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JP2017159423A - Surface coated cutting tool having excellent chipping resistance and wear resistance - Google Patents

Surface coated cutting tool having excellent chipping resistance and wear resistance Download PDF

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JP2017159423A
JP2017159423A JP2016047917A JP2016047917A JP2017159423A JP 2017159423 A JP2017159423 A JP 2017159423A JP 2016047917 A JP2016047917 A JP 2016047917A JP 2016047917 A JP2016047917 A JP 2016047917A JP 2017159423 A JP2017159423 A JP 2017159423A
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particles
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crsi
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JP2016047917A
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強 大上
Tsutomu Ogami
強 大上
達生 橋本
Tatsuo Hashimoto
達生 橋本
一宮 夏樹
Natsuki Ichinomiya
夏樹 一宮
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Mitsubishi Materials Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface coated cutting tool having excellent chipping resistance and wear resistance.SOLUTION: A hard coating layer includes at least an AlCrSiNiZrN layer, and the layer comprises a main phase, and a CrSi-rich particle and a NiZr-rich particle which are dispersed in the main phase. When each composition is represented by a composition formula: (AlCrSiNiZr)N(herein, all of α, β, γ, δ, and x represent an atomic ratio), α, β, γ, δ, and x in each of the main phase, the CrSi-rich particle, and the NiZr-rich particle respectively satisfy a required value, and an area ratio of the CrSi-rich particle, of which a major axis occupied in a longitudinal section of the hard coating layer is equal to or longer than 100nm, is 0.5 to 5 area%, and an area ratio of the NiZr-rich particle is 0.3 to 3 area%.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、切れ刃に断続的・衝撃的高負荷が作用する焼入鋼等の高硬度材の断続切削加工において、硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を示し、長期の使用にわたってすぐれた切削性能を発揮する表面被覆切削工具(以下、被覆工具という)に関するものである。   The present invention shows excellent chipping resistance and wear resistance with a hard coating layer in the intermittent cutting of hardened materials such as hardened steel in which intermittent and impact high loads act on the cutting edge. The present invention relates to a surface-coated cutting tool (hereinafter referred to as a coated tool) that exhibits excellent cutting performance.

従来、例えば、特許文献1に示されているように、工具基体の表面に、組成式:(Al1−x−yCrSi)(N1−z)(但し、0.3≦x≦0.7、0≦y≦0.1、0≦z≦0.3)で表される平均層厚0.5〜8.0μmの複合炭窒化物層または複合窒化物層からなる硬質皮膜を形成した表面被覆切削工具において、硬質皮膜は、構成元素の90原子%以上が金属元素である粒子を含有しており、前記粒子は、断面長径0.05〜1.0μmで前記硬質皮膜中に3〜20%の縦断面面積比率で分散分布し、前記粒子のうち、構成元素に50原子%以上のAlを含み、かつ縦断面形状のアスペクト比が2.0以上かつ断面長径が基板表面となす鋭角が45°以下である粒子の縦断面面積比率をA%、それ以外の粒子の縦断面面積比率をB%としたとき、0.3≦A/(A+B)を満足し、炭素鋼、合金工具鋼等の正面フライス加工において、すぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する被覆工具が知られている。 Conventionally, for example, as shown in Patent Document 1, a composition formula: (Al 1-xy Cr x Si y ) (N 1-z C z ) (however, 0.3 ≦ x ≦ 0.7, 0 ≦ y ≦ 0.1, 0 ≦ z ≦ 0.3), and a composite carbonitride layer or composite nitride layer having an average layer thickness of 0.5 to 8.0 μm In the surface-coated cutting tool in which a hard coating is formed, the hard coating contains particles in which 90 atomic% or more of the constituent elements are metal elements, and the particles have a cross-sectional major axis of 0.05 to 1.0 μm and are hard. The film is dispersed and distributed at a longitudinal cross-sectional area ratio of 3 to 20%, and among the particles, the constituent element contains 50 atomic% or more of Al, the aspect ratio of the vertical cross-sectional shape is 2.0 or more, and the cross-sectional major axis is The vertical cross-sectional area ratio of particles whose acute angle with the substrate surface is 45 ° or less is A%, and other particles are longitudinally cut. A coated tool that satisfies 0.3 ≦ A / (A + B) when the surface area ratio is B% and exhibits excellent chipping resistance and wear resistance in face milling of carbon steel, alloy tool steel, etc. It has been known.

また、特許文献2に示されているように、工具基体の表面に、少なくとも、0.5〜10μmの層厚のAlとCrの複合窒化物層からなる硬質被覆層を被覆形成した表面被覆切削工具において、上記AlとCrの複合窒化物層中には、ポアおよびパーティクル(ドロップレット)が分散分布し、上記AlとCrの複合窒化物層の任意の断面における上記ポアの占有面積率および上記パーティクル(ドロップレット)の占有面積率は、それぞれ、0.5〜1面積%および2〜4面積%であり、さらに、上記パーティクル(ドロップレット)のうち、上記AlとCrの複合窒化物層の平均Al含有量よりもAl含有割合が高いAlリッチパーティクル(ドロップレット)が、上記AlとCrの複合窒化物層の任意の断面における全パーティクル(ドロップレット)面積の20面積%以上を占め、炭素鋼、合金工具鋼等の高速切削加工において、すぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する被覆工具が知られている。   Further, as shown in Patent Document 2, surface-coated cutting in which a hard coating layer made of a composite nitride layer of Al and Cr having a layer thickness of at least 0.5 to 10 μm is formed on the surface of a tool base. In the tool, pores and particles (droplets) are dispersed and distributed in the composite nitride layer of Al and Cr, and the area ratio of the pores in any cross section of the composite nitride layer of Al and Cr and the above The occupied area ratio of the particles (droplets) is 0.5 to 1 area% and 2 to 4 area%, respectively, and among the particles (droplets), the composite nitride layer of Al and Cr Al-rich particles (droplets) having an Al content ratio higher than the average Al content are all particles in any cross-section of the composite nitride layer of Al and Cr ( Droplet) account for more than 20 area% of the area, carbon steel, in high-speed cutting, such as alloy tool steel, excellent chipping resistance, the coating tool is known to exhibit wear resistance.

さらに、特許文献3では、硬質被膜形成用のターゲットとして、Cr1−x−y−zAl[Ni1−aZrで表される組成を有し(但し、Mは、Ti、Nb、Si、B、W及びVから選ばれる少なくとも1種の元素、0.5≦x≦0.8、0.01≦y≦0.35、0≦z≦0.2、0.51≦x+y+z<1、0.2≦a≦0.5)、相対密度が95%以上であるターゲットが提案されており、このターゲットを用いて形成された窒化物、炭化物又は炭窒化物を含む硬質被膜を備えた被覆工具は、耐摩耗性及び密着性に優れることが知られている。 Furthermore, Patent Document 3, as a target for the hard coating formed has a composition represented by Cr 1-x-y-z Al x [Ni 1-a Zr a] y M z ( where, M is At least one element selected from Ti, Nb, Si, B, W and V, 0.5 ≦ x ≦ 0.8, 0.01 ≦ y ≦ 0.35, 0 ≦ z ≦ 0.2, 51 ≦ x + y + z <1, 0.2 ≦ a ≦ 0.5), and a target having a relative density of 95% or more has been proposed, and includes a nitride, carbide or carbonitride formed using this target. It is known that a coated tool provided with a hard coating is excellent in wear resistance and adhesion.

