JP6171713B2 - 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6171713B2 JP6171713B2 JP2013168962A JP2013168962A JP6171713B2 JP 6171713 B2 JP6171713 B2 JP 6171713B2 JP 2013168962 A JP2013168962 A JP 2013168962A JP 2013168962 A JP2013168962 A JP 2013168962A JP 6171713 B2 JP6171713 B2 JP 6171713B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- organic
- substrate
- electrode layer
- sheet layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 30
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 79
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 59
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 36
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 6
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 211
- 239000000463 material Substances 0.000 description 41
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 23
- 239000010408 film Substances 0.000 description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 10
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 9
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 7
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 4
- -1 polyparaphenylene vinylene Polymers 0.000 description 4
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 3
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical class N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 3
- QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N barium oxide Chemical compound [Ba]=O QVQLCTNNEUAWMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 3
- 125000001637 1-naphthyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C2C(*)=C([H])C([H])=C([H])C2=C1[H] 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000611 Zinc aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N alumane;zinc Chemical compound [AlH3].[Zn] HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N coronene Chemical compound C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 2
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 2
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N indium zinc Chemical compound [Zn].[In] NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000002905 metal composite material Substances 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 2
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 2
- 229920000172 poly(styrenesulfonic acid) Polymers 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 2
- 229940005642 polystyrene sulfonic acid Drugs 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 2
- BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N pyrene Chemical compound C1=CC=C2C=CC3=CC=CC4=CC=C1C2=C43 BBEAQIROQSPTKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 2
- 239000000741 silica gel Substances 0.000 description 2
- 229910002027 silica gel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 2
- YGLVWOUNCXBPJF-UHFFFAOYSA-N (2,3,4,5-tetraphenylcyclopenta-1,4-dien-1-yl)benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1C1C(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 YGLVWOUNCXBPJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCXLYAWYOTYWKM-UHFFFAOYSA-N (2,3,4-triphenylcyclopenta-1,3-dien-1-yl)benzene Chemical compound C1C(C=2C=CC=CC=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 JCXLYAWYOTYWKM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 3-methyl-n-[4-[4-(n-(3-methylphenyl)anilino)phenyl]phenyl]-n-phenylaniline Chemical compound CC1=CC=CC(N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C=C(C)C=CC=2)=C1 OGGKVJMNFFSDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004801 4-cyanophenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C(C#N)=C([H])C([H])=C1* 0.000 description 1
