JP5662649B2 - Ozone generating electrode - Google Patents
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Description
本発明は、水処理などに用いられるオゾン発生装置に関し、オゾン発生中に電極で生ずる放電発熱の冷却を図り、効率よくオゾンを発生させることのできるオゾン発生電極の構造に関する。 The present invention relates to an ozone generator used for water treatment and the like, and relates to a structure of an ozone generating electrode capable of efficiently generating ozone by cooling discharge heat generated at an electrode during ozone generation.
オゾン発生装置は、上下水道における水処理に用いられる装置である。 An ozone generator is an apparatus used for water treatment in water and sewage.
従来から使用されているオゾン発生装置としては、二つの平板状の電極を対向させ、対向した電極の少なくとも一方に誘電体が配置され、その間に放電空間を形成して、この放電空間に酸素を含む原料ガスを流しつつ、二つの電極に交流高電圧を印加して酸素からオゾンを発生させる方法がある。また、図7に示すように、電極として円筒形状のものを用い、外側に接地電極を設け、接地電極の内部に高電圧電極を配置し、対向した電極の少なくとも一方に誘電体が配置された同軸円筒型のオゾン発生電極も使用されている。 Conventionally used ozone generators have two flat electrodes facing each other, a dielectric is disposed on at least one of the opposed electrodes, a discharge space is formed between them, and oxygen is introduced into this discharge space. There is a method in which ozone is generated from oxygen by applying an alternating high voltage to two electrodes while flowing a raw material gas. Further, as shown in FIG. 7 , a cylindrical electrode is used, a ground electrode is provided outside, a high voltage electrode is disposed inside the ground electrode, and a dielectric is disposed on at least one of the opposed electrodes. A coaxial cylindrical ozone generating electrode is also used.
同軸円筒型のオゾン発生電極の場合には、図7に示すように、酸素を含む原料ガス20を接地電極1と高電圧電極3の間の放電空間6に流通させる。接地電極1と高電圧電極3を交流高電圧の電源装置(図示していない)に接続し、この電源装置から供給される電力により放電空間6に無声放電を発生させる。放電による電子衝突により、放電空間6を流れる原料ガス20に含まれる酸素分子から酸素原子が生成され、酸素原子とその周辺にあるほかの酸素分子とが再結合することでオゾンが生成される。生成したオゾン化ガスは放電空間6から図示していないオゾンと接触する被処理物質のある装置や場所に供給される。
In the case of the ozone generating electrode coaxial cylinder type, as shown in FIG. 7, circulating the
高電圧電極3には、放電で発生した熱を除去するために、電極を冷却する冷媒の流路が設けられており、ここに冷媒を流通させて高電圧電極3を冷却する。或いは、接地電極1の外側に、図示していないが、接地電極1に隣接して電極を冷却する冷媒の流路を設け、接地電極1を冷却しても良い。
The
このように電極を冷却する目的は、放電により電極が発熱し、この発熱で放電空間6の中で生成したオゾンが再び分解してしまうおそれがあるため、このオゾンの熱分解を防止するためである。
The purpose of cooling the electrode in this way is to prevent the thermal decomposition of ozone because the electrode generates heat by discharge and ozone generated in the
同軸円筒型のオゾン発生電極として、従来からさまざまなものが提案されている。例えば、先行特許文献1には、内部に冷却体を有する同軸円筒型のオゾン発生電極を示している(特許文献1参照)。ここでは発熱による温度上昇や冷却による膨張や収縮によって、ガラスなどの誘電体の管の破損などが破損しないように伸縮ギャップを設けたものを開示している。
ところで、高電圧電極又は接地電極である筒状の内側電極を冷却するために、その内部に空間部を設け、ここに冷却用の冷媒を流して電極を冷却する方法が採用されている。
そして、この場合における内側電極の冷却効率を向上させるために、内側電極内に、冷媒の流路をその筒壁内周部側に規制する柱状の流路規制部材を設けたオゾン発生電極が提案がなされている(特許文献2及び3参照)。
Various types of coaxial cylindrical ozone generating electrodes have been proposed. For example,
By the way, in order to cool the cylindrical inner electrode which is a high-voltage electrode or a ground electrode, a method is employed in which a space is provided in the inner electrode, and a cooling refrigerant is passed through the space to cool the electrode.
In order to improve the cooling efficiency of the inner electrode in this case, an ozone generating electrode is proposed in which a columnar flow path regulating member for regulating the flow path of the refrigerant to the inner peripheral side of the cylindrical wall is provided in the inner electrode. (See
ところで、このような従来のオゾン発生電極に対しては、流路規制部材を予め内側電極内で位置決め固定させる手間を省き、これにより、製造の容易化を図ることが要請されている。 By the way, with respect to such a conventional ozone generating electrode, it is required to save the trouble of positioning and fixing the flow path regulating member in the inner electrode in advance, thereby facilitating manufacture.
本発明の目的は、内側電極内に柱状の流路規制部材を設ける場合にも製造の容易化を図ることができるオゾン発生電極、及び、これを用いたオゾン発生装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an ozone generating electrode capable of facilitating manufacture even when a columnar flow path regulating member is provided in an inner electrode, and an ozone generating apparatus using the same.
即ち、本発明は、以下の内容をその要旨とする発明である。
(1)筒壁部及びその両端側をそれぞれ閉塞させる一対の端壁部を有する筒形状の内側電極と、空間を介して対向するように内側電極の外側に配置された外側電極と、前記外側電極及び前記内側電極の互いに対向する面の少なくとも何れか一方に設けられた誘電体とを備え、前記内側電極が、その各端壁部に冷媒の流入口及び流出口がそれぞれ設けられ、その流入口及び流出口を通じて循環する冷媒によって内側から冷却されることが可能とされたオゾン発生電極であって、前記内側電極内に、冷媒の流路をその筒壁内周部側に規制する柱状の流路規制部材を有しており、前記流路規制部材の側面及び前記筒壁内周部の少なくとも何れか一方が、前記内側電極の筒壁内周部側における冷媒の流れを保持する筒側突起状スペーサを有しており、前記流路規制部材及び前記下流側端壁部の少なくとも何れか一方が、下流側端壁部の前記流出口における冷媒の流れを保持する出口側突起状スペーサを有しており、前記流路規制部材が、前記内側電極の軸線方向に沿って該内側電極内に移動可能に設けられており、かつ、冷媒の流れを受けて前記内側電極内で冷媒の流れを保持する位置に位置決め固定されるものである、オゾン発生電極。
That is, the present invention has the following contents.
(1) A cylindrical inner electrode having a cylindrical wall portion and a pair of end wall portions that respectively close both end sides thereof, an outer electrode disposed outside the inner electrode so as to face each other through a space, and the outer side A dielectric provided on at least one of the electrodes and the mutually facing surfaces of the inner electrode, and the inner electrode is provided with a refrigerant inlet and outlet on each of its end walls, respectively. An ozone generating electrode that can be cooled from the inside by a refrigerant circulating through an inlet and an outlet, and in the inner electrode, a columnar shape that restricts the flow path of the refrigerant to the inner peripheral side of the cylinder wall The cylinder side which has a flow-path control member and at least any one of the side surface of the said flow-path control member and the said cylindrical wall inner peripheral part hold | maintains the flow of the refrigerant | coolant in the cylindrical wall inner peripheral part side of the said inner side electrode It has a protruding spacer, Kiryuro regulating member and at least one of said downstream end wall portion has an outlet projecting spacers to hold the flow of the refrigerant in the outlet of the downstream end wall portion, the flow path regulating The member is provided so as to be movable in the inner electrode along the axial direction of the inner electrode , and is positioned and fixed at a position for receiving the flow of the refrigerant and holding the flow of the refrigerant in the inner electrode. An ozone generating electrode.
(2)前記筒側突起状スペーサ及び前記出口側突起状スペーサの何れもが、前記流路規制部材に設けられている、上記(1)に記載のオゾン発生電極。 ( 2 ) The ozone generating electrode according to ( 1 ), wherein each of the cylindrical side protruding spacer and the outlet side protruding spacer is provided on the flow path regulating member.
(3)前記流路規制部材が、その横断面形状が前記内側電極の内部空間の横断面形状に対し相似形状に形成されている、上記(1)又は(2)に記載のオゾン発生電極。 ( 3 ) The ozone generating electrode according to (1) or (2), wherein the flow path regulating member has a cross-sectional shape similar to that of the inner space of the inner electrode.
(4)前記内側電極が、円筒状に形成されている、上記(1)〜(3)の何れかに記載のオゾン発生電極。 ( 4 ) The ozone generating electrode according to any one of (1) to (3), wherein the inner electrode is formed in a cylindrical shape.
(5)前記上流側端壁部が前記下流側端壁部に比して低い位置に設置されている場合において、前記流路規制部材及び前記上流側端壁部の少なくとも何れか一方が、前記流入口における冷媒の流れを保持する入口側突起状スペーサを有している、上記(1)〜(4)の何れかに記載のオゾン発生電極。 ( 5 ) In the case where the upstream end wall portion is installed at a position lower than the downstream end wall portion, at least one of the flow path regulating member and the upstream end wall portion is the The ozone generating electrode according to any one of (1) to (4), further including an inlet-side protruding spacer that holds a refrigerant flow at the inlet.
(6)上記(1)〜(5)の何れかに記載のオゾン発生電極を用いた、オゾン発生装置。 ( 6 ) An ozone generator using the ozone generating electrode according to any one of (1) to ( 5 ) above.
本発明に係るオゾン発生電極によれば、内側電極内に、冷媒の流路をその筒壁内周部側に規制する柱状の流路規制部材が軸線方向に沿って移動可能とされ、しかも、内側電極の筒壁内周部側及び下流側端壁部の流出口における冷媒の流れが保持されるので、流路規制部材は、冷媒の流れを受けると直ちに下流側端壁部に対して押し付けられて冷媒のスムースな流れを確保しうる位置に位置決めされ、冷媒の流れの力を利用せずに予め内側電極内で位置決め固定されていたのと同様な機能を発揮することが可能となる。すなわち、このようなオゾン発生電極によれば、流路規制部材を予め内側電極内で位置決め固定させる手間を省くことが可能となり、これにより、製造の容易化を図ることが可能となる。 According to the ozone generating electrode according to the present invention, in the inner electrode, the column-shaped flow path regulating member that regulates the flow path of the refrigerant to the inner peripheral side of the cylinder wall is movable along the axial direction. Since the flow of the refrigerant at the outlet of the inner peripheral side of the inner wall and the downstream end wall of the inner electrode is maintained, the flow path regulating member is pressed against the downstream end wall as soon as the refrigerant flows. Thus, it is positioned at a position where a smooth flow of the refrigerant can be ensured, and it is possible to perform the same function as the positioning and fixing in the inner electrode in advance without using the flow force of the refrigerant. That is, according to such an ozone generating electrode, it is possible to save the trouble of positioning and fixing the flow path regulating member in the inner electrode in advance, thereby facilitating the manufacture.
なお、本発明のように、流路規制部材及び下流側端壁部の少なくとも何れか一方に冷媒流れと同方向に突起物(出口側突起状スペーサ)を設けると、冷媒の流れる流路を狭くして流路を流れる冷媒の流速を大きくすることが可能となり、層流状態ではなく乱流状態で冷媒を流すことができる。そして、内側電極との熱交換効率、冷却効果が向上し、オゾン発生に際して内側電極に放電のために発生する熱を効率よく除去することができ、その結果オゾンの熱分解を防止し、オゾンをより効率よく発生させることができる。また、副次的な効果として、電極を水平状態で使用する場合、冷却用冷媒の流路の中に空気が残留することがあるが、本発明の電極では冷媒の流速が大きくなり、内部の空気も一緒に押し流すことができる。 Incidentally, as in the present invention, when in the same direction as the refrigerant flows in at least one of the flow path regulating member and the downstream end wall portion provided projections (outlet side protruding spacer), the flow path of the flow of the refrigerant The flow rate of the refrigerant flowing through the flow path can be increased by narrowing, and the refrigerant can flow in a turbulent state instead of a laminar state. The heat exchange efficiency with the inner electrode and the cooling effect are improved, and the heat generated by the inner electrode for discharge can be efficiently removed when ozone is generated. As a result, the thermal decomposition of ozone is prevented, It can be generated more efficiently. In addition, as a secondary effect, when the electrode is used in a horizontal state, air may remain in the cooling refrigerant flow path. Air can be swept away.
また、流路規制部材及び上流側端壁部の少なくとも何れか一方が、流入口における冷媒の流れを保持する入口側突起状スペーサを有するものとすれば、オゾン発生電極がその上流側端壁部が下流側端壁部に比して低い位置に設置されているタイプのものである場合にも、上記効果を享受することが可能となる。 In addition, if at least one of the flow path regulating member and the upstream end wall portion has an inlet-side protruding spacer that holds the flow of the refrigerant at the inlet, the ozone generating electrode has its upstream end wall portion. The above-mentioned effect can be enjoyed even when the type is installed at a position lower than the downstream end wall.
次に、本発明をさらに詳しく説明する。図1は、本発明のオゾン発生電極に流路規制部材を取り付け、流路規制部材の側面に突起物を取り付けた場合の冷媒流通方向の断面図の一例であり、図2(a)(b)は流路規制部材と内側電極の冷媒流通方向と直角方向の断面図の一例である。 Next, the present invention will be described in more detail. Figure 1 is fitted with a flow path regulating member on the ozone generating electrode of the present invention is an example of a cross-sectional view of the refrigerant flow direction when fitted with a projection on the side surface of the flow path regulating member, FIG. 2 (a) (b ) Is an example of a cross-sectional view perpendicular to the refrigerant flow direction of the flow path regulating member and the inner electrode.
本発明に係るオゾン発生電極は、冷媒として冷却液を採用したオゾン発生電極であって、図1〜図6に示すように、筒壁部3a及び両端側をそれぞれ閉塞させる一対の端壁部9a,9bを有する円筒形状の内側電極3と、空間を介して対向するように内側電極3の外側に配置された円筒形状の外側電極1と、これらの電極のうち互いに対向した面の少なくとも一方に配置された誘電体とを備え、内側電極3が、その各端壁部9a,9bに冷媒の流入口及び流出口がそれぞれ設けられ、その流入口、流路4及び流出口を通じて循環する冷媒によって内側から冷却されることを可能とされ、内側電極3内の冷媒の流路をその筒壁内周部3b側に規制する柱状の流路規制部材5を備えており、その空間内に酸素を含む原料ガス20を供給し、内側電極3、外側電極1間に交流高電圧を印加して、空間中に放電を発生させて供給した酸素を含んだ原料ガス20からオゾン化ガス21を生成するものとして構成されている。このようなオゾン発生電極においては、流路規制部材5の側部及び筒壁内周部3bの少なくとも何れか一方が、内側電極3の筒壁内周部3b側における冷媒の流れを保持する筒側突起状スペーサ7を有しており、流路規制部材5及び下流側端壁部9aの少なくとも何れか一方が、下流側端壁部9aの流出口における冷媒の流れを保持する形状に形成されており、流路規制部材5が、内側電極3の軸線方向に沿って内側電極3内に摺動可能に設けられている。
The ozone generating electrode according to the present invention is an ozone generating electrode that employs a coolant as a refrigerant, and as shown in FIGS. 1 to 6 , a pair of
より具体的には、図1に示すように、本発明のオゾン発生電極は、互いに対向する外側電極1と内側電極3により放電空間6を形成しており、この内側電極3又は外側電極1の少なくとも一方に誘電体2を設け、かつ内側電極3の内部にまたは隣接して冷媒の流路4を設け、この冷媒の流路4の中に流路規制部材5を挿入したものである。図1の場合には誘電体2は外側電極1の放電空間側に配置している。また、冷媒の流路4は内側電極3の中に設けられている。オゾン化ガスを発生させる場合には、酸素を含む原料ガス20を本発明のオゾン発生電極の片方から導入し、この外側電極1と内側電極3の間に交流高電圧を印加して放電によりオゾン化ガスを生成させる。
More specifically, as shown in FIG. 1, the ozone generating electrode of the present invention forms a
このオゾン化ガス生成時に用いる放電により熱が発生するが、この熱によりガスの温度が上昇するとオゾンが分解してしまい、オゾン化ガスの生成効率が低下するので、電極を冷却してできるだけガスの温度上昇を防止する必要がある。このために電極の少なくとも一方の内部にまたは隣接して冷媒の流路4を設けて冷媒を流通させて冷却する必要がある。図1の場合には、冷媒入り口10から冷媒を導入し、これを冷媒の流路4の中を通して冷媒出口11から排出する。このとき内側電極内の冷媒の流路4の中には流路規制部材5が挿入されているため、冷媒は流路規制部材5と内側電極の筒壁内周部との隙間を通り、電極の壁面を冷却する。流路規制部材5が挿入されることにより、冷媒の流路の断面積が小さくなり、冷媒がこの隙間を乱流状態で流通するため、電極の壁面との熱交換効率が向上し、電極壁面を効果的に冷却することができる。
Heat is generated by the discharge used to generate this ozonized gas, but if the temperature of the gas rises due to this heat, the ozone decomposes and the generation efficiency of the ozonized gas decreases. It is necessary to prevent temperature rise. For this purpose, it is necessary to provide a
図1では冷媒の流路4が内側電極3の内部に設けられた場合を示しているが、これに加え、冷媒の流路を外側電極1の外側に隣接して設けてもよい。また、誘電体2も、外側電極1の側に設けても、あるいは外側電極1と内側電極3の両方に形成してもよい。また、この内側電極3の形状は、同軸円筒形状だけでなく、同軸多角柱形状など、筒形状に形成されたものであればよい。
Although FIG. 1 shows the case where the
図2(a)(b)には、オゾン発生電極が円筒形状の内側電極3とその中に挿入される流路規制部材5の断面図を示す。図2(a)は内側電極3が円筒形であり、流路規制部材5も円筒形の場合であり、この場合は冷媒の流路4が図に示すように環状となる。オゾン発生電極の形状は、円筒だけでなく、四角柱状や六角柱状などの断面が多角形のものでもよい。また流路規制部材5も、図2(b)のような断面多角形のものや星形その他の幾何学図形の形状のものでもよい。
Figure 2 (a) (b) is a sectional view of the
内側電極3の冷媒の流路4の断面形状と流路規制部材5の断面形状とは互いに相似形であることが好ましい。この場合その相似比は、内側電極3の冷媒の流路4の断面形状を1とした場合に流路規制部材5の断面形状が1未満である。
It is preferable that the cross-sectional shape of the
外側電極1及び内側電極3を構成する材料はステンレス等オゾンに対して耐性のある材料であることが好ましい。また、冷媒の流路の中に挿入する流路規制部材5の材料は吸水性のない材料であれば特に制限されないが、金属、合成樹脂、セラミックス等が好ましい。特に、耐久性や重量などの点から合成樹脂製のものが好ましく、更には内部を空洞として両端を端壁部で塞いだ構造のものが好ましい。
The material constituting the
図1に示すように、本発明においては、内側電極3の両端壁部9a,9bが、冷媒の流入口10及び流出口11をそれぞれ有しており、流路規制部材5の側面部あるいは筒壁内周部3bの少なくとも何れか一方に内側電極3の筒壁内周部3b側における冷媒の流れを保持する筒側突起状スペーサ7を有しており、流路規制部材5が、内側電極3の軸線方向に沿って内側電極3内に摺動可能に設けられている。
As shown in FIG. 1 , in the present invention, both
このように内側電極3の内側と流路規制部材5の側面部との間に筒側突起状スペーサ7を設けることによって、流路規制部材5の偏りが防止でき、内側電極3の中心部に内側電極3と流路規制部材5との隙間が均一になるように設置することができる。その結果、この隙間を流れる冷却用冷媒の量が電極面全体にわたって均一となり、電極を均一に冷却することができる。
Thus, by providing the
筒側突起状スペーサ7は、図2(a)(b)に示すように流路規制部材5のほうに固定してもよいが、図3(a)(b)に示すように内側電極3のほうに固定してもよい。更に、筒側突起状スペーサ7は流路規制部材5の長さ方向と周囲に複数個を取り付けるのが好ましく、図4に示すように長さ方向には2箇所以上、また周方向には3箇所設けることが好ましい。あるいは、図5に示すように円筒状の流路規制部材5の周囲にスパイラル状にバネ状の突起物を巻きつける構造としたものでもよい。
The cylinder-
筒側突起状スペーサ7の材料としては、吸水性のない材料であれば特に制限されないが、金属、合成樹脂、セラミックス、ガラス等が好ましい。
The material of the tube-
図6は、流路規制部材5を挿入し、筒側突起状スペーサ7を取り付け、これに更に冷媒の流れ方向と同方向に設けた出口側突起状スペーサ8aを取り付けた本発明のオゾン発生電極の冷媒流通方向の断面図の一例である。このように流出口側にも出口側突起状スペーサ8aを設けることを要求するのは、流路規制部材5が、冷媒の流れを受け下流側端壁部9aに対して押し付けられた場合でも冷媒のスムースな流れを確保しうる位置に位置決めされるようにすることにより、製造の容易化を図ることが可能なオゾン発生電極とするためである。したがって、このような役割を果たすものであれば、本発明において、流路規制部材5に出口側突起状スペーサ8aを設けたものの代わりに、下流側端壁部9aに出口側突起状スペーサを設けたものその他の流路規制部材及び下流側端壁部の少なくとも何れか一方が、流路規制部材が下流側端壁部の流出口における冷媒の流れを保持する形状に形成されたものを用いても差し支えない。ここで、流路規制部材が下流側端壁部の流出口における冷媒の流れを保持する形状としては、例えば流路規制部材及び下流側端壁部の少なくとも何れか一方を部分的に窪ませることにより、流路規制部材が下流側端壁部に押し付けた状態の流路規制部材及び下流側端壁部の間に流出口に連通する流路が確保されるようにしたものが挙げられる。
FIG. 6 shows the ozone generating electrode of the present invention in which the flow
なお、筒側突起状スペーサ7と出口側突起状スペーサ8aは、その何れもが流路規制部材5に設けられていることが好ましい。このようにすることにより、内側電極3を加工する際により簡単に製作することが可能である。
In addition, it is preferable that both the cylinder
また、上流側端壁部9bが下流側端壁部9aに比して低い位置に設置されている場合においては、流路規制部材5及び上流側端壁部9bの少なくとも何れか一方に、冷媒流れ方向と同方向に設けた入口側突起状スペーサ8bを有していると、冷媒流入口10の側における冷媒の流れをスムースに保持し、流通させることができるので好ましい。
Further, when the upstream
出口側突起状スペーサ8a及び入口側突起状スペーサ8bの材料としては、同じく吸水性のない材料であれば特に制限されないが、金属、合成樹脂、セラミックス、ガラス等が好ましい。出口側突起状スペーサ8a及び入口側突起状スペーサ8bも、筒側突起状スペーサ7と同様に、流路規制部材5に固定してもよく、又は内側電極3の方に固定しても良い。
The material of the outlet-side protruding spacer 8a and the inlet-
本発明のオゾン発生電極を用いることにより効率よくオゾンを生成することができ、従来からオゾンの利用されている水処理設備などのさまざまな産業分野で、より有効に本発明を利用することができる。 By using the ozone generating electrode of the present invention, ozone can be efficiently generated, and the present invention can be used more effectively in various industrial fields such as water treatment facilities where ozone has been conventionally used. .
1.外側電極、2.誘電体、3.内側電極、3a.筒壁部、3b.筒壁内周部、4.流路、5.流路規制部材、6.放電空間、7.筒側突起状スペーサ、8a.出口側突起状スペーサ、8b.入口側突起状スペーサ、9a.下流側端壁部、9b.上流側端壁部、20.原料ガス、21.オゾン化ガス。 1. Outer electrode, 2. 2. dielectric, Inner electrode, 3a. Cylinder wall, 3b. 3. inner peripheral part of the cylinder wall; 4. flow path; 5. a flow path regulating member; 6. discharge space; Cylinder-side protruding spacer, 8a. Outlet side protruding spacer, 8b. Inlet-side protruding spacer, 9a. Downstream end wall, 9b. Upstream end wall, 20. Source gas, 21. Ozonized gas.
Claims (6)
前記内側電極内に、冷媒の流路をその筒壁内周部側に規制する柱状の流路規制部材を有しており、
前記流路規制部材の側部及び前記筒壁内周部の少なくとも何れか一方が、前記内側電極の筒壁内周部側における冷媒の流れを保持する筒側突起状スペーサを有しており、
前記流路規制部材及び前記下流側端壁部の少なくとも何れか一方が、下流側端壁部の前記流出口における冷媒の流れを保持する出口側突起状スペーサを有しており、
前記流路規制部材が、前記内側電極の軸線方向に沿って該内側電極内に移動可能に設けられており、かつ、冷媒の流れを受けて前記内側電極内で冷媒の流れを保持する位置に位置決め固定されるものである、オゾン発生電極。 A cylindrical inner electrode having a cylindrical wall portion and a pair of end wall portions that respectively close both end sides thereof, an outer electrode disposed outside the inner electrode so as to face each other through a space, the outer electrode, A dielectric provided on at least one of the mutually facing surfaces of the inner electrode, and the inner electrode is provided with a refrigerant inlet and outlet on each end wall, respectively. An ozone generating electrode that can be cooled from the inside by a refrigerant circulating through the outlet,
In the inner electrode, it has a columnar flow path regulating member that regulates the flow path of the refrigerant to the inner peripheral side of the cylinder wall,
At least one of the side portion of the flow path regulating member and the inner peripheral portion of the cylindrical wall has a cylindrical protrusion spacer that holds the flow of the refrigerant on the inner peripheral portion side of the inner electrode,
At least one of the flow path regulating member and the downstream end wall portion has an outlet-side protruding spacer that holds the flow of the refrigerant at the outlet of the downstream end wall portion,
The flow path regulating member is provided so as to be movable in the inner electrode along the axial direction of the inner electrode , and at a position for receiving the flow of the refrigerant and holding the flow of the refrigerant in the inner electrode. An ozone generating electrode that is positioned and fixed .
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