特開2013−56954号公報JP 2013-56954 A 特開2012−166333号公報JP 2012-166333 A 特開2008−238336号公報JP 2008-238336 A

近年の切削加工における省力化および省エネ化の要求は強く、これに伴い、被覆工具は一段と過酷な条件下で使用されるようになってきており、耐チッピング性、耐摩耗性等を高めるために、前記特許文献1〜3に示されるような手法で、被覆工具の性能向上がなされてきているが、特に、切れ刃に断続的・衝撃的な高負荷が作用する高硬度材の切削加工においては、耐チッピング性と耐摩耗性の双方の特性を相兼ね備えた被覆工具の開発は未だ十分になされているとはいえない。
例えば、特許文献1に示される被覆工具においては、硬質皮膜中に含有される粒子を構成する元素の90原子%以上が金属元素であり、しかも、構成元素の50原子%以上Alが含有されているため、粒子組成がAlリッチであって融点が低く、耐溶着性が劣るため、耐チッピング性が十分ではなかった。
また、特許文献2に示される被覆工具においては、硬質皮膜中に存在するパーティクル(ドロップレット)の下部には空隙が形成されており、その空隙が存在することで、高負荷が作用した際の皮膜の強度が弱く、例えば、空隙をクラックが伝播・進展することによりチッピング発生に至るという問題があった。
さらに、特許文献3に示される被覆工具は、Cr−Al−Ni−N系の硬質被膜において、Niの一部をZrで置換するとともに、任意成分としてのSiを含有させることにより、密着性と耐摩耗性の改善を図ったものであるが、この被覆工具を、切れ刃に断続的・衝撃的な高負荷が作用する高硬度材の断続切削加工に供した場合には、耐チッピング性と耐摩耗性の両立を図ることはできなかった。
In recent years, there has been a strong demand for energy saving and energy saving in cutting, and along with this, coated tools have come to be used under more severe conditions, in order to improve chipping resistance, wear resistance, etc. The performance of the coated tool has been improved by the methods shown in Patent Documents 1 to 3, particularly in the cutting of a high hardness material in which intermittent and impact high loads act on the cutting edge. However, it cannot be said that the development of a coated tool having both characteristics of chipping resistance and wear resistance has been sufficiently developed.
For example, in the coated tool shown in Patent Document 1, 90 atomic percent or more of the elements constituting the particles contained in the hard coating are metal elements, and 50 atomic percent or more of the constituent elements are contained in Al. Therefore, the particle composition is Al-rich, the melting point is low, and the welding resistance is inferior, so that the chipping resistance is not sufficient.
Moreover, in the coated tool shown by patent document 2, the space | gap is formed in the lower part of the particle (droplet) which exists in a hard membrane | film | coat, and when the high load acts because the space | gap exists. There is a problem that the strength of the film is weak, for example, the occurrence of chipping due to the propagation and propagation of cracks in the voids.
Furthermore, the coated tool shown in Patent Document 3 is a Cr-Al-Ni-N-based hard coating, in which a part of Ni is replaced with Zr and Si as an optional component is included, thereby improving adhesion and It is intended to improve wear resistance, but when this coated tool is subjected to intermittent cutting of a hard material that is subjected to intermittent and shocking high loads on the cutting edge, chipping resistance and It was not possible to achieve both wear resistance.

そこで、本発明は、切れ刃に断続的・衝撃的な高負荷が作用する焼入鋼等の高硬度材の断続切削加工(例えば、ミーリング加工)に供した場合であっても、すぐれた耐チッピング性と耐摩耗性を発揮する被覆工具を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides excellent resistance even when subjected to intermittent cutting (for example, milling) of a hard material such as hardened steel in which intermittent and shocking high loads act on the cutting edge. An object of the present invention is to provide a coated tool that exhibits chipping and wear resistance.

本発明者らは、前述のような観点から、切れ刃に断続的・衝撃的な高負荷が作用する高硬度材の断続切削加工において、耐チッピング性と耐摩耗性を両立し得る硬質被覆層の層構造について鋭意研究を行った結果、以下の知見を得たのである。   From the above-mentioned viewpoint, the present inventors have provided a hard coating layer capable of achieving both chipping resistance and wear resistance in intermittent cutting of a high-hardness material in which intermittent and impactful high loads act on the cutting edge. As a result of earnest research on the layer structure, the following findings were obtained.

即ち、工具基体表面に、AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層からなる硬質被覆層を被覆形成した被覆工具において、前記AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層内に成分系の異なる2種類のパーティクル、具体的には、CrSiリッチパーティクルとNiZrリッチパーティクル、を共存させ、しかも、前記AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層に占める前記2種類のパーティックルの面積率をそれぞれ特定範囲に定めることにより、前記AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層は耐溶着性とともにすぐれた硬さと強度を示すようになることを見出した。   That is, in a coated tool in which a hard coating layer composed of a composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr is coated on the surface of the tool base, the inside of the composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr Two kinds of particles having different component systems, specifically, a CrSi rich particle and a NiZr rich particle coexist, and the two kinds of particles occupying the composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni and Zr. It was found that the composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr exhibits excellent hardness and strength as well as welding resistance by setting the area ratio of the particules to a specific range.

前記AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層からなる硬質被覆層は、炭化タングステン基超硬合金からなる工具基体表面に、物理蒸着法により成膜することができる。
本発明では、例えば、図3にその概略を示すアークイオンプレーティング(以下、「AIP」で示す)装置を用いて成膜をするが、成膜条件として、特に、ターゲットに印加する磁束密度の強さ及びアーク電流の大きさを制御することによって、AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層中に所定の面積率のCrSiリッチパーティクルとNiZrリッチパーティクルを共存生成させることができる。
そして、AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層中に存在する所定の面積率のCrSiリッチパーティクルが、切削加工時における該層の耐チッピング性向上に寄与すること、また、該層中に存在する所定の面積率のNiZrリッチパーティクルが、潤滑性向上に寄与することを見出したのである。
The hard coating layer made of a composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr can be formed on the surface of a tool base made of a tungsten carbide base cemented carbide by physical vapor deposition.
In the present invention, for example, an arc ion plating (hereinafter referred to as “AIP”) apparatus whose outline is shown in FIG. 3 is used for film formation. By controlling the strength and the magnitude of the arc current, CrSi-rich particles and NiZr-rich particles having a predetermined area ratio can be coexistingly generated in the composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr.
The CrSi-rich particles having a predetermined area ratio existing in the composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr contribute to the improvement of chipping resistance of the layer during cutting, and the layer It has been found that NiZr-rich particles having a predetermined area ratio existing therein contribute to improvement in lubricity.

その結果、前記のAlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層からなる硬質被覆層を被覆形成した本発明の被覆工具は、切れ刃に断続的・衝撃的な高負荷が作用する高硬度材の断続切削加工において、すぐれた耐溶着性、耐チッピング性および耐摩耗性を示し、長期の使用にわたってすぐれた切削性能を発揮するのである。 As a result, the coated tool of the present invention in which the hard coating layer composed of the composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr is formed has a high load in which intermittent and impact high loads act on the cutting edge. It exhibits excellent welding resistance, chipping resistance and wear resistance in intermittent cutting of a hard material, and exhibits excellent cutting performance over a long period of use.

