JP2694345B2

JP2694345B2 - 検査装置

Info

Publication number: JP2694345B2
Application number: JP63176584A
Authority: JP
Inventors: 博鈴木
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 1988-07-14
Filing date: 1988-07-14
Publication date: 1997-12-24
Anticipated expiration: 2012-12-24
Also published as: JPH0225764A

Description

【発明の詳細な説明】〔発明の目的〕（産業上の利用分野）本発明は検査装置に関する。

（従来の技術）液晶テレビ画面等に用いられている液晶表示体（以
下、LCDと略記する）の電気的特性を検査する装置とし
て、検査装置が知られている。

上記検査装置は、プローブ電極端子列をこれに対応し
た被検査体例えばLCDの電極列に接触させ、テスタから
プローブ電極端子列を介してLCDに電圧を印加し、LCDの
電気的検査を行なうものである。

上記検査装置では、第12図で示すように、まずローダ
部（１）はLCD（２）をカセット（３）から取り出す機
構、例えばピンセット（４）によりLCD（２）を取り出
し、このLCD（２）を位置決め板（５）によりアライメ
ント（位置合せ）した後、再びピンセット（４）により
位置決め板（５）から検査部（６）へ受け渡すための位
置、例えばホームポジション位置（７）へ搬送し、その
位置（７）のサブチャック（８）上へLCD（２）を載置
する。そして、検査部（６）側に設けられたＸ軸移動板
（９）が駆動してサブチェック（８）上のLCD（２）を
吸着し、検査部（６）の載置体（10）まで移動して載置
体（10）へLCD（２）を引き渡す。

同様にして、検査終了したLCD（２）は上述した各機
構を用いて、逆方向に搬送駆動して、所定のカセット
（３）に戻るように駆動制御されている。上述した一連
の搬送移動で、LCD（２）をカセット（３）から載置体
（10）まで搬送する搬送状態を操作パネル（11）の前面
に設けた表示画面（12）に可視表示して、監視、即ちモ
ニタリングしている。

上記表示画面（12）は、LCD（２）が上述したカセッ
ト（３）を載置する夫々の機構、例えばステージ（1
3），ピンセット（４），サブチャック（８），位置決
め板（５），ローダ部（１）から検査部（６）にLCD
（２）を搬送させるＸ軸移動板（９）、及び載置体（1
0）における所在を表示するように表示灯が表示画面（1
2）の各位置に設けられている。

従って、搬送されるLCD（２）の所在は、各個所に設
けられているセンサ（14）によって、感知しその情報に
基づいて表示するようになっているので、上記表示画面
の各表示灯の点灯または消灯により、LCD（２）の所在
が監視可能であり、この監視によって、搬送状態の移動
を瞬時間隔でモニタリングするが一般的に用いられてい
る。

（発明が解決しようとする課題）従来の検査装置では、搬送系においてLCDの所在位置
が可視表示でき、この所在位置を監視して順次検査して
いたが、最近になって、上記搬送系におけるLCDの所在
位置のみならず、搬送系での故障などによる異常発生が
状況が可視可能に表示される検査装置が切望されてい
る。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもの
で、搬送系における被検査体の所在位置を視覚的に把握
することができ効率の良い検査を行なうことができると
共に、被検査体の搬送状況の情報（搬送系の故障及び故
障体など）を視覚的に把握することができメンテナンス
性に優れた検査装置を提供することを目的としている。

［発明の構成］（課題を解決するための手段）本発明の請求項１に記載の検査装置は、被検査体を装
置体に載置して被検査体の電気的特性を検査する検査装
置において、上記被検査体を収納するローダ部と、上記
被検査体を検査する検査部と、上記被検査体を上記ロー
ダ部から上記検査部へ搬送する搬送系と、上記搬送系で
の上記被検査体の所在位置及び搬送状況を複数の色で表
示する表示手段とを設けたものである。

本発明の請求項２に記載の検査装置は、請求項１に記
載の発明において、上記表示手段は、上記被検査体が上
記ローダ部及び上記検査部に移動する際に、上記被検査
体の所在位置及び搬送状況を表示する表示画面を備えた
ものである。

（作用）本発明の請求項１に記載の発明によれば、搬送系によ
り被検査体をローダ部から検査部へ搬送する際に、搬送
過程における被検査体の所在位置及び搬送状況を表示手
段に複数の色で表示し、複数の色を目視することにより
被検査体の所在位置及び搬送状況を把握することができ
る。

本発明の請求項２に記載の発明によれば、請求項１に
記載の発明において、上記表示手段は上記被検査体が上
記ローダ部及び上記検査部に移動する際に、その所在位
置及び搬送状況を表示する表示画面を備えているため、
表示画面を目視することにより被検査体の所在位置及び
搬送状況を把握することができる。

（実施例）以下、本発明の検査装置を液晶表示体プローバに適用
した一実施例について従来と同一部品には同一符号を付
して説明する。

上記液晶表示体プローバは、液晶表示体（以下、LCD
と称する）に形成された信号ライン・操作ラインの断
線，短絡及びパルスヂェネレータからのテストパターン
による表示等の検査を行うものである。

上記液晶表示体プローバは、第11図で示すように、筐
体（15）の右側に配置されたローダ部（１）と、このロ
ーダ部（１）の左側に配置された検査部（６）と、この
検査部（６）及びローダ部（１）の前面に配置された操
作パネル（11）と、この操作パネル（11）の上側に配置
され、LCDの移動位置を可視表示する表示画面（12）と
から構成されている。

尚、上記検査部（６）には、LCDの電極部にプローブ
電極端子の接触状態を確認できるスコープ（16）がＸ軸
方向及びＹ軸方向へ移動可能に設けられている。

上記ローダ部（１）は、第９図と第10図で示すよう
に、LCD（２）を板厚方向に所定の間隔を設けて複数
枚、例えば25枚を積載収納したカセット（３）を１個ず
つ保持する４台のステージ（13）（以下の説明では、個
々のステージ（13）を識別する時にはその数字にアルフ
ァベットを付して示してある。）と、このステージ（1
3）と平行に移動して、上記カセット（３）内に進入し
て、LCD（２）を取り出し、ホームポジション位置
（７）まで搬送する取り出し機構、例えばピンセット
（４）と、上記ホームポジション位置（７）に到達した
ピンセット（４）上のLCD（２）を上方に持ち上げるよ
うに上昇する上昇機構、例えばサブチャック（８）と、
このサブチャック（８）で上昇したLCD（２）を位置合
わせさせる位置決め板（５）とから構成されている。

ここで上記位置決め板（５）は、ステージ（３）の配
列方向と平行に移動可能に設けられ、上記サブチャック
（８）上面まで駆動されるようになっている。

従って、上記構成のローダ部（１）は、カセット
（３）内に収納したLCD（２）を一枚ずつ取り出して検
査部（６）に供給し、また検査終了のLCD（２）は空カ
セット（図示せず）に収納するものである。

上記検査部（６）は、第７図及び第８図に示すよう
に、液晶表示プローバの基台（17）上を平面移動可能な
載置体（10）と、上述したローダ部（１）のサブチャッ
ク（８）を設けたホームポジション位置（７）に位置決
めされたLCD（２）を上記載置体（10）に搬送するＸ軸
移動板（９）と、から構成されている。

上記載置体（10）の表面に、LCD（２）を仮固定例え
ば、真空吸着固定し、このLCD（２）の表面と対向して
設けられたヘッドプレート（18）に配置されているプロ
ーブ電極端子（19）と接触するように上昇する構成にな
っている。

上記プローブ電極端子（19）はテスタ（20）と電気的
に接続して、LCD（２）の断線，ショート等を検査でき
るように駆動制御されている。

上記表示画面（12）は、上述したローダ部（１）及び
検査部（６）にLCD（２）が移動するに際し、所在位置
を可視できる画面に表示するものである。

即ち、カセット（３）を載置するステージ（13）と、
LCD（２）をカセット（３）から出し入れする取り出し
機構、例えばピンセット（４）と、検査部（６）とロー
ダ部（１）のLCD（２）受け渡し位置、例えばサブチャ
ック（８）と、ピンセット（４）でサブチャック（８）
まで搬送されたLCD（２）の位置決めをする位置決め板
（５）と、ホームポジション位置（７）から載置体（1
0）まで搬送するＸ軸移動板（９）の各々にセンサ（2
1）が設けられている。そして、上述したそれぞれの場
所に設けられた各センサ（21）からの情報は操作パネル
（11）の上部にある表示画面（12）において可視表示可
能に点灯するようになっている。

そして、LCD（２）の所在位置を表示画面（12）にす
ることによりLCD（２）を監視して、LCD（２）の電気的
特性を検査し、上記LCD（２）の状況、例えば異常搬送
状態，未検査LCD,検査済LCDの状況等を可視表示して、L
CDの流が瞬時に監視できるようになっている。

本実施例の液晶表示体プローバは、図１に示すよう
に、上記LCD（２）の所在位置を表示する所在信号を発
生する所在信号発生部（22）と、例えば異常状態、LCD
（２）の未検査、検査済など上記LCD（２）の搬送状況
を表示する状況信号を発生する状況信号発生部（23）
と、これらから発生する信号に基づいて色を変換して可
視表示する表示灯（24）とを備えている。表示灯は複数
あるため、以下の説明では各表示灯（24）を識別する時
にはその数字にアルファベットを付して示してある。

即ち、カセット（３）が載置される各ステージ（13a,
13b,13c,13d）、ピンセット（４）の頂面、サブチャッ
ク（８）の頂面、位置決め板（５）の頂面、サブチャッ
ク（８）上のホームポジション位置（７）のＸ軸移動板
（９）、載置体（10）上のＸ軸移動板（９）、載置体
（10）の頂面夫々に図12に示すようにセンサ（14a,14b,
14c,14d,14e,14f,14g,14h）（以下の説明では各センサ
を識別しない時には単にセンサ（14）として示してあ
る。）が設けられている。ここで、上記ピンセット
（４）、サブチャック（８）及び位置決め板（５）には
LCD（２）の吸着時の圧力が一定圧力であるか否かを検
出する圧力センサのみを付加して、この圧力センサによ
ってLCD（２）が載置されているか否かを検出してい
る。

上記センサ（14）は従来のものとは異なったセンサに
（21）によって構成され、このセンサに（21）は、第２
図（ａ）に示すように、例えばフォトインターラプタに
よって発光を遮断できるようになっている。

また、上記フォトインターラプタにおける発光と受光
との間が遮断されると、表示画面（12）に配置されてい
る可視表示、例えば電気的に接続されている発光ダイオ
ードに信号が送られる。

上記表示灯（24）には、第２図（ｂ）で示すように信
号を送信すると、緑色に点灯する緑色用発光ダイオード
（25）（以下、緑色LEDと略記する）と、赤色に点灯す
る赤色用発光ダイオード（26）（以下赤色LEDと略記す
る）とが設けられている。上記各LED（25,26）には信号
線（25a,26a）が接続されている。

また、上記緑色LED（25）及び赤色LED（26）の双方が
点灯すると橙色が表示灯に可視されるようになってい
る。

上記表示灯（24）の赤色LED（26）は、既に説明した
各々のLCD（２）の搬送状態に異常があれば、その異常
をセンサで検出し、その検出信号の入力により異常状態
を複数の色で可視表示すべく点灯するものである。

即ち、先ず、カセット（３）が載置される各々のステ
ージ例えば、第９図及び第10図で示すように、第１ステ
ージ（13a）、第２ステージ（13b）、第３ステージ（13
c）、第４ステージ（13d）を上下動させる駆動モータ
（8a）と連動したエンコーダ（図示しない）の読みが所
定値からずれると、ハングアップしたものとして、異常
状態であることを検出して、信号を赤色LED（26）に送
出すると同時に、LCD（２）が各々の機構載置面に載置
され点灯している緑色LED（25）も予め記憶されたプロ
グラムに従って、消灯して赤色LED（26）のみを点灯す
るようになっている。

同様に、ピンセット（４）の異常状態についても説明
する。

上記ピンセット（４）にLCD（２）が載置されると、
このピンセット（４）の表面に設けられた孔でLCD
（２）を真空吸着するが、この時に真空圧力が一定圧力
で吸引されない場合に圧力センサ（図示せず）が異常と
判断して、または、ピンセット駆動モータのハングアッ
プ灯の異常の場合もその異常を判断してセンサから赤色
LED（26）の信号線（26a）に信号が送出される。

そして、上記ピンセット（４）に異常状態が発生する
と、表示画面（12）のピンセット表示灯（24e）が緑色
から赤色に色変換することになる。

同様にして、LCD（２）を授受するサブチャック
（８）では、上下動駆動モータ（8a）のハングアップま
たは真空圧力の低下のいずれの異常状態になっても、セ
ンサから緑色から赤色になるよう信号を送出し、表示画
面（12）のサブチャックの表示灯（24f）を色変換する
ことになる。

同様にして、サブチャック（８）から授受したLCD
（２）をプリアライメントする位置決め板（５）の真空
圧力が一定圧力で吸引されない場合にも圧力センサ（図
示せず）で異常信号が表示灯に送出されることになる。

そして、決位置決め板（５）の収差不完全の異常状態
が表示画面（12）の位置決め板表示灯（24g）に表示さ
れる。即ち、位置決め板表示灯（24g）は緑から赤色に
色変換して表示画面（12）で可視表示されることにな
る。

また、上記位置決め板（５）から上記サブチャック
（８）に授受したLCD（２）を真空圧で真空吸着固定し
て、検査部（６）の載置体（10）まで搬送する場合には
Ｘ軸移動板（９）が用いられる。

このＸ軸移動板（９）は、上記サブチャック（８）と
上記載置体（10）との間を結ぶように設けられている。

上記Ｘ軸移動板（９）は上記サブチャック（８）上の
ホームポジション位置（７）からLCD（２）を吸着した
のち載置体（10）の上方まで搬送するようになってい
る。また、載置体（10）はＺ軸方向に上昇して上記Ｘ軸
移動板（９）からLCD（２）を受け取ったのち下降する
ようになっている。

この時に上記Ｘ軸移動板（９）にLCD（２）が一定圧
力で吸引されない場合、搬送中にLCD（２）を落下させ
てしまうので、この時のＸ軸移動板表示灯（24h）は異
常状態を緑色から赤色に色表示変換して、表示画面（1
2）のホームポジション側のＸ軸移動板表示灯（24h）に
可視表示する。

またＸ軸移動板（９）の駆動により、載置体（10）側
に到達したＸ軸移動板毎に異常があれば、緑色から赤色
に色表示変換して表示画面（12）のＸ軸移動板表示灯
（24h）に可視表示されることになる。

このようにして、液晶表示体プローバでは、未検査の
LCD（２）をカセット（３）から載置体（10）まで搬送
する時にローダ側から検査部に向う方向を示すように、
緑色に表示し、この逆の搬送、即ち検査部からカセット
に向う方向を示すアンローダ側には、橙色で表示するよ
うになっている。

ここで、緑色表示から橙色表示により切り替える信号
はテスタ（20）側から液晶表示体プローバ側にテストエ
ンドのコマンドが出ると、この信号を戻りの信号として
いる。

この時の橙色は、第２図（ｂ）で示すように、双方の
信号線（25a,26a）に信号が入力されると緑色LED（25）
及び赤色LED（26）の両方が点灯して橙色に点灯したよ
うに見える。

次に、上記液晶表示体プローバの表示灯（24）の点灯
動作について第４図乃至第６図フローチャートを用いて
説明する。

上記液晶表示体プローバのローダ部（１）ではカセッ
ト（３）内のLCDの収納状況をメモリする。そして、カ
セット（３）がステージ（13）に載置されているか否か
をセンサの信号に基づいて判断する（32）。

上記カセット（３）内に未検査用LCD（２）があれ
ば、表示画面（12）のステージ表示灯（24a,24b,24c,24
d）を緑色に点灯する（33）。

未検査LCD（２）が無ければ、上記ステージ表示灯（2
4a,24b,24c,24d）を橙色に点灯させる（34）。即ち緑色
LED及び赤色LEDを点灯させる。

また、上記ステージ（13a,13b,13c,13d）上にカセッ
ト（３）が無ければ点灯しない（35）。

次に第５図に示すように、ピンセット（４）にLCD（２）が載置されたか否かを
センサの信号に基づいて判断する（36）。ピンセット
（４）にLCD（２）が載置されている場合には真空吸着
力が一定であるか否かをセンサの信号に基づいて判断し
（37）、真空吸着力が一定であれば表示灯（24e）が緑
色に点灯し（38）、真空吸着力が低下していれば表示灯
（24e）が赤色に点灯する（39）。また、ピンセット
（４）にLCD（２）が載置されていない場合には表示灯
（24e）は点灯しない（40）。

次に第６図に示すように、サブチャック（８）にLCD（２）が載置されたか否か
をセンサの信号に基づいて判断する（41）。次いで、サ
ブチャック（８）にLCD（２）が載置されている場合に
は真空吸着力が一定であるか否かをセンサの信号に基づ
いて判断し（42）、真空吸着力が一定であれば、引き続
き駆動モータのエンコーダの検出値が所定値であるか否
かを判断し一定で且つ所定値であれば表示灯（24f）を
緑色に点灯し（43）、真空吸着力が低下あるいは所定値
でなければ表示灯（24f）を赤色に点灯する（44）。ま
た、サブチャック（８）にLCD（２）が載置されていな
い場合には表示灯（24f）は点灯しない（45）。

上記動作は、位置決め至（５）,X軸移動板（９）及び
載置体（10）も同様なフローチャート動作と同じなので
動作説明を省略する。

上記実施例では表示灯（24）にLEDを用いたが、これ
に限定されることはなく、光が発するものであれば良
い、例えば豆電球、または液晶を用いてもよい。

上記実施例では、液晶表示体を検査する検査装置で説
明したが、半導体ウエハを検査するウエハプローバに適
用しても良い、また被検査体を搬送する搬送装置に用い
ても良い。

上記実施例の効果は、LCD（２）の所在ばかりでなくL
CDの状況も可視表示されているので、故障原因及び故障
状態が一目瞭然に監視できるのでメンテナンス及び効率
の良い検査が可能になる。

［発明の効果］以上説明したように本発明によれば、搬送系における
被検査体の所在位置を視覚的に把握することができ効率
の良い検査を行なうことができると共に、被検査体の搬
送状況の情報（搬送系の故障及び故障状態など）を視覚
的に把握することができメンテナンス性に優れた検査装
置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置を説明するための表示灯説明図、第
２図は第１図の表示灯及びセンサ部を説明するための回
路説明図、第３図は第１図の表示画面を説明するための
配置説明図、第４図乃至第６図は第１図の装置の表示灯
の動作を説明するためのフローチャート説明図、第７図
及び第８図は第１図の装置を用いた液晶表示体プローバ
の一実施例を説明するための検査部上面説明図及び検査
部断面説明図、第９図及び第10図は第１図の装置を用い
た液晶表示体プローバの一実施例を説明するためのロー
ダ部上面説明図及びローダ部断面説明図、第11図は第１
図の装置を用いた液晶表示体プローバの外観を説明する
ための説明図、第12図は従来の液晶表示体プローバを説
明するための説明図である。 21……センサ 21a……ホトインタラプタ 22……所在信号発生 23……状況信号発 24……表示灯 25……緑色用発光ダイオード（緑色LED） 25a……信号線 26……赤色用発光ダイオード（赤色LED） 26a……信号線 27……ステージ（カセットステージ）表示灯 28……ピンセット表示灯 29……サブチャック表示灯 30……位置決め板表示灯 31……ホームポジション位置表示灯 32……Ｘ軸移動板（サブチャック側）表示灯

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体を装置体に載置して被検査体の電
気的特性を検査する検査装置において、上記被検査体を
収納するローダ部と、上記被検査体を検査する検査部
と、上記被検査体を上記ローダ部から上記検査部へ搬送
する搬送系と、上記搬送系での上記被検査体の所在位置
及び搬送状況を複数の色で表示する表示手段とを設けた
ことを特徴とする検査装置。
【請求項２】上記表示手段は、上記被検査体が上記ロー
ダ部及び上記検査部に移動する際に、その所在位置及び
搬送状況を表示する表示画面を備えていることを特徴と
する請求項１に記載の検査装置。