JP4528678B2 - エッチングリードフレームの製造方法およびこれに用いる切断装置 - Google Patents

Description

本発明はエッチングリードフレームの製造方法およびこれに用いる切断装置に関し、より詳細には帯状体に連設されたリードフレームを帯状体から個片に切り出す方法を特徴とするエッチングリードフレームの製造方法およびこれに用いる切断装置に関する。

リードフレームの製造方法として、長尺体に形成された金属帯状体に対してエッチングを施してリードフレームを製造する方法がある（特許文献１、特許文献２参照）。この製造方法では、金属帯状体の両面にレジストパターンを形成し、レジストパターンをマスクとして金属帯状体をエッチングして形成する。

図５は、金属帯状体をエッチングしてリードフレームが連設された帯状体１０から個片の短冊状にリードフレームを切り出しする切断装置の概略構成を示す。この切断装置では、送りローラ２０とテンションローラ２２との間に帯状体１０を掛け渡し、送りローラ２０により１枚のリードフレームに対応して帯状体１０をピッチ送りしながら、第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２により、順次、帯状体１０を切断して個片のリードフレームに切り出しする。

図６は、第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２によりリードフレーム１２を切り出しする工程を、順を追って示している。この切断装置では、第１の切断ユニット３０はリードフレーム１２の前端部を支持するブリッジ部１３を切断し、第２の切断ユニット３２はリードフレーム１２の後端部を支持するブリッジ部１４を切断する位置に配置され、第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２とは空きスペースとして中間に１ピッチ送り分（１枚のリードフレームに相当する）の間隔をあけた配置に設けられている。

帯状体１０は送りローラ２０により搬送され、第１の切断ユニット３０に付設されている位置決めセンサ３３がリードフレーム１２に設けられているアライメントマーク１５を検出すると帯状体１０の送り操作が停止され、帯状体１０が停止した状態で第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２が駆動され、ブリッジ部１３、１４が切断されることによって個片のリードフレーム１２が切り出しされる。
特開平９−２０９８７号公報 特開２００３−４９２８４号公報

図６に示す帯状体１０の切断装置では、たとえばリードフレームＣについてみると、第１の切断ユニット３０により前端側のブリッジ部１３が切断された後（図６(a)）、２回のピッチ送りがされて、第２の切断ユニット３２により後端側のブリッジ部１４が切断され個片となる。したがって、帯状体１０をピッチ送りした際に、各々のリードフレームのピッチ間隔（配置間隔）がばらついていると、位置決めセンサ３３によってアライメントマーク１５を検出して帯状体１０を位置決めしたとしても、正確にリードフレーム１２を切り出しすることができないという問題が生じる。

エッチングリードフレームの製造工程では、金属帯状体にレジストパターンを形成する工程があり、この工程では金属帯状体に対してリードフレームの露光パターンの継ぎ目を合わせるようにして次々と露光していく。したがって、露光パターンの位置決め精度が低いと、金属帯状体に形成されたレジストパターンに位置ずれが生じ、帯状体に形成されたリードフレームの形成位置がばらつくことになる。
このようにエッチングリードフレームを製造する工程では、帯状体に形成されたリードフレームの配置に若干のばらつきがあることが避けられない。この結果、リードフレーム１２が形成された帯状体１０をいくら正確にピッチ送りして切り出ししても、リードフレーム１２の形成精度にばらつきが生じることになる。

本発明は、これらの課題を解決すべくなされたものであり、エッチングリードフレームの製造工程において、露光パターンによる露光位置のばらつきが生じたような場合でも、帯状体から正確にリードフレームを個片に切り出しすることを可能にし、より高精度にリードフレームを製造することを可能にするエッチングリードフレームの製造方法およびこれに用いる切断装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は次の構成を備える。
すなわち、金属帯状体にエッチング加工を施してリードフレームが連設された帯状体を形成する工程と、前記帯状体からリードフレームを個片に切り出しする工程を有するエッチングリードフレームの製造方法において、前記リードフレームを切り出しする工程に、前記リードフレームの送り方向の前端側と後端側における前記帯状体との連結部を各々切断する第１の切断ユニットと第２の切断ユニットとを、中間に前記帯状体の１または２以上のピッチ送り分の空きスペースをあけて配置するとともに、前記第１と第２の切断ユニットの一方の切断ユニットについては、前記帯状体の搬送方向に位置固定し、他方の切断ユニットについては前記帯状体の搬送方向に可動に設け、前記帯状体をピッチ送りする際に、前記一方の切断ユニットによる前記リードフレームの切断位置に位置合わせするよう送り制御して、当該切断ユニットにより前記リードフレームと帯状体との一方の連結部を切断し、当該帯状体が停止した状態で、前記他方の切断ユニットによる切断位置を検知する操作を行い、当該切断ユニットを切断位置に位置決めして、前記リードフレームと帯状体との他方の連結部を切断することを特徴とする。
なお、第１または第２の切断ユニットによる切断位置を検知する方法としては、帯状体にアライメントマークを設ける方法、帯状体に形成されたリードフレームのパターンを画像解析する方法等によることができる。

また、前記リードフレームの送り方向の前端側と後端側に、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを各々設け、前記第１の切断ユニットと前記第２の切断ユニットとに、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークを各々検知する第１の位置決めセンサと第２の位置決めセンサとを設け、前記帯状体をピッチ送りする際に、前記第１と第２の位置決めセンサの一方により前記第１と第２のアライメントマークの一方を検知した時点で帯状体の送り操作を停止させ、前記第１と第２の切断ユニットの一方により前記リードフレームと帯状体との一方の連結部を切断し、当該帯状体が停止した状態で、前記他方の位置決めセンサにより前記他方のアライメントマークを検知する操作を行い、前記他方の切断ユニットにより前記リードフレームと帯状体との他方の連結部を切断することを特徴とする。リードフレームに第１のアライメントマークと第２のアライメントマークを設けて、これらのアライメントマークを基準としてリードフレームの送り操作および切断操作を行うことによって、さらに正確にリードフレームを切り出しすることが可能となる。

また、前記リードフレームの製造方法において、前記帯状体から個片にリードフレームを切り出しする切断装置であって、前記リードフレームの送り方向の前端側の連結部を切断する前記第１の切断ユニットおよび当該第１の切断ユニットによる切断位置を検知する第１の位置決めセンサと、前記リードフレームの送り方向の後端側の連結部を切断する前記第２の切断ユニットおよび当該第２の切断ユニットによる切断位置を検知する第２の位置決めセンサと、前記第１と第２の位置決めセンサの一方により前記第１と第２の切断ユニットの一方による切断位置を検知した時点で前記帯状体の送り操作を停止させ、一方の切断ユニットを駆動して前記一方の連結部を切断し、前記第１と第２の位置決めセンサの他方をスイープ移動させて前記第１と第２の切断ユニットの他方による切断位置を検知し、当該検知位置に他方の切断ユニットを位置合わせするとともに、他方の切断ユニットを駆動して前記他方の連結部を切断すべく制御する制御部とを備えていることを特徴とする また、前記第１の位置決めセンサは、前記リードフレームの送り方向の前端側に設けられた第１のアライメントマークを検知して前記第１の切断ユニットの切断位置を規定すべく設けられ、前記第２の位置決めセンサは、前記リードフレームの送り方向の後端側に設けられた第２のアライメントマークを検知して前記第２の切断ユニットの切断位置を規定すべく設けられていることにより、さらに正確なリードフレームの切り出しが可能となる。
また、前記第１と第２の切断ユニットには、切断位置を前記帯状体に形成されたリードフレームとθ方向で位置合わせするための角度調節機構が設けられていることにより、金属帯状体にリードフレームのパターンを露光した際の位置ずれを補正して、さらに正確にリードフレームを切り出しすることができる。

本発明に係るエッチングリードフレームの製造方法および切断装置によれば、帯状体に形成されているリードフレームの配置が位置ずれしていても、リードフレームに位置合わせして切り出しできることから、帯状体にリードフレームを形成した際のばらつきに影響されることなくリードフレームを高精度に切断して個片のリードフレームを得ることができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について、添付図面に基づき詳細に説明する。
図１は、金属帯状体にエッチングを施して、所定パターンのリードフレーム１２が連続的に形成された長尺の帯状体１０から、個片の短冊状にリードフレーム１２を切り出しする切断装置の全体構成を示す。
帯状体１０の送り方向の前方位置には帯状体１０をリードフレーム１２の配置間隔にしたがってピッチ送りする送りローラ２０が設けられ、送り方向の後方位置には送りローラ２０との間で、帯状体１０を張るようにして支持するテンションローラ２２が設けられている。

帯状体１０の切断操作は、帯状体１０の搬送位置に配置された第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２によってなされる。第１の切断ユニット３０は帯状体１０に形成されたリードフレーム１２の前端部に連結されたブリッジ部１３を切断するためのもので、帯状体１０の送り方向の後方に配置されている。第２の切断ユニット３２は帯状体１０に形成されたリードフレーム１２の後端部に連結されたブリッジ部１４を切断するためのもので、第１の切断ユニット３０に対し１ピッチ送り分程度前方に配置されている。

また、第１の切断ユニット３０にはリードフレーム１２に設けられた第１のアライメントマーク１５を検知する第１の位置決めセンサ３４が付設され、第２の切断ユニット３２にはリードフレーム１２に設けられた第２のアライメントマーク１６を検知する第２の位置決めセンサ３６が付設されている。
第１の切断ユニット３０および第２の切断ユニット３２、第１の位置決めセンサ３４および第２の位置決めセンサ３６、送りローラ２０およびテンションローラ２２は、これらの駆動を制御する制御部６０に接続されている。

本実施形態の切断装置と図５に示す従来の切断装置において、構成上異なる点は、第１の切断ユニット３０が帯状体１０の搬送方向に可動に設けられ、第１の位置決めセンサ３４による第１のアライメントマーク１５の検知結果に基づいて第１の切断ユニット３０を切断位置に位置合わせする位置合わせ機構を備えていること、第２の切断ユニット３２が第２のアライメントマーク１６を検知する第２の位置決めセンサ３６を備えていることにある。

図２に、第１の切断ユニット３０に設けられている位置合わせ機構５０を示す。位置合わせ機構５０は、切断ユニット３０を構成する抜き金型等の本体３０ａと、本体３０ａを支持するユニットベース５２と、ユニットベース５２を帯状体１０の搬送方向に進退動させる駆動モータ５４と、本体３０ａを軸線（鉛直線）の回りで回動させてθ方向の位置合わせをする角度調節機構５５とを備える。なお、ユニットベース５２はリニアガイド５３に係合支持され、ユニットベース５２の移動方向（進退動）が帯状体１０の搬送方向と平行になるようにガイドされる。

角度調節機構５５は、ユニットベース５２に固定したピン５６に切断ユニット３０の本体３０ａを係合し、ユニットベース５２に対してピン５６の軸線の回りで本体３０ａを回動可能に設けるとともに、本体３０ａを回動させる調節ねじ５７と、本体３０ａのθ方向の回動量を検知するダイヤルゲージ５８とをユニットベース５２に取り付けて構成される。調節ねじ５７は本体３０ａの一方の端部側面に係合し、調節ねじ５７を回動させることにより本体３０ａがピン５６を支点として揺動するように設けられている。

なお、第２の切断ユニット３２は、第２の位置決めセンサ３６によってリードフレーム１２の第２のアライメントマーク１６を検知した際に、ブリッジ部１４の切断位置に位置決めされるように固定位置に配置されているが、帯状体１０に形成されているリードフレーム１２に対してθ方向の位置決めをするための角度調節機構については、第１の切断ユニット３０に設けられている角度調節機構５５と同様な機構が設けられている。

図３は、帯状体１０に設けられているリードフレーム１２の配置と、帯状体１０と第１の切断ユニット３０および第２の切断ユニット３２との配置位置関係を示している。
帯状体１０にはリードフレーム１２が長手方向に一列状に連設して設けられ、隣接するリードフレーム１２間には帯状体１０を幅方向に横切る配置にステー１１が設けられ、ステー１１から前後に枝分かれした形態にブリッジ部１３、１４が設けられている。リードフレーム１２は前端部と後退部でブリッジ部１３、１４に連結され、ブリッジ部１３、１４およびステー１１を介して帯状体１０に支持される。

第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２は、ブリッジ部１３、１４とリードフレーム１２との連結部を、リードフレーム１２の端面に位置合わせして抜き落とす抜き金型を備えている。本実施形態では、リードフレーム１２の端面にブリッジ部１３、１４が２個所ずつ連結しているから、第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２の抜き金型には、一回の切断操作で２個所のブリッジ部１３、１４を抜き落とす抜き落とし部を備える。

各々のリードフレーム１２には帯状体１０の送り方向の前端側と後端側に、第１のアライメントマーク１５と第２のアライメントマーク１６が設けられている。第１の切断ユニット３０に付設されている第１の位置決めセンサ３４は、第１のアライメントマーク１５を検知するものであり、第２の切断ユニット３２に付設されている第２の位置決めセンサ３６は第２のアライメントマーク１６を検知するものである。

続いて、本実施形態の切断装置を用いて帯状体１０からリードフレーム１２を１枚ずつ個片に切り出しする方法について説明する。
まず、第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２について、θ方向の位置合わせを行う。この位置合わせは、金属帯状体にリードフレーム１２のパターンを露光する際の露光方向がθ方向で正規位置から位置ずれすると、帯状体１０においてはリードフレーム１２とブリッジ部１３、１４のθ方向の位置ずれとしてあらわれることから、この位置ずれを第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２で補正して、リードフレーム１２を正確に切り出しできるようにするためのものである。

第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２のθ方向の位置合わせは、帯状体１０から複数枚のリードフレーム１２を切り出しし、その切断位置を検査してブリッジ部１３、１４の抜き落とし位置がリードフレーム１２の前端と後端位置に一致するように、角度調節機構を調節することによって行う。
図２に示す第１の切断ユニット３０に設けた角度調節機構５５では、ダイヤルゲージ５８を見ながら調節ねじ５７を操作して角度調節する。第２の切断ユニット３２についても同様にして位置合わせする。

金属帯状体に露光する際のθ方向の位置ずれは、ロットごとにばらつく可能性があるから、異なるロット、あるいは異なる製品について切り出し操作を行う際に事前に行う。もちろん、金属帯状体に対する１回ごとの露光操作の際にもθ方向の位置ずれは生じ得るが、ロット全体としてθ方向の補正を行っておけば基準位置出しの補正としては十分である。

なお、本実施形態では、ダイヤルゲージ５８を見ながら手動操作によって角度調節を行ったが、帯状体１０に形成されているリードフレーム１２の配置を画像解析して、自動的に第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２を角度調節するように構成することも可能である。たとえば、リードフレーム１２に設けられた第１のアライメントマーク１５と第２のアライメントマーク１６、あるいはリードパターンを画像解析し、θ方向の位置ずれを検出し、調節ねじ５７のかわりにアクチュエータを用いて第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２を補正すればよい。

図４は、第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２を用いて帯状体１０から個片にリードフレーム１２を切り出しする工程を示している。
図４(a)は、まず送りローラ２０を駆動して帯状体１０を前送りし、第２の切断ユニット３２に設けられた第２の位置決めセンサ３６によってリードフレームＡに設けられた第２のアライメントマーク１６を検出した状態を示す。
第２の位置決めセンサ３６が第２のアライメントマーク１６を検知すると、制御部６０により送りローラ２０が停止され、これとともに帯状体１０の送り操作が停止される。

第２の位置決めセンサ３６によって帯状体１０が位置決めされると、第２の切断ユニット３２が駆動され、リードフレームＡの後端側のブリッジ部１４が切断される（図４(b)）。このブリッジ部１４を切断する操作は、第２の位置決めセンサ３６により第２のアライメントマーク１６を検知して、第２の切断ユニット３２を帯状体１０に対して位置決めして行う操作であるから、リードフレーム１２の後端に切断位置を正確に位置合わせしてブリッジ部１４を切断することができる。
第２のアライメントマーク１６はリードフレーム１２の後端側に設けられており、第２のアライメントマーク１６とブリッジ部１４との切断位置が近接していることもブリッジ部１４の切断位置の誤差を小さくする効果がある。

一方、第１の切断ユニット３０については、制御部６０により位置合わせ機構の駆動モータ５４を作動させて第１の位置決めセンサ３４を帯状体１０に沿って送り方向の前方から後方へ向けて移動させ、リードフレームＣの前端側の第１のアライメントマーク１５を検知する操作を行う。図４(b)は、第１の位置決めセンサ３４がリードフレームＣの第１のアライメントマーク１５を検知した状態を示す。
なお、本実施形態では、一方向へ第１の位置決めセンサ３４を移動させて第１のアライメントマーク１５を検知するように制御するから、第１の位置決めセンサ３４を移動開始する始点は、移動経路途中で必ず第１のアライメントマーク１５が位置するように、余裕をみて前方側から移動させるようにする。

第１の位置決めセンサ３４によって第１のアライメントマーク１５が検知されたら、制御部６０により第１の切断ユニット３０を駆動制御してブリッジ部１３を切断する。図４(c)は、第１の位置決めセンサ３４の検出結果に基づいて制御部６０により第１の切断ユニット３０が切断位置に位置決めされ、リードフレームＣの前端側のブリッジ部１３が第１の切断ユニット３０によって切断される状態を示す。

図４(d)は、第２の切断ユニット３２と第１の切断ユニット３０によるブリッジ部１４、１３の切断操作が完了した後、帯状体１０を１ピッチ送りする中途状態を示す。この送り操作の際に、制御部６０は第２の位置決めセンサ３６によってリードフレームＢに設けられた第２のアライメントマーク１６を検出する制御を行い、第１の切断ユニット３０については、第１のアライメントマーク１５を検出するスイープ操作を行った移動先位置から元位置へ復帰させる。そして、帯状体１０が１ピッチ分前進し、図４(a)に示す状態になったところで次回の切断操作がなされる。

こうして、第２の位置決めセンサ３６によって第２のアライメントマーク１６を検知して帯状体１０を停止させ、第２の切断ユニット３２によりブリッジ部１４を切断する操作と、帯状体１０が停止した状態で、第１の位置決めセンサ３４によって第１のアライメントマーク１５を検知し、第１の切断ユニット３０によりブリッジ部１３を切断する操作とを順次、繰り返すことによって帯状体１０から個片のリードフレーム１２を次々と、切り出ししていくことができる。

本実施形態の切断装置によれば、リードフレーム１２の後端部に連結するブリッジ部１４については第２のアライメントマーク１６を基準として切断されること、リードフレーム１２の前端部に連結するブリッジ部１３については、第１の位置決めセンサ３４を帯状体１０の搬送方向に沿って移動して第１のアライメントマーク１５を検知し、その検知結果に基づいて第１の切断ユニット３０を位置合わせしてブリッジ部１３を切断するから、帯状体１０に形成されているリードフレーム１２の配置ピッチ（形成位置）がばらついていても、そのばらつきを補正してブリッジ部１３を切断することが可能になる。すなわち、金属帯状体を露光する際の露光精度等による帯状体１０の形成精度に影響されずに、帯状体１０からリードフレーム１２を正確に切り出しすることが可能となる。

なお、上記実施形態においては、第１の切断ユニット３０を可動とし、第２の切断ユニット３２を固定とする配置としたが、これとは逆に第１の切断ユニット３０を固定とし、第２の切断ユニット３２を可動とする配置とすることも可能である。なお、ここで「可動」とは、スイープ動作によってアライメントマークを検知し、切断ユニットによる切断位置を位置決めしてブリッジ部を切断操作する意である。また、位置決めセンサによるスイープ動作は移動経路内でアライメントマークを検知することを目的とするものであり、位置決めセンサの移動方向は前方から後方、後方から前方のいずれでもよい。

また、上記実施形態では、第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２とは、リードフレーム１２の１枚に相当する１ピッチ送り分の空きスペースをあけた配置としているが、本願発明は第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニットが別個のリードフレーム１２について切断操作を行う配置の切断装置に適用できるものであり、第１の切断ユニット３０と第２の切断ユニット３２との中間に２ピッチ送り分以上のピッチ送りスペースをあけて配置する場合にも適用可能である。

また、本願発明に係るエッチングリードフレームの切断装置によれば、１つの帯状体に複数種のリードフレームが混在して形成されているような場合であっても適用可能である。すなわち、帯状体に形成されるリードフレームの単位長があまり大きく異ならない場合で、アライメントマークを検出するスイープ操作の動作範囲で吸収できる場合には、リードフレームのパターン等に影響されることなく正確にリードフレームを切り出しすることができる。

本発明に係るエッチングリードフレームの切断装置の概略構成を示す説明図である。 切断ユニットの位置合わせ機構の構成例を示す説明図である。 帯状体に形成されるアライメントマークと切断ユニットの配置位置関係を示す説明図である。 本発明に係るエッチングリードフレームの切断装置を用いてリードフレームを１枚ずつ切り出しする方法を示す説明図である。 従来のエッチングリードフレームの切断装置の概略構成を示す説明図である。 帯状体からリードフレームを１枚ずつ切り出しする従来方法を示す説明図である。

符号の説明

１０ 帯状体
１２ リードフレーム
１３、１４ ブリッジ部
１５ 第１のアライメントマーク
１６ 第２のアライメントマーク
２０ 送りローラ
２２ テンションローラ
３０ 第１の切断ユニット
３０ａ 本体
３２ 第２の切断ユニット
３４ 第１の位置決めセンサ
３６ 第２の位置決めセンサ
５０ 位置合わせ機構
５５ 角度調節機構
５７ 調節ねじ
５８ ダイヤルゲージ
６０ 制御部

Claims (5)

1. 金属帯状体にエッチング加工を施してリードフレームが連設された帯状体を形成する工程と、前記帯状体からリードフレームを個片に切り出しする工程を有するエッチングリードフレームの製造方法において、
   前記リードフレームを切り出しする工程に、前記リードフレームの送り方向の前端側と後端側における前記帯状体との連結部を各々切断する第１の切断ユニットと第２の切断ユニットとを、中間に前記帯状体の１または２以上のピッチ送り分の空きスペースをあけて配置するとともに、前記第１と第２の切断ユニットの一方の切断ユニットについては、前記帯状体の搬送方向に位置固定し、他方の切断ユニットについては前記帯状体の搬送方向に可動に設け、
   前記帯状体をピッチ送りする際に、前記一方の切断ユニットによる前記リードフレームの切断位置に位置合わせするよう送り制御して、当該切断ユニットにより前記リードフレームと帯状体との一方の連結部を切断し、
   当該帯状体が停止した状態で、前記他方の切断ユニットによる切断位置を検知する操作を行い、当該切断ユニットを切断位置に位置決めして、前記リードフレームと帯状体との他方の連結部を切断することを特徴とするエッチングリードフレームの製造方法。
2. 前記リードフレームの送り方向の前端側と後端側に、第１のアライメントマークと第２のアライメントマークとを各々設け、
   前記第１の切断ユニットと前記第２の切断ユニットとに、前記第１のアライメントマークと前記第２のアライメントマークを各々検知する第１の位置決めセンサと第２の位置決めセンサとを設け、
   前記帯状体をピッチ送りする際に、前記第１と第２の位置決めセンサの一方により前記第１と第２のアライメントマークの一方を検知した時点で帯状体の送り操作を停止させ、前記第１と第２の切断ユニットの一方により前記リードフレームと帯状体との一方の連結部を切断し、
   当該帯状体が停止した状態で、前記他方の位置決めセンサにより前記他方のアライメントマークを検知する操作を行い、前記他方の切断ユニットにより前記リードフレームと帯状体との他方の連結部を切断することを特徴とする請求項１記載のリードフレームの製造方法。
3. 請求項１記載のリードフレームの製造方法において、前記帯状体から個片にリードフレームを切り出しする切断装置であって、
   前記リードフレームの送り方向の前端側の連結部を切断する前記第１の切断ユニットおよび当該第１の切断ユニットによる切断位置を検知する第１の位置決めセンサと、
   前記リードフレームの送り方向の後端側の連結部を切断する前記第２の切断ユニットおよび当該第２の切断ユニットによる切断位置を検知する第２の位置決めセンサと、
   前記第１と第２の位置決めセンサの一方により前記第１と第２の切断ユニットの一方による切断位置を検知した時点で前記帯状体の送り操作を停止させ、一方の切断ユニットを駆動して前記一方の連結部を切断し、前記第１と第２の位置決めセンサの他方をスイープ移動させて前記第１と第２の切断ユニットの他方による切断位置を検知し、当該検知位置に他方の切断ユニットを位置合わせするとともに、他方の切断ユニットを駆動して前記他方の連結部を切断すべく制御する制御部とを備えていることを特徴とするエッチングリードフレームの切断装置。
4. 前記第１の位置決めセンサは、前記リードフレームの送り方向の前端側に設けられた第１のアライメントマークを検知して前記第１の切断ユニットの切断位置を規定すべく設けられ、
   前記第２の位置決めセンサは、前記リードフレームの送り方向の後端側に設けられた第２のアライメントマークを検知して前記第２の切断ユニットの切断位置を規定すべく設けられていることを特徴とする請求項３記載のエッチングリードフレームの切断装置。
5. 前記第１と第２の切断ユニットには、切断位置を前記帯状体に形成されたリードフレームとθ方向で位置合わせするための角度調節機構が設けられていることを特徴とする請求項３または４記載のエッチングリードフレームの切断装置。
   

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