JP5338861B2 - 光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法に関する。

従来から、短い焦点距離でも一眼レフレックスカメラやデジタルカメラ等に用いられるほどバックフォーカスを確保できる広い画角の光学系として、負の屈折力を持つレンズ群が先行するレトロフォーカスレンズが知られている。このレンズタイプでＦ１．４ほどの大口径化を行ったものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。また近年、このような光学系に対しては、収差性能だけではなく、光学性能を損なう要因の一つであるゴーストやフレアに関する要求も厳しさを増しており、そのためレンズ面に施される反射防止膜にもより高い性能が要求され、要求に応えるべく多層膜設計技術や多層膜成膜技術も進歩を続けている（例えば、特許文献２参照）。

特開平１１−３０７４３号公報 特開２０００−３５６７０４号公報

しかしながら、従来の広い画角の光学系は、防振機構を採用した場合に、防振時の収差補正が十分ではないという課題があった。それと同時に、このような光学系における光学面からは、ゴーストやフレアとなる反射光が発生しやすいという課題もあった。

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を有する光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することを目的とする。

前記課題を解決するため、本発明の光学系は、
光軸方向に固定された第１レンズ群と、
前記第１レンズ群よりも像面側において、前記光軸方向に固定されるとともに前記光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された負の屈折力を有する第２レンズ群と、
前記第２レンズ群よりも像面側に配置された正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
前記第２レンズ群よりも像面側に配置された開口絞りを有し、
前記第２レンズ群は、物体側の面が凸形状の正レンズを有し、
無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
−０．３５ ＜ ｆ／ｆ２ ＜ −０．０７
の条件を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系を提供する。

また、本発明に係る光学機器は、物体の像を所定の像面上に結像させる上述の光学系のいずれかを有して構成される。

また、本発明に係る光学系の製造方法は、
第１レンズ群を光軸方向に固定し、
前記第１レンズ群よりも像面側において、負の屈折力を有する第２レンズ群を前記光軸方向に固定するとともに前記光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置し、
前記第２レンズ群よりも像面側に正の屈折力を有する第３レンズ群を配置し、
前記第２レンズ群よりも像面側に開口絞りを配置し、
前記第２レンズ群は、物体側の面が凸形状の正レンズを有するように配置され、
無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
−０．３５ ＜ ｆ／ｆ２ ＜ −０．０７
の条件を満足するようにし、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系の製造方法を提供する。

本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することができる。

第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。 第１実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第１実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第１実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図であって、入射した光線が第１番目の反射光発生面と第２番目の反射光発生面で反射する様子の一例を説明する図である。 第２実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。 第２実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第２実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第３実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。 第３実施例に係る光学系の諸収差図であり、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第３実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第４実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。 第４実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第４実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第５実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。 第５実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第５実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第６実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。 第６実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第６実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第７実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。 第７実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第７実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第８実施例に係る光学系のレンズ構成を示す断面図である。 第８実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は無限遠合焦状態における諸収差図であり、（ｂ）は無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 第８実施例に係る光学系の諸収差図であって、（ａ）は中間撮影距離状態における諸収差図であり、（ｂ）は中間撮影距離状態で０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図である。 本実施形態に係る光学系を搭載するデジタル一眼レフカメラの断面図を示す。 本実施形態に係る光学系の製造方法を説明するためのフローチャートである。 反射防止膜の層構造の一例を示す説明図である。 反射防止膜の分光特性を示すグラフである。 変形例に係る反射防止膜の分光特性を示すグラフである。 変形例に係る反射防止膜の分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。 従来技術で作成した反射防止膜の、分光特性を示すグラフである。 従来技術で作成した反射防止膜の、分光特性の入射角度依存性を示すグラフである。

以下、本願の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。図１に示すように、本光学系ＳＬは、光軸方向に固定された第１レンズ群Ｇ１と、この第１レンズ群Ｇ１よりも像面側において、光軸方向に固定されるとともに光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、この第２レンズ群Ｇ２よりも像面側に配置された正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３と、第２レンズ群Ｇ２よりも像面側に配置された開口絞りＳと、を有し、第２レンズ群Ｇ２は、物体側の面が凸形状の正レンズＬ２２を有することを特徴とする。

短い焦点距離のレンズを一眼レフレックスカメラやデジタルカメラ等に用いられるほどバックフォーカスを確保するためには、マージナル光線の高さをレンズの入射時より射出時に高くすることで瞳倍率を1より大きくすることができるいわゆるワイドコンバータを持った構成にすると有効であることが知られている。ここで、上記「マージナル光線」とは、像高０に達する光線のうちで最も光軸から離れた光線をいう。

また、バックフォーカスの制約が無い場合でも、画角が広くなるにつれて顕著になる周辺光量不足を補う上でも、前述のようなワイドコンバータを用いることが有効である。

このいわゆるレトロフォーカスレンズタイプでＦ１．４ほどの大口径化を行ったものが提案されている。ここで、このような広い画角の光学系に対して防振機構を導入する際には、どの箇所に防振レンズを入れるかが問題となる。レトロフォーカスレンズでは、物体側が負の屈折力が強く、像面側は正の屈折力が強い非対称な屈折力配置になっているため、レンズ群同士で互いに収差を打ち消しあうことができず、負の歪曲収差やコマ収差の補正が特に難しくなっている。そのため、レンズ群単独でできる限り収差を補正しておく必要がある。そのような各レンズ群独自での収差補正が十分でない場合は、それ以降のレンズ群で防振した際や近距離物体に対して合焦を行った際に球面収差、コマ収差や偏芯コマ収差、像面湾曲が大きく発生する。このような諸収差を補正するためには、瞳倍率を大きくする作用をもつ第１レンズ群の屈折力を弱くすることが有効だが、そうすると一眼レフレックスカメラでの使用ではバックフォーカスが不足してしまう。

そこで、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２を第１レンズ群Ｇ１より像面側に配置することで良好な収差補正を実現した。

防振レンズ群の偏芯時に発生しやすい収差として、偏芯コマ収差と偏芯時の非点収差がある。このうち、広い画角の光学系においては偏芯時の非点収差変動を小さく抑えることが困難であった。本実施形態では防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２を開口絞りＳより物体側に配置し、また、防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの物体側の面が凸面形状であることによって、前記正レンズの第１面は開口絞りＳに対していわゆるコンセントリックな配置となる。

広い画角の光学系で防振機構を導入した際の大きな問題として、偏芯時の非点収差、及びこの非点収差の変動が挙げられる。その理由として、防振レンズ群の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動し、結果として非点収差、コマ収差などのバランスが大きく崩れて補正しきれないことに由来している。そのため、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、開口絞りＳに対してコンセントリックな光学面とし、偏芯時も防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２の各屈折面に対して、周辺像高の光線が入射する角度が偏芯時に大きく変動しないようにした。その結果、偏芯時の非点収差、コマ収差変動が良好に補正された。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬにおいて、開口絞りＳは第３レンズ群Ｇ３内に配置されることがより好ましい。また、第３レンズ群Ｇ３は開口絞りの前後にレンズ群を有することがより好ましい。この構成により、球面収差、コマ収差を良好に補正できる。

ここで、防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２を射出した光線は発散光となる。そのため、防振レンズ群と開口絞りＳとの間にレンズ群が存在しない場合は開口絞りＳを通過した光線は開口絞りＳより像面側のレンズ群に対して高い入射高さをもつことになる。その結果、球面収差やコマ収差が悪化するため望ましくない。そのため防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２と開口絞りＳとの間にレンズ群を有することが好ましい。上記の観点では防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２と開口絞りＳとの間のレンズ群は正の屈折力を有することがより好ましい。また、開口絞りＳより像面側にもレンズ群を有することで開口絞りＳ前後で収差を補正することが可能になるため、第３レンズ群Ｇ３は開口絞りＳの前後にレンズ群を有することが好ましい。この構成により、球面収差、コマ収差を良好に補正できる。上記の観点では開口絞りＳより像面側のレンズ群は正の屈折力を有することがより好ましい。また、開口絞りとしての部材を設けずに、レンズの枠でその役割を代用しても良い。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬの第１レンズ群Ｇ１および第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいる。このように構成することで、本実施形態に係る光学系では、物体からの光が光学面で反射されて生じるゴーストやフレアを低減することができ、高い結像性能を達成することができる。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、前記反射防止膜は多層膜であり、前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、多層膜を構成する層のうち最も表面の層であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減することができる。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、屈折率ｎｄが１．３０以下であることが好ましい。このようにすれば、空気との屈折率差を小さくすることができるため、光の反射をより少なくすることが可能になり、ゴーストやフレアをさらに低減することができる。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減することができる。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において開口絞りから見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状の像面側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

また、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、反射防止膜が設けられた前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることが好ましい。第１レンズ群及び第２レンズ群において物体側から見て凹形状の物体側のレンズ面で反射光が発生し易いため、このようなレンズ面に反射防止膜を形成することでゴーストやフレアを効果的に低減させることができる。

なお、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、反射防止膜は、ウェットプロセスに限らず、ドライプロセス等により形成しても良い。この際、反射防止膜は屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることが好ましい。反射防止膜が、屈折率が１．３０以下となる層を少なくとも１層含むようにすることで、反射防止膜をドライプロセス等で形成しても、ウェットプロセスを用いた場合と同様の効果を得ることができる。なおこの時、屈折率が１．３０以下になる層は、多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることが好ましい。

次に、このような光学系ＳＬを構成するための条件について説明する。まず、この光学系ＳＬは、以下の条件式（１）を満足することが好ましい。
０．１５ ＜ ｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜ ＜ １．２０ （１）
但し、
Ｄｖｒ：無限遠合焦時における開口絞りＳから第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの物体側の面までの距離
Ｒｖｒ：第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの物体側の面の曲率半径

条件式（１）は、防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２内に配置された正レンズの第１面（物体側の面）と開口絞りＳとの距離と第１面の曲率半径との比を規定する条件である。

条件式（１）の上限値を上回ると、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面の曲率半径が、開口絞りＳから第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面までの距離に対して短くなりすぎる。その結果、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面での収差補正、特に周辺像高の光線の像面湾曲、コマ収差の補正が過剰となり良好な補正が困難となるため好ましくない。

なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（１）の上限値を１．０５にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（１）の上限値を０．９５とすることが好ましい。

また、条件式（１）の下限値を下回ると第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面の曲率半径が開口絞りＳから第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面までの距離に対して長くなりすぎる。その結果、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面での収差補正、特に周辺像の像面湾曲、コマ収差の補正が不足し良好な補正が困難となるため好ましくない。

なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（１）の下限値を０．１８にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（１）の下限値を０．２０とすることが好ましい。

また、本光学系ＳＬは、以下の示す条件式（２）を満足することが好ましい。
０．８ ＜ （ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ） ＜ ７．０ （２）
但し、
Ｒｓ：第２レンズ群Ｇ２内の正レンズ両面の曲率半径のうち、絶対値が小さい面の曲率半径
ＲＬ：第２レンズ群Ｇ２内の正レンズ両面の曲率半径のうち、絶対値が大きい面の曲率半径

条件式（２）は、いわゆるシェープファクターと呼ばれるものである。この値が正でかつ大きいほど、メニスカス度合いが強いことになる。上述の防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは、物体側から入射する光線ができるだけ、この正レンズを構成する第１面と第２面との間で、光線の偏角の差が小さくなるほうが偏芯時のコマ収差や偏芯時の非点収差を良好に補正するためには都合が良い。その結果、この正レンズの第１面と第２面で発生する収差を相殺しやすくなる。これは言い換えるとできるだけメニスカス形状度合いが強いほうが偏芯時のコマ収差や偏芯時の非点収差を良好に補正するためには都合が良いということである。すなわち、条件式(２)を満足することで、偏芯時のコマ収差や偏芯時の非点収差補正が良好になる。

この条件式（２）の下限値を下回ると、上記正レンズの第１面と第２面での光線の偏角の差が大きくなりすぎて好ましくない。

なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（２）の下限値を０．９にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（２）の下限値を１．０とすることが好ましい。

また、条件式（２）の上限値を上回ると、上記正レンズの第１面と第２面での光線の偏角の差が小さくなりすぎて収差補正への寄与が少なくなり好ましくない。

なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（２）の上限値を５．０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（２）の上限値を４．０とすることが好ましい。

また、本光学系ＳＬは、以下の条件式（３）を満足すること好ましい。
０．１０ ＜ Ｎｐ−Ｎｎ ＜０．４５ （３）
但し、
Ｎｐ：第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの媒質のｄ線に対する屈折率
Ｎｎ：第２レンズ群Ｇ２内の負レンズの媒質のｄ線に対する屈折率

条件式（３）は、上述の条件式（１）の効果をより高めるために好ましい条件である。この条件式（３）は、防振レンズ群である第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面と、第１面より物体側で最も近い負レンズの第２面での収差補正の効果を規定した条件式である。この条件式（３）を満足することで、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面と、第１面より物体側で最も近い負レンズの第２面とでは比較的強い正の屈折力を有することになる。この結果、広い画角の光学系や大口径レンズで顕著となる、高い像高の光線に対する正の像面湾曲、外側コマ収差の補正が容易となる。また、ペッツバール和の観点からも強い正の屈折力を持つレンズの媒質の屈折率を、負の屈折力を持つレンズより高く保つことが像面湾曲の補正上有利である。条件式（３）を満足することで、大口径レンズで過剰になりがちなペッツバール和を最適値にコントロールすることが容易となり、低い像高の光線に対する負の像面湾曲の補正が容易となる。

この条件式（３）の上限値を上回ると、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２内での正の屈折力が過剰となり、その結果周辺像高の光線に対する負の像面湾曲、内側コマ収差の補正が困難となり好ましくない。

なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（３）の上限値を０．４２にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（３）の上限値を０．３８にすることが好ましい。

また、条件式（３）の下限値を下回ると、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２内での正の屈折力が不足し、その結果高い像高の光線に対する正の像面湾曲、外側コマ収差の補正が困難となり好ましくない。また、偏芯時の非点収差補正も困難となり好ましくない。また、ペッツバール和も過剰となり、低い像高の光線に対する負の像面湾曲も増大し好ましくない。

なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（３）の下限値を０．１３にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（３）の下限値を０．１５にすることが好ましい。

また、本光学系ＳＬは、以下に示す条件式（４）を満足することが望ましい。
−０．３５ ＜ ｆ／ｆ２ ＜ −０．０７ （４）
但し、
ｆ：無限遠合焦時の全系の合成焦点距離
ｆ２：第２レンズ群Ｇ２の焦点距離

条件式（４）は、第２レンズ群Ｇ２の焦点距離を規定するための条件式である。

条件式（４）の上限値を上回った場合、第２レンズ群Ｇ２の屈折力が弱くなり過ぎるため、防振制御のために必要な第２レンズ群Ｇ２の移動量が適正値より大きくなってしまい、結果第２レンズ群Ｇ２の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。また、第２レンズ群Ｇ２を駆動するためのアクチュエータなどの駆動手段も大きくなってしまう。その結果、各レンズ群の間隔が適正値より圧迫されるために各レンズ群の屈折力が強くなりすぎ、球面収差、コマ収差なども悪化してしまうため好ましくない。

なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（４）の上限値を−０．１０にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（４）の上限値を−０．１２にすることが好ましい。

また、条件式（４）の下限値を下回った場合、第２レンズ群Ｇ２の屈折力が強くなりすぎてしまい、結果第２レンズ群Ｇ２の偏芯時のコマ収差、非点収差の変動ともに補正が困難になり好ましくない。

なお、本実施形態の効果を確実にするために、条件式（４）の下限値を−０．３１にすることが好ましい。また、本実施形態の効果をより確実にするために、条件式（４）の下限値を−０．２８にすることが好ましい。

また、本実施形態の光学系ＳＬは、近距離物体への合焦に際し、第３レンズ群Ｇ３が物体側に移動することが好ましい。広い画角の光学系の合焦方法として、開口絞りＳより像面側だけを移動させる方法が知られている。しかし、大口径な広い画角の光学系においては球面収差、コマ収差、像面湾曲の変動が大きく望ましくない。そのため、本実施形態に係る光学系ＳＬでは、第３レンズ群Ｇ３は開口絞りＳの前後にレンズ群を有することで、近距離物体に対しての合焦でも球面収差とコマ収差、像面湾曲の変動を少なく抑えることが可能となった。また、このように開口絞りＳの前後にレンズ成分があることにより、球面収差、コマ収差を良好に補正することができる。

