JP6133021B2

JP6133021B2 - Ozonizer

Info

Publication number: JP6133021B2
Application number: JP2012155885A
Authority: JP
Inventors: 幸広釜瀬; 文男早矢仕; 正浩菊池
Original assignee: IHI Shibaura Machinery Corp
Current assignee: IHI Shibaura Machinery Corp
Priority date: 2012-07-11
Filing date: 2012-07-11
Publication date: 2017-05-24
Anticipated expiration: 2032-07-11
Also published as: JP2014015376A

Description

本発明は、オゾナイザの技術に関する。 The present invention relates to an ozonizer technique.

従来、酸素が含まれる原料ガスからオゾン（オゾンガス）を生成するオゾナイザ（オゾン生成装置）に関する技術は、種々知られている。 Conventionally, various techniques related to an ozonizer (ozone generator) that generates ozone (ozone gas) from a source gas containing oxygen are known.

前記オゾナイザには、二個の電極のうちいずれか一方に誘電体が設けられ、誘電体の近傍における二個の電極間の放電空間に原料ガスを供給しながら電圧を印加して放電を発生させることによってオゾンを生成するように構成されるものが公知となっている（例えば、特許文献１参照）。前記オゾナイザは、例えば、二個の電極のうち一方の電極が円筒状の外側電極（接地電極）とされ、二個の電極のうち他方の電極が金属線の内側電極（高電圧電極）とされ、一方の電極の内面（内周面）に誘電体が設けられ、誘電体の近傍において誘電体の内側全体に亘って放電空間が配置されて構成される。 The ozonizer is provided with a dielectric on one of the two electrodes, and generates a discharge by applying a voltage while supplying a source gas to the discharge space between the two electrodes in the vicinity of the dielectric. What is comprised so that ozone may be produced | generated by this is known (for example, refer patent document 1). In the ozonizer, for example, one of two electrodes is a cylindrical outer electrode (ground electrode), and the other of the two electrodes is an inner electrode (high voltage electrode) of a metal wire. A dielectric is provided on the inner surface (inner peripheral surface) of one of the electrodes, and a discharge space is arranged over the entire inner side of the dielectric near the dielectric.

特開２００９−６２２７６号公報JP 2009-62276 A

しかしながら、前記オゾナイザでは、誘電体の近傍の放電空間において放電を発生させてオゾンを生成する動作を行うと、放電空間の温度が上昇していくこととなる。そして、前記オゾナイザでは、オゾンを生成する動作を行ったときに放電空間で温度上昇が起こると、生成されたオゾンの一部が放電空間の熱によって分解される（酸素に還元される）こととなる。このように、前記オゾナイザでは、一度生成された放電空間においてオゾンが分解されるため、高い濃度のオゾンを効率良く生成することができない、という問題があった。 However, in the ozonizer, when the discharge is generated in the discharge space near the dielectric to generate ozone, the temperature of the discharge space increases. In the ozonizer, when the temperature rises in the discharge space when the operation of generating ozone is performed, a part of the generated ozone is decomposed (reduced to oxygen) by the heat in the discharge space. Become. Thus, the ozonizer has a problem that ozone cannot be efficiently generated because ozone is decomposed in the discharge space once generated.

本発明は、以上の如き状況に鑑みてなされたものであり、高い濃度のオゾンを効率良く生成することができるオゾナイザを提供することを課題とする。 This invention is made | formed in view of the above situations, and makes it a subject to provide the ozonizer which can produce | generate high concentration ozone efficiently.

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。 The problem to be solved by the present invention is as described above. Next, means for solving the problem will be described.

請求項１においては、内側電極の外側に、筒状の外側電極が配置され、前記外側電極の内面に、誘電体が設けられ、前記内側電極と外側電極との間の放電空間に原料ガスを供給しながら電圧を印加して放電を発生させることにより、オゾンを生成するように構成されるオゾナイザであって、前記オゾナイザの内側電極は、金属線により構成され、前記内側電極を構成する金属線は、前記誘電体の内部で、オゾンまたは原料ガスの流通方向である外側電極の軸心方向に沿って、前記外側電極の全長内にて複数箇所を折り曲げた状態で延設し、前記金属線により構成された内側電極は、前記誘電体に近接するように配置される部分と、前記誘電体に近接しないように配置される部分とを、繰り返し連続するように構成し、前記誘電体の近傍における、前記オゾンまたは原料ガスの流通経路の途中に、放電が発生しない空間を構成したものである。 In Claim 1, the cylindrical outer electrode is arrange | positioned on the outer side of an inner electrode, a dielectric material is provided in the inner surface of the said outer electrode, and source gas is supplied to the discharge space between the said inner electrode and an outer electrode. An ozonizer configured to generate ozone by generating a discharge by applying a voltage while being supplied, wherein an inner electrode of the ozonizer is composed of a metal wire, and the metal wire constituting the inner electrode Is extended along the axial direction of the outer electrode, which is the flow direction of ozone or source gas, in a state where a plurality of portions are bent within the entire length of the outer electrode inside the dielectric, inner electrode composed of a includes a portion that is arranged adjacent to said dielectric, said a portion arranged so as not to close to the dielectric, configured to repeatedly successively, before Symbol dielectric In the vicinity , In the middle of the flow passage of the ozone or the raw material gas, which is constituted a space in which discharge is not generated.

