JP2018049943A - 物品搬送設備 - Google Patents
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Abstract
Description
物品搬送設備の第一実施形態について、図面を参照して説明する。
図1に示すように、物品搬送設備1は、複数の搬送対象場所6の間で移動経路Rに沿って移動して物品Wを搬送する物品搬送車2と、当該物品搬送車2を制御する制御装置Hと、を備えている(図5も参照)。そして、この物品搬送設備1は、複数の搬送対象場所6のうち搬送元となる搬送対象場所6から搬送先となる他の搬送対象場所6まで物品Wを搬送する途中に当該物品Wの姿勢を変更することができるようになっている。
物品Wは、物品搬送車2によって搬送される対象である。ここで、物品Wは、平面視で非円形状に形成されている。物品Wは、例えば、平面視で多角形状、より具体的には、四角形状に形成されている(図4参照)。なお、四角形状には、厳密には四角形でなくても、全体としてみれば四角形とみなせる形状も含む。また、多角形状の一部の辺が円弧等の曲線で形成された平面視の形状を有していても良い。例えば、物品Wの平面視の形状はD形であっても良い。以下、「状」という表現を用いて物等の形状を説明する場合は、これと同様の趣旨である。また、物品Wの立体的形状に関しては、ここでは、柱状体とされている。物品Wは、例えば、内容物が収納される容器である。本実施形態では、物品Wは、半導体基板が収納される容器である。ここでは、物品Wは、直方体状に形成されており、複数枚の半導体基板を複数段に分けて収容可能である。本実施形態では、物品Wの上面及び底面は、常に塞がった状態である。また、物品Wの上面には、物品Wの搬送の際に物品搬送車2によって把持されるためのフランジ部Waが設けられている。また、物品Wの4つの側面のうち一面には、半導体基板を出し入れするための開口部Wbが設けられている。
次に、物品搬送設備1の制御構成について、図5を参照して説明する。
制御装置Hは、物品搬送設備1全体の制御を行う上位制御装置Huと、物品搬送車2の制御を行う下位制御装置Hdと、を含んで構成されている。上位制御装置Huは、物品搬送設備1のいずれかの領域に固定される状態で配置されている。下位制御装置Hdは、物品搬送車2に配置されて当該物品搬送車2と共に移動経路R上を移動する。本実施形態では、下位制御装置Hdは、複数の物品搬送車2のそれぞれに配置されて、それぞれの物品搬送車2と共に移動経路R上を移動する。制御装置Hは、マイクロコンピュータ等のプロセッサ、メモリ等の周辺回路等を備えている。そして、これらのハードウェアと、コンピュータ等のプロセッサ上で実行されるプログラムと、の協働により、制御装置Hの各機能が実現される。
下位制御装置Hdは、以下の手順により姿勢変更制御を実行する。すなわち、スライド用モータ3SMを制御して横方向第一側Y1への物品Wのスライドを開始させる(ステップ#10)。その後、スライド量検出センサSe2によって検出された情報を得て、物品Wが突出位置P2に到達したか否かを判断する(ステップ#11)。規定時間内に物品Wが突出位置P2に到達していないと判断した場合は(ステップ#11:No,ステップ#19:Yes)、各種モータの制御を中止し(ステップ#20)、エラー報知を行い(ステップ#21)、姿勢変更制御を終了する。物品Wが突出位置P2に到達したと判断した場合は(ステップ#11:Yes)、スライド用モータ3SMを制御して物品Wのスライドを停止させる(ステップ#12)。その後、旋回用モータ4Mを制御して物品Wの旋回を開始させる(ステップ#13)。その後、旋回量検出センサSe5によって検出された情報を得て、物品Wが第二姿勢A2になったか否かを判断する(ステップ#14)。規定時間内に物品Wが第二姿勢A2になっていないと判断した場合は(ステップ#14:No,ステップ#22:Yes)、各種モータの制御を中止し(ステップ#20)、エラー報知を行い(ステップ#21)、姿勢変更制御を終了する。物品Wが第二姿勢A2になったと判断した場合は(ステップ#14:Yes)、旋回用モータ4Mを制御して物品Wの旋回を停止させる(ステップ#15)。その後、スライド用モータ3SMを制御して横方向第二側Y2への物品Wのスライドを開始させる(ステップ#16)。その後、スライド量検出センサSe2によって検出された情報を得て、物品Wが引退位置P1に到達したか否かを判断する(ステップ#17)。規定時間内に物品Wが引退位置P1に到達していないと判断した場合は(ステップ#17:No,ステップ#23:Yes)、各種モータの制御を中止し(ステップ#20)、エラー報知を行い(ステップ#21)、姿勢変更制御を終了する。物品Wが引退位置P1に到達したと判断した場合は(ステップ#17:Yes)、スライド用モータ3SMを制御して物品Wのスライドを停止させる(ステップ#18)。以上の手順を行うことにより、下位制御装置Hdは、姿勢変更制御を実行する。
次に、第二実施形態に係る物品搬送設備1について説明する。第二実施形態では、姿勢変更制御の手順のみが第一実施形態と異なる。以下では、第一実施形態と異なる点を中心に説明する。特に説明しない点については、第一実施形態と同様である。
次に、物品搬送設備のその他の実施形態について説明する。
以下、上記において説明した物品搬送設備の概要について説明する。
2 :物品搬送車
3 :移載機構
3G :把持機構
3Ga :把持部
3H :昇降機構
3S :横移動機構(スライド機構)
4 :姿勢変更機構
4a :旋回部
4b :旋回軸
5 :支持部材
6 :搬送対象場所
6a :処理装置
6b :授受部
22a :収容部
22b :カバー部
98 :レール
99 :天井
A1 :第一姿勢
A2 :第二姿勢
Am :中間姿勢
H :制御装置
Hd :下位制御装置
Hu :上位制御装置
R :移動経路
Rc :工程間経路
Re :退避経路
Ri :工程内経路
Rt :搬送経路
Tc :接続領域
Tp :姿勢変更許可領域
W :物品
Y :横方向
Z :鉛直方向
Claims (7)
- 複数の搬送対象場所の間で移動経路に沿って移動して物品を搬送する物品搬送車と、当該物品搬送車を制御する制御装置と、を備えた物品搬送設備であって、
前記物品搬送車は、前記物品を収容する収容部と、当該収容部を覆うカバー部と、前記収容部と当該収容部に対して外側に位置する前記複数の搬送対象場所の一つとの間で前記物品を移動させて当該搬送対象場所と前記物品搬送車との間の前記物品の移載を行う移載機構と、搬送中の前記物品の姿勢を変更する姿勢変更機構と、を有し、
前記姿勢変更機構は、前記物品の姿勢を、搬送元である前記搬送対象場所での移載のための姿勢である第一姿勢と、搬送先である前記搬送対象場所での移載のための姿勢である第二姿勢とに変更可能であり、
前記カバー部は、前記収容部に収容された状態の前記物品が前記第一姿勢である場合及び前記第二姿勢である場合に前記物品と干渉せず、前記物品の姿勢が前記第一姿勢と前記第二姿勢との間で変更する過程の姿勢である中間姿勢である場合に前記物品と干渉する位置に設けられ、
前記制御装置は、前記搬送元から前記搬送先までの経路である搬送経路の途中において、前記移載機構により前記収容部に対して外側に前記物品を移動させた状態で前記姿勢変更機構によって前記物品を前記第一姿勢から前記第二姿勢に変更した後、前記物品を前記移載機構により前記収容部に収容する制御である姿勢変更制御を実行する物品搬送設備。 - 前記移載機構は、前記物品を把持する把持部と、前記把持部を鉛直方向に沿って昇降させる昇降機構と、前記搬送経路に交差すると共に水平方向に沿う方向である横方向に沿って前記把持部を横移動させる横移動機構と、を備え、
前記姿勢変更機構は、前記鉛直方向に沿う旋回軸周りに前記把持部を旋回させる旋回部を備え、前記第一姿勢と前記第二姿勢との間での姿勢変更は前記旋回軸周りでの前記物品の旋回によって行われ、
前記姿勢変更制御は、前記横移動機構により前記物品が前記収容部に対して外側に位置するように前記把持部を横移動させた状態で、前記物品を前記旋回軸周りに旋回させることにより行う請求項1に記載の物品搬送設備。 - 前記移動経路は、天井から吊り下げ支持されたレールにより定まり、
前記移載機構は、前記レール又は前記天井に支持されると共に前記移動経路に隣接する位置に配置された支持部材を更に備え、
前記支持部材は、前記物品が前記収容部に対して外側に位置するように前記把持部を横移動させた状態で、前記横移動機構を前記鉛直方向に支持するように設けられている請求項2に記載の物品搬送設備。 - 前記制御装置は、前記搬送経路の途中における前記物品搬送車の停止中に前記姿勢変更制御を実行する請求項1から3のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
- 前記制御装置は、前記姿勢変更制御を、前記物品が前記収容部の外側における前記カバー部と干渉しない範囲内にあって、且つ前記移載機構による前記物品の移動中に実行する請求項1から4のいずれか一項に記載の物品搬送設備。
- 前記移載機構により前記収容部に対して外側に前記物品を横移動させた状態で、前記移載機構及び前記物品が前記搬送経路の周囲に存在する他の部材と干渉しない前記搬送経路の領域が、姿勢変更許可領域として設定され、
前記制御装置は、前記物品搬送車が前記姿勢変更許可領域内にある場合に、前記姿勢変更制御を実行する請求項2又は3に記載の物品搬送設備。 - 前記物品は、半導体基板が収納される容器であり、
前記搬送対象場所には、前記半導体基板に対する処理を行う処理装置と前記物品搬送車との間での前記物品の授受のための授受部が含まれ、
複数の前記授受部が工程内経路で結ばれていると共に、複数の工程内経路が工程間経路で結ばれており、
前記姿勢変更許可領域は、前記移動経路における、前記工程内経路と前記工程間経路との接続領域に設定されている請求項6に記載の物品搬送設備。
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