図２６は、後述する第１実施例で示す防振機能を有する光学系ＳＬを搭載した光学機器として、一眼レフカメラ１（以後、単にカメラと記す）の概略構成図を示す。このカメラ１において、不図示の被写体からの光は、後述する防振機能を有する撮影レンズ（ＳＬ）２で集光され、クイックリターンミラー３で反射されて焦点板４に結像される。焦点板４に結像された被写体像は、ペンタプリズム５で複数回反射されて接眼レンズ６を介して撮影者に正立像として観察可能に構成されている。

撮影者は、不図示のレリーズ釦を半押ししながら接眼レンズ６を介して被写体像を観察して撮影構図を決めた後、レリーズ釦を全押しする。レリーズ釦を全押しした時、クイックリターンミラー３が上方に跳ね上げられ被写体からの光は撮像素子７で受光され撮影画像が取得され、不図示のメモリに記録される。レリーズ釦を全押しした時、撮影レンズ２（光学系ＳＬ）に内蔵されているセンサー８（例えば、角度センサーなど）で撮影レンズ２（カメラ１）の傾きが検出されてＣＰＵ９に伝達され、ＣＰＵ９で回転ぶれ量が検出され手ぶれ補正用レンズ群を光軸に直交方向に駆動するレンズ駆動手段１０が駆動され、手ぶれ発生時の撮像素子７上における像ぶれが補正される。このようにして、後述する防振機能を有する撮影レンズ２（光学系ＳＬ）を具備する光学機器１が構成されている。なお、図２６に記載のカメラ１は、光学系ＳＬを着脱可能に保持するものでも良く、光学系ＳＬと一体に成形されるものでも良い。また、クイックリターンミラー等を有しないミラーレスカメラでも良く、上記カメラと同様の効果を奏することができる。また、カメラ１には、上述の第１実施例に限らず他の実施例の撮影レンズを装着することができる。

以下、本実施形態の光学系ＳＬの製造方法の概略を、図２７を参照して説明する。図２７において、各レンズを配置してレンズ群をそれぞれ準備する（ステップＳ１００）。また、本実施形態に係る光学系は、第１レンズ群Ｇ１および第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、この反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含んでいる。

具体的に、本実施形態では、例えば、物体側から順に、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ１４と両凹形状の負レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６を配置して第１レンズ群Ｇ１とし、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズを配置して第２レンズ群Ｇ２とし、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７を配置して第３レンズ群Ｇ３とする。

この際、第１レンズ群Ｇ１及び第２レンズ群Ｇ２は、像面に対して光軸方向に固定されるよう配置する（ステップＳ２００）。また、第２レンズ群Ｇ２は、光軸と略垂直方向の成分を持つように移動するように配置する（ステップＳ３００）。

また、開口絞りＳは、第２レンズ群Ｇ２より像面側に配置する（ステップＳ４００）。また、第２レンズ群Ｇ２は、負レンズと正レンズとを有し、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面は、物体側に対して凸面を有するよう配置する（ステップＳ５００）。

以下、本願の各実施例を、図面に基づいて説明する。なお、図１、図５、図８、図１１、図１４、図１７、図２０及び図２３は、各実施例に係る光学系ＳＬ（ＳＬ１〜ＳＬ８）の構成を示す断面図である。図１及び図５に示すように、第１及び第２実施例に係る光学系ＳＬ１及びＳＬ２は、物体側から順に、負の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。一方、図８、図１１、図１４、図１７、図２０及び図２３に示すように、第３〜第８実施例に係る光学系ＳＬ３〜ＳＬ８は、物体側から順に、正の屈折力を有する第１レンズ群Ｇ１と、負の屈折力を有する第２レンズ群Ｇ２と、正の屈折力を有する第３レンズ群Ｇ３とから構成されている。

また、各実施例において、第１レンズ群Ｇ１は像面に対して光軸方向に固定されており、第２レンズ群Ｇ２は光軸と略垂直方向の成分を持つように移動し像面における像を変位させる防振レンズ群である。開口絞りＳは、第３レンズ群Ｇ３内に配置し、開口絞りＳの前後に正の屈折力を持つレンズ成分を有し（第８実施例を除く）、近距離物体への合焦に際し、第３レンズ群Ｇ３が物体側に移動する。

各実施例において、非球面は、光軸に垂直な方向の高さをｙとし、高さｙにおける各非球面の頂点の接平面から各非球面までの光軸に沿った距離（サグ量）をＳ（ｙ）とし、基準球面の曲率半径（近軸曲率半径）をｒとし、円錐定数をκとし、ｎ次の非球面係数をＡnとしたとき、以下の式（ａ）で表される。なお、以降の実施例において、「Ｅ−ｎ」は「×１０-n」を示す。

Ｓ（ｙ）＝（ｙ2／ｒ）／｛１＋（１−κ×ｙ2／ｒ2）1/2｝
＋Ａ4×ｙ4＋Ａ6×ｙ6＋Ａ8×ｙ8 （ａ）

なお、各実施例において、２次の非球面係数Ａ2は０である。また、各実施例の表中において、非球面には面番号の左側に＊印を付している。

〔第１実施例〕
図１は、本願の第１実施例に係る光学系ＳＬ１のレンズ構成を示す図である。この図１の光学系ＳＬ１において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ１４と両凹形状の負レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。

本第１実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に後述する反射防止膜が形成されている。

なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第１実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２８．５０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１４（ｍｍ）である。

以下の表１に、第１実施例の諸元の値を掲げる。この表１において、ｆは焦点距離、ＦＮＯはＦナンバー、２ωは画角、Ｂｆはバックフォーカスをそれぞれ表している。また、面番号は光線の進行する方向に沿った物体側からのレンズ面の順序を、面間隔は各光学面から次の光学面までの光軸上の間隔を、屈折率及びアッベ数はそれぞれｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）に対する値を示している。全長は、無限遠合焦時のレンズ面の第１面から像面Ｉまでの光軸上の距離を表している。

ここで、以下の全ての諸元値において掲載されている焦点距離、曲率半径、面間隔、その他長さの単位は一般に「ｍｍ」が使われるが、光学系は、比例拡大または比例縮小しても同等の光学性能が得られるので、これに限られるものではない。なお、曲率半径「∞」は平面を示す。また、空気の屈折率1.00000は省略してある。また、これらの符号の説明及び諸元表の説明は以降の実施例においても同様である。

（表１）第１実施例
f = 28.50
FNO = 1.45
２ω = 75.6
像高 = 21.6
全長 =133.3

面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物面 ∞
1 84.252 2.40 1.74100 52.67
2 30.284 6.24
3 57.477 2.10 1.77250 49.60
4 36.791 0.20 1.55389 38.09
*5 32.506 12.47
6 498.367 6.33 1.74400 44.79
7 -54.700 1.30 1.52699 53.00
8 320.562 0.20
9 84.738 5.36 1.74806 50.00
10 -139.358 5.00
11 -75.418 1.30 1.48749 70.40
12 53.719 2.98 1.83400 37.16
13 118.654 (d13)
14 45.171 3.76 1.69680 55.52
15 121.944 0.20
16 39.937 6.09 1.69680 55.52
17 -136.788 0.20
18 138.447 1.30 1.62004 36.30
19 27.404 5.00
20 ∞ 6.67 開口絞りＳ
21 -22.640 1.30 1.78472 25.68
22 65.850 5.67 1.77250 49.60
*23 -59.294 1.14
24 256.664 6.00 1.74100 52.67
25 -37.599 0.20
26 -56.322 4.25 1.77250 49.61
27 -31.870 (Bf)
像面 ∞

［レンズ群焦点距離］
レンズ群 始面 焦点距離
第１レンズ群 1 733.43
第２レンズ群 11 -141.94
第３レンズ群 14 42.52

この第１実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２に、非球面のデータ、すなわち円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。

（表２）
κ Ａ4 Ａ6 Ａ8
第5面 0.042900 -6.54648E-08 -1.07103E-09 -2.03329E-12
第23面 -19.496500 2.12065E-06 3.80233E-08 -5.28645E-11

この第１実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表３に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。

（表３）
β 無限遠 -0.0333
ｄ13 7.55 6.52
Bf 38.11 39.14

次の表４に、この第１実施例における各条件式対応値を示す。なおこの表４において、ｆ２は第２レンズ群Ｇ２焦点距離を、Ｄｖｒは無限遠合焦時の開口絞りＳから第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面までの距離を、Ｒｖｒは第２レンズ群Ｇ２の正レンズの第１面の曲率半径を、Ｒｓは第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの両面の曲率半径のうち、絶対値が小さい面の曲率半径を、ＲＬは第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの両面の曲率半径のうち、絶対値が大きい面の曲率半径を、Ｎｐは第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの媒質のｄ線に対する屈折率を、Ｎｎは第２レンズ群Ｇ２内の正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズの媒質のｄ線に対する屈折率を、それぞれ表している。以上の符号の説明は以降の実施例においても同様である。

（表４）
（１）｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜＝0.504
（２）（ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ）＝2.655
（３）Ｎｐ−Ｎｎ＝0.347
（４）ｆ／ｆ２＝-0.20

なお、上記条件対応値において、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは正メニスカスレンズＬ２２が対応し、また、この正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズは両凹形状の負レンズＬ２１が対応する。

この第１実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図３（ａ）に示す。また、第１実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図３（ｂ）に示す。

各収差図において、ＦＮＯはＦナンバーを、ＮＡは開口数を、Ｙは像高を、Ａは主光線の入射角を、Ｄはｄ線（λ＝５８７．６ｎｍ）を、Ｇはｇ線（λ＝４３５．８ｎｍ）を、それぞれ示している。また、非点収差を示す収差図において実線はサジタル像面を示し、破線はメリディオナル像面を示している。また、コマ収差において破線はサジタルの横収差図を示している。なお、これらの収差図の説明は以降の実施例においても同様である。

各収差図から明らかなように、第１実施例に係る光学系ＳＬ１では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。

図４は、第１実施例に係る光学系ＳＬ１において、物体側から入射した光線ＢＭによりゴーストが発生する状態を示している。図４において、物体側からの光線ＢＭが図示のように光学系ＳＬ１に入射すると、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（第１番目の反射光発生面でありその面番号は１１）で反射し、その反射光は第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像側のレンズ面（第２番目の反射光発生面でありその面番号は２）で再度反射して像面Ｉに到達し、ゴーストおよびフレアを発生させてしまう。なお、第１番目のゴースト光発生面（面番号１１）は物体から見て凹形状のレンズ面であり、第２番目のゴースト発生面（面番号２）は開口絞りから見て凹形状のレンズ面である。このような面に、より広い波長範囲で広入射角に対応した反射防止膜を形成することで、ゴーストおよびフレアを効果的に低減することができる。

〔第２実施例〕
図５は、本願の第２実施例に係る光学系ＳＬ２のレンズ構成を示す図である。この図５の光学系ＳＬ２において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。

本第２実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６における像面側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。

なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第２実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２７．９９（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１２（ｍｍ）である。

以下の表５に、この第２実施例の諸元の値を掲げる。

（表５）第２実施例
f = 27.99
FNO = 1.45
２ω = 76.7
像高 = 21.6
全長 =133.3

面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物面 ∞
1 67.583 2.40 1.74100 52.67
2 30.054 6.93
3 68.341 2.10 1.77250 49.60
4 36.441 0.20 1.55389 38.09
*5 33.585 12.50
6 -176.482 3.98 1.74400 44.79
7 -61.111 1.30 1.52599 53.31
8 -288.957 0.20
9 150.265 5.50 1.74806 50.00
10 -78.414 5.00
11 -63.966 1.30 1.48749 70.40
12 68.577 2.82 1.83400 37.16
13 186.927 (d13)
14 39.297 4.23 1.69680 55.52
15 103.599 0.20
16 39.021 6.42 1.69680 55.52
17 -148.831 0.20
18 113.771 1.30 1.61266 44.46
19 26.212 5.00
20 ∞ 7.01 開口絞りＳ
21 -22.122 1.30 1.78472 25.68
22 49.850 5.35 1.77250 49.60
*23 -53.784 1.79
24 407.632 6.00 1.75500 52.31
25 -36.823 0.20
26 -51.964 4.18 1.77250 49.61
27 -31.344 (Bf)
像面 ∞

［レンズ群焦点距離］
レンズ群 始面 焦点距離
第１レンズ群 1 -858.75
第２レンズ群 11 -141.98
第３レンズ群 14 43.51

この第２実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表６に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。

（表６）
κ Ａ4 Ａ6 Ａ8
第5面 0.016000 8.67227E-07 -2.62240E-10 -1.58840E-12
第23面 -19.875800 -9.08714E-07 5.51987E-08 -7.97050E-11

この第２実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表７に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。

（表７）
β 無限遠 -0.0333
ｄ13 7.81 6.74
Bf 38.12 39.18

次の表８に、この第２実施例における各条件式対応値を示す。

（表８）
（１）｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜＝0.408
（２）（ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ）＝2.159
（３）Ｎｐ−Ｎｎ＝0.347
（４）ｆ／ｆ２＝-0.20

なお、上記条件対応値において、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは正メニスカスレンズＬ２２が対応し、また、この正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズは両凹形状の負レンズＬ２１が対応する。

この第２実施例の無限遠合焦状態の収差図を図６（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図７（ａ）に示す。また、第２実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図６（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図７（ｂ）に示す。

各収差図から明らかなように、第２実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。

〔第３実施例〕
図８は、本願の第３実施例に係る光学系ＳＬ３のレンズ構成を示す図である。この図８の光学系ＳＬ３において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４、及び、両凸形状の正レンズＬ１５から構成されている。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。

本第３実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。

なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第３実施例においては、防振係数は０．３０６であり、焦点距離は２８．４４（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．１３（ｍｍ）である。

以下の表９に、この第３実施例の諸元の値を掲げる。

（表９）第３実施例
f = 28.44
FNO = 1.45
２ω = 75.8
像高 = 21.6
全長 =133.3

面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物面 ∞
1 100.000 2.40 1.74100 52.67
2 30.472 6.11
3 61.820 2.10 1.77250 49.60
4 40.528 0.20 1.55389 38.09
*5 34.996 11.06
6 -230.000 8.00 1.74397 44.85
7 -85.027 0.20
8 84.290 4.89 1.74397 44.85
9 -199.472 5.00
10 -74.412 1.30 1.48749 70.41
11 55.716 2.99 1.80100 34.96
12 131.420 (d12)
13 44.605 3.61 1.69680 55.52
14 108.329 0.20
15 38.431 6.09 1.69680 55.52
16 -159.242 0.20
17 116.847 1.30 1.62004 36.30
18 26.190 5.00
19 ∞ 6.56 開口絞りＳ
20 -23.170 2.29 1.76182 26.56
21 48.664 6.00 1.77250 49.60
*22 -61.350 1.40
23 298.511 6.00 1.72916 54.66
24 -39.601 0.20
25 -63.162 4.44 1.77250 49.61
26 -33.521 (Bf)
像面 ∞

［レンズ群焦点距離］
レンズ群 始面 焦点距離
第１レンズ群 1 533.08
第２レンズ群 10 -142.23
第３レンズ群 13 43.02

この第３実施例において、第５面、及び、第２２面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１０に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。

（表１０）
κ Ａ4 Ａ6 Ａ8
第5面 -0.116100 -8.06560E-07 -1.69170E-09 -1.57780E-12
第22面 -17.884100 2.86500E-06 2.91840E-08 -3.77560E-11

この第３実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１２、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表１１に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。

（表１１）
β 無限遠 -0.0333
ｄ13 7.47 6.45
Bf 38.32 39.34

次の表１２に、この第３実施例における各条件式対応値を示す。

（表１２）
（１）｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜＝0.482
（２）（ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ）＝2.472
（３）Ｎｐ−Ｎｎ＝0.314
（４）ｆ／ｆ２＝-0.20

なお、上記条件対応値において、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは正メニスカスレンズＬ２２が対応し、また、この正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズは両凹形状の負レンズＬ２１が対応する。

この第３実施例の無限遠合焦状態の収差図を図９（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図１０（ａ）に示す。また、第３実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図９（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１０（ｂ）に示す。

各収差図から明らかなように、第３実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。

〔第４実施例〕
図１１は、本願の第４実施例に係る光学系ＳＬ４のレンズ構成を示す図である。この図１１の光学系ＳＬ４において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１４と両凸形状の正レンズＬ１５との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１６から構成されている。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。

本第４実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６における像面側のレンズ面（面番号１０）に後述する反射防止膜が形成されている。

なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第４実施例においては、防振係数は０．２９０であり、焦点距離は２４．７０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．０４（ｍｍ）である。

以下の表１３に、この第４実施例の諸元の値を掲げる。

（表１３）第４実施例
f = 24.70
FNO = 1.44
２ω = 83.7
像高 = 21.6
全長 =133.3

面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物面 ∞
1 70.260 2.40 1.74100 52.67
2 28.526 11.93
3 8844.268 2.10 1.77250 49.60
4 50.722 0.20 1.55389 38.09
*5 41.921 12.50
6 298.509 2.27 1.75520 27.58
7 88.204 7.50 1.74397 44.85
8 -82.134 0.20
9 62.241 5.50 1.77250 49.61
10 -737.077 5.00
11 -96.957 1.30 1.58313 59.38
12 44.004 3.72 1.83400 37.16
13 128.781 (d13)
14 47.455 3.03 1.69680 55.52
15 90.837 0.20
16 33.070 5.62 1.68692 55.00
17 -440.765 0.20
18 66.442 1.30 1.63980 34.56
19 23.078 5.00
20 ∞ 8.45 開口絞りＳ
21 -20.977 1.30 1.78472 25.68
22 51.753 4.09 1.77250 49.60
*23 -48.262 1.07
24 362.304 5.96 1.74100 52.67
25 -34.691 0.20
26 -49.773 4.51 1.77250 49.61
27 -28.781 (Bf)
像面 ∞

［レンズ群焦点距離］
レンズ群 始面 焦点距離
第１レンズ群 1 111.53
第２レンズ群 11 -147.13
第３レンズ群 14 42.48

この第４実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１４に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。

（表１４）
κ Ａ4 Ａ6 Ａ8
第5面 0.041600 -3.01610E-06 -1.30950E-10 -1.50790E-12
第23面 -23.208700 -6.21040E-06 1.01630E-07 -1.81570E-10

この第４実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表１５に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。

（表１５）
β 無限遠 -0.0333
ｄ13 6.30 5.47
Bf 31.47 32.29

次の表１６に、この第４実施例における各条件式対応値を示す。

（表１６）
（１）｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜＝0.577
（２）（ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ）＝2.038
（３）Ｎｐ−Ｎｎ＝0.251
（４）ｆ／ｆ２＝-0.17

なお、上記条件対応値において、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは正メニスカスレンズＬ２２が対応し、また、この正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズは両凹形状の負レンズＬ２１が対応する。

この第４実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１２（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図１３（ａ）に示す。また、第４実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１２（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１３（ｂ）に示す。

各収差図から明らかなように、第４実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。

〔第５実施例〕
図１４は、本願の第５実施例に係る光学系ＳＬ５のレンズ構成を示す図である。この図１４の光学系ＳＬ５において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、及び、両凸形状の正レンズＬ１４から構成されている。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズから構成されている。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、両凸形状の正レンズＬ３１と像側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３２、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３３と両凸形状の非球面正レンズＬ３４との接合レンズ、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３５、及び、像側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３６から構成されている。

本第５実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号８）に後述する反射防止膜が形成されている。

なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第５実施例においては、防振係数は０．２７２であり、焦点距離は２８．０８（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。

以下の表１７に、この第５実施例の諸元の値を掲げる。

（表１７）第５実施例
f = 28.08
FNO = 1.84
２ω = 76.4
像高 = 21.6
全長 =124.5

面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物面 ∞
1 69.946 2.40 1.74100 52.67
2 25.426 5.00
3 45.000 2.10 1.77250 49.60
4 26.915 0.20 1.55389 38.09
*5 23.566 13.79
6 57.582 4.75 1.90366 31.31
7 -391.763 4.00
8 -65.539 1.30 1.55857 45.21
9 56.097 3.60 1.74397 44.85
10 836.329 (d10)
11 49.880 6.47 1.74100 52.67
12 -37.637 1.30 2.00069 25.46
13 -61.930 11.01
14 ∞ 5.00 開口絞りＳ
15 -26.632 2.50 1.76182 26.56
16 69.109 5.84 1.77250 49.60
*17 -110.000 1.44
18 -148.037 3.02 1.72916 54.66
19 -44.972 0.20
20 -87.642 3.82 1.77250 49.60
21 -31.772 (Bf)
像面 ∞

［レンズ群焦点距離］
レンズ群 始面 焦点距離
第１レンズ群 1 -169.53
第２レンズ群 8 -163.95
第３レンズ群 11 42.15

この第５実施例において、第５面、及び、第１７面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表１８に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。

（表１８）
κ Ａ4 Ａ6 Ａ8
第5面 0.043300 8.68000E-07 -3.24000E-09 -2.56000E-12
第17面 3.855700 1.23000E-05 2.12000E-09 -1.65000E-11

この第５実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１０、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表１９に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。

（表１９）
β 無限遠 -0.0333
ｄ13 8.65 7.48
Bf 38.10 39.27

次の表２０に、この第５実施例における各条件式対応値を示す。

（表２０）
（１）｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜＝0.553
（２）（ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ）＝1.144
（３）Ｎｐ−Ｎｎ＝0.185
（４）ｆ／ｆ２＝-0.17

なお、上記条件対応値において、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは正メニスカスレンズＬ２２が対応し、また、この正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズは両凹形状の負レンズＬ２１が対応する。

この第５実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１５（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図１６（ａ）に示す。また、第５実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１５（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１６（ｂ）に示す。

各収差図から明らかなように、第５実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。

〔第６実施例〕
図１７は、本願の第６実施例に係る光学系ＳＬ６のレンズ構成を示す図である。この図１７の光学系ＳＬ６において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１４、及び、両凸形状の正レンズＬ１５から構成されている。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ２１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ２２との接合レンズ、両凹形状の負レンズＬ２３、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２４から構成されている。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。

本第６実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１４における物体側のレンズ面（面番号６）に後述する反射防止膜が形成されている。

なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第６実施例においては、防振係数は０．２９０であり、焦点距離は２９．０（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２２（ｍｍ）である。

以下の表２１に、この第６実施例の諸元の値を掲げる。

（表２１）第６実施例
f = 29.00
FNO = 1.45
２ω = 74.7
像高 = 21.6
全長 =134.1

面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物面 ∞
1 58.989 2.40 1.74100 52.67
2 29.526 6.92
3 72.211 2.10 1.77250 49.60
4 38.041 0.20 1.55389 38.09
*5 35.056 12.50
6 -43.678 3.98 1.74400 44.78
7 -43.282 0.20
8 91.966 5.50 1.74806 50.00
9 -104.422 3.59
10 -55.000 2.51 1.48749 70.40
11 -41.353 1.50 1.51742 52.31
12 -63.431 0.20
13 -125.764 1.30 1.48749 70.40
14 41.948 0.33
15 43.787 3.35 1.83400 37.16
16 93.370 (d16)
17 40.425 4.23 1.69680 55.52
18 145.955 0.20
19 38.368 6.26 1.69680 55.52
20 -160.073 0.20
21 263.236 1.30 1.61266 44.46
22 26.332 5.00
23 ∞ 5.00 開口絞りＳ
24 -25.587 1.30 1.78472 25.68
25 43.936 5.35 1.77250 49.60
*26 -83.081 2.23
27 344.521 4.42 1.75500 52.31
28 -50.243 0.20
29 -102.612 4.73 1.77250 49.61
30 -33.734 (Bf)
像面 ∞

［レンズ群焦点距離］
レンズ群 始面 焦点距離
第１レンズ群 1 874.69
第２レンズ群 10 -150.04
第３レンズ群 17 43.27

この第６実施例において、第５面、及び、第２６面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２２に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。

（表２２）
κ Ａ4 Ａ6 Ａ8
第5面 0.155400 2.09390E-07 -8.01120E-10 -1.97890E-12
第26面 -39.109400 5.05950E-06 2.86350E-08 -4.43890E-11

この第６実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１６、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表２３に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。

（表２３）
β 無限遠 -0.0333
ｄ16 9.74 8.70
Bf 37.32 38.36

次の表２４に、この第６実施例における各条件式対応値を示す。

（表２４）
（１）｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜＝0.692
（２）（ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ）＝2.766
（３）Ｎｐ−Ｎｎ＝0.347
（４）ｆ／ｆ２＝-0.19

なお、上記条件対応値において、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは正メニスカスレンズＬ２４が対応し、また、この正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズは両凹形状の負レンズＬ２３が対応する。

この第６実施例の無限遠合焦状態の収差図を図１８（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図１９（ａ）に示す。また、第６実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１８（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図１９（ｂ）に示す。

各収差図から明らかなように、第６実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。

〔第７実施例〕
図２０は、本願の第７実施例に係る光学系ＳＬ７のレンズ構成を示す図である。この図２０の光学系ＳＬ７において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ１４と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ１５との接合レンズ、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１６から構成されている。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズで構成されている。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ３１、両凸形状の正レンズＬ３２、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ３３、開口絞りＳ、両凹形状の負レンズＬ３４と両凸形状の非球面正レンズＬ３５との接合レンズ、両凸形状の正レンズＬ３６、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３７から構成されている。

本第７実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）と、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に後述する反射防止膜が形成されている。

なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第７実施例においては、防振係数は０．３０であり、焦点距離は３０．８７（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。

以下の表２５に、この第７実施例の諸元の値を掲げる。

（表２５）第７実施例
f = 30.87
FNO = 1.45
２ω = 71.3
像高 = 21.6
全長 =135.0

面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物面 ∞
1 54.000 2.40 1.74100 52.67
2 30.057 11.01
3 296.733 2.10 1.77250 49.60
4 47.966 0.20 1.55389 38.09
*5 42.169 7.57
6 -26631.000 6.84 1.74400 44.78
7 -46.891 1.30 1.52599 53.31
8 -139.643 0.20
9 63.943 5.50 1.74806 50.00
10 5875.968 5.10
11 -80.793 1.30 1.48749 70.40
12 51.576 3.05 1.83400 37.16
13 111.029 (d13)
14 39.561 4.26 1.69680 55.52
15 122.864 0.20
16 38.831 6.04 1.69680 55.52
17 -152.489 0.20
18 214.322 1.45 1.61266 44.46
19 24.780 5.00
20 ∞ 5.07 開口絞りＳ
21 -23.877 1.30 1.78472 25.68
22 40.125 6.00 1.77250 49.60
*23 -68.316 2.73
24 270.446 6.00 1.75500 52.31
25 -43.519 0.20
26 -92.358 5.31 1.77250 49.61
27 -35.520 (Bf)
像面 ∞

［レンズ群焦点距離］
レンズ群 始面 焦点距離
第１レンズ群 1 688.01
第２レンズ群 11 -146.58
第３レンズ群 14 43.20

この第７実施例において、第５面、及び、第２３面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表２６に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。

（表２６）
κ Ａ4 Ａ6 Ａ8
第5面 -0.678900 -4.81790E-07 -9.78310E-10 1.73750E-13
第23面 -30.523200 1.70060E-06 4.19410E-08 -5.89620E-11

この第７実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１３、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表２７に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。

（表２７）
β 無限遠 -0.0333
ｄ13 6.39 5.28
Bf 38.32 39.43

次の表２８に、この第７実施例における各条件式対応値を示す。

（表２８）
（１）｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜＝0.516
（２）（ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ）＝2.735
（３）Ｎｐ−Ｎｎ＝0.347
（４）ｆ／ｆ２＝-0.21

なお、上記条件対応値において、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは正メニスカスレンズＬ２２が対応し、また、この正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズは両凹形状の負レンズＬ２１が対応する。

この第７実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２１（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図２２（ａ）に示す。また、第７実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２１（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２２（ｂ）に示す。

各収差図から明らかなように、第７実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。

〔第８実施例〕
図２３は、本願の第８実施例に係る光学系ＳＬ８のレンズ構成を示す図である。この図２３の光学系ＳＬ８において、第１レンズ群Ｇ１は、物体側から順に、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１１、物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズＬ１２と物体側に凸面を向けた負メニスカスレンズ形状の非球面負レンズＬ１３との接合レンズ、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１４、及び、物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ１５から構成されている。

第２レンズ群Ｇ２は、物体側から順に、両凹形状の負レンズＬ２１と物体側に凸面を向けた正メニスカスレンズＬ２２との接合レンズで構成されている。

第３レンズ群Ｇ３は、物体側から順に、開口絞りＳ、両凸形状の正レンズＬ３１と物体側に凹面を向けた負メニスカスレンズＬ３２との接合レンズ、両凹形状の負レンズＬ３３と両凸形状の非球面正レンズＬ３４との接合レンズ、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３５、及び、物体側に凹面を向けた正メニスカスレンズＬ３６から構成されている。

本第８実施例では、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカス形状の非球面負レンズＬ１３における像面側のレンズ面（面番号５）と、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２における像面側のレンズ面（面番号１２）に後述する反射防止膜が形成されている。

なお、全系の焦点距離がｆで、防振係数（ぶれ補正での移動レンズ群の移動量に対する結像面での像移動量の比）がＫのレンズで角度θの回転ぶれを補正するには、ぶれ補正用の移動レンズ群を（ｆ・ｔａｎθ）／Ｋだけ光軸と直交方向に移動させればよい。第７実施例においては、防振係数は０．２７であり、焦点距離は２８．００（ｍｍ）であるので、０．７０°の回転ぶれを補正するための第２レンズ群Ｇ２の移動量は１．２６（ｍｍ）である。

以下の表２９に、この第８実施例の諸元の値を掲げる。

（表２９）第８実施例
f = 28.00
FNO = 1.84
２ω = 76.5
像高 = 21.6
全長 =124.5

面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物面 ∞
1 100.000 2.40 1.74100 52.67
2 25.947 5.00
3 46.077 2.10 1.77250 49.60
4 28.597 0.20 1.55389 38.09
*5 23.872 9.01
6 87.112 3.61 1.90366 31.31
7 18648.952 0.20
8 58.326 3.81 1.90366 31.31
9 250.749 4.00
10 -70.091 1.30 1.60614 37.90
11 48.211 4.02 1.74397 44.85
12 986.837 (d12)
13 ∞ 0.10 開口絞りＳ
14 59.349 5.59 1.74100 52.67
15 -45.974 1.30 2.00069 25.46
16 -61.044 16.05
17 -25.065 2.50 1.84666 23.78
18 118.919 8.00 1.77250 49.60
*19 -71.765 1.23
20 -109.608 2.93 1.72916 54.66
21 -45.839 0.20
22 -156.670 4.67 1.80400 46.57
23 -32.339 (Bf)
像面 ∞

［レンズ群焦点距離］
レンズ群 始面 焦点距離
第１レンズ群 1 -240.33
第２レンズ群 10 -152.94
第３レンズ群 13 41.75

この第８実施例において、第５面、及び、第１９面の各レンズ面は非球面形状に形成されている。次の表３０に、非球面のデータ、すなわち頂点曲率半径Ｒ、円錐定数κ及び各非球面定数Ａ4〜Ａ8の値を示す。

（表３０）
κ Ａ4 Ａ6 Ａ8
第5面 -0.105300 -1.44211E-06 -3.86598E-09 -6.08176E-13
第19面 3.354500 1.14404E-05 2.95647E-09 -8.75837E-12

この第８実施例において、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との軸上空気間隔ｄ１２、及び、バックフォーカスＢｆは、変倍に際して変化する。次の表３１に、無限遠及び撮影倍率−０．０３３３倍での各焦点距離における可変間隔を示す。

（表３１）
β 無限遠 -0.0333
ｄ12 8.08 7.28
Bf 38.20 39.26

次の表３２に、この第８実施例における各条件式対応値を示す。

（表３２）
（１）｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜＝0.251
（２）（ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ）＝1.103
（３）Ｎｐ−Ｎｎ＝0.138
（４）ｆ／ｆ２＝-0.18

なお、上記条件対応値において、第２レンズ群Ｇ２内の正レンズは正メニスカスレンズＬ２２が対応し、また、この正レンズの第１面の物体側で最も近い負レンズは両凹形状の負レンズＬ２１が対応する。

この第８実施例の無限遠合焦状態の収差図を図２４（ａ）に示し、中間焦点距離状態の収差図を図２５（ａ）に示す。また、第８実施例の無限撮影状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２４（ｂ）に示し、中間焦点距離状態において０．７０°の回転ぶれに対するぶれ補正を行った時のコマ収差図を図２５（ｂ）に示す。

各収差図から明らかなように、第８実施例では、諸収差が良好に補正され、優れた結像性能を有していることが明らかである。

次に、本実施形態の各実施例に係る光学系ＳＬ１〜ＳＬ８（以後、まとめてＳＬという）に用いられる反射防止膜（多層広帯域反射防止膜とも言う）について説明する。

図２８は、反射防止膜の膜構成の一例を示す図である。この反射防止膜１０１は７層からなり、レンズ等の光学部材１０２の光学面に形成される。第１層１０１ａは真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムで形成されている。また、この第１層１０１ａの上に更に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第２層１０１ｂが形成される。さらに、この第２層１０１ｂの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第３層１０１ｃが形成され、この第３層１０１ｃの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第４層１０１ｄが形成される。またさらに、この第４層１０１ｄの上に真空蒸着法で蒸着された酸化アルミニウムからなる第５層１０１ｅが形成され、この第５層１０１ｅの上に真空蒸着法で蒸着された酸化チタンと酸化ジルコニウムの混合物からなる第６層１０１ｆが形成される。

そして、このようにして形成された第６層１０１ｆの上に、ウェットプロセスによりフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる第７層１０１ｇが形成されて本実施形態の反射防止膜１０１が形成される。第７層１０１ｇの形成には、ウェットプロセスの一種であるゾル−ゲル法を用いている。ゾル−ゲル法とは、原料を混合することにより得られたゾルを、加水分解・重縮合反応などにより流動性のないゲルとし、このゲルを加熱・分解して生成物を得る方法であり、光学薄膜の作製においては、光学部材の光学面上に光学薄膜材料ゾルを塗布し、乾燥固化によりゲル膜とすることで膜を生成することができる。なお、ウェットプロセスとして、ゾル−ゲル法に限らず、ゲル状態を経ないで固体膜を得る方法を用いるようにしてもよい。

このように、この反射防止膜１０１の第１層１０１ａ〜第６層１０１ｆまではドライプロセスである電子ビーム蒸着により形成され、最上層である第７層１０１ｇは、フッ酸／酢酸マグネシウム法で調製したゾル液を用いるウェットプロセスにより以下の手順で形成されている。まず、予めレンズ成膜面（上述の光学部材１０２の光学面）に真空蒸着装置を用いて第１層１０１ａとなる酸化アルミニウム層、第２層１０１ｂとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第３層１０１ｃとなる酸化アルミニウム層、第４層１０１ｄとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層、第５層１０１ｅとなる酸化アルミニウム層、第６層１０１ｆとなる酸化チタン−酸化ジルコニウム混合層を順に形成する。そして、蒸着装置より光学部材１０２を取り出した後、フッ酸／酢酸マグネシウム法により調製したゾル液にシリコンアルコキシドを加えたものをスピンコート法により塗布することにより、第７層１０１ｇとなるフッ化マグネシウムとシリカの混合物からなる層を形成する。フッ酸／酢酸マグネシウム法によって調製される際の反応式を以下の式（ｂ）に示す。

２ＨＦ＋Ｍｇ（ＣＨ3ＣＯＯ）2→ＭｇＦ2＋２ＣＨ3ＣＯＯＨ …（ｂ）

この成膜に用いたゾル液は、原料混合後、オートクレーブで１４０℃、２４時間高温加圧熟成処理を施した後、成膜に用いられる。この光学部材１０２は、第７層１０１ｇの成膜終了後、大気中で１６０℃、１時間加熱処理して完成される。このようなゾル−ゲル法を用いることにより、大きさが数ｎｍから数十ｎｍの粒子が空隙を残して堆積することにより第７層１０１ｇが形成される。

このようにして形成された反射防止膜１０１を有する光学部材の光学的性能について図２９に示す分光特性を用いて説明する。

本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材（レンズ）は、以下の表３３に示す条件で形成されている。ここで表３３は、基準波長をλとし、基板の屈折率（光学部材）が１．６２、１．７４及び１．８５について反射防止膜１０１の各層１０１ａ（第１層）〜１０１ｇ（第７層）の光学膜厚をそれぞれ求めたものである。なお、表３３では、酸化アルミニウムをAl2O3、酸化チタンと酸化ジルコニウム混合物をZrO2＋TiO2、フッ化マグネシウムとシリカの混合物をMgF2＋SiO2とそれぞれ表している。

（表３３）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1
第７層 MgF2＋SiO2 1.26 0.268λ 0.271λ 0.269λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ 0.054λ 0.059λ
第５層 Al2O3 1.65 0.171λ 0.178λ 0.162λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.127λ 0.13λ 0.158λ
第３層 Al2O3 1.65 0.122λ 0.107λ 0.08λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.059λ 0.075λ 0.105λ
第１層 Al2O3 1.65 0.257λ 0.03λ 0.03λ
基板の屈折率 1.62 1.74 1.85

図２９は、表３３において基準波長λを５５０ｎｍとして反射防止膜１０１の各層の光学膜厚を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を表している。

図２９から、基準波長λを５５０ｎｍで設計した反射防止膜１０１を有する光学部材は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率を０．２％以下に抑えられることが判る。また、表３３において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜１０１を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図２９に示す基準波長λが５５０ｎｍの場合とほぼ同等の分光特性を有することがわかっている。

次に、本反射防止膜の変形例について説明する。この反射防止膜は５層からなり、表３３と同様、以下の表３４で示される条件で基準波長λに対する各層の光学膜厚が設計される。本変形例では、第５層の形成に前述のゾル−ゲル法を用いている。

（表３４）
物質 屈折率 光学膜厚 光学膜厚
媒質 空気 1
第５層 MgF2＋SiO2 1.26 0.275λ 0.269λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.045λ 0.043λ
第３層 Al2O3 1.65 0.212λ 0.217λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.077λ 0.066λ
第１層 Al2O3 1.65 0.288λ 0.290λ
基板の屈折率 1.46 1.52

図３０は、表３４において、基板の屈折率が１．５２及び基準波長λを５５０ｎｍとして各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示している。図３０から本変形例の反射防止膜は、光線の波長が４２０ｎｍ〜７２０ｎｍの全域で反射率が０．２％以下に抑えられることがわかる。なお、表３４において基準波長λをｄ線（波長５８７．６ｎｍ）として各光学膜厚を設計した反射防止膜を有する光学部材でも、その分光特性にはほとんど影響せず、図３０に示す分光特性とほぼ同等の特性を有することがわかっている。

図３１は、図３０に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。なお、図３０、図３１には表３４に示す基板の屈折率が１．４６の反射防止膜を有する光学部材の分光特性が図示されていないが、基板の屈折率が１．５２とほぼ同等の分光特性を有していることは言うまでもない。

また比較のため、図３２に、従来の真空蒸着法などのドライプロセスのみで成膜した反射防止膜の一例を示す。図３２は、表３４と同じ基板の屈折率１．５２に以下の表３５で示される条件で構成される反射防止膜を設計した光学部材に光線が垂直入射する時の分光特性を示す。また、図３３は、図３２に示す分光特性を有する光学部材への光線の入射角が３０度、４５度、６０度の場合の分光特性をそれぞれ示す。

（表３５）
物質 屈折率 光学膜厚
媒質 空気 1
第７層 MgF2 1.39 0.243λ
第６層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.119λ
第５層 Al2O3 1.65 0.057λ
第４層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.220λ
第３層 Al2O3 1.65 0.064λ
第２層 ZrO2＋TiO2 2.12 0.057λ
第１層 Al2O3 1.65 0.193λ
基板の屈折率 1.52

図２９〜図３１で示される本実施形態に係る反射防止膜を有する光学部材の分光特性を、図３２および図３３で示される従来例の分光特性と比較すると、本反射防止膜はいずれの入射角においてもより低い反射率を有し、しかもより広い帯域で低い反射率を有することが良くわかる。

次に、前述の第１実施例から第８実施例に、上記表３３、表３４に示す反射防止膜を適用した例について説明する。

本第１実施例の光学系ＳＬ１において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第２実施例の光学系ＳＬ２において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表５に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６の屈折率は、ｎｄ＝１．７４８０６であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凸形状の正レンズＬ１６における像面側（面番号１０）のレンズ面に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第３実施例の光学系ＳＬ３において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表９に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１０）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第４実施例の光学系ＳＬ４において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１３に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の両凸形状の正レンズＬ１６の屈折率は、ｎｄ＝１．７７２５０であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凸形状の正レンズＬ１６における像面側のレンズ面（面番号１０）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第５実施例の光学系ＳＬ５において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表１７に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．５５８５７であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号８）に、基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第６実施例の光学系ＳＬ６において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表２１に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第１レンズ群Ｇ１の正メニスカスレンズＬ１４の屈折率は、ｎｄ＝１．７４４００であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、正メニスカスレンズＬ１４における物体側のレンズ面（面番号６）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第７実施例の光学系ＳＬ７において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１１の屈折率は、表２５に示すように、ｎｄ＝１．７４１００であり、第２レンズ群Ｇ２の両凹形状の負レンズＬ２１の屈折率は、ｎｄ＝１．４８７４９であるため、負メニスカスレンズＬ１１における像面側のレンズ面（面番号２）に基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜１０１（表３３参照）を用い、両凹形状の負レンズＬ２１における物体側のレンズ面（面番号１１）に、基板の屈折率が１．４６に対応する反射防止膜（表３４参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

本第８実施例の光学系ＳＬ８において、第１レンズ群Ｇ１の負メニスカスレンズＬ１３の屈折率は、表２９に示すように、ｎｄ＝１．５５３８９であり、第２レンズ群Ｇ２の正メニスカスレンズＬ２２の屈折率は、ｎｄ＝１．７４３９７であるため、負メニスカスレンズＬ１３における像面側のレンズ面（面番号５）に基板の屈折率が１．５２に対応する反射防止膜１０１（表３４参照）を用い、正メニスカスレンズＬ２２における像面側のレンズ面（面番号１２）に、基板の屈折率が１．７４に対応する反射防止膜（表３３参照）を用いることで各レンズ面からの反射光を少なくでき、ゴーストやフレアを低減することができる。

なお、上述の実施形態において、以下に記載の内容は、光学性能を損なわない範囲で適宜採用可能である。

本実施形態では、３群構成の光学系ＳＬを示したが、以上の構成条件等は、４群構成等の他の群構成にも適用可能である。また、最も物体側にレンズまたはレンズ群を追加した構成や、最も像側にレンズまたはレンズ群を追加した構成でも構わない。また、レンズ群とは、変倍時に変化する空気間隔で分離された、少なくとも１枚のレンズを有する部分を示す。

また、単独または複数のレンズ群、または部分レンズ群を光軸方向に移動させて、無限遠物体から近距離物体への合焦を行う合焦レンズ群としても良い。この場合、合焦レンズ群はオートフォーカスにも適用でき、オートフォーカス用の（超音波モーター等の）モーター駆動にも適している。特に、前述したように第３レンズ群Ｇ３を合焦レンズ群とするのが好ましい。

また、レンズ群または部分レンズ群を光軸に垂直な方向の成分を持つように移動させ、または、光軸を含む面内方向に回転移動（揺動）させて、手ブレによって生じる像ブレを補正する防振レンズ群としてもよい。特に、第２レンズ群Ｇ２の少なくとも一部を防振レンズ群とするのが好ましい。

また、レンズ面は、球面または平面で形成されても、非球面で形成されても構わない。レンズ面が球面または平面の場合、レンズ加工及び組立調整が容易になり、加工及び組立調整の誤差による光学性能の劣化を妨げるので好ましい。また、像面がずれた場合でも描写性能の劣化が少ないので好ましい。レンズ面が非球面の場合、非球面は、研削加工による非球面、ガラスを型で非球面形状に形成したガラスモールド非球面、ガラスの表面に樹脂を非球面形状に形成した複合型非球面のいずれの非球面でも構わない。また、レンズ面は回折面としても良く、レンズを屈折率分布型レンズ（ＧＲＩＮレンズ）或いはプラスチックレンズとしても良い。

また、各レンズ面には、フレアやゴーストを軽減し高コントラストの高い光学性能を達成するために、広い波長域で高い透過率を有する反射防止膜を施しても良い。

なお、本願を分かり易く説明するために実施形態の構成要件を付して説明したが、本願がこれに限定されるものではないことは言うまでもない。

以上のように、本発明によれば、ゴーストやフレアをより低減させ、防振性能に優れた光学系、この光学系を備えた光学機器、及び、光学系の製造方法を提供することができる。

ＳＬ（ＳＬ１〜ＳＬ８） 光学系
Ｇ１ 第１レンズ群
Ｇ２ 第２レンズ群
Ｇ３ 第３レンズ群
Ｓ 開口絞り
１ デジタル一眼レフカメラ（光学機器）
１０１ 反射防止膜
１０１ａ 第１層
１０１ｂ 第２層
１０１ｃ 第３層
１０１ｄ 第４層
１０１ｅ 第５層
１０１ｆ 第６層
１０１ｇ 第７層
１０２ 光学部材

Claims (16)

1. 光軸方向に固定された第１レンズ群と、
   前記第１レンズ群よりも像面側において、前記光軸方向に固定されるとともに前記光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置された負の屈折力を有する第２レンズ群と、
   前記第２レンズ群よりも像面側に配置された正の屈折力を有する第３レンズ群とにより実質的に３個のレンズ群からなり、
   前記第２レンズ群よりも像面側に配置された開口絞りを有し、
   前記第２レンズ群は、物体側の面が凸形状の正レンズを有し、
   無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
   −０．３５ ＜ ｆ／ｆ２ ＜ −０．０７
   の条件を満足し、
   前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系。
2. 前記反射防止膜は多層膜であり、
   前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項１に記載の光学系。
3. 前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の光学系。
4. 前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光学系。
5. 前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載の光学系。
6. 前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載の光学系。
7. 前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の光学系。
8. 前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の光学系。
9. 前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の光学系。
10. 無限遠合焦時の前記開口絞りから前記正レンズの物体側の面までの距離をＤｖｒとし、前記正レンズの前記物体側の面の曲率半径をＲｖｒとしたとき、次式
    ０．１５ ＜ ｜Ｄｖｒ／Ｒｖｒ｜ ＜ １．２０
    の条件を満足することを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の光学系。
11. 前記正レンズの両面の曲率半径のうち、絶対値が小さい面の曲率半径をＲｓとし、前記正レンズの両面の曲率半径のうち、絶対値が大きい面の曲率半径をＲＬとしたとき、次式
    ０．８ ＜ （ＲＬ＋Ｒｓ）／（ＲＬ−Ｒｓ） ＜ ７．０
    の条件を満足することを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の光学系。
12. 前記開口絞りは、前記第３レンズ群内に配置されることを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の光学系。
13. 前記第２レンズ群は、前記正レンズよりも物体側に配置された負レンズを有し、
    前記正レンズの媒質のｄ線に対する屈折率をＮｐとし、前記負レンズの媒質のｄ線に対する屈折率をＮｎとしたとき、次式
    ０．１０ ＜ Ｎｐ−Ｎｎ ＜０．４５
    の条件を満足することを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の光学系。
14. 前記第３レンズ群は、無限遠物体から近距離物体への合焦に際し、物体側に移動するように配置されていることを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の光学系。
15. 請求項１から１４のいずれか１項に記載の光学系を有することを特徴とする光学機器。
16. 第１レンズ群を光軸方向に固定し、
    前記第１レンズ群よりも像面側において、負の屈折力を有する第２レンズ群を前記光軸方向に固定するとともに前記光軸と直交する方向の成分を持つように移動可能に配置し、
    前記第２レンズ群よりも像面側に正の屈折力を有する第３レンズ群を配置し、
    前記第２レンズ群よりも像面側に開口絞りを配置し、
    前記第２レンズ群は、物体側の面が凸形状の正レンズを有するように配置され、
    無限遠合焦時の全系の合成焦点距離をｆとし、前記第２レンズ群の焦点距離をｆ２としたとき、次式
    −０．３５ ＜ ｆ／ｆ２ ＜ −０．０７
    の条件を満足するようにし、
    前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、前記反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする光学系の製造方法。

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