JP4913490B2 - 容量式電磁流量計 - Google Patents
容量式電磁流量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4913490B2 JP4913490B2 JP2006195333A JP2006195333A JP4913490B2 JP 4913490 B2 JP4913490 B2 JP 4913490B2 JP 2006195333 A JP2006195333 A JP 2006195333A JP 2006195333 A JP2006195333 A JP 2006195333A JP 4913490 B2 JP4913490 B2 JP 4913490B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal electrode
- electrode
- flow meter
- measuring tube
- guard
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
- G01F1/584—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of electrodes, accessories therefor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/56—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects
- G01F1/58—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters
- G01F1/586—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using electric or magnetic effects by electromagnetic flowmeters constructions of coils, magnetic circuits, accessories therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
図5(a)に容量式電磁流量計の従来例1の要部を示す(例えば、特許文献1参照)。同図において、1はセラミックスよりなる測定管であり、2は信号電極、3は信号電極2をシールドするガード電極である。測定管1の外側には、バッファセラミックス部4が設けられ、このバッファセラミックス部4内に信号電極2およびガード電極3が設けられている。図5(b)に図5(a)におけるI−I線断面図を示す。
図6(a)に容量式電磁流量計の従来例2の要部を示す(例えば、特許文献2参照)。同図において、5は非磁性パイプ(例えば、ステンレス製のパイプ)6の内側にPFA(フッ素樹脂)などの絶縁性の樹脂ライニング7が施された測定管、8は信号電極、9は信号電極8をシールドするガード電極である。信号電極8およびガード電極9は、樹脂ライニング7内に設けられている。図6(b)に図6(a)におけるII−II線断面図を示す。
図7(a)に容量式電磁流量計の従来例3の要部を示す(例えば、特許文献3参照)。同図において、10はセラミックスよりなる測定管であり、11は測定管10に設けられた信号電極、12は信号電極11を覆うようにして設けられたガードケース(ガード電極)である。ガードケース12内にはゲル状樹脂(例えば、シリコン樹脂)13が充填されている。図7(b)に図7(a)におけるIII −III 線断面図を示す。
〔実施の形態1〕
図1(a)はこの発明に係る容量式電磁流量計の一実施の形態(実施の形態1)の要部を示す図である。図1(b)は図1(a)におけるIV−IV線断面図である。図1において、図6と同一符号は図6を参照して説明した構成要素と同一或いは同等構成要素を示し、その説明は省略する。
上述した実施の形態1では、振動吸収部材15をゲル状の物質としたが、振動吸収部材15はゲル状の物質に限られるものではない。実施の形態2では、図2に図1に対応する図を示すように、振動吸収部材15を油などの液体としている。図2に示した例では、貫通孔14に信号電極8およびガード電極9を設け、この信号電極8およびガード電極9が設けられた貫通孔14内に振動吸収部材15として油を充填し、この油を充填した貫通孔14を蓋16で密閉(液封)している。
上述した実施の形態1,2では、信号電極8およびガード電極9を別体として設けているが、信号電極8およびガード電極9を一体として設けるようにしてもよい。
Claims (2)
- 非磁性パイプの内側に絶縁性の樹脂ライニングが施された測定管と、この測定管内を流れる流体の流れ方向に対して直交する方向に磁界を作る励磁コイルと、前記測定管に設けられこの測定管内を流れる流体と静電容量結合する信号電極と、この信号電極をシールドするガード電極とを備え、前記励磁コイルが作る磁界により前記測定管内を流れる流体に発生する起電力を前記信号電極より取り出す容量式電磁流量計において、
前記非磁性パイプは、前記励磁コイルが作る磁界と直交する方向の周面に前記樹脂ライニングに達する貫通孔を備え、
前記信号電極および前記ガード電極は、前記非磁性パイプの貫通孔内に設けられ、
前記非磁性パイプの貫通孔には、前記信号電極および前記ガード電極の周囲を覆うように、絶縁性の振動吸収部材が充填されている
ことを特徴とする容量式電磁流量計。 - 請求項1に記載された容量式電磁流量計において、
前記信号電極と前記ガード電極とは、絶縁性のスペーサを介して一体とされている
ことを特徴とする容量式電磁流量計。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006195333A JP4913490B2 (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | 容量式電磁流量計 |
US12/373,768 US7874218B2 (en) | 2006-07-18 | 2007-06-29 | Capacitive electromagnetic flowmeter |
AU2007274520A AU2007274520B2 (en) | 2006-07-18 | 2007-06-29 | Capacitive electromagnetic flowmeter |
PCT/JP2007/063105 WO2008010399A1 (fr) | 2006-07-18 | 2007-06-29 | Débitmètre électromagnétique capacitif |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006195333A JP4913490B2 (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | 容量式電磁流量計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008026005A JP2008026005A (ja) | 2008-02-07 |
JP4913490B2 true JP4913490B2 (ja) | 2012-04-11 |
Family
ID=38956734
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006195333A Active JP4913490B2 (ja) | 2006-07-18 | 2006-07-18 | 容量式電磁流量計 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7874218B2 (ja) |
JP (1) | JP4913490B2 (ja) |
AU (1) | AU2007274520B2 (ja) |
WO (1) | WO2008010399A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008111758A (ja) * | 2006-10-31 | 2008-05-15 | Yamatake Corp | 容量式電磁流量計 |
US8677819B2 (en) * | 2011-04-18 | 2014-03-25 | Parker-Hannifin Corporation | In-line fuel properties measurement unit |
KR101844211B1 (ko) | 2011-12-28 | 2018-05-15 | 삼성전자주식회사 | 가전기기의 네트워크 시스템 및 그 네트워크 설정 방법 |
US9170140B2 (en) * | 2012-05-04 | 2015-10-27 | Cameron International Corporation | Ultrasonic flowmeter with internal surface coating and method |
JP2014085254A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Asahi Organic Chemicals Industry Co Ltd | 超音波流量計及びこれを備える流体制御装置 |
DE102012221616B4 (de) | 2012-11-27 | 2015-03-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnetisch induktiver Durchflussmesser |
US9865501B2 (en) | 2013-03-06 | 2018-01-09 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for remote plasma treatment for reducing metal oxides on a metal seed layer |
US9070750B2 (en) | 2013-03-06 | 2015-06-30 | Novellus Systems, Inc. | Methods for reducing metal oxide surfaces to modified metal surfaces using a gaseous reducing environment |
FR3005763B1 (fr) | 2013-05-17 | 2016-10-14 | Fogale Nanotech | Dispositif et procede d'interface de commande capacitive adapte a la mise en œuvre d'electrodes de mesures fortement resistives |
CN205584642U (zh) * | 2013-07-11 | 2016-09-14 | 株式会社村田制作所 | 树脂多层基板 |
US9469912B2 (en) | 2014-04-21 | 2016-10-18 | Lam Research Corporation | Pretreatment method for photoresist wafer processing |
US9472377B2 (en) | 2014-10-17 | 2016-10-18 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for characterizing metal oxide reduction |
FR3028061B1 (fr) * | 2014-10-29 | 2016-12-30 | Fogale Nanotech | Dispositif capteur capacitif comprenant des electrodes ajourees |
FR3032287B1 (fr) | 2015-02-04 | 2018-03-09 | Quickstep Technologies Llc | Dispositif de detection capacitif multicouches, et appareil comprenant le dispositif |
US10443146B2 (en) | 2017-03-30 | 2019-10-15 | Lam Research Corporation | Monitoring surface oxide on seed layers during electroplating |
JP7294875B2 (ja) * | 2019-05-10 | 2023-06-20 | アズビル株式会社 | 容量式電磁流量計 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07110249A (ja) | 1993-10-08 | 1995-04-25 | Yokogawa Electric Corp | 容量形電磁流量計 |
GB9419886D0 (en) * | 1994-10-03 | 1994-11-16 | Boc Group Plc | 0 161194 GB 9419886A 031094 GB 9419886A 031094Device for monitoring deposits in a pipe or vessel |
JPH08166266A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Yokogawa Electric Corp | 容量形セラミックス電磁流量計 |
JPH08219834A (ja) * | 1995-02-14 | 1996-08-30 | Kimmon Mfg Co Ltd | 電磁流量計 |
JPH08271304A (ja) * | 1995-03-30 | 1996-10-18 | Hitachi Ltd | 静電容量式電磁流量計 |
US5773723A (en) * | 1995-09-29 | 1998-06-30 | Lewis; Peter B. | Flow tube liner |
US5866823A (en) * | 1997-05-13 | 1999-02-02 | Hersey Measurement Company | Commutating electrode magnetic flowmeter |
US6973840B2 (en) * | 1999-10-06 | 2005-12-13 | Cushing Vincent J | Comprehensive electromagnetic flowmeter |
JP2002071408A (ja) | 2000-08-31 | 2002-03-08 | Yokogawa Electric Corp | 容量形電磁流量計 |
JP2003065815A (ja) * | 2001-08-27 | 2003-03-05 | Yokogawa Electric Corp | 容量式電磁流量計 |
JP3956388B2 (ja) * | 2002-10-17 | 2007-08-08 | 横河電機株式会社 | 電磁流量計 |
-
2006
- 2006-07-18 JP JP2006195333A patent/JP4913490B2/ja active Active
-
2007
- 2007-06-29 WO PCT/JP2007/063105 patent/WO2008010399A1/ja active Application Filing
- 2007-06-29 US US12/373,768 patent/US7874218B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-06-29 AU AU2007274520A patent/AU2007274520B2/en not_active Ceased
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008026005A (ja) | 2008-02-07 |
US20100011877A1 (en) | 2010-01-21 |
AU2007274520B2 (en) | 2011-01-20 |
US7874218B2 (en) | 2011-01-25 |
AU2007274520A1 (en) | 2008-01-24 |
WO2008010399A1 (fr) | 2008-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4913490B2 (ja) | 容量式電磁流量計 | |
KR101153658B1 (ko) | 측정 장치 | |
JP5537025B2 (ja) | 流量計、流量計のためのシステムチップ及びその製造方法 | |
JP4492432B2 (ja) | 物理量センサ装置の製造方法 | |
AU758052B2 (en) | Pressure sensor | |
JP4830391B2 (ja) | センサ装置の製造方法及びセンサ装置 | |
JP6144540B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP6754312B2 (ja) | 電磁流量計の電極構造 | |
JP2006078417A (ja) | 圧力センサ | |
JP2009103602A (ja) | 圧力センサ | |
JP2008070356A (ja) | サーボ型加速度計 | |
JPH09264804A (ja) | 静電容量式圧力センサ | |
JP2008203117A (ja) | 物理量測定モジュールおよび物理量測定器 | |
JPH0225446B2 (ja) | ||
JP4168813B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP3641919B2 (ja) | 電磁流量計の検出部構造 | |
JPH0229169B2 (ja) | Denjiryuryokei | |
JP4842766B2 (ja) | 容量式電磁流量計 | |
JPS6166122A (ja) | 電磁流量計の電極構造 | |
JP5648513B2 (ja) | シール構造 | |
JP2002071408A (ja) | 容量形電磁流量計 | |
JP4963069B2 (ja) | 圧力センサ | |
JP3179325B2 (ja) | 電磁流量計 | |
JPH10221133A (ja) | 電磁流量計の電極構造 | |
JPS6244338Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120117 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120119 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4913490 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150127 Year of fee payment: 3 |