JP4563356B2 - 半導体製造装置 - Google Patents
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Description
また、本発明は、上記半導体製造装置における表示方法において、前記表示部には、前記カセットの溝に対応して複数のウエハ表示エリアが設けられ、前記ウエハ表示エリアは、前記カセット内の溝にウエハが存在するかどうかを表示することを特徴とする。
また、本発明は、上記半導体製造装置における表示方法において、ウエハのプロセスが処理済又は未処理かによってウエハの表示色を違えることを特徴とする。
また、本発明は、上記半導体製造装置における表示方法において、ウエハのプロセス処理結果が、正常又は異常かによってウエハの表示色を違えることを特徴とする。
また、本発明によれば、表示部に、カセットの溝に対応して複数のウエハ表示エリアが設けられ、ウエハ表示エリアは、カセット内の溝にウエハが存在するかどうかを表示する上記半導体製造装置としているので、カセットの溝にウエハがあるかどうかを検出でき、ウエハの状況を管理することができる効果がある。
図1は、本発明の実施の形態に係る半導体製造装置である枚葉式CVD装置の概略構成説明図である。本実施の形態の枚葉式CVD装置は、モニタ画面にカセット室内のウエハカセットの有無とウエハの搭載状況を表示し、更に、個々のウエハについて処理/未処理だけでなく、処理が正常に終了したか否かを色によって区別して表示するようにしたものである。
Claims (6)
- 少なくともウエハの処理を行うプロセスチャンバと、カセット内のウエハを前記プロセスチャンバへ搬送するための搬送室とを備える半導体製造装置の表示部に、前記カセットの有無と前記カセット内のウエハの搭載状況を表示する半導体製造装置における表示方法であって、
前記表示部には、前記カセット内のウエハの搭載状況を表示するウエハ表示エリアが設けられ、前記ウエハ表示エリアは、所定の位置にウエハが存在するかどうかを表示することを特徴とする半導体製造装置における表示方法。 - 前記表示部には、前記カセットの溝に対応して複数のウエハ表示エリアが設けられ、前記ウエハ表示エリアは、前記カセット内の溝にウエハが存在するかどうかを表示することを特徴とする請求項1記載の半導体製造装置における表示方法。
- 前記ウエハのプロセスが処理済又は未処理かによってウエハの表示色を違えることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体製造装置における表示方法。
- 前記ウエハのプロセス処理結果が、正常又は異常かによってウエハの表示色を違えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載の半導体製造装置における表示方法。
- 少なくともウエハの処理を行うプロセスチャンバと、カセット内のウエハを前記プロセスチャンバへ搬送するための搬送室とを備える半導体製造装置の表示部に、前記カセットの有無と前記カセット内のウエハの搭載状況を表示する半導体製造装置であって、
前記表示部には、前記カセット内のウエハの搭載状況を表示するウエハ表示エリアが設けられ、前記ウエハ表示エリアは、所定の位置にウエハが存在するかどうかを表示することを特徴とする半導体製造装置。 - 前記表示部には、前記カセットの溝に対応して複数のウエハ表示エリアが設けられ、前記ウエハ表示エリアは、前記カセット内の溝にウエハが存在するかどうかを表示することを特徴とする請求項5記載の半導体製造装置。
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