本発明は、前記知見に基づいてなされたものであって、
「 炭化タングステン基超硬合金、TiCN基サーメット、立方晶窒化硼素焼結体および高速度工具鋼のいずれかからなる工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層を少なくとも含み、前記複合窒化物層は、主相と、該主相中に分散分布するCrSiリッチパーティクルとNiZrリッチパーティクルとからなり、前記主相、CrSiリッチパーティクルおよびNiZrリッチパーティクルの組成を、
組成式:(Al1−α−β−γ−δCrαSiβNiγZrδ1−x
で表した場合(ただし、α、β、γ、δ、xはいずれも原子比を示す)、
(b)前記主相は、0.15≦α≦0.30、0.01≦β≦0.15、0.001≦γ≦0.02、0.001≦δ≦0.02、0.45≦x≦0.60を満足し、
(c)前記CrSiリッチパーティクルは、0.25≦α≦0.65、0.15≦β≦0.50、0≦γ≦0.02、0≦δ≦0.02、0.05≦x≦0.35を満足し、
(d)前記NiZrリッチパーティクルは、0≦α≦0.05、0.10≦β≦0.25、0.20≦γ≦0.40、0.30≦δ≦0.45、0.10≦x≦0.35を満足し、
(e)前記硬質被覆層の縦断面に占める長径が100nm以上の前記CrSiリッチパーティクルの占有面積率は、0.5面積%以上5面積%以下であり、また、前記硬質被覆層の縦断面に占める長径が100nm以上の前記NiZrリッチパーティクルの占有面積率は、0.3面積%以上3面積%以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。」
に特徴を有するものである。
The present invention has been made based on the above findings,
In a surface-coated cutting tool in which a hard coating layer is provided on the surface of a tool base made of any of tungsten carbide-based cemented carbide, TiCN-based cermet, cubic boron nitride sintered body, and high-speed tool steel,
(A) The hard coating layer includes at least a composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr. The composite nitride layer includes a main phase and CrSi-rich particles dispersed and distributed in the main phase. NiZr rich particles, the composition of the main phase, CrSi rich particles and NiZr rich particles,
Composition formula: (Al1- [ alpha]-[beta]-[gamma]-[delta] Cr [ alpha] Si [ beta] Ni [ gamma] Zr [ delta] ) 1- xNx
(Where α, β, γ, δ, and x all represent atomic ratios),
(B) The main phase is 0.15 ≦ α ≦ 0.30, 0.01 ≦ β ≦ 0.15, 0.001 ≦ γ ≦ 0.02, 0.001 ≦ δ ≦ 0.02, 45 ≦ x ≦ 0.60 is satisfied,
(C) The CrSi rich particles are 0.25 ≦ α ≦ 0.65, 0.15 ≦ β ≦ 0.50, 0 ≦ γ ≦ 0.02, 0 ≦ δ ≦ 0.02, 0.05 ≦ x. ≦ 0.35 is satisfied,
(D) The NiZr rich particles are 0 ≦ α ≦ 0.05, 0.10 ≦ β ≦ 0.25, 0.20 ≦ γ ≦ 0.40, 0.30 ≦ δ ≦ 0.45, 0.10. ≦ x ≦ 0.35 is satisfied,
(E) The occupation area ratio of the CrSi-rich particles having a major axis of 100 nm or more in the longitudinal section of the hard coating layer is 0.5 area% or more and 5 area% or less, and the longitudinal section of the hard coating layer is A surface-coated cutting tool characterized in that an occupied area ratio of the NiZr-rich particles having a major axis of 100 nm or more is 0.3 area% or more and 3 area% or less. "
It has the characteristics.

本発明について、以下に詳細を説明する。   The present invention will be described in detail below.

硬質被覆層:
硬質被覆層は、図1の模式図に示すように、AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物(以下、「AlCrSiNiZrN」で示す)層を少なくとも含み、該層は、図2(a)、あるいは、図2(a)の部分拡大図である図2(b)に示すように、主相と、該主相中に分散分布するCrSiリッチパーティクルおよびNiZrリッチパーティクルからなる。
Hard coating layer:
As shown in the schematic diagram of FIG. 1, the hard coating layer includes at least a composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr (hereinafter, referred to as “AlCrSiNiZrN”), and the layer includes the layer shown in FIG. 2) or a partially enlarged view of FIG. 2A, the main phase, and CrSi rich particles and NiZr rich particles dispersed and distributed in the main phase.

AlCrSiNiZrN層の主相:
AlCrSiNiZrN層の主相を、
組成式:(Al1−α−β−γ−δCrαSiβNiγZrδ1−x
で表した場合(ただし、α、β、γ、δ、xはいずれも原子比を示す)、その構成成分であるAl成分は高温硬さと耐熱性を向上させ、Cr成分は高温強度を向上させ、Si成分は耐酸化性を向上させる。また、AlとCrとが共存することによって高温耐酸化性を向上させる作用がある。さらに、Ni成分は層の潤滑性を向上させ、Zr成分は層の硬さを高める作用がある。
そして、前記主相において、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるCrの含有割合αが0.15(但し、αは原子比)未満であると、相対的にAl含有量が高くなるため、溶着性の高い被削材のミーリング切削加工において、被削材および切粉に対する耐溶着性を確保することができず、また、高温強度も低下するため、溶着、チッピングを発生しやすくなる。一方、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるCrの含有割合αが0.30を超えると、硬質被覆層をAIP装置で成膜する際に、ターゲット材の融点が高くなり、その結果、副次的に生成されるCrSiリッチパーティクルも高Cr濃度となり、融点が相対的に高くなる。そのため、CrSiリッチパーティクルの形状は球状に近くなり、長径が100nm以上のパーティクル形状が形成されず、パーティクルの下部に空隙が残る。そして、この空隙が、切削加工時のクラックの起点となりやすく、チッピングが発生しやすくなる。
したがって、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるCrの含有割合αは、0.15≦α≦0.30とする。
Main phase of AlCrSiNiZrN layer:
The main phase of the AlCrSiNiZrN layer is
Composition formula: (Al1- [ alpha]-[beta]-[gamma]-[delta] Cr [ alpha] Si [ beta] Ni [ gamma] Zr [ delta] ) 1- xNx
(Where α, β, γ, δ, and x all represent atomic ratios), the constituent Al component improves high-temperature hardness and heat resistance, and the Cr component improves high-temperature strength. The Si component improves oxidation resistance. Further, the coexistence of Al and Cr has the effect of improving the high temperature oxidation resistance. Furthermore, the Ni component improves the lubricity of the layer, and the Zr component has the effect of increasing the hardness of the layer.
In the main phase, when the content ratio α of Cr in the total amount of Al, Cr, Si, Ni, and Zr is less than 0.15 (where α is an atomic ratio), the Al content is relatively high. Therefore, in milling cutting of work materials with high weldability, it is not possible to secure weld resistance to the work material and chips, and the high-temperature strength also decreases, resulting in welding and chipping. It becomes easy. On the other hand, when the content ratio α of Cr in the total amount of Al, Cr, Si, Ni and Zr exceeds 0.30, the melting point of the target material becomes high when the hard coating layer is formed by the AIP apparatus, As a result, the CrSi rich particles that are generated as a secondary matter also have a high Cr concentration and a relatively high melting point. For this reason, the shape of the CrSi-rich particles is close to a sphere, and a particle shape having a major axis of 100 nm or more is not formed, leaving a void below the particles. And this space | gap tends to become a starting point of the crack at the time of cutting, and it becomes easy to generate | occur | produce chipping.
Therefore, the content ratio α of Cr in the total amount of Al, Cr, Si, Ni, and Zr is 0.15 ≦ α ≦ 0.30.

また、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるSiの含有割合βが0.01未満では、耐酸化性向上効果が少ないばかりか、相対的にCr含有割合が高くなるため、粒子の融点が高くなり、耐チッピング性向上効果が少ない。一方、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるSiの含有割合βが0.15を超えると、主相の高温靭性、高温強度が低下するので、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるSiの含有割合βは、0.01≦β≦0.15とする。   In addition, when the content ratio β of Si in the total amount of Al, Cr, Si, Ni, and Zr is less than 0.01, the effect of improving the oxidation resistance is small, and the Cr content ratio is relatively high. Has a high melting point and little effect of improving chipping resistance. On the other hand, if the content ratio β of Si in the total amount of Al, Cr, Si, Ni, and Zr exceeds 0.15, the high-temperature toughness and high-temperature strength of the main phase decrease, so Al, Cr, Si, and Ni The content ratio β of Si in the total amount of Zr is 0.01 ≦ β ≦ 0.15.

また、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるNiの含有割合γが0.001未満では、主相の潤滑性向上効果が少なく、一方、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるNiの含有割合γが0.02を超えると、主相の硬度を低下させることにより、耐摩耗性を低下させるので、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるNiの含有割合γは、0.001≦γ≦0.02とする。   Further, when the content ratio γ of Ni in the total amount of Al, Cr, Si, Ni, and Zr is less than 0.001, the effect of improving the lubricity of the main phase is small, while Al, Cr, Si, Ni, and Zr are less effective. When the content ratio γ of Ni in the total amount exceeds 0.02, the wear resistance is reduced by reducing the hardness of the main phase, so Ni in the total amount of Al, Cr, Si, Ni and Zr. Is set to 0.001 ≦ γ ≦ 0.02.

さらに、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるZrの含有割合δが0.001未満では、主相の硬度を高める効果が少なく、一方、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるZrの含有割合δが0.02を超えると、耐チッピング性を低下させるので、AlとCrとSiとNiとZrの合量に占めるZrの含有割合δは、0.001≦γ≦0.02とする。   Furthermore, when the content ratio δ of Zr in the total amount of Al, Cr, Si, Ni, and Zr is less than 0.001, there is little effect of increasing the hardness of the main phase, while Al, Cr, Si, Ni, and Zr are less effective. When the content ratio δ of Zr in the total amount exceeds 0.02, chipping resistance is lowered. Therefore, the content ratio δ of Zr in the total amount of Al, Cr, Si, Ni, and Zr is 0.001 ≦ Let γ ≦ 0.02.

なお、複合窒化物からなる主相において、主相を構成する成分の総量に対するN成分の含有割合xは、化学量論比である0.50には限定されず、これと同等な効果が得られる範囲である0.45≦x≦0.60の範囲であればよい。   In the main phase composed of composite nitride, the content ratio x of the N component with respect to the total amount of the components constituting the main phase is not limited to the stoichiometric ratio of 0.50, and an effect equivalent to this is obtained. The range of 0.45 ≦ x ≦ 0.60, which is a range to be measured, may be used.

また、硬質被覆層の層厚について本発明では特に制限するものではないが、硬質被覆層の層厚が0.5μm未満であると、十分な耐摩耗性を長期にわたって発揮することができず、一方、10.0μmを越えると、硬質被覆層中に蓄積される圧縮残留応力が大きくなるため、切削初期に切れ刃でのチッピング発生が生じやすくなり、また、硬質被覆層自体が自己破壊する恐れがある。
したがって、硬質被覆層の層厚は、0.5μm以上8.0μm以下とすることが望ましい。
The layer thickness of the hard coating layer is not particularly limited in the present invention, but if the layer thickness of the hard coating layer is less than 0.5 μm, sufficient wear resistance cannot be exhibited over a long period of time, On the other hand, if it exceeds 10.0 μm, the compressive residual stress accumulated in the hard coating layer becomes large, so that chipping is likely to occur at the cutting edge in the initial stage of cutting, and the hard coating layer itself may be self-destructed. There is.
Therefore, the thickness of the hard coating layer is desirably 0.5 μm or more and 8.0 μm or less.

硬質被覆層中のCrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクル:
硬質被覆層中には、前記主相中に分散分布するCrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクル(図2(a)、(b)参照)が形成される。
CrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクルの生成は、図3に示すAIP装置を用いて硬質被覆層を蒸着形成する際の蒸着条件、特に、ターゲットに印加する磁束密度の大きさ及びアーク電流の大きさをコントロールすることによって、それぞれのパーティクルを所望の組成とすることができ、さらに、硬質被覆層中に存在するパーティクルのうち、長径が100nm以上のそれぞれのパーティクルが硬質被覆層の縦断面に占める面積割合を所望の値とすることができる。
CrSi-rich particles and NiZr-rich particles in the hard coating layer:
In the hard coating layer, CrSi rich particles and NiZr rich particles (see FIGS. 2A and 2B) dispersed and distributed in the main phase are formed.
The generation of CrSi-rich particles and NiZr-rich particles is performed by using the AIP apparatus shown in FIG. 3 to deposit the hard coating layer, in particular, the magnetic flux density applied to the target and the arc current. By controlling, each particle can have a desired composition, and among the particles present in the hard coating layer, the area ratio of each particle having a major axis of 100 nm or more in the longitudinal section of the hard coating layer Can be set to a desired value.

CrSiリッチパーティクル:
CrSiリッチパーティクルは、主相中に分散分布し、切削加工時の硬質被覆層の高温強度を向上し、その結果、切削加工時の耐チッピング性を向上させる。
CrSiリッチパーティクルの組成を、
組成式:(Al1−α−β−γ−δCrαSiβNiγZrδ1−x
で表した場合(α、β、γ、δ、xはいずれも原子比を示す)、CrSiリッチパーティクルの組成が、0.25≦α≦0.65、0.15≦β≦0.50、0≦γ≦0.02、0≦δ≦0.02、0.05≦x≦0.35の範囲を外れると、焼入鋼等の高硬度材の断続切削加工において、被削材および切粉に対する高温強度を確保することができなくなるため、チッピングを発生しやすくなる。
Crの含有割合αが0.25未満では、主相に対して十分な強度が得られず、主相中へ分散した際に発揮する耐チッピング性向上の効果が小さくなる。一方、Crの含有割合が0.65を超えると、パーティクルが球状に近くなりパーティクル下に空隙が残りやすくなり、これがクラックの起点となりやすく、チッピングが発生しやすくなる。
Siの含有割合βが0.15未満では、パーティクルの耐酸化性が低下し、0.50を超えると、パーティクルの高温靭性が低下し、パーティクル自体がクラックの起点になってしまう。
Ni、Zr含有割合が0.02を超えると、パーティクル自体の強度が低下し、CrSiリッチパーティクルを分散させることにより得られる耐チッピング性が十分発揮できなくなる。
Nの含有量xが0.05未満では、主相との親和性が低下しパーティクルと主相の界面がクラックの起点になってしまい、また、0.35を超えるとCrSiリッチパーティクルとしての効果が発揮されない。
CrSi rich particles:
CrSi-rich particles are dispersed and distributed in the main phase, improving the high temperature strength of the hard coating layer during cutting, and as a result, improving chipping resistance during cutting.
The composition of the CrSi rich particles
Composition formula: (Al1- [ alpha]-[beta]-[gamma]-[delta] Cr [ alpha] Si [ beta] Ni [ gamma] Zr [ delta] ) 1- xNx
(Α, β, γ, δ, and x all represent atomic ratios), the composition of the CrSi rich particles is 0.25 ≦ α ≦ 0.65, 0.15 ≦ β ≦ 0.50, If it is outside the range of 0 ≦ γ ≦ 0.02, 0 ≦ δ ≦ 0.02, 0.05 ≦ x ≦ 0.35, in the intermittent cutting of hard materials such as hardened steel, Since it becomes impossible to ensure high temperature strength against the powder, chipping is likely to occur.
If the Cr content ratio α is less than 0.25, sufficient strength cannot be obtained with respect to the main phase, and the effect of improving chipping resistance exhibited when dispersed in the main phase becomes small. On the other hand, when the content ratio of Cr exceeds 0.65, the particles are almost spherical and voids are likely to remain under the particles, which tends to be the starting point of cracks, and chipping is likely to occur.
When the Si content ratio β is less than 0.15, the oxidation resistance of the particles decreases, and when it exceeds 0.50, the high-temperature toughness of the particles decreases, and the particles themselves become starting points of cracks.
When the content ratio of Ni and Zr exceeds 0.02, the strength of the particles themselves is lowered, and the chipping resistance obtained by dispersing the CrSi rich particles cannot be sufficiently exhibited.
When the content x of N is less than 0.05, the affinity with the main phase is lowered, and the interface between the particles and the main phase becomes the starting point of cracks. When the content exceeds 0.35, the effect as a CrSi rich particle is obtained. Is not demonstrated.

NiZrリッチパーティクル:
NiZrリッチパーティクルは、主相中に分散分布し、硬質被覆層の潤滑性を高め、その結果、耐摩耗性を向上させる。
NiZrリッチパーティクルの組成を、
組成式:(Al1−α−β−γ−δCrαSiβNiγZrδ1−x
で表した場合(α、β、γ、δ、xはいずれも原子比を示す)、NiZrリッチパーティクルの組成が、0≦α≦0.05、0.10≦β≦0.25、0.20≦γ≦0.40、0.30≦δ≦0.45、0.10≦x≦0.35の範囲を外れると、耐摩耗性向上効果が低下する。
Niの含有割合γが0.20未満では、NiZrリッチパーティクルとしての潤滑性が発揮されず、一方、Niの含有割合γが0.40を超えると、パーティクルの硬さを低下し、これらが分散した膜全体の硬さを低下させ、耐摩耗性を低下させる。
Zrの含有割合δが0.30未満では、パーティクルの硬さが低下し、パーティクル部が局所的に損傷しやすくなり、膜全体の損傷の起点となる。一方、Zrの含有割合が0.045を超えると相対的にパーティクルの形状が球状に近くなりパーティクルの下に空隙が残りやすくなり、これがクラックの起点になりやすく、チッピングが発生しやすくなる。
Crの含有割合αが0.05を超えると相対的にパーティクルの硬さが低下し、耐摩耗性を低下させる。
Siの含有割合βが0.10未満ではパーティクルの耐酸化性が発揮されず、0.25を超えると靭性が低下し、パーティクル部が損傷の起点となりやすくチッピングが発生しやすくなる。
Nの含有量xが0.10未満では、主相との親和性が低下しパーティクルと主相の界面がクラックの起点になってしまい、また、0.35を超えるとNiZrリッチパーティクルとしての効果が発揮されない。
NiZr rich particles:
NiZr-rich particles are dispersed and distributed in the main phase, improving the lubricity of the hard coating layer and, as a result, improving the wear resistance.
The composition of NiZr rich particles
Composition formula: (Al1- [ alpha]-[beta]-[gamma]-[delta] Cr [ alpha] Si [ beta] Ni [ gamma] Zr [ delta] ) 1- xNx
(Α, β, γ, δ, and x all represent atomic ratios), the composition of the NiZr rich particles is 0 ≦ α ≦ 0.05, 0.10 ≦ β ≦ 0.25, 0. If it is out of the range of 20 ≦ γ ≦ 0.40, 0.30 ≦ δ ≦ 0.45, 0.10 ≦ x ≦ 0.35, the wear resistance improving effect is lowered.
When the Ni content ratio γ is less than 0.20, the lubricity as NiZr-rich particles is not exhibited. On the other hand, when the Ni content ratio γ exceeds 0.40, the hardness of the particles is reduced and these particles are dispersed. This reduces the hardness of the entire film and reduces the wear resistance.
When the content ratio δ of Zr is less than 0.30, the hardness of the particles decreases, the particle part is easily damaged locally, and becomes a starting point of damage to the entire film. On the other hand, when the content ratio of Zr exceeds 0.045, the shape of the particles is relatively close to a sphere, and voids are likely to remain under the particles, which tends to be the starting point of cracks, and chipping is likely to occur.
When the Cr content ratio α exceeds 0.05, the hardness of the particles is relatively lowered and the wear resistance is lowered.
When the Si content ratio β is less than 0.10, the oxidation resistance of the particles is not exhibited. When the Si content ratio β exceeds 0.25, the toughness is lowered, and the particle portion tends to be a starting point of damage, and chipping is likely to occur.
When the content x of N is less than 0.10, the affinity with the main phase is lowered, and the interface between the particle and the main phase becomes the starting point of cracks. When the content exceeds 0.35, the effect as NiZr rich particles is obtained. Is not demonstrated.

なお、主相中に分散分布するCrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクルの組成は、走査型電子顕微鏡−エネルギー分散型X線分光分析(SEM−EDS)を用いて測定することができる The composition of CrSi-rich particles and NiZr-rich particles dispersed and distributed in the main phase can be measured using a scanning electron microscope-energy dispersive X-ray spectroscopic analysis (SEM-EDS).

本発明においては、硬質被覆層がAlCrSiNiZrN層を少なくとも含み、該層を、主相と該主相中に分散分布するCrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクルとで構成することによって、硬質被覆層がすぐれた耐溶着性、耐チッピング性、耐摩耗性を備えるようになるが、硬質被覆層中に存在するCrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクルの面積割合によって、硬質被覆層の特性が影響を受けることから、硬質被覆層中に占める前記パーティクルの面積割合を適正な範囲に維持することが重要である。
本発明の硬質被覆層は、AIP装置を用い、かつ、制御された成膜条件(特に、ターゲットに印加する磁束密度の強さ及びアーク電流の大きさ)のもとで蒸着することで、主相が形成されると同時に、該主相中にCrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクルが分散分布して形成される。
硬質被覆層の縦断面を観察した場合、上記パーティクルは、工具基体表面とほぼ平行な方向に直径を有する扁平形状のものとして形成される。その長径と短径の比からアスペクト比を測定しその平均を求めると2以上となる。
上記パーティクルのアスペクト比が2未満の場合、パーティクル形状が球状に近くなりパーティクル下に空隙が発生しやすくなり、この空隙はクラックの起点になりやすく、チッピングの原因となる。
そして、上記パーティクルのうちで、長径が100nm以上のパーティクルの存在が、硬質被覆層の特性に影響を及ぼすことから、長径が100nm以上のCrSiリッチパーティクルについては、硬質被覆層の縦断面に占める面積割合を0.5面積%以上5面積%以下とし、また、NiZrリッチパーティクルについては、硬質被覆層の縦断面に占める面積割合を0.3面積%以上3面積%以下とする。
これは、CrSiリッチパーティクルの面積割合が0.5面積%未満の場合には、十分な耐チッピング性を発揮できない。一方、CrSiリッチパーティクルの面積割合が5面積%を超える場合には、皮膜全体の硬さを低下させる、という理由による。
また、NiZrリッチパーティクルの面積割合が0.3面積%未満の場合には、十分な潤滑性を発揮できない。一方、NiZrリッチパーティクルの面積割合が3面積%を超える場合には、皮膜全体の硬さが低下し耐摩耗性を低下させる、という理由による。
In the present invention, the hard coating layer includes at least an AlCrSiNiZrN layer, and the hard coating layer is excellent by configuring the layer with a main phase and CrSi rich particles and NiZr rich particles dispersed and distributed in the main phase. Although it has welding resistance, chipping resistance, and wear resistance, the characteristics of the hard coating layer are affected by the area ratio of CrSi-rich particles and NiZr-rich particles present in the hard coating layer. It is important to maintain the area ratio of the particles in the coating layer within an appropriate range.
The hard coating layer of the present invention is mainly deposited by using an AIP apparatus and under controlled film forming conditions (particularly, the strength of magnetic flux density applied to the target and the magnitude of arc current). At the same time as the phase is formed, CrSi-rich particles and NiZr-rich particles are distributed and formed in the main phase.
When the longitudinal section of the hard coating layer is observed, the particles are formed as a flat shape having a diameter in a direction substantially parallel to the tool base surface. When the aspect ratio is measured from the ratio of the major axis to the minor axis and the average is obtained, it is 2 or more.
When the aspect ratio of the particles is less than 2, the particle shape is nearly spherical and voids are likely to be generated under the particles, and these voids are likely to become the starting point of cracks and cause chipping.
Among the above particles, the presence of particles having a major axis of 100 nm or more affects the characteristics of the hard coating layer. Therefore, the CrSi-rich particles having a major axis of 100 nm or more occupy the vertical section of the hard coating layer. The ratio is 0.5 area% or more and 5 area% or less, and for the NiZr rich particles, the area ratio in the longitudinal section of the hard coating layer is 0.3 area% or more and 3 area% or less.
If the area ratio of CrSi rich particles is less than 0.5 area%, sufficient chipping resistance cannot be exhibited. On the other hand, when the area ratio of the CrSi rich particles exceeds 5 area%, the hardness of the entire film is reduced.
Moreover, when the area ratio of NiZr rich particles is less than 0.3 area%, sufficient lubricity cannot be exhibited. On the other hand, when the area ratio of the NiZr-rich particles exceeds 3 area%, the hardness of the entire film is lowered and the wear resistance is lowered.

なお、パーティクルの長径とは、基体表面に垂直な硬質被覆層断面におけるパーティクルの断面形状について測定した最も長い直径を意味するが、本発明においては、ほとんどすべてのパーティクルの長径が工具基体表面と平行な方向であるので、工具基体表面と平行な方向に測定したパーティクルの最大長さを長径とよび、また、該長径方向に直交するパーティクルの最大長さを短径とよぶ。
そして、アスペクト比とは、長径/短径の値であり、アスペクト比を複数個所で測定し、この測定値を平均した値が平均アスペクト比である。
The major axis of the particle means the longest diameter measured with respect to the cross-sectional shape of the particle in the cross section of the hard coating layer perpendicular to the surface of the base. In the present invention, the major axis of almost all particles is parallel to the surface of the tool base. Therefore, the maximum particle length measured in the direction parallel to the tool base surface is called the major axis, and the maximum length of the particles perpendicular to the major axis direction is called the minor axis.
The aspect ratio is a value of major axis / minor axis, and the average aspect ratio is a value obtained by measuring the aspect ratio at a plurality of locations and averaging the measured values.

本発明の被覆工具は、硬質被覆層が、AlCrSiNiZrN層を少なくとも含み、該層は、主相と、該主相中に分散分布するCrSiリッチパーティクルとNiZrリッチパーティクルとからなり、それぞれの組成を、組成式:(Al1−α−β−γ−δCrαSiβNiγZrδ1−xで表した場合(ただし、α、β、γ、δ、xはいずれも原子比を示す)、主相は、0.15≦α≦0.30、0.01≦β≦0.15、0.001≦γ≦0.02、0.001≦γ≦0.02、0.45≦x≦0.60を満足し、CrSiリッチパーティクルは、0.25≦α≦0.65、0.15≦β≦0.50、0≦γ≦0.02、0≦δ≦0.02、0.05≦x≦0.35を満足し、NiZrリッチパーティクルは、0≦α≦0.05、0.10≦β≦0.25、0.20≦γ≦0.40、0.30≦δ≦0.45、0.10≦x≦0.35を満足する組成を有し、さらに、硬質被覆層の縦断面に占める長径が100nm以上のCrSiリッチパーティクルの占有面積率は、0.5面積%以上5面積%以下、また、NiZrリッチパーティクルの占有面積率は、0.3面積%以上3面積%以下であることから、本発明の硬質意被覆層は、耐溶着性、耐チッピング性、耐摩耗性にすぐれる。
したがって、本発明の被覆工具を、切れ刃に断続的・衝撃的な高負荷が作用する高硬度材の断続切削加工に用いた場合、長期の使用にわたって、すぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮する。
In the coated tool of the present invention, the hard coating layer includes at least an AlCrSiNiZrN layer, and the layer is composed of a main phase, and CrSi-rich particles and NiZr-rich particles dispersed and distributed in the main phase. Composition formula: (Al 1-α-β-γ-δ Cr α Si β Ni γ Zr δ ) 1-x N x (where α, β, γ, δ, x are atomic ratios) Main phase is 0.15 ≦ α ≦ 0.30, 0.01 ≦ β ≦ 0.15, 0.001 ≦ γ ≦ 0.02, 0.001 ≦ γ ≦ 0.02, 0.45 ≦ x ≦ 0.60, CrSi rich particles are 0.25 ≦ α ≦ 0.65, 0.15 ≦ β ≦ 0.50, 0 ≦ γ ≦ 0.02, 0 ≦ δ ≦ 0.02. 0.05 ≦ x ≦ 0.35, and NiZr rich particles satisfy 0 ≦ α ≦ 0.05, 0.1 A hard coating layer having a composition satisfying 0 ≦ β ≦ 0.25, 0.20 ≦ γ ≦ 0.40, 0.30 ≦ δ ≦ 0.45, and 0.10 ≦ x ≦ 0.35 The occupied area ratio of CrSi-rich particles having a major axis of 100 nm or more in the longitudinal section of is 0.5 area% or more and 5 area% or less, and the occupied area ratio of NiZr-rich particles is 0.3 area% or more and 3 area%. Since it is the following, the hard coating layer of this invention is excellent in welding resistance, chipping resistance, and abrasion resistance.
Therefore, when the coated tool of the present invention is used for intermittent cutting of a hard material with a high load acting intermittently and shockingly on the cutting edge, it has excellent chipping resistance and wear resistance over a long period of use. Demonstrate.

本発明被覆工具の硬質被覆層の概略縦断面模式図を示す。The schematic longitudinal cross-sectional schematic diagram of the hard coating layer of this invention coated tool is shown. (a)は、本発明被覆工具の硬質被覆層のTEM像を示し、(b)は、(a)の部分拡大図を示す。(A) shows the TEM image of the hard coating layer of this invention coated tool, (b) shows the elements on larger scale of (a). 本発明被覆工具の硬質被覆層を成膜するアークイオンプレーティング装置の概略説明図を示し、(a)は平面図、(b)は側面図を示す。The schematic explanatory drawing of the arc ion plating apparatus which forms the hard coating layer of this invention coated tool is shown, (a) is a top view, (b) shows a side view.

つぎに、本発明の被覆工具を実施例により具体的に説明する。
以下の実施例では、本発明の被覆工具をミーリング加工で使用した場合について説明するが、旋削加工、ドリル加工等について用いることを何ら排除するものではない。
また、WC基超硬合金を工具基体として用いた場合について説明するが、TiCN基サーメット、立方晶窒化硼素焼結体、高速度工具鋼を工具基体として用いた場合であっても同様である。
なお、以下の実施例では、硬質被覆層がAlCrSiNiZrN層の単層である場合について説明するが、硬質被覆層としては、AlCrSiNiZrN層が少なくとも1層あればよいのであって、この層の他に、例えば、TiAlN層、AlCrCN層等の他の層が存在することを排除するものではない。また、AlCrSiNiZrN層以外の層が存在したとしても、本発明の作用効果は何ら損なわれるものではない。
Next, the coated tool of the present invention will be specifically described with reference to examples.
In the following examples, the case where the coated tool of the present invention is used in milling will be described, but this does not exclude the use of turning, drilling, and the like.
Although the case where a WC-based cemented carbide is used as a tool base will be described, the same applies to the case where a TiCN-based cermet, a cubic boron nitride sintered body, and a high-speed tool steel are used as a tool base.
In the following examples, the case where the hard coating layer is a single layer of the AlCrSiNiZrN layer will be described. However, as the hard coating layer, it is sufficient that there is at least one AlCrSiNiZrN layer. For example, the presence of other layers such as a TiAlN layer and an AlCrCN layer is not excluded. Even if a layer other than the AlCrSiNiZrN layer is present, the operational effects of the present invention are not impaired.

原料粉末として、平均粒径:5.5μmを有する中粗粒WC粉末、同0.8μmの微粒WC粉末、同1.3μmのTaC粉末、同1.2μmのNbC粉末、同1.2μmのZrC粉末、同2.3μmのCr粉末、同1.5μmのVC粉末、同1.0μmの(Ti,W)C[質量比で、TiC/WC=50/50]粉末、および同1.8μmのCo粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表1に示される配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン中で24時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、100MPaの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体を、6Paの真空雰囲気中、7℃/分の昇温速度で1370〜1470℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この温度に1時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が8mmの工具基体形成用丸棒焼結体を形成し、さらに前記丸棒焼結体から、研削加工にて、切刃部の直径×長さが6mm×13mmの寸法、並びにねじれ角30度の2枚刃ボール形状をもったWC基超硬合金製の工具基体(エンドミル)A〜Eをそれぞれ製造した。 As raw material powders, medium coarse WC powder having an average particle diameter of 5.5 μm, fine WC powder of 0.8 μm, TaC powder of 1.3 μm, NbC powder of 1.2 μm, ZrC of 1.2 μm Powder, 2.3 μm Cr 3 C 2 powder, 1.5 μm VC powder, 1.0 μm (Ti, W) C [by mass ratio, TiC / WC = 50/50] powder, and 1 .8 μm Co powder was prepared, each of these raw material powders was blended in the blending composition shown in Table 1, added with wax, ball milled in acetone for 24 hours, dried under reduced pressure, and then pressed into a predetermined shape at a pressure of 100 MPa. The green compacts were press-molded, and these green compacts were heated to a predetermined temperature in the range of 1370 to 1470 ° C. at a rate of temperature increase of 7 ° C./min in a 6 Pa vacuum atmosphere. After holding at temperature for 1 hour, sintering under furnace cooling conditions Then, a round sintered body for forming a tool base having a diameter of 8 mm is formed, and further, the diameter x length of the cutting edge portion is 6 mm x 13 mm and twisted by grinding from the round bar sintered body. WC-base cemented carbide tool bases (end mills) A to E each having a two-blade ball shape with an angle of 30 degrees were manufactured.

つぎに、これらの工具基体A〜Eを、図3に示すAIP装置に装入し、Tiボンバードを施し、次いで、所定の成分組成のターゲットを用い、表2に示す成膜条件で所定の層厚の硬質被覆層を蒸着形成することにより、表3に示す成分組成の主相と表4に示す成分組成のCrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクルからなる本発明被覆工具1〜10を作製した。   Next, these tool bases A to E are charged into the AIP apparatus shown in FIG. 3 and subjected to Ti bombardment. Then, using a target having a predetermined component composition, a predetermined layer is formed under the film formation conditions shown in Table 2. The present coated tools 1 to 10 made of the main phase of the component composition shown in Table 3 and the CrSi rich particles and NiZr rich particles of the component composition shown in Table 4 were produced by vapor-depositing a thick hard coating layer.

前記本発明被覆工具1〜10の硬質被覆層について、工具基体表面に垂直な硬質被覆層断面の組織観察と組成分析を、透過型電子顕微鏡−エネルギー分散型X線分光分析(TEM−EDS)を用いて行った。
本発明被覆工具における観察範囲は、工具基体表面と平行方向に20μmとし、硬質被覆層断面に対して0.01μm以下の空間分解能の元素マッピングを行い、被覆した硬質被覆層の主相およびCrSiリッチパーティクルとNiZrリッチパーティクルの組成を複数個所測定し、本発明で規定する範囲内であることを確認した。
また、CrSiリッチパーティクルとNiZrリッチパーティクルが、硬質被覆層断面に占める面積割合は、次のような方法で求めた。すなわち、各パーティクルを撮影したTEM―EDSマッピング像において、窒素量を分析したマッピング像を用いてパーティクルと主相の境界を区別し、パーティクルの長径が100nm以上のパーティクルの外周部を選択し、囲まれた面積を、画像解析ソフト(例えば、Adobe photoshopなど)を用いて算出し、測定領域の硬質被覆層断面に占めるパーティクルの面積割合として算出した。
次に、CrSiリッチパーティクルとNiZrリッチパーティクルの工具基体表面に平行な方向の最大長さを長径として測定し、また、長径の方向に直交する方向の最大長さを短径として測定し、それぞれのパーティクルについてのアスペクト比(長径/短径)を求め、複数領域でアスペクト比を測定してこれらの値を平均することによった、パーティクルの平均アスペクト比を算出した。
表3、表4に、これらの測定値、算出値をそれぞれ示す。
For the hard coating layers of the inventive coated tools 1 to 10, the structure observation and composition analysis of the cross section of the hard coating layer perpendicular to the surface of the tool substrate were performed, and the transmission electron microscope-energy dispersive X-ray spectroscopic analysis (TEM-EDS) was performed. Used.
The observation range of the coated tool of the present invention is 20 μm in the direction parallel to the surface of the tool substrate, and element mapping with a spatial resolution of 0.01 μm or less is performed on the cross section of the hard coating layer, the main phase of the coated hard coating layer and the CrSi rich The composition of the particles and the NiZr rich particles was measured at a plurality of locations and confirmed to be within the range defined by the present invention.
Moreover, the area ratio which CrSi rich particle and NiZr rich particle occupy in a hard coating layer cross section calculated | required with the following method. That is, in the TEM-EDS mapping image obtained by photographing each particle, the boundary between the particle and the main phase is distinguished using the mapping image obtained by analyzing the nitrogen amount, and the outer periphery of the particle having a major axis of 100 nm or more is selected and surrounded. The obtained area was calculated using image analysis software (for example, Adobe photoshop), and was calculated as the area ratio of particles in the cross section of the hard coating layer in the measurement region.
Next, the maximum length of the CrSi-rich particles and NiZr-rich particles in the direction parallel to the tool base surface is measured as the major axis, and the maximum length in the direction perpendicular to the major axis direction is measured as the minor axis. The average aspect ratio of the particles was calculated by calculating the aspect ratio (major axis / minor axis) of the particles, measuring the aspect ratio in a plurality of regions, and averaging these values.
Tables 3 and 4 show these measured values and calculated values, respectively.

次に、比較の目的で、前記AIP装置を用いて、工具基体A〜Eの表面に、Tiボンバードを施し、次いで、所定の成分組成のターゲットを用いて、表5に示す成膜条件で、各種の硬質被覆層を蒸着形成することにより、表6に示す成分組成の主相と表7に示す成分組成のCrSiリッチパーティクル、NiZrリッチパーティクルからなる比較被覆工具1〜10を作製した。   Next, for the purpose of comparison, Ti bombarding is performed on the surfaces of the tool bases A to E using the AIP apparatus, and then using the targets having a predetermined component composition, the film forming conditions shown in Table 5 are: By forming various hard coating layers by vapor deposition, comparative coated tools 1 to 10 composed of the main phase of the component composition shown in Table 6 and the CrSi rich particles and NiZr rich particles of the component composition shown in Table 7 were produced.

比較被覆工具1〜10についても、その断面をTEM−EDSによって観察し、また、硬質被覆層断面における点分析によって、硬質被覆層を構成する主相の組成、パーティクルが存在する場合にはその組成を分析し、また、硬質被覆層断面に占めるパーティクルの面積割合、パーティクルの平均アスペクト比を算出した。
表6、表7に、これらの値をそれぞれ示す。
As for the comparative coated tools 1 to 10, the cross section is observed by TEM-EDS, and the composition of the main phase constituting the hard coating layer by the point analysis in the hard coating layer cross section, and the composition when particles are present. In addition, the area ratio of particles in the cross section of the hard coating layer and the average aspect ratio of the particles were calculated.
Tables 6 and 7 show these values, respectively.

また、本発明被覆工具1〜10および比較被覆工具1〜10の硬質被覆層の層厚を、走査型電子顕微鏡(SEM)を用いて測定した。
表3、表6に、これらの値を示す。
Moreover, the layer thickness of the hard coating layer of this invention coated tool 1-10 and comparative coated tool 1-10 was measured using the scanning electron microscope (SEM).
Tables 3 and 6 show these values.








つぎに、前記本発明被覆工具1〜10および比較被覆工具1〜10について、以下に示す条件で、ミーリング切削加工試験を実施し、切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
被削材: JIS・SKH51(HRC64)のブロック材
回転速度: 5400/min.、
切削速度: 100m/min.、
切り込み: ae 0.2mm、ap 2.0mm
送り(1刃当り): 0.05mm/刃、
切削油剤: エアーブロー、
切削長: 20 m、
表8に、前記切削試験の結果を示すとともに、チッピング発生の有無を示す。
Next, a milling cutting test was performed on the present coated tools 1 to 10 and comparative coated tools 1 to 10 under the following conditions, and the flank wear width of the cutting edge was measured.
Work material: Block material of JIS / SKH51 (HRC64)
Rotational speed: 5400 / min. ,
Cutting speed: 100 m / min. ,
Cutting depth: ae 0.2mm, ap 2.0mm
Feed (per blade): 0.05mm / tooth,
Cutting fluid: air blow,
Cutting length: 20 m
Table 8 shows the results of the cutting test and the presence or absence of chipping.


表3、4、6、7、8に示される結果から、本発明の被覆工具1〜10は、AlCrSiNiZrN層からなる硬質被覆層中に、所定の組成の主相とともに、所定組成のCrSiリッチパーティクルおよびNiZrリッチパーティクルが所定の面積率で存在することによって、切れ刃に断続的・衝撃的高負荷が作用する高硬度材の断続切削加工において、すぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を示した。
これに対して、比較被覆工具1〜10は、
硬質被覆層中に、パーティクルが形成されているものの、本発明で規定する範囲を外れているため、耐チッピング性あるいは耐摩耗性の両特性にすぐれるものであるとはいえない。
From the results shown in Tables 3, 4, 6, 7, and 8, the coated tools 1 to 10 of the present invention have a CrSi-rich particle having a predetermined composition together with a main phase having a predetermined composition in a hard coating layer composed of an AlCrSiNiZrN layer. In addition, the presence of NiZr-rich particles at a predetermined area ratio showed excellent chipping resistance and wear resistance in intermittent cutting of a high hardness material in which intermittent and impact high loads act on the cutting edge.
In contrast, the comparative coated tools 1 to 10 are
Although particles are formed in the hard coating layer, they are outside the range defined by the present invention, and thus cannot be said to be excellent in both chipping resistance and wear resistance.

本発明の被覆工具は、焼入鋼等の高硬度材の断続切削加工においてすぐれた耐チッピング性、耐摩耗性を発揮し、使用寿命の延命化を可能とするものであるが、他の被削材の切削加工、他の条件での切削加工で使用することも勿論可能である。   The coated tool of the present invention exhibits excellent chipping resistance and wear resistance in intermittent cutting of hard materials such as hardened steel, and can extend the service life. Of course, it is also possible to use it in cutting of a cutting material or cutting under other conditions.

Claims (1)

炭化タングステン基超硬合金、TiCN基サーメット、立方晶窒化硼素焼結体および高速度工具鋼のいずれかからなる工具基体の表面に、硬質被覆層が設けられた表面被覆切削工具において、
(a)前記硬質被覆層は、AlとCrとSiとNiとZrの複合窒化物層を少なくとも含み、前記複合窒化物層は、主相と、該主相中に分散分布するCrSiリッチパーティクルとNiZrリッチパーティクルとからなり、前記主相、CrSiリッチパーティクルおよびNiZrリッチパーティクルの組成を、
組成式:(Al1−α−β−γ−δCrαSiβNiγZrδ1−x
で表した場合(ただし、α、β、γ、δ、xはいずれも原子比を示す)、
(b)前記主相は、0.15≦α≦0.30、0.01≦β≦0.15、0.001≦γ≦0.02、0.001≦δ≦0.02、0.45≦x≦0.60を満足し、
(c)前記CrSiリッチパーティクルは、0.25≦α≦0.65、0.15≦β≦0.50、0≦γ≦0.02、0≦δ≦0.02、0.05≦x≦0.35を満足し、
(d)前記NiZrリッチパーティクルは、0≦α≦0.05、0.10≦β≦0.25、0.20≦γ≦0.40、0.30≦δ≦0.45、0.10≦x≦0.35を満足し、
(e)前記硬質被覆層の縦断面に占める長径が100nm以上の前記CrSiリッチパーティクルの占有面積率は、0.5面積%以上5面積%以下であり、また、前記硬質被覆層の縦断面に占める長径が100nm以上の前記NiZrリッチパーティクルの占有面積率は、0.3面積%以上3面積%以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。
In a surface-coated cutting tool in which a hard coating layer is provided on the surface of a tool base made of any of tungsten carbide-based cemented carbide, TiCN-based cermet, cubic boron nitride sintered body, and high-speed tool steel,
(A) The hard coating layer includes at least a composite nitride layer of Al, Cr, Si, Ni, and Zr. The composite nitride layer includes a main phase and CrSi-rich particles dispersed and distributed in the main phase. NiZr rich particles, the composition of the main phase, CrSi rich particles and NiZr rich particles,
Composition formula: (Al1- [ alpha]-[beta]-[gamma]-[delta] Cr [ alpha] Si [ beta] Ni [ gamma] Zr [ delta] ) 1- xNx
(Where α, β, γ, δ, and x all represent atomic ratios),
(B) The main phase is 0.15 ≦ α ≦ 0.30, 0.01 ≦ β ≦ 0.15, 0.001 ≦ γ ≦ 0.02, 0.001 ≦ δ ≦ 0.02, 45 ≦ x ≦ 0.60 is satisfied,
(C) The CrSi rich particles are 0.25 ≦ α ≦ 0.65, 0.15 ≦ β ≦ 0.50, 0 ≦ γ ≦ 0.02, 0 ≦ δ ≦ 0.02, 0.05 ≦ x. ≦ 0.35 is satisfied,
(D) The NiZr rich particles are 0 ≦ α ≦ 0.05, 0.10 ≦ β ≦ 0.25, 0.20 ≦ γ ≦ 0.40, 0.30 ≦ δ ≦ 0.45, 0.10. ≦ x ≦ 0.35 is satisfied,
(E) The occupation area ratio of the CrSi-rich particles having a major axis of 100 nm or more in the longitudinal section of the hard coating layer is 0.5 area% or more and 5 area% or less, and the longitudinal section of the hard coating layer is A surface-coated cutting tool characterized in that an occupied area ratio of the NiZr-rich particles having a major axis of 100 nm or more is 0.3 area% or more and 3 area% or less.
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