- ZOKIJILZFXPFTO-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-[4-[1-[4-(4-methyl-n-(4-methylphenyl)anilino)phenyl]cyclohexyl]phenyl]-n-(4-methylphenyl)aniline Chemical compound C1=CC(C)=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C1(CCCCC1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC(C)=CC=1)C=1C=CC(C)=CC=1)C1=CC=C(C)C=C1 ZOKIJILZFXPFTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017073 AlLi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015902 Bi 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- OOQAPGNOZVHVDM-UHFFFAOYSA-N CC(C)(C)[Cu](C(C)(C)C)(C(C)(C)C)C(C)(C)C Chemical compound CC(C)(C)[Cu](C(C)(C)C)(C(C)(C)C)C(C)(C)C OOQAPGNOZVHVDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015189 FeOx Inorganic materials 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VCVMIAHADDDFPT-UHFFFAOYSA-N O1C(=O)C=CC2=CC=CC=C12.[P] Chemical compound O1C(=O)C=CC2=CC=CC=C12.[P] VCVMIAHADDDFPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920012266 Poly(ether sulfone) PES Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- LMNSBGIGCYLELB-UHFFFAOYSA-N [P].C1=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45 Chemical compound [P].C1=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45 LMNSBGIGCYLELB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPSJTUBQDJEBDZ-UHFFFAOYSA-N [P].O1CC=CC=C1 Chemical compound [P].O1CC=CC=C1 DPSJTUBQDJEBDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000000274 adsorptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000001398 aluminium Chemical class 0.000 description 1
- ANAJSSMBLXCCSM-UHFFFAOYSA-K aluminum;4-(4-cyanophenyl)phenolate Chemical compound [Al+3].C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=C(C#N)C=C1.C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=C(C#N)C=C1.C1=CC([O-])=CC=C1C1=CC=C(C#N)C=C1 ANAJSSMBLXCCSM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 150000005010 aminoquinolines Chemical class 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- RJGDLRCDCYRQOQ-UHFFFAOYSA-N anthrone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3CC2=C1 RJGDLRCDCYRQOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N benzo[de]isoquinoline-1,3-dione Chemical compound C1=CC(C(=O)NC2=O)=C3C2=CC=CC3=C1 XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001572 beryllium Chemical class 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- XZCJVWCMJYNSQO-UHFFFAOYSA-N butyl pbd Chemical compound C1=CC(C(C)(C)C)=CC=C1C1=NN=C(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC=CC=2)O1 XZCJVWCMJYNSQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001661 cadmium Chemical class 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- OPHUWKNKFYBPDR-UHFFFAOYSA-N copper lithium Chemical compound [Li].[Cu] OPHUWKNKFYBPDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007644 letterpress printing Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical class C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 1
- AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N orlistat Chemical compound CCCCCCCCCCC[C@H](OC(=O)[C@H](CC(C)C)NC=O)C[C@@H]1OC(=O)[C@H]1CCCCCC AHLBNYSZXLDEJQ-FWEHEUNISA-N 0.000 description 1
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-M phenolate Chemical compound [O-]C1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940031826 phenolate Drugs 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000412 polyarylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 150000004032 porphyrins Chemical class 0.000 description 1
- RQGPLDBZHMVWCH-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[3,2-b]pyrrole Chemical class C1=NC2=CC=NC2=C1 RQGPLDBZHMVWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052706 scandium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003325 scandium Chemical class 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N tetraphosphorus decaoxide Chemical compound O1P(O2)(=O)OP3(=O)OP1(=O)OP2(=O)O3 DLYUQMMRRRQYAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003751 zinc Chemical class 0.000 description 1
- HTPBWAPZAJWXKY-UHFFFAOYSA-L zinc;quinolin-8-olate Chemical compound [Zn+2].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 HTPBWAPZAJWXKY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
有機EL素子は、少なくともどちらか一方が透光性を有する二枚の電極層(陽極層と陰極層)の間に、有機発光媒体層を挟持した構造をしており、両電極間に電圧を印可し電流を流すことにより有機発光媒体層で発光が生じる自発光型の表示素子である。
