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JP6315305B2 - Glass laminate and optical imaging member using the same - Google Patents

Glass laminate and optical imaging member using the same Download PDF

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JP6315305B2 JP2013229202A JP2013229202A JP6315305B2 JP 6315305 B2 JP6315305 B2 JP 6315305B2 JP 2013229202 A JP2013229202 A JP 2013229202A JP 2013229202 A JP2013229202 A JP 2013229202A JP 6315305 B2 JP6315305 B2 JP 6315305B2
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Description

本発明は、ガラス積層体、光学結像部材、ガラス積層体の製造方法及び光学結像部材の製造方法に関し、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイから発生される光を中空に結像するためのガラス積層体、光学結像部材、ガラス積層体の製造方法及び光学結像部材の製造方法に関する。   The present invention relates to a glass laminate, an optical imaging member, a method for producing a glass laminate, and a method for producing an optical imaging member. For example, the light generated from a flat panel display such as a liquid crystal display or an organic EL display is hollowed out. The present invention relates to a glass laminate for imaging, an optical imaging member, a method for producing a glass laminate, and a method for producing an optical imaging member.

周知の通り、省スペース化の観点から、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。   As is well known, from the viewpoint of space saving, flat panel displays such as liquid crystal displays, plasma displays, and organic EL displays are widely used.

また、フラットパネルディスプレイから発生される光を中空に結像する技術開発が進んでいる。特許文献1には、隣接する反射面が互いに向かい合うように、複数本の両面反射帯を一定間隔で配置してなる光学結像部材が提案されている。しかし、特許文献1に記載の光学結像部材には、散乱光が通過した後は、必ずしも一点に収束しないという問題がある。   In addition, technology development is progressing to form a hollow image of light generated from a flat panel display. Patent Document 1 proposes an optical imaging member in which a plurality of double-sided reflection bands are arranged at regular intervals so that adjacent reflecting surfaces face each other. However, the optical imaging member described in Patent Document 1 has a problem that it does not necessarily converge to one point after scattered light has passed.

特開昭58−21702号公報JP 58-21702 A

上記問題を解決するために、一方の表面が反射面である透明板を多数枚積層した後、各反射面に対して垂直な切断面が形成されるように切断して、一対の積層体を作製した上で、一方の積層体に形成されている反射面に対して、他方の積層体に形成されている反射面が直交するように、向かい合わせに密着させた光学結像部材が検討されている。この光学結像部材では、透明板の厚みが反射面の間隔に相当する。   In order to solve the above problem, after laminating a large number of transparent plates whose one surface is a reflection surface, the substrate is cut so that a cut surface perpendicular to each reflection surface is formed. An optical imaging member that has been fabricated and closely contacted so that the reflective surface formed on the other laminate is perpendicular to the reflective surface formed on one laminate is studied. ing. In this optical imaging member, the thickness of the transparent plate corresponds to the interval between the reflecting surfaces.

上記の光学結像部材の場合、高解像度の結像を得るためには、透明板の厚みを均一に薄くする必要があるが、このような透明板を作製することは困難であり、コストアップの要因になっていた。   In the case of the above-mentioned optical imaging member, in order to obtain high-resolution imaging, it is necessary to make the thickness of the transparent plate uniform, but it is difficult to produce such a transparent plate and the cost increases. It was a factor of.

本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、コストアップを招来させることなく、反射面の間隔を狭小化、且つ均一化し得る積層体を創案することにより、高解像に結像し得る光学結像部材を得ることである。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and can create a high-resolution image by creating a laminate that can narrow and uniformize the interval between the reflecting surfaces without causing an increase in cost. An optical imaging member is obtained.

本発明者は、鋭意努力の結果、ガラスフィルム間に反射膜を介在させて、これを積層一体化させたガラス積層体を光学結像部材に適用することにより、上記技術的課題を解決し得ることを見出し、本発明として提案するものである。すなわち、本発明のガラス積層体は、厚み500μm以下のガラスフィルムを積層させたガラス積層体であって、ガラスフィルム間に反射膜を有することを特徴とする。   As a result of diligent efforts, the present inventor can solve the above technical problem by applying a glass laminate in which a reflective film is interposed between glass films and integrating them to an optical imaging member. It is discovered and proposed as the present invention. That is, the glass laminate of the present invention is a glass laminate in which glass films having a thickness of 500 μm or less are laminated, and has a reflective film between the glass films.

本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの厚みが500μm以下である。このようにすれば、反射膜の間隔が狭小化されるため、高解像度の結像を得易くなる。更に、ガラスフィルムは、表面平滑性を高め易く、厚みのばらつきを低減し得るため、その表面に反射膜を精度良く形成し得ると共に、積層一体化を適正に行うことができる。これにより、コストアップを招来させることなく、反射面の間隔を狭小化、且つ均一化することができる。   As for the glass laminated body of this invention, the thickness of a glass film is 500 micrometers or less. In this way, since the interval between the reflective films is narrowed, it becomes easy to obtain high resolution imaging. Furthermore, since the glass film can easily improve the surface smoothness and reduce variations in thickness, it is possible to accurately form a reflective film on the surface and to properly perform lamination and integration. Thereby, the space | interval of a reflective surface can be narrowed and equalized, without causing a cost increase.

第二に、本発明のガラス積層体は、短冊状のガラスフィルムが積層されていることが好ましい。このようにすれば、光学結像部材に適用し易くなる。ここで、「短冊状のガラスフィルム」とは、ガラスフィルムの長さ寸法/幅寸法の比率が5以上のものを指す。なお、「長さ寸法」は、縦寸法と横寸法の内、長い方を指し、「幅寸法」は、縦寸法と横寸法の内、短い方を指す。   Secondly, it is preferable that the glass laminated body of this invention has the strip-shaped glass film laminated | stacked. If it does in this way, it will become easy to apply to an optical image formation member. Here, the “strip-shaped glass film” refers to a glass film having a length dimension / width dimension ratio of 5 or more. The “length dimension” indicates the longer one of the vertical dimension and the horizontal dimension, and the “width dimension” indicates the shorter one of the vertical dimension and the horizontal dimension.

第三に、本発明のガラス積層体は、少なくとも一方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムが積層されていることが好ましい。   Thirdly, it is preferable that the glass laminated body of this invention has laminated | stacked the glass film in which the reflective film was formed in at least one surface.

第四に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの表面の表面粗さRaが100Å以下であることが好ましい。ここで、「表面粗さRa」は、JIS B0601:2001に準拠した方法で測定した値を指す。   Fourth, the glass laminate of the present invention preferably has a surface roughness Ra of the surface of the glass film of 100 mm or less. Here, “surface roughness Ra” refers to a value measured by a method based on JIS B0601: 2001.

第五に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムのうねりが1μm以下であることが好ましい。ここで、「うねり」は、触針式の表面形状測定装置を用いて、JIS B0601:2001に記載のWCA(ろ波中心線うねり)を測定した値を指し、この測定は、SEMI STD D15−1296「FPDガラス基板の表面うねりの測定方法」に準拠した方法で測定し、測定時のカットオフは0.8〜8mm、ガラスフィルムの引き出し方向に対して垂直な方向に300mmの長さで測定した値を指す。   Fifth, the glass laminate of the present invention preferably has a glass film undulation of 1 μm or less. Here, “waviness” refers to a value obtained by measuring WCA (filtered centerline waviness) described in JIS B0601: 2001 using a stylus type surface shape measuring apparatus, and this measurement is performed by SEMI STD D15- 1296 “Measurement method of surface waviness of FPD glass substrate” is measured in accordance with a method of measuring 0.8 to 8 mm in the cut-off and 300 mm in the direction perpendicular to the drawing direction of the glass film. Indicates the value.

第六に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差が20μm以下であることが好ましい。ここで、「ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差」は、レーザー式厚み測定装置を用いて、ガラスフィルムの任意の一辺に厚み方向からレーザーを走査することにより、ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みを測定した上で、最大厚みの値から最小厚みの値を減じた値を指す。   Sixth, the glass laminate of the present invention preferably has a difference between the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film of 20 μm or less. Here, the “difference between the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film” means that the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film are obtained by scanning a laser from one side of the glass film in the thickness direction using a laser thickness measuring device. The value obtained by subtracting the value of the minimum thickness from the value of the maximum thickness after measuring the thickness.

第七に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムが未研磨の表面を有することが好ましい。   Seventh, in the glass laminate of the present invention, the glass film preferably has an unpolished surface.

第八に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの長さ寸法が500mm以下であることが好ましい。   Eighth, the glass laminate of the present invention preferably has a glass film length dimension of 500 mm or less.

第九に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムがオーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。   Ninth, the glass laminate of the present invention is preferably formed by a glass film formed by an overflow downdraw method.

第十に、本発明のガラス積層体は、ガラスフィルム間に接着層を有し、該接着層の厚みが100μm以下であることが好ましい。接着層を設けると、ガラスフィルムを積層一体化し易くなる。また、接着層の厚みを低減すると、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。   10thly, it is preferable that the glass laminated body of this invention has an contact bonding layer between glass films, and the thickness of this contact bonding layer is 100 micrometers or less. When the adhesive layer is provided, the glass films are easily laminated and integrated. Further, when the thickness of the adhesive layer is reduced, the interval between the reflective films is easily reduced.

第十一に、本発明のガラス積層体は、反射膜がAl又はAgであることが好ましい。これらの反射膜は、高解像度の結像を得る観点から有利である。   Eleventh, in the glass laminate of the present invention, the reflective film is preferably Al or Ag. These reflective films are advantageous from the viewpoint of obtaining high-resolution imaging.

第十二に、本発明の光学結像部材は、一対のガラス積層体を備える光学結像部材であって、一対のガラス積層体のそれぞれが、上記何れかのガラス積層体であり、且つ一対のガラス積層体が、反射膜が形成された面同士が直交するように配置されていることを特徴とする。   12thly, the optical imaging member of this invention is an optical imaging member provided with a pair of glass laminated body, Comprising: Each of a pair of glass laminated body is one of the said glass laminated bodies, and a pair The glass laminates are arranged so that the surfaces on which the reflection films are formed are orthogonal to each other.

第十三に、本発明の光学結像部材は、一対のガラス積層体の積層外表面(通常、ガラスフィルムの端面側になる)にガラス基板が配置されていることが好ましい。   13thly, it is preferable that the optical imaging member of this invention has the glass substrate arrange | positioned on the lamination | stacking outer surface (usually becoming the end surface side of a glass film) of a pair of glass laminated body.

第十四に、本発明の光学結像部材は、ガラス基板の外側表面に反射防止膜が形成されていることが好ましい。   Fourteenth, the optical imaging member of the present invention preferably has an antireflection film formed on the outer surface of the glass substrate.

第十五に、本発明のガラス積層体の製造方法は、厚み500μm以下のガラスフィルムの少なくとも一方の表面に反射膜が形成された反射膜付きガラスフィルムを用意する工程と、反射膜付きガラスフィルムを積層一体化して、ガラス積層体を得る工程と、を備えることを特徴とする。   15thly, the manufacturing method of the glass laminated body of this invention prepares the glass film with a reflecting film in which the reflecting film was formed in at least one surface of the glass film of thickness 500 micrometers or less, and the glass film with a reflecting film And laminating and integrating to obtain a glass laminate.

第十六に、本発明のガラス積層体の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムを接着剤により積層一体化することが好ましい。   16thly, it is preferable that the manufacturing method of the glass laminated body of this invention carries out lamination | stacking integration of the glass film with a reflecting film with an adhesive agent.

第十七に、本発明のガラス積層体の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与して、積層一体化することが好ましい。   Seventeenthly, in the method for producing a glass laminate of the present invention, it is preferable to apply a pressing force to the glass film with a reflective film and laminate and integrate them.

第十八に、本発明のガラス積層体の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体に対して、反射膜が形成された面に直交する方向(通常、ガラスフィルムの厚み方向)に短冊状に切断する工程を有することを特徴とする。   Eighteenth, the method for producing a glass laminate of the present invention is directed to a direction perpendicular to the surface on which the reflective film is formed (usually a glass film) with respect to the glass laminate in which the glass film with a reflective film is laminated and integrated. (Thickness direction) of cutting into strips.

第十九に、本発明のガラス積層体の製造方法は、ガラス積層体をワイヤーソーで切断することが好ましい。   Nineteenth, in the method for producing a glass laminate of the present invention, it is preferable to cut the glass laminate with a wire saw.

第二十に、本発明のガラス積層体の製造方法は、ワイヤーソーをガラス積層体のガラスフィルムの表面に対して45°以下の角度に規制した状態で切断することが好ましい。   20thly, the manufacturing method of the glass laminated body of this invention cut | disconnects in the state which controlled the wire saw at the angle of 45 degrees or less with respect to the surface of the glass film of a glass laminated body.

