JP2629847B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 A.産業上の利用分野 本発明は、真空薄膜形成手段により形成された金属磁
性膜を磁性層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。

B.発明の概要 本発明は、非磁性支持体を冷却キャンに接触させなが
らその表面に真空薄膜形成手段により金属磁性膜を形成
した後、巻取りロールに巻き取る磁気記録媒体の製造方
法において、前記非磁性支持体が冷却キャンから離間す
る位置にガスを吹き込ませることにより、上記巻取りロ
ールに巻き取られる際、磁気記録媒体に対し形状の劣化
が生ずることを防止し歩留まりを向上させることができ
る磁気記録媒体の製造方法を提供しようとするものであ
る。

C.従来の技術 従来より磁気記録媒体としては、非磁性支持体上に酸
化物磁性粉末或いは合金磁性粉末等の粉末磁性材料を塩
化ビニル−酢酸ビニル系共重合体，ポリエステル樹脂，
ポリウレタン樹脂等の有機バインダー中に分散せしめた
磁性塗料を塗布・乾燥することにより作製される塗布型
の磁気記録媒体が広く使用されている。

これに対して、高密度磁気記録への要求の高まりとと
もに、Co−Ni合金、Co−Cr合金、Co−Ｏ等の金属磁性材
料を、メッキや真空薄膜形成手段（真空蒸着法やスパッ
タリング法，イオンプレーティング法等）によってポリ
エステルフィルムやポリイミドフィルム等の非磁性支持
体上に直接被着した、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記
録媒体が提案され注目を集めている。この金属磁性薄膜
型の磁気記録媒体の抗磁力や角形比等に優れ、短波長で
の電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性層の厚みを
極めて薄くすることが可能であるため記録減磁や再生時
の厚み損失が著しく小さいこと、磁性層中に非磁性材で
あるそのバインダーを混入する必要がないため磁性材料
の充填密度を高めることができること等、数々の利点を
有している。

D.発明が解決しようとする課題 ところで、上述のような真空薄膜形成手段等により磁
気記録媒体を製造する場合、テープ状の非磁性支持体を
送りリールから巻取りリールに亘って走行させる中途部
において大径の冷却キャンを介在させ、この冷却キャン
の周面を走行する際に上記非磁性支持体上に前記真空薄
膜形成手段により磁性層を形成させるようにしている。

しかしながら、上述のような方法では、冷却キャンか
ら巻取りリールに亘って走行する非磁性支持体が帯電し
てしまうために、非磁性支持体が冷却キャンから容易に
離れず、従って上記巻取りリールに巻き取られる非磁性
支持体に対して大きなテンションがかかり該非磁性支持
体にしわやクラックが生ずる場合がある。特に、磁性層
が形成されない部分では、上記帯電が大きくクラックや
盛り上がり又はしわ等の形状の劣化が発生し易く、歩留
まりの向上を妨げている。

そこで本発明は、上記従来の事情に鑑みて提案された
ものであって、非磁性支持体が帯電している場合であっ
ても、上述の如きラック，しわ等のにより非磁性支持体
の形状の劣化を防止し歩留まりの向上を図ることができ
る磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする
ものである。

E.課題を解決するための手段 本発明は上記目的を達成するために、非磁性支持体を
冷却キャンに接触させながらその表面に真空薄膜形成手
段により金属磁性膜を形成した後、巻取りロールに巻き
取る磁気記録媒体の製造方法において、前記非磁性支持
体が冷却キャンから離間する位置にガスを吹き込ませる
ことを特徴とするものである。

本発明により製造される磁気記録媒体は、金属磁性薄
膜を磁性層とするいわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒
体であり、ここで、金属磁性薄膜を構成する金属磁性材
料としては、通常この種の媒体で使用されるものがいず
れも使用可能である。例示すればFe,Co,Ni等の磁性金属
や、Fe−Co,Co−Ni,Fe−Co−Ni,Co−Cr,Fe−Co−Cr,Co
−Ni−Cr,Fe−Co−Ni−Cr等である。

非磁性支持体の材料としても通常使用されるものが使
用でき、例えばポリエチレンテレフタレート，ポリエチ
レン−2,6−ナフタレート等のポリエステル樹脂や芳香
族ポリアミドフィルム，ポリイミド樹脂フィルム等が挙
げられる。

そして本発明においては、冷却キャンら上記非磁性支
持体が離間する位置にガスを吹き込むものとする。

前者の場合に用いられるガスとしては、酸素の他、上
記非磁性支持体上に被着形成された磁性層と反応しない
所謂不活性ガス等も使用することができる。この不活性
ガスとしては、例えば、アルゴン，窒素等を挙げること
ができる。

また、上記ガスの流量については、余り大量のガスを
流入させると真空状態が維持できないとともに、余り少
量であると冷却キャンから上記磁気記録媒体を離脱させ
るために該支持体に大きなテンションがかかり本発明の
目的が達成できないことから、上記両要請を満足し得る
ように適宜設定すれば良い。

また、上記巻取りロールの材料は、導電性材料である
ことが必要であり、電気伝導率の高い材料、例えば、
銅，鉄等の金属や導電性樹脂等が挙げられる。なお、こ
の導電性樹脂は、該樹脂自体が導電性を有するものであ
っても良く、また、該樹脂に金属粉末やカーボン等を混
入して作成されたものであって良い。

F.作用 上述のような構成からなる本発明の磁気記録媒体の製
造方法によれば、非磁性支持体に帯電が生じている場合
でも、該支持体の劣化を生ずることなく巻取りロールに
巻き取られる すなわち、該非磁性支持体が冷却キャンから離脱する
位置にガスを吹き込むことによって、容易に該キャンか
ら離脱され、巻取りロールに巻取られる非磁性支持体に
大きなテンションがかからない。したがって、非磁性支
持体が巻取りロールに巻き取られる際、しわやラック，
盛り上がり等を生ずることがない。

G.実施例 以下、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法の実
施例を具体的に説明する。

本発明に係る磁気記録媒体の製造方法に使用される製
造装置の一例について説明する。

この製造装置は、第１図に示すように、内部が真空状
態となされた真空室内に、テープ状の非磁性支持体１
が、図中時計回り方向に定速回転する送りロール２から
図中反時計回り方向に定速回転するようにされた巻取り
ロール３に順次走行するようにされている。

そして、上記送りロール２から巻取りロール３側に走
行する中途部には、上記非磁性支持体１を図中下方に引
き出すように設けられるとともに上記各ロール2,3の径
よりも大径となされた冷却キャン４が図中時計回り方向
に定速回転するように設けられている。なお、この冷却
キャン４には、内部に図示しない冷却装置が設けられて
おり、上記非磁性支持体１の温度上昇による変形等を抑
制している。

したがって、上記非磁性支持体１は、送りロール２か
ら順次送り出され、さらに上記冷却キャン４の周面を通
過した巻取りロール３に巻取られて行くようにされてい
る。なお、上記送りロール２と上記冷却キャン４との間
及び上記冷却キャン４と上記巻取りロール３との間には
それぞれガイドロール5,6が配設され、上記送りロール
２から冷却キャン３及び冷却キャン４から巻取りロール
３に亘って走行する非磁性支持体１に所定のテンション
をかけ、該非磁性支持体１が円滑に走行するようになさ
れている。

また、本装置内であって上記冷却キャン４の下方に
は、加熱手段７により加熱され上記冷却キャン４の周面
を走行する非磁性支持体１の表面に被着形成される金属
磁性材料８が収容部９内に収納されている。上記金属磁
性材料８は、上記加熱手段７により加熱されることによ
って蒸発し、上記非磁性支持体１の表面に被着して図示
しない金属磁性薄膜となる。

さらに、上記冷却キャン４と上記金属磁性材料８の収
納部９との間であって該冷却キャン４の近傍には、冷却
キャン４の周面と対向するように湾曲形成されたシャッ
タ10が配設されている。このシャッタ10は、上記金属磁
性材料８が上記非磁性支持体１に対して所定角度範囲で
斜めに蒸着されるように該支持体１の所定範囲を覆うも
のである。

したがって、非磁性支持体１には、該支持体１が上記
シャッタ10と対向する直前に至るまでに上記金属磁性材
料６による薄膜が形成されて磁気記録媒体となされ、上
記冷却キャン４から前記ガイドロール５を通過し巻取り
ロール３に巻取られるようにされている。

さらに、本装置には、図示しない装置外部からこの装
置内に亘ってガス管11が配管されている。このガス管11
の先端11aは、上記冷却キャン４から上記非磁性支持体
１が離間する位置の近傍であって上記金属磁性薄膜が形
成された面と反対の面側に設けてられおり、該ガス管１
を介して上記非磁性支持体１の冷却キャン４から離間位
置にガスが吹き込まれるようにされている。なお、この
ガス管11の先端11aから吹き込まれるガスの流量は、本
装置内に真空状態に保持できるとともに、該冷却キャン
４から上記磁気記録媒体１が容易に離脱されて必要以上
のテンションが該支持体１にかからないように調節され
ている。

上記構成からなる本実施例の製造装置によれば、非磁
性支持体１は、送りロール２から順次冷却キャン４に走
行し、この走行過程において金属磁性材料８が上記加熱
手段７により加熱され該支持体１の表面に金属磁性膜と
して被着し磁気記録媒体となされる。そして、上記磁気
記録媒体となされた該支持体１は、上記冷却キャン４か
ら前記巻取りロール３に向かって走行する。この際、本
製造装置には、上記非磁性支持体１が上記冷却キャン４
から離間する位置にガス管11が配設され、所定量のガス
が該支持体１の裏面側に吹き込まれるので、該支持体１
が大きく帯電している場合でも該支持体１に大きなテン
ションがかかることなく該冷却キャン４から離間され
る。

そして、本発明者等は、上記構成からなる製造装置を
用いるとともに、以下に説明する各条件で磁気記録媒体
を製造した。

すなわち、上記装置に配設されたガス管11から、酸素
ガスを吹き込んで磁気記録媒体を製造した（実施例
１）。

また、上記酸素ガスに代えアルゴンガスを吹き込で磁
気記録媒体を製造した（実施例２）。

一方、従来の製造方法の如くガスを一切吹き込むこと
なく磁気記録媒体を製造した（比較例）。

そして、上述のような方法で製造された各々の磁気記
録媒体の変形等、次工程への実害を観察したところ、以
下の結果を得た。

すなわち、上記実施例１によって製造された磁気記録
媒体では、3000m中、2mmの盛り上がりが、また、実施例
２によって製造された磁気記録媒体では、3000m中、1mm
以下の盛り上がりが発見された。しかし、これら実施例
１及び２で製造された磁気記録媒体では、次工程に移行
した際の実害もない。

これに対し、上記比較例によって製造された磁気記録
媒体では、3000m中、該磁気記録媒体の端部において5mm
の盛り上がりが発見され、次工程への移行によって上記
盛り上がりが中央部まで移動し、製品として使用できる
磁気記録媒体とはならなっかった。

上記各実施例及び比較例からの結果からも明らかなよ
うに、非磁性支持体１が冷却キャン４から離間する位置
にガスを吹き込むことによって、該非磁性支持体上に盛
り上がり等を生ずることなく、しかも次工程に移行した
場合の実害も発生することがないことが分かる。

上述のように、本発明に係る実施例によれば、磁気記
録媒体に対する形状の劣化を有効に防止することができ
信頼性を有する磁気記録媒体を製造することができる。

なお、上記本発明の実施例においては、所謂斜方蒸着
による磁気記録媒体の製造装置を示して説明したが、上
記本発明は上記実施例に限定されるものではない。

すなわち、上記本発明は、所謂垂直蒸着をすることに
より非磁性支持体１上に金属磁性膜を被着形成する手法
を採用しても良い。

H.発明の効果 上記各実施例の説明からも明らかなように、本発明に
係る磁気記録媒体の製造方法によれば、金属磁性薄膜を
形成した後の工程において該磁気記録媒体に形状の劣化
が発生することを有効に防止し、歩留まりの向上を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】 第１図は磁気記録媒体の製造装置の一例を示す模式図で
ある。 １……支持体 ３……巻取りロール ４……冷却キャン 11……ガス管

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】非磁性支持体を冷却キャンに接触させなが
   らその表面に真空薄膜形成手段により金属磁性膜を形成
   した後、巻取りロールに巻き取る磁気記録媒体の製造方
   法において、前記非磁性支持体が冷却キャンから離間す
   る位置にガスを吹き込むことを特徴とする磁気記録媒体
   の製造方法。