JP4412012B2 - 積層セラミック電子部品用の誘電体ペーストおよび積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、積層セラミック電子部品用の誘電体ペーストおよび積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法に関するものであり、さらに詳細には、スペーサ層に隣接する層に含まれているバインダを溶解することがなく、積層セラミック電子部品に不具合が発生することを効果的に防止することができる積層セラミック電子部品のスペーサ層用の誘電体ペーストおよび積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法に関するものである。

近年、各種電子機器の小型化にともなって、電子機器に実装される電子部品の小型化および高性能化が要求されるようになっており、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品においても、積層数の増加、積層単位の薄層化が強く要求されている。

積層セラミックコンデンサによって代表される積層セラミック電子部品を製造するには、まず、セラミック粉末と、アクリル樹脂、ブチラール樹脂などのバインダと、フタル酸エステル類、グリコール類、アジピン酸、燐酸エステル類などの可塑剤と、トルエン、メチルエチルケトン、アセトンなどの有機溶媒を混合分散して、セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製する。

次いで、誘電体ペーストを、エクストルージョンコーターやグラビアコーターなどを用いて、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリプロピレン（ＰＰ）などによって形成された支持シート上に、塗布し、加熱して、塗膜を乾燥させ、セラミックグリーンシートを作製する。

さらに、ニッケルなどの導電体粉末とバインダを、ターピオネールなどの溶剤に溶解して、導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを、スクリーン印刷機などによって、所定のパターンで、印刷し、乾燥させて、電極層を形成する。

電極層が形成されると、電極層が形成されたセラミックグリーンシートを支持シートから剥離して、セラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを形成し、所望の数の積層体ユニットを積層して、加圧し、得られた積層体を、チップ状に切断して、グリーンチップを作製する。

最後に、グリーンチップからバインダを除去して、グリーンチップを焼成し、外部電極を形成することによって、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品が製造される。

電子部品の小型化および高性能化の要請によって、現在では、積層セラミックコンデンサの層間厚さを決定するセラミックグリーンシートの厚さを３μｍあるいは２μｍ以下にすることが要求され、３００以上のセラミックグリーンシートと電極層を含む積層体ユニットを積層することが要求されている。

しかしながら、従来の積層セラミックコンデンサにおいては、セラミックグリーンシートの表面に、所定のパターンで、電極層が形成されるため、各セラミックグリーンシートの表面の電極層が形成された領域と、電極層が形成されていない領域との間に、段差が形成され、したがって、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層することが要求される場合には、多数の積層体ユニットに含まれたセラミックグリーンシート間を、所望のように、接着させることが困難になるとともに、多数の積層体ユニットが積層された積層体が変形を起こしたり、デラミネーションが発生するという問題があった。

かかる問題を解決するため、誘電体ペーストを、電極層と反対のパターンで、セラミックグリーンシートの表面に印刷し、スペーサ層を、隣り合った電極層間に形成して、各セラミックグリーンシートの表面における段差を解消させる方法が提案されている。

このように、隣り合った電極層間のセラミックグリーンシートの表面に、印刷によって、スペーサ層を形成して、積層体ユニットを作製した場合には、各積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面における段差が解消され、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む数多くの積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製する場合にも、所望のように、多数の積層体ユニットに含まれたセラミックグリーンシートを接着させることが可能になるとともに、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む数多くの積層体ユニットが積層されて、形成された積層体が変形を起こすことを防止することができるという利点がある。

しかしながら、セラミックグリーンシート用のバインダとして、広く用いられているアクリル系樹脂をバインダとして用いたセラミックグリーンシート上に、スペーサ層を形成するための誘電体ペーストの溶剤として、最も一般的に用いられているターピオネールを溶剤として用いて、調製された誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合には、誘電体ペースト中のターピオネールによって、セラミックグリーンシートのバインダが溶解されて、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製された積層セラミックコンデンサ中に、ボイドが発生するという問題があった。さらに、スペーサ層の表面にひびや皺が生じると、その部分は、欠落しやすいため、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサの内部欠陥の原因になり、スペーサ層が欠落した部分にボイドが生じるという問題もあった。

かかる問題を解決するため、溶剤として、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤を用いることが提案されているが、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤は、誘電体ペーストに用いられるバインダ成分も溶解しないため、従来用いられているターピオネールなどの溶剤を、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤によって完全に置換することができず、したがって、誘電体ペースト中の溶剤が、依然として、セラミックグリーンシートのバインダであるアクリル系樹脂に対して、ある程度の溶解性を有しているため、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合には、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを防止することが困難であり、また、ケロシン、デカンなどの炭素水素系溶剤は、ターピオネールに比して、粘度が低いため、誘電体ペーストの粘度制御が困難になるという問題もあった。

また、特開平５−３２５６３３公報、特開平７−２１８３３号公報および特開平７−２１８３２号公報などは、ターピオネールに代えて、ジヒドロターピオネールなどの水素添加ターピオネールや、ジヒドロターピオネールアセテートなどのテルペン系溶剤を提案しているが、ジヒドロターピオネールなどの水素添加ターピオネールや、ジヒドロターピオネールアセテートなどのテルペン系溶剤は、依然として、セラミックグリーンシートのバインダであるアクリル系樹脂に対して、ある程度の溶解性を有しているため、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合には、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを防止することが困難であるという問題があった。

したがって、本発明は、積層セラミック電子部品に不具合が発生することを効果的に防止することができ、所望のように、スペーサ層を形成することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法を提供することを目的とするものである。

本発明者は、本発明のかかる目的を達成するため、鋭意研究を重ねた結果、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを、バインダとして用い、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を用いて、誘電体ペーストを調製した場合には、印刷に適した粘度を有する誘電体ペーストを調製することができるだけでなく、所望のように、誘電体ペーストのバインダを溶剤に溶解させることができ、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成しても、誘電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されることがなく、したがって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することができ、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品にボイドが発生することを効果的に防止し得ることを見出した。

したがって、本発明の前記目的は、バインダとして、アクリル系樹脂を含むセラミックグリーンシート上に、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを、所定のパターンで、スクリーン印刷して、スペーサ層を形成することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法によって達成される。

本発明において、誘電体ペーストに、バインダとして含まれるエチルセルロースの見掛けの重量平均分子量は、重量平均分子量の異なる二種以上のエチルセルロースを混合することによって、エチルセルロースの見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万になるように、調整しても、あるいは、重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを用いて、エチルセルロースの重量平均分子量が１１万ないし１９万になるように、調整してもよい。重量平均分子量の異なる二種以上のエチルセルロースを混合することによって、エチルセルロースの見掛けの重量平均分子量を調整する場合には、たとえば、重量平均分子量が７．５万のエチルセルロースと、重量平均分子量が１３万のエチルセルロースとを混合し、あるいは、重量平均分子量が１３万のエチルセルロースと、重量平均分子量が２３万のエチルセルロースとを混合して、エチルセルロースの見掛けの重量平均分子量が１３万ないし１９万になるように、調整することができる。