上記の優れた特性を有する有機EL素子には、大気中の水分や酸素の影響によって性能が劣化するといった問題がある。このため、吸湿層(乾燥剤16)を内包させるために金属やガラスにスペース(以下、掘り込み部)を作製し、その掘り込み部に吸湿層を形成する場合がある(図1参照)。
そこで、前述した問題を解決するために、基板上に有機充填層を設けその中に吸湿機能を持たせた粒子を分散させて吸湿層を形成し、第二電極を形成したEL素子基板と貼り合せた固体封止構造にする提案もされている(特許文献3参照)。
また、第二基板(封止基板)がプラスチック基板などのフレキシブル基板の場合には、ローラー貼付けを実施できる。しかし、硬化前樹脂が塗布された状態ではローラーが加圧中は圧力により一旦樹脂が潰されるが、ローラーが通り過ぎると加圧が解除されるため、浮き上がり気泡の問題が生じる。硬化前樹脂の周りに閉ループのシール剤を配置しても同様の問題が生じる。
また、上記有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、前記第一有機シート層及び前記第二有機シート層のそれぞれを、熱硬化性もしくは光硬化性を有する硬化物または粘着性を有する未硬化物で形成したこととしてもよい。
また、上記有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、前記物理吸着性物質を、ゼオライト、シリカゲル及び活性アルミナの少なくともいずれか一種類を含んだものとし、前記化学吸着性物質を、酸化カルシウム及び酸化バリウムの少なくともいずれか一種類を含んだものとしたこととしてもよい。
また、上記有機エレクトロルミネッセンスパネルにおいて、前記第一有機シート層の膜厚と前記第二有機シート層の膜厚のそれぞれの値は、前記吸湿性物質の平均粒子径以上の値とし、前記第一有機シート層の膜厚を、前記第二有機シート層の膜厚よりも厚くしたこととしてもよい。
また、上記有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法において、前記積層基板を前記第二電極層上に多面付けした後に、前記平板基板のみを断裁して個々のパネルを分断することとしてもよい。
この構成によれば、吸湿性物質による第二電極層の局所応力によって発生していた、第一電極層と第二電極層とのショートを低減することができる。
本発明の第1の実施形態に係る有機ELパネルの製造方法を、主として図2を参照しつつ以下説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。図2は、本実施形態に係る、積層体を第二電極層まで形成した平板基板に貼り付ける工程を模式的に示した断面図である。なお、本実施形態では、有機ELパネルとしてトップエミッション構造を例として挙げるが、両面発光構造やボトムエミッション構造でも適用できる。
薄膜トランジスタを有機ELパネルのスイッチング素子として機能させるために、薄膜トランジスタのドレイン電極と、有機ELパネルの各画素を構成する有機EL素子の第一電極層22とを電気的に接続する。薄膜トランジスタのドレイン電極と、有機EL素子の第一電極層22との接続は、平坦化膜を貫通するコンタクトホール内に形成された接続配線を介して行われる。
第一電極層22を形成後、隣接する陽極パターンの間(つまり、第一電極層22同士の間)にフォトリソグラフィ法により隔壁25を形成する。隔壁25を形成する工程は、感光性樹脂組成物を基板21に塗布する工程と、パターン露光、現像、焼成して隔壁パターンを形成する工程とを少なくとも有している。
また、隔壁25を多段状にすることもでき、その場合には基板21上の全面に形成されたSiO2やSiNからなる絶縁性の無機膜をフォトリソグラフィ工程により画素を区切る格子状に形成して1段目の隔壁とする。そして、その1段目の隔壁上に感光性樹脂からなる2段目の隔壁をフォトリソグラフィにより形成する。
有機シート層a26および有機シート層b28は接着性を持っており、予め封止基板サイズに加工したフレキシブル封止基板29に、吸湿性物質27を片面に付着させた有機シート層b28の吸湿性物質27が付着してない面を貼り付ける。更に、有機シート層b28の吸湿性物質27を付着させた面に有機シート層a26を貼付ける。こうして積層体30を形成する。なお、本実施形態では、有機シート層b28の片面に吸湿性物質27を付着した場合について説明したが、有機シート層b28に吸湿性物質27を混ぜ合せてシート状にして用いても良い。
なお、有機シート層a26及び有機シート層b28のそれぞれは、熱硬化性もしくは光硬化性を有する硬化物または粘着性を有する未硬化物で形成されていれば好ましい。
化学吸湿性物質としては、例えば五酸化二リン(P2O5)、酸化カルシウム(CaO)、酸化バリウム(BaO)などが挙げられる。また、物理吸湿性物質としては、例えば酸化アルミニウム(Al2O3)、ゼオライト(アルミナ珪酸塩)、シリカゲル、活性アルミナなどが挙げられる。
化学吸湿性物質は、1種類または数種類用いることができる。また、物理吸湿性物質も同様に、1種類または数種類用いることができる。
フレキシブル封止基板29としては、透明性を必要とするトップエミッション型の有機EL素子の場合には、例えば薄ガラス、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリエチレンナフタレート(PEN)などのプラスチックフィルムを用いることができる。また、透明性を必要としないボトムエミッション型の有機EL素子の場合には、上記の材料に加えてステンレスやアルミなどの金属材料や不透明な薄ガラス、プラスチック材料を用いることができる。なお、フレキシブル封止基板29の水蒸気透過率は、1×10−3g/m2/day以下が望ましい。
まず初めに、予め封止基板サイズに加工された積層体30を基板21上に多面付けされた第二電極層24の上に貼り付ける(図2)。より詳しくは、例えば貼付けローラー31を用いて、積層体30の有機シート層a26で第二電極層24を覆うようにして、積層体30を第二電極層24の上に貼り付ける。有機シート層(有機シート層a26及び有機シート層b28)は液状ではなく、閉ループのシール剤も必要としないため、容易に貼付けることができる。貼り付ける際に貼付けローラー31は常温のままでも良いが、加熱しても良い。また、一つの貼付装置にローラーヘッド(貼付けローラー31)を複数個設ければタクトタイムを短縮させることができる。貼付時の圧力によって、吸湿性物質27による第一電極層22と第二電極層24との上下ショートは、有機シート層a26が厚いため保護されている。この手段により、これまで真空減圧下で上下基板を貼り合せると言う大掛かりな工程を省略することが可能となる。
第1の実施形態では、有機シート層a26、吸湿性物質27、有機シート層b28の3層構造からなる積層体30について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、有機シート層と吸湿性物質の層を増やし、3層よりも多層の構造からなる積層体301を用いてもよい(図5)。その際、吸湿性物質27に挟まれた有機シート層c33は、吸湿性物質27に水分をすばやく吸収させるために水蒸気を透過させ易い有機シート層であることが好ましく、水蒸気透過率で10g/m2/day以上が望ましい。
第2の実施形態では、積層体30よりも有機シート層と吸湿性物質の積層数を増やした積層体301について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、有機シート層a26の周囲に吸湿性物質27を設け、外からの水蒸気の進入を遅延させる構造としてもよい(図6)。
以下、本発明の実施形態に係る実施例及び比較例による説明をするが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。
まず、図7に示す有機ELパネルを作製した。基板21には、TFT基板を用いた。TFT基板21は、第一電極層22、取り出し電極、TFT回路を保護するためのSiNx層からなる無機絶縁層、および無機絶縁層上のポリイミドからなる樹脂絶縁層を既に備えており、絶縁層は、画素を仕切る隔壁25として形成されている。
次に、正孔輸送層上に有機発光層を形成し、前記正孔輸送層と合わせて有機発光媒体層23を80nm厚で形成した。有機発光層は、有機発光材料であるポリ[2−メトキシ−5−(2’−エチル−ヘキシロキシ)−1,4−フェニレンビュレン]をトルエンに溶解させてスピンコート法で形成した。
次に、有機発光媒体層23及び隔壁25を覆うように、Ba及びAlからなる第二電極層24を蒸着法(例えば、抵抗加熱蒸着法)により、それぞれ5nm厚、2nm厚で形成した。
このようにして得た有機ELパネルを60℃90%放置試験に投入した。1000時間経過しても吸湿性物質27による上下ショートが原因である黒点とダークエリア、ダークスポットは見られなかった。
実施例に記載した第二電極層24まで形成した基板21に、シールギャップ材34を混合したダム剤35を塗布し、吸湿性物質27を分散させたフィル剤36を塗布し、フレキシブル封止基板29のローラー貼り付けを実施し、有機ELパネル(図8)を作製した。同じ様に60℃90%放置試験を行ったところ、240時間で吸湿性物質27による局所応力起因の黒点が見られた。また、貼付け時に生じたダム剤形状不良により、ダークエリア、ダークスポットも見られた。
