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JP2746222B2 - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JP2746222B2
JP2746222B2 JP7248673A JP24867395A JP2746222B2 JP 2746222 B2 JP2746222 B2 JP 2746222B2 JP 7248673 A JP7248673 A JP 7248673A JP 24867395 A JP24867395 A JP 24867395A JP 2746222 B2 JP2746222 B2 JP 2746222B2
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JP
Japan
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bits
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data
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JP7248673A
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Inventor
義史 岡村
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NEC Corp
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Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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    • G11C29/12Built-in arrangements for testing, e.g. built-in self testing [BIST] or interconnection details
    • G11C29/18Address generation devices; Devices for accessing memories, e.g. details of addressing circuits
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    • G11C29/34Accessing multiple bits simultaneously

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  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明が属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
関し、特に半導体記憶装置における並列テストモード時
の内部アドレスの制御に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体メモリは、記憶容量の増大
に伴いテスト時間が指数関数的に増大しており、この問
題は外部クロック同期式のメモリ(「シンクロナスメモ
リ」という)についても同様である。
【0003】半導体メモリのテスト時間の増大という問
題を解決するための従来技術として、例えば特開昭61
−122998号公報等には、テストモードにおいて、
書き込み動作時に端子に一個のデータビットを印加して
複数個のメモリセルに対して該1個のビットを並列に書
き込み、読み出し動作時には複数個のメモリセルからデ
ータを並列に読み出し、全部が同一であるか否かを検出
するようにした構成が提案されている。
【0004】また、本願と同一出願人による特開平3−
283199号公報には、読み出したデータを1ビット
データ出力または複数ビットデータ出力として出力でき
る機能を有し、読み出したデータを複数の組に分割し、
分割した各組のデータの中から制御信号に基づき順次ビ
ットデータを出力する複数のセレクタと、テストモード
時に各セレクタの入力するデータの各ビットの一致不一
致をそれぞれ検出する複数の一致不一致検出回路とを含
む複数セルの並列テスト回路を有する半導体記憶装置に
おいて、1ビットデータ出力のテストモード時に前記複
数の一致不一致検出回路の各出力が一致を検出したこと
を検出し、かつ前記複数のセレクタから順次出力される
各出力が一致した時に前記読み出しデータが一致したこ
とを検出する検出回路を有する複数ビット並列テスト回
路を具備する半導体記憶装置が提案されている。すなわ
ち、同公報には、4ビット出力構成(以下「X4構成」
ともいう)と16ビット出力構成(以下「X16構成」
ともいう)の両方に必要な回路を同一チップ上に配置
し、X4構成時の4ビットのデータの一致不一致検出回
路の入力として、X16構成時の一致不一致検出回路の
出力を用いる構成が提案されている。
【0005】前記特開平3−283199号公報等に提
案された、複数セルの並列テスト回路、を具備し、並列
テスト機能を可能としたシンクロナスメモリの従来の構
成の一例を図5に示す。
【0006】図5を参照して、従来のシンクロナスメモ
リは、外部から入力される制御信号RAS(ローアドレ
スストローブ)とCAS(カラムアドレスストローブ)
とWE(ライトイネーブル)と外部クロック信号CLK
とを入力するコマンドデコーダ1と、コマンドデコーダ
1の出力信号ENBLと、複数の外部アドレス信号Ai
(A0,A1,A2,…,AN−1,AN)を入力し複
数の内部アドレス信号YPi(YP0,YP1,YP
2,…,YPN−1,YPN)を出力するバーストカウ
ンタ3(ラッチした外部アドレス信号から所定のバース
ト長(後述する)分の内部アドレス信号をカウントアッ
プして生成する、縦続形態に接続された複数のフリップ
フロップからなる)と、内部アドレス信号YPi(i=
2,3…,N)をデコードし、複数のカラム選択線YS
W0,YSW1等を出力するカラムデコーダ4と、を備
えている。
【0007】さらに、従来のシンクロナスメモリは、複
数の外部アドレス信号Ai(i=0〜N)とコマンドデ
コーダ1の出力信号ACTIVEとを入力し複数のワー
ド線と複数のプレート選択信号を出力するロウデコーダ
5と、それぞれ4本のビット線に接続し、2組のI/O
バス対ROTj,RONj(j=a,b,c,d,…)
に接続し、カラム選択線YSWnを入力するシェアド型
センスアンプ8と、を備えている。なお、図中7はカラ
ムデコーダ4の出力信号等を入力し、複数のリードライ
トバスに出力する選択プレートを示している。
【0008】さらに、従来のシンクロナスメモリは、外
部クロック信号CLKとコマンドデコーダ1の出力信号
ENBLを入力し信号RENBL(読み出しイネーブ
ル)及び信号WENBL(書き込みイネーブル)を出力
するパルス発生回路2と、を備えている。プレート選択
信号と2パルス生成回路の出力信号RENBL、WEN
BLを入力し第1のデータアンプイネーブル信号とI/
Oバスプリチャージ信号を出力するプリチャージ制御回
路10と、プリチャージ制御回路10の出力信号を入力
し、I/Oバス対とリードライトバス対RWBSTn、
RWBSNn(n=0,1,…)に接続した複数の第1
のデータアンプ9と、リードライトバス対RWBST
n、RWBSNnとパルス発生回路2の出力信号REN
BLを入力し出力データ信号OUTn(n=0,1,
…)を出力する、複数の第2のデータアンプ11と、4
組のリードライトバス対RWBSTn,RWBSNnを
入力し4入力の一致不一致を検出し判定信号T01を出
力する判定回路18と、を備えている。
【0009】さらに、従来のシンクロナスメモリは、内
部アドレス信号YP0,YP1をデコードし選択信号を
出力するデコーダ13と、第2のデータアンプ11の出
力データ信号OUTnと判定信号T01を、デコーダ1
3のデコード信号とテストモードイネーブル信号TES
Tで選択し、出力データ信号DOUTj(j=0,1,
…)を出力する選択回路(セレクタ)14と、選択回路
14の出力を入力し、I/OパッドDOj(j=0,
1,…)をドライブする複数のデータアウトバッファ1
6と、I/OパッドDOjからデータを入力し入力デー
タDINj(j=0,1,…)を出力するデータインバ
ッファ17と、データインバッファ17の入力データD
INjをデコーダ13のデコード信号とテストモードイ
ネーブル信号TESTに応じて書き込みバスを選択し、
入力データ信号INn(n=0,1,…)を出力する選
択回路(セレクタ)15と、選択回路15の出力の入力
データ信号INnを入力しリードライトバス対RWBS
Tn,RWBSNnに接続するライトアンプ12と、を
具備して構成されている。
【0010】次に、テストモード時における書き込み動
作について説明する。
【0011】テストモードに入ると、選択回路15で4
つの書き込みバスの全てが選択される。これにより4つ
のリードライトバス対RWBSTn,RWBSNn(n
=j,j+1,j+2,j+3)に同一のデータDIN
jが書き込まれ、同一のカラム選択線YSW上の4つの
セルにデータが書きこまれる。
【0012】テストモード時の読み出し動作は、選択回
路15で4つの読み出しバスを非選択とし、判定回路1
8の出力T01(すなわち4入力の一致不一致を検出し
判定信号)を選択回路14で選択し、出力データ信号D
OUTjとして出力する。
【0013】図6は、図5に示した従来のシンクロナス
メモリの書き込みまたは読み出し動作時のカラム選択線
YSWの動作波形を示す図である。
【0014】図5及び図6を参照して、連続書き込みま
たは読み出しデータ個数(「バースト長」という)が
「4」の場合、サイクルC1で、外部クロック信号CL
K(図6に示すICLK(メモリ内に導入されたクロッ
ク信号)と等価)の立ち上がりエッジで、書き込みまた
は読み出し命令(CMDが「WRITE」又は「READ」)を
取り込むと、コマンドデコーダ1の出力であるENBL
信号により、外部アドレス信号Ai(i=0〜N)はバ
ーストカウンタ3にラッチされ、バーストカウンタ3か
ら内部アドレス信号YPiが出力される。
【0015】図6に示す例では、内部アドレス信号YP
i(i=0〜N)はYP=0にセットされている。
【0016】サイクルC2以降、外部クロック信号CL
Kの立ち上がりエッジで、バーストカウンタ3がカウン
タ動作し、内部アドレス信号YPが1,2,3とカウン
トアップされる(すなわち、(YP0,YP1)はサイ
クル毎に(1,0),(0,1),(1,1)とな
る)。
【0017】この動作は、テストモードエントリー時
(命令CMDが「TEST ENTRY」)における書き込みまた
は読み出し命令(CMDが「WRITE」又は「READ」)の
実行動作についても同様である(サイクルC6〜C
9)。
【0018】図5に示すように、バーストカウンタ3か
ら出力される内部アドレス信号の下位側2ビットYP
0,YP1(YP0は最下位ビット)は、動作電流削減
等のために、カラムデコーダ4に入力されず、デコーダ
13を介して選択回路14または選択回路15に入力さ
れており、このため、バースト長が「4」の時は、図6
に示すように、カラム選択線YSWの切り換え動作は行
われない(すなわちYSWはY0に固定される)。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】図5に示した上記従来
のシンクロナスメモリにおいては、テストモードに入っ
た場合でも、バースト長が「4」の時、バースト中にカ
ラム選択線YSWは切り換わらないため、4ビット並列
テストを行うと同一セルに4回連続して書き込みまたは
読み出し動作が行なわれることになり、並列テストの有
効性が失われてしまうという問題があった。すなわち、
テストモード時において同一データを書き込み又は読み
出しする4本(X4)の入出力(I/O)のカラムアド
レス(Yアドレス)の組み合わせが、バースト中の4つ
のデータのカラムアドレスの組み合わせと同一であるた
め、バースト中の4つの連続データは同一カラムアドレ
ス上の4つのセルに対するアクセスとなり(カラム選択
線YSWが固定のため)、このため、並列テストによる
テストの効率化が達成し得ず、その有効性が失われてし
まうことになる。
【0020】この問題は、前記特開昭61−12299
8号公報および前記特開平3−283199号公報に記
載の構成を用いても解決しない。
【0021】従って、本発明は上記従来技術の問題点を
解消し、バーストカウンタを持つメモリにおいて効果的
に複数セル並列テストを行える半導体記憶装置を提供す
ることにある。
【0022】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、外部からのアドレス信号を入力し外部ク
ロックに同期してm+nビット(m,nは所定の正整
数)の内部アドレス信号をカウントアップして出力する
バーストカウンタと、前記内部アドレス信号の上位mビ
ットを入力とし第1の選択を行うカラムデコーダと、前
記第1の選択により複数ビットのデータを複数のリード
ライトバス対に出力する選択プレートと、読み出し時に
おいて、並列テストモード時には前記複数ビットのデー
タの一致不一致を判定する判定回路と、通常モード時に
は前記複数ビットのデータを前記内部アドレス信号の下
位nビットにより選択すると共に、並列テストモード時
には前記判定回路の出力を選択する第2の選択回路と、
書き込み時において、通常モード時には1個の書き込み
データを前記内部アドレス信号の下位nビットにより前
記複数のリードライトバス対の1つに書き込むと共に、
並列テストモード時には前記複数のリードライトバス対
の全てに書き込むための選択を行なう第3の選択回路
と、を有し、並列テストモード時に前記内部アドレス信
号の下位nビットを前記カラムデコーダに入力し前記第
1の選択を行うことを特徴とする半導体記憶装置を提供
する。
【0023】また、本発明は、外部からのアドレス信号
を入力し外部クロックに同期して通常モード時にはm+
nビットをカウントアップすると共に、並列テストモー
ド時には上位mビットのみをカウントアップし、m+n
ビットの内部アドレス信号を出力するバーストカウンタ
と、前記内部アドレス信号の上位mビットを入力とし第
1の選択を行うカラムデコーダと、前記第1の選択によ
り複数ビットのデータを複数のリードライトバス対に出
力する選択プレートと、読み出し時において、並列テス
トモード時には前記複数ビットのデータの一致不一致を
判定する判定回路と、通常モード時には前記複数ビット
のデータを前記内部アドレス信号の下位nビットにより
選択すると共に、並列テストモード時には前記判定回路
の出力を選択する第2の選択回路と、書き込み時におい
て、通常モード時には1個の書き込みデータを前記内部
アドレス信号の下位nビットにより前記複数のリードラ
イトバス対の1つに書き込むと共に、並列テストモード
時には前記複数のリードライトバス対の全てに書き込む
ための選択を行なう第3の選択回路と、を有する半導体
記憶装置を提供する。
【0024】本発明によれば、テストモード時に、一の
データを複数のメモリセルに並列して書き込み、且つ前
記複数のメモリセルから並列して読み出されたデータの
一致不一致を判定出力する、複数セルの並列テスト機能
を備えると共に、外部アドレス信号を入力し外部クロッ
クに同期して所定のバースト長分の内部アドレス信号を
生成する半導体記憶装置において、テストモードが選択
された際に、書き込み及び読み出しする時に、前記内部
アドレス信号を入力してデコードするカラムデコーダに
入力するアドレス信号を、通常モード時と異なり、サイ
クル毎に可変するように切り替え、前記カラムデコーダ
から出力されるカラム選択線をサイクル毎に可変させる
ように構成したことにより、バースト長が「2」以上で
同一セルに対する書き込みまたは読み出しを行なうこと
なく複数セルの並列テストを行うことができ、並列テス
トの効率化を達成している。
【0025】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して以下に説明する。
【0026】
【実施形態1】図1は、本発明の一実施形態の構成を示
す回路図である。なお、図1において、前記従来例の説
明で参照した図5と同一機能を為す要素には同一の参照
番号が付されている。また、以下では、前記従来例との
相違点について説明する。
【0027】図5に示す前記従来例の構成と比較して、
図1に示す本実施形態においては、内部アドレス信号の
下位2ビットYP0,YP1をデコーダ13またはカラ
ムデコーダ4のいずれかに入力するための選択用P型ト
ランジスタ21,22及びN型トランジスタ31,32
と、内部アドレス信号YPN−1,YPNをカラムデコ
ーダ4に接続または非接続に制御するための選択用P型
トランジスタ23,24と、テストモード時に内部アド
レス信号YP0,YP1の値を保持するラッチ回路41
と、が新たに付加されている。図1に示すように、N型
トランジスタ31,32は、ゲートに入力されるテスト
モードイネーブル信号TESTがHighレベルの時導
通状態となり、バーストカウンタ3の出力の下位側(L
SB側)の2ビットをカラムデコーダ4に上位側(MS
B側)の2ビットYPN,YPN−1として伝達入力
し、P型トランジスタ21,22は、ゲートに入力され
るテストモードイネーブル信号TESTがLowレベル
の時(通常モード時)導通状態となり、バーストカウン
タ3の出力の下位側の2ビットをYP1,YP0として
デコーダ13に入力する。
【0028】通常モード時には、テストモードイネーブ
ル信号TESTがLowレベルであるため、選択用P型
トランジスタ21,22,23,24がいずれもON
(オン)し、選択用N型トランジスタ31,32がいず
れもOFF(オフ)状態となり、外部アドレスA0,A
1はそれぞれ内部アドレス信号YP0,YP1としてデ
コーダ13に入力され、また外部アドレスAN−1,A
Nはそれぞれ内部アドレス信号YPN−1,YPNとし
てカラムデコーダ4に入力される。
【0029】テストモード時には、テストモードイネー
ブル信号TESTがHighレベルとなり、選択用P型
トランジスタ21,22,23,24がいずれもOFF
(オフ)し、選択用N型トランジスタ31,32がON
(オン)状態となり、外部アドレスA0,A1はそれぞ
れYPN−1,YPNとしてカラムデコーダ4に入力さ
れ、また外部アドレスAN−1,ANに対応する内部ア
ドレス信号YPN,YPN−1はカラムデコーダ14の
対応する入力端と非接続され、また内部アドレス信号Y
P0,YP1のラッチ回路41により前データの値を保
持するよう構成されている。
【0030】なお、セレクタ14,15はテストモード
イネーブル信号TESTにより制御されているため、デ
コーダ13から入力されるデコード信号には影響され
ず、内部アドレスYP0,YP1は任意の値でよい。
【0031】次に本実施形態の動作について説明する。
【0032】図2は、図1に示した本実施形態の書き込
みまたは読み出し動作時のカラム選択線YSWの動作波
形を示す図である。
【0033】通常モード時の書き込みまたは読み出し動
作については、図6に示した動作と同様に、サイクルC
1で外部クロック信号CLK(図2のICLKと等価)
の立ち上がりエッジで書き込みまたは読み出し命令を取
り込むと、外部アドレスAiはバーストカウンタ3にラ
ッチされ、内部アドレス信号(YP1〜YPN)はYP
=0にセットされ、それ以降のサイクルC2,C3,C
4で外部クロック信号CLKの立ち上がりエッジでバー
ストカウンタ3がカウンタ動作し、内部アドレス信号Y
Pが1,2,3とカウントアップされる。
【0034】この場合、カラムデコーダ4に入力してい
る内部アドレス信号YP2〜YPNは変化しないため、
カラム選択線YSWはY0のまま切り換わらない(固定
されている)。
【0035】一方、テストモード時は、テストモードイ
ネーブル信号TESTがHighレベルとされるため、
内部アドレス信号YP0,YP1は前データを保持して
いる。
【0036】他の内部アドレス信号YPi(i=2,…
N−1,N)は、書き込みまたは読み出し動作時にカウ
ンタ動作し、バーストカウンタ3の最下位2ビットの出
力である内部アドレス信号YPN−1,YPN(N型ト
ランジスタ31,32が導通状態とされバーストカウン
タ3の下位側2ビットに接続されている)は、カウント
アップする。すなわちN型トランジスタ31,32が導
通状態とされ、バーストカウンタ3の出力の下位側2ビ
ット(バースト中にカウントアップされる)が内部アド
レス信号の上位側2ビットYPN−1,YPNとしてカ
ラムデコーダ4に入力されている。
【0037】これらの内部アドレス信号により、カラム
選択線YSWは、1サイクルごとにY0,Y1,Y2,
Y3と切り換わることになる(サイクルC6〜C9参
照)。
【0038】
【実施形態2】本発明の第2の実施形態の構成を図3に
示す。図3には、図1と共通の構成要素には共通の参照
文字/数字を付すと共に、図1との相違点のみが図示さ
れ、共通の構成要素は図1の構成に従うものとする。
【0039】図3を参照して、本実施形態においては、
外部アドレス信号Ai(i=0〜N)とコマンドデコー
ダ1の出力信号ENBLとテストモードイネーブル信号
TESTとを入力し、テストモード時には下位2ビット
以下と下位3ビット以上とを切り離し、下位3ビットを
カラムデコーダ4の最下位ビット(LSB)として出力
するバーストカウンタ3′と、バーストカウンタ3′に
おいて下位2ビット以下と下位3ビット以上とを切り離
すためのトランジスタ71と、バーストカウンタ3′に
入力される外部アドレス信号を切り替えるための選択用
トランジスタ51,52,61,62とを備えている。
【0040】トランジスタ71はP型トランジスタから
なり、ゲートがテストモードイネーブル信号TESTに
接続され、TESTがLowレベル(通常モード時)の
時導通して下位2ビットに対応するフリップフロップ出
力を下位3ビットに対応するフリップフロップの入力に
接続し、TESTがHighレベルの時(テストモード
時)非導通状態となり下位2ビットに対応するフリップ
フロップと下位3ビットに対応するフリップフロップと
を切り離す。トランジスタ51,52はP型トランジス
タからなりテストイネーブル信号TESTがLowレベ
ルの時(通常モード時)導通して外部アドレスAN−
1,ANをバーストカウンタ3′の最上位側2ビットと
して供給し、トランジスタ61,62はN型トランジス
タからなりテストイネーブル信号TESTがHighレ
ベル(アクティブ)の時導通して外部アドレスの最下位
側の2ビットA0,A1をバーストカウンタ3′の最上
位側2ビットとして供給する。
【0041】本実施形態においては、バーストカウンタ
3′の出力は、図1で示した選択用トランジスタ21,
22,23,24,31,32に入力することなく、カ
ラムデコーダ4及びセレクタ14に直接入力されるよう
構成されている。
【0042】図4は、図3に示した本実施形態の書き込
みまたは読み出し動作時のカラム選択線YSWの動作波
形を示す図である。
【0043】通常モード時の書き込みまたは読み出し動
作については、前記第1の実施形態や前記従来例と同様
に、最下位の2ビットがカウントアップされ、内部アド
レス信号YP0,YP1のみが切り換わりカラム選択線
YSWはY0のままである(サイクルC1〜C4参
照)。
【0044】テストモードにエントリした時には、最下
位側の2ビットがカウントアップされ内部アドレス信号
YP0,YP1が切り換わるが(トランジスタ71で下
位3ビット以上のフリップフロップとは非接続)、下位
3ビット目がカラムデコーダ4の最下位ビット(LS
B)としてカウントアップされ、バーストカウンタ3′
によるバースト長「4」の内部アドレス信号の発生にお
いて内部アドレス信号YP2,YP3が切り換わり(変
化し)、カラム選択線YSWはバースト中1サイクル毎
にY0′,Y1′,Y2′,Y3′と切り換わることに
なる(サイクルC6〜C9参照)。
【0045】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、バース
トカウンタを具備する半導体記憶装置において、テスト
モードに入った際に、書き込みまたは読み出し動作時に
はカラムデコーダに入力するアドレス信号を毎サイクル
切り換え(可変させ)、カラム選択線YSWが切り換わ
るように構成したことにより、バースト長が「2」以上
で同一セルに対する書き込みまたは読み出しをすること
なく複数セルの並列テストを行うことができる。このた
め、テスト時間がバースト長が「2」では1/2に、バ
ースト長が「4」以上では1/4に短縮し、テスト効率
を大幅に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の構成を示すブロックであ
る。
【図2】図1に示す本発明の一実施形態のカラム選択線
YSWの動作を示す波形図である。
【図3】本発明の他の実施形態の構成を示すブロックで
ある。
【図4】図3に示す本発明の別の実施形態のカラム選択
線YSWの動作を示す波形図である。
【図5】従来例の構成を示すブロックである。
【図6】図5に示す従来例のカラム選択線YSWの動作
を示す波形図である。
【符号の説明】
1 コマンドデコーダ 2 パルス発生回路 3 バーストカウンタ 4 カラムデコーダ 5 ロウデコーダ 6 メモリセル 7 選択プレート 8 シェアード型センスアンプ 9 第1デコーダアンプ 10 制御回路 11 第2のデータアンプ 12 ライトアンプ 13 デコーダ 14,15 選択回路 16 データアウトバッファ 17 データインバッファ 18 判定回路 21,22,23,24 P型トランジスタ 31,32 N型トランジスタ 41 ラッチ回路 51,52 P型トランジスタ 61,62 N型トランジスタ

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】外部からのアドレス信号を入力し外部クロ
    ックに同期してm+nビット(m,nは所定の正整数)
    の内部アドレス信号をカウントアップして出力するバー
    ストカウンタと、 前記内部アドレス信号の上位mビットを入力とし第1の
    選択を行うカラムデコーダと、 前記第1の選択により複数ビットのデータを複数のリー
    ドライトバス対に出力する選択プレートと、 読み出し時において、並列テストモード時には前記複数
    ビットのデータの一致不一致を判定する判定回路と、 通常モード時には前記複数ビットのデータを前記内部ア
    ドレス信号の下位nビットにより選択すると共に、並列
    テストモード時には前記判定回路の出力を選択する第2
    の選択回路と、 書き込み時において、通常モード時には1個の書き込み
    データを前記内部アドレス信号の下位nビットにより前
    記複数のリードライトバス対の1つに書き込むと共に、
    並列テストモード時には前記複数のリードライトバス対
    の全てに書き込むための選択を行なう第3の選択回路
    と、 を有し、 並列テストモード時に前記内部アドレス信号の下位nビ
    ットを前記カラムデコーダに入力し前記第1の選択を行
    うことを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】外部からのアドレス信号を入力し外部クロ
    ックに同期して通常モード時にはm+nビットをカウン
    トアップすると共に、並列テストモード時には上位mビ
    ットのみをカウントアップし、m+nビットの内部アド
    レス信号を出力するバーストカウンタと、 前記内部アドレス信号の上位mビットを入力とし第1の
    選択を行うカラムデコーダと、 前記第1の選択により複数ビットのデータを複数のリー
    ドライトバス対に出力する選択プレートと、 読み出し時において、並列テストモード時には前記複数
    ビットのデータの一致不一致を判定する判定回路と、 通常モード時には前記複数ビットのデータを前記内部ア
    ドレス信号の下位nビットにより選択すると共に、並列
    テストモード時には前記判定回路の出力を選択する第2
    の選択回路と、 書き込み時において、通常モード時には1個の書き込み
    データを前記内部アドレス信号の下位nビットにより前
    記複数のリードライトバス対の1つに書き込むと共に、
    並列テストモード時には前記複数のリードライトバス対
    の全てに書き込むための選択を行なう第3の選択回路
    と、 を有することを特徴とする半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】テストモード時に、一のデータを複数のメ
    モリセルに並列して書き込み、且つ前記複数のメモリセ
    ルから並列して読み出されたデータの一致不一致を判定
    出力する、複数セルの並列テスト機能を備えると共に、
    外部アドレス信号を入力し外部クロックに同期して所定
    のバースト長分の内部アドレス信号を生成する半導体記
    憶装置において、 テストモードが選択された際に、書き込み及び読み出し
    する時に、前記内部アドレス信号を入力してデコードす
    るカラムデコーダに入力するアドレス信号を、通常モー
    ド時と異なり、サイクル毎に可変するように切り替え、
    前記カラムデコーダから出力されるカラム選択線をサイ
    クル毎に可変させるように構成したことを特徴とする半
    導体記憶装置。
  4. 【請求項4】テストモード時には、前記外部アドレス信
    号を入力し前記所定バースト長分前記内部アドレス信号
    を生成するバーストカウンタの出力の所定の下位側ビッ
    トを前記カラムデコーダの所定のビット位置に切り替え
    て入力するようにしたことを特徴とする請求項3記載の
    半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】テストモード時に、前記外部アドレス信号
    の所定の下位側ビットを、外部アドレス信号を入力し所
    定のバースト長分前記内部アドレス信号を生成するバー
    ストカウンタの所定の入力ビット位置に切り替えて入力
    することを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。
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