本発明によれば、印刷に適した粘度を有する誘電体ペーストを調製することができ、所望のように、スペーサ層を形成することが可能になるだけでなく、バインダとして、アクリル系樹脂を含むきわめて薄いセラミックグリーンシート上に、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成しても、誘電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されることがなく、したがって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することが可能になるから、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品にボイドが発生することを効果的に防止することが可能になる。

本発明において、好ましくは、誘電体ペーストが、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１．５万ないし１８万のエチルセルロースを含んでいる。

ここに、エチルセルロースの見掛けの重量平均分子量は、重量平均分子量の異なる二種以上のエチルセルロースを混合することによって、エチルセルロースの見掛けの重量平均分子量が１１．５万ないし１８万になるように、調整しても、あるいは、重量平均分子量が１１．５万ないし１８万のエチルセルロースを用いて、エチルセルロースの重量平均分子量が１１．５万ないし１８万になるように、調整してもよい。

本発明において、バインダとして、セラミックグリーンシートに含まれるアクリル系樹脂の重量平均分子量が２５万以上、５０万以下であることが好ましく、さらに好ましくは、アクリル系樹脂の重量平均分子量が４５万以上、５０万以下である。

本発明において、バインダとして、セラミックグリーンシートに含まれるアクリル系樹脂の酸価が５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましく、酸価が５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下のアクリル系樹脂を、セラミックグリーンシートのバインダとして用いることによって、所望の粘度を有するセラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを調製することができ、誘電体ペーストの分散性を向上させることができる。

本発明の好ましい実施態様においては、前記スペーサ層の形成に先立って、あるいは、前記スペーサ層を形成し、乾燥した後に、さらに、前記セラミックグリーンシート上に、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを、前記スペーサ層と相補的なパターンで、印刷して、電極層が形成される。

さらに、電極層を形成するための導電体ペーストに含まれる溶剤として、これまで用いられて来たターピオネールとケロシンの混合溶剤、ジヒドロターピオネール、ターピオネールなどは、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれているアクリル系樹脂を溶解するため、アクリル系樹脂をバインダとして用いたセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成したときに、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解され、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生するという問題があったが、本発明の好ましい実施態様によれば、電極層を形成するために用いる導電体ペーストは、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでおり、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれているアクリル系樹脂をほとんど溶解しないため、バインダとして、アクリル系樹脂を含むきわめて薄いセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解されることがなく、したがって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解することがないから、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを確実に防止することが可能になる。

さらに、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、セラミックグリーンシート上に、スペーサ層と相補的なパターンで、導電体ペーストを印刷して、所望のように、電極層を形成することが可能になる。

また、きわめて薄いセラミックグリーンシートに、内部電極用の導電体ペーストを印刷して、電極層を形成し、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合には、導電体ペースト中の溶剤およびスペーサ層用の誘電体ペースト中の溶剤が、セラミックグリーンシートのバインダ成分を溶解または膨潤させ、その一方で、セラミックグリーンシート中に、導電体ペーストおよび誘電体ペーストが染み込むという不具合があり、ショート不良の原因になるという問題があるため、電極層およびスペーサ層を、別の支持シート上に形成し、乾燥後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着することが望ましいことが、本発明者らの研究によって判明しているが、このように、電極層およびスペーサ層を、別の支持シート上に形成する場合には、電極層およびスペーサ層から、支持シートを剥離しやすくするため、支持シートの表面に、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成し、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成することが好ましい。このように、セラミックグリーンシートと同様な組成を有する剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合にも、剥離層が、ブチラール樹脂をバインダとして含み、誘電体ペーストが、ターピオネールを溶剤として含んでいるときは、剥離層に含まれたバインダが、誘電体ペーストに含まれた溶剤によって、溶解され、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製された積層セラミックコンデンサ中に、ボイドが発生するという問題があった。さらに、スペーサ層の表面にひびや皺が生じると、その部分は、欠落しやすいため、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサの内部欠陥の原因になり、スペーサ層が欠落した部分にボイドが生じるという問題があった。

しかしながら、本発明によれば、スペーサ層用の誘電体ペーストは、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでおり、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、バインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することができ、積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品に不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明によれば、積層セラミック電子部品に不具合が発生することを効果的に防止することができ、所望のように、スペーサ層を形成することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法を提供することが可能になる。

本発明の好ましい実施態様においては、アクリル系樹脂をバインダとして含む誘電体ペーストが調製され、エクストルージョンコーターやワイヤーバーコーターなどを用いて、長尺状の支持シート上に塗布され、塗膜が形成される。

アクリル系樹脂の重量平均分子量は、２５万以上、５０万以下であることが好ましく、さらに好ましくは、４５万以上、５０万以下である。

また、アクリル系樹脂の酸価が５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることが好ましい。

誘電体ペーストを塗布する支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。

次いで、塗膜が、たとえば、約５０℃ないし約１００℃の温度で、約１分ないし約２０分にわたって、乾燥され、支持シート上に、セラミックグリーンシートが形成される。

乾燥後におけるセラミックグリーンシートの厚さは３μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは、１．５μｍ以下である。

次いで、長尺状の支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシート上に、内部電極用の導電体ペーストが、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所定のパターンで印刷され、乾燥されて、電極層が形成される。

電極層は、約０．１μｍないし約５μｍの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約０．１μｍないし約１．５μｍである。

本実施態様において、導電体ペーストは、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでいる。

イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解され、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解することを効果的に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを、効果的に防止することが可能になる。

さらに、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所望のように、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層を形成することが可能になる。

本発明においては、電極層の形成に先立って、あるいは、電極層を形成して、乾燥した後に、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストが、セラミックグリーンシートの表面に、電極層と相補的なパターンで、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、印刷されて、スペーサ層が形成される。

このように、セラミックグリーンシートの表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成することによって、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーションの発生を効果的に防止することが可能になる。

また、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、スペーサ層を形成するための誘電体ペーストに含まれる溶剤によって、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することが可能になる。

さらに、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所望のように、セラミックグリーンシート上に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成することが可能になる。

好ましくは、誘電体ペーストが、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１．５万ないし１８万のエチルセルロースを含んでいる。

次いで、電極層あるいは電極層およびスペーサ層が乾燥されて、支持シート上に、セラミックグリーンシートと、電極層あるいは電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットが作製される。

積層セラミックコンデンサを作製するにあたっては、積層体ユニットのセラミックグリーンシートから、支持シートが剥離され、所定のサイズに裁断されて、所定の数の積層体ユニットが、積層セラミックコンデンサの外層上に積層され、さらに、積層体ユニット上に、他方の外層が積層され、得られた積層体が、プレス成形され、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。

こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。

次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。

本実施態様によれば、セラミックグリーンシート上に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層が形成されるから、電極層の表面と、電極層が形成されていないセラミックグリーンシートの表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、したがって、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーションの発生を効果的に防止することが可能になる。

また、本実施態様によれば、バインダとして、アクリル系樹脂を含むセラミックグリーンシート上に、バインダとして、重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを、電極層と相補的なパターンで、印刷して、スペーサ層を形成するように構成されており、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックグリーンシート上に、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合においても、誘電体ペーストに含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解され、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じることを確実に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサにボイドが発生することを確実に防止することが可能になるとともに、スペーサ層の表面に生成されたひびや皺の部分が、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、欠落して、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサに内部欠陥を生じさせることを確実に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、バインダとして、アクリル系樹脂を含むセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを、所定のパターンで、印刷して、電極層を形成するように構成されており、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、きわめて薄いセラミックグリーンシート上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合においても、導電体ペースト中に含まれた溶剤によって、セラミックグリーンシートに含まれているバインダが溶解され、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解することを効果的に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートの厚さがきわめて薄い場合においても、セラミックグリーンシートにピンホールやクラックが発生することを効果的に防止して、積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサに、ショート不良が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の別の好ましい実施態様においては、セラミックグリーンシートを形成するために用いた長尺状の支持シートとは別の第二の支持シートが用意され、長尺状の第二の支持シートの表面に、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料と実質的に同一組成の誘電体材料の粒子を含み、セラミックグリーンシートに含まれているバインダと同じバインダを含む誘電体ペーストが、ワイヤーバーコーターなどと用いて、塗布され、乾燥されて、剥離層が形成される。

第二の支持シートとしては、たとえば、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが用いられ、剥離性を改善するために、その表面に、シリコン樹脂、アルキド樹脂などがコーティングされる。

剥離層の厚さは、電極層の厚さ以下であることが好ましく、好ましくは、電極層の厚さの約６０％以下、さらに好ましくは、電極層の厚さの約３０％以下である。

剥離層が乾燥された後、剥離層の表面上に、内部電極用の導電体ペーストが、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所定のパターンで印刷され、乾燥されて、電極層が形成される。

電極層は、約０．１μｍないし約５μｍの厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約０．１μｍないし約１．５μｍである。

本実施態様において、導電体ペーストは、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含んでいる。

イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層と電極層との界面に空隙が生じたり、あるいは、電極層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することが可能になる。

さらに、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所望のように、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、電極層を形成することが可能になる。

本発明において、電極層の形成に先立って、あるいは、電極層を形成して、乾燥した後に、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストが、剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、印刷されて、スペーサ層が形成される。

このように、剥離層の表面に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成することによって、電極層の表面と、電極層が形成されていない剥離層の表面との間に、段差が形成されることを防止することができ、それぞれが、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサなどの積層電子部品が変形を起こすことを効果的に防止することが可能になるとともに、デラミネーションの発生を効果的に防止することが可能になる。

また、上述のように、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートにバインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することが可能になる。

さらに、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストは、印刷に適した粘度を有しているから、スクリーン印刷機やグラビア印刷機などを用いて、所望のように、剥離層上に、電極層と相補的なパターンで、スペーサ層を形成することが可能になる。

さらに、長尺状の第三の支持シートが用意され、接着剤溶液が、バーコータ、エクストルージョンコータ、リバースコータ、ディップコーター、キスコーターなどによって、第三の支持シートの表面に塗布され、乾燥されて、接着層が形成される。

好ましくは、接着剤溶液は、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストに含まれるバインダと同系のバインダと、セラミックグリーンシートに含まれている誘電体材料の粒子と実質的に同一の組成を有し、その粒径が、接着層の厚さ以下の誘電体材料の粒子と、可塑剤と、帯電防止剤と、剥離剤とを含んでいる。

接着層は、約０．３μｍ以下の厚さに形成されることが好ましく、より好ましくは、約０．０２μｍないし約０．３μｍ、さらに好ましくは、約０．０２μｍないし約０．２μｍの厚さを有するように形成される。

こうして、長尺状の第三の支持シート上に形成された接着層は、長尺状の第二の支持シート上に形成された電極層もしくは電極層およびスペーサ層または支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートの表面に接着され、接着後、接着層から第三の支持シートが剥離されて、接着層が転写される。

接着層が、電極層あるいは電極層およびスペーサ層の表面に転写された場合には、長尺状の支持シートの表面に形成されたセラミックグリーンシートが、接着層の表面に接着され、接着後に、セラミックグリーンシートから第一の支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが接着層の表面に転写され、セラミックグリーンシートおよび電極層を含む積層体ユニットが作成される。

こうして得られた積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、電極層あるいは電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写したのと同様にして、接着層が転写され、その表面に、接着層が転写された積層体ユニットが、所定のサイズに裁断される。

同様にして、その表面に、接着層が転写された所定の数の積層体ユニットが作製され、所定の数の積層体ユニットが積層されて積層体ブロックが作製される。

積層体ブロックを作製するにあたっては、まず、積層体ユニットが、ポリエチレンテレフタレートなどによって形成された支持体上に、積層体ユニットの表面に転写された接着層が支持体に接するように位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、積層体ユニットが、接着層を介して、支持体上に接着される。

その後、第二の支持シートが剥離層から剥離され、支持体上に、積層体ユニットが積層される。

次いで、支持体上に積層された積層体ユニットの剥離層の表面に、表面に形成された接着層が接するように、新たな積層体ユニットが位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、支持体上に積層された積層体ユニットの剥離層に、接着層を介して、新たな積層体ユニットが積層され、その後に、新たな積層体ユニットの剥離層から、第二の支持シートが剥離される。

同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ブロックが作製される。

一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、第二の支持シート上に形成された電極層あるいは電極層およびスペーサ層が、接着層の表面に接着され、接着後に、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層あるいは電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が接着層の表面に転写され、セラミックグリーンシートおよび電極層を含む積層体ユニットが作成される。

こうして得られた積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、電極層あるいは電極層およびスペーサ層の表面に、接着層を転写したのと同様にして、接着層が転写され、その表面に、接着層が転写された積層体ユニットが、所定のサイズに裁断される。

同様にして、その表面に、接着層が転写された所定の数の積層体ユニットが作製され、所定の数の積層体ユニットが積層されて積層体ブロックが作製される。

積層体ブロックを作製するにあたっては、まず、積層体ユニットが、ポリエチレンテレフタレートなどによって形成された支持体上に、積層体ユニットの表面に転写された接着層が支持体に接するように位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、積層体ユニットが、接着層を介して、支持体上に接着される。

その後、支持シートがセラミックグリーンシートから剥離され、支持体上に、積層体ユニットが積層される。

次いで、支持体上に積層された積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、表面に形成された接着層が接するように、新たな積層体ユニットが位置決めされ、プレス機などによって、加圧されて、支持体上に積層された積層体ユニットのセラミックグリーンシートに、接着層を介して、新たな積層体ユニットが積層され、その後に、新たな積層体ユニットのセラミックから、支持シートが剥離される。

同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ブロックが作製される。

こうして作製された所定の数の積層体ユニットを含む積層体ブロックは、積層セラミックコンデンサの外層上に積層され、さらに、積層体ブロック上に、他方の外層が積層され、得られた積層体が、プレス成形され、所定のサイズに裁断されて、多数のセラミックグリーンチップが作製される。

こうして作製されたセラミックグリーンチップは、還元ガス雰囲気下に置かれて、バインダが除去され、さらに、焼成される。

次いで、焼成されたセラミックグリーンチップに、必要な外部電極などが取り付けられて、積層セラミックコンデンサが作製される。

本実施態様によれば、第二の支持シート上に形成された電極層が乾燥した後に、接着層を介して、セラミックグリーンシートの表面に接着するように構成されているから、セラミックグリーンシートの表面に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合のように、導電体ペーストがセラミックグリーンシート中に染み込むことがなく、所望のように、セラミックグリーンシートの表面に、電極層を形成することが可能になる。

また、本実施態様によれば、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを用いて、スペーサ層が形成され、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、バインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解し、剥離層とスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じることを効果的に防止することができ、したがって、セラミックグリーンシートと電極層を含む多数の積層体ユニットを積層体ユニットを積層して、作製された積層セラミックコンデンサにボイドが発生することを確実に防止することが可能になるとともに、スペーサ層の表面に生成されたひびや皺の部分が、積層体ユニットを積層して、積層体を作製する工程で、欠落して、積層体内に異物として混入し、積層セラミックコンデンサに内部欠陥を生じさせることを確実に防止することが可能になる。

さらに、本実施態様によれば、重量平均分子量ＭＷ_Ｌのエチルセルロースと、重量平均分子量ＭＷ_Ｈのエチルセルロースとを、Ｘ：（１−Ｘ）の重量比で含むバインダ（ここに、ＭＷ_Ｌ、ＭＷ_ＨおよびＸは、Ｘ＊ＭＷ_Ｌ＋（１−Ｘ）＊ＭＷ_Ｈが１５．５万ないし２０．５万となるように選ばれる。）と、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む導電体ペーストを用いて、電極層が形成され、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる溶剤は、セラミックグリーンシートに、バインダとして含まれるアクリル系樹脂をほとんど溶解しないから、セラミックグリーンシートと同じバインダを含む剥離層を形成し、剥離層上に、導電体ペーストを印刷して、電極層を形成する場合にも、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、剥離層にピンホールやクラックが発生することを効果的に防止することができ、積層セラミックコンデンサに不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

また、本実施態様によれば、剥離層が膨潤し、あるいは、部分的に溶解することによって、剥離層と電極層およびスペーサ層との間に剥離強度あるいは剥離層と第二の支持シートとの間の剥離強度が変化し、積層体ユニットを作成する際に、不具合が生じることを効果的に防止することが可能になる。

本発明の他の実施態様においては、接着層が、電極層あるいは電極層およびスペーサ層の表面に転写された場合に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層または電極層およびスペーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなく、接着層に、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層または電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層が接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、長尺状の第二の支持シート上に、２つの積層体ユニットが積層される。

次いで、２つの積層体ユニットの表面に位置するセラミックグリーンシート上に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、さらに、接着層に、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層または電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層が接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離される。

同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックグリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層または電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層の表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなく、接着層に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層または電極層およびスペーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートが接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、長尺状の支持シート上に、２つの積層体ユニットが積層される。

次いで、２つの積層体ユニットの表面に位置する剥離層上に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、さらに、接着層に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層または電極層およびスペーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートが接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離される。

同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

こうして作製された積層体ブロックを用いて、前記実施態様と同様にして、積層セラミックコンデンサが作製される。

本実施態様によれば、長尺状の第二の支持シートあるいは支持シート上に、積層体ユニットを次々に積層して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニットを１つづつ、積層して、積層体ブロックを作製する場合に比して、積層体ブロックの製造効率を大幅に向上させることが可能になる。

本発明のさらに他の実施態様においては、接着層が、電極層あるいは電極層およびスペーサ層の表面に転写された場合に、長尺状の第二の支持シート上に、剥離層、電極層または電極層およびスペーサ層、接着層ならびにセラミックグリーンシートが積層されて、形成された積層体ユニットのセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなく、接着層に、第二の支持シート上に形成された電極層あるいは電極層およびスペーサ層が接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層あるいは電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

次いで、接着層の表面に転写された剥離層の表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートが、接着層に接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが、接着層の表面に転写される。

さらに、接着層の表面に転写されたセラミックグリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、第二の支持シートシート上に形成された電極層あるいは電極層およびスペーサ層が、接着層に接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層あるいは電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置するセラミックグリーンシートの表面に、接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

一方、接着層が、セラミックグリーンシートの表面に転写された場合には、長尺状の支持シート上に、セラミックグリーンシート、接着層、電極層または電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が積層されて、形成された積層体ユニットの剥離層の表面に、接着層が転写された後、積層体ユニットが裁断されることなく、接着層に、支持シート上に形成されたセラミックグリーンシートが接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが、接着層の表面に転写される。

次いで、接着層の表面に転写されたセラミックグリーンシートの表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、第二の支持シート上に形成された電極層または電極層およびスペーサ層が、接着層に接着され、剥離層から第二の支持シートが剥離されて、電極層あるいは電極層およびスペーサ層ならびに剥離層が、接着層の表面に転写される。

さらに、接着層の表面に転写された剥離層の表面に、第三の支持シート上に形成された接着層が転写され、支持シートシート上に形成されたセラミックグリーンシートが、接着層に接着され、セラミックグリーンシートから支持シートが剥離されて、セラミックグリーンシートが、接着層の表面に転写される。

同様のプロセスを繰り返して、所定の数の積層体ユニットが積層された積層体ユニットセットが作製され、さらに、積層体ユニットセットの表面に位置する剥離層の表面に、接着層が転写された後、所定のサイズに裁断されて、積層体ブロックが作製される。

こうして作製された積層体ブロックを用いて、前記実施態様と同様にして、積層セラミックコンデンサが作製される。

本実施態様によれば、長尺状の第二の支持シートあるいは支持シート上に形成された積層体ユニットの表面上に、接着層の転写、電極層または電極層およびスペーサ層ならびに剥離層の転写、接着層の転写ならびにセラミックグリーンシートの転写を繰り返して、積層体ユニットを次々に積層して、所定の数の積層体ユニットを含む積層体ユニットセットを作製し、その後に、積層体ユニットセットを所定のサイズに裁断して、積層体ブロックを作成しているから、所定のサイズに裁断された積層体ユニットを１つづつ、積層して、積層体ブロックを作製する場合に比して、積層体ブロックの製造効率を大幅に向上させることが可能になる。

以下、本発明の効果をより明瞭なものとするため、実施例および比較例を掲げる。

実施例１
セラミックグリーンシート用の誘電体ペーストの調製
１．４８重量部の（ＢａＣａ）ＳｉＯ_３と、１．０１重量部のＹ_２Ｏ_３と、０．７２重量部のＭｇＣＯ_３と、０．１３重量部のＭｎＯと、０．０４５重量部のＶ_２Ｏ_５を混合して、添加物粉末を調製した。

こうして調製した添加物粉末１００重量部に対して、１５９．３重量部の酢酸エチルと０．９３重量部のポリエチレングリコール系分散剤を混合して、スラリーを調製し、スラリー中の添加物を粉砕した。

スラリー中の添加物の粉砕にあたっては、１１．６５ｇのスラリーと、４５０ｇのＺｒＯ_２ビーズ（直径２ｍｍ）を、２５０ｃｃのポリエチレン容器内に充填し、周速４５ｍ／分で、ポリエチレン容器を回転させて、１６時間にわたって、スラリー中の添加物を粉砕して、添加物スラリーを調製した。

粉砕後の添加物のメディアン径は０．１μｍであった。

次いで、１５重量部の酸価５ｍｇＫＯＨ／ｇのメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマー（共重合比８２：１８、重量平均分子量４５万、Ｔｇ：７０℃）を、５０℃で、８５重量部の酢酸エチルに溶解して、有機ビヒクルの８％溶液を調製し、さらに、以下の組成を有するスラリーを、５００ｃｃのポリエチレン容器を用いて、２０時間にわたって、混合し、誘電体ペーストを調製した。混合にあたって、ポリエチレン容器内に、３３．４１ｇのスラリーと、９００ｇのＺｒＯ_２ビーズ（直径２ｍｍ）を充填し、周速４５ｍ／分で、ポリエチレン容器を回転させた。

ＢａＴｉＯ_３粉末（堺化学工業株式会社製：商品名「ＢＴ−０２」：粒径０．２μｍ）
１００重量部
添加物スラリー １１．２重量部
酢酸エチル １６３．７６重量部
トルエン ２１．４８重量部
ポリエチレングリコール系分散剤 １．０４重量部
帯電助剤 ０．８３重量部
ジアセトンアルコール １．０４重量部
フタル酸ベンジルブチル（可塑剤） ２．６１重量部
ステアリン酸ブチル ０．５２重量部
ミネラルスピリット ６．７８重量部
有機ビヒクル ３４．７７重量部
ポリエチレングリコール系分散剤としては、ポリエチレングリコールを脂肪酸で変性した分散剤（ＨＬＢ＝５〜６）を用い、帯電助剤としては平均分子量４００のポリエチレングリコールを用いた。

セラミックグリーンシートの形成
得られた誘電体ペーストを、ダイコータを用いて、５０ｍ／分の塗布速度で、ポリエチレンテレフタレートフィルム上に塗布して、塗膜を生成し、８０℃に保持された乾燥炉中で、得られた塗膜を乾燥して、１μｍの厚さを有するセラミックグリーンシートを形成した。

スペーサ層用の誘電体ペーストの調製
１．４８重量部の（ＢａＣａ）ＳｉＯ_３と、１．０１重量部のＹ_２Ｏ_３と、０．７２重量部のＭｇＣＯ_３と、０．１３重量部のＭｎＯと、０．０４５重量部のＶ_２Ｏ_５を混合して、添加物粉末を調製した。

こうして調製した添加物粉末１００重量部に対して、１５０重量部のアセトンと、１０４．３重量部のイソボニルアセテートと、１．５重量部のポリエチレングリコール系分散剤を混合して、スラリーを調製し、アシザワ・ファインテック株式会社製粉砕機「ＬＭＺ０．６」（商品名）を用いて、スラリー中の添加物を粉砕した。

スラリー中の添加物の粉砕にあたっては、ＺｒＯ_２ビーズ（直径０．１ｍｍ）を、ベッセル内に、ベッセル容量に対して、８０％になるように充填し、周速１４ｍ／分で、ベッセルを回転させ、２リットルのスラリーを、全スラリーがベッセルに滞留する時間が５分になるまで、ベッセルとスラリータンクとの間を循環させて、スラリー中の添加物を粉砕した。

粉砕後の添加物のメディアン径は０．１μｍであった。

次いで、エバポレータを用いて、アセトンを蒸発させて、スラリーから除去し、添加物がイソボニルアセテートに分散された添加物ペーストを調製した。添加物ペースト中の不揮発成分濃度は４９．３重量％であった。

次いで、重量平均分子量７．５万のエチルセルロースと重量平均分子量１３万のエチルセルロースとを、２５：７５の容積比で含む８重量部のバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１１．６２５万のエチルセルロースを、７０℃で、９２重量部のイソボニルアセテートに溶解して、有機ビヒクルの８％溶液を調製し、さらに、以下の組成を有するスラリーを、ボールミルを用いて、１６時間わたって、分散した。分散条件は、ミル中のＺｒＯ_２（直径２．０ｍｍ）の充填量を３０容積％、ミル中のスラリー量を６０容積％とし、ボールミルの周速は４５ｍ／分とした。

添加物ペースト ８．８７重量部
ＢａＴｉＯ_３粉末（堺化学工業株式会社製：粒径０．０５μｍ）
９５．７０重量部
有機ビヒクル １０４．３６重量部
ポリエチレングリコール系分散剤 １．００重量部
フタル酸ジオクチル（可塑剤） ２．６１重量部
イミダゾリン系界面活性剤 ０．４重量部
アセトン ５７．２０重量部

次いで、エバポレータおよび加熱機構を備えた攪拌装置を用いて、こうして得られたスラリーから、アセトンを蒸発させて、混合物から除去し、誘電体ペーストを得た。

こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、ＨＡＡＫＥ株式会社製円錐円盤粘度計を用いて、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は７．９９Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は４．２４Ｐｓ・ｓであった。

電極用の導電体ペーストの調製
１．４８重量部の（ＢａＣａ）ＳｉＯ_３と、１．０１重量部のＹ_２Ｏ_３と、０．７２重量部のＭｇＣＯ_３と、０．１３重量部のＭｎＯと、０．０４５重量部のＶ_２Ｏ_５を混合して、添加物粉末を調製した。

こうして調製した添加物粉末１００重量部に対して、１５０重量部のアセトンと、１０４．３重量部のイソボニルアセテートと、１．５重量部のポリエチレングリコール系分散剤を混合して、スラリーを調製し、アシザワ・ファインテック株式会社製粉砕機「ＬＭＺ０．６」（商品名）を用いて、スラリー中の添加物を粉砕した。

スラリー中の添加物の粉砕にあたっては、ＺｒＯ_２ビーズ（直径０．１ｍｍ）を、ベッセル内に、ベッセル容量に対して、８０％になるように充填し、周速１４ｍ／分で、ベッセルを回転させ、２リットルのスラリーを、全スラリーがベッセルに滞留する時間が５分になるまで、ベッセルとスラリータンクとの間を循環させて、スラリー中の添加物を粉砕した。

粉砕後の添加物のメディアン径は０．１μｍであった。

次いで、エバポレータを用いて、アセトンを蒸発させて、スラリーから除去し、添加物がターピオネールに分散された添加物ペーストを調製した。添加物ペースト中の不揮発成分濃度は４９．３重量％であった。

次いで、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含む８重量部のバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１８万のエチルセルロースを、７０℃で、９２重量部のイソボニルアセテートに溶解して、有機ビヒクルの８％溶液を調製し、さらに、以下の組成を有するスラリーを、ボールミルを用いて、１６時間わたって、分散した。分散条件は、ミル中のＺｒＯ_２（直径２．０ｍｍ）の充填量を３０容積％、ミル中のスラリー量を６０容積％とし、ボールミルの周速は４５ｍ／分とした。

川鉄工業株式会社製のニッケル粉末（粒径０．２μｍ） １００重量部
添加物ペースト １．７７重量部
ＢａＴｉＯ_３粉末（堺化学工業株式会社製：粒径０．０５μｍ）
１９．１４重量部
有機ビヒクル ５６．２５重量部
ポリエチレングリコール系分散剤 １．１９重量部
フタル酸ジオクチル（可塑剤） ２．２５重量部
イソボニルアセテート ８３．９６重量部
アセトン ５６重量部

次いで、エバポレータおよび加熱機構を備えた攪拌装置を用いて、こうして得られたスラリーから、アセトンを蒸発させて、混合物から除去し、導電体ペーストを得た。

スペーサ層の形成
こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、所定のパターンで、セラミックグリーンシート上に、所定のパターンで、印刷し、９０℃で、５分間にわたって、乾燥させ、セラミックグリーンシート上に、スペーサ層を形成した。

さらに、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

電極層の形成および積層体ユニットの作製
さらに、導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、セラミックグリーンシート上に、スペーサ層と相補的なパターンで、印刷し、９０℃で、５分間わたり、乾燥して、１μｍの厚さを有する電極層を形成し、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に、セラミックグリーンシートと電極層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

セラミックグリーンチップの作製
上述のように、調製したセラミックグリーンシート用の誘電体ペーストを、ダイコータを用いて、ポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に塗布して、塗膜を形成し、塗膜を乾燥して、１０μｍの厚さを有するセラミックグリーンシートを形成した。

こうして作製した１０μｍの厚さを有するセラミックグリーンシートを、ポリエチレンテレフタレートフィルムから剥離して、裁断し、裁断した５枚のセラミックグリーンシートを積層して、５０μｍの厚さを有するカバー層を形成し、さらに、積層体ユニットを、ポリエチレンテレフタレートフィルムから剥離して、裁断し、裁断した５０枚の積層体ユニットを、カバー層上に積層した。

次いで、１０μｍの厚さを有するセラミックグリーンシートを、ポリエチレンテレフタレートフィルムから剥離して、裁断し、裁断した５枚のセラミックグリーンシートを、積層された積層体ユニット上に積層して、５０μｍの厚さを有する下部カバー層と、１μｍの厚さを有するセラミックグリーンシートと１μｍの厚さを有する電極層を含む５０枚の積層体ユニットが積層された１００μｍの厚さを有する有効層と、５０μｍの厚さを有する上部カバー層とが積層された積層体を作製した。

次いで、こうして得られた積層体を、７０℃の温度条件下で、１００ＭＰａの圧力を加えて、プレス成形し、ダイシング加工機によって、所定のサイズに裁断し、セラミックグリーンチップを作製した。

同様にして、合計３０個のセラミックグリーンチップを作製した。

積層セラミックコンデンササンプルの作製
こうして作製されたセラミックグリーンチップを、それぞれ、空気中において、以下の条件で処理し、バインダを除去した。

昇温速度：５０℃／時間
保持温度：２４０℃
保持時間：８時間

バインダを除去した後、セラミックグリーンチップを、それぞれ、露点２０℃に制御された窒素ガスと水素ガスとの混合ガスの雰囲気下において、以下の条件で処理し、焼成した。混合ガス中の窒素ガスおよび水素ガスの含有量は９５容積％および５容積％とした。

昇温速度：３００℃／時間
保持温度：１２００℃
保持時間：２時間
冷却速度：３００℃／時間

さらに、焼成したセラミックグリーンチップに、それぞれ、露点２０℃に制御された窒素ガスの雰囲気下において、以下の条件で、アニール処理を施した。

昇温速度：３００℃／時間
保持温度：１０００℃
保持時間：３時間
冷却速度：３００℃／時間

ボイドの観察
こうしてアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを、それぞれ、２液硬化性エポキシ樹脂に、その側面が露出するように、埋め込み、２液硬化性エポキシ樹脂を硬化させ、サンドペーパーを用いて、３．２ｍｍ×１．６ｍｍ形状のサンプルを１．６ｍｍだけ研磨し、中心部分が観察できるようにした。サンドペーパーとしては、＃４００のサンドペーパー、＃８００のサンドペーパー、＃１０００のサンドペーパーおよび＃２０００のサンドペーパーを、この順に用いた。

次いで、１μｍのダイヤモンドペーストを用いて、研磨された面を鏡面研磨処理し、光学顕微鏡によって、セラミックグリーンチップの研磨された面を、それぞれ、４００倍に拡大して、ボイドの有無を観察した。

その結果、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例２
スペーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースを用いた点を除き、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１２．８Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は６．４５Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例３
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、７５：２５の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１５．５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１５．１Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は７．９８Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例４
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１８万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１９．９Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１０．６Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

比較例１
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量７．５万のエチルセルロースと重量平均分子量１３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１０．２５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は４．６１Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は２．８９Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷したところ、誘電体ペーストの粘度が低すぎて、スペーサ層を形成することができなかった。

比較例２
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、２５：７５の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が２０．５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は２５．４Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１４．６Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができなかった。

比較例３
スペーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量２３万のエチルセルロースを用いた点を除き、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は３４．４Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１９．２Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができなかった。

比較例４
セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量が２３万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーを用いた点を除き、実施例４と同様にして、調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した
こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびと皺が観察された。

次いで、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびと皺が観察された。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのうち、１個のセラミックグリーンチップにボイドの存在が認められた。

実施例５
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は７．７６Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は４．３９Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例６
スペーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースを用いた点を除き、実施例５と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１１．４Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は６．０５Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例７
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、７５：２５の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１５．５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例５と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１４．９Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は８．７７Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例８
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１８万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例５と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１９．０Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１１．２Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

比較例５
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量７．５万のエチルセルロースと重量平均分子量１３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１０．２５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例５と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は４．３０Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は３．１０Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷したところ、誘電体ペーストの粘度が低すぎて、スペーサ層を形成することができなかった。

比較例６
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、２５：７５の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が２０．５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例５と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は２３．９Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１４．０Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができなかった。

比較例７
スペーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量２３万のエチルセルロースを用いた点を除き、実施例５と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は３２．２Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１８．８Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができなかった。

比較例８
セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量が２３万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーを用いた点を除き、実施例８と同様にして、調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した
こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびと皺が観察された。

次いで、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびと皺が観察された。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのうち、４個のセラミックグリーンチップにボイドの存在が認められた。

実施例９
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルオキシエタノールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は７．８９Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は４．５０Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した導電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルオキシエタノールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例１０
スペーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースを用いた点を除き、実施例９と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１２．４Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は７．３６Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルオキシエタノールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例１１
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、７５：２５の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１５．５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例９と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１４．９Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は８．８６Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルオキシエタノールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例１２
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１８万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例９と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１９．３Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１１．８Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ジヒドロターピニルオキシエタノールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

比較例９
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量７．５万のエチルセルロースと重量平均分子量１３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１０．２５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例９と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は４．４５Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は３．３０Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷したところ、誘電体ペーストの粘度が低すぎて、スペーサ層を形成することができなかった。

比較例１０
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、２５：７５の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が２０．５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例９と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は２４．４Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１４．５Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができなかった。

比較例１１
スペーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量２３万のエチルセルロースを用いた点を除き、実施例９と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は３３．５Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１８．３Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができなかった。

比較例１２
セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量が２３万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーを用いた点を除き、実施例１２と同様にして、調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した
こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびと皺が観察された。

次いで、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびと皺が観察された。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのうち、３個のセラミックグリーンチップにボイドの存在が認められた。

実施例１３
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は７．５１Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は４．３８Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例１４
スペーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースを用いた点を除き、実施例１３と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１０．６Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は６．３４Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例１５
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、７５：２５の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１５．５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例１３と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１４．７Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は８．５６Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例１６
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１８万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例１３と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１８．８Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１０．９Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

比較例１３
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量７．５万のエチルセルロースと重量平均分子量１３万のエチルセルロースを、５０：５０の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が１０．２５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例１３と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は４．２２Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は２．９１Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷したところ、誘電体ペーストの粘度が低すぎて、スペーサ層を形成することができなかった。

比較例１４
誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量１３万のエチルセルロースと重量平均分子量２３万のエチルセルロースを、２５：７５の容積比で含むバインダ、すなわち、見かけの重量平均分子量が２０．５万のエチルセルロースを用いた点を除いて、実施例１３と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は２４．２Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１３．７Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができなかった。

比較例１５
スペーサ層用の誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量２３万のエチルセルロースを用いた点を除き、実施例１３と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は３２．０Ｐｓ・ｓ、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は１８．７Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができなかった。

比較例１６
セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストのバインダとして、重量平均分子量が２３万のメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーを用いた点を除き、実施例１６と同様にして、調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した
こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびと皺が観察された。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルメチルエーテルを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびと皺が観察された。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのうち、３個のセラミックグリーンチップにボイドの存在が認められた。

実施例１７
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルオキシエタノールを用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は９．６７Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は５．９７Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピニルオキシエタノールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例１８
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ｄ−ジヒドロカルベオールを用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は９．９５Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は５．７８Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ｄ−ジヒドロカルベオールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例１９
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、Ｉ−メンチルアセテートを用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は９．９５Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は５．５９Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、Ｉ−メンチルアセテートを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例２０
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、Ｉ−シトロネオールを用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１０．１Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は５．９７Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、Ｉ−シトロネオールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例２１
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、Ｉ−ペリリルアルコールを用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１０．８Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は６．１５Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、Ｉ−ペリリルアルコールを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

実施例２２
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、アセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートを用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１５．１Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は８．４８Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

次いで、導電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、アセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートを用いた点を除き、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのいずれにも、ボイドの存在は認められなかった。

比較例１７
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピオネールとケロシンの混合溶剤（混合比５０：５０）を用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１０．０Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は６．４３Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびと皺が観察された。

次いで、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのうち、６個のセラミックグリーンチップにボイドの存在が認められた。

比較例１８
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ターピオネールを用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は１２．２Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は６．６２Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成した。

こうして形成したスペーサ層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、スペーサ層の表面を観察したところ、スペーサ層の表面に、ひびと皺が観察された。

次いで、実施例１と同様にして、電極用の導電体ペーストを調製し、セラミックグリーンシート上に印刷して、セラミックグリーンシートと電極層およびスペーサ層が積層された積層体ユニットを作製した。

こうして形成した電極層を、金属顕微鏡を用いて、４００倍に拡大して、電極層の表面を観察したところ、電極層の表面に、ひびや皺は観察されなかった。

さらに、実施例１と同様にして、３０個のアニール処理が施されたセラミックグリーンチップを作製し、実施例１と同様にして、ボイドの有無を観察したところ、合計３０個のセラミックグリーンチップのうち、１４個のセラミックグリーンチップにボイドの存在が認められた。

比較例１９
スペーサ層用の誘電体ペーストを調製する際の溶剤として、イソボニルアセテートに代えて、ブチルカルビトールアセテートを用いた点を除き、実施例２と同様にして、誘電体ペーストを調製し、こうして調製された誘電体ペーストの粘度を、２５℃、剪断速度８ｓｅｃ^−１で測定するとともに、２５℃、剪断速度５０ｓｅｃ^−１で測定した。

その結果、剪断速度８ｓｅｃ^−１での粘度は５．１２Ｐｓ・ｓであり、剪断速度５０ｓｅｃ^−１での粘度は３．３６Ｐｓ・ｓであった。

次いで、こうして調製した誘電体ペーストを、スクリーン印刷機を用いて、実施例１と同様にして、形成したセラミックグリーンシート上に印刷して、スペーサ層を形成したところ、誘電体ペーストの粘度が低すぎて、スペーサ層を形成することはできなかった。

実施例１ないし２２および比較例１７ないし１９から、バインダとして、酸価５ｍｇＫＯＨ／ｇのメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマー（共重合比８２：１８、重量平均分子量４５万、Ｔｇ：７０℃）を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、重量平均分子量１８万のエチルセルロースをバインダとして含み、ターピオネールとケロシンの混合溶剤（混合比５０：５０）を溶剤として含む誘電体ペースト、重量平均分子量１８万のエチルセルロースをバインダとして含み、ターピオネールを溶剤として含む誘電体ペーストあるいは重量平均分子量１８万のエチルセルロースをバインダとして含み、ブチルカルビトールアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、５０枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、スペーサ層の表面に、ひびや皺が発生し、焼成後のセラミックグリーンチップにボイドの発生が認められたのに対し、バインダとして、酸価５ｍｇＫＯＨ／ｇのメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマー（共重合比８２：１８、重量平均分子量４５万、Ｔｇ：７０℃）を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、見かけの重量平均分子量が１１．６２５万ないし１８万のエチルセルロースをバインダとして含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールあるいはアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、積層体ユニットを作製し、５０枚の積層体ユニットを積層して、積層セラミックコンデンサを作製した場合には、スペーサ層の表面に、ひびや皺は認められず、焼成後のセラミックグリーンチップにボイドの発生は認められなかった。

これは、比較例１７ないし１９において、スペーサ層用の誘電体ペーストの溶剤として用いられたターピオネールとケロシンの混合溶剤（混合比５０：５０）、ターピオネールおよびブチルカルビトールアセテートが、セラミックグリーンシートを形成するために用いられた誘電体ペーストに含まれたメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーを溶解するため、セラミックグリーンシートが膨潤し、あるいは、部分的に溶解して、セラミックグリーンシートとスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製されたセラミックグリーンチップ中に、ボイドが発生し、あるいは、積層体ユニットを積層するプロセスで、ひびや皺が生じたスペーサ層の部分が欠落して、焼成後のセラミックグリーンチップ中に、ボイドが発生しやすかったのに対し、実施例１ないし２２おいて、スペーサ層用の誘電体ペーストの溶剤として用いられたイソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートは、セラミックグリーンシートを形成するために用いられた誘電体ペーストに含まれたメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマーをほとんど溶解せず、したがって、スペーサ層の表面にひびや皺が生じることが効果的に防止され、焼成後のセラミックグリーンチップに、ボイドが発生することが防止されたためと考えられる。

さらに、実施例１ないし１６ならびに比較例１、５、９および１３から、バインダとして、酸価５ｍｇＫＯＨ／ｇのメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマー（共重合比８２：１８、重量平均分子量４５万、Ｔｇ：７０℃）を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノールあるいはターピニルメチルエーテルを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合においても、誘電体ペーストのバインダとして、見掛けの重量平均分子量が１０．２５万のエチルセルロースが用いられる場合には、誘電体ペーストの粘度が低すぎて、スペーサ層を形成することができず、その一方で、バインダとして、酸価５ｍｇＫＯＨ／ｇのメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマー（共重合比８２：１８、重量平均分子量４５万、Ｔｇ：７０℃）を含む誘電体ペーストを用いて形成したセラミックグリーンシート上に、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノールあるいはターピニルメチルエーテルを溶剤として含む誘電体ペーストを印刷して、スペーサ層を形成する場合においても、誘電体ペーストのバインダとして、見掛けの重量平均分子量が２０．５万以上のエチルセルロースが用いられる場合には、誘電体ペーストの粘度が高すぎて、スクリーン製版のメッシュに目詰まりが生じ、連続したスペーサ層を形成することができないことが認められ、誘電体ペーストのバインダとして、見掛けの重量平均分子量が１０．２５万を越え、２０．５万未満のエチルセルロースを用いることが必要であることが判明した。

また、実施例１ないし１６ならびに比較例４、８、１２および１６から、見掛けの重量平均分子量が１０．２５万を越え、２０．５万未満のエチルセルロースをバインダとして含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノールあるいはターピニルメチルエーテルを溶剤として含む誘電体ペーストを用いて、スペーサ層を形成する場合においても、セラミックグリーンシートが、酸価５ｍｇＫＯＨ／ｇのメタクリル酸メチルとアクリル酸ブチルのコポリマー（共重合比８２：１８、重量平均分子量２３万、Ｔｇ：７０℃）を、バインダとして含む誘電体ペーストを用いて形成されている場合には、セラミックグリーンシートを形成するための誘電体ペーストのバインダの一部が、スペーサ層を形成するために用いられた誘電体ペーストに含まれている溶剤によって、膨潤され、溶解されるため、セラミックグリーンシートとスペーサ層との界面に空隙が生じたり、あるいは、スペーサ層の表面にひびや皺が生じ、積層体ユニットを積層し、焼成して作製されたセラミックグリーンチップ中に、ボイドが発生し、あるいは、積層体ユニットを積層するプロセスで、ひびや皺が生じたスペーサ層の部分が欠落して、焼成後のセラミックグリーンチップ中に、ボイドが発生しやすいことが判明した。

本発明は、以上の実施態様および実施例に限定されることなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲内で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。

本発明によれば、積層セラミック電子部品に不具合が発生することを効果的に防止することができ、所望のように、スペーサ層を形成することができる積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法を提供することが可能になる。

Claims (5)

1. バインダとして、アクリル系樹脂を含むセラミックグリーンシート上に、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１万ないし１９万のエチルセルロースを含み、イソボニルアセテート、ジヒドロターピニルメチルエーテル、ジヒドロターピニルオキシエタノール、ターピニルメチルエーテル、ターピニルオキシエタノール、ｄ−ジヒドロカルベオール、Ｉ−メンチルアセテート、Ｉ−シトロネオール、Ｉ−ペリリルアルコールおよびアセトキシ−メトキシエトキシ−シクロヘキサノールアセテートよりなる群から選ばれる少なくとも一種の溶剤を含む誘電体ペーストを、所定のパターンで、スクリーン印刷して、スペーサ層を形成することを特徴とする積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。
2. 前記誘電体ペーストが、バインダとして、見掛けの重量平均分子量が１１．５万ないし１８万のエチルセルロースを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。
3. 前記アクリル系樹脂の重量平均分子量が２５万以上、５０万以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。
4. 前記アクリル系樹脂の重量平均分子量が４５万以上、５０万以下であることを特徴とする請求項３に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。
5. 前記アクリル系樹脂の酸価が５ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の積層セラミック電子部品用の積層体ユニットの製造方法。