JP2726130B2 - 金属有機物膜からなる少量アンペア用ヒューズ及びその製造方法 - Google Patents
金属有機物膜からなる少量アンペア用ヒューズ及びその製造方法Info
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Description
使用する少量及び低アンペア用ヒューズ及びそれらのヒ
ューズを製造する方法に関する。
物理的に小さいことを要求される。ヒューズはしばし
ば、サージ電流を非常な短時間でかつ非常に小さい電流
において遮断するために必要である。例えば、半導体装
置に損害を与えるサージを潜在的に制限するために、低
アンペア用ヒューズがしばしば必要であり、このヒュー
ズは10倍の定格電流のとき0.001秒以下の時間で遮断を
生じて、ヒューズに接続された構成部品にエネルギーが
分配されるのを制限する。
して、約25.4ミクロン(1 mil)以下の直径の細いワイ
ヤを使用するものがあった。ヒューズ要素として小さい
直径のワイヤを使用することは、現在の製造技術から見
て多くの問題がある。そのような一つの問題は細いワイ
ヤのマイクロヒューズは製造コストが高いということで
ある。ヒューズの溶融要素はそのように小直径ゆえリー
ドワイヤ又は端部キャップに対し手作業により取付けな
ければならない。
ために使用されると、そのような小さいな装置において
は、製造工程中にワイヤ端部を取付けるのに使用された
半田がワイヤの下方へ拡散し移動するのを防ぐのは困難
である。この半田の移動はヒューズの定格に変化を引き
起こす。更に、外部リードが印刷回路板上に半田付けさ
れるときその工程により発生した熱がヒューズ内部の半
田を溶融させて逆流させるゆえ、ヒューズの定格が変化
する可能性がある。これもまた、ヒューズの定格を変化
させる。
許第4,612,529号に記載されている如く、ヒューズを包
装するとき小直径ワイヤを被覆することであるがこれは
困難であるため、セラミックス充填体の如きアーク焼き
入れ材料によりワイヤを囲んでいる。
を製造する方法が知られている。例えばマクガリアード
に付与された米国特許第4,296,398号では、耐腐食写真
感光技術(etch−resistant photography)、シルクス
クリーニング(silk screening)、打ち抜き(stampin
g)又は接合(bonding)により複数のヒューズ要素を形
成することを述べている。この技術は厚膜印刷として知
られており、典型的には約12.7〜25.4ミクロン(one ha
lf to one mil)の厚さの金属層を形成するが、幾つか
の欠点を有している。例えば、焼成の前に厚膜を乾燥さ
せるために時間を要するゆえコストが増大する。更に、
低アンペアの定格を達成するに要する溶融可能な要素の
幅寸法を、一定の作業期間中に基板を介して熱を適切に
放散させ得る程度にし得ないことである。典型的な厚膜
は約12.7ミクロン(0.5mil)の厚さを限界としており、
これは例えば米国特許第3,401,452号を参照されたい。
厚膜印刷により約76.2ミクロン(3mil)の幅のラインを
作ることができる。かくして、厚膜印刷によってはその
厚さ及び幅寸法の限界に起因して少量アンペア用ヒュー
ズを製造することは不可能である。即ち、厚膜の断面積
は約968平方ミクロン(1.5square mils)までであり、
1アンペア又はそれ以下では溶融しない。
On Parts Hybrid and Packing(PHP−13 第14巻、197
7年12月)」のホリグチ等による記事に述べられてい
る。そのヒューズは二層からなり、第1の層は有機物層
であり、第2の層はニッケル−クロム層である。これは
有機物層及び金属層の両方を堆積させるために空気排出
が必要であって複雑な製造工程となり、製造コストが高
くなってしまう。このヒューズ構造によれば、有機物膜
が溶けて導体層を損傷し、ヒューズを開状態にしてしま
う。
ンペアヒューズ及び低アンペアヒューズを製造する方法
を提供する。ガラス、セラミックス又は他の適当な材料
からなる研磨された絶縁基板の端部が金属化される。溶
融可能な要素が、スクリーン印刷工程により、有機物イ
ンキを使用して、金属化された端部を連結しかつこれら
に重ねられて、基板上に印刷される。基板は1分につき
約2〜15°Cの割合で加熱され、約1時間の間500〜900
°Cの温度に保たれる。ヒューズはセラミックス粘着剤
又は他の適当な包装材料により被覆される。
用される絶縁基板のセグメント(一部)を示す斜視図、 第2図は、切れ目を入れたマイクロヒューズ基板を製
造するために使用される板の斜視図、 第3図は、印刷及び切れ目刻入の後の第2図に示した
一部の拡大斜視図、 第4図は、リードワイヤを取付けられた一列のマイク
ロヒューズを設けた基板を示す斜視図、 第5図は、本発明になる軸方向マイクロヒューズの断
面図、 第6図は、本発明マイクロヒューズの包装以前の状態
を示斜視図、 第7図は、半径方向に取付けられたリードを有するヒ
ューズ要素のサブアセンブリの平面図、 第8図は表面取付けに適した方法で取付けられたリー
ドを有する本発明によるヒューズを示す断面図である。
よび第2図に示すような絶縁材料でできた板、基板ある
いは他の支持手段を用意する。本発明においてはセラミ
ックスが好ましい材料である。しかしながら、これらの
低アンペア数のマイクロヒューズでは高いアーク温度が
問題となることもないであろうし、加熱処理製造も比較
的低温状態で行われるので、セラミックスのような耐熱
絶縁材料を使用することが必要なわけではない。重要な
ことは、絶縁材料がヒューズの作用する温度で炭化しな
いことである。炭化は電気伝導を助けることになるから
である。他の適当な板材料としては、ホウケイ酸ガラス
のようなガラスを含むもの、また、アルミナ、ベリリ
ア、マグネシア、ジルコニア、ホルステライトのような
セラミックスを含むものがある。
120 micro inches)以上の精度で仕上げられた研磨面を
有するものとする。仕上げられたヒューズリンクの厚さ
は約0.025〜2.5ミクロン(1−100 micro inches)のオ
ーダーなので、ヒューズ要素の厚さを同じにし、出来上
がった製品の特性を反復可能性のあるものにするには、
基板の表面が研磨されていることが必要である。上薬を
かけて(オーバーグレイジング)滑らかな仕上げ面とな
るようにしてもよい。
が切れているときに板30を通していかなる導電も起こら
ないよう、良好な絶縁耐力を有することである。上述し
たようなセラミック多結晶体材料は、熱絶縁性に加えて
絶縁耐力においても良好である。
てスクリーン印刷処理あるいはこれと同様の処理方法で
印刷される。この処理において、所望のパターンに対応
する開口を有するスクリーンが板30の上に置かれる。イ
ンキは開口から板の上に押し出されて金属化領域すなわ
ちパッド14のパターンをつくる。パッド14は後でリード
ワイヤおよび溶融要素の取り付けに供される。パッド14
を形成するのに用いられるインキは、銀をベースにした
成分になっている。一つの実施例においては、銀の厚膜
用インキが使用される。金属化領域のための他の適当な
材料としては、銅、ニッケル、金、アルミニウム、パラ
ジウム、プラチナ、あるいはこれらの組み合わせ、また
は他の導電材料をベースにした厚膜用インキなどがあ
る。
るようにしてもよい。例えば、ラミネート処理によって
金属化パッドを板30に付けるようにしてもよい。もう一
つの別の態様としては、スパッタリング、熱蒸発または
電子ビーム蒸発を利用した技術を用いた蒸気蒸着によっ
て、板30の上にパッドをつくるものがある。このような
技術は当業界で周知である。
板30の上に印加された後、板は乾燥され焼かれる。典型
的な乾燥および焼成処理は、コンベアベルト上の板30を
乾燥炉を通して移動させ、そこで約150℃で乾燥させ、
約850℃で焼くというものである。乾燥処理により有機
物が除かれ、焼成処理によりパッドを焼結させて板30に
接着させる。
成後には約12.7ミクロン(0.0005″)の厚さになる。金
属化パッドの導電性やパッドの幅および長さといった種
々の因子に応じて、いろいろな形や厚さのパッドが用い
られる。
なってこれらを互いに連結するようにして、板30上にプ
リントされる。薄膜のヒューズリンク16は、上述したよ
うなスクリーン印刷、またはペインティング、スプレイ
ング、ブラッシングあるいは他の方法により板30の上に
配置してもよい。これらの手法は当業界において周知で
ある。上述した順序は、最初にパッドを印刷し、それか
ら溶融要素16を印刷するというものであったが、この順
序は逆にしてもよいし、また、パッドと溶融要素とを同
時に印刷してもよい。
機材料との混合物ではなく、化学的にリンクされた金属
と樹脂であり、通常は、炭素および金属原子に結合され
た酸素、硫黄、窒素またはリン原子からなっている。こ
れらのインキは簡単に手に入り、製造会社は加熱速度や
温度を金属有機物(metallo−organics)のインキの組
成によって特定する。
を金属有機物の熱分解によって基板上に蒸着する処理で
ある。化学的な蒸気蒸着において使用される有機金属と
金属有機物とは顕著な相異がある。有機金属の場合、金
属原子が一つまたはそれ以上の炭素原子と直接結合して
いるが、金属有機物では、金属原子は、一つまたはそれ
以上の炭素原子と結合した酸素、硫黄、窒素またはリン
原子にリンクしているのである。したがって、主な違い
は、有機金属は金属原子が炭素原子に直接結合してなる
のに対して、金属有機物では、金属原子が、炭素と直接
結合するかわりに、O2、N、Pなどの他の原子を利用し
て炭素とリンクしているということである。一般的に、
金属有機物は有機金属よりも多くの炭素を含む。
る。まず、真空蒸着方法と比べて設備が安く、処理に熟
練者を必要としない。金属有機物は、光重合体と混合し
てもよく、2ないし3ミクロンもの狭い幅の所望のパタ
ーンをフォトグラフィックな手法で作り出すこともでき
る。同じ分量に対して大きく広げることができるので、
金属有機物の膜は、従来の厚膜用ペーストから作られた
膜よりも非常に安くつく。そして、金属有機物組成の膜
は、通常は残留炭素と1%以下しか含んでいないので、
ヒューズに適用して差し支えない。
属有機物の膜の厚さは約0.025〜2.5ミクロン(1−100
micro inches)の値である。金、銀、パラジウム、ニッ
ケルのごとき材料が金属有機物のインキに有効である。
他の伝導性の金属有機物のインキも適当である。金属有
機物のインキは約645平方ミクロン(1 square mil)当
たり100ないし1000ミリオームの面積抵抗を形成するよ
うに選択され得る。
あって、炭素は1%以下である。印刷によって作られ得
る溶融要素16の幅は約76.2ミクロン(3mil)である。ホ
トリソグラフィおよびエッチングによれば約2.0〜3.0ミ
クロン(0.08−0.12mils)もの狭い線を作ることができ
る。
uare)の面積と約0.38mm乃至0.635mm(0.015″to 0.2
5″)の厚さとを有する。この板は、焼いた後、第2図
および第3図に示すように、縦方向32および横方向34に
切れ目を設けることによってチップすなわち基板に分割
される。こうして生じたチップの数はチップの寸法によ
って変わる。これら切れ目は、ダイヤモンド工具で線引
きするか、ダイヤモンド入り刃または適当な研磨剤で刻
み目を設けるか、レーザーで線引きするか又は高圧のウ
ォータージェットで切るごとく、当業界で公知の任意の
適当な手段によって形成される。これら切れ目は、板30
の全厚に及ぶものではなく、板30が力を加えて折られる
ことによって列35に分割され、その後、個々のチップ12
に分割できるような折れ線を設ければ足りる。好ましい
実施例においては、ダイヤモンド入り刃による切れ目が
用いられる。
って構成される。セラミック基板の場合、セラミックス
はその表面に交差する溝を有する縁の状態に形成され、
次いで焼かれる。
離される。次いで、このチップの列は、軸方向形態で配
置されたヒューズワイヤとともにリードワイヤが抵抗溶
接によってチップ12の各端部に取り付けられる。この抵
抗溶接は、リードワイヤをパッド14に結合させるために
ワイヤを加熱する電流をリードワイヤ24に流すことによ
って行われる。この型式の平行なギャップ抵抗溶接機は
当業界で周知であり且つゼネラルモーターズの子会社で
あるヒューズ・エアクラフト等の会社から入手可能であ
る。リードワイヤ24は、このリードワイヤとパッド14と
の間に大きな接触面積を得るために平坦部分25を有す
る。このリードワイヤ24の端部には基板またはヒューズ
要素をヒューズボディに適切に中心位置決めするために
段部が形成されている。
を備える各ヒューズアセンブリは、一つが列35から一回
で切り離されてセラミック粘着剤18のごときアーク消去
材料または絶縁材料によって被覆される。これは、浸
漬、スプレー、塗布等によって達成される。他の適当な
被覆が含まれ、しかも、他の高温セラミックスまたはガ
ラス被覆も用いることができる。この絶縁被覆は回路の
干渉によって生ずるプラズマを吸収し且つ温度を下げ
る。セラミック被覆は溶融伝導体の気化によって生ずる
溝を最小体積に制限する。この体積が小さいので、この
小さな体積は高圧を受けることになる。この圧力は、ヒ
ューズの性能を、アークを消去するのに必要な時間を短
くすることによって改良する。また、セラミック被覆
は、アーク冷却を増大することによってヒューズ性能を
改良する。
覆され、この被覆材料は溶融要素16、パッド14、チップ
12の一側及びリード24の取り付け端部を完全に被覆す
る。しかし、本発明では、このヒューズアセンブリの一
部をセラミック粘着剤18で被覆することによって行われ
る。このヒューズアセンブリの一部を被覆することは、
一つまたは幾つかの部品の僅かな表面積を被覆したり又
はこれら部品の表面積を全部被覆したり適宜に変更し得
る。例えば、溶融要素16は被覆されるが、パッド14また
はリード24は被覆されない。
ルドの中に挿入されてプラスチック、例えばエポキシ又
は他の適当な材料でインジェクションモールド工程また
は他の周知の工程を通して被覆される。プラスチックボ
ディ20は、例えばフィリップスケミカル会社のレイトン
R−10のごとき幾つかのモールド材料から作ることがで
きる。
れた後の軸方向配置のマイクロヒューズの横断面を示
す。
2、溶融要素16および金属パッド14から成る他の実施例
を示す。この簡単なアセンブリにおいて、ヒューズサブ
アセンブリ8は回路が構成されるときに他の種々の製品
に他の作業者によって直接に組み込まれる。次いで、リ
ードが他の作業者によって適当に取り付けられ、セラミ
ック被覆を必要に応じて設けて全体の回路が構成され
る。このヒューズ要素サブアセンブリ8は所望の特性に
応じて並列にまたは直列に接続される。
取り付ける他の方法を示す。第7図において、これらリ
ードはラジアルヒューズとして知られた形状に取り付け
られ、第8図においては、これらリードは表面取り付け
ヒューズとして用いるのに適当な態様で取り付けられて
いる。本発明の軸方向配置の実施例について上述された
製造段階は、基本的には、異なる手順で行われる幾つか
の段階を用いてラジアルおよび表面取り付けヒューズを
作るのと同じである。リードワイヤの形状および配置、
プラスチックボディの形状および寸法は、基本的な製造
条件または作業および本発明の利点に影響を与えること
なく異なる封入条件に合致するように変えることができ
る。
Claims (18)
- 【請求項1】ヒューズ要素サブアセンブリの製造方法に
して、 絶縁材料から成る支持手段を用意するステップ、該支持
手段が少なくとも2個の分離された金属化領域を有する
ように該支持手段に金属化領域を設けるステップ、及び
該金属化領域を電気的に接続するように該支持手段上に
薄膜ヒューズ要素を設けるステップから成り、該薄膜ヒ
ューズ要素が金属有機物材料から作られることを特徴と
する製造方法。 - 【請求項2】請求項1に記載のヒューズ要素サブアセン
ブリの製造方法にして、 該支持手段が、セラミックス、ガラス、アルミナ、及び
ホルステライトを含むグループから選定されることを特
徴とする製造方法。 - 【請求項3】請求項1に記載のヒューズ要素サブアセン
ブリの製造方法にして、 該支持手段が、薄膜ヒューズ要素を焼くために必要な温
度に耐えることができることを特徴とする製造方法。 - 【請求項4】請求項1に記載のヒューズ要素サブアセン
ブリの製造方法にして、 該支持手段が研磨されたセラミックスであることを特徴
とする製造方法。 - 【請求項5】請求項1に記載のヒューズ要素サブアセン
ブリの製造方法にして、 該支持手段が研磨面を有することを特徴とする製造方
法。 - 【請求項6】請求項1に記載のヒューズ要素サブアセン
ブリの製造方法にして、 該支持手段が上薬をかけられたセラミックス研磨面を有
することを特徴とする製造方法。 - 【請求項7】ヒューズ要素アセンブリにして、 絶縁材料から成る支持手段、該支持手段上の少なくとも
2つの金属化領域、及び該金属化領域に電気的に接続さ
れる該支持手段上に薄膜ヒューズ要素を含み、該薄膜ヒ
ューズ要素が金属有機物材料から作られることを特徴と
するヒューズ要素サブアセンブリ。 - 【請求項8】ヒューズ要素アセンブリにして、 絶縁材料から成る支持手段、及び該支持手段上に薄膜ヒ
ューズ要素を含み、該薄膜ヒューズ要素が金属有機物材
料から作られることを特徴とするヒューズ要素サブアセ
ンブリ。 - 【請求項9】請求項7又は8に記載のヒューズ要素サブ
アセンブリにして、 該ヒューズ要素の厚さが該支持手段の面の不規則性に対
して逆比例して変化することを特徴とするヒューズ要素
サブアセンブリ。 - 【請求項10】請求項7又は8に記載のヒューズ要素サ
ブアセンブリにして、 該ヒューズ要素が該支持手段に強固に粘着することを特
徴とするヒューズ要素サブアセンブリ。 - 【請求項11】請求項7又は8に記載のヒューズ要素サ
ブアセンブリにして、 該支持手段が、セラミックス、ガラス、アルミナ、及び
ホルステライトを含むグループから選定されることを特
徴とするヒューズ要素サブアセンブリ。 - 【請求項12】請求項7又は8に記載のヒューズ要素サ
ブアセンブリにして、 該支持手段が約0.0508〜0.0762ミクロンより平滑に仕上
げられた面を有することを特徴とするヒューズ要素サブ
アセンブリ。 - 【請求項13】請求項7又は8に記載のヒューズ要素サ
ブアセンブリにして、 該支持手段が熱伝導性のコーティングを有することを特
徴とするヒューズ要素サブアセンブリ。 - 【請求項14】請求項7又は8に記載のヒューズ要素サ
ブアセンブリにして、 該支持手段が上薬をかけられたセラミックスであること
を特徴とするヒューズ要素サブアセンブリ。 - 【請求項15】請求項7又は8に記載のヒューズ要素サ
ブアセンブリにして、 該ヒューズ要素が約2.54ミクロンより薄いことを特徴と
するヒューズ要素サブアセンブリ。 - 【請求項16】薄膜ヒューズ要素にして、 絶縁材料から成る支持手段、該支持手段上の少なくとも
2つの金属化領域、及び該金属化領域に電気的に接続さ
れる該支持手段上に薄膜ヒューズ要素を含み、該薄膜ヒ
ューズ要素が金属有機物インキであることを特徴とする
薄膜ヒューズ要素。 - 【請求項17】請求項16に記載の薄膜ヒューズ要素にし
て、 該ヒューズ要素が約2.54ミクロンより薄いことを特徴と
する薄膜ヒューズ要素。 - 【請求項18】請求項16に記載の薄膜ヒューズ要素にし
て、 該ヒューズ要素が約6.45cm2当たり100乃至1000マイクロ
オームのシート抵抗を有することを特徴とする薄膜ヒュ
ーズ要素。
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