以上の結果から実施例は、比較例に比べて、局所応力、プロセス性に優れ、水蒸気によるダークスポット、ダークエリアに対しても優れることが分かる。
12…第一電極層
13…有機発光媒体層
14…第二電極層
15…接着層
16…乾燥剤
17…封止基板
18…隔壁
21…基板
22…第一電極層
23…有機発光媒体層
24…第二電極層
25…隔壁
26…有機シート層a
27…吸湿性物質
28…有機シート層b
29…フレキシブル封止基板
30…積層体
31…貼付けローラー
32…スクライブライン
33…有機シート層c
34…シールギャップ
35…ダム剤
36…フィル剤
37…抜き型
301…積層体
Claims (2)
- 平板基板上に、少なくとも第一電極層、有機発光層を含む有機発光媒体層、第二電極層、封止層、封止基板がこの順に積層された有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法であって、
前記封止層を、第一有機シート層、吸湿性物質、第二有機シート層がこの順に積層されたものとし、前記封止層の前記第二有機シート層上にさらに前記封止基板を積層してなる積層基板を、前記第一有機シート層が前記第二電極層を覆うように前記第二電極層上に貼付け、前記積層基板を前記第二電極層上に多面付けした後に、前記平板基板のみを断裁して個々のパネルを分断することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。 - 前記積層基板を、貼付けローラーを用いて前記第二電極層上に貼付けることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013168962A JP6171713B2 (ja) | 2013-08-15 | 2013-08-15 | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013168962A JP6171713B2 (ja) | 2013-08-15 | 2013-08-15 | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015037064A JP2015037064A (ja) | 2015-02-23 |
JP6171713B2 true JP6171713B2 (ja) | 2017-08-02 |
Family
ID=52687460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013168962A Expired - Fee Related JP6171713B2 (ja) | 2013-08-15 | 2013-08-15 | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6171713B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102508330B1 (ko) * | 2017-11-22 | 2023-03-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 발광 장치 및 유기 발광 표시 장치 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4325249B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2009-09-02 | 凸版印刷株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
CN103930501B (zh) * | 2011-11-14 | 2017-09-12 | Lg化学株式会社 | 粘合膜 |
JP5971501B2 (ja) * | 2012-01-06 | 2016-08-17 | エルジー・ケム・リミテッド | 電子装置の製造方法 |
-
2013
- 2013-08-15 JP JP2013168962A patent/JP6171713B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015037064A (ja) | 2015-02-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6098091B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP2014203707A (ja) | 有機elディスプレイの製造方法及び有機elディスプレイ | |
JP2013073759A (ja) | 有機発光表示装置及びその製造方法 | |
JP5910496B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2012209209A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP2013077460A (ja) | 有機elパネルの製造方法、有機elパネル及び有機elディスプレイ | |
JP6064351B2 (ja) | 有機el装置およびその製造方法 | |
JP2011076759A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法およびパッシベーション層成膜用マスク | |
JP2012199207A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ及びその製造方法 | |
JP2012059553A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
JP5987407B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネル | |
JP4736676B2 (ja) | アクティブマトリクス駆動型有機エレクトロルミネッセンス表示装置 | |
JP6171713B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP2013069615A (ja) | 有機elディスプレイ及びその製造方法 | |
JP2007287613A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子およびその製造方法 | |
JP2014067599A (ja) | 有機elディスプレイの製造方法及び有機elディスプレイ | |
JP6098090B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP2011204366A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法、及びそれを用いた有機エレクトロルミネッセンスパネル | |
JP2012038616A (ja) | 有機el素子及びその製造方法 | |
JP2006054147A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
JP6107200B2 (ja) | シート状封止材、有機エレクトロルミネッセンスパネル、シート状封止材の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP6299075B2 (ja) | 有機el装置及びその製造方法 | |
JP5982945B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP2016042418A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンスパネル及び有機エレクトロルミネッセンスパネルの製造方法 | |
JP2007095518A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160721 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170206 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170407 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170606 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170619 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6171713 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |