JP4320303B2 - Positioning device for disc manufacturing - Google Patents
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Description
本発明は、円板状のディスク基板における円形の中心開口に、前記ディスク基板と貼り合わされる可撓性シートの円形の開口部を位置決めするディスク製造用の位置決め装置に関する。 The present invention relates to a positioning apparatus for manufacturing a disk that positions a circular opening of a flexible sheet bonded to the disk substrate in a circular center opening of a disk-shaped disk substrate.
従来、例えば、光ディスクとしては、CD(compact disc),CD−R(compact disc-recordable),DVD(digital versatile disc),DVD−R(digital versatile disc-recordable)等が既に普及している。 Conventionally, for example, as an optical disc, a CD (compact disc), a CD-R (compact disc-recordable), a DVD (digital versatile disc), a DVD-R (digital versatile disc-recordable), and the like are already widely used.
また、近年、光ディスクに対しては、映像情報等の情報を更に大量に格納したいという要望があり、記録情報の高密度化の検討が進んでいる。このような光ディスクに対する情報記録密度は、概ねディスク上の光ビームのスポットサイズで決まり、このスポットサイズは、レーザ波長をλ、対物レンズの開口数をNAとすると、λ/NAに比例する。このため、光ディスクに対する記録密度を高めるためには、レーザ光の短波長化が必要となるとともに、対物レンズの高NA化が効果的である。しかし、光ディスクの傾きにより発生するコマ収差はNAの3乗に比例して大きくなるため、高NA化によってディスクのチルト等による傾きに対するマージンが極めて小さくなり、わずかな傾きでもビームスポットがぼやけ、高密度での記録及び再生が実現できなくなる。従って、高密度化に適した従来の光ディスクでは、高NA化に伴うディスクの傾きによるコマ収差の増加を抑制するため、レーザ光の透過層として、十分薄い(例えば、0.1mm程度)可撓性シートがディスク基板に設けられている。 In recent years, there has been a demand for storing a larger amount of information such as video information for optical discs, and studies on increasing the density of recorded information are in progress. The information recording density for such an optical disc is generally determined by the spot size of the light beam on the disc, and this spot size is proportional to λ / NA, where λ is the laser wavelength and NA is the numerical aperture of the objective lens. For this reason, in order to increase the recording density on the optical disc, it is necessary to shorten the wavelength of the laser beam and to increase the NA of the objective lens is effective. However, since the coma generated by the tilt of the optical disk increases in proportion to the third power of the NA, the margin for the tilt due to the tilt of the disk becomes extremely small by increasing the NA, and even a slight tilt causes the beam spot to be blurred and high Recording and reproduction at a density cannot be realized. Therefore, in a conventional optical disc suitable for high density, a sufficiently thin (for example, about 0.1 mm) flexible layer is used as a laser light transmission layer in order to suppress an increase in coma due to the tilt of the disc due to high NA. An adhesive sheet is provided on the disk substrate.
光ディスクの製造ラインにおいて、例えば下記特許文献1に示すように、予め記録層が形成されたディスク基板の記録面上に光透過性を有する薄膜状の樹脂からなる可撓性シートを貼り合せ形成する工程で行われている。
In an optical disk production line, for example, as shown in
図10は、ディスク基板に可撓性シートを貼り合せる際の状態を説明する図である。
図10に示すように、先に、支持台131が図示しないターンテーブル上に配置されており、該支持台131の上面に形成された支持部132に、可撓性シート102を配置する。このとき、可撓性シート102は、片側の面に形成された粘着膜を上方に向け、且つ、支持部132から上方に突出するように形成されたセンターピン133に中心部の開口を挿通させた状態で配置される。次に、支持台131に配置された可撓性シート102の上方に、予め記録層が形成されたディスク基板101を図示しないアーム等によって搬送し、中心開口にセンターピン133を挿通させる。このとき、ディスク基板101は、センターピン133における縮径された先端部133aにおいて、可撓性シート102の開口より径の小さい中心開口が係止され、記録層を可撓性シート102側に向けた状態で保持される。そして、ディスク基板101が、可撓性シート102の中心軸と該ディスク基板101の中心軸S1とが一致するように、可撓性シート102に対して離間した状態で保持される。そして、支持台131に保持された可撓性シート102とディスク基板101とが、貼り合せ装置における真空雰囲気に設定された真空槽の内部で貼り合される。
FIG. 10 is a diagram illustrating a state when a flexible sheet is bonded to the disk substrate.
As shown in FIG. 10, the
ところで、図10のように可撓性シートを下にして、上方からディスク基板を供給して貼り合せる際に、可撓性シート102と位置決めをするセンターピン133との間のガタやディスク基板101とセンターピン133とのガタに起因して可撓性シート102とディスク基板101との貼り合せ位置がずれてしまう点で改善の余地があった。
By the way, when the disk substrate is supplied and bonded from above with the flexible sheet facing down as shown in FIG. 10, the play between the
上記特許文献1は、センターピンに可動レバーを設け、貼り合せる際に、可撓性シートを配置した後にディスク基板を配置し、該ディスク基板とセンターピンとを係合させ、このとき、可動レバーを移動させて下方の可撓性シートを位置決めする構成とすることで、可撓性シートとディスク基板との貼り合せ位置がずれることを防止するものである。しかし、可撓性シートは、カバーシートから打ち抜くことで製造されるが、この打ち抜き時にカールが生じている場合がある。可撓性シートに生じているカールが大きいと、上記特許文献1の構成では、可撓性シートに可動レバーを当接させることができなくなり、位置決めが出来なくなるといったことが懸念される。
In
また、貼り合せ位置のずれを防止するためには、ディスク基板と可撓性シートとが接触するまで、確実に位置関係を規制保持させる必要がある。 Further, in order to prevent the displacement of the bonding position, it is necessary to reliably hold the positional relationship until the disk substrate and the flexible sheet come into contact with each other.
本発明は、ディスク基板の中心開口に可撓性シートの開口部を正確に位置決めすることができるディスク製造用の位置決め装置を提供することにある。 It is an object of the present invention to provide a positioning device for manufacturing a disc capable of accurately positioning an opening of a flexible sheet in a central opening of a disc substrate.
本発明の上記目的は、円板状のディスク基板における円形の中心開口に、前記ディスク基板と貼り合わされる可撓性シートの円形の開口部を位置決めするディスク製造用の位置決め装置であって、前記可撓性シートを上面に配置させる支持部と、前記支持部から上方に突出するように設けられ、前記可撓性シート及び前記ディスク基板を保持するセンターピンと、円柱状で、その周面の一部に他の部位より径が小さい縮径部が形成され、前記センターピンの内方で上下方向に駆動する開閉ピンとを備え、前記センターピンが円筒状のピン胴部を有し、前記ピン胴部の周面には、前記可撓性シートの中心開口の内側に当接して保持する可撓性シート挿入部と、前記可撓性シート挿入部より前記センターピンの先端側に位置し、且つ、前記可撓性シート挿入部より径が小さく、前記ディスク基板の中心開口の内側に当接して保持する基板挿入部とが形成され、前記ピン胴部の支軸部を中心として閉状態と開状態とに揺動可能なチャックレバーが設けられ、前記チャックレバーが閉状態のとき、上端部を前記基板挿入部に収容し、開状態のとき、前記チャックレバーにおける前記支軸部より上方側を前記ピン胴部の周面から外方へ駆動させて前記可撓性シートの前記開口部に当接させることで、該可撓性シートの位置決めをすることを特徴とするディスク製造用の位置決め装置によって達成される。 The above object of the present invention is a disk manufacturing positioning apparatus for positioning a circular opening of a flexible sheet to be bonded to the disk substrate at a circular center opening of a disk-shaped disk substrate, A support part for disposing the flexible sheet on the upper surface, a center pin provided so as to protrude upward from the support part, and holding the flexible sheet and the disk substrate, and a cylindrical shape having a peripheral surface. A reduced diameter portion having a diameter smaller than that of the other portion is formed in the portion, and an open / close pin that is driven in an up and down direction inside the center pin. The center pin has a cylindrical pin body, and the pin body A flexible sheet insertion portion that is held in contact with and held inside a central opening of the flexible sheet, and is positioned closer to a distal end side of the center pin than the flexible sheet insertion portion; The flexibility A board insertion portion that is smaller in diameter than the pin insertion portion and is held in contact with the inside of the central opening of the disk substrate, and swings between a closed state and an open state around the support shaft portion of the pin body portion. A movable chuck lever is provided. When the chuck lever is in a closed state, the upper end portion is accommodated in the substrate insertion portion. When the chuck lever is in an open state, the pin barrel portion is located above the support shaft portion in the chuck lever. It is achieved by a positioning apparatus for manufacturing a disc, wherein the flexible sheet is positioned by being driven outward from the peripheral surface of the disk and contacting the opening of the flexible sheet. .
本発明にかかる位置決め装置によれば、開閉ピンを移動させることで、センターピンに対するチャックレバーの開閉位置を調整することができる。そして、貼り合せ時には、先ず可撓性シートをセンターピンに保持させた状態で、基板を供給する前に可撓性シートのカールを矯正して、チャックレバーを開状態とすることで、可撓性シートをカールのない平坦な状態で保持することができる。このように可撓性シートを保持した状態でディスク基板を配置し、位置決めを行うようにすれば、貼り合せの際に、ディスク基板と可撓性シートとを正確な貼り合せ位置で貼り合せることができるようになる。 According to the positioning device of the present invention, the opening / closing position of the chuck lever relative to the center pin can be adjusted by moving the opening / closing pin. At the time of bonding, the flexible sheet is first held by the center pin, and before the substrate is supplied, the curl of the flexible sheet is corrected and the chuck lever is opened. The sheet can be held in a flat state without curling. If the disk substrate is arranged and positioned with the flexible sheet held in this way, the disk substrate and the flexible sheet can be bonded together at an accurate bonding position when bonding. Will be able to.
上記位置決め装置は、チャックレバーを前記開放位置へ駆動するときに、可撓性シートの上面にエアを吹き付ける構成であることが好ましい。こうすれば、可撓性シートのカールを矯正しつつ、可撓性シートが平坦となった状態のときにチャックレバーを開状態とすることで、可撓性シートの位置決めを行うことができる。 The positioning device is preferably configured to blow air onto the upper surface of the flexible sheet when the chuck lever is driven to the open position. In this way, the flexible sheet can be positioned by correcting the curl of the flexible sheet and opening the chuck lever when the flexible sheet is flat.
上記位置決め装置は、チャックレバーが、前記ピン胴部の周方向に間隔をおいて複数設けられていることが好ましく、周方向にそれぞれ等間隔に3箇所設けることが最も望ましい。こうすれば、可撓性シートの位置決めをより一層正確に行うことができる。 In the positioning device, a plurality of chuck levers are preferably provided at intervals in the circumferential direction of the pin body portion, and it is most desirable to provide three chuck levers at equal intervals in the circumferential direction. In this way, the flexible sheet can be positioned more accurately.
本発明によれば、ディスク基板の中心開口に可撓性シートの開口部を正確に位置決めすることができるディスク製造用の位置決め装置を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the positioning apparatus for disk manufacture which can position the opening part of a flexible sheet | seat correctly in the center opening of a disk board | substrate can be provided.
以下、本発明にかかる位置決め装置の実施形態を、光ディスクを例として、図面に基づいて詳しく説明する。
図1は、以下の実施形態の位置決め装置により位置決めされた後に、貼り合せを行うことで製造される光ディスクを示す、一部拡大された断面図を含む図である。
Hereinafter, an embodiment of a positioning device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings, taking an optical disk as an example.
FIG. 1 is a view including a partially enlarged cross-sectional view showing an optical disc manufactured by performing bonding after being positioned by a positioning device of the following embodiment.
光ディスク1は、従来のDVDと比較してより高密度な情報記録を可能とするものであり、例えば、従来の光ディスクと比較して、記録再生用のレーザ光として短波長の青紫レーザ光を用いるとともに、ディスク駆動装置の対物レンズの開口数NAを0.85程度まで増大することで、12cm径の光ディスク1の片面記録容量を27ギガバイト程度まで高めることができるものである。
The
光ディスク1は、円盤状に形成されたディスク基板2を備えている。図1中のX部分の拡大図に示すように、ディスク基板2の片側の面には、情報の記録層4と、該記録層4とを覆うように可撓性シート3とが順に積層されている。
The
記録層4は、ディスク基板2上に、光反射層8と光吸収層7とを順に積層することで形成される。可撓性シート3は、樹脂フィルム5と、該樹脂フィルム5の片側の面に形成された粘着膜6とで構成され、光透過性を有する保護層として機能する。
The
ディスク基板2は、ポリカーボネイト等の樹脂を素材としてモールド成形されたものである。また、可撓性シート3の樹脂フィルム5としては、例えば、ポリカーボネイトや光硬化性のアクリル系樹脂,紫外線硬化性のアクリル系樹脂,TAC,PMMA等であり、粘着膜6としては、アクリル系,ゴム系,シリコン系等の粘着剤により形成され、特に、アクリル系の粘着剤を用いると透明性及び耐久性の点で良好である。
The
本実施形態において、例えば、光ディスク1の可撓性シート3の厚さは、95μmから105μmの範囲とすることができ、樹脂フィルム5の厚さの範囲が10μmから100μmの範囲とすることができ、また、粘着膜6の厚さの範囲が5μmから30μmの範囲とすることができる。
In this embodiment, for example, the thickness of the
ディスク基板2の中心部には光ディスク1の回転中心となる軸Sを中心とした円形の中心開口2aが設けられている。また、可撓性シート3の中心部には、軸Sを中心として、中心開口2aよりも径が大きい円形の開口部3aが形成されている。
At the center of the
図2は、本発明にかかる位置決め装置の第1の実施形態を示す図である。図3は、位置決め装置の第1の実施形態の要部拡大図である。図4は、図2のP−P線断面図である。なお、図4において、可撓性シートは記載せず省略している。
位置決め装置10は、支持台11の上部に設けられた支持部12の円形の上面に、貼り合せ前の可撓性シート3を配置するとともに、その後、ディスク基板2を上方に配置して位置決めを行う機構を有している。
FIG. 2 is a diagram showing a first embodiment of a positioning device according to the present invention. FIG. 3 is an enlarged view of a main part of the first embodiment of the positioning device. 4 is a cross-sectional view taken along the line PP in FIG. In FIG. 4, the flexible sheet is not shown and is omitted.
The
先ず、可撓性シート3の一方の面に形成された粘着膜6を上方に向けた状態で、開口部3a(図1参照)にセンターピン20を挿通し、可撓性シート3を支持部12の上面に配置する。
First, with the adhesive film 6 formed on one surface of the
次に、センターピン20の構成を、図2及び図3を参照して説明する。
センターピン20は、円柱形状を有するピン胴部21を備えている。ピン胴部21は、上下方向において下方側の周面より、可撓性シート3の挿入側である上方側の周面の径が小さくなるように一部テーパ状に形成されている。ピン胴部21における下方側の周面が等しい部分に、可撓性シート3の開口部3aと当接する可撓性シート挿入部22が形成され、ピン胴部21におけるテーパ状の周面を有する部分に中間テーパ部23が形成されている。
Next, the configuration of the
The
ピン胴部21の上面の周縁には、径方向に亘って略水平な面を有し、上方視において環状の基板支持部26が形成されている。また、ピン胴部21の上面の内方には上方に突出する1つ以上(本実施形態では3つ)の分割片24が形成されている。分割片24は、周方向に隣接する他の分割片24に対してスリット24aによって分断された形状であり、また、外周側に形成された曲面がセンターピン20の上方に向って傾斜する先端テーパ部24bとなっている。
A peripheral surface of the upper surface of the
ディスク基板2をセンターピン20に配置する際には、該ディスク基板2の中心開口2aにセンターピン20の分割片24を挿通し、先端テーパ部24bに沿って案内することで、ディスク基板2を基板支持部26の上面に配置する。また、分割片24の基端部の外周側の面には、ディスク基板2を基板支持部26の上面に配置した状態で、ディスク基板2の中心開口2aの内側側面に当接することでディスク基板2をセンターピン20に対して基準となる位置に規制する基板挿入部25が形成されている。
When the
センターピン20には、ピン胴部21の周方向に間隔をおいて1つ以上(本実施形態では3つ)のチャックレバー27が設けられている。チャックレバー27は、上下方向(図3の上下方向)に沿って長手寸法を有するとともに、図3中に破線及び矢印で示すように、開状態及び閉状態に揺動可能な部材である。
The
図4に示すように、チャックレバー27は、支軸部31によって支持され、また、支軸部31の上方部がピン胴部21の内方に設けられた内壁部28に対して付勢手段として機能するばね部材29によってピン胴部21の外径側に向って付勢力を負荷された状態で支持された構成である。
As shown in FIG. 4, the
センターピン20において、ピン胴部21の内方には円柱状の開閉ピン30が設けられている。開閉ピン30は、その周面の一部が他の部位よりも小さい径を有する縮径部30aが形成され、縮径部30aの上方にテーパ部30bを介して形成され、且つ、縮径部30aより径が大きい先端部30cが形成されている。また、開閉ピン30の下端部30dには、センターピン20におけるピン胴部21の内方において、開閉ピン30を図4中矢印で示すように上下に駆動する図示しないシリンダが接続されている。
In the
チャックレバー27は、支軸部31より下方に位置する下端部に、図4の断面視において、ピン胴部21の内方側に少なくとも一部が入り込むように形成された係合部32が形成されている。チャックレバー27は、係合部32が開閉ピン30の周面に当接又は近接するように設けられている。
The
チャックレバー27は、下端部の係合部32を開閉ピン30の周面における縮径部30aの外周側に当接又は近接させる場合に、コイルばね29の付勢力により支軸部31を中心として回転することが許容され、図3において破線示すように、チャックレバー27の支軸部31より上方側の部分がピン胴部21の周面に形成されたレバー収容溝21aから径方向外側に突出する。こうして、チャックレバー27は開状態となる。
When the engaging
一方、開閉ピン30をピン胴部21に対して下方に移動させると、縮径部30aの位置も下方に移動することにともない、チャックレバー27の係合部32の位置が縮径部30aの外周側からテーパ部30bを介して頭部30cの外周側へ相対移動する。すると、係合部32が、開閉ピン30において縮径部30aより径寸法の大きい頭部30cと当接することで、チャックレバー27の下端部が付勢力により支軸部31を中心として回転することが規制され、チャックレバー27の支軸部31より上方側の部分がピン胴部21のレバー収容溝21aに収容される。こうして、チャックレバー27は閉状態となる。
On the other hand, when the open /
次に、図5を参照して、本実施形態の位置決め装置によって可撓性シート及びディスク基板の位置決め時の動作を説明する。
図5(a)に示すように、最初に、センターピン20におけるチャックレバー27を閉状態とし、可撓性シート3をセンターピン20に挿通して支持部12の上面に配置する。
Next, with reference to FIG. 5, an operation at the time of positioning the flexible sheet and the disk substrate by the positioning device of the present embodiment will be described.
As shown in FIG. 5A, first, the
図5(b)に示すように、支持部12に可撓性シート3を配置した場合に、可撓性シート3に生じたカールによって該可撓性シート3の中心が上方に湾曲することで支持部12の上面から離間することがある。このとき、可撓性シート3を支持部12に接触させて確実に位置決めするため、本実施形態では、図5(b)中、可撓性シート3のカールが生じている部分(例えば、可撓性シート3の中心部分)に上方からエアを矢印Aで示すように噴き付ける。すると、可撓性シート3のカールが生じている部分の上面が噴き付けられたエアの圧力によって支持部12の上面に押し付けられるようになる。
As shown in FIG. 5B, when the
そして、エアによって、可撓性シート3を支持部12の上面に押し付けている状態で、図5(c)のように、開閉ピン30を上方に駆動してセンターピン20のチャックレバー27を開状態にすることで、可撓性シート3がチャックレバー27の外周側の側面と当接し、支持部12において正確に位置決めされ、且つ支持部12の下方にカールが規制される。
Then, in a state where the
可撓性シート3を支持部12に配置した状態で、ディスク基板2をセンターピン20の先端側で分割片24に係止させつつ、基板支持部26に保持させる。ディスク基板2をセンターピン20に保持させた際には、該ディスク基板2は、センターピン20の先端部に保持されているため、支持部12に保持された可撓性シート3に対して略平行で、且つ、離間した状態で保持されている。
In a state where the
ディスク基板2と可撓性シート3とを貼り合せる場合には、図5(d)に示すように、センターピン20を支持部12に対して下方に相対移動させることで、ディスク基板2と可撓性シート3との略平行な位置関係を維持しつつ、該可撓性シート3の上面の粘着膜6(図1参照)にディスク基板2の下面(本実施形態においては記録層側の面)を接触することができる。また、本実施形態のような貼り合せは、図示しない真空槽の内部で行うことで、ディスク基板2と可撓性シート3との間に空気が入り込むことがなく、貼り合せ面に気泡が生じることを防止することができる。
When the
図6は、本実施形態のセンターピンの上面視を示す図である。
図6では、センターピン20において、閉状態のときに、チャックレバー27をピン胴部21に収容させた状態を実線で示している。閉状態のときには、チャックレバー27の外周側側面が、ピン胴部21の外周面に沿って、センターピン20の円周面を形成する。このため、可撓性シート3にセンターピン20を挿通する場合には、可撓性シート3がチャックレバー27と干渉することがなく、円滑に挿通させることができる。
FIG. 6 is a diagram showing a top view of the center pin of the present embodiment.
In FIG. 6, when the
また、チャックレバー27を開状態としたときには、図6で破線で示すように、それぞれのチャックレバー27の外周側側面が、ピン胴部21の周面から径方向側に向って突出する。このとき、突出したチャックレバー27の外周側側面に従って、図中の一点鎖線で示すように円を想定すると、チャックレバー27が開状態の場合には、可撓性シート3の内径を22.5mmとすると直径Dが20mmから25mmの範囲とすることができる。直径Dは、可撓性シート3の開口部3a(図1参照)の内径に対して+0.01mmから+0.2mmの範囲とすることが好ましい。
When the
本実施形態の位置決め装置10によれば、開閉ピン30を移動させることで、センターピン20に対するチャックレバー27の開閉位置を調整することができる。そして、貼り合わせ時には、先ず可撓性シート3をセンターピン20に保持させた状態で、ディスク基板2を供給する前に可撓性シート3のカールを矯正して、チャックレバー27を開状態とすることで、可撓性シート3をカールのない平坦な状態で保持することができる。このように可撓性シート3を保持した状態でディスク基板2を配置し、位置決めを行うようにすれば、貼り合せの際に、ディスク基板2と可撓性シート3とを正確な貼り合せ位置で貼り合せることができるようになる。
According to the
本実施形態の位置決め装置10のように、チャックレバー27を開放位置へ駆動するときに、可撓性シート3の上面にエアを吹き付ける構成であることが好ましい。こうすれば、可撓性シート3のカールを矯正しつつ、可撓性シート3が平坦となった状態のときにチャックレバー27を開状態とすることで、可撓性シート3の位置決めを行うことができる。
It is preferable that air is blown onto the upper surface of the
本実施形態の位置決め装置10のように、チャックレバー27がピン胴部21の周方向に間隔をおいて1つ以上設けられていることが好ましく、周方向にそれぞれ等間隔に3箇所設けることが最も好ましい。こうすれば、可撓性シート3の位置決めをより一層正確に行うことができる。
As in the
次に、本発明にかかる位置決め装置の第2の実施形態について説明する。図7は、第2の実施形態の位置決め装置による位置決めの動作を示す図である。図8は、第2の実施形態の位置決め装置を上方からみた状態の平面図である。図9は、第2の実施形態の位置決め装置の動作を(a),(b)で示した斜視図である。
図7に示す位置決め装置40は、可撓性シート3を保持する支持部41と、該支持部41から先端が突出するように設けられ、円筒状のピン胴部51を有するセンターピン50を備えている。センターピン50の上方端部には基板支持部51aが形成されている。また、中心部にはディスク基板2の中心開口2aに挿通させることで、中心開口2aの内側側面と当接することでディスク基板2を保持する基板挿入部51bが形成されている。
Next, a second embodiment of the positioning device according to the present invention will be described. FIG. 7 is a diagram illustrating a positioning operation by the positioning device according to the second embodiment. FIG. 8 is a plan view of the positioning device according to the second embodiment as viewed from above. FIG. 9 is a perspective view showing the operation of the positioning device of the second embodiment by (a) and (b).
The
センターピン50のピン胴部51の下方端面には円管状のピン支持部52が設けられている。ピン支持部52には図示しない駆動機構が取り付けられ、該駆動機構によってセンターピン50を支持部41に対して上下に相対移動させることができる。なお、本実施形態では、ピン胴部51の外周面が、テーパ部を有していない同一の外径寸法となっており可撓性シート挿入部として機能している。
A cylindrical
センターピン50の内部には該センターピン50に対して相対的に上下に駆動可能なガイド部材53が収容保持されている。
ガイド部材53の先端には、上方向に径が小さくなるようにテーパ面が形成されたガイド部53aが形成されている。ガイド部53aは、センターピン50を上方に位置させた状態で、センターピン50の基板支持部51aの周囲を囲むように設けられている。このとき、ガイド部53aは、外周に形成されたテーパ面が基板支持部51aからセンターピン50の上端部に至るように、位置する。また、センターピン50を下方に位置させた状態では、ガイド部53aがピン胴部51の内部に収容されることで、可撓性シート挿入部であるピン胴部51と基板挿入部51bとの間の段差面(ピン胴部51の上端面)に設けられた基板支持部51aが上方に露呈し、該基板支持部51aの上面にディスク基板2を配置することができ、このとき、ディスク基板2がガイド部53aに干渉することがない。
A
At the tip of the
ガイド部材53の下端部には、ガイド支持部54が下方に延設され、該ガイド支持部54がピン支持部52に挿通されるとともに、図示しない駆動機構によって、センターピン50とは別途に駆動可能である。こうすることで、ガイド部材53をセンターピン50に対して上方に移動してガイド部53aをセンターピン50の上端部(基板支持部51a)から突出させた状態とでき、その一方で、ガイド部材53をセンターピン50に対して下方に移動することでガイド部53aをセンターピン50のピン胴部51の内部に収容させた状態とすることができる。
A
図7(a)に示すように、最初に、センターピン50のピン胴部51えお師時部41の上面に突出させた状態とするとともに、センターピン50に対してガイド部材53を上方に位置させて、ガイド部53aをセンターピン50の基板支持部51aから突出させた状態とする。そして、上方から可撓性シート3の開口部3a(図1参照)にガイド部53aを挿通させて、該ガイド部53aに沿って案内するとともに、可撓性シート3をセンターピン50のピン胴部51の周面に誘い込む。このとき、ガイド部53aがセンターピン50の基板支持部51aより上方に突出しているため、可撓性シート3が基板支持部51aと干渉することなく、円滑にピン胴部51まで挿通されるようになる。
As shown in FIG. 7A, first, the
なお、本実施形態のおいても、上記実施形態と同様に、可撓性シート3を支持部41に保持させた状態で、上方からエアを供給する構成とすることができる。こうすれば、可撓性シート3のカールが生じている部分が、エアの圧力によって、支持部41の上面に当接するようになり、より一層確実に位置決めを行うことができるようになる。
In the present embodiment as well, as in the above embodiment, air can be supplied from above with the
可撓性シート3を支持部41に配置した後、図7(b)に示すように、ガイド部材53をセンターピン50に対して相対的に下方に移動させ、ガイド部53aがピン胴部51内に収容された状態とする。そして、ディスク基板2の中心開口2a(図1参照)に基板挿入部51bを挿通し、ピン胴部51の上端目に形成された基板支持部51aにディスク基板2を配置する。このとき、ディスク基板2と可撓性シート3とが上下に離間した状態で、且つ、略平行となるようにそれぞれ保持される。
After the
次に、ピン支持部52に接続された図示しない駆動機構を駆動することで、センターピン50が下方に移動し、ピン胴部51が可撓性シート3の開口部3a(図1参照)から抜け出る一方で、可撓性シート3は、支持部41の上面に残される。また、センターピン50が下方に移動するとともに、基板支持部51aに支持されたディスク基板2も下方に移動するため、可撓性シート3の上面(図1に示す粘着膜6)と接触する。
Next, by driving a drive mechanism (not shown) connected to the
更にセンターピン50を下方に移動することで、やがて該センターピン50の先端部が支持部41の内部に潜り込み、このとき、支持部41の上面において、ディスク基板2と可撓性シート3とが全面にわたって接合される。
By further moving the
このように、上記位置決め装置40は、ガイド部材53を上方に駆動することで、センターピン50の先端部にガイド部53aを突出させて、該ガイド部53aに従って可撓性シート3の開口部3a(図1参照)にセンターピン50を挿通することで、可撓性シート3を支持部41の上面に保持させることができる。また、ガイド部材53を下方に駆動することで、ガイド部53aをセンターピン50の内部に収容することで、ディスク基板2をガイド部53aと干渉させることなく、基板支持部51aに支持させることができる。このように、ガイド部材53の上下の駆動によって可撓性シート3及びディスク基板2をそれぞれ支持部41やセンターピン50に支持させることができるようになり、また、ガイド部材53をセンターピン50の内方において同軸に設けた構成とすることもできるため、センターピン50の外周部に開閉するレバーなどを設ける構成に比べて可撓性シート3に生じたカールの影響を受けにくくすることができる。
In this way, the
以上、本実施形態では光ディスクの位置決め装置を例として説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、磁気ディスクの原盤や光ディスクの原盤及びスタンパーの保護シートの貼り合せ時の位置決め等にも活用できる。 As described above, the optical disk positioning apparatus has been described as an example in the present embodiment. However, the present invention is not limited to this, and the present invention is not limited to this, and the positioning of the magnetic disk master, the optical disk master, and the stamper protective sheet can be performed. Can be used.
1 光ディスク
2 ディスク基板
3 可撓性シート
10,40 位置決め装置
20,50 センターピン
27 チャックレバー
30 開閉ピン
53 ガイド部材
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記可撓性シートを上面に配置させる支持部と、
前記支持部から上方に突出するように設けられ、前記可撓性シート及び前記ディスク基板を保持するセンターピンと、
円柱状で、その周面の一部に他の部位より径が小さい縮径部が形成され、前記センターピンの内方で上下方向に駆動する開閉ピンとを備え、
前記センターピンが円筒状のピン胴部を有し、前記ピン胴部の周面には、前記可撓性シートの中心開口の内側に当接して保持する可撓性シート挿入部と、前記可撓性シート挿入部より前記センターピンの先端側に位置し、且つ、前記可撓性シート挿入部より径が小さく、前記ディスク基板の中心開口の内側に当接して保持する基板挿入部とが形成され、
前記ピン胴部の支軸部を中心として閉状態と開状態とに揺動可能なチャックレバーが設けられ、前記チャックレバーが閉状態のとき、上端部を前記基板挿入部に収容し、開状態のとき、前記チャックレバーにおける前記支軸部より上方側を前記ピン胴部の周面から外方へ駆動させて前記可撓性シートの前記開口部に当接させることで、該可撓性シートの位置決めをすることを特徴とするディスク製造用の位置決め装置。 A disk positioning apparatus for positioning a circular opening of a flexible sheet to be bonded to the disk substrate at a circular center opening in a disk-shaped disk substrate,
A support part for disposing the flexible sheet on an upper surface;
A center pin provided so as to protrude upward from the support portion, and holding the flexible sheet and the disk substrate;
In a cylindrical shape, a reduced diameter portion having a smaller diameter than the other part is formed in a part of the peripheral surface thereof, and includes an opening / closing pin that drives in the vertical direction inside the center pin,
The center pin has a cylindrical pin body portion, and a flexible sheet insertion portion that is held in contact with an inner side of a central opening of the flexible sheet on the peripheral surface of the pin body portion, and A substrate insertion portion is formed which is positioned on the distal end side of the center pin from the flexible sheet insertion portion and has a diameter smaller than that of the flexible sheet insertion portion and is held in contact with the inside of the central opening of the disk substrate. And
A chuck lever is provided that can swing between a closed state and an open state about a support shaft portion of the pin body portion. When the chuck lever is in a closed state, the upper end portion is accommodated in the substrate insertion portion, and the open state At this time, the upper side of the chuck lever in the chuck lever is driven outward from the peripheral surface of the pin body portion, and is brought into contact with the opening portion of the flexible sheet, whereby the flexible sheet A positioning apparatus for manufacturing a disk, characterized in that
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