JP3522131B2 - 産業ロボット装置 - Google Patents
産業ロボット装置Info
- Publication number
- JP3522131B2 JP3522131B2 JP33306198A JP33306198A JP3522131B2 JP 3522131 B2 JP3522131 B2 JP 3522131B2 JP 33306198 A JP33306198 A JP 33306198A JP 33306198 A JP33306198 A JP 33306198A JP 3522131 B2 JP3522131 B2 JP 3522131B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- holding frame
- industrial robot
- side plate
- mounting table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Automatic Assembly (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、複数枚の基板が
上下方向に互いに空隙を形成して保持枠に保持され、こ
れらの基板を産業ロボットにより取り扱う産業ロボット
装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】図４〜図７は、従来の産業ロボット装置
を示す図で、図４は産業ロボットの要部側面図、図５は
産業ロボットの近くに配置された置台及び保持枠の正面
図、図６は図５の保持枠の正面図、図７は図６の右側面
図である。図において、１は産業ロボット、２は進退動
作する把持機構で、産業ロボット１の先端作動機構を形
成し、アーム３及び吸盤４によって構成されている。５
は産業ロボット１の近くに配置された置台で、上面に受
具６が設けられている。 【０００３】７は保持枠で、中央部に空所８を有する両
側の側板９、奥板１０、側板９及び奥板１０の上端に設
けられた上板１１、側板９及び奥板１０の下端に設けら
れた下部部材１２並びに側板９の内面に上下方向に互い
に離れて突設された複数の受片１３により構成され、要
時に置台５の受具６の上に載置される。 【０００４】１４はガラス製の基板で、複数枚それぞれ
の両側の縁部が受片１３に載置され、上下方向に空隙を
形成して保持枠７に収納されている。１５は位置決め機
構で、置台５の上面に設けられて側板９の外側に配置さ
れ、側板９面に対して進退可能に構成され要時に側板９
の空所８に進入して基板１４に向かって図５に鎖線で示
す位置に前進する。そして、側板９の空所８において基
板１４の端面を押圧し、置台５に対して基板１４を水平
方向において所定位置に配置する。 【０００５】従来の産業ロボット装置は上記のように構
成され、保持枠７から基板１４を搬出する場合には、置
台５に載置された保持枠７の最下段に配置された基板１
４と保持枠７の下部部材１２との間の空間に産業ロボッ
ト１の把持機構２が挿入される。そして、把持機構２に
対向した基板１４が把持されて搬出され、次いで搬出さ
れた基板１４の上方の基板１４が把持されて順次搬出さ
れる。 【０００６】また、保持枠７に基板１４を搬入する場合
には、置台５に載置された保持枠７に基板１４を吸着し
た把持機構２が挿入されて保持枠７の最上段の受片１３
に基板１４が載置され、次いで搬入された基板１４の下
方の受片１３に、把持された基板１４が順次搬入される
ようになっている。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の産
業ロボット装置では、把持機構２の図４に示す高さＡ
が、保持枠７の最下段に配置された基板１４と保持枠７
の下部部材１２との間の図６に示す空間Ｂ高さよりも高
いと、空間Ｂに把持機構２の挿入が不能になる。また、
把持機構２の挿入が可能であっても、基板１４の中央部
が撓みによって下垂すること等とも相俟って、高さＡと
空間Ｂとの間に余裕が少ない場合には、産業ロボット１
の作動精度の向上が必要となる。 【０００８】したがって、産業ロボット装置が高価にな
ったり動作速度が遅くなったりすることになるという問
題点があった。また、把持機構２の高さＡを徒に低くす
ると把持機構２における所要の剛性が得られず動作が不