第二十一に、本発明の光学結像部材の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体を一対用意する工程と、一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする。   Twenty-first, the method for producing an optical imaging member of the present invention comprises a step of preparing a pair of glass laminates in which glass films with a reflection film are laminated and integrated, and a pair of glass laminates formed with a reflection film. And a step of obtaining an optical imaging member by arranging the surfaces to be orthogonal to each other.

第二十二に、本発明の光学結像部材の製造方法は、一対のガラス積層体が短冊状であることが好ましい。ここで、「短冊状のガラス積層体」とは、ガラスフィルムを基準にして、長さ寸法/幅寸法の比率が5以上のガラスフィルムが積層されたものを指す。   Twenty-second, in the method for producing an optical imaging member of the present invention, the pair of glass laminates is preferably strip-shaped. Here, the “strip-shaped glass laminate” refers to a laminate in which a glass film having a length dimension / width dimension ratio of 5 or more is laminated on the basis of the glass film.

第二十三に、本発明の光学結像部材の製造方法は、更に、一対のガラス積層体の積層外表面にガラス基板を配置する工程を有することが好ましい。   Twenty-third, the method for producing an optical imaging member of the present invention preferably further includes a step of arranging a glass substrate on the outer surface of the pair of glass laminates.

第二十四に、本発明の光学結像部材の製造方法は、厚み500μm以下のガラスフィルムの少なくとも一方の表面に反射膜を形成して、反射膜付きガラスフィルムを得る工程と、反射膜付きガラスフィルムを積層一体化して、ガラス積層体を得る工程と、一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする。   Twenty-fourth, the method for producing an optical imaging member of the present invention includes a step of forming a reflective film on at least one surface of a glass film having a thickness of 500 μm or less to obtain a glass film with a reflective film, A step of obtaining a glass laminate by laminating and integrating glass films, and a step of obtaining an optical imaging member by arranging a pair of glass laminates so that the surfaces on which the reflection films are formed are orthogonal to each other. It is characterized by that.

第二十五に、本発明のガラスフィルムは、厚みが500μm以下であり、且つ少なくとも一方の表面に反射膜が形成されていることを特徴とする。   25thly, the glass film of the present invention has a thickness of 500 μm or less, and a reflective film is formed on at least one surface.

第二十六に、本発明のガラスフィルムは、厚みが500μm以下であり、厚み500μm換算、波長350nmにおける透過率が70%以上であり、且つガラス積層体に用いることを特徴とする。なお、透過率は、市販の透過率測定装置で測定可能である。   According to a twenty-sixth aspect, the glass film of the present invention has a thickness of 500 μm or less, has a thickness of 500 μm, has a transmittance of 70% or more at a wavelength of 350 nm, and is used for a glass laminate. The transmittance can be measured with a commercially available transmittance measuring device.

本発明のガラス積層体の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the glass laminated body of this invention. 本発明のガラス積層体の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the glass laminated body of this invention. 本発明の光学結像部材の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the optical image formation member of this invention. 本発明の光学結像部材の一例を示す概念斜視図である。It is a conceptual perspective view which shows an example of the optical image formation member of this invention. 反射膜付きガラスフィルムを積層一体化する方法の一例を示す概念断面図である。It is a conceptual sectional view showing an example of a method of laminating and integrating a glass film with a reflective film. ワイヤーソーにより大型のガラス積層体を短冊状に切断する方法の一例を示す概念説明図である。It is a conceptual explanatory drawing which shows an example of the method of cut | disconnecting a large sized glass laminated body into a strip shape with a wire saw.

本発明のガラス積層体において、ガラスフィルムの厚みは500μm以下であり、好ましくは300μm以下、200μm以下、100μm以下、90μm以下、80μm以下、70μm以下、60μm以下、50μm以下、40μm以下、30μm以下、1〜20μm、特に5〜10μmである。ガラスフィルムの厚みが薄い程、反射膜の間隔が狭小化されるため、高解像度の結像を得易くなる。   In the glass laminate of the present invention, the thickness of the glass film is 500 μm or less, preferably 300 μm or less, 200 μm or less, 100 μm or less, 90 μm or less, 80 μm or less, 70 μm or less, 60 μm or less, 50 μm or less, 40 μm or less, 30 μm or less, 1 to 20 μm, especially 5 to 10 μm. The thinner the glass film is, the narrower the interval between the reflecting films, so that it becomes easier to obtain a high-resolution image.

ガラスフィルムの表面の表面粗さRaは、好ましくは100Å以下、50Å以下、10Å以下、8Å以下、4Å以下、3Å以下、特に0.01〜2Åである。ガラスフィルムの表面の表面粗さRaが大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、特にガラスフィルムを積層一体化した時に、反射膜の間隔のばらつきが増幅されて、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。   The surface roughness Ra of the surface of the glass film is preferably 100 mm or less, 50 mm or less, 10 mm or less, 8 mm or less, 4 mm or less, 3 mm or less, particularly 0.01 to 2 mm. If the surface roughness Ra of the surface of the glass film is too large, the distance between the reflective films tends to vary. Especially when the glass films are laminated and integrated, the variation in the distance between the reflective films is amplified, and high-resolution imaging is performed. It becomes difficult to obtain. Furthermore, when laminating a glass film, it becomes easy to entrain air and it is difficult to carry out optical carboxylation.

ガラスフィルムの端面の表面粗さRaは、好ましくは100Å以下、50Å以下、10Å以下、8Å以下、4Å以下、3Å以下、特に0.1〜2Åである。ガラスフィルムの端面の表面粗さRaが大き過ぎると、ガラス積層体が破損し易くなる。   The surface roughness Ra of the end face of the glass film is preferably 100 mm or less, 50 mm or less, 10 mm or less, 8 mm or less, 4 mm or less, 3 mm or less, particularly 0.1 to 2 mm. If the surface roughness Ra of the end face of the glass film is too large, the glass laminate is easily damaged.

ガラスフィルムのうねりは、好ましくは1μm以下、0.08μm以下、0.05μm以下、0.03μm以下、0.02μm以下、特に0.01μm以下である。ガラスフィルムのうねりが大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、特にガラスフィルムを積層一体化した時に、反射膜の間隔のばらつきが増幅されて、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。   The waviness of the glass film is preferably 1 μm or less, 0.08 μm or less, 0.05 μm or less, 0.03 μm or less, 0.02 μm or less, particularly 0.01 μm or less. When the undulation of the glass film is too large, the interval between the reflection films tends to vary. In particular, when the glass films are laminated and integrated, the variation in the interval between the reflection films is amplified, making it difficult to obtain a high-resolution image. Furthermore, when laminating a glass film, it becomes easy to entrain air and it is difficult to carry out optical carboxylation.

ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差は、好ましくは10μm以下、5μm以下、2μm以下、特に0.01〜1μmである。この差が大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、特にガラスフィルムを積層一体化した時に、反射膜の間隔のばらつきが増幅されて、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。   The difference between the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film is preferably 10 μm or less, 5 μm or less, 2 μm or less, particularly 0.01 to 1 μm. If this difference is too large, the distance between the reflective films tends to vary. In particular, when the glass films are laminated and integrated, the variation in the distance between the reflective films is amplified, making it difficult to obtain a high-resolution image. Furthermore, when laminating a glass film, it becomes easy to entrain air and it is difficult to carry out optical carboxylation.

ガラスフィルムは、未研磨の表面を有することが好ましい。ガラスの理論強度は、本来、非常に高いが、理論強度よりも遥かに低い応力でも破壊に至ることが多い。これは、ガラスフィルムの表面にグリフィスフローと呼ばれる小さな欠陥がガラスの成形後の工程、例えば研磨工程等で生じるからである。よって、ガラスフィルムの表面を未研磨とすれば、本来の機械的強度を損ない難くなり、ガラスフィルムが破壊し難くなる。また、研磨工程を省略し得るため、ガラスフィルムの製造コストを低廉化することができる。なお、両表面の有効面全体を未研磨の表面とすれば、ガラスフィルムが更に破壊し難くなる。   The glass film preferably has an unpolished surface. The theoretical strength of glass is inherently very high, but breakage is often caused even by a stress much lower than the theoretical strength. This is because a small defect called Griffith Flow is generated on the surface of the glass film in a process after glass molding, such as a polishing process. Therefore, if the surface of the glass film is unpolished, the original mechanical strength is hardly impaired, and the glass film is difficult to break. Moreover, since a grinding | polishing process can be skipped, the manufacturing cost of a glass film can be reduced. If the entire effective surface of both surfaces is an unpolished surface, the glass film is more difficult to break.

ガラスフィルムの長さ寸法は、好ましくは500mm以上、600mm以上、800mm以上、1000mm以上、1200mm以上、1500mm以上、特に2000mm以上である。このようにすれば、光学結像部材を大型化し易くなる。一方、ガラスフィルムの長さ寸法が大き過ぎると、反射膜が形成された面に直交する方向にガラス積層体を切断し難くなる。よって、ガラスフィルムの長さ寸法は、好ましくは3500mm以下、3200mm以下、特に3000mm以下である。   The length dimension of the glass film is preferably 500 mm or more, 600 mm or more, 800 mm or more, 1000 mm or more, 1200 mm or more, 1500 mm or more, particularly 2000 mm or more. If it does in this way, it will become easy to enlarge an optical image formation member. On the other hand, when the length dimension of a glass film is too large, it will become difficult to cut | disconnect a glass laminated body in the direction orthogonal to the surface in which the reflecting film was formed. Therefore, the length dimension of the glass film is preferably 3500 mm or less, 3200 mm or less, and particularly 3000 mm or less.

ガラスフィルムの幅寸法は、長さ寸法以下である限り、特に制限されないが、短冊状のガラス積層体に加工される場合、長さ寸法/幅寸法の比率は5以上であり、好ましくは10以上、20以上、30以上、40以上、50以上、60以上、特に100〜2000である。長さ寸法/幅寸法の比率が小さ過ぎると、光学結像部材の製造効率が低下し易くなる。   The width dimension of the glass film is not particularly limited as long as it is equal to or less than the length dimension, but when processed into a strip-shaped glass laminate, the ratio of length dimension / width dimension is 5 or more, preferably 10 or more. 20 or more, 30 or more, 40 or more, 50 or more, 60 or more, particularly 100 to 2000. If the ratio of the length dimension / width dimension is too small, the manufacturing efficiency of the optical imaging member tends to be lowered.

ガラスフィルムは、オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。このようにすれば、未研磨で表面品位が良好なガラスフィルムを製造することができる。その理由は、オーバーフローダウンドロー法の場合、ガラスフィルムの表面となるべき面は樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形されるからである。ここで、オーバーフローダウンドロー法は、溶融ガラスを耐熱性の樋状構造物の両側から溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下端で合流させながら、下方に延伸成形してガラスフィルムを製造する方法である。樋状構造物の構造や材質は、ガラスフィルムの寸法や表面精度を所望の状態とし、ガラスフィルムに使用できる品位を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行うために、ガラスに対してどのような方法で力を印加するものであってもよい。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。なお、オーバーフローダウンドロー法以外にも、例えば、スロットダウン法、リドロー法等の成形方法を採用することもできる。   The glass film is preferably formed by an overflow downdraw method. In this way, a glass film that is unpolished and has good surface quality can be produced. The reason is that, in the case of the overflow downdraw method, the surface to be the surface of the glass film does not come into contact with the bowl-like refractory and is molded in a free surface state. Here, the overflow down draw method is a glass film in which the molten glass overflows from both sides of the heat-resistant bowl-shaped structure, and the overflowed molten glass is stretched and formed downward at the lower end of the bowl-shaped structure. It is a method of manufacturing. The structure and material of the bowl-shaped structure are not particularly limited as long as the dimensions and surface accuracy of the glass film are set to a desired state and the quality usable for the glass film can be realized. Moreover, in order to perform the downward stretch molding, any force may be applied to the glass. For example, a method may be adopted in which a heat-resistant roll having a sufficiently large width is rotated and stretched in contact with glass, or a plurality of pairs of heat-resistant rolls are contacted only near the end face of the glass. It is also possible to adopt a method of stretching by stretching. In addition to the overflow downdraw method, for example, a molding method such as a slot down method or a redraw method may be employed.

