JP3356897B2 - Pellicle storage container - Google Patents
Pellicle storage containerInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はペリクル収納容器、特に
はＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示
板を製造する際のゴミよけとして使用される、実質的に
500nm以下の光を用いる露光方式における帯電防止され
たリソグラフィー用ペリクルを収納する容器に関するも
のである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pellicle container, in particular, a semiconductor device such as an LSI or a super LSI or a liquid crystal display panel, which is substantially used as a dust repellent.
The present invention relates to a container for storing an antistatic pellicle for lithography in an exposure method using light of 500 nm or less.
【０００２】[0002]
【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置ある
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来すという問
題があった。このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方法が行なわれている。2. Description of the Related Art In the manufacture of semiconductor devices such as LSIs and VLSIs or liquid crystal display panels, a semiconductor wafer or a liquid crystal master is irradiated with light to form a pattern. If dust adheres, the dust absorbs light or bends the light, so the transferred pattern will be deformed, the edges will be rough, and the white background will be stained black, However, there is a problem that the quality, appearance, and the like are impaired, and the performance and manufacturing yield of semiconductor devices and liquid crystal display panels are reduced. For this reason, these operations are usually performed in a clean room, but it is difficult to always keep the exposure master clean even in this clean room, so that the surface of the exposure master often passes light for exposure to avoid dust. A method of attaching a pellicle to be made is performed.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】これらペリクルを収納
するための容器は、一般にポリプロピレン、ＡＢＳ、ポ
リフルオロアセテート（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）、ポリメチルメタアクリレート
（ＰＭＭＡ）等の樹脂材料によって作られているため、
帯電し易く、ケースに付着したゴミを洗浄によって完全
に除去する事が困難である。そのうえ、従来のペリクル
収納容器は図５に示したようにペリクル膜11を張設した
ペリクル枠12をトレイ14上に載せ、ペリクル枠12をペリ
クル枠支持体15で支え、その上から上蓋13をかぶせクリ
ップ16で固定する収納方式であるため、トレイと上蓋の
気密性が不充分であり、したがって空気中に浮遊するゴ
ミを集めて、輸送中の衝撃や環境の変化によるペリクル
収納容器内外の圧力差等に基づくペリクル収納容器内へ
の空気の出入りの際、ペリクル収納容器内に異物を侵入
させ、収納した製品上にその異物を付着させることがあ
った。A container for accommodating these pellicles is generally made of a resin material such as polypropylene, ABS, polyfluoroacetate (PFA), polytetrafluoroethylene (PTFE), and polymethyl methacrylate (PMMA). Because it is made by
It is easily charged, and it is difficult to completely remove dust attached to the case by washing. In addition, as shown in FIG. 5, in the conventional pellicle storage container, a pellicle frame 12 with a pellicle film 11 stretched thereon is placed on a tray 14, the pellicle frame 12 is supported by a pellicle frame support 15, and an upper lid 13 is placed on the pellicle frame support 15. Since the storage method is fixed with the cover clip 16, the airtightness of the tray and the top lid is insufficient, so that dust that floats in the air is collected and the pressure inside and outside the pellicle storage container due to the impact during transportation and changes in the environment When air enters and exits the pellicle storage container based on a difference or the like, foreign matter may enter the pellicle storage container and adhere to the stored product.
【０００４】そこで、これについてはペリクル収納容器
の気密性を高めるために、上蓋とトレイとをパッキンを
介して接触させる方法が提案されている（特願平5-2916
68号明細書参照）。しかしながら、この方法では、ペリ
クル収納容器内外の空気の出入りが完全に閉ざされてし
まうために、輸送中の衝撃や環境の変化によりペリクル
収納容器内外に圧力差が生じ、その際にそれらの圧力差
を是正することはこの方法では不可能であるし、ペリク
ル収納容器内圧がペリクル収納容器外圧に対して負の場
合、ペリクル収納容器が変形しフレームが撓みペリクル
膜にしわ、のびが発生する等の品質劣化の問題や、ペリ
クルを取り出す際上蓋を開ける為に過剰な力が必要とな
るという問題もある。In order to improve the airtightness of the pellicle container, a method has been proposed in which the upper lid and the tray are brought into contact with each other via a packing (Japanese Patent Application No. 5-2916).
No. 68). However, in this method, the air inside and outside the pellicle container is completely shut off, so that a pressure difference occurs inside and outside the pellicle container due to impact during transportation and changes in the environment. It is impossible with this method to correct the problem, and if the internal pressure of the pellicle storage container is negative with respect to the external pressure of the pellicle storage container, the pellicle storage container deforms, the frame bends, and the pellicle film becomes wrinkled and stretched. There is also the problem of quality degradation and the problem that excessive force is required to open the top lid when removing the pellicle.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決したペリクル収納容器に関するもので
あり、これはトレイにペリクル膜を上向きにしてペリク
ルを置き、上蓋でペリクルを固定するペリクル収納容器
において、上蓋もしくはトレイの一部に開孔部を設け、
その開孔部を除粒子用フィルターで覆い、かつペリクル
を含む空間を上蓋、トレイ、除粒子用フィルター、及び
パッキンにより画成してなることを特徴とするものであ
る。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a pellicle storage container which solves such disadvantages and problems. The pellicle is placed on a tray with the pellicle film facing upward, and the pellicle is fixed with the upper lid. In the pellicle storage container, an opening is provided in the upper lid or a part of the tray,
The opening is covered with a filter for removing particles, and a space containing a pellicle is defined by an upper lid, a tray, a filter for removing particles, and packing.
【０００６】すなわち、本発明者らはペリクル収納容器
内の通気性を確保しつつ、異物の侵入を防止できるリソ
グラフィー用ペリクル収納容器を開発すべく種々検討し
た結果、これについてはペリクル収納容器の上蓋とトレ
イとをパッキンを介して嵌合し、上蓋もしくはトレイの
一部に開孔部を設けたものとしたところ、上蓋またはト
レイの一部に設けた開孔部によってペリクル収納容器内
外の通気性が確保されるので、ペリクル収納容器内が負
圧になることによるペリクルの品質劣化の問題および上
蓋を開けるために過剰の力が必要とされるという問題が
解消されるということを見出した。That is, the present inventors have made various studies to develop a pellicle storage container for lithography which can prevent the invasion of foreign matters while ensuring the air permeability in the pellicle storage container. And the tray are fitted via packing, and an opening is provided in the upper lid or a part of the tray. , The problem of deterioration of pellicle quality due to negative pressure inside the pellicle storage container and the problem of requiring excessive force to open the top lid are solved.
【０００７】また、これについては上蓋とトレイがパッ
キンを介して接触しているので、これらの接触面からの
空気の出入りが遮断され、ペリクル収納容器内への空気
の出入り箇所が上記した上蓋またはトレイの一部に設け
られた開孔部に限定されるが、この開孔部を除粒子用フ
ィルターで覆ったものとすると、ペリクル収納容器の内
外圧差により生ずるペリクル収容器への空気の出入りの
際の異物侵入が防止されることが見出され、これによれ
ば通気性があり異物の侵入を防止できるペリクル収納容
器を容易に得ることができるという有利性が与えられ
る。以下にこれをさらに詳述する。In this case, since the upper lid and the tray are in contact with each other via the packing, the inflow and outflow of air from these contact surfaces are blocked, and the inflow and outflow of air into and out of the pellicle storage container is caused by the above upper lid or Although it is limited to the opening provided in a part of the tray, if this opening is covered with a filter for particle removal, the entrance and exit of air to and from the pellicle container caused by the pressure difference between the inside and outside of the pellicle container can be prevented. It has been found that foreign matter intrusion can be prevented at this time, and according to this, there is provided an advantage that a pellicle storage container having air permeability and capable of preventing foreign matter from entering can be easily obtained. This will be described in more detail below.
【０００８】[0008]
【作用】本発明のペリクル収納容器は前記したように、
トレイにペリクル膜を上向きにしてペリクルを置き、上
蓋でペリクルを固定するペリクル収納容器において、上
蓋もしくはトレイの一部に開孔部を設け、その開孔部を
除粒子用フィルターで覆い、かつペリクルを含む空間を
上蓋、トレイ、除粒子用フィルター、及びパッキンによ
り画成してなることを特徴とするものであるが、このペ
リクル収納容器を構成する材質は一般に用いられている
樹脂材料、金属等とすればよく、これにはプロピレン、
ポリエチレン、ＡＢＳ、ポリフルオロアセテート（ＰＦ
Ａ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリ
メチルメタアクリレート（ＰＭＭＡ）等の樹脂材料、ア
ルミニウム、アルミニウム合金、ステンレススチール等
の金属が例示される。As described above, the pellicle container of the present invention has the following features.
The pellicle is placed on the tray with the pellicle membrane facing upward, and the pellicle is fixed with the upper lid.In the pellicle storage container, an opening is provided in the upper lid or a part of the tray, and the opening is covered with a filter for removing particles. Is defined by an upper lid, a tray, a filter for removing particles, and a packing, and the material constituting the pellicle storage container is a generally used resin material, metal, or the like. Propylene,
Polyethylene, ABS, polyfluoroacetate (PF
A), resin materials such as polytetrafluoroethylene (PTFE) and polymethyl methacrylate (PMMA), and metals such as aluminum, aluminum alloy and stainless steel.
【０００９】本発明のペリクル収納容器では上蓋とトレ
イとがパッキンを介して接触させられるのであるが、こ
のパッキンは上蓋とトレイとの機械的な直接接着を押え
るクッション材となるものであるということから、適度
に弾性をもち、変形時に発塵の少ないものとし、継ぎ目
の無いエンドレスのものとすることが好ましい。したが
って、これは例えばポリエチレン、ポリプロピレン、Ａ
ＢＳ樹脂、ポリ塩化ビニル等のプラスチック材、または
シリコーンゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系ゴム等の合
成ゴム等で作られたものとすることがよい。このパッキ
ンの断面形状は円形状でも、ペリクル枠側あるいはトレ
イ側に尖った楔状のものでもよく、このサイズは自由に
設定すればよいが、好ましくは直径１〜10mmの円形状の
もの、幅が１〜10mmで高さが１〜10mmの楔状のものとす
ればよい。In the pellicle storage container of the present invention, the upper lid and the tray are brought into contact with each other via a packing, and this packing serves as a cushion material for suppressing the mechanical direct bonding between the upper lid and the tray. Therefore, it is preferable to have an appropriate elasticity, generate less dust at the time of deformation, and have a seamless endless structure. Thus, this is for example polyethylene, polypropylene, A
It is preferable to use a plastic material such as a BS resin or polyvinyl chloride, or a synthetic rubber such as a silicone rubber, a fluorine-based rubber, or a urethane-based rubber. The cross-sectional shape of this packing may be circular, or may be a wedge-shaped having a sharp point on the pellicle frame side or tray side, and this size may be freely set, but preferably a circular shape having a diameter of 1 to 10 mm and a width of What is necessary is just to make it a wedge-shaped thing of 1-10 mm in height and 1-10 mm.
【００１０】本発明のペリクル収納容器ではペリクル容
器内外の圧力差を是正するために、ペリクル容器の上蓋
もしくはトレイの一部に開孔部が設けられる。この開孔
部は小さければ小さいほど微粒子の侵入する可能性は低
減できるけれども、これを 0.1mm以下のものとして穿孔
することは実質的に困難であるし、これでは圧力差の緩
和もしずらくなるので、 0.2〜10mm程度のものとするこ
とがよい。In the pellicle container of the present invention, an opening is provided in a part of a top cover or a tray of the pellicle container in order to correct a pressure difference between the inside and outside of the pellicle container. The smaller this opening is, the smaller the possibility of intrusion of fine particles can be reduced, but it is practically difficult to perforate it with a diameter of 0.1 mm or less, which makes it difficult to relax the pressure difference Therefore, it is preferable that the diameter is about 0.2 to 10 mm.
【００１１】また、開孔部はそのままでは微粒子が侵入
するので、これは除粒子用フィルターで覆うことが必要
とされる。この除粒子用フィルターはそれ自身が発塵性
のものは使用できないが、発塵性でない限りは公知のも
のとすればよく、したがってこれには半導体インライン
ガスフィルターとして用いられている、例えばＳＵＳ３
１６Ｌの焼結体で作られている除塵用フィルターを使用
すればよい。Further, since fine particles enter the opening portion as it is, it is necessary to cover it with a filter for removing particles. This filter for removing particles cannot itself be a dust-producing filter, but may be a known filter as long as it is not dust-producing. Therefore, it is used as a semiconductor in-line gas filter such as SUS3.
What is necessary is just to use a filter for dust removal made of a 16L sintered compact.
【００１２】この除粒子用フィルターの大きさはペリク
ル容器の強度を著しく損なわない範囲で自由に設定する
ことができるが、これは好ましくは面積が１〜200mm2程
度のものとすればよい。なお、このフィルターのペリク
ル枠への固定は接着剤で行えばよいが、この接着剤の材
料は、容器を溶解する溶媒を含んでいたり、それ自身か
ら発塵するようなものでなければ何でもよく、これには
公知のエポキシ系接着剤、アクリル系接着剤、シリコー
ン系接着剤などが例示される。The size of the filter for removing particles can be freely set within a range that does not significantly impair the strength of the pellicle container, but it is preferable that the filter has an area of about 1 to 200 mm 2 . The filter can be fixed to the pellicle frame with an adhesive, but any material may be used as long as it does not contain a solvent that dissolves the container or generate dust from itself. Examples thereof include known epoxy adhesives, acrylic adhesives, and silicone adhesives.
【００１３】本発明のペリクル収納容器は上記したよう
に構成されるが、これは例えばその縦断面図としての図
１〜図４に示されたものとされる。この図１のものはペ
リクル膜１が張設されたペリクル枠２をトレイ４の上に
載置したものであるが、このペリクル枠２はトレイ４に
設けられているペリクル枠支持体５によって横方向のズ
レ、がたつきが防止されており、このペリクル枠２はこ
の上方から上蓋３をかぶせることによって、外側上方角
部を押さえることによって固定される。この上蓋３およ
びトレイ４はクリップ６により固定されているが、この
上蓋３には、断面形状が円形のパッキン７が設けられて
おり、これによって上蓋３とトレイ４との接着面からの
空気の出入りが遮断される。The pellicle container of the present invention is constructed as described above, and is, for example, the one shown in FIGS. In FIG. 1, a pellicle frame 2 on which a pellicle film 1 is stretched is placed on a tray 4. The pellicle frame 2 is horizontally moved by a pellicle frame support 5 provided on the tray 4. The pellicle frame 2 is fixed by covering the upper lid 3 from above and pressing the outer upper corners. The upper lid 3 and the tray 4 are fixed by a clip 6, and the upper lid 3 is provided with a packing 7 having a circular cross section, so that air from the adhesive surface between the upper lid 3 and the tray 4 can be removed. Access is blocked.
【００１４】しかし、このパッキン７は図２に示したよ
うにトレイ４の側に設けてもよく、また図３に示したよ
うに断面形状が楔状のものとしてもよい。また、これに
は図１、図２、図３に示したようにこの上蓋３に開孔部
８を設け、これによってペリクル収納容器内外の通気性
が確保されるので、トラックや航空機による輸送時に生
ずるペリクル収納容器内外の圧力差等による容器の変形
に伴なうフレームの撓み、ペリクル膜のしわ、のびの発
生等の品質劣化の問題および上蓋を開けるために過剰な
力が必要とされるという問題が解消されるという有利性
が与えられるが、この開孔部８は図４に示したようにト
レイ４側に設置されていてもよい。However, the packing 7 may be provided on the side of the tray 4 as shown in FIG. 2, or may be of a wedge-shaped cross section as shown in FIG. In addition, as shown in FIGS. 1, 2 and 3, the upper lid 3 is provided with an opening 8 so that air permeability inside and outside the pellicle storage container is ensured. It is said that there is a problem of quality deterioration such as bending of the frame due to deformation of the container due to a pressure difference between the inside and outside of the pellicle storage container and the like, wrinkling of the pellicle film, occurrence of spreading, and excessive force is required to open the upper lid. Although the advantage that the problem is solved is given, the opening 8 may be provided on the tray 4 side as shown in FIG.
【００１５】なお、この開孔部８には除粒子用フィルタ
ー９が設けられているので、このペリクル収納容器の内
外圧差等により生ずるペリクル収納容器への空気の出入
りの際における容器内への異物侵入阻止率が高められる
ので、この異物侵入によるペリクルへの異物付着が防止
されるという有利性が与えられる。Since the filter 8 for removing particles is provided in the opening 8, foreign matter entering the pellicle storage container when air enters and exits the pellicle storage container due to a pressure difference between the inside and the outside of the pellicle storage container. Since the intrusion prevention rate is increased, there is an advantage that foreign matter is prevented from adhering to the pellicle due to the foreign matter intrusion.
【００１６】[0016]
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例１、比較例１ 上蓋３、トレイ４、ペリクル枠支持体５、クリップ６を
ポリプロピレンで製作し、これらを用いて図１に示した
ペリクル収納容器を作製し、この上蓋３に直径３mmのシ
リコーンゴム製の継ぎ目のないパッキン７を設けると共
に、この上蓋３にドリルを用いて直径５mmの開孔部８を
設け、この開孔部８にこれを全面覆うように直径７mmの
ＳＵＳ３１６Ｌの焼結体製の除塵用フィルター９をかぶ
せ、その後このフィルター９の周辺部をエポキシ樹脂製
の接着剤で接着してこれを上蓋３に固定した。Next, examples of the present invention and comparative examples will be described. Example 1, Comparative Example 1 The upper lid 3, the tray 4, the pellicle frame support 5, and the clip 6 were made of polypropylene, and the pellicle container shown in FIG. A seamless packing 7 made of silicone rubber is provided, and an opening 8 having a diameter of 5 mm is provided in the upper lid 3 by using a drill, and a SUS316L having a diameter of 7 mm is sintered so as to cover the entire opening 8. A dust removing filter 9 made of a body was covered, and then a peripheral portion of the filter 9 was adhered with an adhesive made of epoxy resin, and this was fixed to the upper lid 3.
【００１７】ついで、このペリクル収納容器にペリクル
〔信越化学工業（株）製〕を収納したのち、これを圧力
容器内に設置し、大気圧から１kg/cm2に加圧したのち-7
60mmHgまで減圧する操作を10回繰り返した。つぎにクラ
ス 100のクリーンルーム内でペリクル収納容器からペリ
クルを取り出し、暗室内で40万ルクスの光を照射してペ
リクル膜１表面の異物の増加数を調べたところ、ペリク
ル膜１上に異物の増加はなく、またこれにはペリクル枠
２の撓み、ペリクル膜のしわ、のびの品質劣化も全く見
られなかった。Next, after the pellicle (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) is stored in the pellicle storage container, the pellicle is placed in a pressure container and pressurized from atmospheric pressure to 1 kg / cm 2 , and then -7.
The operation of reducing the pressure to 60 mmHg was repeated 10 times. Next, the pellicle was taken out of the pellicle storage container in a class 100 clean room and irradiated with light of 400,000 lux in a dark room, and the number of foreign substances on the surface of the pellicle film 1 was examined. There was no bending of the pellicle frame 2, no wrinkling of the pellicle film, and no deterioration in spread quality.
【００１８】しかし、比較のためにこのペリクル収納容
器を図５に示した従来公知のものとし、このペリクルに
ついて実施例１と同じ試験を行ったところ、このペリク
ル膜11の上には新たに７個の異物の付着が認められ、ま
たこれについてはペリクル枠12沿いのペリクル膜11に５
mm程度のしわ数本の発生が認められた。However, for comparison, this pellicle storage container was assumed to be the conventionally known one shown in FIG. 5, and the same test as in Example 1 was carried out on this pellicle. Adhesion of individual foreign matters was observed, and this was observed on the pellicle film 11 along the pellicle frame 12.
Several wrinkles of about mm were observed.
【００１９】実施例２、比較例２ 実施例１と同一のポリプロピレン製のペリクル収納容器
において、上蓋３にドリルを用いて直径５mmの開孔部８
を設け、その開孔部８にこれを全部覆う直径７mmのＳＵ
Ｓ３１６Ｌの燒結体製の除塵用フィルター９をかぶせ、
その後フィルター周辺部をエポキシ樹脂製の接着剤で付
着して上蓋３に固定し、さらに上蓋３に直径３mmのシリ
コーンゴム製のパッキン７を設け、ここにペリクル〔信
越化学工業（株）製〕を収納し、これを羽田−福岡間に
航空機で往復させた。Example 2 and Comparative Example 2 In the same pellicle storage container made of polypropylene as in Example 1, a hole 8 having a diameter of 5 mm was formed on the upper lid 3 by using a drill.
And a 7 mm diameter SU covering the entire opening 8
Cover with the dust filter 9 made of sintered body of S316L,
Thereafter, the periphery of the filter is adhered to the upper lid 3 with an adhesive made of an epoxy resin, and a silicone rubber packing 7 having a diameter of 3 mm is further provided on the upper lid 3, and a pellicle [manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.] is placed here. It was stored and shuttled between Haneda and Fukuoka by air.
【００２０】ついで、クラス 100のクリーンルーム内で
このペリクル収納容器からペリクルを取り出し、暗室内
で40万ルクスの光を照射してペリクル膜１の表面におけ
る異物の増加をしらべたところ、このペリクル膜１には
異物の増加は認められず、またこれにはペリクル枠２の
撓み、ペリクル膜のしわ、のびなどの品質劣化も全く見
られなかった。Next, the pellicle was taken out of the pellicle storage container in a class 100 clean room and irradiated with light of 400,000 lux in a dark room to examine the increase of foreign substances on the surface of the pellicle film 1. No increase in foreign matter was observed, and no deterioration in quality such as bending of the pellicle frame 2, wrinkling of the pellicle film, and spreading was observed.
【００２１】しかし、比較のためにこのペリクル収納容
器を図５に示した従来公知のものとし、これにペリクル
を収納し、実施例２と同様にこの容器を航空機で輸送し
たのち、これについて実施例２と同様の検査を行なった
ところ、このペリクル膜11の上には新たに４個の異物が
付着していることが確認された。However, for the sake of comparison, this pellicle storage container is a conventionally known one shown in FIG. 5, in which a pellicle is stored, and the container is transported by air as in the second embodiment. When the same inspection as in Example 2 was performed, it was confirmed that four foreign substances were newly attached on the pellicle film 11.
【００２２】[0022]
【発明の効果】本発明のペリクル収納容器によれば、上
蓋もしくはトレイの一部に設けた開孔部によりペリクル
収納容器内外の通気製が確保されるので、トラックや航
空機による輸送時に生ずるペリクル収納容器内外の圧力
差異により容器の変形に伴なうフレームの撓み、ペリク
ル膜のしわ、のびの発生等による品質劣化の問題および
上蓋を開けるために過剰の力が必要になるという問題が
解決されるし、その開孔部が除粒子フィルターで覆われ
ているので、ペリクル収納容器への空気の出入りの際の
異物侵入が防止されるという有利性が与えられる。According to the pellicle storage container of the present invention, the vent inside and outside the pellicle storage container is ensured by the opening provided in the upper lid or a part of the tray, so that the pellicle storage generated during transportation by truck or aircraft. The problem of deterioration of the quality due to bending of the frame due to deformation of the container due to the pressure difference between the inside and outside of the container, wrinkling of the pellicle membrane, occurrence of spreading, and the problem that excessive force is required to open the upper lid are solved. However, since the opening is covered with the particle filter, there is an advantage that foreign matter is prevented from entering when the air enters and exits the pellicle storage container.
【図１】本発明のペリクル収納容器の一例の縦断面図を
示したものである。FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an example of a pellicle container according to the present invention.
【図２】本発明のペリクル収納容器の他の例の縦断面図
を示したものである。FIG. 2 is a longitudinal sectional view of another example of the pellicle storage container of the present invention.
【図３】本発明のペリクル収納容器の別の例の縦断面図
を示したものである。FIG. 3 is a longitudinal sectional view of another example of the pellicle storage container of the present invention.
【図４】本発明のペリクル収納容器にさらに他の例の縦
断面図を示したものである。FIG. 4 is a vertical sectional view of still another example of the pellicle container according to the present invention.
【図５】従来公知のペリクル収納容器の一例の縦断面図
を示したものである。FIG. 5 is a longitudinal sectional view of an example of a conventionally known pellicle storage container.
１，11…ペリクル膜 ２，12…ペリクル枠 ３，13…上蓋 ４，14…トレイ ５，15…ペリクル枠支持体 ６，16…クリップ ７…パッキン ８…開孔部 ９…除粒子用フィルター 1,11 pellicle membrane 2,12 pellicle frame 3,13 top lid 4,14 tray 5,15 pellicle frame support 6,16 clip 7 packing 8 opening hole 9 filter for particle removal
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−229254（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−240254（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−132582（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−184333（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−275709（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−41255（ＪＰ，Ｕ) 実開 平７−39046（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭62−87442（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/027 H01L 21/68 G03F 1/00 - 1/16 Continuation of the front page (56) References JP-A-3-229254 (JP, A) JP-A-3-240254 (JP, A) JP-A-6-132582 (JP, A) JP-A-2-184333 (JP) JP-A-6-275709 (JP, A) JP-A 61-41255 (JP, U) JP-A 7-39046 (JP, U) JP-A 62-87442 (JP, U) (58) Field surveyed (Int.Cl. 7 , DB name) H01L 21/027 H01L 21/68 G03F 1/00-1/16
Claims (2)
クルを置き、上蓋でペリクルを固定するペリクル収納容
器において、上蓋もしくはトレイの一部に開孔部を設
け、その開孔部を除粒子用フィルターで覆い、かつペリ
クルを含む空間を上蓋、トレイ、除粒子用フィルター、
及びパッキンにより画成してなることを特徴とするペリ
クル収納容器。1. A pellicle container in which a pellicle is placed on a tray with a pellicle membrane facing upward, and an opening is provided in a part of the upper cover or a tray in a pellicle storage container in which the pellicle is fixed by an upper cover, and the opening is provided with a filter for removing particles. Cover the space containing the pellicle with the top lid, tray, filter for particle removal,
And a pellicle storage container defined by packing.
られている請求項１に記載したペリクル収納容器。2. The pellicle container according to claim 1, wherein the filter is made of a sintered body of stainless steel.
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