JP3134024B2 - 積層型セラミックチップコンデンサ - Google Patents
積層型セラミックチップコンデンサInfo
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Description
プコンデンサの特に誘電体層の改良に関するものであ
る。
常、内部電極用のペーストと、誘電体層用のペーストと
をシート法や印刷法等により積層し、一体同時焼成して
製造される。
いられているが、Pdは高価であるため、比較的安価な
NiやNi合金が使用されつつある。
成する場合は、大気中で焼成を行うと電極が酸化してし
まう。
とNiOの平衡酸素分圧よりも低い酸素分圧で焼成を行
なっている。
め、通常焼結助剤としてSiO2 が加えられる。
下等を防止するため、Mnの添加や、Ca置換等も行わ
れている。
する積層型チップコンデンサは、大気中で焼成して製造
されるPd製の内部電極を有する積層型チップコンデン
サにくらべ、絶縁抵抗の寿命が圧倒的に短く、信頼性が
低いという問題があった。
されたある特定の組成を有する誘電体酸化物を含有し、
Y、Gd、Tb、Dy、Zr、V、Mo、Zn、Cd、
Tl、SnおよびPの酸化物および/または焼成により
酸化物になる化合物から選ばれる1種以上を、特定量添
加した誘電体材料と、NiまたはNi合金の内部電極材
料とを積層して焼成した積層型セラミックチップコンデ
ンサにより、ほぼ解決することができた(特開平3−1
33116号公報)。
従来の無添加のチップコンデンサにくらべ寿命が約2〜
10倍に増大し、ある程度優れた信頼性が得られること
が分かった。
セラミックチップコンデンサにおいて、上記Y等添加の
ものにくらべ更に寿命を向上させ、より一層信頼性を
得、しかもこの高信頼性化により、10μm 以下の薄層
化を可能とするため、先の出願(特願平4−10178
8号)において、「内部電極と誘電体層とを有する積層
型セラミックチップコンデンサであって、下記式で表さ
れる組成の誘電体酸化物を含有し、Mnの酸化物および
/またはは焼成により酸化物になる化合物を酸化物(M
nO)換算で0.01〜0.5重量%、Yの酸化物およ
び/または焼成により酸化物になる化合物を酸化物(Y
2 O3 )換算で0.05〜0.5重量%、Vの酸化物お
よび/または焼成により酸化物になる化合物を酸化物
(V2 O5 )換算で0.005〜0.3重量%、Wの酸
化物および/または焼成により酸化物になる化合物を酸
化物(WO3 )換算で0.005〜0.3重量%添加し
た誘電体材料と、NiまたはNi合金の内部電極材料と
を積層して焼成したものであることを特徴とする積層型
セラミックチップコンデンサ。
(Ti1-z Zrz )O2 {上記式中、0≦x≦0.25、0≦y≦0.05、
0.1≦z≦0.3、1.000≦m≦1.020であ
る。」を提案した。
型セラミックチップコンデンサにおいては、1400℃
未満では緻密化しないという問題があり、そこで従来
は、焼結助剤としてSiO2 を用いて上記磁器組成物の
低温焼成を可能としていた。
ように焼結助剤としてSiO2 を用いた場合には、絶縁
抵抗の加速寿命が比較的短いという問題があった。
かも絶縁抵抗の加速寿命が向上された積層型セラミック
チップコンデンサを提供することを目的とするものであ
る。
チップコンデンサであって、下記式で表される組成の誘
電体酸化物を主成分とし、副成分として、Mnの酸化物
および/または焼成により酸化物になる化合物を酸化物
(MnO)換算で0.01〜0.5重量%、Yの酸化物
および/または焼成により酸化物になる化合物を酸化物
(Y2 O3 )換算で0.05〜0.5重量%、Vの酸化
物および/または焼成により酸化物になる化合物を酸化
物(V2 O5 )換算で0.005〜0.3重量%、Wの
酸化物および/または焼成により酸化物になる化合物を
酸化物(WO3 )換算で0.005〜0.3重量%、お
よび焼結助剤としてのAl2 O3 を0.005〜0.5
重量%含有した誘電体材料と、NiまたはNi合金の内
部電極材料とを積層して同時焼成したものであることを
特徴とする積層型セラミックチップコンデンサ。 式 [(Ba1-x-y Cax Sry )O]m (Ti1-z Z
rz )O2 {上記式中、0≦x≦0.25、0≦y≦0.05、
0.1≦z≦0.3、1.000≦m≦1.020であ
る。 (2)Al2 O3 の含有量が、0.01〜0.30重量
%以下である上記(1)の積層型セラミックチップコン
デンサ。 (3)誘電体材料に、更にEuおよびMoの少なくとも
1種の酸化物および/または焼成により酸化物になる化
合物を、酸化物換算で、0.3重量%以下添加した上記
(1)の積層型セラミックチップコンデンサ。 (4)前記誘電体層はグレインと粒界相で構成され、前
記誘電体層の断面での粒界相の面積比が2%以下である
上記(1)ないし(3)のいずれかの積層型セラミック
チップコンデンサ。 (5)前記粒界相が、Mn、Y、VおよびWの酸化物を
含有する酸化物相である上記(4)の積層型セラミック
チップコンデンサ。
電体層を有する積層型セラミックチップコンデンサの焼
結助剤としてAl2 O3 を用いたことにより、1250
℃〜1350℃の低温で焼成することができるととも
に、絶縁抵抗の加速寿命も30時間(200℃、DC1
50V)以上に向上した。
する。図1には、本発明の積層型セラミックチップコン
デンサの好適例が示される。
1、25と、誘電体層3とが交互に積層され、各内部電
極21、25に接続している1対の外部電極41、45
を有するものである。
またはNi合金から形成され、この場合、Ni合金とし
ては、Niを95重量%以上含有するNiと、Mn、C
r、Co、Al 等の1種以上との合金であることが好ま
しい。
頼性を得ることができる。
分として、0.1重量%以下のP等が含有されていても
よい。
的や用途に応じ適宜決定をすればよいが、通常厚みは、
1〜5μm 、特に2〜3μm 程度である。
れている。
組成の誘電体酸化物を含有するものである。この際、O
量は、下記式の化学量論組成から若干偏倚してもよい。
0.10、yは0〜0.05、好ましくは0〜0.0
1、zは0.1〜0.3、好ましくは0.15〜0.2
0、mは1.000〜1.020、好ましくは1.00
2〜1.015である。
ンの酸化物および/または焼成により酸化物になる化合
物を酸化物MnO換算で0.01〜0.5重量%、好ま
しくは0.1〜0.4重量%、より好ましくは0.2〜
0.4重量%、イットリウムの酸化物および/または焼
成により酸化物になる化合物を酸化物Y2 O3 換算で
0.05〜0.5重量%、好ましくは0.08〜0.4
5重量%、より好ましくは0.2〜0.4重量%、バナ
ジウムの酸化物および/または焼成により酸化物になる
化合物を酸化物V2 O5 換算で0.005〜0.5重量
%、好ましくは0.01〜0.1重量%、タングステン
の酸化物および/または焼成により酸化物になる化合物
を酸化物WO3換算で0.005〜0.3重量%、好ま
しくは0.01〜0.2重量%、より好ましくは0.0
1〜0.1重量%程度、更には、焼結助剤としてAl2
O3 を0.005〜0.5重量%含有する。
は、好ましくは、0.01〜0.3重量%、より好まし
くは0.01〜0.15重量%がよい。特に、絶縁抵抗
の加速寿命の良好な積層型セラミックチップコンデンサ
が低温焼成により得られるからである。
物、Hf酸化物等が0.5重量%程度以下含有されても
よい。
範囲外の添加量では本発明の効果は実現しない。
目的や用途に応じ適宜決定すればよい。
は、1〜5μm 程度であることが好ましい。
るグレイン以外の部分である粒界相の面積比が、誘電体
層3の任意の断面にて、2%以下、好ましくは0.5〜
1.0%程度であることが好ましい。
性が低下する傾向にある。
成が困難であり、誘電体の緻密化が不十分となる傾向に
ある。
電子顕微鏡を用いて写真を撮り、これから求めればよ
い。
部電極材料を構成する材質の酸化物や、別途添加された
材質の酸化物、さらには工程中に不純物として混入する
材質の酸化物を成分とし、通常ガラスないしガラス質で
形成されている。
合金あるいはNiやNi合金等を用いる。
使用可能である。
目的や用途に応じ適宜決定すればよいが、通常10〜5
0μm 程度である。
サ1の形状やサイズは、目的や用途に応じ適宜決定すれ
ばよい。例えば直方体状の場合は、通常1.6〜3.2
mm×0.8〜1.6mm×0.6〜1.2mm程度である。
サは下記のとおり製造される。
1、25用ペーストおよび外部電極41、45用ペース
トをそれぞれ製造する。
いる誘電体の原料粉末としては、通常、前述した誘電体
酸化物の組成に応じ、Ti、Ba、Sr、Ca、Zr、
Mn、Y、V、W等の単一ないし複合酸化物および焼結
助剤としてのAl2 O3 とを用いればよい。
物、例えば炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、有機
金属化合物等を用いてもよい。
なる化合物とを併用してもよい。
0.0005〜5μm 程度のものが用いられる。
には例えば下記のようにすればよい。
ば、ボールミル等により湿式混合する。
させ、その後仮焼し、上記式の誘電体酸化物を得る。
て、2〜10時間程度、空気中にて行う。
等にて所定粒径となるまで粉砕し、誘電体材料を得る。
誘電体材料に混合される。この他、Al2 O3 を上記出
発原料と混合して用いてもよく、出発原料と混合して仮
焼し、更に仮焼粉末と混合してもよい。
いられる結合剤、可塑剤、分散剤、溶剤等の添加剤は種
々のものであってよい。また、ガラスフリットを添加し
てもよい。
ス、アビエチン酸レジン、ポリビニール・ブチラールな
ど、可塑剤としては、例えばアビエチン酸誘導体、ジエ
チル蓚酸、ポリエチレングリコール、ポリアルキレング
リコール、フタール酸エステル、フタール酸ジブチルな
ど、分散剤としては、例えばグリセリン、オクタデシル
アミン、トリクロロ酢酸、オレイン酸、オクタジエン、
オレイン酸エチル、モノオレイン酸グリセリン、トリオ
レイン酸グリセリン、トリステアリン酸グリセリン、メ
ンセーデン油など、溶剤としては、例えばトルエン、テ
ルピネオール、ブチルカルビトール、メチルエチルケト
ンなどが挙げられる。
全体に対する割合は50〜80重量%程度とし、その
他、結合剤は2〜5重量%、可塑剤は0.01〜5重量
%、 分散剤は0.01〜5重量%、溶剤は20〜50重
量%程度とする。
し、例えば3本ロール等で混練してペースト(スラリ
ー)とする。
る際に用いる導体材料としては、NiやNi合金さらに
はこれらの混合物を用いる。
等、その形状に特に制限はなく、またこれらの形状のも
のが混合したものであってもよい。
らには0.1〜1μm 程度のものを用いればよい。
を含有するものである。
ース、アクリル樹脂、ブチラール樹脂等公知のものはい
ずれも使用可能である。
る。
チルカルビトール、ケロシン等公知のものはいずれも使
用可能である。
る。
で、必要に応じ、ソルビタン脂肪酸エステル、グリセリ
ン脂肪酸エステル等の分散剤や、ジオクチルフタレー
ト、ジブチルフタレート、ブチルフタリルグリコール酸
ブチル等の可塑剤や、デラミ防止、焼結抑制等の目的
で、誘電体、絶縁体等の各種セラミック粉体等を添加す
ることもできる。
も有効である。
の導体材料粉末を含有する通常のペーストを用いればよ
い。
5用ペーストと、誘電体3用ペーストは、印刷法、転写
法、グリーンシート法等により、それぞれ交互に積層さ
れる。
脱バインダ処理および焼成を行う。そして、誘電体層3
を再酸化させるため、熱処理を行う。
いが、特に下記の条件で行うことが好ましい。
〜50℃/時間 保持温度:200〜400℃、特に250〜350℃ 保持時間:0.5〜5時間、特に1〜3時間 雰囲気:AIR
0-7〜10-13atmにて行うことが好ましい。
が酸化する傾向にあり、またあまり小さすぎると、電極
材料が異常焼結を起こし、とぎれてしまう傾向にある。
件が好ましい。
00〜300℃/時間 保持温度:1200〜1400℃、特に1250〜13
50℃ 保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間 冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300
℃/時間
混合ガス等を用いることが好適である。
0〜1200℃、より好ましくは900〜1100℃と
して行うことが好ましい。
分なために寿命が短くなる傾向にあり、前記範囲をこえ
ると内部電極のNiが酸化し、容量が低下するだけでな
く、誘電体素地と反応してしまい、寿命も短くなる傾向
にある。
上、より好ましくは10-4〜10-7atm が好ましい。
4の再酸化が困難であり、前記範囲をこえると内部電極
21、25が酸化する傾向にある。
件が好ましい。
用いることが好適である。
は、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、
水温は0〜75℃程度が好ましい。
は、それぞれを連続して行っても、独立に行ってもよ
い。
ばバレル研磨、サンドブラスト等にて端面研磨を施し、
外部電極用ペーストを焼きつけて外部電極41、45を
形成する。
上のめっき等によりパッド層を形成する。
をさらに詳細に説明する。出発原料として、液相合成に
より生成されたBaTiO3 およびBaZrO3 を用い
た。なお、BaTiO3 およびBaZrO3 の平均粒径
は、0.5μm 、最大粒径は1.5μm であった。母材
組成は下記の式で示されるものとした。
%、、Y2 O3 0.30重量%、、V2 O5 0.04重
量%、およびWO3 0.05重量%と、Al2 O3 であ
る添加物(添加物全体の平均粒径1.0μm 、最大粒径
3.3)を表1に示す変量にて添加して4種の実施例
と、2種の比較例を得、これらを各々ボールミルで16
時間湿式粉砕し、チタン酸バリウム系の誘電体材料を得
た。また、焼結助剤のAl2 O3 の代わりにSiO2 を
用い、比較例3を得た。
に示される配合比にて、アルミナ製ボールを用いてボー
ルミル混合し、スラリー化して誘電体層用ペーストとし
た。
ルにより混練し、スラリー化して内部電極用ペーストと
した。
て図1に示される積層型セラミックチップコンデンサ1
を製造した。
アフィルム上に20μm 厚のシートをひき、この上に内
部電極用ペーストを用いて、電極を印刷した。この後、
キャリヤフィルムから上記のシートを剥離し、複数枚積
層し、加圧接着した。
ダ処理、焼成および熱処理を連続して下記の条件にて行
った。
は、ウェッターを用い、水温5〜75℃にて行った。
て研磨した後、In−Ga合金を塗布して、試験用電極
を形成した。
チップコンデンサ1のサイズは、3.2mm×1.6mm×
0.6mmであり、誘電体層3の厚みは15μm 、内部電
極21、25の厚みは2.5μm である。
0℃、電圧DC150Vにての加速寿命試験(IR寿命
−h)、εs (25℃)、機械的強度σb3(kgf/mm2 )
を求めたところ、下記の表1に示す結果を得た。なお、
機械的強度は、3点曲げ強さ試験方法(JIS R16
01)により評価した。
ラミックチップコンデンサは、焼結助剤としてAl2 O
3 を用いたことにより、1260℃という低温で焼成し
ても、上記機械的強度σb3が10.3kgf/mm2 以上とな
った。焼結助剤を添加していない場合の機械的強度σb3
が6.9kgf/mm2 であることから、低温での焼結性が向
上していることが分かる。また、IR寿命に関しても、
焼結助剤を0.1重量%添加した場合について比較して
みると、Al2 O3 を用いると、最低でも54.6時間
であるのに対し、SiO2 を用いると、最高でも26.
7時間であった。これらのことより、焼結助剤としてA
l2 O3 を添加することにより、IR寿命を低下させる
ことなしに、低温での焼成が可能となったことが分か
る。
る場合には、その添加量を特に0.1重量%以下とする
と、IR寿命の向上の傾向が得られることが上記表1か
ら分かる。
量とし、他の副成分たるMn、Y、V、W等を図2に示
したように変量とし、焼成における保持温度を1300
℃、保持時間を2時間とした以外は上記と同様にして、
積層型セラミックチップコンデンサの実施例5乃至1
6、および比較例4乃至11を作成し、温度200℃、
電圧DC150Vにての加速寿命試験(IR寿命−
h)、εs (25℃)、機械的強度σb3(kgf/mm2 )を
求めたところ、下記の表2に示す結果を得た。
ては、IR寿命が最低でも54.7時間であったもの
が、比較例では、最高でも20.8時間と短く、本発明
の効果が確認される。なお、各実施例サンプルの誘電体
層を研磨面の微細構造を透過型走査型電子顕微鏡で分析
したところ、誘電体層はグレインと粒界相で構成され、
いずれも誘電体層の断面での粒界相の面積比が2%以下
であった。また、上記粒界相は、Mn、Y、VおよびW
の酸化物を含有していた。
1例が示される断面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 内部電極と誘電体層とを有する積層型セ
ラミックチップコンデンサであって、 下記式で表される組成の誘電体酸化物を主成分とし、副
成分として、Mnの酸化物および/または焼成により酸
化物になる化合物を酸化物(MnO)換算で0.01〜
0.5重量%、Yの酸化物および/または焼成により酸
化物になる化合物を酸化物(Y2 O3 )換算で0.05
〜0.5重量%、Vの酸化物および/または焼成により
酸化物になる化合物を酸化物(V2 O5 )換算で0.0
05〜0.3重量%、Wの酸化物および/または焼成に
より酸化物になる化合物を酸化物(WO3 )換算で0.
005〜0.3重量%、および焼結助剤としてのAl2
O3 を0.005〜0.5重量%含有した誘電体材料
と、NiまたはNi合金の内部電極材料とを積層して同
時焼成したものであることを特徴とする積層型セラミッ
クチップコンデンサ。 式 [(Ba1-x-y Cax Sry )O]m (Ti1-z Z
rz )O2 {上記式中、0≦x≦0.25、0≦y≦0.05、
0.1≦z≦0.3、1.000≦m≦1.020であ
る。 - 【請求項2】 Al2 O3 の含有量が、0.01〜0.
30重量%以下である請求項1の積層型セラミックチッ
プコンデンサ。 - 【請求項3】 誘電体材料に、更にEuおよびMoの少
なくとも1種の酸化物および/または焼成により酸化物
になる化合物を、酸化物換算で、0.3重量%以下添加
した請求項1の積層型セラミックチップコンデンサ。 - 【請求項4】 前記誘電体層はグレインと粒界相で構成
され、前記誘電体層の断面での粒界相の面積比が2%以
下である請求項1ないし3のいずれかの積層型セラミッ
クチップコンデンサ。 - 【請求項5】 前記粒界相が、Mn、Y、VおよびWの
酸化物を含有する酸化物相である請求項4の積層型セラ
ミックチップコンデンサ。
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