オーバーフローダウンドロー法で成形する場合、樋状耐火物から非接触となる部分(下頂端部分)におけるガラスの粘度は、103.5〜105.0dPa・sが好ましい。樋状構造物の下頂端部分に何も力を加えなければ、表面張力によって縮みながら下方へ落下していく。これを防ぐためにガラス生地の両側をローラー上のもので挟み込みガラス生地が縮まないように幅方向に引き伸ばす必要がある。ガラスフィルムを成形する場合、ガラス自身が有する熱量が小さいため、樋状耐火物から離れた瞬間からガラスの冷却速度は急激に速くなる。よって、下頂端部分でのガラスの粘度は、好ましくは105.0dPa・s以下、104.8dPa・s以下、104.6dPa・s以下、104.4dPa・s以下、104.2dPa・s以下、特に104.0dPa・s以下である。このようにすれば、幅方向に引っ張り応力が付与されて、破損を防止した上で、フィルム幅を広げることが可能になると共に、安定して下方へ延伸することが可能になる。一方、下頂端部分でのガラスの粘度が低過ぎると、ガラスが変形し易くなり、反り、うねり等の品位が低下し易くなる。またその後の冷却速度が速くなり、ガラスフィルムの熱収縮が大きくなり易い。よって、下頂端部分でのガラスの粘度は、好ましくは103.5dPa・s以上、103.7dPa・s以上、103.8dPa・s以上、特に103.9dPa・s以上である。 In the case of molding by the overflow downdraw method, the viscosity of the glass in the portion (lower top end portion) that is not in contact with the bowl-shaped refractory is preferably 10 3.5 to 10 5.0 dPa · s. If no force is applied to the lower top end portion of the bowl-shaped structure, it will drop downward while shrinking due to surface tension. In order to prevent this, it is necessary to stretch the glass fabric in the width direction so that both sides of the glass fabric are sandwiched between the rollers on the roller so that the glass fabric does not shrink. When the glass film is formed, since the amount of heat of the glass itself is small, the cooling rate of the glass is rapidly increased from the moment when the glass film is separated from the bowl-like refractory. Therefore, the viscosity of the glass at the lower top end portion is preferably 10 5.0 dPa · s or less, 10 4.8 dPa · s or less, 10 4.6 dPa · s or less, 10 4.4 dPa · s or less, It is 10 4.2 dPa · s or less, particularly 10 4.0 dPa · s or less. In this way, tensile stress is applied in the width direction to prevent breakage, and the film width can be increased and the film can be stably stretched downward. On the other hand, when the viscosity of the glass at the lower top end portion is too low, the glass is easily deformed, and the quality such as warpage and undulation is likely to be lowered. Further, the subsequent cooling rate is increased, and the thermal shrinkage of the glass film tends to increase. Therefore, the viscosity of the glass at the lower top end portion is preferably 10 3.5 dPa · s or more, 10 3.7 dPa · s or more, 10 3.8 dPa · s or more, particularly 10 3.9 dPa · s or more. It is.

ガラスフィルムのクラック発生率は、好ましくは70%以下、50%以下、40%以下、30%以下、特に20%以下である。このようにすれば、ガラス積層体が破損し難くなる。ここで、「クラック発生率」は、湿度30%、温度25℃に保持された恒温恒湿槽内において、荷重1000gに設定したビッカース圧子をガラス表面(光学研磨相当面)に15秒間打ち込み、その15秒後に圧痕の4隅から発生するクラックの数をカウント(1つの圧痕につき最大4とする)し、この操作を20回繰り返し(即ち、圧子を20回打ち込み)、総クラック数を計数した後、総クラック発生数/80にて得られた値を指す。   The crack occurrence rate of the glass film is preferably 70% or less, 50% or less, 40% or less, 30% or less, particularly 20% or less. If it does in this way, it will become difficult to break a glass layered product. Here, the “crack occurrence rate” is a constant temperature and humidity chamber maintained at a humidity of 30% and a temperature of 25 ° C., and a Vickers indenter set at a load of 1000 g is driven into the glass surface (optical polishing equivalent surface) for 15 seconds. After counting the number of cracks generated from the four corners of the indentation after 15 seconds (maximum 4 per indentation), this operation was repeated 20 times (that is, the indenter was driven 20 times), and the total number of cracks was counted The value obtained by the total number of cracks / 80.

ガラスフィルムの液相温度は、好ましくは1200℃以下、1150℃以下、1130℃以下、1110℃以下、1090℃以下、特に700〜1070℃である。ガラスフィルムの液相粘度は、好ましくは105.0dPa・s以上、105.6dPa・s以上、105.8dPa・s以上、特に106.0〜1010.0dPa・s以上である。このようにすれば、成形時にガラスが失透し難くなる。なお、「液相温度」は、標準篩30メッシュ(500μm)を通過し、50メッシュ(300μm)に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に24時間保持して、結晶の析出する温度を測定した値を指す。「液相粘度」は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値を指す。 The liquidus temperature of the glass film is preferably 1200 ° C. or lower, 1150 ° C. or lower, 1130 ° C. or lower, 1110 ° C. or lower, 1090 ° C. or lower, particularly 700 to 1070 ° C. The liquid phase viscosity of the glass film is preferably 10 5.0 dPa · s or more, 10 5.6 dPa · s or more, 10 5.8 dPa · s or more, particularly 10 6.0 to 10 10.0 dPa · s. That's it. If it does in this way, it will become difficult to devitrify glass at the time of fabrication. The “liquid phase temperature” is obtained by passing the standard sieve 30 mesh (500 μm) and putting the glass powder remaining in 50 mesh (300 μm) into a platinum boat and holding it in a temperature gradient furnace for 24 hours to precipitate crystals. Refers to the value measured temperature. “Liquid phase viscosity” refers to a value obtained by measuring the viscosity of glass at the liquid phase temperature by a platinum ball pulling method.

ガラスフィルムのヤング率は、好ましくは65GPa以上、67GPa以上、68GPa以上、69GPa以上、70GPa以上、71GPa以上、72GPa以上、特に75〜100GPaである。このようにすれば、ガラスフィルムの表面に反射膜を形成した後に、ガラスフィルムが反り難くなり、結果として、反射膜の間隔がばらつき難くなり、高解像度の結像を得易くなる。なお、「ヤング率」は、共振法により測定した値を指す。   The Young's modulus of the glass film is preferably 65 GPa or more, 67 GPa or more, 68 GPa or more, 69 GPa or more, 70 GPa or more, 71 GPa or more, 72 GPa or more, particularly 75 to 100 GPa. If it does in this way, after forming a reflecting film in the surface of a glass film, a glass film becomes difficult to warp, As a result, the space | interval of a reflecting film becomes difficult to fluctuate and it becomes easy to obtain high-resolution imaging. “Young's modulus” refers to a value measured by a resonance method.

ガラスフィルムの密度は、好ましくは2.7g/cm以下、2.6g/cm以下、2.5g/cm以下、特に2.0〜2.4g/cmである。このようにすれば、光学結像部材の軽量化を図り易くなる。 The density of the glass film is preferably 2.7 g / cm 3 or less, 2.6 g / cm 3 or less, 2.5 g / cm 3 or less, in particular 2.0~2.4g / cm 3. In this way, it becomes easy to reduce the weight of the optical imaging member.

ガラスフィルムの熱膨張係数は、好ましくは25〜100×10−7/℃、30〜90×10−7/℃、30〜60×10−7/℃、30〜45×10−7/℃、特に30〜40×10−7/℃である。このようにすれば、各種機能膜の熱膨張係数に整合させ易くなる。なお、「熱膨張係数」は、ディラトメーターを用いて、30〜380℃における平均熱膨張係数を測定した値を指し、熱膨張係数の測定用試料として、端面にR加工を施したφ5mm×20mmの円柱状の試料を用いる。 The thermal expansion coefficient of the glass film is preferably 25 to 100 × 10 −7 / ° C., 30 to 90 × 10 −7 / ° C., 30 to 60 × 10 −7 / ° C., 30 to 45 × 10 −7 / ° C., In particular, it is 30 to 40 × 10 −7 / ° C. If it does in this way, it will become easy to match with the thermal expansion coefficient of various functional films. “Thermal expansion coefficient” refers to a value obtained by measuring an average thermal expansion coefficient at 30 to 380 ° C. using a dilatometer. As a sample for measuring the thermal expansion coefficient, φ5 mm × with end-face processed R A 20 mm cylindrical sample is used.

ガラスフィルムの歪点は、好ましくは600℃以上、特に630〜750℃である。このようにすれば、耐熱性を高め易くなる。なお、「歪点」は、ASTM C336−71の方法に基づいて測定した値を指す。   The strain point of the glass film is preferably 600 ° C. or higher, particularly 630 to 750 ° C. If it does in this way, it will become easy to improve heat resistance. The “strain point” refers to a value measured based on the method of ASTM C336-71.

ガラスフィルムの厚み500μm換算、波長300nmにおける透過率は、好ましくは30%以上、50%以上、70%以上、80%以上、85%以上、特に89〜99%である。また厚み500μm換算、波長350nmにおける透過率は、好ましくは50%以上、70%以上、80%以上、85%以上、89%以上、90%以上、特に91%以上である。また厚み500μm換算、波長550nmにおける透過率は、85%以上、89%以上、90%以上、特に91〜99%である。このようにすれば、光学結像部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。   The transmittance of the glass film in terms of a thickness of 500 μm and a wavelength of 300 nm is preferably 30% or more, 50% or more, 70% or more, 80% or more, 85% or more, particularly 89 to 99%. The transmittance at a thickness of 500 μm and a wavelength of 350 nm is preferably 50% or more, 70% or more, 80% or more, 85% or more, 89% or more, 90% or more, particularly 91% or more. Moreover, the transmittance | permeability in thickness 500micrometer conversion and wavelength 550nm is 85% or more, 89% or more, 90% or more, especially 91 to 99%. In this way, when applied to an optical imaging member or the like, when light is transmitted while repeating reflection, the loss of light is reduced, and high-resolution imaging is easily obtained.

ガラスフィルムのHazeは、好ましくは10%以下、5%以下、3%以下、1%以下、0.5%以下、特に0.3%以下である。このようにすれば、表面での拡散反射を低減することが可能になり、光学結像部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。なお、「Haze」は、市販のHazeメーターで測定可能である。   The haze of the glass film is preferably 10% or less, 5% or less, 3% or less, 1% or less, 0.5% or less, particularly 0.3% or less. In this way, it becomes possible to reduce the diffuse reflection on the surface, and when applied to an optical imaging member or the like, the light loss is reduced when the light is transmitted while repeating the reflection, and high It becomes easy to obtain a resolution image. Note that “Haze” can be measured with a commercially available Haze meter.

ガラスフィルムは、ガラス組成として、質量%で、SiO 35〜80%、Al 0〜20%、B 0〜17%、MgO 0〜10%、CaO 0〜15%、SrO 0〜15%、BaO 0〜30%を含有することが好ましい。上記のように、各成分の含有範囲を限定した理由を下記に示す。なお、ガラス組成に関する説明において、%表示は、質量%を指す。 Glass films, as a glass composition, in mass%, SiO 2 35~80%, Al 2 O 3 0~20%, B 2 O 3 0~17%, 0~10% MgO, CaO 0~15%, SrO It is preferable to contain 0 to 15% and BaO 0 to 30%. The reason for limiting the content range of each component as described above is shown below. In addition, in description regarding a glass composition,% display points out the mass%.

SiOの含有量は35〜80%が好ましい。SiOの含有量が多過ぎると、溶融性、成形性が低下し易くなる。よって、SiOの含有量は、好ましくは75%以下、64%以下、62%以下、特に61%以下である。一方、SiOの含有量が少な過ぎると、ガラス網目構造を形成し難くなって、ガラス化が困難になったり、クラックの発生率が高くなったり、耐酸性が低下し易くなる。よって、SiOの含有量は、好ましくは40%以上、50%以上、55%以上、特に57%以上である。 The content of SiO 2 is preferably 35 to 80%. When the content of SiO 2 is too large, the melting property, the moldability tends to decrease. Therefore, the content of SiO 2 is preferably 75% or less, 64% or less, 62% or less, and particularly 61% or less. On the other hand, if the content of SiO 2 is too small, it becomes difficult to form a glass network structure, and vitrification becomes difficult, the rate of occurrence of cracks increases, and acid resistance tends to decrease. Therefore, the content of SiO 2 is preferably 40% or more, 50% or more, 55% or more, particularly 57% or more.

Alの含有量は0〜20%が好ましい。Alの含有量が多過ぎると、ガラスに失透結晶が析出して、液相粘度が低下し易くなる。Alの含有量は、好ましくは18%以下、17.5%以下、特に17%以下である。一方、Alの含有量が少な過ぎると、歪点、ヤング率が低下し易くなる。よって、Alの含有量は、好ましくは3%以上、5%以上、8.5%以上、10%以上、12%以上、13%以上、13.5%以上、14%以上、特に14.5%以上である。 The content of Al 2 O 3 is preferably 0 to 20%. When the content of Al 2 O 3 is too large, devitrification crystal glass is precipitated, the liquid phase viscosity tends to decrease. The content of Al 2 O 3 is preferably 18% or less, 17.5% or less, particularly 17% or less. On the other hand, when the content of Al 2 O 3 is too small, the strain point, the Young's modulus tends to decrease. Therefore, the content of Al 2 O 3 is preferably 3% or more, 5% or more, 8.5% or more, 10% or more, 12% or more, 13% or more, 13.5% or more, 14% or more, particularly 14.5% or more.

の含有量は0〜17%が好ましい。Bの含有量が多過ぎると、歪点、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。よって、Bの含有量は、好ましくは15%以下、13%以下、12%以下、11%以下、特に10.4%以下である。一方、Bの含有量が少な過ぎると、高温粘度が高くなって、溶融性が低下したり、クラック発生率が上昇したり、液相温度が高くなったり、密度が高くなり易い。よって、Bの含有量は、好ましくは2%以上、3%以上、4%以上、5%以上、7%以上、8.5%以上、8.8%以上、特に9%以上である。 The content of B 2 O 3 is preferably 0 to 17%. When the content of B 2 O 3 is too large, the strain point, the Young's modulus, acid resistance tends to decrease. Therefore, the content of B 2 O 3 is preferably 15% or less, 13% or less, 12% or less, 11% or less, particularly 10.4% or less. On the other hand, when the content of B 2 O 3 is too small, the high-temperature viscosity becomes high, the meltability is lowered, the crack generation rate is increased, the liquidus temperature is increased, and the density is easily increased. Therefore, the content of B 2 O 3 is preferably 2% or more, 3% or more, 4% or more, 5% or more, 7% or more, 8.5% or more, 8.8% or more, particularly 9% or more. is there.

MgOは、ヤング率、歪点を高めると共に、高温粘度、クラック発生率を低下させる成分である。しかし、MgOの含有量が多過ぎると、液相温度が上昇して、耐失透性が低下し易くなることに加えて、耐BHF性が低下し易くなる。よって、MgOの含有量は、好ましくは10%以下、5%以下、3%以下、2%以下、1.5%以下、1%以下、特に0.5%以下である。   MgO is a component that increases the Young's modulus and strain point and decreases the high-temperature viscosity and crack generation rate. However, if the content of MgO is too large, the liquidus temperature rises and the devitrification resistance tends to decrease, and in addition, the BHF resistance tends to decrease. Therefore, the content of MgO is preferably 10% or less, 5% or less, 3% or less, 2% or less, 1.5% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less.

CaOの含有量は0〜15%が好ましい。CaOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、CaOの含有量は、好ましくは12%以下、10%以下、9%以下、特に8.5%以下である。一方、CaOの含有量が少な過ぎると、溶融性、ヤング率が低下し易くなる。よって、CaOの含有量は、好ましくは2%以上、3%以上、5%以上、6%以上、7%以上、特に7.5%以上である。   The content of CaO is preferably 0 to 15%. When there is too much content of CaO, a density and a thermal expansion coefficient will become high easily. Therefore, the content of CaO is preferably 12% or less, 10% or less, 9% or less, and particularly 8.5% or less. On the other hand, when there is too little content of CaO, a meltability and a Young's modulus will fall easily. Therefore, the CaO content is preferably 2% or more, 3% or more, 5% or more, 6% or more, 7% or more, particularly 7.5% or more.

SrOの含有量は0〜15%が好ましい。SrOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、SrOの含有量は、好ましくは12%以下、10%以下、6%以下、5%以下、特に6.5%以下である。一方、SrOの含有量が少な過ぎると、溶融性、耐薬品性が低下し易くなる。よって、SrOの含有量は、好ましくは0.5%以上、1%以上、2%以上、3%以上、特に3.5%以上である。   The content of SrO is preferably 0 to 15%. When there is too much content of SrO, a density and a thermal expansion coefficient will become high easily. Therefore, the content of SrO is preferably 12% or less, 10% or less, 6% or less, 5% or less, and particularly 6.5% or less. On the other hand, when there is too little content of SrO, a meltability and chemical resistance will fall easily. Therefore, the content of SrO is preferably 0.5% or more, 1% or more, 2% or more, 3% or more, particularly 3.5% or more.

BaOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、BaOの含有量は、好ましくは30%以下、25%以下、20%以下、15%以下、10%以下、5%以下、2%以下、1%以下、特に0.5%以下である。   When there is too much content of BaO, a density and a thermal expansion coefficient will become high easily. Therefore, the content of BaO is preferably 30% or less, 25% or less, 20% or less, 15% or less, 10% or less, 5% or less, 2% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less. .

MgO、CaO、SrO、BaOの各成分を複数導入すると、液相温度が低下して、ガラス中に結晶異物が発生し難くなる。一方、これらの成分の合量が少な過ぎると、融剤としての働きを十分に発揮できず、溶融性が低下し易くなる。よって、これらの成分の合量は、好ましくは5%以上、8%以上、9%以上、11%以上、特に13%以上である。一方、これらの成分の合量が多過ぎると、密度が上昇し、ガラスの軽量化が図り難くなることに加えて、クラック発生率が高くなる傾向がある。よって、これらの成分の合量は、好ましくは30%以下、20%以下、18%以下、特に15%以下である。特に、ガラスフィルムの低密度化を優先したい場合、これらの成分の合量は、好ましくは5%以上、特に8%以上であり、また13%以下、11%以下、特に10%以下である。   When a plurality of MgO, CaO, SrO, and BaO components are introduced, the liquidus temperature is lowered, and it is difficult for crystal foreign matter to be generated in the glass. On the other hand, if the total amount of these components is too small, the function as a flux cannot be sufficiently exhibited, and the meltability tends to be lowered. Therefore, the total amount of these components is preferably 5% or more, 8% or more, 9% or more, 11% or more, particularly 13% or more. On the other hand, if the total amount of these components is too large, the density increases and it becomes difficult to reduce the weight of the glass, and the crack generation rate tends to increase. Therefore, the total amount of these components is preferably 30% or less, 20% or less, 18% or less, and particularly 15% or less. In particular, when priority is given to lowering the density of the glass film, the total amount of these components is preferably 5% or more, particularly 8% or more, and 13% or less, 11% or less, particularly 10% or less.

ZnOは、溶融性、ヤング率を高める成分である。しかし、ZnOの含有量が多過ぎると、ガラスが失透したり、歪点が低下したり、密度が上昇し易くなる。よって、ZnOの含有量は、好ましくは15%以下、10%以下、5%以下、3%以下、1%以下、特に0.5%以下である。   ZnO is a component that increases meltability and Young's modulus. However, when the content of ZnO is too large, the glass is devitrified, the strain point is lowered, and the density is easily increased. Therefore, the content of ZnO is preferably 15% or less, 10% or less, 5% or less, 3% or less, 1% or less, particularly 0.5% or less.

ZrOは、ヤング率を高める成分である。しかし、ZrOの含有量が多過ぎると、液相温度が上昇し、ジルコンの失透異物が発生し易くなる。よって、ZrOの含有量は、好ましくは3%以下、1%以下、0.5%以下、特に0.1%以下である。 ZrO 2 is a component that increases the Young's modulus. However, when the content of ZrO 2 is too large, the liquidus temperature rises and zircon devitrification foreign matter is likely to be generated. Therefore, the content of ZrO 2 is preferably 3% or less, 1% or less, 0.5% or less, particularly 0.1% or less.

Feの上限含有量は、好ましくは1000ppm(0.1%)以下、800ppm以下、300ppm以下、200ppm以下、130ppm以下、100ppm以下、80ppm以下、60ppm以下、40ppm以下、30ppm以下、20ppm以下、特に10ppm以下であり、下限含有量は、好ましくは1ppm以上、特に3ppm以上である。Feの含有量が少ない程、透過率が高くなるため、光学結像部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。なお、Feの含有量を低減するためには、高純度の原料を使用することが好ましい。 The upper limit content of Fe 2 O 3 is preferably 1000 ppm (0.1%) or less, 800 ppm or less, 300 ppm or less, 200 ppm or less, 130 ppm or less, 100 ppm or less, 80 ppm or less, 60 ppm or less, 40 ppm or less, 30 ppm or less, 20 ppm or less The lower limit content is preferably 1 ppm or more, particularly 3 ppm or more. The smaller the content of Fe 2 O 3, the higher the transmittance. Therefore, when applied to an optical imaging member or the like, the light loss is reduced when light is transmitted while repeating reflection, and high resolution is achieved. It becomes easier to obtain an image. In order to reduce the content of Fe 2 O 3 , it is preferable to use a high-purity raw material.

、Nb、Laは、歪点、ヤング率等を高める成分である。しかし、これらの成分の含有量が多過ぎると、密度が高くなり易い。よって、Y、Nb、Laの含有量は、それぞれ3%以下が好ましい。 Y 2 O 3 , Nb 2 O 3 , and La 2 O 3 are components that increase the strain point, Young's modulus, and the like. However, if the content of these components is too large, the density tends to increase. Therefore, the content of Y 2 O 3 , Nb 2 O 3 and La 2 O 3 is preferably 3% or less.

清澄剤として、As、Sb、CeO、SnO、F、Cl、SOの群から選択された一種又は二種以上を0〜3%添加してもよい。但し、As、Sb及びF、特にAs及びSbは、環境的観点から、その使用を極力控えることが好ましく、各々の含有量を0.1%未満に制限することが好ましい。好ましい清澄剤は、SnO、SO及びClである。SnOの含有量は、好ましくは0〜1%、0.01〜0.5%、特に0.05〜0.4%である。また、SnO+SO+Cl(SnO、SO及びClの合量)の含有量は、好ましくは0.001〜1%、0.01〜0.5%、特に0.01〜0.3%である。 As a fining agent, As 2 O 3, Sb 2 O 3, CeO 2, SnO 2, F, Cl, selected from the group of SO 3 was one or two or more may be added 0-3%. However, As 2 O 3 , Sb 2 O 3 and F, especially As 2 O 3 and Sb 2 O 3 are preferably refrained from use as much as possible from an environmental point of view, and each content is less than 0.1%. It is preferable to limit to. Preferred fining agents are SnO 2, SO 3 and Cl. The content of SnO 2 is preferably 0 to 1%, 0.01 to 0.5%, particularly 0.05 to 0.4%. Further, the content of SnO 2 + SO 3 + Cl (total amount of SnO 2 , SO 3 and Cl) is preferably 0.001 to 1%, 0.01 to 0.5%, particularly 0.01 to 0.3. %.

上記成分以外にも、他の成分を添加してもよく、他の成分の含有量は10%以下、特に5%以下が好ましい。   In addition to the above components, other components may be added, and the content of other components is preferably 10% or less, particularly preferably 5% or less.

本発明のガラス積層体は、少なくとも一方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムが積層されていることが好ましい。このようにすれば、ガラス積層体の製造コストを低廉化し易くなる。また、成膜効率の観点から、一方の表面のみに反射膜が形成されたガラスフィルムが積層されていることが更に好ましい。   As for the glass laminated body of this invention, it is preferable that the glass film in which the reflecting film was formed in at least one surface is laminated | stacked. If it does in this way, it will become easy to reduce the manufacturing cost of a glass laminated body. Further, from the viewpoint of film formation efficiency, it is more preferable that a glass film having a reflective film formed on only one surface is laminated.

反射膜は、種々の材料が使用可能であるが、その中でも、高解像度の結像を得る観点からAl又はAgが好ましい。   Various materials can be used for the reflective film, and among these, Al or Ag is preferable from the viewpoint of obtaining a high-resolution image.

ガラスフィルムの表面に反射膜を形成する方法として、種々の方法があり、例えば、蒸着、スパッタ、めっき等が挙げられる。特に、成膜効率の観点から、スパッタで反射膜を形成することが好ましい。   There are various methods for forming the reflective film on the surface of the glass film, and examples thereof include vapor deposition, sputtering, and plating. In particular, from the viewpoint of film formation efficiency, it is preferable to form the reflective film by sputtering.

スパッタ、蒸着により反射膜(特にAlの反射膜)を形成する場合、その反射膜を電解研磨することが好ましい。このようにすれば、反射膜の正反射率が向上して、結像される像の画質を高めることができる。   When a reflective film (particularly an Al reflective film) is formed by sputtering or vapor deposition, the reflective film is preferably electropolished. In this way, the regular reflectance of the reflective film is improved, and the image quality of the image formed can be improved.

ガラスフィルムの表面に対して、反射膜付き樹脂フィルムを貼り付けることも好ましい。このようにすれば、反射膜の形成コストを低減することができる。   It is also preferable to stick a resin film with a reflective film on the surface of the glass film. In this way, the formation cost of the reflective film can be reduced.

ガラスフィルムの表面に対して、Alペースト、Agペースト等の金属ペーストを塗布、乾燥した後、得られたガラスフィルムを積層、焼成することも好ましく、金属ペーストにはガラスフリットが含まれることが好ましい。このようにすれば、ガラスフィルム同士の固着と反射膜の形成を同時に行うことができる。   It is also preferable to apply and dry a metal paste such as an Al paste or an Ag paste on the surface of the glass film, and then laminate and fire the obtained glass film. The metal paste preferably contains glass frit. . If it does in this way, fixation of glass films and formation of a reflective film can be performed simultaneously.

反射膜上には、必要に応じて、SiO等の保護膜を形成してもよい。このようにすれば、反射膜を適正に保護することができる。 A protective film such as SiO 2 may be formed on the reflective film as necessary. If it does in this way, a reflective film can be protected appropriately.

本発明のガラス積層体において、ガラスフィルムの積層枚数は、好ましくは100枚以上、200枚以上、300枚以上、400枚以上、500枚以上、600枚以上、特に700枚以上である。ガラスフィルムの積層枚数が多い程、大型の光学結像部材を作製し易くなる。   In the glass laminate of the present invention, the number of laminated glass films is preferably 100 or more, 200 or more, 300 or more, 400 or more, 500 or more, 600 or more, particularly 700 or more. The larger the number of laminated glass films, the easier it is to produce a large optical imaging member.

本発明のガラス積層体は、ガラスフィルム同士が接着剤により積層一体化されていることが好ましい。つまりガラスフィルム間に接着層を有することが好ましい。このようにすれば、ガラスフィルム同士を強固に積層一体化することができる。また、接着層の厚みは、好ましくは100μm以下、70μm以下、50μm以下、40μm以下、特に30μm以下である。このようにすれば、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。なお、接着剤として、種々の材料が使用可能であるが、光学特性の観点からOCA、セメダイン等の透明接着剤が好ましく、製造効率の観点からUV硬化樹脂接着剤も好ましい。   In the glass laminate of the present invention, the glass films are preferably laminated and integrated with each other by an adhesive. That is, it is preferable to have an adhesive layer between the glass films. If it does in this way, glass films can be firmly laminated and integrated. Further, the thickness of the adhesive layer is preferably 100 μm or less, 70 μm or less, 50 μm or less, 40 μm or less, particularly 30 μm or less. If it does in this way, it will become easy to narrow the space | interval of a reflecting film. Although various materials can be used as the adhesive, transparent adhesives such as OCA and cemedine are preferable from the viewpoint of optical properties, and UV curable resin adhesives are also preferable from the viewpoint of production efficiency.

接着層として、EVA樹脂(エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂)接着層が好ましく、EVA樹脂接着層は、ガラスフィルムの表面に反射膜を形成した後に設けることが好ましい。EVA樹脂接着層の厚みは、好ましくは0.5mm以下、0.4mm以下、0.3mm以下、0.2mm以下、0.1mm以下、0.05mm以下、特に0.005〜0.03mmである。これにより、高解像度の結像を得易くなる。   As the adhesive layer, an EVA resin (ethylene-vinyl acetate copolymer resin) adhesive layer is preferable, and the EVA resin adhesive layer is preferably provided after a reflective film is formed on the surface of the glass film. The thickness of the EVA resin adhesive layer is preferably 0.5 mm or less, 0.4 mm or less, 0.3 mm or less, 0.2 mm or less, 0.1 mm or less, 0.05 mm or less, particularly 0.005 to 0.03 mm. . This makes it easy to obtain high resolution imaging.

接着層、特にEVA樹脂接着層を形成するに際し、加熱することが好ましく、加熱温度は、好ましくは50℃以上、70℃以上、90℃以上、100℃以上、特に110〜250℃である。これにより、EVA樹脂層の形成時間を短縮することができる。また、加熱時の圧力は、好ましくは700torr以下、70torr以下、10torr以下、1torr以下、0.1torr以下、特に0.01torr以下である。これにより、接着層、特にEVA樹脂接着層の界面での発泡を抑制することができる。   In forming the adhesive layer, particularly the EVA resin adhesive layer, it is preferable to heat, and the heating temperature is preferably 50 ° C or higher, 70 ° C or higher, 90 ° C or higher, 100 ° C or higher, particularly 110 to 250 ° C. Thereby, the formation time of the EVA resin layer can be shortened. The heating pressure is preferably 700 torr or less, 70 torr or less, 10 torr or less, 1 torr or less, 0.1 torr or less, particularly 0.01 torr or less. Thereby, foaming at the interface of the adhesive layer, particularly the EVA resin adhesive layer, can be suppressed.

接着層は、生産効率の観点から、接着剤の塗布により形成されていることが好ましい。接着剤の塗布方法として、種々の方法が利用可能であるが、その中でも塗布作業性の観点からディスペンサー塗布、スクリーン印刷が好ましい。   The adhesive layer is preferably formed by applying an adhesive from the viewpoint of production efficiency. Various methods can be used as the method for applying the adhesive. Among them, dispenser coating and screen printing are preferable from the viewpoint of coating workability.

ガラスフィルム同士を積層一体化する方法として、ガラスフィルムを重ね合わせた状態で熱処理する方法も考えられる。この方法では、接着層が不要になるため、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。なお、隣り合う表面同士が平滑であれば、低温(250℃程度)で積層一体化を行うことができる。   As a method of laminating and integrating the glass films, a method of heat treatment in a state where the glass films are superposed is also conceivable. This method eliminates the need for an adhesive layer, so that it is easy to reduce the interval between the reflective films. If adjacent surfaces are smooth, stacking and integration can be performed at a low temperature (about 250 ° C.).

本発明の光学結像部材は、一対のガラス積層体を備える光学結像部材であって、一対のガラス積層体のそれぞれが、上記のガラス積層体であり、且つ一対のガラス積層体が、反射膜が形成された面同士が直交するように配置されていることを特徴とする。   The optical imaging member of the present invention is an optical imaging member provided with a pair of glass laminates, each of the pair of glass laminates being the above glass laminate, and the pair of glass laminates being a reflection. The surfaces on which the films are formed are arranged so as to be orthogonal to each other.

一対のガラス積層体は、接着剤により接着固定されていることが好ましい。つまり、ガラス積層体間に接着層を有することが好ましい。このようにすれば、一対のガラス積層体を強固に接着固定することができる。また、接着層の厚みは、光学的な影響を最小化するために、好ましくは100μm以下、70μm以下、50μm以下、40μm以下、特に1〜30μmである。なお、接着剤として、種々の材料が使用可能であるが、OCA等の透明接着剤が好ましい。   The pair of glass laminates are preferably bonded and fixed with an adhesive. That is, it is preferable to have an adhesive layer between the glass laminates. In this way, the pair of glass laminates can be firmly bonded and fixed. The thickness of the adhesive layer is preferably 100 μm or less, 70 μm or less, 50 μm or less, 40 μm or less, particularly 1 to 30 μm in order to minimize the optical influence. In addition, although various materials can be used as the adhesive, a transparent adhesive such as OCA is preferable.

一対のガラス積層体の最外層側にガラス基板をそれぞれ配置することが好ましく、ガラス基板とガラス積層体を接着層で接着固定することが好ましい。具体的には、第一のガラス基板、接着層、第一のガラス積層体、接着層、第二のガラス積層体、接着層、第二のガラス基板の順に積層配置することが好ましい。このようにすれば、一対のガラス積層体の表面(好ましくは切断面)を高精度に研磨する必要がなくなり、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。   It is preferable to arrange a glass substrate on the outermost layer side of the pair of glass laminates, and it is preferable to adhere and fix the glass substrate and the glass laminate with an adhesive layer. Specifically, the first glass substrate, the adhesive layer, the first glass laminate, the adhesive layer, the second glass laminate, the adhesive layer, and the second glass substrate are preferably laminated in this order. In this way, it is not necessary to polish the surfaces (preferably cut surfaces) of the pair of glass laminates with high accuracy, and the manufacturing cost of the optical imaging member can be greatly reduced.

一対のガラス積層体の表面(好ましくは切断面)の表面粗さRaは、好ましくは0.01μm以上、0.05μm以上、0.1μm以上、0.2μm以上、0.4μm以上、特に0.7μm以上であり、好ましくは3μm以下、2μm以下、1.5μm以下、1.2μm以下、特に1μm以下である。一対のガラス積層体の表面の表面粗さRaを過小にしようとすると、この表面の研磨の必要性が高くなり、結果として、光学結像部材の製造コストが高騰する虞がある。一方、一対のガラス積層体の表面の表面粗さRaが大き過ぎると、接着層に空気が混入し易くなる。   The surface roughness Ra of the surfaces (preferably cut surfaces) of the pair of glass laminates is preferably 0.01 μm or more, 0.05 μm or more, 0.1 μm or more, 0.2 μm or more, 0.4 μm or more, particularly preferably It is 7 μm or more, preferably 3 μm or less, 2 μm or less, 1.5 μm or less, 1.2 μm or less, particularly 1 μm or less. If the surface roughness Ra of the surface of the pair of glass laminates is made too small, the necessity for polishing the surface increases, and as a result, the manufacturing cost of the optical imaging member may increase. On the other hand, if the surface roughness Ra of the surface of the pair of glass laminates is too large, air is easily mixed into the adhesive layer.

ガラス積層体とガラス基板を接着固定するための接着層の屈折率nは、ガラス積層体中のガラスフィルムの屈折率と整合していることが好ましい。ガラスフィルムと接着層の屈折率n差は、好ましくは0.2以下、0.15以下、0.12以下、0.1以下、0.08以下、0.05以下、0.02以下、0.01以下、0.008以下、特に0.005以下である。これにより、ガラス積層体の接着層側の表面を研磨しなくても、ガラス積層体と接着層の界面での拡散反射を低減することができる。結果として、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。なお、屈折率nは、精密屈折率計により測定可能である。 Refractive index n d of the adhesive layer for bonding and fixing the glass laminate and glass substrate are preferably matched to the refractive index of the glass film of the glass laminate in. The refractive index nd difference between the glass film and the adhesive layer is preferably 0.2 or less, 0.15 or less, 0.12 or less, 0.1 or less, 0.08 or less, 0.05 or less, 0.02 or less, 0.01 or less, 0.008 or less, particularly 0.005 or less. Thereby, the diffuse reflection at the interface between the glass laminate and the adhesive layer can be reduced without polishing the surface of the glass laminate on the adhesive layer side. As a result, the manufacturing cost of the optical imaging member can be significantly reduced. The refractive index n d can be measured by a precision refractometer.

接着層の屈折率は、ガラス基板の屈折率と整合していることが好ましい。ガラス基板と接着層の屈折率n差は、好ましくは0.2以下、0.15以下、0.12以下、0.1以下、0.08以下、0.05以下、0.02以下、0.01以下、0.008以下、特に0.005以下である。これにより、ガラス基板と接着層の界面での拡散反射を低減することができる。 The refractive index of the adhesive layer is preferably matched with the refractive index of the glass substrate. The refractive index nd difference between the glass substrate and the adhesive layer is preferably 0.2 or less, 0.15 or less, 0.12 or less, 0.1 or less, 0.08 or less, 0.05 or less, 0.02 or less, 0.01 or less, 0.008 or less, particularly 0.005 or less. Thereby, the diffuse reflection at the interface between the glass substrate and the adhesive layer can be reduced.

接着層の屈折率nは、好ましくは1.60以下、1.55以下、1.54以下、1.52以下、1.51以下、特に1.50以下であり、好ましくは1.45以上、1.48以上、特に1.49以上である。これにより、ガラスフィルムやガラス基板の屈折率に整合させ易くなり、接着層の界面での拡散反射を抑制することができる。 Refractive index n d of the adhesive layer is preferably 1.60 or less, 1.55 or less, 1.54 or less, 1.52 or less, 1.51 or less, particularly 1.50 or less, preferably 1.45 or more 1.48 or more, particularly 1.49 or more. Thereby, it becomes easy to match the refractive index of a glass film or a glass substrate, and diffuse reflection at the interface of the adhesive layer can be suppressed.

ガラス基板の表面粗さRaは、好ましくは1.0nm以下、0.8nm以下、0.6nm以下、0.5nm以下、0.4nm以下、0.3nm以下、0.2nm以下、特に0.001〜0.1nmが好ましい。このようにすれば、光学結像部材の機械的強度を高めることができる。   The surface roughness Ra of the glass substrate is preferably 1.0 nm or less, 0.8 nm or less, 0.6 nm or less, 0.5 nm or less, 0.4 nm or less, 0.3 nm or less, 0.2 nm or less, particularly 0.001. ˜0.1 nm is preferred. In this way, the mechanical strength of the optical imaging member can be increased.

ガラス基板は、オーバーフローダウンドロー法により成形されていることが好ましい。このようにすれば、ガラス基板の表面精度が向上し、研磨工程を省略することが可能になる。   The glass substrate is preferably molded by an overflow downdraw method. In this way, the surface accuracy of the glass substrate is improved and the polishing step can be omitted.

ガラス基板は、表面に圧縮応力層を有する強化ガラスであることが好ましい。この場合、圧縮応力層の圧縮応力値は、好ましくは200MPa以上、400MPa以上、600MPa以上、特に800〜1500MPaであり、応力深さは、好ましくは10μm以上、20μm以上、30μm以上、特に40〜80μmである。このようにすれば、光学結像部材の機械的強度を高めることができる。   The glass substrate is preferably tempered glass having a compressive stress layer on the surface. In this case, the compressive stress value of the compressive stress layer is preferably 200 MPa or more, 400 MPa or more, 600 MPa or more, particularly 800 to 1500 MPa, and the stress depth is preferably 10 μm or more, 20 μm or more, 30 μm or more, particularly 40 to 80 μm. It is. In this way, the mechanical strength of the optical imaging member can be increased.

ガラス基板は、外側表面(ガラス積層体とは反対側)に反射防止膜(反射防止層)を有することが好ましい。これにより、外側表面の反射が抑制されて、高解像度の結像を得易くなる。   The glass substrate preferably has an antireflection film (antireflection layer) on the outer surface (the side opposite to the glass laminate). Thereby, reflection of the outer surface is suppressed, and high-resolution imaging is easily obtained.

本発明のガラス積層体の製造方法は、厚み500μm以下のガラスフィルムの少なくとも一方の表面に反射膜が形成された反射膜付きガラスフィルムを用意する工程と、反射膜付きガラスフィルムを積層一体化して、ガラス積層体を得る工程と、を備えることを特徴とし、反射膜付きガラスフィルムを接着剤により積層一体化することが好ましい。ここで、本発明のガラス積層体の製造方法の技術的特徴(例えば、ガラスフィルム、ガラス積層体の好適な特性、態様等)は、本発明のガラス積層体の説明欄に一部記載されている。本明細書では、便宜上、重複部分の説明を省略する。   The method for producing a glass laminate of the present invention comprises a step of preparing a glass film with a reflective film in which a reflective film is formed on at least one surface of a glass film having a thickness of 500 μm or less, and a glass film with a reflective film is laminated and integrated. And a step of obtaining a glass laminate, and the glass film with a reflective film is preferably laminated and integrated with an adhesive. Here, the technical characteristics of the glass laminate production method of the present invention (for example, glass film, suitable characteristics and modes of the glass laminate) are partially described in the explanation column of the glass laminate of the present invention. Yes. In the present specification, the description of overlapping portions is omitted for convenience.

本発明のガラス積層体の製造方法において、反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与して、積層一体化することが好ましく、反射膜付きガラスフィルム間に接着剤を介在させた状態で押圧力を付与して、積層一体化することがより好ましい。このようにすれば、接着剤が反射膜付きガラスフィルム間で広がり易くなると共に、接着剤の密着性が向上して、ガラス積層体の一体化強度を高めることができる。   In the method for producing a glass laminate of the present invention, it is preferable to apply a pressing force to the glass film with a reflective film to integrate the layers, and the pressing force is applied with an adhesive interposed between the glass films with the reflective film. It is more preferable to apply and laminate and integrate. If it does in this way, while an adhesive agent will spread easily between glass films with a reflecting film, the adhesiveness of an adhesive agent will improve and the integrated strength of a glass laminated body can be raised.

押圧力を付与する手段として、ローラーを用いることが好ましい。このようにすれば、押圧力を簡便に付与することができる。   A roller is preferably used as a means for applying a pressing force. In this way, it is possible to easily apply the pressing force.

反射膜付きガラスフィルムの表面にディスペンサー等により接着剤を塗布し、その上に別の反射膜付きガラスフィルムを重ねた後、この反射膜付きガラスフィルムの一端から他端に渡って、ローラーを回転移動させながら、反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与することが好ましい。このようにすれば、反射膜付きガラスフィルムの撓みが抑制されると共に、接着剤の密着性が向上して、ガラス積層体の一体化強度を高めることができる。   After applying an adhesive on the surface of the glass film with a reflective film with a dispenser or the like and stacking another glass film with a reflective film on it, the roller is rotated across the glass film with the reflective film from one end to the other. While moving, it is preferable to apply a pressing force to the glass film with a reflective film. If it does in this way, while the bending of the glass film with a reflecting film will be suppressed, the adhesiveness of an adhesive agent will improve and the integrated strength of a glass laminated body can be raised.

第一の反射膜付きガラスフィルムの表面にディスペンサー等により接着剤を塗布し、その上に第二の反射膜付きガラスフィルムを重ねた後、第二の反射膜付きガラスフィルムの一端から他端に渡って、ローラーを回転移動させながら、第二の反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与し、更に第二の反射膜付きガラスフィルムの表面にディスペンサー等により接着剤を塗布し、その上に第三の反射膜付きガラスフィルムを重ねた後、第二の反射膜付きガラスフィルムの場合とは逆方向に、第三の反射膜付きガラスフィルムの一端から他端に渡って、ローラーを回転移動させながら、第三の反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与することが好ましく、このような工程を繰り返し、反射膜付きガラスフィルムを順次積層一体化することが好ましい。このようにすれば、ガラス積層体を効率良く作製することができる。   After applying an adhesive on the surface of the glass film with the first reflective film with a dispenser or the like and stacking the glass film with the second reflective film thereon, from one end to the other end of the glass film with the second reflective film Then, while rotating the roller, a pressing force is applied to the glass film with the second reflective film, and an adhesive is applied to the surface of the glass film with the second reflective film by a dispenser, etc. After the three glass films with a reflective film are stacked, the roller is rotated and moved in the opposite direction to the glass film with the second reflective film from one end to the other end of the glass film with the third reflective film. However, it is preferable to apply a pressing force to the third glass film with a reflective film, and it is preferable to repeat such processes and sequentially laminate and integrate the glass films with a reflective film. There. If it does in this way, a glass layered product can be produced efficiently.

反射膜付きガラスフィルムに押圧力を付与する工程は、押圧力を適正に付与するために、ガラス積層体を短冊状に切断する前に行うことが好ましく、この工程におけるガラスフィルムの長さ寸法と幅寸法は、何れも200mm以上、300mm以上、500mm以上、600mm以上、800mm以上、特に1000〜3000mmが好ましい。   The step of applying a pressing force to the glass film with a reflective film is preferably performed before cutting the glass laminate into a strip shape in order to appropriately apply the pressing force, and the length dimension of the glass film in this step The width dimensions are preferably 200 mm or more, 300 mm or more, 500 mm or more, 600 mm or more, 800 mm or more, particularly preferably 1000 to 3000 mm.

本発明のガラス積層体の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体に対して、反射膜が形成された面に直交する方向に短冊状に切断する工程を有することが好ましい。このようにすれば、短冊状のガラス積層体を簡便に作製することができ、光学結像部材の製造効率が向上する。   The manufacturing method of the glass laminated body of this invention has the process of cut | disconnecting in strip shape in the direction orthogonal to the surface in which the reflective film was formed with respect to the glass laminated body by which the glass film with a reflective film was laminated | stacked and integrated. Is preferred. If it does in this way, a strip-shaped glass laminated body can be produced simply and the manufacturing efficiency of an optical imaging member will improve.

ガラス積層体を短冊状に切断する方法として、種々の方法が使用可能である。その中でもワイヤーソーを用いて切断することが好ましく、ワイヤーソーに研磨砥粒を含むスラリーを供給しながら切断することが好ましい。更に、ワイヤーソーをガラス積層体のガラスフィルムの表面に対して45°以下、30°以下、20°以下、10°以下、5°以下、3°以下、特に1°以下の角度に規制した状態で切断することが好ましい。ガラス積層体の切断は、通常のガラス単体の切断とは異なり、ガラスフィルム、反射膜、接着層等を有する複合材料の切断になる。このため、ガラス積層体の切断時に、各構成部材の接着強度が不十分であると、構成部材の一部が引き剥がされる虞がある。そこで、切断手段として、上記方法を用いると、各種部材の引き剥がしに繋がる応力が低減されて、上記不具合を適正に防止することができる。   Various methods can be used as a method of cutting the glass laminate into strips. Among them, it is preferable to cut using a wire saw, and it is preferable to cut while supplying a slurry containing abrasive grains to the wire saw. Furthermore, the wire saw is regulated at an angle of 45 ° or less, 30 ° or less, 20 ° or less, 10 ° or less, 5 ° or less, 3 ° or less, particularly 1 ° or less with respect to the surface of the glass film of the glass laminate. It is preferable to cut with. The cutting of the glass laminate is different from the cutting of ordinary glass alone, and is the cutting of a composite material having a glass film, a reflective film, an adhesive layer and the like. For this reason, when the glass laminate is cut, if the adhesive strength of each constituent member is insufficient, a part of the constituent member may be peeled off. Therefore, when the above method is used as the cutting means, the stress that leads to the peeling of the various members is reduced, and the above problems can be prevented appropriately.

ワイヤソーのワイヤー幅は、好ましくは500μm以下、300μm以下、200μm以下、特に10〜100μmである。ワイヤーソーのワイヤー幅が大き過ぎると、短冊状のガラス積層体の収率が低下し易くなる。なお、ワイヤーソーのワイヤー幅が小さ過ぎると、切断時にワイヤーが切れる虞がある。   The wire width of the wire saw is preferably 500 μm or less, 300 μm or less, 200 μm or less, particularly 10 to 100 μm. If the wire width of the wire saw is too large, the yield of the strip-shaped glass laminate tends to decrease. If the wire width of the wire saw is too small, the wire may be broken during cutting.

ワイヤーソーを用いて切断する場合、切断後のスラリーに含まれる金属を沈殿回収するために、スラリーの循環装置を設置することが好ましく、更に金属沈殿槽を併設することが好ましい。なお、スラリー中に金属が混入すると、切断効率が低下し易くなる。   When cutting using a wire saw, in order to precipitate and recover the metal contained in the slurry after cutting, it is preferable to install a slurry circulation device, and it is preferable to additionally provide a metal precipitation tank. In addition, when a metal mixes in a slurry, cutting efficiency will fall easily.

本発明の光学結像部材の製造方法は、反射膜付きガラスフィルムが積層一体化されたガラス積層体を一対用意する工程と、一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とし、ガラス積層体は、本発明のガラス積層体の製造方法により作製されていることが好ましい。ここで、本発明の光学結像部材の製造方法の技術的特徴(例えば、ガラスフィルム、ガラス積層体、ガラス積層体の製造方法の好適な特性、態様等)は、本発明のガラス積層体及びガラス積層体の製造方法の説明欄に一部記載されている。本明細書では、便宜上、重複部分の説明を省略する。   In the method for producing an optical imaging member of the present invention, a step of preparing a pair of glass laminates in which glass films with reflection films are laminated and integrated, and a pair of glass laminates on which the reflection films are formed are orthogonal to each other. And the step of obtaining an optical imaging member. The glass laminate is preferably produced by the method for producing a glass laminate of the present invention. Here, the technical characteristics of the optical imaging member manufacturing method of the present invention (for example, glass film, glass laminate, suitable characteristics and modes of the glass laminate manufacturing method) are the glass laminate of the present invention and Some are described in the explanation column of the method for producing a glass laminate. In the present specification, the description of overlapping portions is omitted for convenience.

本発明の光学結像部材の製造方法は、更に、一対のガラス積層体の積層外表面(通常、切断面になる)にガラス基板を配置する工程を有することが好ましい。このようにすれば、一対のガラス積層体の積層外表面を高精度に研磨する必要がなくなり、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。更に、この場合、一対のガラス積層体の積層外表面を実質的に研磨しないことが好ましい。   The method for producing an optical imaging member of the present invention preferably further includes a step of disposing a glass substrate on the outer surface (usually a cut surface) of the pair of glass laminates. In this case, it is not necessary to polish the laminated outer surfaces of the pair of glass laminates with high accuracy, and the manufacturing cost of the optical imaging member can be greatly reduced. Furthermore, in this case, it is preferable that the laminated outer surfaces of the pair of glass laminates are not substantially polished.

次に、本発明のガラス積層体、光学結像部材の一例について、図面を参酌しながら説明する。図1は、本発明のガラス積層体1の一例を示す概念斜視図である。ガラス積層体1は、厚み500μm以下のガラスフィルム10が積層されており、ガラスフィルム10間にそれぞれ反射膜11を有している。ガラスフィルム10の一方の表面には、反射膜11が形成されており、他方の表面には反射膜11が形成されていない。ガラスフィルム10同士は、反射膜同士が重ならないように、図示しない接着層により積層一体化されている。なお、図中において、反射膜11の厚みは、誇張して表示されている。   Next, an example of the glass laminate and the optical imaging member of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a conceptual perspective view showing an example of the glass laminate 1 of the present invention. The glass laminate 1 is laminated with a glass film 10 having a thickness of 500 μm or less, and has a reflective film 11 between the glass films 10. The reflective film 11 is formed on one surface of the glass film 10, and the reflective film 11 is not formed on the other surface. The glass films 10 are laminated and integrated with an adhesive layer (not shown) so that the reflective films do not overlap. In the drawing, the thickness of the reflective film 11 is exaggerated.

図2は、本発明のガラス積層体2の一例を示す概念斜視図であり、図1に記載のガラス積層体1を反射膜が形成された面に直交する方向に短冊状に切断したものである。このようにすれば、短冊状のガラス積層体2を効率良く作製することができる。なお、切断幅は、光学結像部材の寸法から適宜決定されている。   FIG. 2 is a conceptual perspective view showing an example of the glass laminate 2 of the present invention, in which the glass laminate 1 shown in FIG. 1 is cut into strips in a direction perpendicular to the surface on which the reflective film is formed. is there. If it does in this way, the strip-shaped glass laminated body 2 can be produced efficiently. Note that the cutting width is appropriately determined from the dimensions of the optical imaging member.

図3は、本発明の光学結像部材3の一例を示す概念斜視図である。光学結像部材3は、図2に記載のガラス積層体2が一対使用されており、一対のガラス積層体2は、反射膜13が形成された面同士が直交するように、ガラス積層体2の側面(切断面)同士が、図示しない接着層により接着固定されている。光学結像部材3は、ガラスフィルム12により、反射膜13の間隔が狭小化、且つ均一化されている。   FIG. 3 is a conceptual perspective view showing an example of the optical imaging member 3 of the present invention. A pair of glass laminates 2 shown in FIG. 2 is used for the optical imaging member 3, and the pair of glass laminates 2 is such that the surfaces on which the reflection films 13 are formed are orthogonal to each other. These side surfaces (cut surfaces) are bonded and fixed by an adhesive layer (not shown). In the optical imaging member 3, the interval between the reflection films 13 is narrowed and made uniform by the glass film 12.

図4は、本発明の光学結像部材4の一例を示す概念斜視図である。光学結像部材4は、図2に記載のガラス積層体2が一対使用されており、一対のガラス積層体2は、反射膜14が形成された面同士が直交するように、ガラス積層体2の側面(切断面)同士が、図示しない接着層により接着固定されている。光学結像部材4は、ガラスフィルム15により、反射膜14の間隔が狭小化、且つ均一化されている。ガラス積層体2の積層外表面には、それぞれガラス基板16が配置されている。一対のガラス積層体2とガラス基板16とは、図示しない接着層により接着固定されている。ここで、接着層の屈折率は、ガラスフィルム15とガラス基板16の屈折率と整合している。   FIG. 4 is a conceptual perspective view showing an example of the optical imaging member 4 of the present invention. A pair of glass laminates 2 shown in FIG. 2 is used for the optical imaging member 4, and the pair of glass laminates 2 is such that the surfaces on which the reflection films 14 are formed are orthogonal to each other. These side surfaces (cut surfaces) are bonded and fixed by an adhesive layer (not shown). In the optical imaging member 4, the interval between the reflective films 14 is narrowed and made uniform by the glass film 15. A glass substrate 16 is disposed on each outer surface of the glass laminate 2. The pair of glass laminates 2 and the glass substrate 16 are bonded and fixed by an adhesive layer (not shown). Here, the refractive index of the adhesive layer matches the refractive index of the glass film 15 and the glass substrate 16.

更に、本発明のガラス積層体の製造方法の一例について、図面を参酌しながら説明する。図5は、反射膜付きガラスフィルムを積層一体化する方法の一例を示す概念断面図である。図5(a)は、反射膜付きガラスフィルム21を吸引装置22により吸着保持して、順次積層する状態を示しており、積層する直前に接着剤の塗布装置23により、既に積層されているガラス積層体24の最外層の表面に接着剤が塗布される。図5(b)は、反射膜付きガラスフィルム21を既に積層されているガラス積層体24に重ねた後、反射膜付きガラスフィルム21の一端から他端に渡って、ローラー25を回転移動させながら、反射膜付きガラスフィルム21に押圧力を付与して、最外の反射膜付きガラスフィルム21を既に積層されているガラス積層体24と積層一体化する状態を示している。図5(c)は、更に別の反射膜付きガラスフィルム26を既に積層されているガラス積層体26に重ねた後、前回とは反対の方向に、反射膜付きガラスフィルム26の一端から他端に渡って、ローラー25を回転移動させながら、反射膜付きガラスフィルム26に押圧力を付与して、反射膜付きガラスフィルム26を既に積層されているガラス積層体27と積層一体化する状態を示している。   Furthermore, an example of the manufacturing method of the glass laminated body of this invention is demonstrated, referring drawings. FIG. 5 is a conceptual cross-sectional view showing an example of a method for laminating and integrating a glass film with a reflective film. FIG. 5A shows a state in which the glass film 21 with a reflective film is sucked and held by the suction device 22 and sequentially laminated, and the glass already laminated by the adhesive application device 23 immediately before lamination. An adhesive is applied to the surface of the outermost layer of the laminate 24. FIG. 5B shows a state in which the glass film 21 with a reflective film 21 is stacked on the glass laminate 24 that has already been laminated, and then the roller 25 is rotated and moved from one end to the other end of the glass film 21 with the reflective film. 1 shows a state in which a pressing force is applied to the glass film 21 with a reflective film, and the outermost glass film 21 with a reflective film is laminated and integrated with the already laminated glass laminate 24. FIG. 5 (c) shows another example in which another glass film 26 with a reflective film is placed on the glass laminate 26 that has already been laminated, and then in the opposite direction to the previous time, from one end to the other end of the glass film 26 with a reflective film. FIG. 2 shows a state where a pressing force is applied to the glass film 26 with a reflecting film while the roller 25 is rotated, and the glass film 26 with a reflecting film is laminated and integrated with the already laminated glass laminate 27. ing.

図6は、ワイヤーソーにより大型のガラス積層体を短冊状に切断する方法の一例を示す概念説明図である。図6(a)は、大型のガラス積層体31にワイヤーソー32を接触させて、大型のガラス積層体31を反射膜が形成された面に直交する方向に切断する直前の状態を示す概念断面図であり、ワイヤーソー32は、大型のガラス積層体31のガラスフィルムの表面からa度だけ傾いた状態になっている。図6(b)は、大型のガラス積層体31を反射膜が形成された面に直交する方向に切断する途中の状態を示す概念断念図である。ここで、ワイヤーソー32の角度は、大型のガラス積層体31のガラスフィルムの表面からα度だけ傾いた状態に維持されている。図6(c)は、大型のガラス積層体31を反射膜が形成された面に直交する方向に切断して、短冊状のガラス積層体33を分断した状態を示す概念斜視図である。   FIG. 6 is a conceptual explanatory view showing an example of a method of cutting a large glass laminate into a strip shape with a wire saw. FIG. 6A is a conceptual cross section showing a state immediately before the wire saw 32 is brought into contact with the large glass laminate 31 and the large glass laminate 31 is cut in a direction perpendicular to the surface on which the reflective film is formed. In the figure, the wire saw 32 is inclined by a degree from the surface of the glass film of the large glass laminate 31. FIG.6 (b) is a conceptual abandonment figure which shows the state in the middle of cut | disconnecting the large sized glass laminated body 31 in the direction orthogonal to the surface in which the reflecting film was formed. Here, the angle of the wire saw 32 is maintained in a state inclined by α degrees from the surface of the glass film of the large glass laminate 31. FIG.6 (c) is a conceptual perspective view which shows the state which cut | disconnected the strip-shaped glass laminated body 33 by cut | disconnecting the large sized glass laminated body 31 in the direction orthogonal to the surface in which the reflecting film was formed.

本発明のガラスフィルムは、厚みが500μm以下であり、且つ少なくとも一方の表面に反射膜が形成されていることを特徴とする。また、本発明のガラスフィルムは、厚みが500μm以下であり、厚み500μm換算、波長350nmにおける透過率が70%以上であり、且つガラス積層体に用いることを特徴とする。なお、本発明のガラスフィルムの技術的特徴は、既述であり、ここでは詳細な説明を省略する。   The glass film of the present invention is characterized in that the thickness is 500 μm or less, and a reflective film is formed on at least one surface. The glass film of the present invention has a thickness of 500 μm or less, has a thickness of 500 μm, has a transmittance of 70% or more at a wavelength of 350 nm, and is used for a glass laminate. The technical characteristics of the glass film of the present invention have already been described, and detailed description thereof is omitted here.

実施例に基づいて、本発明を詳細に説明する。但し、以下の実施例は単なる例示である。本発明は、以下の実施例に何ら限定されない。   The present invention will be described in detail based on examples. However, the following examples are merely illustrative. The present invention is not limited to the following examples.

表1は、ガラスフィルム(試料No.1〜7)のガラス組成と特性を示している。   Table 1 shows the glass composition and characteristics of the glass film (Sample Nos. 1 to 7).

まず表1に記載のガラス組成になるように、ガラス原料を調合し、得られたガラス原料をガラス溶融炉に供給して1500〜1600℃で溶融した。次いで、得られた溶融ガラスをオーバーフローダウンドロー法により、表中の厚み、長さ寸法1500mmになるように成形した。続いて、成形直後のガラスフィルムを徐冷エリアに移動させた。その際に、1012〜1014dPa・sにおける温度での冷却速度が20℃/分になるように、徐冷エリアの温度とフィルム引き出し速度を調整した。 First, glass raw materials were prepared so as to have the glass composition shown in Table 1, and the obtained glass raw materials were supplied to a glass melting furnace and melted at 1500 to 1600 ° C. Next, the obtained molten glass was molded by an overflow down draw method so as to have a thickness and a length dimension of 1500 mm in the table. Subsequently, the glass film immediately after molding was moved to the slow cooling area. At that time, the temperature of the slow cooling area and the film drawing speed were adjusted so that the cooling rate at a temperature of 10 12 to 10 14 dPa · s was 20 ° C./min.

密度は、周知のアルキメデス法により測定した値である。   The density is a value measured by a well-known Archimedes method.

歪点は、ASTM C336−71の方法に基づいて測定した値である。   The strain point is a value measured based on the method of ASTM C336-71.

ガラス転移温度は、熱膨張曲線からJIS R3103−3の方法に基づいて測定した値である。   The glass transition temperature is a value measured from the thermal expansion curve based on the method of JIS R3103-3.

軟化点は ASTM C338−93の方法に基づいて測定した値である。   The softening point is a value measured based on the method of ASTM C338-93.

104.0、103.0、102.5dPa・sにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。この温度が低い程、溶融性に優れていることになる。 The temperature at 10 4.0 , 10 3.0 , 10 2.5 dPa · s is a value measured by a platinum ball pulling method. The lower the temperature, the better the meltability.

ヤング率は、共振法により測定した値である。   The Young's modulus is a value measured by a resonance method.

熱膨張係数は、ディラトメーターを用いて、30〜380℃における平均熱膨張係数を測定したものである。熱膨張係数の測定用試料として、端面にR加工を施したφ5mm×20mmの円柱状の試料を用いた。   The thermal expansion coefficient is obtained by measuring an average thermal expansion coefficient at 30 to 380 ° C. using a dilatometer. As a sample for measuring the coefficient of thermal expansion, a cylindrical sample of φ5 mm × 20 mm whose end face was subjected to R processing was used.

液相温度は、標準篩30メッシュ(500μm)を通過し、50メッシュ(300μm)に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に24時間保持して、結晶の析出する温度を測定したものである。液相粘度は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値である。   The liquid phase temperature passed through a standard sieve 30 mesh (500 μm), the glass powder remaining in 50 mesh (300 μm) was placed in a platinum boat and held in a temperature gradient furnace for 24 hours, and the temperature at which crystals were precipitated was measured. Is. The liquid phase viscosity is a value obtained by measuring the viscosity of glass at the liquid phase temperature by a platinum ball pulling method.

下記の方法により、耐HCl性と耐BHF性を評価した。まず各試料の両表面を光学研磨した後、表面の一部をマスキングした。次に、所定の濃度に調合した薬液中で、所定の温度で所定の時間浸漬した。その後、マスクを外し、マスク部分と浸食部分の段差を表面粗さ計で測定し、その値を浸食量とした。また、各試料の両表面を光学研磨した後、所定の濃度に調合した薬液中で、所定の温度で所定の時間浸漬した。その後、試料の表面を目視で観察し、表面が白濁したり、荒れたり、クラックが入っているものを「×」、変化が全く無いものを「○」として評価した。   HCl resistance and BHF resistance were evaluated by the following methods. First, after optically polishing both surfaces of each sample, a part of the surface was masked. Next, it was immersed in a chemical solution prepared to a predetermined concentration at a predetermined temperature for a predetermined time. Then, the mask was removed, the level difference between the mask portion and the erosion portion was measured with a surface roughness meter, and the value was taken as the erosion amount. Further, both surfaces of each sample were optically polished, and then immersed in a chemical solution prepared to a predetermined concentration at a predetermined temperature for a predetermined time. Thereafter, the surface of the sample was visually observed and evaluated as “X” when the surface became cloudy, rough, or cracked, and “◯” when there was no change.

ここで、耐BHF性の浸食量は、130BHF溶液(NHHF:4.6質量%,NHF:36質量%)を用いて20℃、30分間の処理条件で測定した。外観評価は、63BHF溶液(HF:6質量%,NHF:30質量%)を用いて、20℃、30分間の処理条件で行った。また耐HCl性の浸食量は、10質量%塩酸水溶液を用いて80℃、24時間の処理条件で測定した。外観評価は、10質量%塩酸水溶液を用いて80℃、3時間の処理条件で行った。 Here, the amount of erosion of BHF resistance was measured using a 130 BHF solution (NH 4 HF: 4.6 mass%, NH 4 F: 36 mass%) at 20 ° C. for 30 minutes. Appearance evaluation was performed using a 63BHF solution (HF: 6% by mass, NH 4 F: 30% by mass) under treatment conditions at 20 ° C. for 30 minutes. Further, the erosion resistance of HCl resistance was measured using a 10% by mass hydrochloric acid aqueous solution at 80 ° C. for 24 hours. Appearance evaluation was performed under a treatment condition of 80 ° C. for 3 hours using a 10 mass% hydrochloric acid aqueous solution.

クラック発生率は、湿度30%、温度25℃に保持された恒温恒湿槽内において、荷重1000gに設定したビッカース圧子を試料表面(光学研磨面)に15秒間打ち込み、その15秒後に圧痕の4隅から発生するクラックの数をカウント(1つの圧痕につき最大4とする)する。20回圧子を打ち込み、総クラック発生数/80×100として評価した。   The crack occurrence rate was determined by placing a Vickers indenter set at a load of 1000 g on the sample surface (optical polishing surface) for 15 seconds in a constant temperature and humidity chamber maintained at a humidity of 30% and a temperature of 25 ° C. The number of cracks generated from the corner is counted (maximum 4 per indentation). The indenter was driven 20 times, and the total number of cracks generated / 80 × 100 was evaluated.

表面の表面粗さRaは、JIS B0601:2001に準拠した方法で測定した値である。   The surface roughness Ra of the surface is a value measured by a method based on JIS B0601: 2001.

端面の表面粗さRaは、JIS B0601:2001に準拠した方法で測定した値である。   The surface roughness Ra of the end face is a value measured by a method based on JIS B0601: 2001.

うねりは、触針式の表面形状測定装置を用いて、JIS B0601:2001に記載のWCA(ろ波中心線うねり)を測定した値であり、この測定は、SEMI STD D15−1296「FPDガラス基板の表面うねりの測定方法」に準拠した方法で測定し、測定時のカットオフは0.8〜8mm、ガラスフィルムの引き出し方向に対して垂直な方向に300mmの長さで測定した値である。   The waviness is a value obtained by measuring the WCA (filtered center line waviness) described in JIS B0601: 2001 using a stylus type surface shape measuring device. This measurement is based on SEMI STD D15-1296 “FPD glass substrate. The measurement was performed by a method based on “Measurement method of surface waviness”, and the cut-off at the time of measurement was 0.8 to 8 mm, which was a value measured at a length of 300 mm in a direction perpendicular to the drawing direction of the glass film.

ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差は、レーザー式厚み測定装置を用いて、ガラスフィルムの任意の一辺に厚み方向からレーザーを走査することにより、ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みを測定した上で、最大厚みの値から最小厚みの値を減じた値である。   The difference between the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film is determined by measuring the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film by scanning a laser from one side of the glass film in the thickness direction using a laser thickness measuring device. The value obtained by subtracting the value of the minimum thickness from the value of the maximum thickness.

屈折率nは、精密屈折率計(島津製作所社製KPR−2000)を用いて測定した値である。 Refractive index n d is the value measured using a precision refractometer (Shimadzu Corp. KPR-2000).

表1から明らかなように、試料No.1〜7は、厚みが小さく、表面精度が良好である。よって、試料No.1〜7の表面に反射膜を形成した上で、これを積層一体化すれば、コストアップを招来させることなく、ガラス積層体を作製することができる。そして、一対のガラス積層体を反射膜が形成された面同士が直交するように配置すれば、高解像に結像し得る光学結像部材を得ることができる。   As is clear from Table 1, sample No. 1-7 have a small thickness and good surface accuracy. Therefore, sample no. If a reflective film is formed on the surfaces of 1 to 7 and then laminated and integrated, a glass laminate can be produced without causing an increase in cost. If a pair of glass laminates are arranged so that the surfaces on which the reflection films are formed are orthogonal to each other, an optical imaging member capable of forming an image with high resolution can be obtained.

試料No.1〜6につき、表中の厚み、波長にて透過率を測定した。測定装置として、UV−3100PCを使用し、スリット幅:2.0nm、スキャン速度:中速、サンプリングピッチ:0.5nmの条件で測定した。その結果を表2に示す。   Sample No. About 1-6, the transmittance | permeability was measured with the thickness and wavelength in a table | surface. As a measuring apparatus, UV-3100PC was used, and measurement was performed under the conditions of slit width: 2.0 nm, scan speed: medium speed, and sampling pitch: 0.5 nm. The results are shown in Table 2.

表2から明らかなように、試料No.1〜6は、何れも厚み、波長でも透過率が高かった。   As apparent from Table 2, the sample No. Nos. 1 to 6 had high transmittances even at thicknesses and wavelengths.

更に、各試料について、Hazeメーター(日本電飾工業社製Haze Meter NDH−5000)によりHazeを測定した。その結果を表2に示す。表2から明らかなように、試料No.1〜6は、何れもHazeが小さいため、表面での拡散反射を抑制することができる。   Furthermore, about each sample, Haze was measured with the Haze meter (Nippon Denka Kogyo Co., Ltd. Haze Meter NDH-5000). The results are shown in Table 2. As apparent from Table 2, the sample No. Since all of Nos. 1 to 6 have a small haze, diffuse reflection on the surface can be suppressed.

まず試料No.2のガラス組成を有するガラスフィルムを用意した。ガラスフィルムの厚みは0.25mmであり、屈折率nは1.50である。次に、ガラスフィルムの一方の表面に対して、Al膜、SiO膜を順次形成した後、得られたガラスフィルム1600枚をLOCTITE454(ヘンケルジャパン株式会社製)を用いて積層一体化しガラス積層体を得た。続いて、マルチワイヤーソー(砥粒#600)を用いて、反射膜が形成された面に直交する方向、つまりガラスフィルムの厚み方向にガラス積層体を切断した後、砥粒等を除くために洗浄を行い、ガラス積層体(400mm×400mm×0.75mm)を得た。なお、切断に際し、ワイヤーソーの角度をガラス積層体のガラスフィルムの表面と平行になるように調整した。ガラス積層体の切断面の表面粗さを測定したところ、Raは0.7μm、Rqは0.89μm、Rsmは63μmであった。更に、ガラス積層体の切断面にUV硬化樹脂(ヘンケルジャパン株式会社製Loctite3301)を滴下した後、反射膜が形成された面同士が直交するように、別のガラス積層体を配置し、上方から365nmのUVランプ(30mW/cm)を100秒照射して、一対のガラス積層体を接着固定した。また、試料No.2のガラス組成を有するガラス基板を2枚用意した。ガラス基板の厚みは0.3mmであり、オーバーフローダウンドロー法により成形されている。最後に、一対のガラス積層体の最外層側にそれぞれガラス基板を配置すると共に、上記と同様のUV硬化樹脂により接着固定して、光学結像部材を得た。 First, sample no. A glass film having a glass composition of 2 was prepared. The thickness of the glass film was 0.25 mm, the refractive index n d is 1.50. Next, after sequentially forming an Al film and an SiO 2 film on one surface of the glass film, 1600 sheets of the obtained glass film were laminated and integrated using LOCTITE 454 (manufactured by Henkel Japan Co., Ltd.) to obtain a glass laminate. Got. Subsequently, using a multi-wire saw (abrasive grain # 600), after cutting the glass laminate in the direction perpendicular to the surface on which the reflective film is formed, that is, in the thickness direction of the glass film, to remove the abrasive grains, etc. Washing was performed to obtain a glass laminate (400 mm × 400 mm × 0.75 mm). When cutting, the angle of the wire saw was adjusted to be parallel to the surface of the glass film of the glass laminate. When the surface roughness of the cut surface of the glass laminate was measured, Ra was 0.7 μm, Rq was 0.89 μm, and Rsm was 63 μm. Furthermore, after dropping UV curable resin (Loctite 3301 manufactured by Henkel Japan Co., Ltd.) on the cut surface of the glass laminate, another glass laminate is arranged so that the surfaces on which the reflective films are formed are orthogonal to each other, and from above. A 365 nm UV lamp (30 mW / cm 2 ) was irradiated for 100 seconds to bond and fix the pair of glass laminates. Sample No. Two glass substrates having a glass composition of 2 were prepared. The glass substrate has a thickness of 0.3 mm and is formed by the overflow down draw method. Finally, a glass substrate was disposed on each outermost layer side of the pair of glass laminates, and was bonded and fixed with the same UV curable resin as described above to obtain an optical imaging member.

1 ガラス積層体
2 ガラス積層体
3 光学結像部材
4 光学結像部材
10 ガラスフィルム
11 反射膜
12 ガラスフィルム
13 反射膜
14 反射膜
15 ガラスフィルム
16 ガラス基板
21 反射膜付きガラスフィルム
22 吸引装置
23 塗布装置
24 ガラス積層体
25 ローラー
26 反射膜付きガラスフィルム
27 ガラス積層体
31 ガラス積層体
32 ワイヤーソー
33 ガラス積層体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass laminated body 2 Glass laminated body 3 Optical imaging member 4 Optical imaging member 10 Glass film 11 Reflective film 12 Glass film 13 Reflective film 14 Reflective film 15 Glass film 16 Glass substrate 21 Glass film 22 with a reflective film Suction device 23 Application | coating Device 24 Glass laminate 25 Roller 26 Glass film with reflection film 27 Glass laminate 31 Glass laminate 32 Wire saw 33 Glass laminate

Claims (14)

厚み90μm以下のガラスフィルムを積層させたガラス積層体であって、
ガラスフィルムのヤング率が65GPa以上、ガラスフィルムの表面の平均表面粗さRaが100Å以下であり、
少なくとも一方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムが積層されており、
且つガラスフィルム間に反射膜を有することを特徴とするガラス積層体。
A glass laminate in which glass films having a thickness of 90 μm or less are laminated,
The Young's modulus of the glass film is 65 GPa or more, the average surface roughness Ra of the surface of the glass film is 100 mm or less,
A glass film having a reflective film formed on at least one surface is laminated,
A glass laminate having a reflective film between the glass films.
短冊状のガラスフィルムが積層されていることを特徴とする請求項1に記載のガラス積層体。   The glass laminate according to claim 1, wherein strip-like glass films are laminated. ガラスフィルムの表面に形成された反射膜上に、更に保護膜が形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス積層体。   The glass laminate according to claim 1, wherein a protective film is further formed on the reflective film formed on the surface of the glass film. ガラスフィルムの表面の平均表面粗さRaが10Å以下であることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のガラス積層体。   The glass laminate according to any one of claims 1 to 3, wherein an average surface roughness Ra of the surface of the glass film is 10 mm or less. ガラスフィルムのうねりが1μm以下であることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載のガラス積層体。   The glass laminate according to any one of claims 1 to 4, wherein the undulation of the glass film is 1 µm or less. ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差が20μm以下であることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のガラス積層体。   The glass laminate according to any one of claims 1 to 5, wherein a difference between the maximum thickness and the minimum thickness of the glass film is 20 µm or less. ガラスフィルムが未研磨の表面を有することを特徴とする請求項1〜6の何れかに記載のガラス積層体。   The glass laminate according to claim 1, wherein the glass film has an unpolished surface. ガラスフィルムの長さ寸法が500mm以上であることを特徴とする請求項1〜7の何れかに記載のガラス積層体。   The glass laminate according to any one of claims 1 to 7, wherein a length dimension of the glass film is 500 mm or more. ガラスフィルムがオーバーフローダウンドロー法で成形されてなることを特徴とする請求項1〜8の何れかに記載のガラス積層体。   The glass laminate according to any one of claims 1 to 8, wherein the glass film is formed by an overflow downdraw method. ガラスフィルム間に接着層を有し、該接着層の厚みが100μm以下であることを特徴とする請求項1〜9の何れかに記載のガラス積層体。   The glass laminate according to any one of claims 1 to 9, wherein an adhesive layer is provided between the glass films, and the thickness of the adhesive layer is 100 µm or less. 反射膜がAl又はAgであることを特徴とする請求項1〜10の何れかに記載のガラス積層体。   The glass laminate according to claim 1, wherein the reflective film is Al or Ag. 一対のガラス積層体を備える光学結像部材であって、
一対のガラス積層体のそれぞれが、請求項1〜11の何れかに記載のガラス積層体であり、且つ一対のガラス積層体が、反射膜が形成された面同士が直交するように配置されていることを特徴とする光学結像部材。
An optical imaging member comprising a pair of glass laminates,
Each of a pair of glass laminated body is a glass laminated body in any one of Claims 1-11, and a pair of glass laminated body is arrange | positioned so that the surfaces in which the reflecting film was formed may orthogonally cross An optical imaging member characterized by comprising:
一対のガラス積層体の積層外表面にガラス基板が配置されていることを特徴とする請求項12に記載の光学結像部材。   The optical imaging member according to claim 12, wherein a glass substrate is disposed on the outer surface of the pair of glass laminates. ガラス基板の外側表面に反射防止膜が形成されていることを特徴とする請求項13に記載の光学結像部材。   The optical imaging member according to claim 13, wherein an antireflection film is formed on the outer surface of the glass substrate.
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