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JP3338143B2 - 3D position control system - Google Patents

3D position control system

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JP3338143B2
JP3338143B2 JP26845093A JP26845093A JP3338143B2 JP 3338143 B2 JP3338143 B2 JP 3338143B2 JP 26845093 A JP26845093 A JP 26845093A JP 26845093 A JP26845093 A JP 26845093A JP 3338143 B2 JP3338143 B2 JP 3338143B2
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JP
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control
value
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spatial error
correction
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孝 野田
耕造 杉田
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、三次元空間機構を有す
る運動機械における位置制御システムに係り、特にソフ
トウェアサーボを用いた空間誤差補正機能を有する三次
元位置制御システムに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a position control system for a motion machine having a three-dimensional spatial mechanism, and more particularly to a three-dimensional position control system having a spatial error correction function using a software servo.

【0002】[0002]

【従来の技術】三次元座標測定機(CMM)や工作機
械、ロボット等の三次元空間機構を有する運動機械で
は、機構部品の加工誤差や温度による変形、歪み等の影
響により、運動空間が指令空間と一致しないという問題
が生じる。このため適切な計算アルゴリズムよってこの
空間誤差を補正する技術が構築されてきた。特に三次元
座標測定機に関しては実用化されたものも多く、また基
礎技術の開発も多方面で行われている。
2. Description of the Related Art In a motion machine having a three-dimensional space mechanism such as a three-dimensional coordinate measuring machine (CMM), a machine tool, and a robot, a motion space is commanded by a processing error of a mechanical part, deformation or distortion due to temperature, or the like. A problem arises that the space does not match. For this reason, a technique for correcting this spatial error by an appropriate calculation algorithm has been constructed. In particular, many coordinate measuring machines have been put into practical use, and basic technology has been developed in various fields.

【0003】一般的な三次元位置制御システムは、運動
を規定する指令座標系における位置を指令値として出力
する指令発生部と、その指令値を入力として動作するサ
ーボ系とから構成される。サーボ系は、フィードバック
用の加算器と、モータや駆動機構(ネジやベルト等)を
備えた位置制御器と、この位置制御器の運動結果の位置
を検出する位置検出器(リニアスケール等)とを有し、
これらがフィードバック制御ループを構成する。
A general three-dimensional position control system is composed of a command generator for outputting a position in a command coordinate system defining a motion as a command value, and a servo system which operates using the command value as an input. The servo system includes a feedback adder, a position controller equipped with a motor and a drive mechanism (such as a screw or a belt), and a position detector (such as a linear scale) that detects the position of the motion result of the position controller. Has,
These constitute a feedback control loop.

【0004】このような位置制御システムにおいて、指
令空間と運動空間との間に3軸共に誤差がなければ、サ
ーボ系の入力座標系(即ち指令座標系)と出力座標系
(即ち運動座標系)とは完全に一致する。しかし、空間
機構が真直度や直角度に関して誤差を持つことは一般的
であり、またこれらの誤差は温度の影響で変化する。従
って一般に、運動座標系が指令座標系に対して空間歪み
(空間誤差)を持つことが避けられない。また、CMM
では実際の測定値が空間誤差に起因する測定誤差を持つ
ことになる。
In such a position control system, if there is no error in any of the three axes between the command space and the motion space, the input coordinate system (ie, the command coordinate system) and the output coordinate system (ie, the motion coordinate system) of the servo system. Matches exactly. However, it is common for spatial mechanisms to have errors in straightness and squareness, and these errors change due to temperature. Therefore, in general, it is inevitable that the motion coordinate system has a spatial distortion (spatial error) with respect to the command coordinate system. Also, CMM
Then, the actual measurement value has a measurement error caused by a spatial error.

【0005】このような空間誤差に起因する測定誤差を
補正して、真の測定データを出力し、また正しい位置制
御や軌道制御を行うためには、制御ループ内の位置検出
器と加算器の間に、所定の関数Fにより空間誤差を補正
するF変換器が設けられる。運動座標系上での値が指令
座標系で如何なる値になるかは、例えばレーザ干渉計等
を用いて知ることができ、これにより誤差補正関数Fが
決まる。
In order to correct the measurement error caused by such a spatial error, to output true measurement data, and to perform correct position control and trajectory control, a position detector and an adder in a control loop are required. Between them, an F converter for correcting a spatial error by a predetermined function F is provided. The value of the value on the motion coordinate system in the command coordinate system can be known using, for example, a laser interferometer, and the error correction function F is determined.

【0006】ところが、空間誤差補正関数Fが複雑でそ
の演算処理に時間がかかり、制御ループ内でF変換処理
ができない場合がある。この事情を、図5を用いて具体
的に説明する。位置制御システムは、制御対象の固有振
動数や減衰率に関係して、最大ゲインを達成するための
制御ループの適正な制御周期S[msec]が存在す
る。この制御周期Sに対応して、ソフトウェアにより制
御ループのサンプリング制御、即ち時間S毎に制御指令
値を計算して出力するという制御を行う場合、1サンプ
リング当たりの空間誤差補正演算を含む計算処理時間T
は、図5に示すように制御周期Sの範囲内に収まること
が必要になる。しかし、前述のように空間誤差補正関数
Fが複雑であり、且つCPUの処理能力が不足する場合
には、この条件を満たすことが困難になる。
However, there are cases where the spatial error correction function F is complicated and its arithmetic processing takes a long time, and the F conversion processing cannot be performed in the control loop. This situation will be specifically described with reference to FIG. In the position control system, there is an appropriate control cycle S [msec] of the control loop for achieving the maximum gain in relation to the natural frequency and the damping rate of the control target. In response to the control cycle S, when performing sampling control of the control loop by software, that is, control for calculating and outputting a control command value for each time S, a calculation processing time including a spatial error correction operation per sampling. T
Needs to be within the range of the control cycle S as shown in FIG. However, when the spatial error correction function F is complicated and the processing capacity of the CPU is insufficient as described above, it becomes difficult to satisfy this condition.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】以上のようにソフトウ
ェアサーボによる三次元位置制御システムにおいて、制
御ループ内で空間誤差補正処理を行う場合、空間誤差補
正関数が複雑であるとその誤差補正処理が制御周期内に
できないという問題があった。制御周期を延ばせば、そ
の制御周期の範囲内で誤差補正の演算処理ができるが、
制御周期は上述のように制御対象に応じて最適設定され
るものであって、これを延ばすと制御ループの反応が鈍
くなり、制御特性が劣化する。また位置指令により軌道
制御を行うためには、空間誤差補正は制御ループ内で行
うことが不可欠であり、これを制御ループの外に出すこ
とはできない。
As described above, in a three-dimensional position control system using software servo, when a spatial error correction process is performed in a control loop, if the spatial error correction function is complicated, the error correction process is controlled. There was a problem that it could not be done within the cycle. If the control cycle is extended, the error correction can be calculated within the control cycle.
The control cycle is optimally set according to the control target as described above. If the control cycle is extended, the response of the control loop becomes slow and the control characteristics deteriorate. In addition, in order to perform trajectory control based on a position command, it is essential that spatial error correction be performed in a control loop, and this cannot be performed outside the control loop.

【0008】本発明は、制御特性を劣化させることな
く、制御ループ内での空間誤差補正を可能とした三次元
位置制御システムを提供することを目的とする。
An object of the present invention is to provide a three-dimensional position control system capable of correcting a spatial error in a control loop without deteriorating control characteristics.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明は、外部から入力
される目標値に応じて運動空間での動作位置制御を行う
ための位置制御手段、この位置制御手段による運動空間
上での動作位置を検出する位置検出手段、及び前記動作
位置を前記目標値に一致させるべく前記位置検出手段の
出力により前記位置制御手段を帰還制御する帰還手段を
有する位置制御ループと、前記制御ループ内に設けられ
て、前記位置検出手段の出力値について指令空間と運動
空間との空間誤差を演算して帰還用の補正値を出力する
空間誤差補正手段とを有する三次元位置制御システムに
おいて、前記空間誤差補正手段は、前記制御ループの制
御対象に応じて設定された制御周期の複数周期にまたが
って空間誤差を分割演算処理し、新たな補正値が求めら
れるまでの各制御周期では直前の補正値によるループ制
御を行うようにしたことを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides a position control means for controlling an operation position in a movement space in accordance with a target value inputted from the outside, and an operation position in the movement space by the position control means. And a position control loop having feedback means for performing feedback control of the position control means by an output of the position detection means so as to match the operating position with the target value. A spatial error correction means for calculating a spatial error between a command space and a motion space with respect to an output value of the position detection means and outputting a feedback correction value. Divides the spatial error over a plurality of control cycles set according to the control target of the control loop, and calculates a new correction value.
In each control cycle until the
It is characterized by performing control .

【0010】[0010]

【作用】本発明においては、本来1サンプリング周期内
で処理されるべき空間誤差補正の演算処理を複数の制御
周期にまたがって分割演算処理する。従って空間誤差補
正関数が複雑である場合にも、制御ループの制御特性を
劣化させることなく、制御ループ内に所定の空間誤差補
正機能を搭載することが可能になる。本来の位置制御シ
ステムにおいては、各制御周期で現在値が補正され、そ
の補正された現在値に基づいて次の指令値を演算出力す
るという制御がなされるのに対して、本発明においては
複数周期にまたがるサンプリング期間が経過してある目
標値と現在値に対する補正演算が終了する。従って、そ
の複数のサンプリング期間は、直前に計算された補正値
を用いた空間誤差補正演算が行われることになる。なお
実際にこのような条件で分割演算による空間誤差補正が
可能であるためには、位置制御手段による必要な移動距
離と時間の範囲で誤差補正分の変化がある微小な範囲に
あることが必要である。
According to the present invention, the arithmetic processing for spatial error correction, which should be processed within one sampling cycle, is divided and performed over a plurality of control cycles. Therefore, even when the spatial error correction function is complicated, a predetermined spatial error correction function can be mounted in the control loop without deteriorating the control characteristics of the control loop. In the original position control system, control is performed such that the current value is corrected in each control cycle, and the next command value is calculated and output based on the corrected current value. The correction calculation for the target value and the current value for which the sampling period spanning the cycle has elapsed ends. Therefore, in the plurality of sampling periods, a spatial error correction operation using the correction value calculated immediately before is performed. In order to actually perform spatial error correction by the divisional operation under such conditions, it is necessary that the error correction change in a small range where the error correction changes in the required moving distance and time range by the position control means. It is.

【0011】[0011]

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を説
明する。図1は、一実施例の位置制御システム構成を示
す。制御ループは基本的に、モータ及びその駆動系等を
含む位置制御器1、スケールカウンタ等の位置検出器
2、位置検出出力を帰還する帰還回路を構成するための
加算器3により構成される。加算器3には、指令空間上
の座標値による目標値xt と補正値xc が入り、Δx=
xt−xc なる指令値が位置制御器1に入力される。位
置検出器2は、運動空間上の座標値xm =(Xm ,Ym
,Zm )による位置検出を行う。この検出結果を誤差
補正して帰還して指令値ΔXを得るために、位置検出器
2と加算器3の間には、図示のように直線補正を行う直
線補正回路4、空間誤差補正回路5及び加算器6が挿入
されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a configuration of a position control system according to an embodiment. The control loop basically includes a position controller 1 including a motor and its driving system, a position detector 2 such as a scale counter, and an adder 3 for forming a feedback circuit for feeding back a position detection output. The adder 3 receives a target value xt and a correction value xc based on coordinate values in the command space, and Δx =
A command value xt-xc is input to the position controller 1. The position detector 2 calculates a coordinate value xm = (Xm, Ym) in the motion space.
, Zm). In order to correct the error and to feed back the detection result to obtain a command value ΔX, a linear correction circuit 4 for performing linear correction and a spatial error correction circuit 5 are provided between the position detector 2 and the adder 3 as shown in the figure. And an adder 6 are inserted.

【0012】直線補正回路4は、温度等の環境変化、組
立の再現性、時間経過に伴って発生する微妙な線形誤差
を補正するために、位置検出器出力x’に対して、一次
関数x=ax′で表される直線補正を行う部分である。
空間誤差補正回路5は、運動空間上の座標値xm =(X
m ,Ym ,Zm )について、空間誤差補正分δx=f
(xm )=(δX,δY,δZ)を求める部分である。
これらの直線補正回路4の出力値xと、空間誤差補正回
路5の演算により求められる補正分δxを加算器6で加
算することにより、帰還制御値である補正値xc が得ら
れる。
The linear correction circuit 4 corrects a linear function x with respect to the position detector output x 'in order to correct environmental changes such as temperature, reproducibility of assembly, and subtle linear errors occurring with time. = Ax 'to perform straight line correction.
The spatial error correction circuit 5 calculates a coordinate value xm = (X
m, Ym, Zm) for the spatial error correction δx = f
(Xm) = (δX, δY, δZ).
The adder 6 adds the output value x of the linear correction circuit 4 and the correction δx calculated by the operation of the spatial error correction circuit 5 to obtain a correction value xc as a feedback control value.

【0013】実際には、直線補正回路4,空間誤差補正
回路5及び加算器3,6の部分はコンピュータのソフト
ウェアにより構成される。そしてこの実施例において
は、空間誤差補正回路5により補正分δxを求める演算
処理が、N回のサンプリング周期にまたがって行われ
る。即ち1制御周期をS[msec]として、N×Sの
期間は、補正されない古い補正分δxOLD を用いたルー
プ制御が行われ、その間に新たな補正分δxNEW を求め
る演算が行われることになる。
In practice, the linear correction circuit 4, the spatial error correction circuit 5, and the adders 3 and 6 are constituted by computer software. In this embodiment, the calculation processing for obtaining the correction amount δx by the spatial error correction circuit 5 is performed over N sampling periods. That is, assuming that one control cycle is S [msec], the loop control using the old uncorrected correction δxOLD is performed during the N × S period, and the calculation for obtaining the new correction δxNEW is performed in the meantime.

【0014】図2は、そのような分割演算を行うこの実
施例の制御フローを示している。まず位置検出器2によ
る位置検出出力x’に対して、x=ax’なる直線補正
を行う(S1 )。次に空間誤差補正分の演算を分割処理
するためのC値対応処理を行う(S2 )。即ちサンプリ
ング周期の数をカウントしながら、カウント値Cが所定
の周期数Nになるまでの複数個の処理ΣCi で新たな誤
差補正分δxを計算する。図3は、このC値対応処理の
流れを示している。C1 ,C2 ,…,CN が各サンプリ
ング周期に分割された誤差補正分を求める計算処理で
あ。そして、サンプリング周期毎にカウント値Cをステ
ップアップして(S3 )、これがNを超えたか否かを判
断し(S4 )、Nを超えるまでは旧補正分δxOLDを用
いて(S6 )、補正値xc =x+δxを求める演算を行
い(S7 )、さらにこの補正値xc を用いて通常通り目
標値xt から指令値Δx=xt −xc を求める演算処理
を行う(S8 )。カウント値CがNを超えると、その間
に求められた新しい誤差補正分δxNEWを採用し、同時
にカウント値Cをリセットして(S5 )、以下同様の演
算処理が繰り返される。
FIG. 2 shows a control flow of this embodiment for performing such a division operation. First, a straight line correction of x = ax 'is performed on the position detection output x' by the position detector 2 (S1). Next, C value corresponding processing for dividing the calculation for the spatial error correction is performed (S2). That is, while counting the number of sampling cycles, a new error correction amount δx is calculated by a plurality of processes ΔCi until the count value C reaches the predetermined number N of cycles. FIG. 3 shows the flow of the C value handling process. C1, C2,..., CN are calculation processes for obtaining an error correction amount divided into each sampling period. Then, the count value C is stepped up at each sampling period (S3), and it is determined whether or not the count value has exceeded N (S4). An operation for obtaining xc = x + δx is performed (S7), and an operation for obtaining a command value Δx = xt−xc from the target value xt is performed as usual using the correction value xc (S8). When the count value C exceeds N, the new error correction value .delta.xNEW obtained during that time is adopted, and at the same time, the count value C is reset (S5), and the same operation is repeated thereafter.

【0015】図4は、この実施例による位置制御演算処
理の時間的な流れを図5に対応させて示している。図2
に示す全体の制御演算処理時間T’が制御周期Sの範囲
にあり、且つこの処理時間T’が従来と同じ計算処理を
行う時間Tと、空間誤差補正のためのステップS2 〜S
7 に要する処理時間Uとからなる。分割演算処理時間U
の最大演算時間をUmax としたとき、T+Umax <Sな
る条件を満たすことが必要になる。
FIG. 4 shows a temporal flow of the position control calculation processing according to this embodiment in correspondence with FIG. FIG.
Is within the range of the control cycle S, and this processing time T 'is the time T for performing the same calculation processing as before, and the steps S2 to S for spatial error correction.
7 requires a processing time U. Division operation processing time U
It is necessary to satisfy the condition of T + Umax <S, where Umax is the maximum calculation time of.

【0016】以上のようにこの実施例では、新たな誤差
補正分δxNEW を演算しているN×Sの時間は旧誤差補
正分δxOLD を用いてループ制御が行われることにな
る。具体的に例えば、最大移動速度Vで移動していると
きに正確な軌道制御が求められる場合、T’<Sを満た
す最小のサンプリング周期数Nに対して、距離L=N×
S×Vの間、旧誤差補正分δxOLD を用いることにな
る。従ってこの間、誤差補正分δxの変化量はある微小
な範囲にあることが必要になる。
As described above, in this embodiment, the loop control is performed using the old error correction amount δx OLD during the time of N × S during which the new error correction amount δx NEW is calculated. Specifically, for example, when accurate trajectory control is required while moving at the maximum moving speed V, the distance L = N ×
During S × V, the old error correction δxOLD is used. Therefore, during this time, the amount of change of the error correction amount δx needs to be within a certain minute range.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、空間
誤差補正の演算処理を複数の制御周期にまたがるように
分割して行うことにより、制御周期を長くすることな
く、従って制御特性を劣化させることなく、複雑な補正
関数に基づく制御ループ内での空間誤差補正を可能とし
た三次元位置制御システムを得ることができる。
As described above, according to the present invention, the arithmetic processing for spatial error correction is divided into a plurality of control cycles so that the control cycle is not lengthened, and thus the control characteristics are improved. A three-dimensional position control system capable of correcting a spatial error in a control loop based on a complicated correction function without deterioration can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の一実施例の位置制御システムの構成
を示す。
FIG. 1 shows a configuration of a position control system according to an embodiment of the present invention.

【図2】 同実施例の制御フローを示す。FIG. 2 shows a control flow of the embodiment.

【図3】 同実施例の分割演算処理フローを示す。FIG. 3 shows a flow of a division operation process of the embodiment.

【図4】 同実施例の制御のタイミングである。FIG. 4 is a control timing of the embodiment.

【図5】 従来の位置制御システムの制御タイミング図
である。
FIG. 5 is a control timing chart of a conventional position control system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…位置制御器、2…位置検出器、3,6…加算器、4
…直線補正回路、5…空間誤差補正回路。
1: Position controller, 2: Position detector, 3, 6: Adder, 4
... a linear correction circuit, 5 ... a spatial error correction circuit.

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平5−248852(JP,A) 特開 平5−233005(JP,A) 特開 平5−204461(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G05D 3/00 - 3/20 G05B 11/00 - 13/04 G05B 19/18 - 19/46 G05B 21/00 - 21/02 Continuation of front page (56) References JP-A-5-248852 (JP, A) JP-A-5-233005 (JP, A) JP-A-5-204461 (JP, A) (58) Fields investigated (Int) .Cl 7, DB name) G05D 3/00 -. 3/20 G05B 11/00 - 13/04 G05B 19/18 - 19/46 G05B 21/00 - 21/02

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 外部から入力される目標値に応じて運動
空間での動作位置制御を行うための位置制御手段、この
位置制御手段による運動空間上での動作位置を検出する
位置検出手段、及び前記動作位置を前記目標値に一致さ
せるべく前記位置検出手段の出力により前記位置制御手
段を帰還制御する帰還手段を有する位置制御ループと、 前記制御ループ内に設けられて、前記位置検出手段の出
力値について指令空間と運動空間との空間誤差を演算し
て帰還用の補正値を出力する空間誤差補正手段とを有す
る三次元位置制御システムにおいて、 前記空間誤差補正手段は、前記制御ループの制御対象に
応じて設定された制御周期の複数周期にまたがって空間
誤差を分割演算処理し、新たな補正値が求められるまで
の各制御周期では直前の補正値によるループ制御を行う
ようにしたことを特徴とする三次元位置制御システム。
1. A position control means for controlling an operation position in a movement space according to a target value inputted from the outside, a position detection means for detecting an operation position in the movement space by the position control means, and A position control loop having feedback means for performing feedback control of the position control means by an output of the position detection means so as to make the operating position coincide with the target value; an output of the position detection means provided in the control loop; A three-dimensional position control system having a spatial error correction means for calculating a spatial error between the command space and the motion space for the value and outputting a correction value for feedback, wherein the spatial error correction means is controlled by the control loop. Until a new correction value is obtained by dividing the spatial error over a plurality of control cycles set according to
A loop control based on the immediately preceding correction value in each control cycle .
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