JP4649889B2 - 圧力波発生素子 - Google Patents
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Description
本実施形態の圧力波発生素子は、図1(a),(b)に示すように、単結晶のシリコン基板からなる支持基板1の一表面側に金属膜からなる発熱体層3が設けられるとともに、支持基板1と発熱体層3との間に断熱層2が設けられ、支持基板1の上記一表面側に発熱体層3の両端部(図1(b)における左右両端部)それぞれと接する形で一対のパッド4,4が形成されており、発熱体層3の表面に酸化防止層5が被着されている。ここにおいて、本実施形態の圧力波発生素子は、発熱体層3へ与える電気的な入力(発熱体層3へ印加する電圧または発熱体層3へ供給する電流)の波形に応じた発熱体層3の温度変化に伴って発熱体層3と空気との熱交換により圧力波を発生する。なお、支持基板1の平面形状は長方形状であって、断熱層2、発熱体層3、酸化防止層5それぞれの平面形状も長方形状に形成してある。
本実施形態の圧力波発生素子の基本構成は実施形態1と略同じであり、実施形態1で酸化防止層5の両端部それぞれの一部がパッド4,4により覆われていたのに対して、図3(a),(b)に示すように、各パッド4,4の一部が酸化防止層5により覆われている点が相違するだけである。他の構成は実施形態1と同じである。
2 断熱層
3 発熱体層
4 パッド
5 酸化防止層
Claims (2)
- シリコン基板の一表面側に金属膜からなる発熱体層が設けられるとともに、シリコン基板と発熱体層との間に多孔質シリコン層からなる断熱層が設けられ、発熱体層へ与える電気的な入力の波形に応じた発熱体層の温度変化に伴って発熱体層と空気との熱交換により圧力波を発生する圧力波発生素子であって、シリコンよりも高融点の材料により形成された高融点膜からなるとともに、膜厚が、前記高融点膜の熱伝導率と、前記高融点膜の熱容量と、前記波形の周波数とで決まる熱拡散長以下に設定された酸化防止層を発熱体層の表面に被着してなることを特徴とする圧力波発生素子。
- 前記酸化防止層は、炭化物、窒化物、ホウ化物、シリサイドの群から選択される材料により形成されてなることを特徴とする請求項1記載の圧力波発生素子。
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