JP3396835B2 - アルカリ金属を含有しないアルミノ硼珪酸ガラスとその用途 - Google Patents
アルカリ金属を含有しないアルミノ硼珪酸ガラスとその用途Info
- Publication number
- JP3396835B2 JP3396835B2 JP25212198A JP25212198A JP3396835B2 JP 3396835 B2 JP3396835 B2 JP 3396835B2 JP 25212198 A JP25212198 A JP 25212198A JP 25212198 A JP25212198 A JP 25212198A JP 3396835 B2 JP3396835 B2 JP 3396835B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- alkali metal
- glasses
- temperature
- aluminoborosilicate glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
- C03C3/087—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal containing calcium oxide, e.g. common sheet or container glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/095—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing rare earths
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C1/00—Ingredients generally applicable to manufacture of glasses, glazes, or vitreous enamels
- C03C1/004—Refining agents
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
- C03C3/093—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium containing zinc or zirconium
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
アルカリ金属を含有しないアルミノ硼珪酸ガラスに関す
る。
ル表示装置(ディスプレー)のフロントスクリーンとし
て使用されるべきガラスに求められる要求条件は、W.
H.Dumbaugh、P.L.Bocko及びF.
P.Fehlnerにより「高性能ガラス」(”Hig
h−Performance Glasses”,e
d.M.Cable and J.M.Parker,
Blackie and Son Limited,G
lasgowand London,1992)におけ
る記事「フラットパネルディスプレー用ガラス」におい
て明示的に記述されている。この種の応用の際に入手可
能なガラスはまた、J.C.Lapp、P.L.Boc
ko及びJ.W.Nelsonにより1994版コーニ
ング・リサーチ(Corning Research,
1994)中の記事「フラットパネルディスプレー用高
級ガラス基体」(”Advanced glass s
ubstrates”)で検討されている。平板ガラス
基体に必要で、システムの画像化特性の精度に決定的効
果を及ぼす特性の優良性は、一方においてガラスの組成
により直接、他方においてはガラスの特定の特性、例え
ば厚み輪郭パラメタや平面度パラメタを設定する生産、
処理及び成形方法とその施設により規定され、方法の適
用性はまたガラスの組成により、或いはガラスの特性に
よりしばしば制限される。
途で支配的役割を果たす。特に、周期的且つ差動的な熱
負荷が加えられるとき高い安定性により、低い熱膨張に
より、また腐食性試薬や媒体に対する良好な耐性により
区別される。
ラスとしての用途に対し概して重要となるが、ディスプ
レー製造工程、例えば、活動マトリックス液晶ディスプ
レー(AMLCDs)の製造工程と求められる用途は、ガラスの
極めて特殊な特性プロフィールを要求する。即ち、 −多結晶シリコンの要求に合う熱膨張係数α
20/300=3.5−3.8×10−6/k −製造中、特に冷却相にあるガラスの低圧縮の際のガラ
スの熱処理及び幾何学的安定性を高めるため粘度10
14.5dPasにおける温度が少なくとも650℃で
あること、 −アルカリ金属を含有しないガラス組成。半導体層内に
拡散するアルカリ金属イオンによる微細構造薄膜トラン
ジスタの汚染を阻止するために、アルカリ金属酸化物の
全量ΣR2Oは最大1000ppmまで許容できる。 −微細化工程に用いられる試薬や媒体に関する化学的耐
性、即ち耐加水分解性、耐酸性及び耐アルカリ性が充分
であること。 −特に大型スクリーンフォーマットの場合、ディスプレ
ーの全重量を低く保つため、密度ρが比較的低い、即ち
ρ≦2.60g/cm3であること。
ち結晶混入物、結節及び気泡の無いことでの品質が極め
て良好でなければならない。
は、アルカリ土金属アルミノ硼珪酸ガラス下位からの硼
珪酸ガラスにより最良に満たされる。TFT AMLC
D用途の既知の市場入手可能なガラスはこの種のガラス
に属し、以下に記載の特許又は特許出願のガラスもこの
群を代表するものである。しかしながら、表示用途に現
在知られているガラスは何れも不利があり、要求条件の
全ても満たすものではない。
スプレー用ガラスとしての用途に対し、就中、熱的に安
定で、化学的耐性のあるガラスが記載されている。B2
O3の含有量が10%と高く、SiO2含有量が比較的
低い(46−56%)ので、この種のガラスは塩酸に対
する耐性は充分ではない。更に、弗化水素酸を含む溶液
に対するその耐性もまずまずであるに過ぎない。多結晶
シリコンに対する熱膨張の整合も不十分である。115
0℃以下の処理温度VAは低すぎて、マイクロシートダ
