JP5867226B2 - 圧電デバイス - Google Patents

Description

本発明は、水晶振動子等の圧電振動子及び圧電発振器等の圧電デバイスに関する。

携帯電話や自動車電話等の通信機器、コンピュータ、ＩＣカード等の情報機器等の電子機器において、周波数や時間の基準となる水晶振動子等の圧電振動子や圧電発振器が、広く使用されている。

近年では、タイヤの空気圧を監視するシステム（ＴＰＭＳ：Tyre Pressure Monitoring Systems）のセンサモジュールに水晶振動子が搭載されている。このセンサモジュールでは、空気圧を検出するタイヤセンサ及び水晶振動子を用いた発振ユニットを有し、自動車のタイヤに設置されてタイヤセンサの検出出力を無線で運転席等に送信する。

この場合、センサモジュールはタイヤの、例えば内周面やホイールに設置され、自動車の走行中にはタイヤとともに高速回転する。そして、水晶振動子を用いた発振ユニットは、回転による遠心加速度を受けると共に、路面からの振動を受けることになり、このため、かかる用途では、例えば２０００Ｇといった遠心加速度での規格要求があり、高い耐衝撃性が求められる。

従来の水晶振動子には、耐衝撃性を高めるために、例えば、特許文献１に示すように、水晶片を収納する容器の底部に突部を形成して、水晶片を前記突部に固着して担持するようにしたものがある。

実開平７−２５６２０号公報

しかしながら、上記従来例の圧電振動子では、高い遠心加速度が作用すると、耐衝撃性が劣化し、圧電振動片と容器の電極との接続部分が外れて発振しなくなったりするなど、圧電振動子としての機能を果たすことができなくなるといった課題がある。

本発明は、上述のような点に鑑みてなされたものであって、耐衝撃性に優れた圧電デバイスを提供することを目的とする。

本件発明者らは、上記目的を達成するために、鋭意研究を重ねた結果、平面視外形が矩形の圧電振動片の一方の対向辺側の一対の電極とベース部材の二つの電極パッドとを電気的に接合して、該圧電振動片をベース部材に支持する第１，第２主支持部とは別の、圧電振動片の他方の対向辺側の二箇所をベース部材に接合して、圧電振動片をベース部材に支持する第１，第２補助支持部に着目し、この第１，第２補助支持部を、特定の領域内に配置することによって、高い遠心加速度が加わるような場合であっても、各支持部及び圧電振動片にかかる応力を低減して耐衝撃性を高めることができることを見出し、本発明を完成した。

すなわち、本発明の圧電デバイスは、平面視外形が矩形であって、その外形サイズが２．２ｍｍ×１．４ｍｍのサイズ以下の圧電振動片と、上面に前記圧電振動片と電気的に接続される二つの電極パッドを有するベース部材とを備え、
前記圧電振動片は、前記矩形をなす二組の対向辺のうち、第１の組の対向辺の一方の対向辺側に一対の電極を有し、前記圧電振動片は、前記一対の電極が、導電接合材で前記二つの電極パッドにそれぞれ接合された第１，第２主支持部と、前記第１の組の対向辺の他方の対向辺側の二箇所が、前記矩形の内側において接合材で前記ベース部材の上面にそれぞれ接合された第１，第２補助支持部とによって、当該ベース部材に支持され、前記第１，第２補助支持部は、前記第１の組の対向辺の各中点を結ぶ中心線の両側にそれぞれ配置され、前記二組の対向辺の内、第２の組の対向辺から前記中心線までの距離を５０％として、前記第１，第２補助支持部は、前記第２の組の対向辺の内、前記中心線に対して同じ側に位置する対向辺からの距離が４３％以下となる領域内であって、かつ、前記同じ側に位置する前記第１，第２主支持部よりも前記中心線寄りにそれぞれ配置されている。

第１，第２補助支持部は、前記第１の組の対向辺の前記他方の対向辺に近接する位置であるのが好ましいが、前記他方の対向辺から間隔をあけた位置に配置してもよい。この場合、第１，第２補助支持部は、前記他方の対向辺からの距離が等しいのが好ましい。

第１，第２補助支持部は、前記中心線に対して同じ側に位置する対向辺からの距離が４３％以下となる領域内であれば、前記対向辺からの距離が互いに異なっていてもよい。

本発明の好ましい実施態様では、前記圧電振動片が、水晶片であり、前記第１の組の前記対向辺が、前記第２の組の前記対向辺よりも短く、前記第１，第２補助支持部が、前記中心線を対称の軸として線対称に配置されると共に、前記第１の組の対向辺の前記他方の対向辺側であって、前記矩形の端縁に配置されている。

また、本発明の好ましい実施態様では、前記二組の対向辺の内、第２の組の対向辺から前記中心線までの距離を５０％として、前記第１，第２補助支持部は、前記第２の組の対向辺の内、前記中心線に対して同じ側に位置する対向辺からの距離が５％以上３９％以下となる領域内にそれぞれ配置されている。

本発明の他の実施態様では、前記圧電振動片は、前記一対の電極を、前記第１組の対向辺の一方の対向辺の両端部に有している。

本発明の更に他の実施態様では、前記第１，第２補助支持部の前記接合材を、接着剤とし、前記第１，第２主支持部の前記導電接合材を、導電性接着剤としてもよい。

本発明の好ましい実施態様では、前記第１，第２補助支持部の前記接着剤、及び、前記第１，第２主支持部の前記導電性接着剤の平面視外形を、円形、あるいは、楕円形としてもよい。

本発明の好ましい実施態様では、前記第１，第２補助支持部の前記接着剤の厚みが、１０μｍ〜３０μｍである。

本発明の他の実施態様では、前記第１，第２主支持部の前記導電接合材は、前記圧電振動片の下面と前記ベース部材の前記電極パッドとの間に介在すると共に、前記圧電振動片の上面まで延在するようにしてもよい。

本発明の更に他の実施態様では、前記ベース部材に前記圧電振動片を励振駆動する集積回路を接合し、前記圧電振動片と電気的に接続している。

本発明の圧電デバイスによると、圧電振動片の第１の組の対向辺の一方の対向辺側の一対の電極を、ベース部材の二つの電極パッドに接合した第１，２主支持部と、前記第１の組の対向辺の他方の対向辺側の二箇所を、矩形の内側において、ベース部材の上面に接合した第１，第２補助支持部とによって、圧電振動片をベース部材に支持すると共に、第１，第２補助支持部を、第１の組の対向辺の各中点を結ぶ中心線の両側にそれぞれ配置し、前記二組の対向辺の内、第２の組の対向辺から前記中心線までの距離を５０％として、第１，第２補助支持部を、第２の組の対向辺の内、前記中心線に対して同じ側に位置する対向辺からの距離が４３％以下となる領域内にそれぞれ配置するので、高い遠心加速度が加わるような場合であっても、各支持部及び圧電振動片にかかる応力を低減することができ、耐衝撃性を高めることができる。

また、第１，第２補助支持部を、第２の組の対向辺の内、前記中心線に対して同じ側に位置する対向辺からの距離が５％以上３９％以下となる領域内にそれぞれ配置することによって、耐衝撃性を一層高めることができる。

本発明によれば、圧電振動片の第１の組の一方の対向辺の一対の電極とベース部材の二つの電極パッドとを接合した第１，２主支持部と、圧電振動片の他方の対向辺側の二箇所を、矩形の内側でベース部材と接合した第１，第２補助支持部とによって、圧電振動片をベース部材に支持し、しかも、第１，第２補助支持部を、前記両対向辺の各中点を結ぶ中心線の両側にそれぞれ配置し、圧電振動片の第２の組の対向辺から前記中心線までの距離を５０％として、第１，第２補助支持部を、前記中心線に対して同じ側に位置する対向辺からの距離が４３％以下となる領域内にそれぞれ配置するので、高い遠心加速度が加わるような場合であっても、各支持部及び圧電振動片にかかる応力を低減することができ、耐衝撃性を高めることができる。

図１は本発明の一実施形態に係る水晶振動子の断面図である。 図２は図１の水晶振動子の蓋体を外した状態の平面図である。 図３は応力シミュレーションの評価モデルの斜視図である。 図４は評価モデルの水晶片及び各支持部を示す平面図である。 図５はタイヤへの搭載状態を説明するための図である。 図６は第１のサイズの評価モデルのシミュレーション結果を示す図である。 図７は第２のサイズの評価モデルのシミュレーション結果を示す図である。 図８Ａは第２のサイズの評価モデルの支持部の位置と水晶片のミーゼス応力の分布を示す図である。 図８Ｂは第２のサイズの評価モデルの支持部の位置と水晶片のミーゼス応力の分布を示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

この実施形態では、圧電デバイスとして、圧電振動子である水晶振動子を例に挙げて説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る水晶振動子の断面図であり、図２は、図１の水晶振動子において、パッケージの蓋体を外した状態の平面図である。

この実施形態の水晶振動子１は、圧電振動片としての水晶片２と、水晶片２を収納する凹部６を有するベース部材３と、ベース部材３の開口部を気密封止する蓋体４とを備えており、ベース部材３と蓋体４とによってパッケージが構成される。

セラミックからなるベース部材３の周壁の上面と、金属製の蓋体４の外周部とはシールガラス等の接合材５を介して接合され、蓋体４とベース部材３との接合によって形成される収納空間に水晶片２が収納される。

ベース部材３は、平面視外形が大略矩形となっている。このベース部材３の凹部６の一方の短辺寄りの両隅部には、金属からなる一対の電極パッド７，８が形成されている。ベース部材３の外部底面には、外部機器等と半田等によって接合される外部端子（図示せず）が形成されている。電極パッド７，８と外部端子とは図示しない内部配線導体によって電気的に接続されている。

水晶片２は平面視外形が矩形のＡＴカット水晶片であり、この矩形の水晶片２は、二組の対向辺２ａ，２ｂ；２ｃ，２ｄを有しており、第１の組の対向辺２ａ，２ｂは、第２の組の対向辺２ｃ，２ｄよりも短い短辺となっている。

この水晶片２の表裏主面には、水晶片２を励振させる一対の励振電極９，１０が各々形成されており、各励振電極９，１０からは、一方の短辺２ａの両端部まで引出電極１１，１２がそれぞれ延出形成されている。水晶片２の一対の引出電極１１，１２とベース部材３の各電極パッド７，８とは、導電接合材としての導電性接着剤１３でそれぞれ接合されており、この実施形態では、導電性接着剤１３は、平面視外形が円形となっている。導電性接着剤１３としては、例えば、金や銀等の導電性フィラーを含有するシリコーン系、ウレタン系、あるいは、変成エポキシ系等のペースト状の接着剤を用いることができる。

ベース部材３の凹部６の他方の短辺寄りの位置には、ベース部材３の幅方向（図２の上下方向）に長い台座１４が突設されている。

水晶片２の他方の短辺２ｂ側の二箇所が、水晶片２の矩形の内側において、ベース部材３の台座１４の前記幅方向の両端部に、接合材としての接着剤１６によってそれぞれ接合されており、この実施形態では、接着剤１６は、平面視外形が円形となっている。接着剤１６は、上述の導電性接着剤１３であってもよいし、非導電性の接着剤であってもよい。

ベース部材３の各台座１４の高さは、各電極パッド７，８の上端と等しくなっており、水晶片２を、該水晶片２とベース部材３の凹部６の上面との間に隙間を確保しつつ、水平に支持している。

なお、台座１４は、前記幅方向に連続するように形成されているが、接着剤１６によってそれぞれ接合される幅方向の二箇所に分離して台座１４を形成してもよい。また、これら台座１４を省略すると共に、各電極パッド７，８の台座部分を省略してもよい。

このように水晶片２は、その一方の短辺２ａ側の引出電極１１，１２が、ベース部材３の電極パッド７，８に導電性接着剤１３で接合された主支持部Ｍ１，Ｍ２と、他方の短辺２ｂ側の二箇所が、ベース部材３の台座１４に接着剤１６で接合された第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２とによって、ベース部材３に支持される。導電性接着剤１３及び接着剤１６の厚みは、例えば、１０μｍ〜３０μｍである。この厚みは、ペースト状の接着剤１３，１６を塗布後、乾燥硬化させた後の接着剤１３，１６の厚みである。

この実施形態の水晶振動子１では、耐衝撃性を向上させるために、各支持部Ｍ１，Ｍ２；Ｓ１，Ｓ２、特に第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を、次のように規定している。

すなわち、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、矩形の水晶片２の矩形の内側の領域であって、両短辺２ａ，２ｂの各中点を結ぶ仮想の中心線ＣＬを挟んでその両側にそれぞれ配置され、しかも、この実施形態では、前記中心線ＣＬを対称の軸として線対称に配置される。また、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、前記他方の短辺２ｂ側の矩形の端縁に沿って配置される。

第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片２の矩形の内側の領域、すなわち、水晶片２の矩形の外側にはみ出さないように配置される。補助支持部Ｓ１，Ｓ２が、水晶片２からはみ出した場合、各支持部Ｍ１，Ｍ２；Ｓ１，Ｓ２及び水晶片２にかかる応力が増大し、耐衝撃性能が著しく低下する。

更に、この実施形態では、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、前記中心線ＣＬに対して同じ側に位置する第１，第２主支持部Ｍ１，Ｍ２よりも中心線ＣＬに近接して配置されている。すなわち、第１補助支持部Ｓ１は、その円形の中心が第１主支持部Ｍ１の円形の中心よりも中心線ＣＬに近接した位置に配置され、第２補助支持部Ｓ２は、その円形の中心が第２主支持部Ｍ２の円形の中心よりも中心線ＣＬに近接した位置に配置される。

このように第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２を、第１，第２主支持部Ｍ１，Ｍ２よりも中心線ＣＬ寄りに配置することによって、各支持部Ｍ１，Ｍ２；Ｓ１，Ｓ２及び水晶片２にかかる応力を低減することができ、耐衝撃性を高めることが可能となる。

なお、第１，第２の補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、必ずしも線対称でなくてもよい。また、第１，第２の補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、他方の短辺２ｂ側の矩形の端縁に沿って配置しなくてもよく、矩形の端縁から間隔をあけて配置してもよい。間隔をあけることによって、第１，第２の補助支持部Ｓ１，Ｓ２が、水晶片２からはみ出すのを防止することができる。補助支持部Ｓ１，Ｓ２が水晶片２からはみ出した場合、各支持部Ｍ１，Ｍ２；Ｓ１，Ｓ２及び水晶片２にかかる応力が増大し、耐衝撃性能が著しく低下する。第１，第２の補助支持部Ｓ１，Ｓ２を、矩形の端縁から間隔をあけて配置する場合は、各補助支持部Ｓ１，Ｓ２の前記端縁からの距離は等しいのが好ましい。また、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、前記中心線ＣＬに対して同じ側に位置する第１，第２主支持部Ｍ１，Ｍ２よりも中心線ＣＬに近接していなくてもよい。

この実施形態では、図２に示すように、矩形の水晶片２の二組の対向辺の内、第２の組の対向辺である、各長辺２ｃ，２ｄから前記中心線ＣＬまでの距離Ｄを５０％として、すなわち、水晶片２の短辺２ａ，２ｂの長さである幅寸法を１００％としたときに、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、次のように規定される領域内にそれぞれ配置される。

すなわち、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片２の両長辺２ｃ，２ｄの内、前記中心線ＣＬに対して同じ側に位置する長辺からの距離、具体的には、第１補助支持部Ｓ１は、一方の長辺２ｃから距離Ｈ、第２補助支持部Ｓ２は、他方の長辺２ｄからの距離Ｈが、いずれも４３％以下となる領域内にそれぞれ配置される。

ここで、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が、前記領域内に配置されるとは、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接合材が、前記領域内に位置することをいう。例えば、接合材としてのペースト状の接着剤を塗布後、乾燥硬化させた後の接着剤の平面視の外形（投影した形状）が、前記領域内に位置することをいう。

第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、前記中心線ＣＬに対して同じ側に位置する長辺２ｃ，２ｄからの各距離Ｈが５％以上３９％以下となる領域内にそれぞれ配置されるのがより好ましい。

次に、上記のように水晶片２が主支持部Ｍ１，Ｍ２及び補助支持部Ｓ１，Ｓ２よってベース部材３に支持された水晶振動子の耐遠心加速度性を評価するために、遠心加速度２０００Ｇがかかることを想定した有限要素法を用いた応力シミュレーションを行った。

この応力シミュレーションの評価モデル２１として、図３の斜視図及び図４の平面図に示すように、板状のセラミック１７上に、平面視外形が矩形の水晶片１８を、その一方の短辺１８ａの両端部を導電性の接着剤１９によってそれぞれ支持した第１，第２主支持部Ｍ１，Ｍ２とし、他方の短辺１８ｂ側の二箇所を同じく導電性の接着剤１９によってそれぞれ支持した第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２としたものであって、この第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を短辺１８ｂに沿って変化させた場合の応力シミュレーションを行った。

なお、図４では、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を明確にするために、実線で示しているが、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接着剤１９は、水晶片１８とセラミック１７との間に介在している。

この評価モデル２１における、セラミック１７、水晶片１８及び接着剤１９の物性値であるヤング率（Ｋｇｆ／ｍｍ²）及び密度（Ｋｇｆ／ｍｍ³）は、下記表１の値を用いた。

また、この応力シミュレーションでは、下記表２に示すように、平面視外形が矩形の水晶片１８のサイズ（長辺＊短辺）、主支持部Ｍ１，Ｍ２の平面視外形が円形の接着剤１９の半径Ｒ、補助支持部Ｓ１，Ｓ２の平面視外形が円形の接着剤１９の半径ｒが、それぞれ異なる第１，第２のサイズの２種類の評価モデル２１について行った。

第１のサイズの評価モデル２１は、表２及び図４に示すように、矩形の水晶片１８のサイズ（長辺＊短辺）、すなわち、図４の水晶片１８の長さＬと幅Ｗが、１．８ｍｍ＊１．１ｍｍ、主支持部Ｍ１，Ｍ２の接着剤１９の半径Ｒが、０．１６ｍｍ、補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接着剤１９の半径ｒが、０．１２ｍｍである。また、第２のサイズの評価モデル２１は、水晶片１８のサイズが、２．２ｍｍ＊１．４ｍｍ、主支持部Ｍ１，Ｍ２の接着剤１９の半径Ｒが、０．２０ｍｍ、補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接着剤１９の半径ｒが、０．１５ｍｍである。いずれのサイズも主支持部Ｍ１，Ｍ２及び補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接着剤１９の厚みは、０．０２５ｍｍであり、また、水晶片１８の厚みは、０．０８５ｍｍである。

この応力シミュレーションでは、図４の平面図に示すように、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置について、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、両短辺１８ａ，１８ｂの各中点を結んだ中心線ＣＬに対して補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄから第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２のそれぞれ近接する側の周縁Ｓ１ａ，Ｓ２ａ、すなわち、円形の接着剤１９の近接する側の周縁Ｓ１ａ，Ｓ２ａまでの距離ｈ１（以下「近接側周縁距離」ともいう）を変化させた場合の遠心加速度２０００Ｇに相当する線形静解析を実施した。

第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、前記中心線ＣＬを対称の軸として線対称としており、したがって、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の前記近接側周縁距離ｈ１は等しくなる。また、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、短辺１８ｂ側であって、矩形の水晶片１８の端縁に配置する。

また、近接側周縁距離ｈ１に対して、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、前記中心線ＣＬに対して各補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄから、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２のそれぞれ離間する側の周縁Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂ、すなわち、円形の接着剤１９の離間する側の周縁Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂまでの距離ｈ２（以下「離間側周縁距離」ともいう）は、図４に示すように、近接側周縁距離ｈ１に、補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接着剤１９の直径（２・ｒ）、すなわち、第１のサイズでは、０．２４（＝０．１２×２）ｍｍを、第２のサイズでは、０．３０（＝０．１５×２）ｍｍを加算した値となる。

なお、タイヤの空気圧監視システム（ＴＰＭＳ）のセンサモジュールとして水晶振動子１を搭載する場合、図５に示すように、矢符Ａ方向へ回転するタイヤ２０の回転軸方向をＹ、遠心方向をＺ、走行方向をＸとすると、水晶片１８の幅方向が回転軸方向Ｙに沿うように、また、遠心方向Ｚが、水晶片１８の上下面に直交するように搭載される。

図４には、応力シミュレーションにおける上記各方向を示しており、タイヤの回転軸方向Ｙは、水晶片１８の短辺１８ａ，１８ｂに沿う幅方向となり、タイヤの走行方向Ｘは、水晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄに沿う長さ方向となり、タイヤの回転による遠心方向ｚは、水晶片１８の上下面に対して垂直な方向となる。

この応力シミュレーションでは、上述のように、各補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を変化させた場合の主支持部Ｍ１，Ｍ２及び補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接着剤１９の最大引張応力、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力を算出した。水晶片１８の中心部は、矩形の水晶片１８の中心から半径０．３ｍｍの領域とした。

なお、矩形の水晶片１８の長辺１８ａ，１８ｂから各補助支持部Ｓ１，Ｓ２の近接する側の周縁Ｓ１ａ，Ｓ２ａまでの距離ｈ１は、矩形の水晶片１８の内側の領域に補助支持部Ｓ１，Ｓ２が位置する場合はプラス（＋）、矩形の水晶片１８の外側に補助支持部Ｓ１，Ｓ２の一部が位置する場合、すなわち、補助支持部Ｓ１，Ｓ２の一部が矩形の水晶片１８からはみだす場合はマイナス（−）とした。

次に応力シミュレーションの結果について説明する。

［第１のサイズの評価モデルについてのシミュレーション結果］
表３は、第１のサイズについての応力シミュレーションの結果を示すものである。

この表３では、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、前記中心線ＣＬに対して補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄから第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２のそれぞれ近接する側の周縁Ｓ１ａ，Ｓ２ａまでの距離、すなわち、上述の近接側周縁距離ｈ１における接着剤１９の最大引張応力、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力を示しており、前記近接側周縁距離ｈ１の斜線が施された部分は、好ましい範囲であることを示している。

また、図６は、表３のデータを、近接側周縁距離ｈ１に対して、接着剤１９の最大引張応力、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力をそれぞれプロットしたものである。この図６において、白抜きの点は、最小値を示している。

この表３及び図６に示すように、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が、矩形の水晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄから外側にそれぞれ０．１２ｍｍはみだした位置（ｈ１＝−０．１２）から、各補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を徐々に近づけて、矩形の水晶片１８の各長辺１８ｃ，１８ｄから各補助支持部Ｓ１，Ｓ２の近接する側の周縁Ｓ１ａ，Ｓ２ａまでの距離ｈ１をそれぞれ０．３ｍｍ（ｈ１＝０．３）まで変化させる。

このように第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を互いに近づける方向に変化させると、接着剤１９の最大引張応力及び水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力は、徐々に小さくなり、前記近接側周縁距離ｈ１が、０．１４ｍｍ（ｈ１＝０．１４）付近でいずれも最小となり、その後、接着剤１９の最大引張応力及び水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力は、徐々に大きくなる。

接着剤１９の最大引張応力が、１１２４（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、５２３（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置は、前記近接側周縁距離ｈ１が、ｈ１＝０．００１ｍｍ〜０．２６ｍｍの範囲、すなわち、表３の粗い斜線が施された範囲である。

近接側周縁距離ｈ１は、水晶片１８の各長辺１８ｃ，１８ｄから第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の近接する側の周縁Ｓ１ａ，Ｓ２ａまでの距離であり、したがって、水晶片１８の各長辺１８ｃ，１８ｄから第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の離間する側の周縁Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂまでの距離、すなわち、上述の離間側周縁距離ｈ２は、近接側周縁距離ｈ１に、補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接着剤１９の直径（２・ｒ）、すなわち、０．２４（＝０．１２×２）ｍｍを加算した値となる。すなわち、ｈ２＝０．２４１ｍｍ〜０．５０ｍｍとなる。

したがって、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が存在し得る領域は、前記近接側周縁距離ｈ１の最小値である０．００１ｍｍから前記離間側周縁距離ｈ２の最大値である０．５０ｍｍまでの領域である。

近接側周縁距離ｈ１及び離間側周縁距離ｈ２は、図４に示すように、いずれも水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、両短辺１８ａ，１８ｂの各中点を結んだ中心線ＣＬに対して補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈである。

したがって、この距離Ｈを用いて第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が存在し得る領域を表すと、Ｈ＝０．００１ｍｍ〜０．５０ｍｍとなる。

つまり、接着剤１９の最大引張応力が、１１２４（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、５２３（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、より好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、図４に示す補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、Ｈ＝０．００１ｍｍ〜０．５０ｍｍとなる領域内に配置される。

この領域は、矩形の水晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄから前記中心線ＣＬまでの距離Ｄを５０％として、すなわち、水晶片１８の短辺２ａ，２ｂの長さである水晶片１８の幅Ｗ（１．１ｍｍ）を１００％としたときに、長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、略０％｛＝（０．００１／１．１）×１００｝〜４６％｛＝（０．５０／１．１）×１００｝となる領域である。

つまり、接着剤１９の最大引張応力が、１１２４（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、５２３（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，ｓ２は、長辺１８ｃ，１８ｄからの前記距離Ｈが、０％〜４６％となる領域内にそれぞれ配置される。

この領域内では、表４に示すように、接着剤１９の最大引張応力と最小引張応力の差の前記最小引張応力に対する割合［｛（最大引張応力−最小引張応力）／最小引張応力｝×１００］、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力と最小ミーゼス応力の差の前記最小ミーゼス応力に対する割合［｛（最大ミーゼス応力−最小ミーゼス応力）／最小ミーゼス応力｝×１００］が、いずれも３％以内となる。

この表４では、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、上記中心線ＣＬに対して同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、最小値Ｈｍｉｎ＝０．００１から最大値Ｈｍａｘ＝０．５０までの領域内にあって、この領域内は、水晶片１８の短辺１８ａ，１８ｂの長さである水晶片１８の幅Ｗ（１．１ｍｍ）を１００％としたときに、長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、０％〜４６％となる領域であることを示している。

次に、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２のより好ましい位置、具体的には、接着剤１９の最大引張応力が、１１０８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、５１６（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、上記近接側周縁距離ｈ１が、ｈ１＝０．０６ｍｍ〜０．２２ｍｍの範囲、すなわち、表３の細かい斜線が施された範囲である。

近接側周縁距離ｈ１が、ｈ１＝０．０６ｍｍ〜０．２２ｍｍであるので、水晶片１８の各長辺１８ｃ，１８ｄから第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の離間する側の周縁Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂまでの距離、すなわち、上述の離間側周縁距離ｈ２は、近接側周縁距離ｈ１に、０．２４ｍｍを加算した値となる。すなわち、ｈ２＝０．３０ｍｍ〜０．４６ｍｍとなる。

したがって、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が存在し得る領域は、前記近接側周縁距離ｈ１の最小値である０．０６ｍｍから前記離間側周縁距離ｈ２の最大値である０．４６ｍｍまでの領域である。

この領域を、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、上記中心線ＣＬに対して補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈで表すと、Ｈ＝０．０６ｍｍ〜０．４６ｍｍとなる。

つまり、接着剤１９の最大引張応力が、１１０８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、５１６（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、より好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄから前記中心線ＣＬまでの距離Ｄを５０％として、長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、５％｛＝（０．０６／１．１）×１００｝〜４２％｛＝（０．４６／１．１）×１００｝となる領域内である。

すなわち、接着剤１９の最大引張応力が、１１０８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、５１６（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、より好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、長辺１８ｃ，１８ｄからの前記距離Ｈが、５％〜４２％となる領域内にそれぞれ配置される。

この領域内では、表４に示すように、接着剤１９の最大引張応力と最小引張応力の差の前記最小引張応力に対する割合、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力と最小ミーゼス応力の差の前記最小ミーゼス応力に対する割合が、いずれも１．５％以内となる。

この表４では、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、上記中心線ＣＬに対して同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、最小値Ｈｍｉｎ＝０．０６から最大値Ｈｍａｘ＝０．４６までの領域内にあって、この領域内は、水晶片１８の幅Ｗ（１．１ｍｍ）を１００％としたときに、長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、５％〜４２％となる領域であることを示している。

［第２のサイズの評価モデルについてのシミュレーション結果］
次に、第２のサイズについて、応力シミュレーションの結果を説明する。

表５は、第２のサイズについての応力シミュレーションの結果を示すものである。

この表５では、上記表３と同様に、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、上記中心線ＣＬに対して補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄから、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２のそれぞれ近接する側の周縁Ｓ１ａ，Ｓ２ａまでの距離、すなわち、上述の近接側周縁距離ｈ１における接着剤１９の最大引張応力、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力を示しており、前記近接側周縁距離ｈ１の斜線が施された部分は、好ましい範囲であることを示している。

また、図７は、表５のデータを、近接側周縁距離ｈ１に対して、接着剤１９の最大引張応力、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力をそれぞれプロットしたものである。この図７において、白抜きの点は、最小値を示している。

この表５及び図７に示すように、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が、矩形の水晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄから外側にそれぞれ０．１５ｍｍはみだした位置（ｈ１＝−０．１５）から、各補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を徐々に近づけて、矩形の水晶片１８の各長辺１８ｃ，１８ｄから各補助支持部Ｓ１，Ｓ２の近接する側の周縁Ｓ１ａ，Ｓ２ａまでの距離ｈ１をそれぞれ０．３５ｍｍ（ｈ１＝０．３５）まで変化させる。

このように第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を互いに近づける方向に変化させると、接着剤１９の最大引張応力、及び、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力は、徐々に小さくなり、前記近接側周縁距離ｈ１が、約０．１５ｍｍで水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が最小となり、また、約０．２ｍｍで接着剤１９の最大引張応力が最小となり、その後、接着剤１９の最大引張応力、及び、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力は、徐々に大きくなる。

接着剤１９の最大引張応力が、１４８７（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、７０８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置は、前記近接側周縁距離ｈ１が、ｈ１＝０．００１ｍｍ〜０．３０ｍｍの範囲、すなわち、表５の粗い斜線が施された範囲である。

近接側周縁距離ｈ１が、ｈ１＝０．００１ｍｍ〜０．３０ｍｍであるので、水晶片１８の各長辺１８ｃ，１８ｄから第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の離間する側の周縁Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂまでの距離、すなわち、上述の離間側周縁距離ｈ２は、近接側周縁距離ｈ１に、補助支持部Ｓ１，Ｓ２の接着剤１９の直径（２・ｒ）、すなわち、０．３０（＝０．１５×２）ｍｍを加算した値、ｈ２＝０．３０１ｍｍ〜０．６０ｍｍとなる。

したがって、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が存在し得る領域は、前記近接側周縁距離ｈ１の最小値である０．００１ｍｍから前記離間側周縁距離ｈ２の最大値である０．６０ｍｍまでの領域内である。

この領域を、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、上記中心線ＣＬに対して補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈで表すと、Ｈ＝０．００１ｍｍ〜０．６０ｍｍとなる。

つまり、接着剤１９の最大引張応力が、１４８７（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、７０８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄから前記中心線ＣＬまでの距離Ｄを５０％として、長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、略０％｛＝（０．００１／１．４）×１００｝〜４３％｛＝（０．６０／１．４）×１００｝となる領域内である。

すなわち、接着剤１９の最大引張応力が、１４８７（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、７０８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、長辺１８ｃ，１８ｄからの前記距離Ｈが、０％〜４３％となる領域内にそれぞれ配置される。

この領域内では、表６に示すように、接着剤１９の最大引張応力と最小引張応力の差の前記最小引張応力に対する割合、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力と最小ミーゼス応力の差の前記最小ミーゼス応力に対する割合が、いずれも３％以内となる。

この表６では、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、上記中心線ＣＬに対して同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、最小値Ｈｍｉｎ＝０．００１から最大値Ｈｍａｘ＝０．６０までの領域内にあって、この領域は、水晶片１８の幅Ｗ（１．４ｍｍ）を１００％としたときに、長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、０％〜４３％となる領域内であることを示している。

次に、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２のより好ましい位置、具体的には、接着剤１９の最大引張応力が、１４６６（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、６９８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、上記近接側周縁距離ｈ１が、ｈ１＝０．０５ｍｍ〜０．２５ｍｍの範囲、すなわち、表５の細かい斜線が施された範囲である。

近接側周縁距離ｈ１が、ｈ１＝０．０５ｍｍ〜０．２５ｍｍであるので、水晶片１８の各長辺１８ｃ，１８ｄから第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の離間する側の周縁Ｓ１ｂ，Ｓ２ｂまでの距離、すなわち、上述の離間側周縁距離ｈ２は、近接側周縁距離ｈ１に、０．３０ｍｍを加算した値となる。すなわち、ｈ２＝０．３５ｍｍ〜０．５５ｍｍとなる。

したがって、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が存在し得る領域は、前記近接側周縁距離ｈ１の最小値である０．０５ｍｍから前記離間側周縁距離ｈ２の最大値である０．５５ｍｍまでの領域である。

この領域を、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、上記中心線ＣＬに対して補助支持部Ｓ１，Ｓ２と同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈで表すと、Ｈ＝０．０５ｍｍ〜０．５５ｍｍとなる。

つまり、接着剤１９の最大引張応力が、１４６６（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、６９８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、より好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄから前記中心線ＣＬまでの距離Ｄを５０％として、長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、４％｛＝（０．０５／１．４）×１００｝〜３９％｛＝（０．５５／１．４）×１００｝となる領域である。

すなわち、接着剤１９の最大引張応力が、１４６６（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下であって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が、６９８（ｋｇｆ／ｍｍ²）以下となる、より好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、長辺１８ｃ，１８ｄからの前記距離Ｈが、４％〜３９％となる領域内にそれぞれ配置される。

この領域内では、表６に示すように、接着剤１９の最大引張応力と最小引張応力の差の前記最小引張応力に対する割合、及び、水晶片１８の中心部における最大ミーゼス応力と最小ミーゼス応力の差の前記最小ミーゼス応力に対する割合が、いずれも１．５％以内となる。

この表６では、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２は、水晶片１８の両長辺１８ｃ，１８ｄの内、上記中心線ＣＬに対して同じ側に位置する長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、最小値Ｈｍｉｎ＝０．０５から最大値Ｈｍａｘ＝０．５５までの領域内にあって、この領域は、水晶片１８の幅Ｗ（１．４ｍｍ）を１００％としたときに、長辺１８ｃ，１８ｄからの距離Ｈが、４％〜３９％となる領域であることを示している。

以上の応力シミュレーションの結果に基づいて、接着剤１９の最大引張応力及び水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力を抑制することができる好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置は、前記距離Ｈが０％〜４３％の領域、より好ましい第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置は、前記距離Ｈが、５％〜３９％の領域である。

次にこの第２のサイズの評価モデルにおいて、上述のように、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を徐々に近づけたときの各支持部Ｍ１，Ｍ２，Ｓ１，Ｓ２の位置、及び、水晶片１８のミーゼス応力の分布を、図８Ａ及び図８Ｂに示す。各図において、左側が各支持部の位置を、右側が水晶片１８のミーゼス応力の分布を示している。

この図８Ａ及び図８Ｂは、水晶片１８のミーゼス応力の大小を、応力が大きくなるつれて、紫（０．０ｋｇｆ／ｍｍ²）から赤（１５４０ｋｇｆ／ｍｍ²）へとレインボーカラーで段階的に示したものを、濃淡画像に変換したものである。

図８Ａにおいて、（ａ）は第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が結晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄの外側へ１／２はみだしている位置、すなわち、上述の近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝−０．０７５ｍｍ、（ｂ）は第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が結晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄの外側へ１／４はみだしている位置、すなわち、上述の近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝−０．０３７５ｍｍ、（ｃ）は第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が結晶片１８の長辺１８ｃ，１８ｄの外側へ１／８はみだしている位置、すなわち、上述の近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝−０．０１８７５ｍｍ、（ｄ）は上述の近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝０．０ｍｍ、（ｅ）は近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝０．０５ｍｍ、（ｆ）は近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝０．１ｍｍ、（ｇ）は近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝０．１５ｍｍであって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が最小となる距離である。

また、図８Ｂにおいて、（ｇ）は図８Ａの（ｇ）と同じであり、ｈ１＝０．１５ｍｍであって、水晶片１８の中心部の最大ミーゼス応力が最小となる距離である。（ｈ）は近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝０．２ｍｍ、（ｉ）は近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝０．２５ｍｍ、（ｊ）は近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝０．３ｍｍ、（ｋ）は近接側周縁距離ｈ１がｈ１＝０．３５ｍｍである。

すなわち、図８Ａにおいては、（ａ）→（ｇ）に示すように、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２を互いに近づける方向に移動させ、図８Ｂにおいては、（ｇ）→（ｋ）に示すように、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２を更に近づける方向に移動させた状態を示している。

先ず、図８Ａにおいて、水晶片１８の中心部の応力に注目すると、（ａ）では、約７００ｋｇｆ／ｍｍ²程度の応力の部分が、上下に連なっている。この状態から（ｂ）→（ｃ）→（ｄ）→（ｅ）に示すように、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を互いに近づけると、水晶片１８の中心部の上下に連なる前記応力の部分は、徐々に左右がくびれ、その分、約６００ｋｇｆ／ｍｍ²程度の応力の低い部分が広がっている。

そして、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を更に近づけると、（ｆ）→（ｇ）に示すように、上下に連なっていた応力の部分は、上下に分離し、（ｇ）において、水晶片１８の中心部のミーゼス応力は、最小となる。

この（ｇ）の状態から第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を更に近づけると、図８Ｂの（ｇ）→（ｈ）→（ｉ）に示すように、水晶片１８の中心部の上下に分離した応力の部分が広がり、上下の間隔が徐々に狭くなる。

そして、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を更に近づけると、（ｊ）→（ｋ）に示すように、上下に分離していた応力の部分が再び連なり、水晶片１８の中心のミーゼス応力が高くなっていることが分かる。

このように第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２の位置を互いに近づける方向に変化させると、水晶片１８の中心部のミーゼス応力は、徐々に小さくなり、上述の近接側周縁距離ｈ１が、０．１５ｍｍで最小となり、その後、水晶片１８の中心部のミーゼス応力は、徐々に大きくなる。

以上のように、この実施形態の水晶振動子では、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２を特定の領域内に配置するので、例えば、２０００Ｇという高い遠心加速度がかかっても、各支持部Ｍ１，Ｍ２；Ｓ１，Ｓ２の各接着剤１９の引張応力及び水晶片１８のミーゼス応力を低減することが可能となり、耐衝撃性を向上させることができる。

したがって、耐衝撃性が要求される用途に好適であり、特に、車載用途、例えば、高い遠心加速度がかかる上述のＴＰＭＳ（タイヤ空気圧監視システム）、あるいは、無線を使って鍵穴にキーを挿入しなくても施錠、開錠が可能なキーレスエントリーシステムのように落下衝撃がかかる用途などに特に好適である。

また、本発明の圧電デバイスである圧電発振器、例えば、水晶発振器は、前記ベース部材に水晶片を励振駆動する集積回路を接合し、水晶片と電気的に接続すればよい。

図示は省略するが、この水晶発振器では、例えば、水晶片の下方に集積回路を収納する空間を有するベース部材を使用し、該ベース部材の前記空間に、集積回路（ＩＣ）を収納すると共に、水晶片を上述のように支持し、蓋体を被せて気密封止すればよい。

（他の実施形態）
上述の実施形態では、水晶片は、平面視が長方形であったけれども、本発明は、平面視が正方形の圧電振動片に適用することもできる。

接着剤に代えて、ろう材や金属バンプ等を用いてもよい。

上述の実施形態では、第１，第２主支持部では、圧電振動片としての水晶片の上面には、接着剤が介在しなかったけれども、ベース部材の電極パッドに接着剤を塗布して水晶片を搭載した後、水晶片の上面に、更に接着剤を上塗りして、接着剤を介在させてもよく、これによって、より確実な電気的機械的接合を行うようにしてもよい。

上述の実施形態では、圧電振動片として水晶片を用いた水晶振動子に適用して説明したけれども、本発明は、水晶以外のタンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料からなる圧電振動片を用いた圧電振動子に適用できるものである。

上述の実施形態では、圧電振動片としてＡＴカット型の水晶片を用いた水晶振動子に適用して説明したけれども、他のカット型の水晶片を用いた水晶振動子に適用してもよい。

上述の実施形態では、ベース部材３には、第１，第２補助支持部Ｓ１，Ｓ２が設けられる台座１４が、幅方向に連続して長く形成されたけれども、上述のように、台座１４は、各補助支持部Ｓ１，Ｓ２に個別に対応するように分離して二箇所に形成してもよい。また、これら台座１４を省略すると共に、主支持部Ｍ１，Ｍ２の台座部を省略してもよい。

上述の実施形態では、ベース部材３は凹部を有する構成としたが、ベース部材３を凹部の無い板状とし、蓋体４側に凹部を有する構造としてもよい。

１ 水晶振動子
２，１８ 水晶片
３ ベース部材
４ 蓋体
７，８ 電極パッド
９，１０ 励振電極
１１，１２ 引出電極
１３ 導電性接着剤
１６，１９ 接着剤

Claims (9)

1. 平面視外形が矩形であって、その外形サイズが２．２ｍｍ×１．４ｍｍのサイズ以下の圧電振動片と、上面に前記圧電振動片と電気的に接続される二つの電極パッドを有するベース部材とを備え、
   前記圧電振動片は、前記矩形をなす二組の対向辺のうち、第１の組の対向辺の一方の対向辺側に一対の電極を有し、
   前記圧電振動片は、前記一対の電極が、導電接合材で前記二つの電極パッドにそれぞれ接合された第１，第２主支持部と、前記第１の組の対向辺の他方の対向辺側の二箇所が、前記矩形の内側において接合材で前記ベース部材の上面にそれぞれ接合された第１，第２補助支持部とによって、当該ベース部材に支持され、
   前記第１，第２補助支持部は、前記第１の組の対向辺の各中点を結ぶ中心線の両側にそれぞれ配置され、
   前記二組の対向辺の内、第２の組の対向辺から前記中心線までの距離を５０％として、前記第１，第２補助支持部は、前記第２の組の対向辺の内、前記中心線に対して同じ側に位置する対向辺からの距離が４３％以下となる領域内であって、かつ、前記同じ側に位置する前記第１，第２主支持部よりも前記中心線寄りにそれぞれ配置されている、
   ことを特徴とする圧電デバイス。
2. 前記圧電振動片が、水晶片であり、
   前記第１の組の前記対向辺が、前記第２の組の前記対向辺よりも短く、
   前記第１，第２補助支持部が、前記中心線を対称の軸として線対称に配置されると共に、前記第１の組の対向辺の前記他方の対向辺側であって、前記矩形の端縁に配置される、
   請求項１に記載の圧電デバイス。
3. 前記二組の対向辺の内、第２の組の対向辺から前記中心線までの距離を５０％として、前記第１，第２補助支持部は、前記第２の組の対向辺の内、前記中心線に対して同じ側に位置する対向辺からの距離が５％以上３９％以下となる領域内にそれぞれ配置されている、
   請求項１または２に記載の圧電デバイス。
4. 前記圧電振動片は、前記一対の電極を、前記第１組の対向辺の一方の対向辺の両端部に有する、
   請求項１ないし３のいずれかに記載の圧電デバイス。
5. 前記第１，第２補助支持部の前記接合材が、接着剤であり、
   前記第１，第２主支持部の前記導電接合材が、導電性接着剤である、
   請求項１ないし４のいずれかに記載の圧電デバイス。
6. 前記第１，第２補助支持部の前記接着剤、及び、前記第１，第２主支持部の前記導電性接着剤の平面視外形が、円形または楕円形である、
   請求項５に記載の圧電デバイス。
7. 前記第１，第２補助支持部の前記接着剤の厚みが、１０μｍ〜３０μｍである、
   請求項５または６に記載の圧電デバイス。
8. 前記第１，第２主支持部の前記導電接合材は、前記圧電振動片の下面と前記ベース部材の前記電極パッドとの間に介在すると共に、前記圧電振動片の上面まで延在する、
   請求項１ないし７のいずれかに記載の圧電デバイス。
9. 前記ベース部材に前記圧電振動片を励振駆動する集積回路を接合し、前記圧電振動片と電気的に接続した前記請求項１ないし８のいずれかに記載の圧電デバイス。