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。 As effects of the present invention, the following effects can be obtained.

即ち、本発明によれば、高い濃度のオゾンを効率良く生成することができる。 That is, according to the present invention, ozone with a high concentration can be generated efficiently.

本発明の第一実施形態に係るオゾナイザの内部構造を示した模式図。The schematic diagram which showed the internal structure of the ozonizer which concerns on 1st embodiment of this invention. 本発明の第一実施形態に係る別実施例のオゾナイザの内部構造を示した模式図。The schematic diagram which showed the internal structure of the ozonizer of another Example which concerns on 1st embodiment of this invention. 本発明の第二実施形態に係るオゾナイザを示した模式図。The schematic diagram which showed the ozonizer which concerns on 2nd embodiment of this invention. 本発明の第二実施形態に係るオゾナイザの内部構造を示した模式図。The schematic diagram which showed the internal structure of the ozonizer which concerns on 2nd embodiment of this invention.

次に、本発明の第一実施形態に係るオゾナイザ１について、図１および図２を用いて説する。 Next, the ozonizer 1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 and 2.

オゾナイザ１は、原料ガス（酸素が含まれるもの（例えば、酸素濃度９９．９％以上の高純度酸素ガス））からオゾン（オゾンガス）を生成するものである。オゾナイザ１は、図１に示すように、二個の電極２・３と、誘電体４と、電源（交流電源）５と、放電空間６と、を備える。 The ozonizer 1 generates ozone (ozone gas) from a raw material gas (a gas containing oxygen (for example, a high-purity oxygen gas having an oxygen concentration of 99.9% or more)). As shown in FIG. 1, the ozonizer 1 includes two electrodes 2 and 3, a dielectric 4, a power source (AC power source) 5, and a discharge space 6.

オゾナイザ１の二個の電極２・３は、金属電極であり、互いに間隔を空けるようにして配置される。オゾナイザ１の二個の電極２・３のうち、一方の電極２は接地電極として構成され、他方の電極３は高電圧電極として構成される。オゾナイザ１の誘電体４は、一方の電極２に設けられる。オゾナイザ１の誘電体４は、一方の電極２における他方の電極３と対向する側の面に配置される。オゾナイザ１は、誘電体４の近傍における一方の電極２と他方の電極３との間（誘電体４と他方の電極３との間）に電源５からの電圧（交流電圧）が印加されることによって、一方の電極２と他方の電極３との間の空間に放電するように構成される。オゾナイザ１の誘電体４の近傍における一方の電極２と他方の電極３との間（誘電体４と他方の電極３との間）の空間は、放電空間６として構成される。オゾナイザ１の放電空間６は、誘電体４の近傍に配置される。 The two electrodes 2 and 3 of the ozonizer 1 are metal electrodes and are arranged so as to be spaced from each other. Of the two electrodes 2 and 3 of the ozonizer 1, one electrode 2 is configured as a ground electrode, and the other electrode 3 is configured as a high voltage electrode. The dielectric 4 of the ozonizer 1 is provided on one electrode 2. The dielectric 4 of the ozonizer 1 is disposed on the surface of the one electrode 2 facing the other electrode 3. In the ozonizer 1, a voltage (AC voltage) from the power source 5 is applied between one electrode 2 and the other electrode 3 (between the dielectric 4 and the other electrode 3) in the vicinity of the dielectric 4. By this, it is configured to discharge into a space between one electrode 2 and the other electrode 3. A space between one electrode 2 and the other electrode 3 (between the dielectric 4 and the other electrode 3) in the vicinity of the dielectric 4 of the ozonizer 1 is configured as a discharge space 6. The discharge space 6 of the ozonizer 1 is disposed in the vicinity of the dielectric 4.

このようなオゾナイザ１は、原料ガスがオゾナイザ１内に供給され、当該オゾナイザ１内に供給された原料ガスが放電空間６に至った状態で、電源５からの電圧が印加されて放電空間６で放電されることによって、放電空間６内における原料ガス中の酸素分子から酸素原子が解離し、前記解離した酸素原子と酸素分子とが結合してオゾン（Ｏ３）が生成され、当該生成されたオゾンがオゾナイザ１内から流出するように構成される。このようにして、オゾナイザ１は、一方の電極２と他方の電極３との間（二個の電極２・３）の放電空間６に、原料ガスを供給しながら電圧を印加して放電を発生させることによって、オゾンを生成するように構成される。またこのようにして、オゾナイザ１は、オゾナイザ１内において原料ガスまたはオゾンが流通するように構成される。 In such an ozonizer 1, a raw material gas is supplied into the ozonizer 1, and a voltage from the power source 5 is applied to the discharge space 6 in a state where the raw material gas supplied into the ozonizer 1 reaches the discharge space 6. By being discharged, oxygen atoms are dissociated from oxygen molecules in the raw material gas in the discharge space 6, and the dissociated oxygen atoms and oxygen molecules are combined to generate ozone (O3). The generated ozone Is configured to flow out of the ozonizer 1. In this way, the ozonizer 1 generates a discharge by applying a voltage while supplying the raw material gas to the discharge space 6 between the one electrode 2 and the other electrode 3 (two electrodes 2 and 3). Is configured to generate ozone. In this way, the ozonizer 1 is configured so that the source gas or ozone flows in the ozonizer 1.

また、オゾナイザ１は、放電が発生しない空間７を備える。オゾナイザ１の放電が発生しない空間７は、誘電体４の近傍に配置される。オゾナイザ１の放電が発生しない空間７とは、誘電体４の近傍で、前記電源５からの電圧が印加されることによって放電空間６に放電されたときにおいても、放電が発生しない空間７を示す。 The ozonizer 1 includes a space 7 where no discharge occurs. The space 7 where the discharge of the ozonizer 1 is not generated is arranged in the vicinity of the dielectric 4. The space 7 in which the discharge of the ozonizer 1 does not occur indicates a space 7 in the vicinity of the dielectric 4 in which no discharge occurs even when the discharge space 6 is discharged by applying a voltage from the power source 5. .

オゾナイザ１は、放電空間６において原料ガスを供給しながら電圧を印加して放電を発生させても、放電が発生しない空間７では、放電が発生しないように構成される。そして、オゾナイザ１は、誘電体４に沿って放電空間６と放電が発生しない空間７とが配置されて構成される。オゾナイザ１は、誘電体４に沿って放電空間６（放電する箇所）と放電が発生しない空間７とを備えて構成される。オゾナイザ１は、誘電体４の近傍における原料ガスまたはオゾンの流通経路の途中において、放電が発生しない空間７が配置されて構成される。 The ozonizer 1 is configured such that no discharge is generated in the space 7 where no discharge occurs even when a voltage is applied while the source gas is supplied in the discharge space 6 to generate a discharge. The ozonizer 1 is configured by disposing a discharge space 6 and a space 7 in which no discharge occurs along the dielectric 4. The ozonizer 1 includes a discharge space 6 (a place where discharge is performed) and a space 7 where no discharge occurs along the dielectric 4. The ozonizer 1 is configured such that a space 7 in which no discharge occurs is disposed in the middle of the flow path of the source gas or ozone in the vicinity of the dielectric 4.

このように構成されるオゾナイザ１では、オゾンを生成する動作を行ったときにおいても、放電が発生しない空間７においては、放電が発生しないため放電の発生による温度上昇が起こらない。そして、オゾナイザ１では、誘電体４の近傍における原料ガスまたはオゾンの流通経路の途中において放電が発生しない空間７が配置されるため、放電が発生しない空間７での放電の発生による温度上昇が起こらないことに影響を受けて、オゾンを生成する動作を行ったときの放電空間６での温度上昇が抑制されることとなる。このようにして、オゾナイザ１では、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるもの（誘電体４の近傍における原料ガスまたはオゾンの流通経路の途中において放電が発生しない空間７が配置されないもの）に比べて、オゾンを生成する動作を行ったときの放電空間６の温度上昇を抑制することができる。したがって、オゾナイザ１では、オゾンを生成する動作を行ったときに、生成されたオゾンが熱によって分解されること（酸素に還元されること）を抑制することができる。よって、オゾナイザ１によれば、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、高い濃度のオゾンを効率良く生成することができる。また、オゾナイザ１によれば、オゾンを生成する動作を行ったときの放電空間６の温度上昇が抑制されるため、高温環境（例えば、６０℃以上）に設置されている場合においても、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、より高い濃度のオゾンを効率良く生成することができる。 In the ozonizer 1 configured as described above, even when the operation of generating ozone is performed, in the space 7 where no discharge is generated, no discharge occurs, and therefore no temperature rise due to the occurrence of discharge occurs. In the ozonizer 1, the space 7 in which no discharge is generated is disposed in the middle of the flow path of the source gas or ozone in the vicinity of the dielectric 4, so that the temperature rise due to the occurrence of discharge in the space 7 in which no discharge occurs. Under the influence, the temperature rise in the discharge space 6 when the operation of generating ozone is performed is suppressed. In this way, the ozonizer 1 is configured such that the discharge space 6 is arranged entirely inside the dielectric 4 (a space 7 in which no discharge occurs in the middle of the flow path of the source gas or ozone in the vicinity of the dielectric 4). As compared with those in which no is disposed), the temperature increase of the discharge space 6 when the operation of generating ozone is performed can be suppressed. Therefore, in the ozonizer 1, when the operation | movement which produces | generates ozone is performed, it can suppress that the produced | generated ozone is decomposed | disassembled with a heat | fever (reduction | reduction to oxygen). Therefore, according to the ozonizer 1, it is possible to efficiently generate ozone having a high concentration as compared with a configuration in which the discharge space 6 is arranged on the entire inside of the dielectric 4. Moreover, according to the ozonizer 1, since the temperature rise of the discharge space 6 when the operation | movement which produces | generates ozone is performed is suppressed, even when it installs in a high temperature environment (for example, 60 degreeC or more), it is a dielectric material. Compared with the configuration in which the discharge space 6 is arranged on the entire inner side of 4, ozone having a higher concentration can be efficiently generated.

オゾナイザ１は、その放電が発生しない空間７が複数箇所に配置されて構成される。オゾナイザ１は、誘電体４の近傍において放電空間６と放電が発生しない空間７とが繰り返し（複数回）連続するように構成される。このため、オゾナイザ１では、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、オゾンを生成する動作を行ったときの放電空間６の温度上昇をより確実に抑制することができる。したがって、オゾナイザ１では、オゾンを生成する動作を行ったときに、生成されたオゾンが熱によって分解されることをより確実に抑制することができる。よって、オゾナイザ１によれば、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、高い濃度のオゾンをより効率良く生成することができる。 The ozonizer 1 is configured by arranging a plurality of spaces 7 in which no discharge occurs. The ozonizer 1 is configured such that a discharge space 6 and a space 7 in which no discharge occurs are repeated (a plurality of times) in the vicinity of the dielectric 4. For this reason, in the ozonizer 1, the temperature rise of the discharge space 6 when performing the operation | movement which produces | generates ozone is more reliably suppressed compared with what is equipped with the discharge space 6 arrange | positioned inside the dielectric material 4 whole. can do. Therefore, in the ozonizer 1, when the operation | movement which produces | generates ozone is performed, it can suppress more reliably that produced | generated ozone is decomposed | disassembled with a heat | fever. Therefore, according to the ozonizer 1, it is possible to generate ozone with a higher concentration more efficiently than a configuration in which the discharge space 6 is arranged on the entire inside of the dielectric 4.

次に、オゾナイザ１のより具体的な構成について説明する。オゾナイザ１の一方の電極２は、外側電極として構成される。オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）は、筒状に構成される。オゾナイザ１の他方の電極３は、内側電極として構成される。オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、金属線で構成される。オゾナイザ１の誘電体４は、例えば、ガラス素材からなる部材で構成される。オゾナイザ１は、一方の電極２の内面（内周面）の全体に亘って誘電体４が設けられて構成される。オゾナイザ１は、放電空間６が形成されるように、一方の電極２（誘電体４）の内側に他方の電極３が配置されて構成される。オゾナイザ１は、放電空間６が形成されるように、一方の電極２（誘電体４）が他方の電極３の外側に配置されて構成される。 Next, a more specific configuration of the ozonizer 1 will be described. One electrode 2 of the ozonizer 1 is configured as an outer electrode. One electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 is formed in a cylindrical shape. The other electrode 3 of the ozonizer 1 is configured as an inner electrode. The other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is composed of a metal wire. The dielectric 4 of the ozonizer 1 is composed of a member made of a glass material, for example. The ozonizer 1 is configured by providing a dielectric 4 over the entire inner surface (inner peripheral surface) of one electrode 2. The ozonizer 1 is configured such that the other electrode 3 is arranged inside one electrode 2 (dielectric 4) so that a discharge space 6 is formed. The ozonizer 1 is configured such that one electrode 2 (dielectric 4) is disposed outside the other electrode 3 so that a discharge space 6 is formed.

図中白色矢印は、原料ガスがオゾナイザ１内に供給されてオゾナイザ１内において生成されたオゾンがオゾナイザ１内から流出する、オゾナイザ１内における原料ガスまたはオゾンの流通方向を示す。オゾナイザ１は、一方の電極２の軸心方向に沿って、原料ガスまたはオゾンが流通するように構成される。オゾナイザ１は、一方の電極２における一方の開口部から原料ガスがオゾナイザ１内に供給されるように構成される。オゾナイザ１は、原料ガスがオゾナイザ１内に供給されて放電空間６に至った状態で、放電空間６で放電を発生させることによって、オゾナイザ１内においてオゾンを生成するように構成される。オゾナイザ１は、オゾナイザ１内において生成されたオゾンが一方の電極２における他方の開口部から流出されるように構成される。オゾナイザ１は、例えば、一方の電極２における一方の開口部または他方の開口部にファンが設けられて、当該ファンが駆動することによって原料ガスがオゾナイザ１内に供給され、または、オゾンがオゾナイザ１内から流出するように構成される。オゾナイザ１は、このような原料ガスまたはオゾンの流通経路を有して構成される。 The white arrows in the figure indicate the flow direction of the source gas or ozone in the ozonizer 1 where the source gas is supplied into the ozonizer 1 and the ozone generated in the ozonizer 1 flows out of the ozonizer 1. The ozonizer 1 is configured so that the source gas or ozone flows along the axial direction of the one electrode 2. The ozonizer 1 is configured such that a source gas is supplied into the ozonizer 1 from one opening of one electrode 2. The ozonizer 1 is configured to generate ozone in the ozonizer 1 by generating a discharge in the discharge space 6 in a state where the source gas is supplied into the ozonizer 1 and reaches the discharge space 6. The ozonizer 1 is configured such that ozone generated in the ozonizer 1 flows out from the other opening of the one electrode 2. In the ozonizer 1, for example, a fan is provided in one opening or the other opening of one electrode 2, and when the fan is driven, a source gas is supplied into the ozonizer 1, or ozone is supplied to the ozonizer 1. It is configured to flow out from within. The ozonizer 1 is configured to have such a raw material gas or ozone distribution channel.

オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、誘電体４に近接するように配置される部分と、誘電体４に近接しないように配置される部分と、を有して構成される。オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、誘電体４に近接するように配置される部分と、前記誘電体４に近接するように配置される部分の直下流側において一方の電極２の軸心と正面視で交差して誘電体４に近接しないように配置される部分と、を有して構成される。そして、オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、誘電体４に近接しないように配置される部分の直下流側において、一方の電極２の軸心を中心にして前記誘電体４に近接するように配置される部分と対向する側で誘電体４に近接するように配置される部分と、を有して構成される。 The other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 includes a portion disposed so as to be close to the dielectric 4 and a portion disposed so as not to be close to the dielectric 4. The other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 includes a portion disposed so as to be close to the dielectric 4 and a downstream side of the portion disposed so as to be close to the dielectric 4. And a portion that crosses the shaft center in front view and is disposed so as not to approach the dielectric 4. The other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is close to the dielectric 4 around the axial center of the one electrode 2 on the downstream side of the portion arranged so as not to be close to the dielectric 4. And a portion arranged so as to be close to the dielectric 4 on the side facing the portion arranged so as to be configured.

このようにして、オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）が、オゾン（または原料ガス）の流通方向（一方の電極２の軸心方向）に沿って、誘電体４に近接するように配置される部分と、誘電体４に近接しないように配置される部分と、が交互に配置されるように構成される。オゾナイザ１における他方の電極３（内側電極）の誘電体４に近接するように配置される部分は、オゾナイザ１の放電空間６として構成される。オゾナイザ１における他方の電極３（内側電極）の誘電体４に近接しないように配置される部分は、オゾナイザ１の放電が発生しない空間７として構成される。つまり、オゾナイザ１は、他方の電極３（内側電極）が誘電体４に近接するように配置される部分と誘電体４に近接しないように配置される部分とを有して構成されて、誘電体４の近傍における原料ガスまたはオゾンの流通経路の途中において、放電が発生しない空間７が配置されて構成される。 In this way, the other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is disposed so as to be close to the dielectric 4 along the flow direction of ozone (or source gas) (the axial center direction of the one electrode 2). The portions to be disposed and the portions disposed so as not to be close to the dielectric 4 are configured to be alternately disposed. The portion of the ozonizer 1 that is disposed so as to be close to the dielectric 4 of the other electrode 3 (inner electrode) is configured as a discharge space 6 of the ozonizer 1. The portion of the ozonizer 1 that is disposed so as not to be close to the dielectric 4 of the other electrode 3 (inner electrode) is configured as a space 7 in which the discharge of the ozonizer 1 does not occur. That is, the ozonizer 1 is configured to include a portion where the other electrode 3 (inner electrode) is disposed so as to be close to the dielectric 4 and a portion where the other electrode 3 is not close to the dielectric 4. In the middle of the flow path of the source gas or ozone in the vicinity of the body 4, a space 7 in which no discharge is generated is arranged.

このように構成されるオゾナイザ１では、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるもの（誘電体４の近傍における原料ガスまたはオゾンの流通経路の途中において放電が発生しない空間７が配置されないもの）に比べて、オゾンを生成する動作を行ったときの放電空間６の温度上昇を抑制することができる。したがって、オゾナイザ１では、オゾンを生成する動作を行ったときに、生成されたオゾンが熱によって分解されること（酸素に還元されること）を抑制することができる。よって、オゾナイザ１によれば、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、高い濃度のオゾンを効率良く生成することができる。 In the ozonizer 1 configured as described above, the discharge space 6 is arranged on the entire inside of the dielectric 4 (a space in which no discharge occurs in the middle of the flow path of the source gas or ozone in the vicinity of the dielectric 4. 7), the temperature increase of the discharge space 6 when the operation of generating ozone is performed can be suppressed. Therefore, in the ozonizer 1, when the operation | movement which produces | generates ozone is performed, it can suppress that the produced | generated ozone is decomposed | disassembled with a heat | fever (reduction | reduction to oxygen). Therefore, according to the ozonizer 1, it is possible to efficiently generate ozone having a high concentration as compared with a configuration in which the discharge space 6 is arranged on the entire inside of the dielectric 4.

また、オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、複数箇所（本実施形態では二箇所）の誘電体４に近接しないように配置される部分を有して構成される。オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、オゾン（または原料ガス）の流通方向（一方の電極２の軸心方向）に沿って、誘電体４に近接するように配置される部分と、誘電体４に近接しないように配置される部分とが繰り返し連続するように構成される。つまり、オゾナイザ１は、誘電体４の近傍において放電が発生しない空間７が複数箇所に配置されて構成される。オゾナイザ１は、誘電体４の近傍において放電が発生しない空間７と放電空間６とが繰り返し連続するように配置されて構成される。このため、オゾナイザ１では、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、オゾンを生成する動作を行ったときの放電空間６の温度上昇をより確実に抑制することができる。したがって、オゾナイザ１では、オゾンを生成する動作を行ったときに、生成されたオゾンが熱によって分解されることをより確実に抑制することができる。よって、オゾナイザ１によれば、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、高い濃度のオゾンをより効率良く生成することができる。 Further, the other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is configured to have a portion disposed so as not to be close to the dielectrics 4 at a plurality of locations (two locations in the present embodiment). The other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is disposed so as to be close to the dielectric 4 along the flow direction of ozone (or source gas) (the axial center direction of the one electrode 2); A portion arranged so as not to be close to the dielectric 4 is configured to be continuously repeated. That is, the ozonizer 1 is configured by arranging a plurality of spaces 7 in the vicinity of the dielectric 4 where no discharge is generated. The ozonizer 1 is configured so that a space 7 in which no discharge is generated in the vicinity of the dielectric 4 and a discharge space 6 are continuously repeated. For this reason, in the ozonizer 1, the temperature rise of the discharge space 6 when performing the operation | movement which produces | generates ozone is more reliably suppressed compared with what is equipped with the discharge space 6 arrange | positioned inside the dielectric material 4 whole. can do. Therefore, in the ozonizer 1, when the operation | movement which produces | generates ozone is performed, it can suppress more reliably that produced | generated ozone is decomposed | disassembled with a heat | fever. Therefore, according to the ozonizer 1, it is possible to generate ozone with a higher concentration more efficiently than a configuration in which the discharge space 6 is arranged on the entire inside of the dielectric 4.

また、オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、金属線で構成される。したがって、オゾナイザ１によれば、前記高い濃度のオゾンを効率良く生成することができるものを単純な構造で実現することができる。 The other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is formed of a metal wire. Therefore, according to the ozonizer 1, what can efficiently generate the ozone with the high concentration can be realized with a simple structure.

また、オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、図２に示すように、オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、誘電体４に近接しないように配置される部分の直下流側において、一方の電極２の軸心を中心にして前記誘電体４に近接するように配置される部分と対向する側で誘電体４に近接するように配置される部分を有さない構成としても良い。 Further, as shown in FIG. 2, the other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is directly downstream of the portion where the other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is arranged not to be close to the dielectric 4. On the side, there is no configuration in which the portion disposed so as to be close to the dielectric 4 on the side opposite to the portion disposed so as to be close to the dielectric 4 with the axis of one electrode 2 as the center. Also good.

次に、本発明の第二実施形態に係るオゾナイザ１について、図３および図４を用いて説明する。なお、第二実施形態に係るオゾナイザ１の説明は、第一実施形態に係るオゾナイザ１と同様の構成の部分については適宜省略し、第一実施形態に係るオゾナイザ１の構成と異なる部分を中心に説明する。 Next, the ozonizer 1 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, description of the ozonizer 1 which concerns on 2nd embodiment abbreviate | omits suitably the part of the structure similar to the ozonizer 1 which concerns on 1st embodiment, and focuses on a different part from the structure of the ozonizer 1 which concerns on 1st embodiment. explain.

オゾナイザ１の他方の電極３（内側電極）は、図３または図４に示すように、外側電極２および誘電体４の内経よりも小さい外径を有する円柱状に構成される。オゾナイザ１の他方の電極３は、その軸心と外側電極２の軸心とが一致するように、外側電極２（誘電体４）の内側に配置される。 The other electrode 3 (inner electrode) of the ozonizer 1 is formed in a cylindrical shape having an outer diameter smaller than the inner diameter of the outer electrode 2 and the dielectric 4 as shown in FIG. 3 or FIG. The other electrode 3 of the ozonizer 1 is disposed on the inner side of the outer electrode 2 (dielectric 4) so that the axial center thereof coincides with the axial center of the outer electrode 2.

オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）は、欠落部２ａを有して構成される。オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）の欠落部２ａは、一方の電極２における周面が環状に欠落するように形成される。オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）の欠落部２ａは、一方の電極２の外面から内面に貫通するように形成される。オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）の欠落部２ａは、一方の電極２における軸心方向の中途部に形成される。オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）の欠落部２ａは、二個の欠落部２ａが形成されない部分の間（欠落部２ａが形成されない部分と欠落部２ａが形成されない部分との間）に配置される。このようにして、オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）は、欠落部２ａを有することにより、その一部が欠落するように構成される。オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）は、オゾン（または原料ガス）の流通方向（一方の電極２の軸心方向）に沿って、欠落部２ａは、欠落部２ａと、欠落部２ａが形成されない部分と、が交互に配置されるように構成される。 One electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 has a missing portion 2a. The missing part 2a of one electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 is formed so that the peripheral surface of the one electrode 2 is missing in an annular shape. The missing portion 2 a of one electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 is formed so as to penetrate from the outer surface to the inner surface of the one electrode 2. The missing part 2 a of one electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 is formed in the middle part of the one electrode 2 in the axial center direction. The missing part 2a of one electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 is between the parts where the two missing parts 2a are not formed (between the part where the missing part 2a is not formed and the part where the missing part 2a is not formed). Be placed. Thus, one electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 is configured such that a part thereof is missing by having the missing part 2a. One electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 has a missing portion 2a, a missing portion 2a, and a missing portion 2a along the flow direction of ozone (or source gas) (the axial center direction of one electrode 2). The portions that are not formed are configured to be alternately arranged.

オゾナイザ１における一方の電極２（外側電極）の欠落部２ａが形成されない部分（一方の電極２の内面）と他方の電極３との間の空間は、オゾナイザ１の放電空間６として構成される。オゾナイザ１における一方の電極２（外側電極）の欠落部２ａと他方の電極３との間の空間は、オゾナイザ１の放電が発生しない空間７として構成される。つまり、オゾナイザ１は、一方の電極２（外側電極）の一部が欠落するように構成されて、誘電体４の近傍における原料ガスまたはオゾンの流通経路の途中において、放電が発生しない空間７が配置されて構成される。 A space between a portion (the inner surface of one electrode 2) where the missing portion 2 a of one electrode 2 (outer electrode) in the ozonizer 1 is not formed and the other electrode 3 is configured as a discharge space 6 of the ozonizer 1. A space between the missing portion 2a of one electrode 2 (outer electrode) and the other electrode 3 in the ozonizer 1 is configured as a space 7 in which no discharge of the ozonizer 1 occurs. That is, the ozonizer 1 is configured such that a part of one electrode 2 (outer electrode) is missing, and a space 7 in which no discharge occurs in the middle of the flow path of the source gas or ozone in the vicinity of the dielectric 4. Arranged and configured.

また、オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）は、複数個（本実施形態では二個）の欠落部２ａを有して構成される。オゾナイザ１の一方の電極２（外側電極）は、オゾン（または原料ガス）の流通方向（一方の電極２の軸心方向）に沿って、欠落部２ａが形成されない部分と欠落部２ａとが繰り返し連続するように構成される。つまり、オゾナイザ１は、誘電体４の近傍において放電が発生しない空間７が複数箇所に配置されて構成される。オゾナイザ１は、誘電体４の近傍において放電が発生しない空間７と放電空間６とが繰り返し連続するように配置されて構成される。このため、オゾナイザ１では、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、オゾンを生成する動作を行ったときの放電空間６の温度上昇をより確実に抑制することができる。したがって、オゾナイザ１では、オゾンを生成する動作を行ったときに、生成されたオゾンが熱によって分解されることをより確実に抑制することができる。よって、オゾナイザ１によれば、誘電体４の内側全体に放電空間６が配置されて構成されるものに比べて、高い濃度のオゾンをより効率良く生成することができる。 Further, one electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 has a plurality (two in this embodiment) of missing portions 2a. One electrode 2 (outer electrode) of the ozonizer 1 has a portion where the missing portion 2a is not formed and a missing portion 2a along the flow direction of ozone (or source gas) (the axial center direction of the one electrode 2). Configured to be continuous. That is, the ozonizer 1 is configured by arranging a plurality of spaces 7 in the vicinity of the dielectric 4 where no discharge is generated. The ozonizer 1 is configured so that a space 7 in which no discharge is generated in the vicinity of the dielectric 4 and a discharge space 6 are continuously repeated. For this reason, in the ozonizer 1, the temperature rise of the discharge space 6 when performing the operation | movement which produces | generates ozone is more reliably suppressed compared with what is equipped with the discharge space 6 arrange | positioned inside the dielectric material 4 whole. can do. Therefore, in the ozonizer 1, when the operation | movement which produces | generates ozone is performed, it can suppress more reliably that produced | generated ozone is decomposed | disassembled with a heat | fever. Therefore, according to the ozonizer 1, it is possible to generate ozone with a higher concentration more efficiently than a configuration in which the discharge space 6 is arranged on the entire inside of the dielectric 4.

１オゾナイザ
２一方の電極
３他方の電極
４誘電体
５電源
６放電空間
７放電が発生しない空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Ozonizer 2 One electrode 3 The other electrode 4 Dielectric 5 Power supply 6 Discharge space 7 Space where no discharge occurs

Claims

A cylindrical outer electrode is disposed outside the inner electrode, a dielectric is provided on the inner surface of the outer electrode, and a voltage is applied while supplying a source gas to the discharge space between the inner electrode and the outer electrode. An ozonizer configured to generate ozone by generating a discharge,
The inner electrode of the ozonizer is composed of a metal wire,
The metal wire constituting the inner electrode is a state where a plurality of portions are bent within the entire length of the outer electrode along the axial direction of the outer electrode, which is the flow direction of ozone or source gas, inside the dielectric. Extended with
The inner electrode configured by the metal wire is configured to repeatedly and continuously include a portion disposed so as to be close to the dielectric and a portion disposed so as not to be close to the dielectric ,
In the vicinity of the front Symbol dielectric, in the middle of the flow passage of the ozone or the raw material gas, to constitute a space into which a discharge is not generated,
Ozonizer characterized by that.