安定になり、誤動作が発生するという問題点があった。
また、空間Ｂを徒に高くすると保持枠７の全高が増し、
保持枠７を収蔵、保管するときに多くのスペースを要す
るという問題点があった。 【０００９】この発明は、かかる問題点を解消するため
になされたものであり、保持枠の全高を増すことなく正
常に基板を搬出入できる産業ロボット装置を得ることを
目的とする。 【００１０】 【課題を解決するための手段】この発明に係る産業ロボ
ット装置においては、進退動作する把持機構を有する産
業ロボットと、この産業ロボット近くに設置された置台
と、空所を有する両側の側板、この側板の上端に設けら
れた上板、側板の下端に設けられた下部部材及び側板の
内面に上下方向に互いに離れて突設された複数の受片に
よって構成されて置台に載置され、複数枚の基板を受片
により互いに上下方向に空隙を形成して保持する保持枠
と、置台上に設けられて保持枠の側板の外側に配置さ
れ、側板に対して進退可能に構成されて要時に側板の空
所を経て保持枠に保持された基板に向かって前進し、保
持枠に配置された基板の端面を位置決め板により押圧
し、置台に対して基板を所定位置に配置する位置決め機
構と、置台に設けられたレールに案内されて移動する移
動体及びこの移動体に設けられて位置決め機構の位置決
め板を昇降する昇降機並びに位置決め板に突設されて最
下段の受片に保持される基板を支持する支持子からなる
昇降手段とが設けられる。 【００１１】 【発明の実施の形態】実施の形態１． 図１〜図３は、この発明の他の実施の形態の一例を示す
図で、図１は前述の産業ロボットの近くに配置された置
台及び保持枠の正面図、図２は図１の装置における基板
の上昇状況を示す図であり図１の位置決め機構を抽出し
て示す図、図３は図２に対応した図１の要部右側面図で
ある。なお、図示が省略してあるが前述の図４〜図７に
おける装置と同様な産業ロボットが設けられている。図
において、５は産業ロボット１の近くに配置された置台
で、上面に受具６が設けられている。 【００１２】７は保持枠で、中央部に空所８を有する両
側の側板９、奥板１０、側板９及び奥板１０の上端に設
けられた上板１１、側板９及び奥板１０の下端に設けら
れた下部部材１２並びに側板９の内面に上下方向に互い
に離れて突設された複数の受片１３により構成され、要
時に置台５の受具６の上に載置される。１４はガラス製
の基板で、複数枚それぞれの両側の縁部が受片１３に載
置され、上下方向に空隙を形成して保持枠７に収納され
ている。 【００１３】１８は位置決め機構で、置台５の上部に設
けられたレール１９、レール１９に案内されて移動する
移動体２０、移動体２０に設けられたねじシリンダーか
らなる昇降機２１、昇降機２１に装着された位置決め板
２２及び位置決め板２２から突設されて保持枠７の最下
段に配置される基板１４の高さに対応した位置に配置さ
れると共に最下段の基板１４の両縁部にそれぞれ対応し
て設けられ互いに離れて配置された支持子２３によって
構成されている。 【００１４】そして、位置決め機構１８は置台５上に設
けられて側板９の外側に配置され、側板９面に対してレ
ール１９及び移動体２０により進退可能に構成され、不
要時に図１に鎖線で示す位置に配置されて、要時に動作
して側板の空所に嵌合状態となり基板１４に向かって図
１に実線で示す位置に前進する。そして、側板９の空所
８内において基板１４の端面を位置決め板２２により押
圧し、置台５に対して基板１４を所定位置に配置する。
また、２４は昇降機２１及び支持子２３によって構成さ
れた昇降手段である。 【００１５】上記のように構成された産業ロボット装置
において、保持枠７から基板１４を搬出する場合に次に
述べる作業が行われる。すなわち、置台５に載置された
保持枠７における最下段に配置されて受片１３に支持さ
れた基板１４の下側に対応した進入高さに産業ロボット
１の把持機構２が待機する。次いで、昇降手段２４が上
昇動作して最下段の基板１４を押し上げて基板１４と保
持枠７の下部部材１２との間の空間高さが、図１に示す
空間Ｃに拡大する。 【００１６】そして、保持枠７内の空間Ｃに把持機構２
が前進して進入し、その後に昇降手段２４が下降動作し
て把持機構２の吸盤４により最下段の基板１４が吸着さ
れる。次に、把持機構２が後退動作して最下段の基板１
４が搬出され、そして同様な動作によって搬出された基
板１４の上方の基板１４が順次搬出される。 【００１７】また、保持枠７に基板１４を搬入する場合