ウン延伸方式等の延伸方式やフロート工程の代替として
のオーバーフロー溶融方式を用いることができない。更
に、642℃又はそれ以下の特定歪み点は低く過ぎ、圧
縮を最小にできない。
ート方式で製造でき且つ就中種々のディスプレーや写真
マスク用の基体として用いられるアルカリ金属を含有し
ないガラスが記載されている。このガラスはBaOやM
gOを含まず、B2O3を低い含有量で含むに過ぎな
い。4.5−6.0x10−6/Kの熱膨張は低すぎ
て、多結晶シリコンに極めて良く合った高品質TFTデ
ィスプレー用ガラスの要求条件を満たさない。
ロンチウムアルミノ珪酸ガラス基体を有するフラットデ
ィスプレー装置が記載されている。脱ガラス化安定性の
高いこのガラスのガラス組成は、オーバーフロー溶融延
伸方式で製造される適切さと関係しているようである。
このガラスの密度やその熱膨張係数も高すぎる。
30Aには、B2O3の含有量が高い(15重量%ま
で)ので、塩酸に対する安定性が低下する、アルカリ金
属を含まないガラス基体が記載されている。
97/11920にも、アルカリ金属を含有しないガラ
ス基体が記載されている。記載されたガラスはMgOを
含まないか、その含有量が少ない。各ガラスはそれぞ
れ、重量比でZnO及びTiO2を5%まで含む。Zn
Oはフロート浴内でガラス面から蒸発し、引き続いて凝
縮しやすいため、ガラスに欠陥を生ずることがある。T
iO2の含有を増やすと、通常の原材料を用いた場合、
ガラスは褐色になろう。通常の原材料に常に含まれてい
るFe3+がTi4+と共に、褐色の錯体を形成するか
らである。
TFTフラットディスプレーに用いられる、アルカリ金
属を含まないガラスが記載されている。例示された実施
例は、例えば熱膨張、歪点又はHCl安定性に付き極め
て良好な表示特性を示している。しかしながら、これ等
のガラスの粘性挙動は、適切と述べられている「フロー
ト」製造方法にとって好ましくない。これは、温度の定
点T(logη=4)=1310−1350℃及びT
(logη=2)=1710−1810℃は溶融及び精
製方法にだけでなく、フロート法にも決定的な影響を及
ぼし、高すぎるからである。SiO2の含有が高いこの
種の高粘性のアルミノ珪酸ガラスに対して、効率的な精
製は極めて問題である。従って、記載されたガラスは、
可視品質に関する必要な高要求を満たさない。
国特許5508237には、フラットディスプレー用ア
ルミノ珪酸ガラスが、異なる膨張係数をもたらす種々の
組成範囲で記載されている。これ等のガラスは、オーバ
ーフロー溶融延伸方式だけでなく、他の平板ガラス製造
方式でも処理できると述べられている。しかしながら、
特に多結晶シリコンに合わせた熱膨張係数のガラスは、
極めて高い処理温度VAを要し、フロート法には適しな
い。前述のガラスの場合と同様、可視品質はここでも高
くない。有効な精製方法、特にフロート法に適合する方
法が全く提示されていないからである。例として述べれ
た精製作用物質Sb2O3、As2O3はいずれも、容
易に還元されることから不適切である。これは、光学的
ガラス成分Ta2O5やNb2O5に付いても云える。
MLCD用アルカリ金属非含有ガラス基体でも、単にS
iO2、B2O3、MgO及びBaOを含ませるだけな
ので、可視品質は高くないであろう。
nO2を含み、溶解が容易で、経済的な精製が可能なア
ルカリ金属非含有アルミノ珪酸ガラスが記載されてい
る。このガラスは高い化学的安定性を有し、写真マスク
ガラスとして用いられる。熱膨張係数が4.0x10
−6/Kで、その熱膨張挙動は多結晶シリコンのそれと
は最適には適合しない。B2O3を含まず、同時に高い
含有量のAl2O3を含むことから、同ガラスの温度/
粘性プロフィールは平板ガラス製造方法に適しない。
344C1にも、SnO2を含むアルカリ金属非含有ガ
ラスが記載されている。このガラスは、SiO2の含有
量が比較的低く、Al2O3を高含有量で含んでいる。
熱膨張係数が約3.7x10−6/Kで、また極めて良
好な化学的安定性を有するこのガラスはディスプレー技
術で用いるのに適している。しかしながら、フロート法
でも延伸方法でも製造できる、即ち「普遍的に」製造可
能であるためには、改良の余地がある。このことは、本
出願人の名義の他の独国特許DE19603698C1
に記載されたガラスに付いても同様である。
新のTFTディスプレーガラス基体の既述の物理的及び
化学的要求条件を満たすガラス、即ち種々のTFTディ
スプレーの型式に対する特定の用途プロフィールに応じ
てガラスを製造するために、フロート方式又は延伸方式
(アップ延伸及び種々のダウン延伸方式)等の種々の板
ガラス製造方法の採用を可能にする好ましい処理温度範
囲と高い脱ガラス化安定性を有するガラスを提供するこ
とにある。従って、製造が可能な厚みも、30μmから
数mmの範囲で変更が可能となる。この種のガラスは容
易に溶融と精錬が可能である必要があり、従って比較的
低い温度、即ち1600−1630℃の範囲の温度で粘
度102.0dPasの粘性を示す必要がある。
等の揮発性の高い硼酸化合物の形成は内部のガラス特性
を損なうので、回避するか又は少なくとも最小限度にす
べきである。
法)を用い30から50μmの厚み範囲のマイクロシー
トを製造するために、ガラスは同時に高い脱ガラス化安
定性と特定の処理温度VAを有するべきである。
で1230−1260℃の温度である。脱ガラス化安定
性又は結晶化安定性の一つの特性は、最大結晶成長速度
VM AX[μm/h]で、これは温度Tに対して結晶の
成長速度vのプロット上に形成される結晶の最大観測成
長長さを表し、VMAXは最大結晶成長の温度KGM
AXで成長速度に対応する。VMAXが小さくなればな
るほど、形成される結晶体積は小さくなる。このV
MAXはこの場合、10μm/hを越えるべきでない。
ー用途のガラスパネルを、特に大型の型式で製造するた
め、粘度104dPasの粘性における温度は1230
から1280℃の間にあるべきである。As2O3、S
b2O3、P2O5、Bi2O3、PbO、CdO及び
ZnO等の容易に還元されるガラス成分はガラス組成に
含まれるべきではない。なぜならこれ等の成分は、フロ
ート浴内で還元条件下で初期状態に還元され、灰色の金
属面反射又は他の微細面欠陥を生ずる。結晶化安定性の
要求条件はここでは、前記MDD方法におけるほど高く
はない。従って、30μm/h以下のVMAXで尚、充
分である。
融方法で0.5から1.1mmの厚さの極平坦な薄ガラ
スパネルを製造するためには、ガラスは特に高い脱ガラ
ス化安定性、即ち高々10μm/h、好ましくは高々5
μm/hでVMAXと、上方脱ガラス化限界又は液相線
温度(T liquidus)、即ち形成されているこ
とがある結晶が再溶解される温度で、処理温度VAをで
きるだけ下回る温度を有すべきである。VAはこの場
合、1240から1320℃であるべきである。従来技
術によれば、差VA−T liquidusを大きくす
るために、VAはこの種のガラスでは寧ろ高い。しかし
ながら、これは、処理温度が高くなるとガラス製造のエ
ネルギーの初期コストが増大し、耐火物の腐食が促進さ
れるからである。従って、液相線温度が低いことが望ま
しい。ここで記載した方法にかかわらず、VAはできる
限り1280℃を越えないことが望ましい。
目的は、請求項1によるガラスにより達成される。
iO2、B2O3及びAl2O3は狭い限定含有率で存
在し、従ってまた狭い相対比で存在する。SiO2量は
比較的高く、即ち重量比が少なくとも57%で、多くと
も60%である。B2O3含有量は寧ろ低く、重量比が
少なくとも6.5%で、多くとも9.5%である。重量
比が9%未満の限定が好ましい。Al2O3の含有率は
単に14と17.5%の間、好ましくは14と17%で
変わるべきである。このようにして始めて、3.5から
3.8x10−6/Kの範囲の望まれる低熱膨張係数α
20/300と、同時に高々2.6g/cm3の低密度
ρを達成することができる。ガラス構造内でB2O3と
Al2O3は互いに影響するので、望まれる良好な化学
的及び結晶化安定性はB2O3含有率の上記の狭い範囲
でのみ達成される。B2O3の含有率が下がると、ガラ
スは脱ガラス化しやすくなり、配位数5及び6のアルミ
ニウム原子数が増大してAl配位が直接影響され、熱膨
張が増大する。B2O3及びAl2O3の含有量が高す
ぎると、塩酸に対する耐性が低下する。
も15%の重量比で含まれる。量が少ないと、溶融と成
形に要する粘性での温度が過度に高くなろう。アルカリ
土金属酸化物の小さい陽イオンと大きい陽イオン間の平
衡比は、小さい陽イオン数が半数以上であるとすると、
処理温度に正の効果を及ぼす。従って、ガラスは重量比
で、MgOを5−8%、BaOを0−3.5%、好まし
くは2−3.5%含み、CaOを1−4%、SrOを5
−8%含む。この場合、MgO、CaO、SrO及びB
aOの全量は重量%で17%に制限されるべきである。
そうしないと、化学的耐性が再び低下する。
よりSrOを用いるのが好ましい。重い酸化物BaOと
SrOを全く除くか、含有量を低くし過ぎると、ガラス
はより脱ガラス化しやすくなり、変態温度並びに粘度1
014.5dPasの粘性における温度が低下する。B
aOとSrOの含有量を過剰に高めると、処理温度が許
容できない程度まで高くなる。
いガラスは好ましくはフロート方法を用いて処理され、
BaOを高含有量で含むガラスは好ましくは延伸方法を
用いて処理される。
Oやアルカリ金属酸化物を含まない。
の重量比で含む。ZrO2は化学的耐性を改善する。そ
の含有量は、その低い溶解度のため制限される。ガラス
はまたTiO2を0.4−1%の重量比で含む。これに
より、しばしば観測されるアルミノ硼珪酸ガラスのポラ
リゼーション感受性、即ちUV−VIS放射線のため生
ずる可視波長での透過の低下に対する感応性が最小に抑
えられる。
レドックス平衡状態で含まれるようSnO2と組み合わ
せることは、特に有効である。重量比で0.2−1%が
含まれることにより、SnO2として計算され、導入さ
れる、通常の原材料を用いると不可避なFe3+を低下
する。これにより、TiO2を含むガラスの場合、Fe
3+を含有するTi錯体のため決まって生じ、透過を損
なう黄色着色の発生が阻止される。こうして、ディスプ
レー装置の基体ガラスとして用いられると、使用期間が
比較的長くても光輝性が極めて高く保持される画像を保
証するガラスが得られる。
1−0.5%含まれるCeO2の含有は本発明に必須で
ある。
より、SnO2/SnOレドックス平衡が安定化され、
異常に良好な精製効果がアルミノ硼珪酸ガラスに対し得
られ、本発明によりガラスは要求される高可視特性を示
すようになる。更に、SnO2及びCeO2はZrO2
と組み合わされてガラスの化学的耐性を安定化する。C
eO2の含有を高めると、UV−吸収が増大し、吸収遮
断がVIS領域にシフトする。
及びSb2O3の使用を排除でき、ガラスは不可避の不
純物は別として、これ等の成分も他の容易に還元する成
分を含有しないので、ガラスは種々の延伸方法のみなら
ず、フロート方法を用いても処理が可能となる。後者の
方法を採用しない場合は、ガラスは付加的精製作用物質
としてAs2O3及び/又はSb2O3を重量比で1.
5%まで含んでもよい。また、Cl−(例えばBaCl
2の形式で)、F−(例えばCaF2の形式で)又はS
O4 2−(例えばBaSO4の形式で)の各々を重量比
で1.5%加えてもよい。しかしながら、As2O3、
Sb2O3、Cl−、F−及びSO4 2 −の総量は重量
比で1.5%を越えるべきではない。
るつぼ内で1620℃で溶融した溶融物は同じ温度で一
時間半かけて精製され、次いで誘導加熱白金製るつぼに
注入され、1550℃の温度で30分撹拌されて均質化
された。
おいて組成と最重要特性に付き(表1)、本発明によら
ないガラスを比較例AからJ(表2)で示す。種々の化
学的耐性は次のように与えられる:70mmx50mm
x2mmの寸法で、全側面が研磨されたガラス板を表示
の時間、表示の温度でそれぞれの溶液で処理し、損失重
量(エロージョン)が決定され、mg/cm2で表示さ
れた。
表示された特性又は当該安定性は、液相線温度と最大結
晶成長速度VMAXである。
as、107.6dPas、104dPas及び102
dPasの粘性に対する温度は、各表にT 14.5;
T13;T 7.6;T 4及びT 2で示されてい
る。
移温度Tg、熱膨張係数α20/3 00[10−6/
K]及び密度ρ[g/cm3]である。
良好であるが、本発明によるガラスと違って比較ガラス
はのいずれもTFT用途のためのディスプレー基体ガラ
スの全要求条件プロフィールを満たしていない。B2O
3の量は少なすぎ、脱ガラス化安定性を低下すると共
に、熱膨張を増大する(例A、C−H)。B2O3とA
l2O3の含有量が多すぎると、塩酸に対する耐性が低
下する(例B)。例Iと例Jの示すところは、アルカリ
土金属イオンは大きなものと小さなものとの比をバラン
スされる必要があることである。即ち、アルカリ土金属
酸化物の全量が「正しくても」、MgOが少なすぎ、B
aOが多すぎれば(例1)、処理温度は極めて高くな
り、特にフロート処理用には過剰に高くなる。BaOと
SrOがいずれも含まれないと(例J)、VMAXは極
めて高く、液相線温度は処理温度以上になる。
が狭く、既述の特性の全てを組み合わせて以下の通り実
現するものである。 *熱膨張係数α20/300が多結晶シリコンのそれと
極めて良好に整合する。 *密度ρが極めて低い。 *化学的耐性が傑出している。 *ソラリゼーション安定性が充分である。 *処理温度が適切である(VA≦1280℃)。 *粘度1014.5dPasの粘性における温度が少な
くとも650℃である。 *アルカリ金属を含まないこと。 *結晶化安定性が極めて良好であること。 *温度/粘性プロフィールの特性のため、また結晶化傾
向が低いので、容易に還元される成分を含まない限り、
ガラスは種々の延伸方法を用い、またフロート方法を用
い、処理してよい。しかしながら、特性プロフィールが
極めて特殊なことから、本発明による組成範囲からのあ
る特定ガラスは他の方法よりある方法により適している
もあるが理解されるべきである。茲に与えられた表示に
基づき当該用途及び特殊要求条件に最適なガラスを選ぶ
ことは、当業者に全く簡単である。 *成分、特に精錬作用物質がバランスして組み合わされ
るので、ガラスは極めて良好な可視品質をもつ。
Claims (5)
- 【請求項1】次の組成(酸化物に基づく重量%で): SiO2 57−60 B2O3 6.5−9.5 Al2O3 14−17.5 MgO 5−8 CaO 1−4 SrO 5−8 BaO 0−3.5 ここで MgO+CaO+SrO+BaO 15−17
であり、また ZrO2 0.4−1.5 TiO2 0.4−1 CeO2 0.1−0.5 SnO2 0.2−1 を有する、アルカリ金属を含有しないアルミノ硼珪酸ガ
ラス: - 【請求項2】不可避の不純物を別とし、酸化砒素と酸化
アンチモンを含有しないことを特徴とする、フロートシ
ステムで生成される、請求項1によるアルカリ金属を含
有しないアルミノ硼珪酸ガラス。 - 【請求項3】 さらに As2O3 0−1.5 Sb2O3 0−1.5 Cl− 0−1.5 F− 0−1.5 SO4 2− 0−1.5 を含み、ここで As2 O 3 +Sb 2 O 3 +Cl−+F−+SO4 2−≦1.5 であることを特徴とする請求項1によるアルカリ金属を
含有しないアルミノ硼珪酸ガラス。 - 【請求項4】 熱膨張係数α20/300が3.5−
3.8x10−6/K、粘度1014.5dPasにお
ける温度が少なくとも650℃、粘度104dPasに
おける温度が≦1280℃、密度ρが2.60g/cm
3 以下、且つ95℃における濃度5%の塩酸で24時間
の処理後の損失重量が1.0mg/cm2以下である請
求項1から3のいずれかによるアルカリ金属を含有しな
いアルミノ硼珪酸ガラス。 - 【請求項5】表示技術において基体として用いる、請求
項1から4のいずれかによるアルカリ金属を含有しない
アルミノ硼珪酸ガラスの用途。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19739912.6 | 1997-09-11 | ||
DE19739912A DE19739912C1 (de) | 1997-09-11 | 1997-09-11 | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11157869A JPH11157869A (ja) | 1999-06-15 |
JP3396835B2 true JP3396835B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=7841996
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25212198A Expired - Fee Related JP3396835B2 (ja) | 1997-09-11 | 1998-09-07 | アルカリ金属を含有しないアルミノ硼珪酸ガラスとその用途 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6096670A (ja) |
EP (1) | EP0901990B1 (ja) |
JP (1) | JP3396835B2 (ja) |
KR (1) | KR100509726B1 (ja) |
CN (1) | CN1154620C (ja) |
AT (1) | ATE212959T1 (ja) |
DE (2) | DE19739912C1 (ja) |
HK (1) | HK1021636A1 (ja) |
MY (1) | MY125869A (ja) |
SG (1) | SG67539A1 (ja) |
TW (1) | TW460425B (ja) |
Families Citing this family (59)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6468933B1 (en) * | 1998-09-22 | 2002-10-22 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkali-free glass and method of producing the same |
CN1160268C (zh) * | 1998-11-30 | 2004-08-04 | 康宁股份有限公司 | 用于平板显示器的玻璃 |
DE19916296C1 (de) * | 1999-04-12 | 2001-01-18 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
DE19934072C2 (de) | 1999-07-23 | 2001-06-13 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas, seine Verwendungen und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE19939789A1 (de) * | 1999-08-21 | 2001-02-22 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und deren Verwendungen |
DE19939771B4 (de) * | 1999-08-21 | 2004-04-15 | Schott Glas | Verfahren zur Läuterung von Glasschmelzen |
DE19942259C1 (de) | 1999-09-04 | 2001-05-17 | Schott Glas | Erdalkalialuminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
DE19959084B4 (de) * | 1999-12-08 | 2005-05-12 | Schott Ag | Organisches LED-Display und Verfahren zu seiner Herstellung |
DE10000838B4 (de) * | 2000-01-12 | 2005-03-17 | Schott Ag | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
DE10000836B4 (de) * | 2000-01-12 | 2005-03-17 | Schott Ag | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
DE10000837C1 (de) * | 2000-01-12 | 2001-05-31 | Schott Glas | Alkalifreie Aluminoborosilicatgläser und ihre Verwendungen |
KR100367638B1 (ko) * | 2000-03-28 | 2003-01-10 | 준 신 이 | CeO₂박막과 반사방지막을 이용한 다결정 실리콘TFT의 제조방법 |
KR20020006822A (ko) * | 2000-07-13 | 2002-01-26 | 서두칠 | 무 알칼리 유리 |
DE10034985C1 (de) * | 2000-07-19 | 2001-09-06 | Schott Glas | Verfahren zur Herstellung von Aluminosilicatgläsern, Aluminosilicatgläser sowie deren Verwendungen |
US6517888B1 (en) * | 2000-11-28 | 2003-02-11 | Scimed Life Systems, Inc. | Method for manufacturing a medical device having a coated portion by laser ablation |
JP2002193636A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-10 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 無アルカリガラスとその製造方法をそれを用いて得られるフラットディスプレーパネル |
EP1227068A1 (en) * | 2000-12-25 | 2002-07-31 | Nippon Electric Glass Co., Ltd | Crt funnel of a non beam-index type |
DE10114581C2 (de) * | 2001-03-24 | 2003-03-27 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und Verwendungen |
DE10204150A1 (de) | 2002-02-01 | 2003-08-14 | Schott Glas | Erdalkalialuminosilicatglas und Verwendung |
DE10238930C1 (de) * | 2002-08-24 | 2003-11-20 | Schott Glas | Borosilicatglas und seine Verwendungen |
DE10307422B4 (de) * | 2003-02-21 | 2008-08-07 | Schott Ag | Verwendung eines Glassubstrats zur Herstellung eines Datenspeichers |
WO2005063642A1 (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Asahi Glass Company, Limited | 無アルカリガラス、その製造方法および液晶ディスプレイパネル |
FR2895395B1 (fr) * | 2005-12-22 | 2008-02-22 | Saint Gobain | Procede d'affinage du verre |
US8007913B2 (en) * | 2006-02-10 | 2011-08-30 | Corning Incorporated | Laminated glass articles and methods of making thereof |
US7833919B2 (en) | 2006-02-10 | 2010-11-16 | Corning Incorporated | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof |
KR100782159B1 (ko) * | 2006-06-30 | 2007-12-06 | 인하대학교 산학협력단 | 피디피용 유리 프릿의 제조방법 및 그 조성물 |
JP2008020537A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Nh Techno Glass Kk | 液晶ディスプレイパネル |
FR2908130B1 (fr) * | 2006-11-07 | 2009-10-23 | Snc Eurokera Soc En Nom Collec | Flottage de vitroceramique |
JP5234387B2 (ja) * | 2007-06-12 | 2013-07-10 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび無アルカリガラス基板並びにその製造方法 |
EP3138822B1 (en) | 2008-02-26 | 2023-07-26 | Corning Incorporated | Fining agents for silicate glasses |
JP5292028B2 (ja) * | 2008-09-10 | 2013-09-18 | 株式会社オハラ | ガラス |
JP5292029B2 (ja) * | 2008-09-10 | 2013-09-18 | 株式会社オハラ | ガラス |
CN102143922B (zh) * | 2008-09-10 | 2014-10-15 | 株式会社小原 | 玻璃 |
US8975199B2 (en) * | 2011-08-12 | 2015-03-10 | Corsam Technologies Llc | Fusion formable alkali-free intermediate thermal expansion coefficient glass |
US8713967B2 (en) * | 2008-11-21 | 2014-05-06 | Corning Incorporated | Stable glass sheet and method for making same |
US8341976B2 (en) | 2009-02-19 | 2013-01-01 | Corning Incorporated | Method of separating strengthened glass |
JP2011201711A (ja) * | 2010-03-24 | 2011-10-13 | Hoya Corp | ディスプレイ用カバーガラスおよびディスプレイ |
DE102011009769A1 (de) | 2011-01-28 | 2012-08-02 | Eglass Asia Ltd. | Hochfestes Alkali-Alumo-Silikatglas |
JP5831838B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2015-12-09 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
US8785336B2 (en) | 2011-03-14 | 2014-07-22 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Alkali-free glass |
JP6024659B2 (ja) * | 2011-07-19 | 2016-11-16 | 旭硝子株式会社 | 薄板ガラスの巻取装置および収容装置 |
CN103717543B (zh) * | 2011-09-02 | 2016-09-21 | Lg化学株式会社 | 无碱玻璃及其制备方法 |
CN102306708B (zh) * | 2011-09-05 | 2013-11-06 | 中国科学院微电子研究所 | 一种OLEDoS微显示器件 |
DE102012100233B4 (de) * | 2012-01-12 | 2014-05-15 | Schott Ag | Hochtransmittive Gläser mit hoher Solarisationsbeständigkeit, ihre Verwendung und Verfahren zu ihrer Herstellung |
TWI614227B (zh) | 2012-02-29 | 2018-02-11 | 康寧公司 | 低cte之無鹼硼鋁矽酸鹽玻璃組成物及包含其之玻璃物件 |
WO2013154035A1 (ja) * | 2012-04-10 | 2013-10-17 | 旭硝子株式会社 | ガラス板 |
WO2014087971A1 (ja) * | 2012-12-05 | 2014-06-12 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
CN113060935A (zh) | 2013-08-15 | 2021-07-02 | 康宁股份有限公司 | 掺杂有碱金属和不含碱金属的硼铝硅酸盐玻璃 |
WO2015023561A2 (en) | 2013-08-15 | 2015-02-19 | Corning Incorporated | Intermediate to high cte glasses and glass articles comprising the same |
CN104276755B (zh) * | 2013-10-31 | 2017-02-15 | 东旭集团有限公司 | 一种高化学耐久性的无碱硼铝硅酸盐玻璃 |
JP6323139B2 (ja) * | 2014-04-17 | 2018-05-16 | 旭硝子株式会社 | 医薬品または化粧品の容器用ガラス |
US9670088B2 (en) | 2014-05-20 | 2017-06-06 | Corning Incorporated | Scratch resistant glass and method of making |
JP6700201B2 (ja) * | 2015-02-10 | 2020-05-27 | 日本板硝子株式会社 | レーザ加工用ガラス及びそれを用いた孔付きガラスの製造方法 |
CN117865461A (zh) * | 2015-10-02 | 2024-04-12 | Agc株式会社 | 玻璃基板、层叠基板和层叠体 |
WO2018116731A1 (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 日本電気硝子株式会社 | ガラス |
JP7113827B2 (ja) | 2016-12-29 | 2022-08-05 | コーニング インコーポレイテッド | 耐ソラリゼーション性の希土類ドープガラス |
CN107298528B (zh) | 2017-06-30 | 2019-08-30 | 东旭科技集团有限公司 | 铝硼硅酸盐玻璃及其制备方法和应用 |
CN111302619B (zh) * | 2020-04-17 | 2022-01-14 | 中南大学 | 一种无碱铝硼硅酸盐玻璃及其制备方法 |
CN114956169B (zh) * | 2022-05-17 | 2023-08-01 | 广东先导稀材股份有限公司 | 一种低氧砷化镉的合成方法 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DD262653A1 (de) * | 1987-06-15 | 1988-12-07 | Jenaer Glaswerk Veb | Photomaskenglas niedriger ausdehnung mit verbesserten hafteigenschaften |
JP3083586B2 (ja) * | 1991-04-26 | 2000-09-04 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラス |
US5116789A (en) * | 1991-08-12 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | Strontium aluminosilicate glasses for flat panel displays |
FR2692883B1 (fr) * | 1992-06-25 | 1994-12-02 | Saint Gobain Vitrage Int | Verres thermiquement stables et chimiquement résistants. |
US5508237A (en) * | 1994-03-14 | 1996-04-16 | Corning Incorporated | Flat panel display |
EP0714862B1 (en) * | 1994-11-30 | 1999-03-31 | Asahi Glass Company Ltd. | Alkali-free glass and flat panel display |
JP3666608B2 (ja) * | 1995-04-27 | 2005-06-29 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
JP3666610B2 (ja) * | 1995-08-02 | 2005-06-29 | 日本電気硝子株式会社 | 無アルカリガラス基板 |
KR100262116B1 (ko) * | 1995-09-28 | 2000-07-15 | 기시다 기요사쿠 | 무알칼리유리기판 |
WO1997011920A1 (fr) * | 1995-09-28 | 1997-04-03 | Nippon Electric Glass Co., Ltd. | Substrat de verre exempt d'alcalis |
DE19601922C2 (de) * | 1996-01-13 | 2001-05-17 | Schott Glas | Zinn- und zirkonoxidhaltige, alkalifreie Erdalkali-Alumo-Borosilicatgläser und deren Verwendung |
DE19603698C1 (de) * | 1996-02-02 | 1997-08-28 | Schott Glaswerke | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
DE19617344C1 (de) * | 1996-04-30 | 1997-08-07 | Schott Glaswerke | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und seine Verwendung |
JP3988209B2 (ja) * | 1996-06-03 | 2007-10-10 | 旭硝子株式会社 | 無アルカリガラスおよび液晶ディスプレイパネル |
-
1997
- 1997-09-11 DE DE19739912A patent/DE19739912C1/de not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-08-13 DE DE59803002T patent/DE59803002D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1998-08-13 EP EP98115229A patent/EP0901990B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-08-13 AT AT98115229T patent/ATE212959T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-08-20 SG SG1998003147A patent/SG67539A1/en unknown
- 1998-09-05 TW TW087114744A patent/TW460425B/zh not_active IP Right Cessation
- 1998-09-07 JP JP25212198A patent/JP3396835B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1998-09-08 MY MYPI98004085A patent/MY125869A/en unknown
- 1998-09-10 KR KR10-1998-0037307A patent/KR100509726B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-09-11 US US09/151,726 patent/US6096670A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-09-11 CN CNB981199410A patent/CN1154620C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-02-01 HK HK00100618A patent/HK1021636A1/xx not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE59803002D1 (de) | 2002-03-21 |
US6096670A (en) | 2000-08-01 |
KR100509726B1 (ko) | 2005-12-09 |
ATE212959T1 (de) | 2002-02-15 |
CN1154620C (zh) | 2004-06-23 |
EP0901990A1 (de) | 1999-03-17 |
SG67539A1 (en) | 1999-09-21 |
DE19739912C1 (de) | 1998-12-10 |
MY125869A (en) | 2006-08-30 |
TW460425B (en) | 2001-10-21 |
CN1224699A (zh) | 1999-08-04 |
JPH11157869A (ja) | 1999-06-15 |
HK1021636A1 (en) | 2000-06-23 |
KR19990029681A (ko) | 1999-04-26 |
EP0901990B1 (de) | 2002-02-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3396835B2 (ja) | アルカリ金属を含有しないアルミノ硼珪酸ガラスとその用途 | |
US6465381B1 (en) | Alkali-free aluminoborosilicate glass, its use and process for its preparation | |
JP3943307B2 (ja) | アルカリ非含有アルミノ硼珪酸ガラスとその用途 | |
US5801109A (en) | Alkali-free glass and flat panel display | |
KR100526747B1 (ko) | 알카리를 포함하지 않는 알루미노보로실리케이트 유리 및 그 이용방법 | |
US6169047B1 (en) | Alkali-free glass and flat panel display | |
JP4603702B2 (ja) | アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスおよびその使用 | |
US5374595A (en) | High liquidus viscosity glasses for flat panel displays | |
US6858552B2 (en) | Alkali-free aluminoborosilicate glasses and uses thereof | |
KR100745860B1 (ko) | 무알칼리 알루미노붕규산염 유리 및 그의 이용 | |
JP2990379B2 (ja) | 無アルカリガラス基板 | |
US5326730A (en) | Barium aluminosilicate glasses | |
JP3800657B2 (ja) | 無アルカリガラスおよびフラットディスプレイパネル | |
JP2001220174A (ja) | アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスおよびその使用 | |
KR20010089898A (ko) | 알칼리없는 규산 붕소 알루미늄 유리, 및 이 유리의 이용 | |
JPH0948632A (ja) | 無アルカリガラス基板 | |
JPH04325435A (ja) | 無アルカリガラス | |
JP2001106546A (ja) | アルカリフリーのアルミノホウケイ酸ガラス及びその使用 | |
JPH08295530A (ja) | 無アルカリガラス基板 | |
JPH05193980A (ja) | 高アルミナ、アルカリ土類ホウケイ酸塩ガラスを含むフラットパネル表示装置 | |
JP2001348247A (ja) | 無アルカリガラス | |
EP3856695A1 (en) | Dimensionally stable glasses | |
CN117550799A (zh) | 一种玻璃用组合物、无碱铝硅酸盐玻璃及其制备方法和应用 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080214 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090214 Year of fee payment: 6 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |