%以上であることを特徴とする請求項1記載の積層セラミックコンデンサ。
  3. 前記酸化物層は、前記金属層よりも前記積層チップの前記端面の対向方向の中心側まで延在し、前記少なくともいずれかの側面と接する、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。
  4. 前記端面には前記酸化物層が形成されていない、
    ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項記載の積層セラミックコンデンサ。
  5. セラミック誘電体層グリーンシートと、内部電極層形成用導電ペーストと、を交互に積層し、積層された複数の内部電極層形成用導電ペーストを交互に対向する2端面に露出させることによって、略直方体形状のセラミック積層体を形成し、
    前記セラミック積層体に銅を主成分とする金属ペーストを塗布し、焼き付けることにより前記対向する2端面から前記セラミック積層体の少なくともいずれかの側面にかけて金属層を形成し、
    前記金属層を酸化させることにより、前記金属層の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上である酸化物層を形成する、
    工程を備え、
    前記少なくともいずれかの側面における前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率は、前記端面における前記被覆率よりも高い、
    ことを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
  6. セラミック誘電体層グリーンシートと、内部電極層形成用導電ペーストと、を交互に積層し、積層された複数の内部電極層形成用導電ペーストを交互に対向する2端面に露出させることによって、略直方体形状のセラミック積層体を形成し、
    前記セラミック積層体に銅を主成分とする金属ペーストを塗布し、
    得られたセラミック積層体を焼成することで、前記対向する2端面から前記セラミック積層体の少なくともいずれかの側面にかけて金属層を形成し、
    前記金属層を酸化させることにより、前記金属層の少なくとも一部を覆い、酸化銅を主成分とする最大厚みが0.5μm以上である酸化物層を形成する、
    工程を備え、
    前記少なくともいずれかの側面における前記金属層の単位面積当たりの前記酸化物層の面積の割合である被覆率は、前記端面における前記被覆率よりも高い、
    ことを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
  7. 前記端面の前記酸化物層を除去する工程を備えることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。
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