には、置台５に載置された保持枠７に、基板１４を吸着
した把持機構２が挿入されて保持枠７の最上段の受片１
３に基板１４が載置される。次いで、搬入された基板１
４の下方の受片１３に基板１４が順次搬入される。そし
て、保持枠７における最下段の受片１３に支持された基
板１４が次に述べるように搬入される。 【００１８】すなわち、昇降手段２４が上昇動作して、
保持枠７の最下段に配置される基板１４と下部部材１２
との間に、前述の空間Ｃが形成される位置に昇降手段２
４の支持子２３が配置される。次いで、基板１４を吸着
した把持機構２が空間Ｃに進入し支持子２３の上面に対
向した位置に基板１４を配置する。 【００１９】そして、この状態で吸盤４による吸着を解
除するので、支持子２３の上面に基板１４が支持され、
次いで把持機構２が保持枠７外に退出する。その後に、
昇降手段２４が下降動作して支持子２３上の基板１４が
保持枠７における最下段の受片１３に支持される。 【００２０】また、位置決め機構１８の位置決め板２２
が基板１４に向かって図１に実線で示す位置に前進して
側板９の空所８において基板１４の端面を押圧し、置台
５に対して基板１４を水平方向において所定位置に配置
する。その後に昇降手段２４が下降して、基板１４と保
持枠７の下部部材１２との間の空間高さが従前の位置に
配置されて基板１４の搬入作業が終了する。 【００２１】以上説明したように、保持枠７における最
下段受片１３の基板１４が、昇降手段２４によって基板
１４と保持枠７の下部部材１２との間の常時における空
間高さよりも高い図１に示す空間Ｃに配置される。そし
て、この状態で把持機構２が保持枠７の余裕の多い空間
Ｃに対して進退動作するので、保持枠７に対して把持機
構２を容易に進退させることができる。 【００２２】したがって、基板１４の中央部が撓みによ
って下垂すること等があっても、把持機構２の前述の高
さＡと空間Ｃとの間に余裕が得られて、産業ロボット１
の作動精度の向上を要することなく基板１４の搬出入作
業を行うことができる。このため、安価な産業ロボット
装置によって容易に対応でき、また動作速度を高速化で
きて作業能率を向上することができる。 【００２３】また、把持機構２の前述の図４に示す高さ
Ａの制約が少なく、把持機構２を所要の剛性に容易に製
作することができ、安定した動作が特性が得られて誤動
作の発生を防止でき正常に基板１４を搬出入することが
できる。さらに、保持枠７の全高が増すことがないの
で、余計なスペースを要することなしに保持枠７を効率
よく収蔵、保管することができる。 【００２４】 【発明の効果】この発明は以上説明したように、進退動
作する把持機構を有する産業ロボットと、この産業ロボ
ット近くに設置された置台と、空所を有する両側の側
板、この側板の上端に設けられた上板、側板の下端に設
けられた下部部材及び側板の内面に上下方向に互いに離
れて突設された複数の受片によって構成されて置台に載
置され、複数枚の基板を受片により互いに上下方向に空
隙を形成して保持する保持枠と、置台上に設けられて保
持枠の側板の外側に配置され、側板に対して進退可能に
構成されて要時に側板の空所を経て保持枠に保持された
基板に向かって前進し、保持枠に配置された基板の端面
を位置決め板により押圧し、置台に対して基板を所定位
置に配置する位置決め機構と、置台に設けられたレール
に案内されて移動する移動体及びこの移動体に設けられ
て位置決め機構の位置決め板を昇降する昇降機並びに位
置決め板に突設されて最下段の受片に保持される基板を
支持する支持子からなる昇降手段とを設けたものであ
る。 【００２５】これによって、保持枠における最下段に保
持される基板が、搬出入時に昇降手段によって基板と保
持枠の下部部材との間の保持時の空間高さよりも高い高
空間に配置される。そして、この状態で把持機構が保持
枠の最下段に保持される基板に関わる高空間に対して進
退動作するので、保持枠に対して把持機構を容易に進退
させることができる。 【００２６】したがって、位置決め機構に設けられた昇
降手段の動作により把持機構自体の高さと、拡大した保
持枠の下部部材と最下段の基板との間の空間との間の余
裕が大きくなり、産業ロボットの作動精度の向上を要す
ることなく保持枠に対して容易に基板の搬出入作業を行
うことができる。そして、安価な産業ロボット装置によ
って容易に対応でき、また動作を高速化できて産業ロボ
ットによる作業能率を向上する効果がある。 【００２７】また、把持機構自体の高さの制約が少な
く、把持機構を所要の剛性に容易に製作することがで
き、安定した動作が特性が得られる。このため、誤動作
の発生を防止でき正常に基板を搬出入することができ
る。さらに、保持枠の全高が増すことがなく、余計なス
ペースを要することなしに収蔵、保管することができ、
保持枠の保存を容易化する効果がある。
上下方向に互いに空隙を形成して保持枠に保持され、こ
れらの基板を産業ロボットにより取り扱う産業ロボット
装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】図４〜図７は、従来の産業ロボット装置
を示す図で、図４は産業ロボットの要部側面図、図５は
産業ロボットの近くに配置された置台及び保持枠の正面
図、図６は図５の保持枠の正面図、図７は図６の右側面
図である。図において、１は産業ロボット、２は進退動
作する把持機構で、産業ロボット１の先端作動機構を形
成し、アーム３及び吸盤４によって構成されている。５
は産業ロボット１の近くに配置された置台で、上面に受
具６が設けられている。 【０００３】７は保持枠で、中央部に空所８を有する両
側の側板９、奥板１０、側板９及び奥板１０の上端に設
けられた上板１１、側板９及び奥板１０の下端に設けら
れた下部部材１２並びに側板９の内面に上下方向に互い
に離れて突設された複数の受片１３により構成され、要
時に置台５の受具６の上に載置される。 【０００４】１４はガラス製の基板で、複数枚それぞれ
の両側の縁部が受片１３に載置され、上下方向に空隙を
形成して保持枠７に収納されている。１５は位置決め機
構で、置台５の上面に設けられて側板９の外側に配置さ
れ、側板９面に対して進退可能に構成され要時に側板９
の空所８に進入して基板１４に向かって図５に鎖線で示
す位置に前進する。そして、側板９の空所８において基
板１４の端面を押圧し、置台５に対して基板１４を水平
方向において所定位置に配置する。 【０００５】従来の産業ロボット装置は上記のように構
成され、保持枠７から基板１４を搬出する場合には、置
台５に載置された保持枠７の最下段に配置された基板１
４と保持枠７の下部部材１２との間の空間に産業ロボッ
ト１の把持機構２が挿入される。そして、把持機構２に
対向した基板１４が把持されて搬出され、次いで搬出さ
れた基板１４の上方の基板１４が把持されて順次搬出さ
れる。 【０００６】また、保持枠７に基板１４を搬入する場合
には、置台５に載置された保持枠７に基板１４を吸着し
た把持機構２が挿入されて保持枠７の最上段の受片１３
に基板１４が載置され、次いで搬入された基板１４の下
方の受片１３に、把持された基板１４が順次搬入される
ようになっている。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の産
業ロボット装置では、把持機構２の図４に示す高さＡ
が、保持枠７の最下段に配置された基板１４と保持枠７
の下部部材１２との間の図６に示す空間Ｂ高さよりも高
いと、空間Ｂに把持機構２の挿入が不能になる。また、
把持機構２の挿入が可能であっても、基板１４の中央部
が撓みによって下垂すること等とも相俟って、高さＡと
空間Ｂとの間に余裕が少ない場合には、産業ロボット１
の作動精度の向上が必要となる。 【０００８】したがって、産業ロボット装置が高価にな
ったり動作速度が遅くなったりすることになるという問
題点があった。また、把持機構２の高さＡを徒に低くす
ると把持機構２における所要の剛性が得られず動作が不
安定になり、誤動作が発生するという問題点があった。
また、空間Ｂを徒に高くすると保持枠７の全高が増し、
保持枠７を収蔵、保管するときに多くのスペースを要す
るという問題点があった。 【０００９】この発明は、かかる問題点を解消するため
になされたものであり、保持枠の全高を増すことなく正
常に基板を搬出入できる産業ロボット装置を得ることを
目的とする。 【００１０】 【課題を解決するための手段】この発明に係る産業ロボ
ット装置においては、進退動作する把持機構を有する産
業ロボットと、この産業ロボット近くに設置された置台
と、空所を有する両側の側板、この側板の上端に設けら
れた上板、側板の下端に設けられた下部部材及び側板の
内面に上下方向に互いに離れて突設された複数の受片に
よって構成されて置台に載置され、複数枚の基板を受片
により互いに上下方向に空隙を形成して保持する保持枠
と、置台上に設けられて保持枠の側板の外側に配置さ
れ、側板に対して進退可能に構成されて要時に側板の空
所を経て保持枠に保持された基板に向かって前進し、保
持枠に配置された基板の端面を位置決め板により押圧
し、置台に対して基板を所定位置に配置する位置決め機
構と、置台に設けられたレールに案内されて移動する移
動体及びこの移動体に設けられて位置決め機構の位置決
め板を昇降する昇降機並びに位置決め板に突設されて最
下段の受片に保持される基板を支持する支持子からなる
昇降手段とが設けられる。 【００１１】 【発明の実施の形態】実施の形態１． 図１〜図３は、この発明の他の実施の形態の一例を示す
図で、図１は前述の産業ロボットの近くに配置された置
台及び保持枠の正面図、図２は図１の装置における基板
の上昇状況を示す図であり図１の位置決め機構を抽出し
て示す図、図３は図２に対応した図１の要部右側面図で
ある。なお、図示が省略してあるが前述の図４〜図７に
おける装置と同様な産業ロボットが設けられている。図
において、５は産業ロボット１の近くに配置された置台
で、上面に受具６が設けられている。 【００１２】７は保持枠で、中央部に空所８を有する両
側の側板９、奥板１０、側板９及び奥板１０の上端に設
けられた上板１１、側板９及び奥板１０の下端に設けら
れた下部部材１２並びに側板９の内面に上下方向に互い
に離れて突設された複数の受片１３により構成され、要
時に置台５の受具６の上に載置される。１４はガラス製
の基板で、複数枚それぞれの両側の縁部が受片１３に載
置され、上下方向に空隙を形成して保持枠７に収納され
ている。 【００１３】１８は位置決め機構で、置台５の上部に設
けられたレール１９、レール１９に案内されて移動する
移動体２０、移動体２０に設けられたねじシリンダーか
らなる昇降機２１、昇降機２１に装着された位置決め板
２２及び位置決め板２２から突設されて保持枠７の最下
段に配置される基板１４の高さに対応した位置に配置さ
れると共に最下段の基板１４の両縁部にそれぞれ対応し
て設けられ互いに離れて配置された支持子２３によって
構成されている。 【００１４】そして、位置決め機構１８は置台５上に設
けられて側板９の外側に配置され、側板９面に対してレ
ール１９及び移動体２０により進退可能に構成され、不
要時に図１に鎖線で示す位置に配置されて、要時に動作
して側板の空所に嵌合状態となり基板１４に向かって図
１に実線で示す位置に前進する。そして、側板９の空所
８内において基板１４の端面を位置決め板２２により押
圧し、置台５に対して基板１４を所定位置に配置する。
また、２４は昇降機２１及び支持子２３によって構成さ
れた昇降手段である。 【００１５】上記のように構成された産業ロボット装置
において、保持枠７から基板１４を搬出する場合に次に
述べる作業が行われる。すなわち、置台５に載置された
保持枠７における最下段に配置されて受片１３に支持さ
れた基板１４の下側に対応した進入高さに産業ロボット
１の把持機構２が待機する。次いで、昇降手段２４が上
昇動作して最下段の基板１４を押し上げて基板１４と保
持枠７の下部部材１２との間の空間高さが、図１に示す
空間Ｃに拡大する。 【００１６】そして、保持枠７内の空間Ｃに把持機構２
が前進して進入し、その後に昇降手段２４が下降動作し
て把持機構２の吸盤４により最下段の基板１４が吸着さ
れる。次に、把持機構２が後退動作して最下段の基板１
４が搬出され、そして同様な動作によって搬出された基
板１４の上方の基板１４が順次搬出される。 【００１７】また、保持枠７に基板１４を搬入する場合
には、置台５に載置された保持枠７に、基板１４を吸着
した把持機構２が挿入されて保持枠７の最上段の受片１
３に基板１４が載置される。次いで、搬入された基板１
４の下方の受片１３に基板１４が順次搬入される。そし
て、保持枠７における最下段の受片１３に支持された基
板１４が次に述べるように搬入される。 【００１８】すなわち、昇降手段２４が上昇動作して、
保持枠７の最下段に配置される基板１４と下部部材１２
との間に、前述の空間Ｃが形成される位置に昇降手段２
４の支持子２３が配置される。次いで、基板１４を吸着
した把持機構２が空間Ｃに進入し支持子２３の上面に対
向した位置に基板１４を配置する。 【００１９】そして、この状態で吸盤４による吸着を解
除するので、支持子２３の上面に基板１４が支持され、
次いで把持機構２が保持枠７外に退出する。その後に、
昇降手段２４が下降動作して支持子２３上の基板１４が
保持枠７における最下段の受片１３に支持される。 【００２０】また、位置決め機構１８の位置決め板２２
が基板１４に向かって図１に実線で示す位置に前進して
側板９の空所８において基板１４の端面を押圧し、置台
５に対して基板１４を水平方向において所定位置に配置
する。その後に昇降手段２４が下降して、基板１４と保
持枠７の下部部材１２との間の空間高さが従前の位置に
配置されて基板１４の搬入作業が終了する。 【００２１】以上説明したように、保持枠７における最
下段受片１３の基板１４が、昇降手段２４によって基板
１４と保持枠７の下部部材１２との間の常時における空
間高さよりも高い図１に示す空間Ｃに配置される。そし
て、この状態で把持機構２が保持枠７の余裕の多い空間
Ｃに対して進退動作するので、保持枠７に対して把持機
構２を容易に進退させることができる。 【００２２】したがって、基板１４の中央部が撓みによ
って下垂すること等があっても、把持機構２の前述の高
さＡと空間Ｃとの間に余裕が得られて、産業ロボット１
の作動精度の向上を要することなく基板１４の搬出入作
業を行うことができる。このため、安価な産業ロボット
装置によって容易に対応でき、また動作速度を高速化で
きて作業能率を向上することができる。 【００２３】また、把持機構２の前述の図４に示す高さ
Ａの制約が少なく、把持機構２を所要の剛性に容易に製
作することができ、安定した動作が特性が得られて誤動
作の発生を防止でき正常に基板１４を搬出入することが
できる。さらに、保持枠７の全高が増すことがないの
で、余計なスペースを要することなしに保持枠７を効率
よく収蔵、保管することができる。 【００２４】 【発明の効果】この発明は以上説明したように、進退動
作する把持機構を有する産業ロボットと、この産業ロボ
ット近くに設置された置台と、空所を有する両側の側
板、この側板の上端に設けられた上板、側板の下端に設
けられた下部部材及び側板の内面に上下方向に互いに離
れて突設された複数の受片によって構成されて置台に載
置され、複数枚の基板を受片により互いに上下方向に空
隙を形成して保持する保持枠と、置台上に設けられて保
持枠の側板の外側に配置され、側板に対して進退可能に
構成されて要時に側板の空所を経て保持枠に保持された
基板に向かって前進し、保持枠に配置された基板の端面
を位置決め板により押圧し、置台に対して基板を所定位
置に配置する位置決め機構と、置台に設けられたレール
に案内されて移動する移動体及びこの移動体に設けられ
て位置決め機構の位置決め板を昇降する昇降機並びに位
置決め板に突設されて最下段の受片に保持される基板を
支持する支持子からなる昇降手段とを設けたものであ
る。 【００２５】これによって、保持枠における最下段に保
持される基板が、搬出入時に昇降手段によって基板と保
持枠の下部部材との間の保持時の空間高さよりも高い高
空間に配置される。そして、この状態で把持機構が保持
枠の最下段に保持される基板に関わる高空間に対して進
退動作するので、保持枠に対して把持機構を容易に進退
させることができる。 【００２６】したがって、位置決め機構に設けられた昇
降手段の動作により把持機構自体の高さと、拡大した保
持枠の下部部材と最下段の基板との間の空間との間の余
裕が大きくなり、産業ロボットの作動精度の向上を要す
ることなく保持枠に対して容易に基板の搬出入作業を行
うことができる。そして、安価な産業ロボット装置によ
って容易に対応でき、また動作を高速化できて産業ロボ
ットによる作業能率を向上する効果がある。 【００２７】また、把持機構自体の高さの制約が少な
く、把持機構を所要の剛性に容易に製作することがで
き、安定した動作が特性が得られる。このため、誤動作
の発生を防止でき正常に基板を搬出入することができ
る。さらに、保持枠の全高が増すことがなく、余計なス
ペースを要することなしに収蔵、保管することができ、
保持枠の保存を容易化する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１を示す図で、産業ロ
ボットの近くに配置された置台及び保持枠の正面図であ
る。 【図２】 図１の装置における基板の上昇状況を示す図
で、図１の位置決め機構を抽出して示す図である。 【図３】 図２に対応した図１の要部右側面図である。 【図４】 従来の産業ロボット装置を示す産業ロボット
の要部側面図である。 【図５】 図４の産業ロボットの近くに配置された置台
及び保持枠の正面図である。 【図６】 図５の保持枠の正面図である。 【図７】 図６の右側面図である。 【符号の説明】 １ 産業ロボット、２ 把持機構、５ 置台、７ 保持
枠、８ 空所、９ 側板、１１上板、１２ 下部部材、
１３ 受片、１４ 基板、１８ 位置決め機構、１９
レール、２０ 移動体、２１ 昇降機、２２ 位置決め
板、２３ 支持子、２４ 昇降手段。
ボットの近くに配置された置台及び保持枠の正面図であ
る。 【図２】 図１の装置における基板の上昇状況を示す図
で、図１の位置決め機構を抽出して示す図である。 【図３】 図２に対応した図１の要部右側面図である。 【図４】 従来の産業ロボット装置を示す産業ロボット
の要部側面図である。 【図５】 図４の産業ロボットの近くに配置された置台
及び保持枠の正面図である。 【図６】 図５の保持枠の正面図である。 【図７】 図６の右側面図である。 【符号の説明】 １ 産業ロボット、２ 把持機構、５ 置台、７ 保持
枠、８ 空所、９ 側板、１１上板、１２ 下部部材、
１３ 受片、１４ 基板、１８ 位置決め機構、１９
レール、２０ 移動体、２１ 昇降機、２２ 位置決め
板、２３ 支持子、２４ 昇降手段。
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平５−13547（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−242237（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−74126（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−41376（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−208008（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−129700（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−338731（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−289244（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−288368（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B23P 19/00 - 21/00
H01L 21/68
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 進退動作する把持機構を有する産業ロボ
ットと、この産業ロボット近くに設置された置台と、空
所を有する両側の側板、この側板の上端に設けられた上
板、上記側板の下端に設けられた下部部材及び上記側板
の内面に上下方向に互いに離れて突設された複数の受片
によって構成されて上記置台に載置され、複数枚の基板
を上記受片により互いに上下方向に空隙を形成して保持
する保持枠と、上記置台上に設けられて上記保持枠の側
板の外側に配置され、上記側板に対して進退可能に構成
されて要時に上記側板の空所を経て上記保持枠に保持さ
れた上記基板に向かって前進し、上記保持枠に配置され
た上記基板の端面を位置決め板により押圧し、上記置台
に対して上記基板を所定位置に配置する位置決め機構
と、上記置台に設けられたレールに案内されて移動する
移動体及びこの移動体に設けられて上記位置決め機構の
位置決め板を昇降する昇降機並びに上記位置決め板に突
設されて最下段の上記受片に保持される上記基板を支持
する支持子からなる昇降手段とを備えた産業ロボット装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33306198A JP3522131B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 産業ロボット装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33306198A JP3522131B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 産業ロボット装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000158247A JP2000158247A (ja) | 2000-06-13 |
| JP3522131B2 true JP3522131B2 (ja) | 2004-04-26 |
Family
ID=18261837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33306198A Expired - Fee Related JP3522131B2 (ja) | 1998-11-24 | 1998-11-24 | 産業ロボット装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3522131B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4522622B2 (ja) * | 2001-09-14 | 2010-08-11 | 株式会社ディスコ | 板状物搬出入装置並びに板状物の搬出方法及び搬入方法 |
-
1998
- 1998-11-24 JP JP33306198A patent/JP3522131B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000158247A (ja) | 2000-06-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI403447B (zh) | 零件移送裝置及方法 | |
| JPH11222317A (ja) | 板材の搬入出装置 | |
| JPH11277270A (ja) | レ―ザ―切断装置 | |
| JP3522131B2 (ja) | 産業ロボット装置 | |
| JP4380853B2 (ja) | 熱切断加工機に対する板材搬入搬出装置 | |
| JP4585496B2 (ja) | 半導体チップの実装装置 | |
| JP3508219B2 (ja) | 部品供給装置 | |
| JPH10284888A (ja) | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 | |
| KR20010081967A (ko) | 기판 센터링장치 | |
| JP3230924U (ja) | パレタイザ | |
| CN221089575U (zh) | 一种晶圆切割机用自动上下料机构 | |
| KR100419460B1 (ko) | 피시비 마운트 라인용 파레트 캐리어시스템 | |
| JP2507592Y2 (ja) | ワ―ク搬入、搬出装置 | |
| CN220290775U (zh) | 料盘送料和收料机构 | |
| JP3351246B2 (ja) | 導電性ボールの搭載装置 | |
| JP2506379B2 (ja) | 搬送方法及び搬送装置 | |
| JP2018188258A (ja) | ワーク供給装置及びワーク加工システム | |
| JP2504337Y2 (ja) | 基板の搬出・搬入装置 | |
| JP3116829B2 (ja) | チップ供給装置 | |
| JPH0328024Y2 (ja) | ||
| JPH08301204A (ja) | ワークの縦型マガジンへの自動詰め装置 | |
| JPH0917808A (ja) | マガジン固定構造 | |
| JP2000246552A (ja) | ワーク搬送装置 | |
| JPH10338381A (ja) | 板材加工機に対するワーク搬入方法及びその装置 | |
| JPH11254188A (ja) | 板材加工機におけるワーク搬入出装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20040203 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040203 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |